JP2002168737A - 通気処理器具及び通気処理機構機構並びにパージアンドトラップシステム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 通気処理機構の流路構成の簡略化を図る。 【解決手段】 スパージボトル１内にサンプル液を導入
した後（Ａ）、バルブ２７により流路７を流路８に接続
し、バルブ１５により流路１３を流路１４に接続し、パ
ージガス供給機構９からボトル１内にパージガスを供給
してサンプル液に通気処理を施す。通気処理後のパージ
ガスを流路１３、バルブ１５、流路１４及びサンプルガ
ス出口１７を介して回収する（Ｂ）。バルブ２７を切り
換えて流路７を流路２４に接続し、バルブ１５を切り換
えて流路１３を流路１８に接続し、清浄ガス供給機構１
９から流路１８、バルブ１５及び流路１３を介してボト
ル１内に清浄ガスを供給してボトル１内を加圧し、サン
プル液を流路７、バルブ２７及び液排出口２５を介して
排出する（Ｃ）。ボトル１にサンプル液排出用の流路及
びバルブを設けなくてもボトル１からサンプル液を排出
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、サンプル液に通気
処理を施すための通気処理器具及びそれを用いた通気処
理機構、並びに通気処理機構を備え、通気処理機構から
のサンプルガス中の目的成分を捕集及び濃縮するパージ
アンドトラップシステムに関するものである。通気処理
器具、通気処理機構及びパージアンドトラップシステム
は、例えば上水道水中に含まれるカビ臭原因物質の測定
など、水中のＶＯＣ（揮発性有機物質）の分析に用いら
れる。

【０００２】

【従来の技術】水中のＶＯＣを測定するためには、スパ
ージボトルにサンプル液を収容し、ヘリウムガスや窒素
ガスなどの不活性ガス（パージガス）によってサンプル
液に対してバブリング（通気処理）を行ない、水中に溶
存するＶＯＣをパージガス中に回収する方法が用いられ
ている。

【０００３】図７は従来の通気処理機構を示す流路図で
ある。通気処理を行なうためにサンプル液を収容するス
パージボトル２が設けられている。スパージボトル２の
側面には、サンプル液を供給するためのサンプル液供給
機構３からのサンプル液をスパージボトル２内へ導入す
るためのサンプル液導入流路５が接続されている。スパ
ージボトル２の底部付近に、パージガスをスパージボト
ル２内に導くためのパージガス流路７の一端が設けられ
ている。パージガス流路７の他端は、開閉バルブ１１及
び流路８を介して、パージガスを供給するためのパージ
ガス供給機構９に接続されている。

【０００４】スパージボトル２内の上部に、スパージボ
トル２内からサンプルガスを回収するためのサンプルガ
ス流路１３の一端が設けられている。サンプルガス流路
１３の一端は、スパージボトル２内に収容されるサンプ
ル液に接触しない位置に設けられている。サンプルガス
流路１３の他端は、三方電磁バルブ１５及び流路１４を
介してサンプルガス出口１７に接続されている。

【０００５】バルブ１５には、流路１８を介して、清浄
ガスを供給するための清浄ガス供給機構１９も接続され
ており、バルブ１５はサンプルガス流路１３を流路１４
又は流路１８に切り換えて接続する。スパージボトル２
の底部には、サンプル液を排出するためのサンプル液排
出流路２１が接続されている。サンプル液排出流路２１
の他端は開閉バルブ２３を介して液排出口２５に接続さ
れている。

【０００６】従来の通気処理機構において、通気処理を
行なう際、バルブ１１及び２３を閉じ、バルブ１５によ
りスパージボトル２からのサンプルガス流路１３を流路
１４に接続し、サンプル液供給機構３を作動させて、サ
ンプル液導入流路５からスパージボトル２内にサンプル
液を導入する。所定量のサンプル液をスパージボトル２
内に導入した後、バルブ１１を開いて、パージガス供給
機構９により流路８及びパージガス流路７を介してスパ
ージボトル２の底部付近にパージガスを供給する。この
とき、サンプル液導入流路５のサンプル液供給機構３側
端は、サンプル液供給機構３により閉じられた状態にな
っている。通気処理後のパージガスは、サンプルガス流
路１３、バルブ１５及び流路１４を介してサンプルガス
出口１７へ導かれる。

【０００７】通気処理が完了した後、バルブ１１を閉じ
てパージガスの供給を停止し、バルブ２３を開き、バル
ブ１５を切り換えて、スパージボトル２からのサンプル
ガス流路１３を流路１８に接続する。清浄ガス供給機構
１９から流路１８、バルブ１５及びサンプルガス流路１
３を介して清浄ガスをスパージボトル２内に供給してス
パージボトル２内を加圧し、スパージボトル２内に収容
されたサンプル液をサンプル液排出流路２１及びバルブ
２３を介して液排出口２５から排出する。

【０００８】図７に示す通気処理機構のサンプルガス出
口１７から得られるサンプルガス中の測定対象成分であ
るＶＯＣ濃度が低い場合、吸着剤が充填されてサンプル
ガス中のＶＯＣを捕集した後、脱離させうる濃縮カラム
と、流路切換え機構を通気処理機構に接続し、ＶＯＣを
捕集及び濃縮する。ＶＯＣを捕集及び濃縮するとき、流
路切換え機構によりサンプルガス出口１７を濃縮カラム
の一端に接続する。所定量のサンプルガスを濃縮カラム
へ導入した後、流路切換え機構を切り換えて濃縮カラム
の一端を分析計へつながる流路に接続し、濃縮カラムの
他端をキャリアガス供給機構へつながる流路に接続す
る。その後、濃縮カラムの吸着剤に吸着したＶＯＣを脱
離させ、キャリアガスとともに分析計へ導入する。本明
細書では、通気処理機構、濃縮カラム及び流路切換え機
構により構成される機構をパージアンドトラップシステ
ムという。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】従来の通気処理機構で
は、スパージボトル２にサンプル液を導入及び排出し、
サンプル液に通気処理を施すためにはサンプル液導入流
路５、パージガス流路７、サンプルガス流路１３及びサ
ンプル液排出流路２１の４ラインが必要であり、パージ
ガス流路７、サンプルガス流路１３、サンプル液排出流
路２１にはバルブ１１、２３、２５が必要なので、配管
及びバルブが多く、流路構成が複雑であった。さらに、
そのような通気処理機構を用いたパージアンドトラップ
システムの流路構成も複雑であった。本発明は、通気処
理器具、通気処理機構及びパージアンドトラップシステ
ムの流路構成の簡略化を図ることを目的とするものであ
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明にかかる通気処理
機器具は、サンプル液を一時的に収容するスパージボト
ルと、一端がスパージボトルに接続され、他端がサンプ
ル液を供給するためのサンプル液供給機構に接続される
サンプル液導入流路と、スパージボトルの上部で、スパ
ージボトル内に収容されるサンプル液に接触しない位置
に一端が設けられたサンプルガス流路と、スパージボト
ル内の底部付近に一端が設けられたパージガス流路と、
スパージボトル外でパージガス流路の他端に接続され、
パージガス流路を液排出口又はパージガスを供給するた
めのパージガス供給機構に切り換えて接続する第１の流
路切換え機構と、スパージボトル外でサンプルガス流路
の他端に接続され、サンプルガス流路をサンプルガス出
口又は清浄ガスを供給するための清浄ガス供給機構に切
り換えて接続する第２の流路切換え機構とを備えたもの
である。

【００１１】本発明にかかる通気処理機構は、上記通気
処理器具と、パージガス供給機構と、清浄ガス供給機構
とを備えたものである。

【００１２】本発明にかかるパージアンドトラップシス
テムの第１の態様は、上記通気処理機構と、吸着剤が充
填され、サンプルガス中の目的成分を捕集した後、脱離
させうる濃縮カラムと、スパージボトル外でサンプルガ
ス流路の途中に設けられ、サンプルガス流路間に濃縮カ
ラムを接続し、キャリアガスを供給するためのキャリア
ガス流路と分析計へつながる分析流路を接続する第１の
流路接続状態と、サンプルガス流路間を直接接続し、濃
縮カラムを介してキャリアガス流路と分析流路を接続す
る第２の流路接続状態との間で切り換えられる第３の流
路切換え機構とを備えたものである。

【００１３】本発明にかかるパージアンドトラップシス
テムの第２の態様は、上記通気処理機構と、スパージボ
トル外でサンプル流路の途中に設けられ、吸着剤が充填
され、サンプルガス中の目的成分を捕集した後、脱離さ
せうる濃縮カラムと、サンプルガス流路のスパージボト
ル、濃縮カラム間に設けられ、スパージボトルを濃縮カ
ラムに接続し、キャリアガスを供給するためのキャリア
ガス流路と分析計へつながる分析流路を接続する第１の
流路接続状態と、スパージボトルを濃縮カラムに接続せ
ず、濃縮カラムを介してキャリアガス流路と分析流路を
接続する第２の流路接続状態との間で切り換えられる第
３の流路切換え機構とを備えたものである。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１は、本発明にかかる通気処理
器具及び通気処理機構の一例の流路構成及び動作を示す
流路図であり、（Ａ）はサンプル液導入時、（Ｂ）は通
気処理時、（Ｃ）はサンプル液排出時を示す。スパージ
ボトル１にサンプル液供給機構３からのサンプル液をス
パージボトル１内へ導入するためのサンプル液導入流路
５が接続されている。スパージボトル１の底部付近にパ
ージガス流路７の一端が設けられており、パージガス流
路７の他端は第１の流路切換え機構２７に接続されてい
る。第１の流路切換え機構２７にはパージガス供給機構
９につながる流路８及び液排出口２５につながる流路２
４も接続されており、第１の流路切換え機構２７はパー
ジガス流路７を流路８又は流路２４に切り換えて接続す
る。

【００１５】スパージボトル１内のサンプル液に接触し
ない位置にサンプルガス流路１３の一端が設けられてい
る。サンプルガス流路１３の他端は第２の流路切換え機
構１５に接続されている。第２の流路切換え機構１５に
はサンプルガス出口１７につながる流路１４及び清浄ガ
ス供給機構１９につながる流路１８も接続されており、
第２の流路切換え機構１５はサンプルガス流路１３を流
路１４又は流路１８に切り換えて接続する。本発明にか
かる通気処理器具は、スパージボトル１、サンプル液導
入流路５、パージガス流路７、サンプル流路１３、第１
の流路切換え機構２７及び第２の流路切換え機構１５に
より構成される。

【００１６】図１を参照して本発明にかかる通気処理器
具及び通気処理機構の動作の一例を説明する。 （Ａ）第１の流路切換え機構２７によりスパージボトル
１からのパージガス流路７を流路２４に接続し、第２の
流路切換え機構１５によりスパージボトル１からのサン
プルガス流路１３を流路１４に接続し、サンプル液供給
機構３を作動させて、サンプル液導入流路５からスパー
ジボトル１内にサンプル液を導入する。ここで、第１の
流路切換え機構２７及び第２の流路切換え機構１５の流
路接続状態は上記に限定されるものではない。ただし、
サンプル液をスパージボトル１内に導入する際に、スパ
ージボトル１内の気体が排出されるように第１の流路切
換え機構２７及び第２の流路切換え機構１５の流路接続
状態を制御する必要がある。又は、スパージボトル１内
の気体排出用のドレインバルブをスパージボトル１、パ
ージガス流路７又はサンプルガス流路１３のいずれかに
設けてもよい。

【００１７】（Ｂ）所定量のサンプル液をスパージボト
ル１内に導入した後、第１の流路切換え機構２７を切り
換えて、スパージボトル１からのパージガス流路７を流
路８に接続し、パージガス供給機構９により流路８、第
１の流路切換え機構２７及びパージガス流路７を介して
スパージボトル１の底部付近にパージガスを供給し、ス
パージボトル１に収容されたサンプル液に通気処理を施
す。このとき、サンプル液導入流路５のサンプル液供給
機構３側端はサンプル液供給機構３により閉じられた状
態になっている。通気処理後のパージガスは、サンプル
ガス流路１３、第２の流路切換え機構１５及び流路１４
を介してサンプルガス出口１７へ導かれる。

【００１８】（Ｃ）所定量のパージガスをスパージボト
ル１内に供給した後、第１の流路切換え機構２７を切り
換えてスパージボトル１からのパージガス流路７を流路
２４に接続してパージガスの供給を停止し、通気処理を
完了する。第２の流路切換え機構１５を切り換えて、ス
パージボトル１からのサンプルガス流路１３を流路１８
に接続する。清浄ガス供給機構１９から流路１８、第２
の流路切換え機構１５及びサンプルガス流路１３を介し
て清浄ガスをスパージボトル１内に供給してスパージボ
トル１内を加圧し、スパージボトル１内に収容されたサ
ンプル液をパージガス流路７、第１の流路切換え機構２
７及び流路２４を介して液排出口２５から排出する。

【００１９】本発明にかかる通気処理機構では、図７に
示す従来の通気処理機構と比べてスパージボトル１にサ
ンプル液排出流路２１及びバルブ２３を設ける必要がな
く、流路構成を簡単にすることができる。さらに、流路
構成が簡単になることにより、流路内及びスパージボト
ル内汚染時の洗浄や部品交換が容易になる。

【００２０】図２及び図３は本発明にかかるパージアン
ドトラップシステムの第１の態様の流路構成及び動作を
示す流路図である。図２（Ａ）はサンプル液導入時、図
２（Ｂ）は通気処理及び目的成分捕集時、図３（Ｃ）は
目的成分脱離時、図３（Ｄ）は濃縮カラム洗浄動作（バ
ックフラッシュ動作という）及びサンプル液排出時を示
す。図１に示す通気処理機構が備えられている。吸着剤
が充填され、サンプルガス中の目的成分を捕集した後、
脱離させうる濃縮カラム３１が設けられている。サンプ
ルガス流路１３に相当するサンプルガス流路１３ａ，１
３ｂ間に第３の流路切換え機構２９が設けられている。
第３の流路切換え機構２９は、サンプルガス流路１３
ａ，１３ｂ間に濃縮カラム３１を接続し、キャリアガス
を供給するためのキャリアガス流路３３と分析計へつな
がる分析流路３５を接続する第１の流路接続状態と、サ
ンプルガス流路１３ａ，１３ｂ間を直接接続し、濃縮カ
ラム３１を介してキャリアガス流路３３と分析流路３５
を接続する第２の流路接続状態との間で切り換えられ
る。

【００２１】図２及び図３を参照して本発明にかかるパ
ージアンドトラップシステムの第１の態様の動作を説明
する。 （Ａ）第３の流路切換え機構２９を第２の流路接続状態
にして、スパージボトル１につながるサンプルガス流路
１３ａ、第２の流路切換え機構１５につながるサンプル
ガス流路１３ｂ間を直接接続し、濃縮カラム３１を介し
てキャリアガス流路３３と分析流路３５を接続する。キ
ャリアガス流路３３にはキャリアガスが供給されてお
り、キャリアガスはキャリアガス流路３３から第３の流
路切換え機構２９、濃縮カラム３１、第３の流路切換え
機構２９の他のポート及び分析流路３５を介して分析計
へ供給されている。第１の流路切換え機構２７によりス
パージボトル１からのパージガス流路７を流路２４に接
続し、第２の流路切換え機構１５により第３の流路切換
え機構２９につながるサンプルガス流路１３ｂを流路１
４に接続する。サンプル液供給機構３を作動させて、サ
ンプル液導入流路５からスパージボトル１内にサンプル
液を導入する。

【００２２】（Ｂ）所定量のサンプル液をスパージボト
ル１内に導入した後、第３の流路切換え機構２９を切り
換えて第１の流路接続状態にして、サンプルガス流路１
３ａ，１３ｂ間に濃縮カラム３１を接続し、キャリアガ
ス流路３３と分析流路３５を接続する。第１の流路切換
え機構２７を切り換えて、スパージボトル１からのパー
ジガス流路７を流路８に接続する。パージガス供給機構
９により流路８、第１の流路切換え機構２７及びパージ
ガス流路７を介してスパージボトル１の底部付近にパー
ジガスを供給し、スパージボトル１に収容されたサンプ
ル液に通気処理を施す。このとき、サンプル液導入流路
５のサンプル液供給機構３側端は、サンプル液供給機構
３により閉じられた状態になっている。通気処理後のパ
ージガスは、サンプルガス流路１３ａから第３の流路切
換え機構２９を介して濃縮カラム３１に導かれる。濃縮
カラム３１はサンプルガス中の目的成分を捕集する。濃
縮カラム３１を通過したサンプルガスは、第３の流路切
換え機構２９、サンプルガス流路１３ｂ、第２の流路切
換え機構１５及び流路１４を介してサンプルガス出口１
７へ導かれる。

【００２３】（Ｃ）所定量のパージガスをスパージボト
ル１内に供給した後、第１の流路切換え機構２７を切り
換えてパージガス流路７を流路２４に接続してパージガ
スの供給を停止し、通気処理を完了する。第３の流路切
換え機構２９を切り換えて第２の流路接続状態にして、
サンプルガス流路１３ａ，１３ｂ間を直接接続し、濃縮
カラム３１を介してキャリアガス流路３３と分析流路３
５を接続する。濃縮カラム３１の吸着剤に吸着した目的
成分を脱離させ、キャリアガス流路３３から濃縮カラム
３１にキャリアガスを供給し、脱離させた目的成分をキ
ャリアガスとともに分析流路３５を経て分析計に導入す
る。

【００２４】（Ｄ）濃縮カラム３１に所定量のキャリア
ガスを供給した後、第３の流路切換え機構２９を切り換
えて第１の流路接続状態にして、サンプルガス流路１３
ａ，１３ｂ間に濃縮カラム３１を接続し、キャリアガス
流路３３と分析流路３５を接続する。第２の流路切換え
機構１５を切り換えて、サンプルガス流路１３ｂを流路
１８に接続する。清浄ガス供給機構１９から流路１８、
第２の流路切換え機構１５、サンプルガス流路１３ｂ及
び第３の流路切換え機構２９を介して清浄ガスを濃縮カ
ラム３１に供給し、濃縮カラム３１の洗浄を行なう（バ
ックフラッシュ動作）。さらに、濃縮カラム３１を通過
した清浄ガスを第３の流路切換え機構２９及びサンプル
ガス流路１３ａを介してスパージボトル１内に供給して
スパージボトル１内を加圧し、スパージボトル１内に収
容されたサンプル液をパージガス流路７、第１の流路切
換え機構２７及び流路２４を介して液排出口２５から排
出する。

【００２５】本発明にかかるパージアンドトラップシス
テムでは、本発明にかかる通気処理器具及び通気処理機
構を用いることにより、流路構成が簡単になる。さら
に、パージアンドトラップシステムでは濃縮カラムを清
浄ガスにより洗浄するバックフラッシュ動作が必要であ
るが、本発明にかかるパージアンドトラップシステムで
は、バックフラッシュ動作時の清浄ガス圧力を利用して
スパージボトル内のサンプル液の排出を行なうので、バ
ックフラッシュ動作とサンプル液排出動作を同時に行な
うことができ、これらの動作に要する処理時間を短縮す
ることができる。

【００２６】図４及び図５は本発明にかかるパージアン
ドトラップシステムの第２の態様の流路構成及び動作を
示す流路図である。図４（Ａ）はサンプル液導入時、図
４（Ｂ）は通気処理及び目的成分捕集時、図５（Ｃ）は
目的成分脱離時、図５（Ｄ）は濃縮カラム洗浄動作及び
サンプル液排出時を示す。図１に示す通気処理機構が備
えられている。サンプルガス流路１３に相当するサンプ
ルガス流路１３ｃ，１３ｄ，１３ｅが設けられ、サンプ
ルガス流路１３ｃ，１３ｄ間に第３の流路切換え機構２
９が設けられており、サンプルガス流路１３ｄ，１３ｅ
間に濃縮カラム３１が設けられている。流路１４に相当
する流路１４ａ，１４ｂが設けられており、流路１４
ａ，１４ｂ間に第３の流路切換え機構２９が設けられて
いる。第３の流路切換え機構２９は、スパージボトル１
を濃縮カラム３１に接続し、キャリアガス流路３３と分
析流路３５を接続する第１の流路接続状態と、スパージ
ボトル１を濃縮カラム３１に接続せず、濃縮カラム３１
を介してキャリアガス流路３３と分析流路３５を接続す
る第２の流路接続状態との間で切り換えられる。

【００２７】図４及び図５を参照して本発明にかかるパ
ージアンドトラップシステムの第２の態様の動作を説明
する。 （Ａ）第２の流路切換え機構１５により、サンプルガス
流路１３ｅを流路１４ａに接続する。第３の流路切換え
機構２９を第２の流路接続状態にして、サンプルガス流
路１３ｃと流路１４ｂを接続し、流路１４ａ、第２の流
路切換え機構１５、サンプルガス流路１３ｅ、濃縮カラ
ム３１及びサンプルガス流路１３ｄを介してキャリアガ
ス流路３３と分析流路３５を接続する。キャリアガス流
路３３にはキャリアガスが供給されており、キャリアガ
スはキャリアガス流路３３から第３の流路切換え機構２
９、流路１４ａ、第２の流路切換え機構１５、サンプル
ガス流路１３ｅ、濃縮カラム３１及びサンプルガス流路
１３ｄ、第３の流路切換え機構２９の他のポート及び分
析流路３５を介して分析計へ供給されている。第１の流
路切換え機構２７によりパージガス流路７を流路２４に
接続する。サンプル液供給機構３を作動させて、サンプ
ル液導入流路５からスパージボトル１内にサンプル液を
導入する。

【００２８】（Ｂ）所定量のサンプル液をスパージボト
ル１内に導入した後、第３の流路切換え機構２９を切り
換えて第１の流路接続状態にして、サンプルガス流路１
３ｃと１３ｄを接続し、キャリアガス流路３３と分析流
路３５を接続し、流路１４ａと１４ｂを接続する。第１
の流路切換え機構２７を切り換えて、パージガス流路７
を流路８に接続する。パージガス供給機構９により流路
８、第１の流路切換え機構２７及びパージガス流路７を
介してスパージボトル１の底部付近にパージガスを供給
し、スパージボトル１に収容されたサンプル液に通気処
理を施す。このとき、サンプル液導入流路５のサンプル
液供給機構３側端は、サンプル液供給機構３により閉じ
られた状態になっている。通気処理後のパージガスは、
サンプルガス流路１３ｃから第３の流路切換え機構２９
及びサンプルガス流路１３ｄを介して濃縮カラム３１に
導かれる。濃縮カラム３１はサンプルガス中の目的成分
を捕集する。濃縮カラム３１を通過したサンプルガス
は、サンプルガス流路１３ｅ、第２の流路切換え機構１
５、流路１４ａ、第３の流路切換え機構２９及び流路１
４ｂを介してサンプルガス出口１７へ導かれる。

【００２９】（Ｃ）所定量のパージガスをスパージボト
ル１内に供給した後、第１の流路切換え機構２７を切り
換えてパージガス流路７を流路２４に接続してパージガ
スの供給を停止し、通気処理を完了する。第３の流路切
換え機構２９を切り換えて第２の流路接続状態にして、
サンプルガス流路１３ｃと流路１４ｂを接続し、流路１
４ａ、第２の流路切換え機構１５、サンプルガス流路１
３ｅ、濃縮カラム３１及びサンプルガス流路１３ｄを介
してキャリアガス流路３３と分析流路３５を接続する。
濃縮カラム３１の吸着剤に吸着した目的成分を脱離さ
せ、キャリアガス流路３３から第３の流路切換え機構２
９、流路１４ａ、第２の流路切換え機構１５及びサンプ
ルガス流路１３ｅを経て濃縮カラム３１にキャリアガス
を供給し、脱離させた目的成分をキャリアガスととも
に、サンプルガス流路１３ｄ、第３の流路切換え機構２
９の他のポート及び分析流路３５を経て分析計に導入す
る。

【００３０】（Ｄ）濃縮カラム３１に所定量のキャリア
ガスを供給した後、第３の流路切換え機構２９を切り換
えて第１の流路接続状態にして、サンプルガス流路１３
ｃと１３ｄを接続し、キャリアガス流路３３と分析流路
３５を接続し、流路１４ａと１４ｂを接続する。第２の
流路切換え機構１５を切り換えて、サンプルガス流路１
３ｅを流路１８に接続する。清浄ガス供給機構１９から
流路１８、第２の流路切換え機構１５及びサンプルガス
流路１３ｅを介して清浄ガスを濃縮カラム３１に供給
し、濃縮カラム３１の洗浄を行なう。さらに、濃縮カラ
ム３１を通過した清浄ガスをサンプルガス流路１３ｄ、
第３の流路切換え機構２９及びサンプルガス流路１３ｃ
を介してスパージボトル１内に供給してスパージボトル
１内を加圧し、スパージボトル１内に収容されたサンプ
ル液をパージガス流路７、第１の流路切換え機構２７及
び流路２４を介して液排出口２５から排出する。このよ
うに、図４及び図５に示す流路構成においても、バック
フラッシュ動作とサンプル液排出動作を同時に行なうこ
とができる。

【００３１】本発明にかかるパージアンドトラップシス
テムは、図２から図５に示す流路構成に限定されるもの
ではなく、請求項１に記載の通気処理機構を含み、バッ
クフラッシュ動作とサンプル液排出動作を同時に行なう
ことができる流路構成であれば、どのような流路構成で
あってもよい。また、図１から図５に示す流路図では、
第１の流路切換え機構２７及び第２の流路切換え機構１
５として三方切換えバルブを用いているが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載の
要旨の範囲内で、流路構成及び流路切換え機構の変更が
可能である。

【００３２】また、図２から図５に示す流路図では、第
３の流路切換え機構２９として六方切換えバルブを用い
ているが、本発明はこれに限定されるものではなく、特
許請求の範囲に記載の要旨の範囲内で、流路構成及び流
路切換え機構の変更が可能である。また、パージボトル
１の形状、並びにパージボトル１へのサンプル液導入流
路３、パージガス流路７及びサンプルガス流路１３の接
続位置は図１から図５の流路図に示すものに限定される
ものではなく、特許請求の範囲に記載の要旨の範囲内
で、流路構成及び流路切換え機構の変更が可能である。

【００３３】本発明にかかるパージアンドトラップシス
テムにおいて、スパージボトルからのサンプルガス中の
水分を除去してから濃縮カラムに送るためのサンプルガ
ス乾燥機構をサンプルガス流路にさらに備えていること
が好ましい。その結果、スパージボトルからのサンプル
ガスを乾燥させた状態で濃縮カラムに導入することがで
きる。この態様は、分析計として水分により測定誤差を
生じるものを用いる場合に特に有効である。

【００３４】

【実施例】図６は、本発明を適用したＶＯＣ測定装置の
パージアンドトラップユニットの一例を示す流路図であ
る。採水ユニット（サンプル液供給機構）３には、上水
道水などの測定対象水中の浮遊物などを除去するための
ウオーターバス３９が設けられている。ウオーターバス
３９内には間仕切り板３９ａ及びフィルター３９ｂが設
けられており、ウオーターバス３９内に導入された測定
対象水はフィルター３９ｂを介して採水流路４１の入口
に導かれる。ウオーターバス３９には、フィルター３９
ｂを通過した測定対象水を排出するための排出流路４３
と、洗浄用水道水を導入するための洗浄流路４５が接続
されている。

【００３５】ウオーターバス３９からの採水流路４１の
他端は、８ポートバルブ４７の１つのポートに接続され
ている。８ポートバルブ４７の共通ポートには、サンプ
ルループ４９及び３方電磁バルブ５１を介してマイクロ
シリンジ５３が接続されている。マイクロシリンジ５３
は８ポートバルブ４７のいずれのポートとも接続される
ようになっている。

【００３６】８ポートバルブ４７のそれぞれのポートに
は、採水流路４１のほか、校正用の標準試料５５，５
７，５９のいずれかにつながる流路、洗浄液６１につな
がる流路、不要な液を排出するためのドレインにつなが
る流路、パージアンドトラップユニット６３につながる
サンプル液導入流路５がそれぞれ接続されている。バル
ブ５１には洗浄液６１につながる流路が接続されてお
り、バルブ５１はマイクロシリンジ５３をサンプルルー
プ４９につながる流路又は洗浄液６１につながる流路に
切り換えて接続する。

【００３７】パージアンドトラップユニット６３には、
採水ユニット３から送られたサンプル液に通気処理を施
すためのスパージボトル１が設けられている。スパージ
ボトル１内には、スパージボトル１内にパージガス及び
清浄ガスを兼ねるキャリアガスを供給するためのパージ
ガス流路７と、スパージボトル１内の気体を取り出すた
めのサンプルガス流路１３ａが導かれている。パージガ
ス流路７の一端は、スパージボトル１内に導入されたサ
ンプル液に浸かるように一端がスパージボトル１の底部
付近に配置されている。サンプルガス流路１３ａの一端
はスパージボトル１内に導入されたサンプル液を吸い込
まないようにスパージボトル１の上部付近に配置されて
いる。

【００３８】パージアンドトラップユニット６３内にキ
ャリアガスを供給するためのキャリアガス入口（CARRIE
R IN）６５が設けられている。キャリアガス入口６５に
はパージガス供給機構（図示は省略）が接続される。キ
ャリアガスとしてはヘリウムガスや窒素ガスなどの不活
性ガスが用いられる。キャリアガス入口６５はキャリア
ガスの圧力を調節するための調圧器６７、圧力を監視す
るための圧力計６９、流量を調節するためのニードルバ
ルブ７１、及び第１の流路切換え機構としての３方電磁
バルブ２７を介してパージガス流路７に接続されてい
る。キャリアガス入口６５、調圧器６７、圧力計６９、
ニードルバルブ７１、バルブ２７間の流路は、図２及び
図３に示す流路８を構成する。バルブ２７には流路２４
を介してドレイン出口（液排出口）２５も接続されてお
り、バルブ２７はパージガス流路７をニードルバルブ７
１又はドレイン出口２５に切り換えて接続する。

【００３９】サンプルガス流路１３ａには、サンプルガ
ス流路１３ａからのキャリアガスを乾燥させるための二
重管を備えたドライヤ７３が設けられている。ドライヤ
７３を構成する二重管の内側の管は水分通過性の材料に
より形成されており、サンプルガス流路１３ａからのキ
ャリアガスが二重管の内側の管内を通され、外側の管内
には乾燥エアーが通されることにより、キャリアガス内
の水分が乾燥エアー側に移動してキャリアガスが乾燥す
る。ドライヤ７３からの乾燥エアーはベント７５から排
出される。

【００４０】パージアンドトラップユニット６３内に乾
燥エアーを供給するための乾燥エアー入口（Purgegas i
n）７７が設けられている。乾燥エアー入口７７には乾
燥エアー供給機構（図示は省略）が接続される。乾燥エ
アー入口７７は、乾燥エアーの圧力を調節するための調
圧器７９、圧力を監視するための圧力計８１、乾燥エア
ーの供給を開始及び停止させるための電磁バルブ８３、
並びに流量を調節するためのニードルバルブ８５を介し
てドライヤ７３に接続されている。

【００４１】ドライヤ７３からのサンプルガス流路は、
３方電磁バルブ８７を介して、第３の流路切換え機構と
しての６方切換えバルブ２９に接続されている。バルブ
８７には標準ガス入口８９につながる流路も接続されて
おり、バルブ８７は切換えバルブ２９につながる流路を
ドライヤ７３又は標準ガス入口８９に切り換えて接続す
る。ドライヤ７３、バルブ８７、切換えバルブ２９間の
流路は、図２及び図３のサンプルガス流路１３ａを構成
する。

【００４２】切換えバルブ２９には、吸着剤としての活
性炭を充填した濃縮カラム３１の両端につながる流路
と、３方ジョイント９１を介してＧＣＭＳ（ガスクロマ
トグラフ・質量分析計）のカラムへつながる分析流路３
５と、キャリアガスを供給するためのキャリアガス流路
３３と、第２の流路切換え機構としての３方電磁バルブ
１５につながるサンプルガス流路１３ｂが接続されてい
る。３方ジョイント９１は切換えバルブ２９からのガス
の一部をスプリッター９３を経て廃棄するためのもので
ある。濃縮カラム３１の付近には、濃縮カラム３１を加
熱及び冷却するためのペルチェ素子（図示は省略）が配
置されている。ペルチェ素子に付着する霜を除去するた
めに、乾燥エアー用の圧力計８１から抵抗器９５及び電
磁バルブ９７を介して乾燥エアー噴出用の流路がペルチ
ェ素子付近に導かれている。

【００４３】バルブ１５からの流路１４は流量を制御す
るためのマスフローコントローラ（ＭＦＣ）９９、３方
電磁バルブ１０１、及びサンプルガス出口１７を介して
吸引ポンプ１０３に接続されている。ＭＦＣ９９、バル
ブ１０１、サンプルガス出口１７間の流路は、図２及び
図３の流路１４を構成する。バルブ１５には抵抗器１０
５を介してキャリアガス用の圧力計６９につながる流路
１８も接続されており、バルブ１５は、切換えバルブ２
９からの流路１３ｂをＭＦＣ９９につながる流路１４又
は抵抗器１０５につながる流路１８に切り換えて接続す
る。また、バルブ１０１には配管洩れを検査するための
リークチェックバルブ１０７につながる流路も接続され
ており、バルブ８７は、ＭＦＣ９９をポンプ１０３又は
バルブ１０７に切り換えて接続する。

【００４４】図２及び図３も参照して、この実施例の動
作を説明する。切換えバルブ２９を第２の流路接続状態
にして（図２（Ａ）参照）、バルブ８７へつながる流路
（サンプルガス流路１３ａ）と濃縮カラム３１の一端に
つながる流路を接続し、濃縮カラム３１の他端とバルブ
１５へつながる流路（サンプルガス流路１３ｂ）を接続
し、キャリアガス流路３３と分析流路３５を接続する。
キャリアガス流路３３にはキャリアガスが供給されてお
り、キャリアガスはキャリアガス流路３３から切換えバ
ルブ２９、濃縮カラム３１、切換えバルブ２９の他のポ
ート、分析流路３５及びジョイント９１を介してＧＣＭ
Ｓへ供給されている。

【００４５】サンプル採取時間になると、マルチポート
バルブ４７によりサンプルループ４９を採水流路に接続
し、バルブ５１によりサンプルループ４９とシリンジ５
３を接続した後、シリンジ５３を吸引動作させて、フィ
ルター３９ｂを通過したウオーターバス３９内の測定対
象水を採水流路４１及びマルチポートバルブ４７を介し
てサンプルループ４９内にサンプル液として採取する。

【００４６】マルチポートバルブ４７を切り換えて、サ
ンプルループ４９をサンプル液導入流路５に接続した
後、シリンジ５３を吐出動作させて、サンプルループ４
９内のサンプル液をマルチポートバルブ４７及びサンプ
ル液導入流路５を介してスパージボトル１に導入する。
このとき、バルブ２７によりサンプルガス流路７はドレ
イン出口２５に接続されており、スパージボトル１内の
気体はサンプルガス流路７、バルブ２７及び流路２４を
介してドレイン出口２５から排出される。

【００４７】予めバルブ８３を開き、乾燥エアー入口７
７、調圧器７９、圧力計８１、バルブ８３及びニードル
バルブ８５を介してドライヤ７３に乾燥エアーを供給し
ておき、ドライヤ７３の二重管内を乾燥させておく。切
換えバルブ２９を切り換えて第１の流路接続状態にし
（図２（Ｂ）参照）、バルブ８７につながる流路（サン
プルガス流路１３ａ）、サンプルガス流路１３ｂ間に濃
縮カラム３１を接続し、キャリアガス流路３３と分析流
路３５を接続する。バルブ２７を切り換えてパージガス
流路７をニードルバルブ７１につながる流路（流路８）
に接続し、バルブ８７により切換えバルブ２９をドライ
ヤ７３に接続し、バルブ１５によりサンプルガス流路１
３ｂを流路１４に接続し、バルブ１０１によりＭＦＣ９
９をサンプルガス出口１７に接続する。

【００４８】ポンプ１０３を作動させ、キャリアガス入
口６５から供給されるキャリアガス圧力及びポンプ１０
３の吸引力により、キャリアガス入口６５から供給され
るキャリアガスを、調圧器６７、圧力計６９、ニードル
バルブ７１、バルブ２７及びパージガス流路７を介して
スパージボトル１内に供給する。スパージボトル１内で
は、スパージボトル１内の底部付近に配置されたパージ
ガス流路７の一端からキャリアガスが噴出され、サンプ
ル液に通気処理が施される。

【００４９】通気処理後のキャリアガスは、サンプルガ
ス流路１３ａを介してドライヤ７３へ導かれて乾燥され
た後、バルブ８７及び切換えバルブ２９を介して濃縮カ
ラム３１へ導かれる。濃縮カラム３１では、通気処理後
のキャリアガス中のＶＯＣが活性炭に吸着される。濃縮
カラム３１を通過したキャリアガスは、切換えバルブ２
９、サンプルガス流路１３ｂ、バルブ１５、流路１４に
設けられたＭＦＣ９９及びバルブ１０１、サンプルガス
出口１７、並びにポンプ１０３を介して排出される。

【００５０】所定量のキャリアガスをスパージボトル１
に導入した後、バルブ２７を切り換えてパージガス流路
７を流路２４に接続し、スパージボトル１へのパージガ
スの供給を停止する。切換えバルブ２９を切り換えて第
２の流路接続状態にして（図３（Ｃ）参照）、バルブ８
７につながる流路（サンプルガス流路１３ａ）、サンプ
ルガス流路１３ｂ間を接続し、濃縮カラム３１を介して
キャリアガス流路３３と分析流路３５を接続する。ペル
チェ素子により濃縮カラム３１を加熱し、濃縮カラム３
１に充填された活性炭に吸着したＶＯＣを熱脱離させ、
脱離したＶＯＣをキャリアガス流路３３から供給される
キャリアガスとともに、切換えバルブ２９、分析流路３
５及びジョイント９１を介してＧＣＭＳへ導入する。

【００５１】所定量のキャリアガスを濃縮カラム３１に
導入した後、切換えバルブ２９を切り換えて第１の流路
接続状態にして（図３（Ｄ）参照）、バルブ８７につな
がる流路（サンプルガス流路１３ａ）、サンプルガス流
路１３ｂ間に濃縮カラム３１を接続し、キャリアガス流
路３３と分析流路３５を接続する。バルブ１５を切り換
えて、サンプルガス流路１３ｂを流路１８に接続する。
清浄ガスとしてのキャリアガスをキャリアガス供給口６
５、調圧器６７、圧力計６９、流路１８に設けられた抵
抗器１０５、バルブ１５、サンプルガス流路１３ｂ及び
切換えバルブ２９を介して濃縮カラム３１に供給し、濃
縮カラム３１の洗浄を行なう。

【００５２】濃縮カラム３１を通過したキャリアガスを
切換えバルブ２９、サンプルガス流路１３ａに設けられ
たバルブ８７及びドライヤ７３を介してスパージボトル
１内に供給してキャリアガスによりスパージボトル１内
を加圧し、スパージボトル１内に収容されたサンプル液
をパージガス流路７及びバルブ２７を介してドレイン出
口２５から排出する。所定量のキャリアガスを濃縮カラ
ム３１、ドライヤ７３及びスパージボトル１内に導入し
た後、バルブ１５を切り換えてバックフラッシュ動作を
終了する。

【００５３】また、測定終了後には、バルブ８３を開い
て、ペルチェ素子に向けて乾燥エアーを噴射し、ペルチ
ェ素子に付着した霜を吹き飛ばす。ＧＣＭＳの校正は、
マルチポートバルブ４７の切換え及びシリンジの吸引吐
出動作により、サンプルループ４９に標準サンプル５
５，５７，５９のいずれかを吸引し、スパージボトル１
に標準サンプルを導入した後、上記と同様にして標準サ
ンプル中の目的成分を測定することにより行なうことが
できる。

【００５４】サンプルループ４９内の洗浄は、バルブ５
１によりシリンジ５３を洗浄液６１につながる流路に接
続し、シリンジ５３を吸引動作させて洗浄水３７をシリ
ンジ５３内に吸引し、バルブ５１を切り換えてシリンジ
５３をサンプルループ４９に接続し、マルチポートバル
ブ４７によりサンプルループ４９をドレインに接続した
後、シリンジ５３を吐出動作させて行なう。

【００５５】上記実施例ではパージガス及び清浄ガスと
して共通のキャリアガス供給機構により供給されるキャ
リアガスを用いているが、本発明はこれに限定されるも
のではなく、パージガスを供給するガス供給機構と清浄
ガスを供給するガス供給機構をそれぞれ設けてもよい。
本発明を構成するサンプル液供給機構は、上記採水ユニ
ット３に限定されるものではなく、所定量のサンプル液
をスパージボトルに注入できる機構であればどのような
機構であってもよい。

【００５６】

【発明の効果】本発明にかかる通気処理器具では、スパ
ージボトルと、サンプル液導入流路と、サンプルガス流
路と、パージガス流路と、スパージボトルからのパージ
ガス流路をパージガス供給機構又は液排出口に切り換え
て接続する第１の流路切換え機構と、スパージボトルか
らのサンプルガス流路をサンプルガス出口又は清浄ガス
供給機構に切り換えて接続する第２の流路切換え機構と
を備え、本発明にかかる通気処理機構では、上記通気処
理器具と、パージガス供給機構と、清浄ガス供給機構と
を備え、スパージボトル内に収容されたサンプル液を排
出する際に、清浄ガス供給機構から供給される清浄ガス
を第２の切換え機構及びサンプルガス流路を介してスパ
ージボトル内に供給してスパージボトル内を加圧し、パ
ージガス流路及び第１の流路切換え機構を介して液排出
口からサンプル液を排出するようにしたので、スパージ
ボトルにサンプル液排出用流路を設ける必要がなくな
り、さらにサンプル液排出用流路に開閉バルブを設ける
必要がなくなり、流路構成を簡単にすることができる。

【００５７】本発明にかかるパージアンドトラップシス
テムの第１の態様では、上記通気処理機構と、濃縮カラ
ムと、スパージボトル外でサンプルガス流路の途中に設
けられ、サンプルガス流路間に分離濃縮カラムを接続
し、キャリアガス流路と分析流路を接続する第１の流路
接続状態と、サンプルガス流路間を直接接続し、濃縮カ
ラムを介してキャリアガス流路と分析流路を接続する第
２の流路接続状態との間で切り換えられる第３の流路切
換え機構とを備え、濃縮カラムのバックフラッシュ動作
時に、清浄ガス供給機構からの清浄ガスを濃縮カラムに
供給し、濃縮カラムを通過した清浄ガスをサンプルガス
流路を介してスパージボトル内に導入するようにしたの
で、バックフラッシュ動作とサンプル液排出動作を同時
に行なうことができ、これらの動作に要する処理時間を
短縮することができる。さらに上記通気処理機構を採用
することにより流路構成が簡単になる。

【００５８】本発明にかかるパージアンドトラップシス
テムの第２の態様では、上記通気処理機構と、濃縮カラ
ムと、サンプルガス流路のスパージボトル、濃縮カラム
間に設けられ、スパージボトルを濃縮カラムに接続し、
キャリアガス流路と分析流路を接続する第１の流路接続
状態と、スパージボトルを濃縮カラムに接続せず、濃縮
カラムを介してキャリアガス流路と分析流路を接続する
第２の流路接続状態との間で切り換えられる第３の流路
切換え機構とを備え、濃縮カラムのバックフラッシュ動
作時に、清浄ガス供給機構からの清浄ガスを濃縮カラム
に供給し、濃縮カラムを通過した清浄ガスをサンプルガ
ス流路を介してスパージボトル内に導入するようにした
ので、バックフラッシュ動作とサンプル液排出動作を同
時に行なうことができ、これらの動作に要する処理時間
を短縮することができる。さらに上記通気処理機構を採
用することにより流路構成が簡単になる。

【００５９】本発明にかかるパージアンドトラップシス
テムにおいて、スパージボトルからのサンプルガス中の
水分を除去してから濃縮カラムに送るためのサンプルガ
ス乾燥機構をサンプルガス流路にさらに備えるようにす
れば、スパージボトルからのサンプルガスを乾燥させた
状態で濃縮カラムに導入することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる通気処理機構の一例の流路構成
及び動作を示す流路図であり、（Ａ）はサンプル液導入
時、（Ｂ）は通気処理時、（Ｃ）はサンプル液排出時を
示す。

【図２】本発明にかかるパージアンドトラップシステム
の第１の態様の流路構成及び動作を示す流路図であり、
（Ａ）はサンプル液導入時、（Ｂ）は通気処理及び目的
成分捕集時を示す。

【図３】本発明にかかるパージアンドトラップシステム
の第１の態様の流路構成及び動作を示す流路図であり、
（Ｃ）は目的成分脱離時、（Ｄ）は濃縮カラム洗浄動作
及びサンプル液排出時を示す。

【図４】本発明にかかるパージアンドトラップシステム
の第２の態様の流路構成及び動作を示す流路図であり、
（Ａ）はサンプル液導入時、（Ｂ）は通気処理及び目的
成分捕集時を示す。

【図５】本発明にかかるパージアンドトラップシステム
の第２の態様の流路構成及び動作を示す流路図であり、
（Ｃ）は目的成分脱離時、（Ｄ）は濃縮カラム洗浄動作
及びサンプル液排出時を示す。

【図６】本発明を適用したＶＯＣ測定装置のパージアン
ドトラップユニットの一例を示す流路図である。

【図７】従来の通気処理機構を示す流路図である。

【符号の説明】

１ スパージボトル ３ サンプル液供給機構 ５ サンプル液導入流路 ７ パージガス流路 ８，１４，１４ａ，１４ｂ，１８，２４ 流路 ９ パージガス供給機構 １３，１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ，１３ｅ サ
ンプルガス流路 １５ 第１の流路切換え機構 １７ サンプルガス出口 １９ 清浄ガス供給機構 ２５ 液排出口 ２７ 第１の流路切換え機構 ２９ 第３の流路切換え機構 ３１ 濃縮カラム ３３ キャリアガス流路 ３５ 分析流路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０１Ｎ 27/62 Ｇ０１Ｎ 30/00 Ｂ 30/00 1/28 Ｚ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 サンプル液を一時的に収容するスパージ
   ボトルと、 一端が前記スパージボトルに接続され、他端がサンプル
   液を供給するためのサンプル液供給機構に接続されるサ
   ンプル液導入流路と、 前記スパージボトルの上部で、前記スパージボトル内に
   収容されるサンプル液に接触しない位置に一端が設けら
   れたサンプルガス流路と、 前記スパージボトル内の底部付近に一端が設けられたパ
   ージガス流路と、 前記スパージボトル外で前記パージガス流路の他端に接
   続され、前記パージガス流路を液排出口又はパージガス
   を供給するためのパージガス供給機構に切り換えて接続
   する第１の流路切換え機構と、 前記スパージボトル外で前記サンプルガス流路の他端に
   接続され、前記サンプルガス流路をサンプルガス出口又
   は清浄ガスを供給するための清浄ガス供給機構に切り換
   えて接続する第２の流路切換え機構と、を備えた通気処
   理器具。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の通気処理器具と、前記
   パージガス供給機構と、前記清浄ガス供給機構と、を備
   えた通気処理機構。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の通気処理機構と、 吸着剤が充填され、サンプルガス中の目的成分を捕集し
   た後、脱離させうる濃縮カラムと、 前記スパージボトル外で前記サンプルガス流路の途中に
   設けられ、前記サンプルガス流路間に前記濃縮カラムを
   接続し、キャリアガスを供給するためのキャリアガス流
   路と分析計へつながる分析流路を接続する第１の流路接
   続状態と、サンプルガス流路間を直接接続し、前記濃縮
   カラムを介して前記キャリアガス流路と前記分析流路を
   接続する第２の流路接続状態との間で切り換えられる第
   ３の流路切換え機構と、を備えたパージアンドトラップ
   システム。
4. 【請求項４】 請求項２に記載の通気処理機構と、 前記スパージボトル外で前記サンプル流路の途中に設け
   られ、吸着剤が充填され、サンプルガス中の目的成分を
   捕集した後、脱離させうる濃縮カラムと、 前記サンプルガス流路の前記スパージボトル、前記濃縮
   カラム間に設けられ、前記スパージボトルを前記濃縮カ
   ラムに接続し、キャリアガスを供給するためのキャリア
   ガス流路と分析計へつながる分析流路を接続する第１の
   流路接続状態と、前記スパージボトルを前記濃縮カラム
   に接続せず、前記濃縮カラムを介して前記キャリアガス
   流路と前記分析流路を接続する第２の流路接続状態との
   間で切り換えられる第３の流路切換え機構と、を備えた
   パージアンドトラップシステム。
5. 【請求項５】 前記スパージボトルからのサンプルガス
   中の水分を除去してから前記濃縮カラムに送るためのサ
   ンプルガス乾燥機構を前記サンプルガス流路にさらに備
   えた請求項３又は４に記載のパージアンドトラップシス
   テム。