JP2002177743A - 粗大金属粒子の除去方法及び除去装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 金属粒子スラリーから、粗大金属粒子を効率
よく除去するための方法、粗大金属粒子の除去装置を提
供する。 【解決手段】 スラリーチャンバー３２に、内部の金属
粒子スラリー３１を循環流動させる循環ライン３４を設
け、循環ライン３４に金属粒子スラリー３１を循環させ
ながら、スラリーチャンバー３２内の金属粒子スラリー
３１を、所定の目開きのフィルター３３により濾過し
て、粗大金属粒子を除去する。さらに、スラリーチャン
バー又は循環ラインにて、超音波分散処理を施し、金属
粒子スラリー中の金属粒子を分散させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本願発明は、金属粒子スラリ
ーから粗大金属粒子を除去するための除去方法及び粗大
金属粒子の除去装置に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】積層セ
ラミックコンデンサや、セラミック多層基板などの積層
セラミック電子部品は、通常、セラミックグリーンシー
トを積層、圧着し、熱処理して、セラミックや電極を焼
結させる工程を経て製造されている。

【０００３】例えば、図５に示すように、セラミック素
子１中に内部電極２が配設されているとともに、セラミ
ック素子１の両端部に、交互に異なる側の端面に引き出
された内部電極２と導通するように一対の外部電極３
ａ、３ｂが配設された構造を有する積層セラミックコン
デンサを製造する場合、通常は、以下のような方法で製
造されている。

【０００４】まず、セラミックグリーンシートに、金
属粒子を導電成分とする導電ペーストを塗布して、容量
形成用の内部電極２を形成することにより、電極配設シ
ート１１（図６）を作製する。 次に、図６に示すように、電極配設シート１１を所定
枚数積層し、さらにその上下両面側に電極の配設されて
いないセラミックグリーンシート（外層用シート）２１
を積層、圧着することにより、各内部電極２の一端側が
交互に異なる側の端面に引き出された積層体（未焼成の
積層体）１ａを形成する。 そして、この積層体１ａを所定の条件で焼成してセラ
ミックを焼結させた後、焼成後の積層体（セラミック素
子）１（図５）の両端部に導電性ペーストを塗布、焼付
けして、内部電極２と導通する外部電極３ａ、３ｂ（図
５）を形成することにより、図５に示すような積層セラ
ミックコンデンサが得られる。

【０００５】また、積層セラミック多層基板などの他の
積層セラミック電子部品も、上述の積層セラミックコン
デンサの場合と同様に、金属粒子を導電成分とする導電
ペーストを塗布することにより内部電極を配設したセラ
ミックグリーンシートを積層して積層体を形成する工程
を経て製造されている。

【０００６】近年、積層セラミックコンデンサをはじめ
とする種々の積層セラミック電子部品に対しては、他の
電子素子の場合と同様に、小型化、高性能化が求められ
るようになっている。そして、そのためには、積層セラ
ミック電子部品の製造に用いられるセラミックグリーン
シートを薄くすることが必要になるとともに、内部電極
の膜厚を薄くすることが必要となる。

【０００７】しかし、セラミックグリーンシートを薄く
した場合、内部電極形成用の導電ペーストに粗大金属粒
子が含まれていると、セラミックグリーンシートに貫通
孔や深い未貫通孔が形成されることになり、ショート不
良などの内部欠陥を引き起こす要因となる。したがっ
て、厚みの薄いセラミックグリーンシートを損傷するこ
となく、しかも膜厚が薄くて連続性に優れた内部電極を
形成しようとすると、導電成分として、粗大金属粒子を
含まず、平均粒径の小さい金属粒子を含有する導電ペー
ストを用いることが必要になる。

【０００８】ところで、平均粒径が小さく、粗大金属粒
子を含まない微細な金属粒子を得る方法として、従来
は、金属粒子を分散させたスラリー（金属粒子スラリ
ー）を濾過して、粗大金属粒子を除去する方法が適用さ
れている。

【０００９】この方法は、例えば、図７に示すように、
濾過されるべき金属粒子スラリー（例えば、平均粒径が
１μm以下の微細なニッケル粒子を含むスラリー）５１
が供給されるスラリーチャンバー５２内に、円筒状で外
周面が濾過面となるような、所定の目開きのフィルター
５３が配設された濾過装置５４を用い、金属粒子スラリ
ー５１をスラリーチャンバー５２内に連続的に供給し
て、フィルター５３を通過させることにより、粗大金属
粒子（例えば、粒径が３μm以上のニッケル粒子）を濾
過分離し、粗大金属粒子を含まない金属粒子スラリー５
１ａを得る方法である。

【００１０】しかし、この方法によれば、図８に示すよ
うに、スラリーチャンバー５２内で金属粒子（ニッケル
粒子）５５が沈降し、凝集することにより形成されるフ
ロック５５ａにより、フィルター（濾材）５３が閉塞
し、濾過速度が低下するばかりでなく、フィルターの目
開きに対応して、所定の粒径以上の粗大金属粒子を除去
し、所定の粒径以下の金属粒子を通過させるという、基
本的な濾過性能を確保することが困難になり、精度よく
所定の粒径以下の微細な金属粒子を得ることができなく
なるという問題点がある。

【００１１】本願発明は、上記問題点を解決するもので
あり、金属粒子スラリーから、粗大金属粒子を効率よく
除去することが可能な粗大金属粒子の除去方法及び粗大
金属粒子の除去装置を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明（請求項１）の粗大金属粒子の除去方法
は、金属粒子を主たる固形分として含有するスラリー
（以下「金属粒子スラリー」）をフィルターにより濾過
して、所定の粒径以上の粗大金属粒子を除去する方法に
おいて、フィルターを通過させるべき金属粒子スラリー
が供給される、フィルター前室として機能するスラリー
チャンバーから、金属粒子スラリーを抜き出し、所定の
経路で循環させて再びスラリーチャンバーに戻す循環ラ
インを設け、前記循環ラインに金属粒子スラリーを循環
させつつ、スラリーチャンバー内の金属粒子スラリーを
所定の目開きのフィルターにより濾過して、粗大金属粒
子を除去することを特徴としている。

【００１３】スラリーチャンバーから、金属粒子スラリ
ーを抜き出し、所定の経路で循環させて再びスラリーチ
ャンバーに戻す循環ラインを設け、金属粒子スラリーを
循環させながら、所定の目開きのフィルターにより濾過
することにより、金属粒子スラリー中の金属粒子の堆積
・凝集を確実に防止し、フィルター（濾材）の閉塞によ
る濾過速度の低下を招くことなく、所定の目開きのフィ
ルターに対応する粒径の金属粒子を確実に通過させる一
方、所定の粒径以上の粗大金属粒子を確実に除去（濾
去）することが可能になり、粗大金属粒子を含まず、所
望の粒径を有する微細な金属粒子を含む金属粒子スラリ
ーを得ることが可能になる。

【００１４】なお、本願発明において、粗大金属粒子と
は、完全に１つの結晶粒としてその粒径が大きいものの
みではなく、通常の剪断力がかかった程度では分散しな
いような集合体や凝集体などをも含む概念である。

【００１５】また、本願発明は、粗大粒子として、主と
して、粗大金属粒子を除去することを意図するものであ
るが、金属粒子以外の他の粗大粒子を、粗大金属粒子と
ともに除去する場合を排除するものではない。

【００１６】また、本願発明において、「フィルター前
室として機能するスラリーチャンバー」とは、フィルタ
ーと接する空間であって、濾過すべき金属粒子スラリー
がそこを経てフィルターを通過することになる空間（チ
ャンバー）を意味する概念であり、その具体的な構成や
形状には特別の制約はないが、一例を挙げると、筒状の
フィルターが用いられる場合において、フィルターを囲
むように配設されたハウジング（フィルター本体）と該
フィルターにより規定される、筒状のフィルターの周囲
のドーナツ状の空間が本願発明におけるスラリーチャン
バーとなる。

【００１７】また、本願発明においては、フィルターを
構成する濾材の種類に特別の制約はなく、メンブラン状
の材料からなるものや多孔質材料からなるものなど、種
々の材料からなるフィルターを用いることが可能であ
る。

【００１８】また、請求項２の粗大金属粒子の除去方法
は、前記金属粒子スラリーを循環させる場合において、
金属粒子スラリー中の金属粒子の堆積・凝集を防止しつ
つ、フィルターにより濾過して、粗大金属粒子を除去す
ることを特徴としている。

【００１９】金属粒子スラリーを循環させる場合におい
て、金属粒子スラリー中の金属粒子の堆積・凝集を防止
しつつ、フィルターにより濾過することにより、さらに
確実にフィルター（濾材）の閉塞による濾過速度の低下
を招くことなく、所定の目開きのフィルターに対応する
粒径の金属粒子を確実に通過させる一方、所定の粒径以
上の粗大金属粒子を確実に除去（濾去）することが可能
になり、粗大金属粒子を含まず、所望の粒径を有する微
細な金属粒子を含む金属粒子スラリーを得ることが可能
になる。

【００２０】また、請求項３の粗大金属粒子の除去方法
は、前記循環ラインに金属粒子スラリーを循環させる場
合において、金属粒子スラリー中の凝集した金属粒子を
分散させることが可能な剪断力を与えることができるよ
うな条件で、金属粒子スラリーを循環させることを特徴
としている。

【００２１】金属粒子スラリー中の凝集した金属粒子を
分散させることが可能な剪断力が凝集金属粒子にかかる
ような条件で、金属粒子スラリーを循環させることによ
り、単に金属粒子スラリーを流動させるだけの場合より
もさらに確実に金属粒子を分散させることが可能にな
り、本願発明をより実効あらしめることができる。

【００２２】また、請求項４の粗大金属粒子の除去方法
は、スラリーチャンバー又は循環ラインにて、超音波分
散処理を施し、金属粒子スラリー中の金属粒子を分散さ
せるようにしたことを特徴としている。

【００２３】スラリーチャンバー又は循環ラインにおい
て、超音波分散処理を施し、金属粒子スラリー中の金属
粒子を分散させることにより、金属粒子スラリー中の金
属粒子の堆積・凝集をさらに確実に防止することが可能
になり、本願発明をさらに実効あらしめることができ
る。

【００２４】また、請求項５の粗大金属粒子の除去方法
は、金属粒子スラリーをリザーバータンクからスラリー
チャンバーに供給する場合において、リザーバータンク
にて高速攪拌を行うことを特徴としている。

【００２５】金属粒子スラリーをリザーバータンクから
スラリーチャンバーに供給する場合において、リザーバ
ータンクにて金属粒子スラリーを高速攪拌することによ
り、さらに確実に金属粒子スラリー中の金属粒子の堆積
・凝集を防止することが可能になり、本願発明をより実
効あらしめることができる。

【００２６】また、請求項６の粗大金属粒子の除去方法
は、金属粒子スラリーに分散剤を添加することにより、
金属粒子スラリーの分散性を向上させるようにしたこと
を特徴としている。

【００２７】金属粒子スラリーに分散剤を添加すること
により、金属粒子スラリー自体の分散性を向上させて、
金属粒子スラリー中の金属粒子の堆積・凝集を確実に防
止することが可能になり、本願発明をさらに実効あらし
めることができる。

【００２８】また、請求項７の粗大金属粒子の除去方法
は、粗大金属粒子を分離した後の金属粒子スラリーか
ら、金属粒子を回収することを特徴としている。

【００２９】粗大金属粒子を分離した後の金属粒子スラ
リーから金属粒子を回収することにより、金属粒子を秤
量可能な形態にすることが可能になり、その後の秤量工
程で、液付着のない精密な秤量が可能となる。

【００３０】また、請求項８の粗大金属粒子の除去方法
は、前記分散剤として低分子量分散剤を用い、粗大金属
粒子を分離した後の金属粒子スラリーを第二のフィルタ
ーで濾過して固液を分離し、該第二のフィルターにトラ
ップされた金属粒子を回収することを特徴としている。

【００３１】分散剤として低分子量分散剤を用い、粗大
金属粒子を分離した後の金属粒子スラリーを第二のフィ
ルターで濾過して固液を分離し、該第二のフィルターに
トラップされた金属粒子を回収することにより、粗大金
属粒子が分離され、かつ、分散剤溶液が分離された、所
望の粒径の微細な金属粒子を確実に得ることが可能にな
る。

【００３２】また、請求項９の粗大金属粒子の除去方法
は、前記分散剤として、低沸点分散剤を用い、粗大金属
粒子を分離した後の金属粒子スラリーから、分散剤及び
溶剤を蒸留除去することにより、金属粒子を回収するこ
とを特徴としている。

【００３３】分散剤として、低沸点分散剤を用い、粗大
金属粒子を分離した後の金属粒子スラリーから、分散剤
及び溶剤を蒸留除去することにより、粗大金属粒子が分
離され、かつ、分散剤及び溶剤が分離された、所望の粒
径の微細な金属粒子を得ることが可能になる。

【００３４】また、請求項１０の粗大金属粒子の除去方
法は、前記粗大金属粒子の粒径が、前記金属粒子スラリ
ーを構成する金属粒子の主要部の平均粒径の２倍以上で
あることを特徴としている。

【００３５】本願発明は、粗大金属粒子の粒径が、金属
粒子スラリーを構成する金属粒子の主要部の平均粒径の
２倍以上の径である場合に特に効果的である。

【００３６】また、請求項１１の粗大金属粒子の除去方
法は、前記金属粒子スラリーを構成する金属粒子の主要
部の平均粒径が０．５μm以下であることを特徴として
いる。

【００３７】また、請求項１２の粗大金属粒子の除去方
法は、前記粗大金属粒子が粒径１μm以上の金属粒子で
あることを特徴としている。

【００３８】金属粒子スラリーを構成する金属粒子の主
要部の平均粒径が０．５μm以下（請求項１１）である
場合や、粗大金属粒子が粒径１μm以上（請求項１２）
である場合のような、従来の粗大金属粒子の除去方法で
は、効率よく分離することが困難な条件下においても、
本願発明を適用することにより、粗大金属粒子を効率よ
く分離して、所望の粒径の微細な金属粒子を得ることが
可能になる。なお、金属粒子の主要部の平均粒径が０．
０２〜０．２μmの範囲にある場合に、本願発明の効果
が特によく発揮される。

【００３９】また、請求項１３の粗大金属粒子の除去方
法は、前記金属粒子スラリーを構成する金属粒子が、ニ
ッケル、パラジウム、銀、銅、白金、金のうち少なくと
も１種の金属 、及び／又はそれらの少なくとも１種を
含む合金からなる粒子であることを特徴としている。

【００４０】本願発明は、金属粒子スラリーを構成する
金属粒子が、ニッケル、パラジウム、銀、銅、白金、金
のうち少なくとも１種の金属、及び／又はそれらの少な
くとも１種を含む合金からなる粒子である場合に適用す
ることが可能であり、かかる場合に、粗大金属粒子を効
率よく分離して、平均粒径が０．５μm以下の微細な金
属粒子を得ることが可能になる。

【００４１】また、請求項１４の粗大金属粒子の除去方
法は、前記金属粒子スラリーを構成する金属粒子が、ニ
ッケル粒子であることを特徴としている。

【００４２】ニッケルは磁性を有していることから、ニ
ッケル粒子を含む金属粒子スラリーは、金属粒子（ニッ
ケル粒子）の凝集が生じやすいが、本願発明を適用する
ことにより、スラリー中の金属粒子（ニッケル粒子）の
堆積・凝集を確実に防止することが可能になり、粗大ニ
ッケル粒子が分離された、所望の粒径の微細なニッケル
粒子を得ることが可能になる。

【００４３】また、本願発明（請求項１５）の粗大金属
粒子の除去装置は、金属粒子スラリーが供給されるスラ
リーチャンバーと、前記スラリーチャンバー内の金属粒
子スラリーと接し、金属粒子スラリーに含まれる粗大金
属粒子を濾去しつつ、金属粒子スラリーを通過させる、
所定の目開きのフィルターと、前記スラリーチャンバー
内の金属粒子スラリーを循環させるため循環ラインを備
えたスラリー循環機構とを具備することを特徴としてい
る。

【００４４】上述のように構成された粗大金属粒子の除
去装置を用いることにより、請求項１〜１４の粗大金属
粒子の除去方法を確実に実施して、粗大金属粒子が確実
に除去された、微細な金属粒子スラリー又は金属粒子を
得ることが可能になる。

【００４５】また、請求項１６の粗大金属粒子の除去装
置は、前記金属粒子スラリーを循環させる場合におい
て、金属粒子スラリー中の金属粒子の堆積・凝集を防止
することができるように構成されていることを特徴とし
ている。

【００４６】金属粒子スラリーを循環させる場合におい
て、金属粒子スラリー中の金属粒子の堆積・凝集を防止
することができるようにした場合、請求項１〜１４の粗
大金属粒子の除去方法を確実に実施して、粗大金属粒子
が確実に除去された、微細な金属粒子スラリー又は金属
粒子を得ることが可能になる。

【００４７】また、請求項１７の粗大金属粒子の除去装
置は、前記スラリー循環機構が、循環ラインに金属粒子
スラリーを循環させる場合に、金属粒子スラリー中の凝
集した金属粒子を分散させることが可能な剪断力を与え
ることができるように構成されていることを特徴として
いる。

【００４８】スラリー循環機構が、循環ラインに金属粒
子スラリーを循環させる場合に、金属粒子スラリー中の
凝集した金属粒子を分散させることが可能な剪断力を与
えることができるように構成されている場合、単に金属
粒子スラリーを流動させるだけの場合よりもさらに確実
に金属粒子を分散させることが可能になり、本願発明を
より実効あらしめることができる。

【００４９】また、請求項１８の粗大金属粒子の除去装
置は、前記スラリーチャンバー又は循環ラインに、超音
波分散処理を施すための超音波印加手段が配設されてい
ることを特徴としている。

【００５０】前記スラリーチャンバー又は循環ライン
に、超音波分散処理を施すための超音波印加手段を配設
することにより、スラリーチャンバー又は循環ラインに
て、超音波分散処理を施し、金属粒子スラリー中の金属
粒子をより確実に分散させることが可能になり、金属粒
子スラリー中の金属粒子の堆積・凝集をさらに確実に防
止することが可能になり、本願発明をより実効あらしめ
ることができる。

【００５１】また、請求項１９の粗大金属粒子の除去装
置は、金属粒子スラリーをリザーバータンクから前記ス
ラリーチャンバーに供給するようにしている場合におい
て、リザーバータンクに高速攪拌を行うための高速撹拌
機が配設されていることを特徴としている。

【００５２】金属粒子スラリーをリザーバータンクから
スラリーチャンバーに供給するようにしている場合にお
いて、リザーバータンクに高速撹拌機を配設することに
より、さらに確実に金属粒子スラリー中の金属粒子の堆
積・凝集を防止することが可能になり、本願発明をより
実効あらしめることができる。

【００５３】また、本願発明（請求項２０）の導電ペー
ストは、請求項１〜１４のいずれかに記載の方法により
粗大金属粒子を分離した金属粒子スラリーから得られる
金属粒子又は粗大金属粒子を分離して回収した金属粒子
と、有機ビヒクルとを含有することを特徴としている。

【００５４】請求項１〜１４のいずれかに記載の方法に
より粗大金属粒子を分離した金属粒子スラリーから得ら
れる金属粒子又は粗大金属粒子を分離して回収した金属
粒子を導電成分として用い、これを、有機ビヒクルと配
合することにより、微細な金属粒子を導電成分とする、
セラミックグリーンシート上に膜厚の薄い電極層を形成
するのに好適で、しかも、セラミックグリーンシートを
損傷することのない導電ペーストを得ることが可能にな
る。

【００５５】また、本願発明（請求項２１）の積層セラ
ミック電子部品の製造方法は、請求項２０の導電ペース
トを用いて内部電極パターンを形成したセラミックグリ
ーンシートを積層、切断、焼成した後、外部電極を形成
することを特徴としている。

【００５６】請求項２０記載の導電ペーストを用いて内
部電極パターンを形成したセラミックグリーンシートを
積層、切断、焼成した後、外部電極を形成することによ
り、膜厚が薄く、しかも、粗大粒子による突起のない内
部電極を備えた、ショート率が低く、小型、高性能の積
層セラミック電子部品を効率よく製造することができる
ようになる。

【００５７】

【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態を示
してその特徴とするところをさらに詳しく説明する。 ［実施形態１］この実施形態１では、平均粒径が０．１
〜０．２μmのニッケル粒子（金属粒子）を主成分と
し、粒径が１．０μm以上のニッケル粒子（粗大金属粒
子）を一部含有する金属粒子スラリーから、粗大金属粒
子（粗大ニッケル粒子）を除去する場合を例にとって説
明する。

【００５８】図１はこの実施形態１において用いた、粗
大金属粒子の除去装置（以下、単に「除去装置」ともい
う）を示す図、図２はその要部構成を示す図である。こ
の除去装置は、図１及び２に示すように、金属粒子スラ
リー３１が供給される、フィルター本体４０の内部に形
成されたスラリーチャンバー３２と、スラリーチャンバ
ー３２内に配設された、外周面が濾過面となる円筒状の
フィルター３３と、スラリーチャンバー３２内の金属粒
子スラリー３１を抜き出し、所定の経路で循環させて再
びスラリーチャンバー３２に戻すスラリー循環機構３６
とを備えており、スラリー循環機構３６は、循環ライン
３４と循環ライン３４に設けられた循環ポンプ３５を備
えている。

【００５９】なお、この実施形態１においては、フィル
ター３３として、目開きが１．０μmの、メンブラン状
の濾材からなるものが用いられている。また、フィルタ
ー３３には、濾過面積が大きくなるように、稜線が軸方
向と略平行となるようなひだ（山と谷）が、その全周に
わたって形成されている。

【００６０】また、スラリー循環機構３６に関しては、
循環ライン３４に金属粒子スラリー３１を循環させる場
合において、金属粒子スラリー３１中の、凝集した金属
粒子を分散させることが可能な剪断力が働くように、流
路の形状（循環ライン３４の内径など）や循環される金
属粒子スラリー３１の流速などの条件が設定されてい
る。

【００６１】循環ラインは、単一でもよく、また、フィ
ルター本体の周方向に所定の間隔をおいて複数配設して
もよい。この実施形態１では、フィルター本体の周方向
に所定の間隔をおいて複数の循環ラインを配設した除去
装置（濾過装置）を用いたが、図１及び２では、１つの
循環ライン３４だけを示している。なお、本願発明にお
いて、循環ライン３４の配設数、配設態様（配設位置）
には特別の制約はなく、スラリーの性状やフィルター本
体の寸法などの具体的な条件を考慮して、適切な配設数
や配設態様を決定することが望ましい。

【００６２】また、この実施形態１の除去装置は、金属
粒子スラリー３１をリザーバータンク３７から、供給ポ
ンプ４２により、供給ライン３８を経てスラリーチャン
バー３２に供給するように構成されており、リザーバー
タンク３７には、高速攪拌を行うことが可能な高速撹拌
機３９が配設されている。また、この実施形態１の除去
装置においては、粗大金属粒子が分離された金属粒子ス
ラリーは、製品タンク４１に貯められるように構成され
ている。

【００６３】上述のように構成された除去装置を用い
て、金属粒子スラリー３１中の粗大金属粒子を分離する
にあたっては、まず、リザーバータンク３７において高
速攪拌された金属粒子スラリー３１が、供給ライン３８
を経てスラリーチャンバー３２に供給される。

【００６４】そして、スラリーチャンバー３２内に供給
された金属粒子スラリー３１は、スラリー循環機構３６
を構成する循環ポンプ３５により、循環ライン３４を経
て循環され、流動することにより、図３に示すように、
フィルター３３の目開きに対応する所定の粒径以下の金
属粒子４３が十分に分散した状態でフィルター３３を通
過する一方、所定の粒径（この実施形態１では１．０μ
m）以上の粗大金属粒子（特に図示せず）がフィルター
３３により除去、分離される。

【００６５】その結果、フィルター３３の閉塞による濾
過速度の低下を招いたりすることなく、粒径が１．０μ
m以上の粗大金属粒子を含まず、平均粒径が０．１〜
０．２μmの微細な金属粒子のみを含む金属粒子スラリ
ーを効率よく得ることが可能になる。

【００６６】また、この実施形態１では、リザーバータ
ンク３７に高速撹拌機３９を配設し、リザーバータンク
３７内で金属粒子スラリー３１を高速攪拌することによ
り、金属粒子が十分に分散した金属粒子スラリー３１を
スラリーチャンバー３２に供給するようにしているの
で、より確実に金属粒子スラリー３１中の金属粒子の堆
積・凝集を防止することができる。

【００６７】［実施形態２］この実施形態２では、図４
に示すように、リザーバータンク３７において高速攪拌
された金属粒子スラリー３１が供給される供給ライン３
８に、超音波分散処理を行うための超音波印加手段４４
を上記実施形態１に対して付加した除去装置を用いてい
る。

【００６８】この実施形態２では、供給ライン３８に超
音波印加手段４４を配設して、超音波分散処理を施し、
金属粒子スラリー３１中の金属粒子を十分に分散させた
状態で、スラリーチャンバー３２に供給するとととも
に、循環ライン３４を循環させながらフィルター３３を
通過させて粗大金属粒子を除去するようにしているの
で、金属粒子スラリー中の金属粒子の堆積・凝集をより
確実に防止することが可能になり、粒径が１．０μm以
上の粗大金属粒子を含まず、平均粒径が０．１〜０．２
μmの微細な金属粒子のみを含む金属粒子スラリーを得
ることができる。なお、この実施形態２では、超音波印
加手段４４を、供給ライン３８に設けているが、スラリ
ーチャンバー３２に超音波印加手段を設けるように構成
することも可能である。

【００６９】［実施形態３］金属粒子スラリー３１に、
低分子量分散剤（この実施形態では脂肪酸エステル（ラ
イオン（株）製））を添加して、金属粒子スラリー３１
中の金属粒子の分散性を向上させるようにしたことを除
いて、上記実施形態１の場合と同様に、図４に示す除去
装置を用いて粗大金属粒子を分離する。

【００７０】この実施形態３においては、金属粒子スラ
リー３１に分散剤を添加して、金属粒子を分散させると
ともに、上記実施形態１の場合と同様に、金属粒子スラ
リー３１中の金属粒子を十分に分散させた状態でスラリ
ーチャンバー３２に供給し、かつ、循環ライン３４を循
環させながら、フィルター３３により濾過して粗大金属
粒子を除去するようにしているので、分散剤添加の効果
により、さらに確実に金属粒子スラリー３１中の金属粒
子の堆積・凝集を防止して、効率よく、しかも確実に、
粒径が１．０μm以上の粗大金属粒子を含まず、平均粒
径が０．１〜０．２μmの微細な金属粒子のみを含む金
属粒子スラリーを得ることができる。

【００７１】なお、この実施形態３の場合には、粗大金
属粒子を分離した後の金属粒子スラリーを第二のフィル
ター（図示せず）を用いて濾過することにより、粗大金
属粒子が分離され、かつ、分散剤溶液が分離された、所
望の粒径の微細な金属粒子を得ることができる。

【００７２】［実施形態４］金属粒子スラリー３１に、
低沸点分散剤（この実施形態では、エソファットシリー
ズ（ライオン（株）製））を添加して、金属粒子スラリ
ー３１中の金属粒子の分散性を向上させるようにしたこ
とを除いて、上記実施形態１の場合と同様に、図４に示
す除去装置を用いて粗大金属粒子を分離する。

【００７３】この実施形態４においては、金属粒子スラ
リー３１に低沸点分散剤を添加して、金属粒子を分散さ
せるとともに、前記実施形態１の場合と同様に、金属粒
子スラリー３１中の金属粒子を十分に分散させた状態で
スラリーチャンバー３２に供給し、かつ、循環ライン３
４を循環させながら、フィルター３３により濾過して粗
大金属粒子を除去するようにしているので、分散剤添加
の効果により、さらに確実に金属粒子スラリー３１中の
金属粒子の堆積・凝集を防止して、効率よくしかも確実
に、粒径が１．０μm以上の粗大金属粒子を含まず、平
均粒径が０．１〜０．２μmの微細な金属粒子のみを含
む金属粒子スラリーを得ることができる。

【００７４】なお、粗大金属粒子を分離した後の金属粒
子スラリーから、分散剤及び溶剤を蒸留して除去するこ
とにより、粗大金属粒子を含まない、所望の粒径の微細
な金属粒子を得ることができる。なお、場合によって
は、濾過、洗浄を行うことにより金属粒子を得るように
構成することも可能である。

【００７５】［実施形態５］この実施形態５では、粗大
金属粒子が除去された微細な金属粒子を導電成分とする
導電ペーストを用いて積層セラミックコンデンサを製造
する方法について説明する。 上記実施形態１〜３の方法で得た金属粒子スラリーを
濾過して、洗浄、乾燥した平均粒径が０．１〜０．２μ
mの金属粒子（ニッケル粒子）、及び上記実施形態４の
方法で得た金属粒子スラリーから分散剤及び溶剤を蒸
留、除去した平均粒径が０．１〜０．２μmの金属粒子
（ニッケル粒子）を、導電粉末として用い、これに、有
機ビヒクル（エチルセルロースのテルペン溶液）を配合
し、十分に混練して、導電ペーストを作製した。

【００７６】そして、上記の導電ペーストを、誘電
体セラミックスラリーをシート状に成形した厚み２．０
μmのセラミックグリーンシートに塗布して、容量形成
用の内部電極２を形成することにより、電極配設シート
１１（図５）を作製した。

【００７７】次に、図６に示すように、電極配設シー
ト１１を所定枚数積層し、さらにその上下両面側に電極
の配設されていないセラミックグリーンシート（外層用
シート）２１を積層、圧着することにより、各内部電極
２の一端側が交互に異なる側の端面に引き出された積層
体（未焼成の積層体）１ａを形成した。

【００７８】そして、この積層体１ａを所定の条件で
焼成してセラミックを焼結させた後、焼成後の積層体
（セラミック素子）１（図５）の両端部に導電性ペース
トを塗布、焼付けして、内部電極２と導通する外部電極
３ａ、３ｂ（図５）を形成することにより、図５に示す
ような積層セラミックコンデンサを得た。

【００７９】この実施形態５においては、粗大金属粒子
を含まず、平均粒径が０．１〜０．２μmの微細な金属
粒子（ニッケル粒子）を含有する導電ペーストを用いて
いるので、厚みの薄いセラミックグリーンシートに貫通
孔が形成されるような事態を招くことなく、厚みが薄
く、連続性に優れた信頼性の高い内部電極を備えた積層
体を形成することが可能になり、これを焼成し、外部電
極を形成することにより、小型、大容量で、しかも内部
電極が卑金属（この実施形態ではニッケル）からなる経
済性に優れた積層セラミックコンデンサを得ることがで
きる。

【００８０】なお、上記実施形態では、金属粒子がニッ
ケル粒子である場合を例にとって説明したが、本願発明
は、金属粒子の種類に制約はなく、例えば、ニッケル、
パラジウム、銀、銅、白金、金のうち少なくとも１種の
金属、及び／又はそれらの少なくとも１種を含む合金か
らなる粒子を含む金属粒子スラリーから粗大金属粒子を
分離する場合にも適用することが可能であり、その場合
にも、上記実施形態と同様の効果を得ることが可能であ
る。なお、本願発明は、ニッケル粒子のように、磁性を
有し、凝集しやすい金属粒子を含むスラリーから粗大金
属粒子を除去する場合に、金属粒子の凝集を確実に防止
することができて、特に有意義である。

【００８１】本願発明は、さらにその他の点において
も、上記の実施形態に限定されるものではなく、フィル
ターを構成する濾材の種類や構造などの具体的な構成、
循環ラインの配設態様、分散剤や溶剤の具体的な種類な
どについても、発明の要旨の範囲内において、種々の応
用、変形を加えることが可能である。

【００８２】

【発明の効果】上述のように、本願発明（請求項１）の
粗大金属粒子の除去方法は、スラリーチャンバーから、
金属粒子スラリーを抜き出し、所定の経路で循環させて
再びスラリーチャンバーに戻す循環ラインを設け、金属
粒子スラリーを循環させながら、所定の目開きのフィル
ターにより濾過するようにしているので、金属粒子スラ
リー中の金属粒子の堆積・凝集を確実に防止し、フィル
ター（濾材）の閉塞による濾過速度の低下を招くことな
く、所定の目開きのフィルターに対応する粒径の金属粒
子を確実に通過させる一方、所定の粒径以上の粗大金属
粒子を確実に除去（濾去）することが可能になり、粗大
金属粒子を含まず、所望の粒径を有する微細な金属粒子
を含む金属粒子スラリーを得ることができる。

【００８３】また、請求項２の粗大金属粒子の除去方法
のように、金属粒子スラリーを循環させる場合におい
て、金属粒子スラリー中の金属粒子の堆積・凝集を防止
しつつ、フィルターにより濾過することにより、さらに
確実にフィルター（濾材）の閉塞による濾過速度の低下
を招くことなく、所定の目開きのフィルターに対応する
粒径の金属粒子を確実に通過させる一方、所定の粒径以
上の粗大金属粒子を確実に除去（濾去）することが可能
になり、粗大金属粒子を含まず、所望の粒径を有する微
細な金属粒子を含む金属粒子スラリーを得ることができ
る。

【００８４】また、請求項３の粗大金属粒子の除去方法
のように、金属粒子スラリー中の凝集した金属粒子を分
散させることが可能な剪断力が凝集金属粒子にかかるよ
うな条件で、金属粒子スラリーを循環させることによ
り、単に金属粒子スラリーを流動させるだけの場合より
もさらに確実に金属粒子を分散させることが可能にな
り、本願発明をより実効あらしめることができる。

【００８５】また、請求項４の粗大金属粒子の除去方法
のように、スラリーチャンバー又は循環ラインにおい
て、超音波分散処理を施し、金属粒子スラリー中の金属
粒子を分散させるようにした場合、金属粒子スラリー中
の金属粒子の堆積・凝集をさらに確実に防止することが
可能になり、本願発明をさらに実効あらしめることがで
きる。

【００８６】また、請求項５の粗大金属粒子の除去方法
のように、金属粒子スラリーをリザーバータンクからス
ラリーチャンバーに供給する場合において、リザーバー
タンクにて金属粒子スラリーを高速攪拌するようにした
場合、さらに確実に金属粒子スラリー中の金属粒子の堆
積・凝集を防止することが可能になる。

【００８７】また、請求項６の粗大金属粒子の除去方法
のように、金属粒子スラリーに分散剤を添加することに
より、金属粒子スラリー自体の分散性を向上させて、金
属粒子スラリー中の金属粒子の堆積・凝集を確実に防止
することが可能になり、本願発明をさらに実効あらしめ
ることができる。

【００８８】また、請求項７の粗大金属粒子の除去方法
のように、粗大金属粒子を分離した後の金属粒子スラリ
ーから金属粒子を回収するようにした場合、金属粒子を
秤量可能な形態にすることが可能になり、その後の秤量
工程で、液付着のない精密な秤量が可能となる。

【００８９】また、請求項８の粗大金属粒子の除去方法
のように、分散剤として低分子量分散剤を用い、粗大金
属粒子を分離した後の金属粒子スラリーを第二のフィル
ターで濾過することにより、粗大金属粒子が分離され、
かつ、分散剤溶液が分離された、所望の粒径の微細な金
属粒子を得ることができる。

【００９０】また、請求項９の粗大金属粒子の除去方法
のように、分散剤として、低沸点分散剤を用い、粗大金
属粒子を分離した後の金属粒子スラリーから、分散剤及
び溶剤を蒸留除去することにより、粗大金属粒子が分離
され、かつ、分散剤及び溶剤が分離された、所望の粒径
の微細な金属粒子を得ることができる。

【００９１】また、本願発明は、請求項１０の粗大金属
粒子の除去方法のように、粗大金属粒子の粒径が、金属
粒子スラリーを構成する金属粒子の主要部の平均粒径の
２倍以上である場合に特に効果的である。

【００９２】また、金属粒子スラリーを構成する金属粒
子の主要部の平均粒径が０．５μm以下（請求項１１）
である場合や、粗大金属粒子が粒径１μm以上（請求項
１２）である場合のような、従来の粗大金属粒子の除去
方法では、効率よく分離することが困難な条件下におい
ても、本願発明を適用することにより、粗大金属粒子を
効率よく分離して、所望の粒径の微細な金属粒子を得る
ことが可能になる。

【００９３】また、本願発明は、請求項１３の粗大金属
粒子の除去方法のように、金属粒子スラリーを構成する
金属粒子が、ニッケル、パラジウム、銀、銅、白金、金
のうち少なくとも１種の金属、及び／又はそれらの少な
くとも１種を含む合金からなる粒子である場合に適用す
ることが可能であり、かかる場合に、粗大金属粒子を効
率よく分離して、平均粒径が０．５μm以下の微細な金
属粒子を得ることが可能になる。

【００９４】また、ニッケルは磁性を有していることか
ら、ニッケル粒子を含む金属粒子スラリーは、金属粒子
の凝集が生じやすいが、請求項１４のように、本願発明
を適用することにより、スラリー中の金属粒子（ニッケ
ル粒子）の堆積・凝集を確実に防止することが可能にな
り、粗大ニッケル粒子が分離された、所望の粒径の微細
なニッケル粒子を得ることができる。

【００９５】また、本願発明（請求項１５）の粗大金属
粒子の除去装置は、金属粒子スラリーが供給されるスラ
リーチャンバーと、スラリーチャンバー内の金属粒子ス
ラリーを通過させ、金属粒子スラリーに含まれる粗大金
属粒子を濾去する、所定の目開きのフィルターと、スラ
リーチャンバー内の金属粒子スラリーを循環させるため
スラリー循環機構を備えており、この装置を用いること
により、本願発明の粗大金属粒子の除去方法を確実に実
施して、粗大金属粒子が確実に除去された、微細な金属
粒子を得ることができる。

【００９６】また、請求項１６の粗大金属粒子の除去装
置のように、金属粒子スラリーを循環させる場合におい
て、金属粒子スラリー中の金属粒子の堆積・凝集を防止
することができるようにした場合、請求項１〜１４の粗
大金属粒子の除去方法を確実に実施して、粗大金属粒子
が確実に除去された、微細な金属粒子スラリー又は金属
粒子を得ることが可能になる。

【００９７】また、請求項１７の粗大金属粒子の除去装
置のように、スラリー循環機構が、循環ラインに金属粒
子スラリーを循環させる場合に、金属粒子スラリー中の
凝集した金属粒子を分散させることが可能な剪断力を与
えることができるように構成されている場合、単に金属
粒子スラリーを流動させるだけの場合よりもさらに確実
に金属粒子を分散させることが可能になり、本願発明を
より実効あらしめることができる。

【００９８】また、請求項１８の粗大金属粒子の除去装
置のように、スラリーチャンバー又は循環ラインに、超
音波分散処理を施すための超音波印加手段を配設するこ
とにより、スラリーチャンバー又は循環ラインにて、超
音波分散処理を施し、金属粒子スラリー中の金属粒子を
より確実に分散させることが可能になり、金属粒子スラ
リー中の金属粒子の堆積・凝集をさらに確実に防止する
ことが可能になり、本願発明をより実効あらしめること
ができる。

【００９９】また、請求項１９の粗大金属粒子の除去装
置のように、金属粒子スラリーをリザーバータンクから
スラリーチャンバーに供給するようにしている場合にお
いて、リザーバータンクに高速撹拌機を配設することに
より、さらに確実に金属粒子スラリー中の金属粒子の堆
積・凝集を防止することが可能になり、本願発明をより
実効あらしめることができる。

【０１００】また、本願発明（請求項２０）の導電ペー
ストは、請求項１〜１４のいずれかに記載の方法により
粗大金属粒子を除去した金属粒子スラリーから得られる
金属粒子又は粗大金属粒子を分離して回収した金属粒子
を導電成分として用い、これを、有機ビヒクルと配合す
ることにより、微細な金属粒子を導電成分とする、セラ
ミックグリーンシート上に膜厚の薄い電極層を形成する
のに好適で、しかも、セラミックグリーンシートを損傷
することのない導電ペーストを得ることが可能になる。

【０１０１】また、本願発明（請求項２１）の積層セラ
ミック電子部品の製造方法は、請求項２０記載の導電ペ
ーストを用いて内部電極パターンを形成したセラミック
グリーンシートを積層、切断、焼成した後、外部電極を
形成するようにしているので、膜厚が薄く、しかも、粗
大粒子による突起のない内部電極を備えた、ショート率
が低く、小型、高性能の積層セラミック電子部品を効率
よく製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願発明の一実施形態にかかる粗大金属粒子の
除去装置の構成を示す図である。

【図２】本願発明の一実施形態にかかる粗大金属粒子の
除去装置の要部構成を示す図である。

【図３】本願発明の一実施形態にかかる粗大金属粒子の
除去装置を用いて粗大金属粒子を分離（濾過）している
状態を模式的に示す図である。

【図４】本願発明の他の実施形態にかかる粗大金属粒子
の除去装置の構成を示す図である。

【図５】セラミックグリーンシートを積層して製造され
る積層セラミックコンデンサの構造を示す断面図であ
る。

【図６】積層セラミックコンデンサの製造方法を示す図
である。

【図７】従来の粗大金属粒子の除去方法を示す図であ
る。

【図８】従来の粗大金属粒子の除去方法において、金属
粒子が沈降して凝集する状態を示す図である。

【符号の説明】

１ 積層体（セラミック素子） １ａ 未焼成の積層体 ２ 内部電極 ３ａ，３ｂ 外部電極 １１ 電極配設シート ２１ 外層用シート ３１ 金属粒子スラリー ３２ スラリーチャンバー ３３ フィルター ３４ 循環ライン ３５ 循環ポンプ ３６ スラリー循環機構 ３７ リザーバータンク ３８ 供給ライン ３９ 高速撹拌機 ４０ フィルター本体 ４１ 製品タンク ４２ 供給ポンプ ４３ 金属粒子 ４４ 超音波印加手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｇ 4/12 ３６１ Ｈ０１Ｇ 4/12 ３６４ ５Ｇ３０１ ３６４ Ｂ２８Ｂ 11/00 Ｚ Ｆターム(参考） 4D006 GA02 HA28 JA53Z JA57Z KA01 KA03 KA61 KA66 KA67 KA72 KB14 KB18 KB30 KD30 MA02 MA22 MB02 PA01 PA05 PB15 PB70 PC01 4D071 AA03 AB04 AB13 AB43 AB45 AB62 BA15 BB12 DA20 4D076 AA02 AA14 AA24 BA50 HA05 HA20 JA03 4G055 AA08 AC09 BA22 5E001 AB03 AC09 AH01 AH06 AH09 AJ01 5G301 DA03 DA05 DA06 DA10 DA11 DA12 DD01 DE03

Claims (21)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】金属粒子を主たる固形分として含有するス
   ラリー（以下「金属粒子スラリー」）をフィルターによ
   り濾過して、所定の粒径以上の粗大金属粒子を除去する
   方法において、 フィルターを通過させるべき金属粒子スラリーが供給さ
   れる、フィルター前室として機能するスラリーチャンバ
   ーから、金属粒子スラリーを抜き出し、所定の経路で循
   環させて再びスラリーチャンバーに戻す循環ラインを設
   け、 前記循環ラインに金属粒子スラリーを循環させつつ、ス
   ラリーチャンバー内の金属粒子スラリーを所定の目開き
   のフィルターにより濾過して、粗大金属粒子を除去する
   ことを特徴とする粗大金属粒子の除去方法。
2. 【請求項２】前記金属粒子スラリーを循環させる場合に
   おいて、金属粒子スラリー中の金属粒子の堆積・凝集を
   防止しつつ、フィルターにより濾過して、粗大金属粒子
   を除去することを特徴とする請求項１記載の粗大金属粒
   子の除去方法。
3. 【請求項３】前記循環ラインに金属粒子スラリーを循環
   させる場合において、金属粒子スラリー中の凝集した金
   属粒子を分散させることが可能な剪断力を与えることが
   できるような条件で、金属粒子スラリーを循環させるこ
   とを特徴とする請求項１又は２記載の粗大金属粒子の除
   去方法。
4. 【請求項４】スラリーチャンバー又は循環ラインにて、
   超音波分散処理を施し、金属粒子スラリー中の金属粒子
   を分散させるようにしたことを特徴とする請求項１〜３
   のいずれかに記載の粗大金属粒子の除去方法。
5. 【請求項５】金属粒子スラリーをリザーバータンクから
   スラリーチャンバーに供給する場合において、リザーバ
   ータンクにて高速攪拌を行うことを特徴とする請求項１
   〜４のいずれかに記載の粗大金属粒子の除去方法。
6. 【請求項６】金属粒子スラリーに分散剤を添加すること
   により、金属粒子スラリーの分散性を向上させるように
   したことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の
   粗大金属粒子の除去方法。
7. 【請求項７】粗大金属粒子を分離した後の金属粒子スラ
   リーから、金属粒子を回収することを特徴とする請求項
   １〜６のいずれかに記載の粗大金属粒子の除去方法。
8. 【請求項８】前記分散剤として低分子量分散剤を用い、
   粗大金属粒子を分離した後の金属粒子スラリーを第二の
   フィルターで濾過して固液を分離し、該第二のフィルタ
   ーにトラップされた金属粒子を回収することを特徴とす
   る請求項７記載の粗大金属粒子の除去方法。
9. 【請求項９】前記分散剤として、低沸点分散剤を用い、
   粗大金属粒子を分離した後の金属粒子スラリーから、分
   散剤及び溶剤を蒸留除去することにより、金属粒子を回
   収することを特徴とする請求項７記載の粗大金属粒子の
   除去方法。
10. 【請求項１０】前記粗大金属粒子の粒径が、前記金属粒
    子スラリーを構成する金属粒子の主要部の平均粒径の２
    倍以上であることを特徴とする請求項１〜９のいずれか
    に記載の粗大金属粒子の除去方法。
11. 【請求項１１】前記金属粒子スラリーを構成する金属粒
    子の主要部の平均粒径が０．５μm以下であることを特
    徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載の粗大金属粒
    子の除去方法。
12. 【請求項１２】前記粗大金属粒子が粒径１μm以上の金
    属粒子であることを特徴とする請求項１０記載の粗大金
    属粒子の除去方法。
13. 【請求項１３】前記金属粒子スラリーを構成する金属粒
    子が、ニッケル、パラジウム、銀、銅、白金、金のうち
    少なくとも１種の金属、及び／又はそれらの少なくとも
    １種を含む合金からなる粒子であることを特徴とする請
    求項１〜１２のいずれかに記載の粗大金属粒子の除去方
    法。
14. 【請求項１４】前記金属粒子スラリーを構成する金属粒
    子が、ニッケル粒子であることを特徴とする請求項１３
    記載の粗大金属粒子の除去方法。
15. 【請求項１５】金属粒子スラリーが供給されるスラリー
    チャンバーと、 前記スラリーチャンバー内の金属粒子スラリーと接し、
    金属粒子スラリーに含まれる粗大金属粒子を濾去しつ
    つ、金属粒子スラリーを通過させる、所定の目開きのフ
    ィルターと、 前記スラリーチャンバー内の金属粒子スラリーを循環さ
    せるため循環ラインを備えたスラリー循環機構とを具備
    することを特徴とする粗大金属粒子の除去装置。
16. 【請求項１６】前記金属粒子スラリーを循環させる場合
    において、金属粒子スラリー中の金属粒子の堆積・凝集
    を防止することができるように構成されていることを特
    徴とする請求項１５記載の粗大金属粒子の除去装置。
17. 【請求項１７】前記スラリー循環機構が、循環ラインに
    金属粒子スラリーを循環させる場合に、金属粒子スラリ
    ー中の凝集した金属粒子を分散させることが可能な剪断
    力を与えることができるように構成されていることを特
    徴とする請求項１５記載の粗大金属粒子の除去装置。
18. 【請求項１８】前記スラリーチャンバー又は循環ライン
    に、超音波分散処理を施すための超音波印加手段が配設
    されていることを特徴とする請求項１５〜１７のいずれ
    かに記載の粗大金属粒子の除去装置。
19. 【請求項１９】金属粒子スラリーをリザーバータンクか
    ら前記スラリーチャンバーに供給するようにしている場
    合において、リザーバータンクに高速攪拌を行うための
    高速撹拌機が配設されていることを特徴とする請求項１
    ５〜１８のいずれかに記載の粗大金属粒子の除去装置。
20. 【請求項２０】請求項１〜１４のいずれかに記載の方法
    により粗大金属粒子を分離した金属粒子スラリーから得
    られる金属粒子又は粗大金属粒子を分離して回収した金
    属粒子と、有機ビヒクルとを含有することを特徴とする
    導電ペースト。
21. 【請求項２１】請求項２０の導電ペーストを用いて内部
    電極パターンを形成したセラミックグリーンシートを積
    層、切断、焼成した後、外部電極を形成することを特徴
    とする積層セラミック電子部品の製造方法。