JP2002172402A - 銅条の圧延方法 - Google Patents
銅条の圧延方法Info
- Publication number
- JP2002172402A JP2002172402A JP2000369965A JP2000369965A JP2002172402A JP 2002172402 A JP2002172402 A JP 2002172402A JP 2000369965 A JP2000369965 A JP 2000369965A JP 2000369965 A JP2000369965 A JP 2000369965A JP 2002172402 A JP2002172402 A JP 2002172402A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- copper
- rolling
- strips
- strip
- copper strip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Metal Rolling (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ２条の銅条を圧延機に掛けて重合圧延して
も、２条の銅条の重合面に圧着による銅条同志の接合が
起こらない重合圧延加工を効率的に行える銅条の圧延方
法を提供する。 【解決手段】 銅条を圧延ロールにより薄く加工する銅
条の圧延方法において、圧延加工前に２条の銅条素材１
のそれぞれの表面に予め酸化膜（図示省略）を形成した
銅条２Ａ、２Ｂの２条を重ね合わせたのち、重ね合わせ
た２条重ね巻き銅条３を圧延ロール１３Ａ、１３Ｂに掛
けて、２条の銅条同志の粘着を防止しつつ同時に所定の
厚さに薄く圧延加工して圧延重合銅条４とし、つぎに圧
延重合銅条４を重ね合わせた酸化膜を境界面として分離
することにより、所定の厚さを有する圧延銅条４Ａ、４
Ｂを得ることを特徴とする銅条の圧延方法を提供する。
も、２条の銅条の重合面に圧着による銅条同志の接合が
起こらない重合圧延加工を効率的に行える銅条の圧延方
法を提供する。 【解決手段】 銅条を圧延ロールにより薄く加工する銅
条の圧延方法において、圧延加工前に２条の銅条素材１
のそれぞれの表面に予め酸化膜（図示省略）を形成した
銅条２Ａ、２Ｂの２条を重ね合わせたのち、重ね合わせ
た２条重ね巻き銅条３を圧延ロール１３Ａ、１３Ｂに掛
けて、２条の銅条同志の粘着を防止しつつ同時に所定の
厚さに薄く圧延加工して圧延重合銅条４とし、つぎに圧
延重合銅条４を重ね合わせた酸化膜を境界面として分離
することにより、所定の厚さを有する圧延銅条４Ａ、４
Ｂを得ることを特徴とする銅条の圧延方法を提供する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、銅条の圧延方法、
特に、銅または銅合金からなる銅条を圧延ロールに掛け
て薄く加工して電子部品などに使用される銅箔などを得
る銅条の圧延方法に関するものである。
特に、銅または銅合金からなる銅条を圧延ロールに掛け
て薄く加工して電子部品などに使用される銅箔などを得
る銅条の圧延方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般的に、電子部品用の銅条あるいは銅
箔の圧延は、圧延ロールなどの圧延機に掛けて所望の厚
さになるまで何回も圧延ロールを通して薄く加工してい
る。また、銅条あるいは銅箔の生産効率を上げるため
に、２条の銅素材を重ね合わせて圧延加工するいわゆる
重合圧延方法も提唱されている。
箔の圧延は、圧延ロールなどの圧延機に掛けて所望の厚
さになるまで何回も圧延ロールを通して薄く加工してい
る。また、銅条あるいは銅箔の生産効率を上げるため
に、２条の銅素材を重ね合わせて圧延加工するいわゆる
重合圧延方法も提唱されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、２条の銅条素
材を重ねて上下に配置した圧延ロールにより加圧しなが
ら２条の銅条素材を同時に圧延すると、表面の活性度の
大きい銅、特に純銅は表面の活性度は高いことから、圧
延ロールで圧し延ばされる重ね合わせた２条の銅条間に
は高い面圧と加工熱が発生するために、２条の銅条同志
が圧延加工により粘着を起こして圧接という現象が発生
し２条間に接合が起こる。２条の銅条間に接合が起こる
と、圧延後に２条の銅条を剥がそうとしても簡単に剥が
れないという問題が残り、更に、圧延加工した銅条の厚
みが薄いと、剥がすときに銅条の破断が発生するために
健全な銅条が得られないという問題があった。圧接現象
の傾向は、焼鈍した銅素材を重ね合わせて圧延加工した
場合、あるいは圧延加工度を高くした場合、２条の銅条
の粘着はより大きくなって圧接が顕著に起こるため、所
定の圧延加工をすることが出来ないという課題があっ
た。
材を重ねて上下に配置した圧延ロールにより加圧しなが
ら２条の銅条素材を同時に圧延すると、表面の活性度の
大きい銅、特に純銅は表面の活性度は高いことから、圧
延ロールで圧し延ばされる重ね合わせた２条の銅条間に
は高い面圧と加工熱が発生するために、２条の銅条同志
が圧延加工により粘着を起こして圧接という現象が発生
し２条間に接合が起こる。２条の銅条間に接合が起こる
と、圧延後に２条の銅条を剥がそうとしても簡単に剥が
れないという問題が残り、更に、圧延加工した銅条の厚
みが薄いと、剥がすときに銅条の破断が発生するために
健全な銅条が得られないという問題があった。圧接現象
の傾向は、焼鈍した銅素材を重ね合わせて圧延加工した
場合、あるいは圧延加工度を高くした場合、２条の銅条
の粘着はより大きくなって圧接が顕著に起こるため、所
定の圧延加工をすることが出来ないという課題があっ
た。
【０００４】一方、２条の銅条の粘着を防止するため
に、銅条間（重合面）に粘着防止油を塗り粘着を阻止し
ながら圧延する方法も考えられるが、粘着防止油を均一
に塗らないと圧延中に幅方向で長手方向の伸びが異なる
ために、安定した圧延加工が出来ない。また、圧延ロー
ルと接触しない２条の銅条の重合面は、圧延ロールの接
触面と異なり自由表面になる事から銅条の表面粗さが大
きくなるため、粗い銅条表面に粘着防止油が付着してい
まい、後工程における銅条表面の洗浄工程での脱脂効率
が悪くなるという問題があった。
に、銅条間（重合面）に粘着防止油を塗り粘着を阻止し
ながら圧延する方法も考えられるが、粘着防止油を均一
に塗らないと圧延中に幅方向で長手方向の伸びが異なる
ために、安定した圧延加工が出来ない。また、圧延ロー
ルと接触しない２条の銅条の重合面は、圧延ロールの接
触面と異なり自由表面になる事から銅条の表面粗さが大
きくなるため、粗い銅条表面に粘着防止油が付着してい
まい、後工程における銅条表面の洗浄工程での脱脂効率
が悪くなるという問題があった。
【０００５】それ故、本発明の目的は、２条の銅条を圧
延機に掛けて重合圧延しても、２条の銅条の重合面に圧
着による銅条同志の接合が起こらない銅条の圧延方法を
提供することにある。
延機に掛けて重合圧延しても、２条の銅条の重合面に圧
着による銅条同志の接合が起こらない銅条の圧延方法を
提供することにある。
【０００６】本発明の他の目的は、圧延機による２条の
銅条あるいは銅箔の重合圧延加工を効率的に行える銅条
の圧延方法を提供することにある。
銅条あるいは銅箔の重合圧延加工を効率的に行える銅条
の圧延方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の目的
を達成するため、銅条を圧延ロールにより薄く加工する
銅条の圧延方法において、圧延加工前に前記銅条の少な
くとも一方の少なくとも片面に予め酸化膜を形成するス
テップと、圧延加工前に前記銅条の２条を前記酸化膜を
中にして重ね合わせるステップと、前記重ね合わせた２
条の銅条を同時に圧延機に掛けて薄く圧延加工するステ
ップと、前記薄く圧延加工した２条の銅条を分離するス
テップとから構成されることを特徴とする銅条の圧延方
法を提供する。
を達成するため、銅条を圧延ロールにより薄く加工する
銅条の圧延方法において、圧延加工前に前記銅条の少な
くとも一方の少なくとも片面に予め酸化膜を形成するス
テップと、圧延加工前に前記銅条の２条を前記酸化膜を
中にして重ね合わせるステップと、前記重ね合わせた２
条の銅条を同時に圧延機に掛けて薄く圧延加工するステ
ップと、前記薄く圧延加工した２条の銅条を分離するス
テップとから構成されることを特徴とする銅条の圧延方
法を提供する。
【０００８】また、この発明は、上記の目的を達成する
ため、前記圧延加工前に銅条の表面に予め酸化膜を形成
するステップは、焼鈍炉で加熱された銅条を大気を噴射
する冷却ゾーンを通すことにより、前記銅条の少なくと
も片面に予め酸化膜を形成することを特徴とし、前記圧
延加工前に銅条の表面に予め酸化膜を形成するステップ
は、前記銅条を加熱焼鈍した後に通す前記冷却ゾーンに
おける前記大気噴射ノズルの大気導入量を調整すること
により、厚み１００ｎｍ以上の酸化膜を形成することを
特徴とし、前記重ね合わせた２条の銅条を圧延機に掛け
て薄く圧延加工するステップは、圧延加工前に前記銅条
の表面に予め形成した酸化層により、前記２条の銅条同
志の粘着を防止しつつ薄く圧延加工することを特徴と
し、前記薄く圧延加工した２条の銅条を分離するステッ
プは、前記２条の銅条の重ね合わせ面の酸化膜を境界面
として、分離することにより、圧延加工された所定の薄
い銅条を別々に得ることを特徴とする銅条の圧延方法を
提供する。
ため、前記圧延加工前に銅条の表面に予め酸化膜を形成
するステップは、焼鈍炉で加熱された銅条を大気を噴射
する冷却ゾーンを通すことにより、前記銅条の少なくと
も片面に予め酸化膜を形成することを特徴とし、前記圧
延加工前に銅条の表面に予め酸化膜を形成するステップ
は、前記銅条を加熱焼鈍した後に通す前記冷却ゾーンに
おける前記大気噴射ノズルの大気導入量を調整すること
により、厚み１００ｎｍ以上の酸化膜を形成することを
特徴とし、前記重ね合わせた２条の銅条を圧延機に掛け
て薄く圧延加工するステップは、圧延加工前に前記銅条
の表面に予め形成した酸化層により、前記２条の銅条同
志の粘着を防止しつつ薄く圧延加工することを特徴と
し、前記薄く圧延加工した２条の銅条を分離するステッ
プは、前記２条の銅条の重ね合わせ面の酸化膜を境界面
として、分離することにより、圧延加工された所定の薄
い銅条を別々に得ることを特徴とする銅条の圧延方法を
提供する。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施の形態によ
る銅条の圧延方法における重合圧延の要部を示す拡大説
明図である。図１において、圧延前の２条重ね巻き銅条
３を圧延機の圧延ロール１３Ａ、圧延ロール１３Ｂによ
り圧延加工して薄い銅条にする場合、圧延加工前に、予
め、銅条の表面に酸化膜（図示省略）を形成した銅条２
Ａ（酸化膜付き）、銅条２Ｂ（酸化膜付き）の２条を重
ね合わせた２条重ね巻き銅条３が準備される。この２条
重ね巻き銅条３を圧延ロール１３Ａ、圧延ロール１３Ｂ
に掛けることにより、重ね合わせた２条の銅条同志の粘
着を防止しながら、２条の銅条を同時に圧延加工して薄
い圧延重合銅条４（圧延重合後）を得るものである。図
１の圧延前の２条重ね巻き銅条３としては、例えば、無
酸素銅からなる厚み０．２ｍｍ．幅６００ｍｍの銅条が
用いられ、それを所定厚みになるまで繰り返し圧延加工
を行うことにより、圧延加工後は、例えば、０．０３ｍ
ｍの圧延重合銅条４を得ることができる。
る銅条の圧延方法における重合圧延の要部を示す拡大説
明図である。図１において、圧延前の２条重ね巻き銅条
３を圧延機の圧延ロール１３Ａ、圧延ロール１３Ｂによ
り圧延加工して薄い銅条にする場合、圧延加工前に、予
め、銅条の表面に酸化膜（図示省略）を形成した銅条２
Ａ（酸化膜付き）、銅条２Ｂ（酸化膜付き）の２条を重
ね合わせた２条重ね巻き銅条３が準備される。この２条
重ね巻き銅条３を圧延ロール１３Ａ、圧延ロール１３Ｂ
に掛けることにより、重ね合わせた２条の銅条同志の粘
着を防止しながら、２条の銅条を同時に圧延加工して薄
い圧延重合銅条４（圧延重合後）を得るものである。図
１の圧延前の２条重ね巻き銅条３としては、例えば、無
酸素銅からなる厚み０．２ｍｍ．幅６００ｍｍの銅条が
用いられ、それを所定厚みになるまで繰り返し圧延加工
を行うことにより、圧延加工後は、例えば、０．０３ｍ
ｍの圧延重合銅条４を得ることができる。
【００１０】図２は、本発明の実施の形態による銅条の
圧延方法における焼鈍炉による酸化膜の形成法を示す説
明図である。図２において、表面に酸化膜無しの銅条素
材１は、加熱炉５内で加熱され焼鈍されたのち、大気噴
射ノズル７Ａ、大気噴射ノズル７Ｂが設けられた冷却ゾ
ーン６を通すことにより、銅条素材１の表面に酸化膜
（図示省略）が形成され、酸化膜付き銅条２が得られ
る。銅条２の表面に形成する酸化膜の厚さは、素材銅条
１を加熱炉５により加熱焼鈍した後に通す冷却ゾーン６
における大気噴射ノズル７Ａ、７Ｂへのブロアーなどに
よって送られる大気８Ａ、大気８Ｂの導入量を調整する
ことにより、酸化膜の所定の厚みとして例えば１２０ｎ
ｍに形成することができる。酸化膜付き銅条２の好まし
い酸化層の厚さは１００ｎｍ以上である。
圧延方法における焼鈍炉による酸化膜の形成法を示す説
明図である。図２において、表面に酸化膜無しの銅条素
材１は、加熱炉５内で加熱され焼鈍されたのち、大気噴
射ノズル７Ａ、大気噴射ノズル７Ｂが設けられた冷却ゾ
ーン６を通すことにより、銅条素材１の表面に酸化膜
（図示省略）が形成され、酸化膜付き銅条２が得られ
る。銅条２の表面に形成する酸化膜の厚さは、素材銅条
１を加熱炉５により加熱焼鈍した後に通す冷却ゾーン６
における大気噴射ノズル７Ａ、７Ｂへのブロアーなどに
よって送られる大気８Ａ、大気８Ｂの導入量を調整する
ことにより、酸化膜の所定の厚みとして例えば１２０ｎ
ｍに形成することができる。酸化膜付き銅条２の好まし
い酸化層の厚さは１００ｎｍ以上である。
【００１１】図３は、本発明の実施の形態による銅条の
圧延方法において２条の酸化膜付き銅条を重ね合わせる
巻替機を示す説明図である。図３において、２条の酸化
膜付きの銅条２Ａ、銅条２Ｂは、銅条繰出機１０Ａ、銅
条繰出機１０Ｂより繰り出され、２条の銅条を重ね合わ
せた状態で重ね巻き銅条巻取機１１Ａに巻き取られて２
条重ね巻き銅条３が準備される。
圧延方法において２条の酸化膜付き銅条を重ね合わせる
巻替機を示す説明図である。図３において、２条の酸化
膜付きの銅条２Ａ、銅条２Ｂは、銅条繰出機１０Ａ、銅
条繰出機１０Ｂより繰り出され、２条の銅条を重ね合わ
せた状態で重ね巻き銅条巻取機１１Ａに巻き取られて２
条重ね巻き銅条３が準備される。
【００１２】図４は、本発明の実施の形態による銅条の
圧延方法における重合圧延の全体を示す説明図である。
図４において、予め酸化層を表面に形成した銅条の２条
を重ね合わせた圧延前の２条重ね巻き銅条３を、重ね巻
き銅条繰出機１２より繰り出して圧延ロール１３Ａ、圧
延ロール１３Ｂに掛けて同時に薄く圧延加工する。圧延
ロール１３Ａ、圧延ロール１３Ｂにより圧延加工された
２条重ね巻き銅条３は、圧延後、圧延重合銅条４として
圧延銅条巻取機１５に巻き取られる。２条重ね巻き銅条
３の圧延加工中は、圧延油１６Ａ、圧延油１６Ｂが圧延
ロール１３Ａ、圧延ロール１３Ｂと２条重ね巻き銅条３
との間に供給され、補助ロール１４Ａ、補助ロール１４
Ｂは圧延ロール１３Ａ、圧延ロール１３へのバックアッ
プロールとして作動する。
圧延方法における重合圧延の全体を示す説明図である。
図４において、予め酸化層を表面に形成した銅条の２条
を重ね合わせた圧延前の２条重ね巻き銅条３を、重ね巻
き銅条繰出機１２より繰り出して圧延ロール１３Ａ、圧
延ロール１３Ｂに掛けて同時に薄く圧延加工する。圧延
ロール１３Ａ、圧延ロール１３Ｂにより圧延加工された
２条重ね巻き銅条３は、圧延後、圧延重合銅条４として
圧延銅条巻取機１５に巻き取られる。２条重ね巻き銅条
３の圧延加工中は、圧延油１６Ａ、圧延油１６Ｂが圧延
ロール１３Ａ、圧延ロール１３Ｂと２条重ね巻き銅条３
との間に供給され、補助ロール１４Ａ、補助ロール１４
Ｂは圧延ロール１３Ａ、圧延ロール１３へのバックアッ
プロールとして作動する。
【００１３】図５は、本発明の実施の形態による銅条の
圧延方法における圧延重合銅条を分離する巻替機を示す
説明図である。図５において、薄く圧延加工した圧延後
の圧延重合銅条４は、２条の銅条４を分離するために、
重合銅条繰出機１０Ｃから繰り出し、薄く圧延加工され
た２条の銅条４の重ね合わせ面の酸化膜（図示省略）を
境界面として重合分離しながら圧延銅条４Ａ（重合分離
後）、および圧延銅条４Ｂ（重合分離後）として分離銅
条巻取機１１Ｂ、分離銅条巻取機１１Ｃに巻き取られ
る。
圧延方法における圧延重合銅条を分離する巻替機を示す
説明図である。図５において、薄く圧延加工した圧延後
の圧延重合銅条４は、２条の銅条４を分離するために、
重合銅条繰出機１０Ｃから繰り出し、薄く圧延加工され
た２条の銅条４の重ね合わせ面の酸化膜（図示省略）を
境界面として重合分離しながら圧延銅条４Ａ（重合分離
後）、および圧延銅条４Ｂ（重合分離後）として分離銅
条巻取機１１Ｂ、分離銅条巻取機１１Ｃに巻き取られ
る。
【００１４】図４、図１、図５に示した本発明の実施の
形態による銅条の圧延方法によると、例えば、無酸素銅
からなる０．２ｍｍ．幅６００ｍｍの圧延前の２条重ね
巻き銅条３（図１）は、厚み０．２ｍｍの銅条が所定の
厚みになるまで繰り返し圧延加工（図４）することによ
り、圧延加工後は、例えば、厚み０．０３ｍｍの圧延重
合銅条４（図１、図４）を得ることができる。この厚み
０．０３ｍｍの圧延重合銅条４を、重ね合わせ面の酸化
膜（図示省略）を境界面として重合分離することによ
り、厚み０．０１５ｍｍの圧延銅条４Ａ（重合分離
後）、および０．０１５ｍｍの圧延銅条４Ｂ（重合分離
後）を別々に得ることができる（図５）。
形態による銅条の圧延方法によると、例えば、無酸素銅
からなる０．２ｍｍ．幅６００ｍｍの圧延前の２条重ね
巻き銅条３（図１）は、厚み０．２ｍｍの銅条が所定の
厚みになるまで繰り返し圧延加工（図４）することによ
り、圧延加工後は、例えば、厚み０．０３ｍｍの圧延重
合銅条４（図１、図４）を得ることができる。この厚み
０．０３ｍｍの圧延重合銅条４を、重ね合わせ面の酸化
膜（図示省略）を境界面として重合分離することによ
り、厚み０．０１５ｍｍの圧延銅条４Ａ（重合分離
後）、および０．０１５ｍｍの圧延銅条４Ｂ（重合分離
後）を別々に得ることができる（図５）。
【００１５】特に、本発明の実施の形態による銅条の圧
延方法によると、活性度が高い２条の銅条の少なくとも
重ね合わせ面に圧延加工前に予め酸化膜が形成してあ
り、重ね合わせた２条の銅条の圧延加工時には、酸化膜
が銅条表面の活性度を下げて２条の銅条同志の粘着を防
止しつつ２条の銅条を同時に薄く圧延加工しているか
ら、表面の活性度が高い銅系素材であっても重ね合わせ
た２条の銅条間の粘着による接合現象は起こらない圧延
加工が実現できる。また、薄く圧延加工した後の圧延重
合銅条の分離は、２条の銅条の重ね合わせ面の酸化膜の
層を境界面として分離できるから、圧延重合銅条の分離
時の薄い銅条同志が剥がれ難いという事態は解消し、銅
条の厚みが極めて薄い場合であっても、２条の銅条を剥
がすときの破断も発生することはなく、圧延重合銅条を
所定の薄い２条の銅条に無理なく円滑に分離することが
実現される。
延方法によると、活性度が高い２条の銅条の少なくとも
重ね合わせ面に圧延加工前に予め酸化膜が形成してあ
り、重ね合わせた２条の銅条の圧延加工時には、酸化膜
が銅条表面の活性度を下げて２条の銅条同志の粘着を防
止しつつ２条の銅条を同時に薄く圧延加工しているか
ら、表面の活性度が高い銅系素材であっても重ね合わせ
た２条の銅条間の粘着による接合現象は起こらない圧延
加工が実現できる。また、薄く圧延加工した後の圧延重
合銅条の分離は、２条の銅条の重ね合わせ面の酸化膜の
層を境界面として分離できるから、圧延重合銅条の分離
時の薄い銅条同志が剥がれ難いという事態は解消し、銅
条の厚みが極めて薄い場合であっても、２条の銅条を剥
がすときの破断も発生することはなく、圧延重合銅条を
所定の薄い２条の銅条に無理なく円滑に分離することが
実現される。
【００１６】本発明の実施の形態において、圧延の対象
にできる銅条としては、例えば、無酸素銅、リン脱酸
銅、タフピッチ銅などの純銅のほか、主に半導体リード
フレーム材に使用される希薄銅合金、あるいは折出型銅
合金、プリント配線板用銅箔または銅合金箔などが挙げ
られ、さらにはその他の銅テープ製品などの圧延にも適
用することが可能である。また、厚みの異なる２条の銅
条の圧延にも適用できる。
にできる銅条としては、例えば、無酸素銅、リン脱酸
銅、タフピッチ銅などの純銅のほか、主に半導体リード
フレーム材に使用される希薄銅合金、あるいは折出型銅
合金、プリント配線板用銅箔または銅合金箔などが挙げ
られ、さらにはその他の銅テープ製品などの圧延にも適
用することが可能である。また、厚みの異なる２条の銅
条の圧延にも適用できる。
【００１７】本発明の実施の形態において、銅条の表面
に形成する酸化膜は、重ね合わせる２条の銅条の両面に
それぞれ形成するが、その場合、酸化膜は、銅条の両面
に形成してもよいし、あるいは少なくとも銅条を重ね合
わせる面の片面のみに形成してもよい。場合によって
は、重ね合わせる２条の銅条の方のみに形成し、他方の
銅条には酸化膜が無くても良い。
に形成する酸化膜は、重ね合わせる２条の銅条の両面に
それぞれ形成するが、その場合、酸化膜は、銅条の両面
に形成してもよいし、あるいは少なくとも銅条を重ね合
わせる面の片面のみに形成してもよい。場合によって
は、重ね合わせる２条の銅条の方のみに形成し、他方の
銅条には酸化膜が無くても良い。
【００１８】本発明の実施の形態において、銅条の表面
に形成する酸化膜の厚さは、大気噴射ノズルにおけるブ
ロアーなどによる大気導入量を調節してノズルからの大
気噴射量を調整することにより、膜厚を増減することが
できる。
に形成する酸化膜の厚さは、大気噴射ノズルにおけるブ
ロアーなどによる大気導入量を調節してノズルからの大
気噴射量を調整することにより、膜厚を増減することが
できる。
【００１９】本発明の実施の形態において、銅条の表面
に形成する酸化膜は、焼鈍炉で加熱された銅条を冷却ゾ
ーンを通すことにより形成する場合について述べたが、
銅条を巻き替える時に別の方法で銅条表面に設けること
も可能である。
に形成する酸化膜は、焼鈍炉で加熱された銅条を冷却ゾ
ーンを通すことにより形成する場合について述べたが、
銅条を巻き替える時に別の方法で銅条表面に設けること
も可能である。
【００２０】
【発明の効果】本発明の銅条の圧延方法によると、圧延
しようとする２条の銅条の重合面に予め酸化膜を形成す
ることにより銅条表面の活性度を下げた状態で２条の銅
条を圧延機に掛けて重合圧延しているから、２条の銅条
の重合面には圧着による銅条同志の接合が起こらない圧
延加工を施こすことができるという効果が得られる。ま
た、２条の銅条を同時に圧延機に掛けて圧延加工を施こ
しているから、１条毎に銅条の圧延を行う場合と比較し
て、圧延効率を飛躍的に向上させることができる。
しようとする２条の銅条の重合面に予め酸化膜を形成す
ることにより銅条表面の活性度を下げた状態で２条の銅
条を圧延機に掛けて重合圧延しているから、２条の銅条
の重合面には圧着による銅条同志の接合が起こらない圧
延加工を施こすことができるという効果が得られる。ま
た、２条の銅条を同時に圧延機に掛けて圧延加工を施こ
しているから、１条毎に銅条の圧延を行う場合と比較し
て、圧延効率を飛躍的に向上させることができる。
【図１】本発明の実施の形態による銅条の圧延方法にお
ける重合圧延の要部を示す拡大説明図である。
ける重合圧延の要部を示す拡大説明図である。
【図２】本発明の実施の形態による銅条の圧延方法にお
ける焼鈍炉による酸化膜の形成法を示す説明図である。
ける焼鈍炉による酸化膜の形成法を示す説明図である。
【図３】本発明の実施の形態による銅条の圧延方法にお
ける酸化膜付き銅条を重ね合わせる巻替機を示す説明図
である。
ける酸化膜付き銅条を重ね合わせる巻替機を示す説明図
である。
【図４】本発明の実施の形態による銅条の圧延方法にお
ける重合圧延の全体を示す説明図である。
ける重合圧延の全体を示す説明図である。
【図５】本発明の実施の形態による銅条の圧延方法にお
ける圧延重合銅条を分離する巻替機を示す説明図であ
る。
ける圧延重合銅条を分離する巻替機を示す説明図であ
る。
１ 素材銅条（酸化膜無し） ２ 酸化膜付き銅条 ２Ａ 銅条（酸化膜付き） ２Ｂ 銅条（酸化膜付き） ３ ２条重ね巻き銅条（圧延前） ４ 圧延重合銅条（圧延加工後） ４Ａ 圧延銅条（重合分離後） ４Ｂ 圧延銅条（重合分離後） ５ 加熱炉 ６ 冷却ゾーン ７Ａ 大気噴射ノズル ７Ｂ 大気噴射ノズル ８Ａ 大気 ８Ｂ 大気 １０Ａ 銅条繰出機 １０Ｂ 銅条繰出機 １０Ｃ 重合銅条繰出機 １１Ａ 重ね巻き銅条巻取機 １１Ｂ 分離銅条巻取機 １１Ｃ 分離銅条巻取機 １２ 重ね巻き銅条繰出機 １３Ａ 圧延ロール １３Ｂ 圧延ロール １４Ａ 補助ロール １４Ｂ 補助ロール １５ 圧延銅条巻取機 １６Ａ 圧延油 １６Ｂ 圧延油
Claims (5)
- 【請求項１】銅条を圧延ロールにより薄く加工する銅条
の圧延方法において、 圧延加工前に前記銅条の少なくとも一方の少なくとも片
面に予め酸化膜を形成するステップと、圧延加工前に前
記銅条の２条を前記酸化膜を中にして重ね合わせるステ
ップと、前記重ね合わせた２条の銅条を圧延機に掛けて
薄く圧延加工するステップと、前記薄く圧延加工した２
条の銅条を分離するステップとから構成されることを特
徴とする銅条の圧延方法。 - 【請求項２】前記圧延加工前に銅条の表面に予め酸化膜
を形成するステップは、焼鈍炉で加熱された銅条を大気
を噴射する冷却ゾーンを通すことにより、前記銅条の少
なくとも片面に予め酸化膜を形成することを特徴とする
請求項１に記載の銅条の圧延方法。 - 【請求項３】前記圧延加工前に銅条の表面に予め酸化膜
を形成するステップは、前記銅条を加熱焼鈍した後に通
す前記冷却ゾーンにおける前記大気噴射ノズルの大気導
入量を調整することにより、厚み１００ｎｍ以上の酸化
膜を形成することを特徴とする請求項２に記載の銅条の
圧延方法。 - 【請求項４】前記重ね合わせた２条の銅条を圧延機に掛
けて薄く圧延加工するステップは、圧延加工前に前記銅
条の表面に予め形成した酸化層により、前記２条の銅条
同志の粘着を防止しつつ圧延加工することを特徴とする
請求項１に記載の銅条の圧延方法。 - 【請求項５】前記薄く圧延加工した２条の銅条を分離す
るステップは、前記２条の銅条の重ね合わせ面の酸化膜
を境界面として、分離することにより、圧延加工された
所定の薄い銅条を別々に得ることを特徴とする請求項１
に記載の銅条の圧延方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000369965A JP2002172402A (ja) | 2000-12-05 | 2000-12-05 | 銅条の圧延方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000369965A JP2002172402A (ja) | 2000-12-05 | 2000-12-05 | 銅条の圧延方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002172402A true JP2002172402A (ja) | 2002-06-18 |
Family
ID=18839923
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000369965A Pending JP2002172402A (ja) | 2000-12-05 | 2000-12-05 | 銅条の圧延方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002172402A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105458006A (zh) * | 2016-01-06 | 2016-04-06 | 安徽众源新材料股份有限公司 | 一种铜箔复合叠轧装置及其加工工艺 |
| CN107282686A (zh) * | 2017-06-28 | 2017-10-24 | 富威科技（吴江）有限公司 | 一种短流程半硬态紫铜带的生产工艺 |
| CN113695389A (zh) * | 2021-09-01 | 2021-11-26 | 太原理工大学 | 一种轧制复合极薄带的单边塔形辊系异步轧机及液压系统 |
| CN114682643A (zh) * | 2022-04-06 | 2022-07-01 | 安徽众源新材料股份有限公司 | 一种超薄铜带生产工艺 |
| WO2022147922A1 (zh) * | 2021-01-08 | 2022-07-14 | 深圳技术大学 | 梯度纳米结构金属材料及其制备方法 |
-
2000
- 2000-12-05 JP JP2000369965A patent/JP2002172402A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105458006A (zh) * | 2016-01-06 | 2016-04-06 | 安徽众源新材料股份有限公司 | 一种铜箔复合叠轧装置及其加工工艺 |
| CN107282686A (zh) * | 2017-06-28 | 2017-10-24 | 富威科技（吴江）有限公司 | 一种短流程半硬态紫铜带的生产工艺 |
| WO2022147922A1 (zh) * | 2021-01-08 | 2022-07-14 | 深圳技术大学 | 梯度纳米结构金属材料及其制备方法 |
| CN113695389A (zh) * | 2021-09-01 | 2021-11-26 | 太原理工大学 | 一种轧制复合极薄带的单边塔形辊系异步轧机及液压系统 |
| CN114682643A (zh) * | 2022-04-06 | 2022-07-01 | 安徽众源新材料股份有限公司 | 一种超薄铜带生产工艺 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2010055922A (ja) | 膜電極接合体の製造装置及び製造方法 | |
| JP2985448B2 (ja) | セラミックグリーンシートの積層方法 | |
| JP4084385B2 (ja) | 積層電子部品用の積層体ユニットの製造方法 | |
| JP2002172402A (ja) | 銅条の圧延方法 | |
| JP4492138B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
| JP2004243360A (ja) | 金属クラッド材の製造方法 | |
| JP2008030384A (ja) | 複数組の金属箔／樹脂フィルム構造の長尺状積層体の製造法 | |
| JPH11354110A (ja) | 密閉型電池の電極板およびその製造方法 | |
| JP2894218B2 (ja) | フレキシブル配線の製造方法及び製造装置 | |
| JP5016914B2 (ja) | 積層板の製造方法 | |
| JPH08222474A (ja) | セラミック電子部品の製造方法 | |
| JP4881097B2 (ja) | 長尺状銅箔／樹脂フィルム積層体の製造方法 | |
| JP3331884B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
| JP3277946B2 (ja) | 金属リチウム付集電体及びその製造方法 | |
| JP3105954B2 (ja) | フラットケーブルの製造方法 | |
| JP2619954B2 (ja) | 幅広多層複合帯材の製造方法 | |
| JP2002361744A (ja) | 耐熱性フレキシブル積層板の製造方法 | |
| JPH0450961Y2 (ja) | ||
| JP4142686B2 (ja) | 積層電子部品用の積層体ユニットの製造方法 | |
| JP2001332442A (ja) | フィルムコンデンサおよびその製造方法 | |
| JP2003019750A (ja) | 樹脂付き積層金属帯の製造方法および製造装置 | |
| JP2001087872A (ja) | 積層金属板の製造方法 | |
| JP2951552B2 (ja) | フラット電気配線材の製造方法および該製造方法に用いる金型 | |
| JP3384130B2 (ja) | 軟質アルミニウム箔と合成樹脂製フィルムとのラミネート法 | |
| TWI329564B (ja) |