JP2002163892A - 不揮発性半導体メモリおよび動作方法 - Google Patents

不揮発性半導体メモリおよび動作方法

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JP2002163892A
JP2002163892A JP2000356849A JP2000356849A JP2002163892A JP 2002163892 A JP2002163892 A JP 2002163892A JP 2000356849 A JP2000356849 A JP 2000356849A JP 2000356849 A JP2000356849 A JP 2000356849A JP 2002163892 A JP2002163892 A JP 2002163892A
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capacity
erase
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memory block
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JP2000356849A
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Kunio Tani
国雄 谷
Makoto Yamamoto
山本  誠
Tomohisa Iba
智久 伊庭
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Mitsubishi Electric Engineering Co Ltd
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Engineering Co Ltd
Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 小容量メモリブロックの消去処理を適切に行
わせることにより、自動消去における処理時間の短縮を
実現する。 【解決手段】 不揮発性トランジスタからなる複数のメ
モリセルが行列状に配置されたメモリアレイで構成され
比較的小さなメモリ容量を持つ複数個の小容量メモリブ
ロックと、不揮発性トランジスタからなる複数のメモリ
セルが行列状に配置されたメモリアレイで構成され比較
的大きなメモリ容量を持つ大容量メモリブロックとを含
むメモリブロック4からなるメモリ部、前記小容量メモ
リブロックおよび大容量メモリブロックにそれぞれ設け
られ各メモリブロックの書き込み/消去可能か否かを示
す不揮発性トランジスタからなる書き込み/消去識別用
メモリセルの内容を全て読み出しその内容を保持する記
憶手段を備え、前記記憶手段により保持された記憶内容
により、前記メモリブロック4からなるメモリ部におけ
る消去可能な複数個の小容量メモリブロックを同時に消
去する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、メモリセルとし
てロックビットを有する不揮発性トランジスタを用いた
不揮発性半導体メモリに関し、特に、高速に処理可能な
不揮発性半導体メモリに関する。
【0002】
【従来の技術】従来のロックビットメモリを有する不揮
発性半導体メモリは、自動消去/自動書き込みを実行す
る場合、動作実行毎にロックビットメモリのデータを毎
回読み出し、消去/書き込み可能か否かを判断してい
た。
【0003】また、特開平5−325576号公報に
は、一括消去型EPROMにおいて、複数個に分割され
たメモリブロックを、外部から入力されるアドレスに従
って消去可能か否かの判断を行い、消去可能なメモリブ
ロックを一括して一度に消去する方法が記されている。
【0004】しかし、近年のロックビットメモリを有す
る不揮発性半導体メモリは、消去に必要な電圧を発生さ
せるチャージポンプをチップ内に保有するため、保有す
るチャージポンプの能力によって一度に消去可能な最大
メモリサイズが必然的に決まってしまう。
【0005】近年の、ロックビットメモリを有する不揮
発性半導体メモリは、一度で消去可能な最大メモリサイ
ズブロックを複数個と、1kBのような小容量メモリブ
ロックを複数保持しているため、特開平5−32557
6号公報に示されている方法で、複数個に分割された消
去可能なメモリブロック全てを一度に消去することはで
きない。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】このように従来技術で
は、自動消去の処理においては、分割されたメモリブロ
ック毎にロックビット情報を読みだし、消去可能な場合
にはメモリブロック単位に自動消去を実行している。こ
のことは、分割されたメモリブロックの容量に関係なく
実行されるため、特に小容量メモリブロックに対しても
同様の処理が行われるため、効率の良い処理が出来なく
消去時間が長くなるという課題があった。
【0007】この発明は、このような問題点を解決する
ためになされたものであり、小容量メモリブロックの消
去処理を適切に行わせることにより、自動消去における
処理時間の短縮を実現し得る不揮発性半導体メモリの提
供を目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】第1の発明に係る不揮発
性半導体メモリでは、不揮発性トランジスタからなる複
数のメモリセルが行列状に配置されたメモリアレイで構
成され比較的小さなメモリ容量を持つ複数個の小容量メ
モリブロックと、不揮発性トランジスタからなる複数の
メモリセルが行列状に配置されたメモリアレイで構成さ
れ比較的大きなメモリ容量を持つ大容量メモリブロック
とを含むメモリ部、前記小容量メモリブロックおよび大
容量メモリブロックにそれぞれ設けられ各メモリブロッ
クの書き込み/消去可能か否かを示す不揮発性トランジ
スタからなる書き込み/消去識別用メモリセル、前記書
き込み/消去識別用メモリセルの内容を全て読み出しそ
の内容を保持する記憶手段を備え、非強制消去モードに
よる自動消去において、前記記憶手段により保持された
記憶内容により、前記メモリ部における消去可能な大容
量メモリブロックを個別に消去するとともに、前記メモ
リ部における消去可能な複数個の小容量メモリブロック
を同時に消去するものである。
【0009】第2の発明に係る不揮発性半導体メモリで
は、不揮発性トランジスタからなる複数のメモリセルが
行列状に配置されたメモリアレイで構成され比較的小さ
なメモリ容量を持つ複数個の小容量メモリブロックと、
不揮発性トランジスタからなる複数のメモリセルが行列
状に配置されたメモリアレイで構成され比較的大きなメ
モリ容量を持つ大容量メモリブロックとを含むメモリ
部、前記小容量メモリブロックおよび大容量メモリブロ
ックにそれぞれ設けられ各メモリブロックの書き込み/
消去可能か否かを示す不揮発性トランジスタからなる書
き込み/消去識別用メモリセル、前記書き込み/消去識
別用メモリセルの内容を全て読み出しその内容を保持す
る記憶手段を備え、非強制消去モードによる自動消去に
おいて、前記記憶手段により記憶された記憶内容によ
り、前記メモリ部における消去可能な大容量メモリブロ
ックと小容量メモリブロックを同時に消去するものであ
る。
【0010】第3の発明に係る不揮発性半導体メモリで
は、不揮発性トランジスタからなる複数のメモリセルが
行列状に配置されたメモリアレイで構成され比較的小さ
なメモリ容量を持つ複数個の小容量メモリブロックと、
不揮発性トランジスタからなる複数のメモリセルが行列
状に配置されたメモリアレイで構成され比較的大きなメ
モリ容量を持つ大容量メモリブロックとを含むメモリ
部、前記小容量メモリブロックおよび大容量メモリブロ
ックにそれぞれ設けられ各メモリブロックの書き込み/
消去可能か否かを示す不揮発性トランジスタからなる書
き込み/消去識別用メモリセル、前記書き込み/消去識
別用メモリセルの内容を全て読み出しその内容を保持す
る記憶手段を備え、強制消去モードによる自動消去にお
いて、前記記憶手段により記憶された記憶内容に関係な
く、前記ブロックメモリアレイ中の消去可能な小容量メ
モリブロック全てを同時に消去するものである。
【0011】第4の発明に係る不揮発性半導体メモリの
動作方法では、不揮発性トランジスタからなる複数のメ
モリセルが行列状に配置されたメモリアレイで構成され
比較的小さなメモリ容量を持つ複数個の小容量メモリブ
ロックと、不揮発性トランジスタからなる複数のメモリ
セルが行列状に配置されたメモリアレイで構成され比較
的大きなメモリ容量を持つ大容量メモリブロックとを含
むメモリ部、前記小容量メモリブロックおよび大容量メ
モリブロックにそれぞれ設けられ各メモリブロックの書
き込み/消去可能か否かを示す不揮発性トランジスタか
らなる書き込み/消去識別用メモリセル、前記書き込み
/消去識別用メモリセルの内容を全て読み出しその内容
を保持する記憶手段を備えた不揮発性半導体メモリを動
作させるにあたり、非強制消去モードによる自動消去に
おいて、前記記憶手段により保持された記憶内容によ
り、前記メモリ部における消去可能な大容量メモリブロ
ックを個別に消去するとともに、前記メモリ部における
消去可能な複数個の小容量メモリブロックを同時に消去
するものである。
【0012】第5の発明に係る不揮発性半導体メモリの
動作方法では、不揮発性トランジスタからなる複数のメ
モリセルが行列状に配置されたメモリアレイで構成され
比較的小さなメモリ容量を持つ複数個の小容量メモリブ
ロックと、不揮発性トランジスタからなる複数のメモリ
セルが行列状に配置されたメモリアレイで構成され比較
的大きなメモリ容量を持つ大容量メモリブロックとを含
むメモリ部、前記小容量メモリブロックおよび大容量メ
モリブロックにそれぞれ設けられ各メモリブロックの書
き込み/消去可能か否かを示す不揮発性トランジスタか
らなる書き込み/消去識別用メモリセル、前記書き込み
/消去識別用メモリセルの内容を全て読み出しその内容
を保持する記憶手段を備えた不揮発性半導体メモリを動
作させるにあたり、非強制消去モードによる自動消去に
おいて、前記記憶手段により記憶された記憶内容によ
り、前記メモリ部における消去可能な大容量メモリブロ
ックと小容量メモリブロックを同時に消去するものであ
る。
【0013】第6の発明に係る不揮発性半導体メモリの
動作方法では、不揮発性トランジスタからなる複数のメ
モリセルが行列状に配置されたメモリアレイで構成され
比較的小さなメモリ容量を持つ複数個の小容量メモリブ
ロックと、不揮発性トランジスタからなる複数のメモリ
セルが行列状に配置されたメモリアレイで構成され比較
的大きなメモリ容量を持つ大容量メモリブロックとを含
むメモリ部、前記小容量メモリブロックおよび大容量メ
モリブロックにそれぞれ設けられ各メモリブロックの書
き込み/消去可能か否かを示す不揮発性トランジスタか
らなる書き込み/消去識別用メモリセル、前記書き込み
/消去識別用メモリセルの内容を全て読み出しその内容
を保持する記憶手段を備えた不揮発性半導体メモリを動
作させるにあたり、強制消去モードによる自動消去にお
いて、前記記憶手段により記憶された記憶内容に関係な
く、前記ブロックメモリアレイ中の消去可能な小容量メ
モリブロック全てを同時に消去するものである。
【0014】この発明においては、次のような作用を有
する。第1の発明に係る不揮発性半導体メモリでは、非
強制モードによる自動消去を実行時、分割されたメモリ
ブロックのロックビット情報を読み出してこれを保持
し、消去可能な複数の小容量メモリブロックを同時に消
去する。
【0015】第2の発明に係る不揮発性半導体メモリで
は、非強制モードによる自動消去を実行時、分割された
メモリブロックのロックビット情報を読み出してこれを
保持し、消去可能な小容量メモリブロックと大容量メモ
リブロックを同時に消去する。
【0016】第3の発明に係る不揮発性半導体メモリで
は、強制消去モードによる自動消去を実行時、分割され
たメモリブロックのロックビット情報によらず全メモリ
ブロックを消去する場合、複数の小容量メモリブロック
全てを同時に消去する。
【0017】第4の発明に係る不揮発性半導体メモリの
動作方法では、非強制モードによる自動消去を実行時、
分割されたメモリブロックのロックビット情報を読み出
してこれを保持し、消去可能な複数の小容量メモリブロ
ックを同時に消去する。
【0018】第5の発明に係る不揮発性半導体メモリの
動作方法では、非強制消去による自動消去を実行時、分
割されたメモリブロックのロックビット情報を読み出し
てこれを保持し、消去可能な小容量メモリブロックと大
容量メモリブロックを同時に消去する。
【0019】第6の発明に係る不揮発性半導体メモリの
動作方法では、強制モードによる自動消去を実行時、分
割されたメモリブロックのロックビット情報によらず全
メモリブロックを消去する場合、複数の小容量メモリブ
ロック全てを同時に消去する。
【0020】
【発明の実施の形態】実施の形態1.以下、この発明に
よる実施の一形態を図について説明する。図1は、この
発明による不揮発性半導体メモリの全体構成を示すブロ
ック図である。この発明の不揮発性半導体メモリの構成
を大きく分けると、マイクロシーケンサ1,チャージポ
ンプ2,メモリデコーダー3,メモリブロック4からな
るメモリ部,アドレス/データ/制御信号ラッチ回路5
で構成される。メモリ外部から、アドレスA(18:
0)バス,データ(15:0)バス,各種制御信号が入
出力される。
【0021】図2に、この発明の不揮発性半導体メモリ
の動作モード一覧を示す。次に、各動作モードの説明を
する。読み出し動作では、不揮発性半導体メモリ内の任
意のアドレスのデータを読み出す。ステータスレジスタ
リードは、自動消去/自動書き込みのステータス情報を
読み出す。ステータスレジスタリードでは、データD
(15:0)バスから入力されるコマンド70Hでモー
ドにエントリーしてFFHで戻る。ステータスレジスタ
クリアは、ステータスレジスタの内容をクリアする。ス
テータスレジスタクリアでは、データD(15:0)バ
スから入力されるコマンド50Hでモードにエントリー
してFFHで戻る。
【0022】自動書き込みは、データD(15:0)バ
スから入力されるコマンド40Hでセットアップモード
に入り、次のサイクルで書き込みモードとアドレスを取
り込みモードエントリーする。自動書き込み終了後は、
ステータスレジスタの書き込みステータスを書き込む。
自動一括消去は、データ(15:0)バスから入力され
るコマンド20Hでセットアップモードに入り、次のサ
イクルで確認コマンドの20Hでモードエントリーす
る。自動一括消去終了後は、ステータスレジスタに一括
消去ステータスを書き込む。自動ブロック消去は、デー
タ(15:0)バスから入力されるコマンド20Hでセ
ットアップモードに入り、次のサイクルで、D0H/ブ
ロックアドレスを取り込みモードエントリーする。自動
ブロック消去後は、ステータスレジスタに自動ブロック
消去ステータスを書き込む。
【0023】ロックビットプログラムは、データD(1
5:0)バスから入力されるコマンド77Hでセットア
ップモードに入り、次のサイクルでブロックアドレスを
取り込みモードエントリーする。ロックビットプログラ
ム終了後は、ステータスレジスタにステータスを書き込
む。ロックビットリードは、データD(15:0)バス
から入力されるコマンド71Hでセットアップモードに
入り、次のサイクルでブロックアドレスを取り込みモー
ドエントリーしてロックビットのデータを読み出す。
【0024】[マイクロシーケンサ]図3に、マイクロ
シーケンサ1のブロック図を示す。マイクロシーケンサ
1は、コマンドポート6,ステータスレジスタ7,自動
消去シーケンサ8,自動書き込みシーケンサ13,テス
トモードシーケンサ9,パワーリセット回路10,クロ
ック発生回路11,デコーダ・チャージポンプ制御信号
生成回路12,ロックビットフラグ回路15,タイマー
回路14からなる。
【0025】コマンドポート6は、アドレス/データ/
制御信号ラッチ回路5から送られてくる情報を元に、各
種モードの設定を行い、チャージポンプ2,メモリーデ
コーダー3,メモリブロック4を制御する。自動消去シ
ーケンサ8は、コマンドポート6の指示により、自動消
去の動作を制御する。チャージポンプ2,メモリーデコ
ーダ3,メモリブロック4の制御は、デコーダ・チャー
ジポンプ制御信号生成回路12を介して行われる。消去
パルスの発行やポンプ立ち上げ時間設定など、自動消去
シーケンスで必要な各種時間の計測は、タイマー回路1
4を呼び出して行われる。また、自動消去時のステータ
ス状態をステータスレジスタ7に書き込む。
【0026】自動書き込みシーケンサ13は、コマンド
ポート6の指示により、自動書き込みの動作を制御す
る。チャージポンプ2,メモリデコーダ3の制御は、デ
コーダ・チャージポンプ制御信号生成回路12を介して
行われる。書き込みパルスの発行やポンプ立ち上げ時間
設定など、自動書き込みシーケンスで必要な各種時間の
計測は、タイマー回路14を呼び出して行われる。
【0027】また、自動書き込み動作時のステータス状
態をステータスレジスタ7に書き込む。テストモードシ
ーケンサ9は、コマンドポート6の指示により、テスト
モードの動作を制御する。チャージポンプ2,モードデ
コーダ3,メモリブロック4の制御はデコーダ・チャー
ジポンプ制御信号生成回路12を介して行われる。書き
込みパルスや、消去パルスの発行や、ポンプ立ち上げ時
間設定など、各種テストシーケンサで必要な時間の計測
は、タイマー回路14を呼び出して行われる。
【0028】パワーリセット回路10は、電源の立ち上
げエッジを感知してリセット信号を内部回路に出力する
か、またはコマンドポート6経由から入力される外部リ
セット入力によって内部全ての回路をリセット状態にす
る。クロック生成回路11は、10MHz相当のクロッ
クパルスを、自動消去シーケンサ8,自動書き込みシー
ケンサ13とテストモードシーケンサ9に出力する。パ
ワーリセット回路10により全ての回路が非動作状態と
なった時は、クロック生成回路11も機能が停止しクロ
ック信号も停止する。
【0029】ステータスレジスタ7は、自動消去/自動
書き込み時のステータス状態を保持し、必要であればそ
の値をコマンドポート6を介して外部に出力する。デコ
ーダ・チャージポンプ制御信号生成回路12は、自動消
去シーケンサ8,自動書き込みシーケンサ13,テスト
モードシーケンサ9の出力を受け、チャージポンプ2と
メモリデコーダ3,メモリブロック4を制御する制御信
号を生成する。
【0030】ロックビットフラグ回路15は、メモリブ
ロック4のメモリブロック数だけレジスタが存在し、リ
ードしたロックビット情報を保持する。ロックビットの
値をリードする必要がある場合には、メモリデコーダ3
とメモリブロック4に制御信号を発行しロックビットデ
ータをリードする。タイマー回路14は、自動消去シー
ケンサ8,自動書き込みシーケンサ13,ロックビット
フラグ回路15からの信号を受け、要求のあった時間を
計測し、要求元のブロックに終了信号を返す。
【0031】[チャージポンプ]図4に、チャージポン
プ2のブロック図を示す。チャージポンプ2は、負電圧
チャージポンプ検出回路16,正電圧チャージポンプ検
出回路17,読み出しチャージポンプ検出回路18から
なる。チャージポンプ2は、マイクロシーケンサ1によ
って制御され、各チャージポンプの出力は、電圧切換回
路19によってメモリデコーダ3とメモリブロック4に
供給される。
【0032】負チャージポンプは、消去用の負電圧発生
用のチャージポンプであり、自動消去時に負の電圧を発
生する。正電圧チャージポンプは、書き込み/消去用の
正電圧発生用のチャージポンプであり、書き込み時に正
の書き込み電圧を発生し、消去時に正の消去電圧を発生
する。読み出しチャージポンプは、読み出し/ベリファ
イ用の正電圧発生用のチャージポンプであり、読み出し
動作時に読み出し電圧を発生し、書き込み/書き込みベ
リファイ時にはベリファイ電圧を発生する。ここで、チ
ャージポンプ2は、最大68kB容量のメモリを一度に
消去する電圧を供給できるものとする
【0033】[メモリデコーダ]図5に、メモリデコー
ダー3の構成図を示す。メモリデコーダー3は、Y(コ
ラム)アドレス入力バッファラッチ21,X(ロウ)ア
ドレスラッチ20と、Y(コラム)アドレスプリデコー
ダ23,X(ロウ)アドレスプリデコーダ22からな
る。
【0034】Y(コラム)アドレス入力バッファラッチ
21,X(ロウ)アドレスラッチ20は、マイクロシー
ケンサ1から送られてきた19ビットのアドレスA(1
8:0)をラッチする。ラッチされたアドレスは、Y
(コラム)アドレスプリデコーダ23、X(ロウ)アド
レスプリデコーダ22においてアドレスのプリデコード
処理が行われ、メモリブロック4に対してプリデコード
されたアドレスを出力する。
【0035】[メモリブロック]図5にメモリブロック
4の構成図を示す。メモリブロック4からなるメモリ部
は、8KBのメモリブロック〔8〕:24,64KBの
メモリブロック
〔0〕:25,64KBのメモリブロッ
ク〔1〕:26,64KBのメモリブロック〔2〕:2
7,32KBのメモリブロック〔3〕:28,16KB
のメモリブロック〔4〕:29,8KBのメモリブロッ
ク〔5〕:30,4KBのメモリブロック〔6〕:3
1,4KBのメモリブロック〔7〕:32,センスアン
プ/書き込み回路33からなる。それぞれのメモリブロ
ックは、Xデコーダ,Yデコーダ,メモリアレイからな
る。ここで、64KBのメモリブロック
〔0〕:25,
64KBのメモリブロック〔1〕:26および64KB
のメモリブロック〔2〕:27は、比較的大きなメモリ
容量を持つ大容量メモリブロックを構成する。また、3
2KBのメモリブロック〔3〕:28は、メモリブロッ
〔0〕:25,メモリブロック〔1〕:26およびメ
モリブロック〔2〕:27よりも、比較的小さなメモリ
容量を持つ小容量メモリブロックを構成する。また、1
6KBのメモリブロック〔4〕:29は、メモリブロッ
〔0〕:25,メモリブロック〔1〕:26およびメ
モリブロック〔2〕:27ならびにメモリブロック
〔3〕:28よりも、比較的小さなメモリ容量を持つ小
容量メモリブロックを構成する。また、8KBのメモリ
ブロック〔5〕:30およびメモリブロック〔8〕:2
4は、メモリブロック
〔0〕:25,メモリブロック
〔1〕:26およびメモリブロック〔2〕:27ならび
にメモリブロック〔3〕:28およびメモリブロック
〔4〕:29よりも、比較的小さなメモリ容量を持つ小
容量メモリブロックを構成する。また、4KBのメモリ
ブロック〔6〕:31およびメモリブロック〔7〕:3
2は、また、8KBのメモリブロック〔5〕:30およ
びメモリブロック〔8〕:24は、メモリブロック
〔0〕:25,メモリブロック〔1〕:26およびメモ
リブロック〔2〕:27ならびにメモリブロック
〔3〕:28,メモリブロック〔4〕:29,メモリブ
ロック〔5〕およびメモリブロック〔8〕:24よりも
比較的小さなメモリ容量を持つ小容量メモリブロックを
構成する。
【0036】図6に、メモリブロック4のアドレス空間
を示す。メモリブロック
〔0〕は、16進表記で、“4
0000H”〜“4FFFFH”のアドレス空間を持
つ。メモリブロック〔1〕は、16進表記で、“500
00H”〜“5FFFFH”のアドレス空間を持つ。メ
モリブロック〔2〕は、16進表記で、“60000
H”〜“6FFFFH”のアドレス空間を持つ。メモリ
ブロック〔3〕は、16進表記で、“70000H”〜
“77FFFH”のアドレス空間を持つ。メモリブロッ
ク〔4〕は、16進表記で、“78000H”〜“7B
FFFH”のアドレス空間を持つ。メモリブロック
〔5〕は、16進表記で、“7C000H”〜“7DF
FFH”のアドレス空間を持つ。メモリブロック〔6〕
は、16進表記で、“7E000H”〜“7EFFF
H”のアドレス空間を持つ。メモリブロック〔7〕は、
16進表記で、“7F000H”〜“7FFFFH”の
アドレス空間を持つ。メモリブロック〔8〕は、16進
表記で、“7E000H”〜“7FFFFH”のアドレ
ス空間を持つ。メモリブロック〔8〕へのアクセスは、
マイクロシーケンサ1から出力される制御信号(メモリ
ブロック〔8〕アクセス信号)を併用してアクセスされ
る。
【0037】図7は、図6に示すブロック中の64KB
メモリブロック
〔0〕の、Xデコーダ35,Yデコーダ
34,メモリセルアレイ,センスアンプ/書き込み回路
33を抽出して示す図である。メモリセルアレイは、1
センスアンプ/書き込み回路に結合される分のみを示し
ている。Yデコーダ34は、図5に示すアドレスプリデ
コーダ23からの出力を受けて、64本のビット線BL
0〜BL63から1本のビット線を選択するための64
本の制御信号CS0〜CS63を生成する。Xデコーダ
35は、図5に示すXアドレスプリデコーダ22からの
出力を受けて、256本のワード線WL0〜WL255
から1本のワード線を選択制御する。
【0038】フローティングゲートを有する不揮発性ト
ランジスタからなるメモリセルTr0−0〜Tr0−6
3,Tr1−0〜Tr1−63,Tr2−0〜Tr2−
63,Tr3−0〜Tr3−63,Tr63−0〜Tr
63−63が行列状に配置されている。このうち、同一
行に配置されたメモリセルTr0−0〜Tr255−
0,Tr0−1〜Tr255−1,Tr0−2〜Tr2
55−2,Tr0−63〜Tr255−63には、同一
ビット線BL0〜BL63がソース端子に接続されてお
り、それぞれ異なるワード線WL0〜WL255がゲー
ト端子に接続されている。
【0039】メモリデータの読み出しは、まず、Yデコ
ーダ34の出力に従って、64本のビット線BL0〜B
L63から1本が選択される。ビット線は、Yデコーダ
34の出力信号CS0〜CS63に従って、選択された
出力信号CS0〜CS63に結合されているトランジス
タ36〜39がオンして選択される。次に、Xデコーダ
35の出力に従って、256本のワード線WL0〜WL
255から1本が選択される。選択されたビット線とワ
ード線に接続されたフローティングゲートを有する不揮
発性トランジスタからなるメモリセルの内容が、センス
アンプ/書き込み回路33中のセンスアンプを介してデ
ータバスに出力される。
【0040】また、メモリデータへの書き込みは、Xデ
コーダ35,Yデコーダ34の出力に従って、ビット線
BL0〜BL63とワード線WL0〜WL255からそ
れぞれ1本のビット線とワード線が選択され、選択され
たビット線とワード線に接続されたフローティングゲー
トを有する不揮発性トランジスタからなるメモリセル
に、センスアンプ/書き込み回路33中の書き込み回路
を介してデータバスの値が書き込まれる。
【0041】図8は、図5に示すブロック中の、64K
Bメモリブロック
〔0〕の、Xデコーダ35,Yデコー
ダ34,ダミーメモリセルアレイ,ロックビットセルア
レイ,センスアンプ/書き込み回路33を抽出して示す
図である。メモリセルアレイは、1センスアンプ/書き
込み回路に結合される分のみを示している。
【0042】Yデコーダ34は、図5に示すYアドレス
プリデコーダ23からの出力を受けて、64本のビット
線DBL1〜DBL64から1本のビット線を選択する
ための64本の制御信号CSS1〜CSS64を生成す
る。
【0043】Xデコーダ35は、図5に示すXアドレス
プリデコーダ21からの出力を受けて、256本のワー
ド線WL0〜WL255から1本のワード線を選択制御
する。また、ロックビット線LBLは、メモリブロック
毎にロック/アンロック状態を示す不揮発性トランジス
タTr00−0が繋がったビット線である。
【0044】さらに、フローティングゲートを有する不
揮発性トランジスタからなるダミーメモリセルとロック
ビットメモリセルTr00−0〜Tr00−64,Tr
10−0〜Tr1−64,Tr20−0〜Tr20−6
4,Tr30−0〜Tr30−64,Tr2550−0
〜Tr2550−64が行列状に配置されている。
【0045】このうち、同一行に配置されたメモリセル
Tr00−0〜Tr2550−0,Tr00−1〜Tr
2550−1,Tr00−2〜Tr2550−2,Tr
00−64〜Tr2550−64には、同一ビット線L
BL,LBL1〜DBL64がソース端子に接続されて
おり、それぞれ異なるワード線WL0〜WL255がゲ
ート端子に接続されている。DBL1〜DBL64は、
ダミービット線であり、LBLはロックビット線であ
る。
【0046】ダミーメモリセルデータの読み出しは、ま
ず、Yデコーダ34の出力に従って、64本のビット線
DBL1〜DBL64から1本が選択される。ビット線
は、Yデコーダ34の出力信号CSS1〜CSS64に
従って、選択された出力信号CSS1〜CSS64に結
合されているトランジスタ40〜43がオンして選択さ
れる。次に、Xデコーダ35の出力に従って、256本
のワード線WL0〜WL255から1本が選択される。
選択されたビット線とワード線に接続されたフローティ
ングゲートを有する不揮発性トランジスタからなるメモ
リセルの内容がセンスアンプ/書き込み回路33中のセ
ンスアンプを介してデータバスに出力される。
【0047】また、ダミーメモリセルデータへの書き込
みは、図5に示すXデコーダ35,Yデコーダ34の出
力に従って、ダミービット線DBL1〜DBL64とワ
ード線WL0〜WL255からそれぞれ1本のビット線
とワード線が選択され、選択されたビット線とワード線
に接続されたフローティングゲートを有する不揮発性ト
ランジスタからなるメモリセルに、センスアンプ/書き
込み回路33中の書き込み回路を介してデータバスの値
が書き込まれる。
【0048】さらに、ロックビットメモリセルデータの
読み出しは、制御信号LBCAがセレクトされ、Xデコ
ーダ35によってワード線WL0が選択され、ロックビ
ットメモリデータである不揮発性トランジスタTr00
−0の値が、センスアンプ/書き込み回路33中のセン
スアンプを介してデータバスに出力される。また、ロッ
クビットメモリへの書き込みは、制御信号LBCAがセ
レクトされ、Xデコーダ35によってワード線WL0が
選択され、ロックビットメモリデータである不揮発性ト
ランジスタTr00−0に、センスアンプ/書き込み回
路33中の書き込み回路を介してデータゼロの値が書き
込まれる。
【0049】〔動作説明〕 [自動一括消去]次に、この発明の不揮発性半導体メモ
リの自動消去シーケンサ8の構成について、図7を用い
て説明する。自動消去シーケンサ8は、自動消去シーケ
ンス制御回路44,消去前書き込み制御回路46,消去
/消去ベリファイ制御回路47,消去前書き込み信号生
成回路48,アドレスインクリメンタ49,消去ベリフ
ァイ回路50,ロックビット読み出し制御回路45から
なる。
【0050】自動消去シーケンス制御回路44は、コマ
ンドポート6,クロック生成回路11,パワーリセット
回路10からの信号を受け、この発明の不揮発性半導体
メモリが自動消去モードに入ると、ロックビット読み出
し制御回路45,消去前書き込み制御回路469,消去
/消去ベリファイ制御回路47を制御する。
【0051】自動消去は、ロックビット読み出し,消去
前書き込み,消去/消去ベリファイの各処理を、順次メ
モリ全体にわたって行う。ロックビット読み出し制御回
路45は、全メモリのロックビット情報を読み出してこ
の情報をロックビットフラグ回路15に保持する。読み
出されたロックビット情報は、ロックビットフラグ回路
15を介して消去前書き込み制御回路40,消去/消去
ベリファイ制御回路47に対して出力される。
【0052】消去前書き込み制御回路46は、自動消去
シーケンス制御回路44からの信号を受けて、メモリブ
ロックに対して消去前書き込み処理を行う。消去前書き
込み処理は、ロックビット読み出し制御回路45により
読み出されてロックビットフラグ回路15に保持された
ロック情報を基に、ロックされていないメモリブロック
のみに対して実行される。
【0053】消去前書き込み制御回路46は、アドレス
インクリメンタ49を使用し、消去対象となっているメ
モリブロックの、アドレスを最下位アドレスから最上位
アドレスまでインクリメントしながら、消去前書き込み
信号生成回路から消去前書き込み信号を発生させて処理
を行う。アドレスインクリメンタ49は、消去対象とな
っているメモリブロックの、アドレスを最下位アドレス
から最上位アドレスまでインクリメントさせる。消去/
消去ベリファイ制御回路47は、自動消去シーケンス制
御回路44からの信号を受けて、消去と消去ベリファイ
を行う。消去/消去ベリファイ処理は、ロックビット読
み出し制御回路45により読み出されてロックビットフ
ラグ回路15に保持されたロック情報を基に、ロックさ
れていないメモリブロックのみに対して実行される。消
去ベリファイ回路50は、消去動作後、メモリのデータ
を読み出し、期待値と比較処理して、消去されているか
否かを確認する。
【0054】メモリのデータ読み出し処理は、アドレス
インクリメンタ49を使用し、消去対象となっているメ
モリブロックの、アドレスを最下位アドレスから最上位
アドレスまでインクリメントして順次行う。
【0055】[自動一括消去のフローチャート]この発
明の不揮発性半導体メモリの自動一括消去の動作を、図
8のフローチャートを用いて説明する。この場合の自動
一括消去では、ブロック
〔0〕,ブロック〔1〕,ブロ
ック〔2〕,ブロック〔3〕,ブロック〔4〕,ブロッ
ク〔5〕,ブロック〔6〕,ブロック,ブロック〔7〕
の全てのブロックを対象にする。
【0056】まず、自動一括消去は、データD(15:
0)バスから入力される第1コマンド20H:51でセ
ットアップモードに入り、次のサイクルで確認コマンド
の第2コマンド20H:52でモードエントリする。
【0057】モードエントリ後、まずロックビットチェ
ック44を行う。ロックビットチェックでは、消去の対
象となるメモリブロックのロックビット情報を読み出
し、消去可能か否かを判断する。
【0058】ロックビットチェック53は、メモリの全
ブロックであるブロック
〔0〕,ブロック〔1〕,ブロ
ック〔2〕,ブロック〔3〕,ブロック〔4〕,ブロッ
ク〔5〕,ブロック〔6〕,ブロック,ブロック〔7〕
に対して、最終ブロック54まで反復実行する。読み出
されたロック/アンロックの情報は、ロックビットフラ
グ回路15に書き込まれる。全メモリがロック状態であ
れば、消去前書き込み55のフェーズに移行しないで正
常終了62する。また、強制消去モードにある場合に
は、ロックビットを読み出してロック状態にあっても、
ロックビットフラグ回路15には非ロック情報を書き込
む。ロックビットチェック53後、アンロックまたは強
制消去モードにある場合には、次の消去前書き込み55
のフェーズに移行する。
【0059】消去前書き込みのフェーズでは、自動消去
シーケンサ8が、消去対象となっているメモリブロック
に対して、データ“0”を書き込む動作を行う。また、
強制消去モードにある場合には、ロック状態にあって
も、全メモリブロックに対して消去前書き込み処理を実
行する。消去前書き込み55では、アドレスインクリメ
ンタを使用し、順次アドレスをインクリメントさせなが
らワード単位で書き込んでいく。消去前書き込み55の
フェーズ終了後、消去パルス印加56のフェーズに移行
する。
【0060】消去パルス印加56のフェーズでは、消去
パルスを消去対象となっているメモリブロックのみに印
加して消去動作を行う。消去パルス印加56のフェーズ
終了後、消去ベリファイ57のフェーズに移行する。
【0061】消去ベリファイ57のフェーズでは、消去
対象となっているメモリブロックに対して、最下位アド
レスから最上位アドレスまでインクリメントさせながら
消去ベリファイ処理を行う。消去ベリファイ57のフェ
ーズで、ベリファイフェイルが生じた場合、再消去を行
うために再消去前処理58のフェーズに移行する。
【0062】再消去前処理58のフェーズでは、再消去
前処理回数のカウンタ値を1だけインクリメントさせ、
処理を消去パルス印加56フェーズに再度移行させる。
消去パルス印加56フェーズでは、再び消去動作を行
う。消去パルス印加56フェーズ終了後、消去ベリファ
イ57のフェーズに移行する。
【0063】消去ベリファイ57のフェーズでは、前回
消去ベリファイに失敗したアドレスから再びベリファイ
を開始する。消去パルス印加56フェーズ,消去ベリフ
ァイ57フェーズ,再消去前処理58フェーズでは、消
去ベリファイ57フェーズで最終アドレスまでベリファ
イが行われるか、再消去前処理58で再消去前処理回数
のカウンタ値が最大値になるか、までループ処理が続け
られる。再消去前処理58で再消去前処理回数のカウン
タ値が最大値に到達すると消去エラー終了61として処
理が終了する。また、消去ベリファイ57フェーズで最
終アドレスまでベリファイが進むと、正常終了60とし
て、自動一括消去の処理を終了する。
【0064】[自動一括消去の消去ブロックパターン
1]次に、この発明の不揮発性半導体メモリの自動一括
消去の動作において、強制消去モードにおける消去する
メモリブロックの組み合わせについて図11を用いて説
明する。強制消去モードでは、ロックビットの情報にか
かわらず全てのメモリが消去の対象となる。
【0065】まず、64KBの容量を持つメモリブロッ
〔0〕について、図10に示した自動一括消去のフロ
ーチャートに従って、消去前書き込み、消去/消去ベリ
ファイを実行する。消去エラーであれば自動一括消去を
終了する。
【0066】次に、メモリブロック
〔0〕において消去
エラーでなければ、次の64KBの容量を持つメモリブ
ロック〔1〕について、図10に示した自動一括消去の
フローチャートに従って、消去前書き込み、消去/消去
ベリファイを実行する。消去エラーであれば自動一括消
去を終了する。
【0067】次に、メモリブロック〔1〕において消去
エラーでなければ、次の64KBの容量を持つメモリブ
ロック〔2〕について、図10に示した自動一括消去の
フローチャートに従って、消去前書き込み、消去/消去
ベリファイを実行する。消去エラーであれば自動一括消
去を終了する。
【0068】次に、メモリブロック〔2〕において消去
エラーでなければ、残りの32KBの容量を持つメモリ
ブロック〔3〕,16KBの容量を持つメモリブロック
〔4〕,8KBの容量を持つメモリブロック〔5〕,4
KBの容量を持つメモリブロック〔6〕,4KBの容量
を持つメモリブロック〔7〕の5つのメモリブロックに
対して、図10に示した自動一括消去のフローチャート
に従って、消去前書き込み、消去/消去ベリファイを実
行する。消去エラーであれば自動一括消去を終了する。
消去前書き込み、消去/消去ベリファイの各処理は、メ
モリブロック〔3〕,メモリブロック〔4〕,メモリブ
ロック〔5〕,メモリブロック〔6〕,メモリブロック
〔7〕の各メモリ個別に実行されるのではなく、メモリ
ブロック〔3〕,メモリブロック〔4〕,メモリブロッ
ク〔5〕,メモリブロック〔6〕,メモリブロック
〔7〕を一括して行われる。消去エラーであれば自動一
括消去を終了する。
【0069】[自動一括消去の消去ブロックパターン
2]次に、この発明の不揮発性半導体メモリの自動一括
消去の動作において、非強制消去モードにおける消去す
るメモリブロックの組み合わせについて図12を用いて
説明する。非強制消去モードでは、各メモリブロック
は、ロックビットの情報によって消去できるか否かが決
まる。ここで、メモリブロック〔3〕のみがロック状態
であることを仮定する。
【0070】まず、64KBの容量を持つメモリブロッ
〔0〕について、図10に示した自動一括消去のフロ
ーチャートに従って、消去前書き込み、消去/消去ベリ
ファイを実行する。消去エラーであれば自動一括消去を
終了する。
【0071】次に、メモリブロック
〔0〕において消去
エラーでなければ、次の64KBの容量を持つメモリブ
ロック〔1〕について、図10に示した自動一括消去の
フローチャートに従って、消去前書き込み、消去/消去
ベリファイを実行する。消去エラーであれば自動一括消
去を終了する。
【0072】次に、メモリブロック〔1〕において消去
エラーでなければ、次の64KBの容量を持つメモリブ
ロック〔2〕について、図10に示した自動一括消去の
フローチャートに従って、消去前書き込み、消去/消去
ベリファイを実行する。消去エラーであれば自動一括消
去を終了する。
【0073】次に、メモリブロック〔2〕において消去
エラーでなければ、残りの16KBの容量を持つメモリ
ブロック〔4〕,8KBの容量を持つメモリブロック
〔5〕,4KBの容量を持つメモリブロック〔6〕,4
KBの容量を持つメモリブロック〔7〕の4つのメモリ
ブロックに対して、図10に示した自動一括消去のフロ
ーチャートに従って、消去前書き込み、消去/消去ベリ
ファイを実行する。消去エラーであれば自動一括消去を
終了する。消去前書き込み、消去/消去ベリファイの各
処理は、メモリブロック〔4〕,メモリブロック
〔5〕,メモリブロック〔6〕,メモリブロック〔7〕
の各メモリ個別に実行されるのではなく、メモリブロッ
ク〔4〕,メモリブロック〔5〕,メモリブロック
〔6〕,メモリブロック〔7〕を一括して行われる。消
去エラーであれば自動一括消去を終了する。
【0074】[自動一括消去の消去ブロックパターン
3]次に、この発明の不揮発性半導体メモリの自動一括
消去の動作において、非強制消去モードにおける消去す
るメモリブロックの組み合わせについて図13を用いて
説明する。非強制消去モードでは、各メモリブロック
は、ロックビットの情報によって消去できるか否かが決
まる。ここで、メモリブロック〔3〕,メモリブロック
〔4〕,メモリブロック〔5〕,メモリブロック〔7〕
がロック状態であることを仮定する。
【0075】まず、64KBの容量を持つメモリブロッ
〔0〕について、図10に示した自動一括消去のフロ
ーチャートに従って、消去前書き込み、消去/消去ベリ
ファイを実行する。消去エラーであれば自動一括消去を
終了する。
【0076】次に、メモリブロック
〔0〕において消去
エラーでなければ、次の64KBの容量を持つメモリブ
ロック〔1〕について、図10に示した自動一括消去の
フローチャートに従って、消去前書き込み、消去/消去
ベリファイを実行する。消去エラーであれば自動一括消
去を終了する。
【0077】次に、メモリブロック〔1〕において消去
エラーでなければ、次の64KBの容量を持つメモリブ
ロック〔2〕と4KB容量を持つメモリブロック〔6〕
のメモリブロックに対して、図10に示した自動一括消
去のフローチャートに従って、消去前書き込み、消去/
消去ベリファイを実行する。ここで、メモリブロック
〔4〕,メモリブロック〔5〕,メモリブロック〔7〕
はロック状態なので、消去の対象にはならない。消去前
書き込み、消去/消去ベリファイの各処理は、メモリブ
ロック〔2〕,メモリブロック〔6〕の各メモリ個別に
実行されるのではなく、メモリブロック〔2〕,メモリ
ブロック〔6〕を一括して行われる。消去エラーであれ
ば自動一括消去を終了する。
【0078】ここでは、メモリブロック〔4〕,メモリ
ブロック〔5〕,メモリブロック〔6〕,メモリブロッ
ク〔7〕の不均等メモリブロックのうち、最小メモリ容
量であるメモリブロック〔6〕もしくはメモリブロック
〔7〕のみがアンロックの場合、メモリブロック
〔0〕,メモリブロック〔1〕,メモリブロック〔2〕
の大容量ブロックのうちのいずれかのアンロックメモリ
ブロックと抱き合わせで消去処理を実行する方式を取っ
ている。
【0079】メモリブロック
〔0〕,メモリブロック
〔1〕,メモリブロック〔2〕が全てアンロックの状態
で、メモリブロック〔4〕,メモリブロック〔5〕,メ
モリブロック〔6〕,メモリブロック〔7〕の不均等メ
モリブロックのうち、メモリブロック〔6〕のみがアン
ロックの場合には、メモリブロック〔2〕とメモリブロ
ック〔6〕を抱き合わせで消去処理を実行する。
【0080】メモリブロック
〔0〕,メモリブロック
〔1〕,メモリブロック〔2〕が全てアンロック状態
で、メモリブロック〔4〕,メモリブロック〔5〕,メ
モリブロック〔6〕,メモリブロック〔7〕の不均等メ
モリブロックのうち、メモリブロック〔7〕のみがアン
ロックの場合には、メモリブロック〔2〕とメモリブロ
ック〔7〕を抱き合わせで消去処理を実行する。
【0081】メモリブロック
〔0〕,メモリブロック
〔1〕がアンロック状態、メモリブロック〔2〕がロッ
ク状態で、メモリブロック〔4〕,メモリブロック
〔5〕,メモリブロック〔6〕,メモリブロック〔7〕
の不均等メモリブロックのうち、メモリブロック〔6〕
のみがアンロックの場合には、メモリブロック〔1〕と
メモリブロック〔6〕を抱き合わせで消去処理を実行す
る。
【0082】メモリブロック
〔0〕,メモリブロック
〔1〕がアンロック状態、メモリブロック〔2〕がロッ
ク状態で、メモリブロック〔4〕,メモリブロック
〔5〕,メモリブロック〔6〕,メモリブロック〔7〕
の不均等メモリブロックのうち、メモリブロック〔7〕
のみがアンロックの場合には、メモリブロック〔1〕と
メモリブロック〔7〕を抱き合わせで消去処理を実行す
る。
【0083】メモリブロック
〔0〕がアンロック状態、
メモリブロック〔1〕メモリブロック〔2〕がロック状
態で、メモリブロック〔4〕,メモリブロック〔5〕,
メモリブロック〔6〕,メモリブロック〔7〕の不均等
メモリブロックのうち、メモリブロック〔6〕のみがア
ンロックの場合には、メモリブロック
〔0〕とメモリブ
ロック〔6〕を抱き合わせで消去処理を実行する。
【0084】メモリブロック
〔0〕がアンロック状態、
メモリブロック〔1〕メモリブロック〔2〕がロック状
態で、メモリブロック〔4〕,メモリブロック〔5〕,
メモリブロック〔6〕,メモリブロック〔7〕の不均等
メモリブロックのうち、メモリブロック〔7〕のみがア
ンロックの場合には、メモリブロック
〔0〕とメモリブ
ロック〔7〕を抱き合わせで消去処理を実行する。
【0085】[自動一括消去の消去ブロックパターン
4]次に、この発明の不揮発性半導体メモリの自動一括
消去の動作において、非強制消去モードにおける消去す
るメモリブロックの組み合わせについて図14を用いて
説明する。非強制消去モードでは、各メモリブロック
は、ロックビットの情報によって消去できるか否かが決
まる。ここで、全メモリブロックがアンロック状態であ
ることを仮定する。
【0086】まず、64KBの容量を持つメモリブロッ
〔0〕について、図10に示した自動一括消去のフロ
ーチャートに従って、消去前書き込み、消去/消去ベリ
ファイを実行する。消去エラーであれば自動一括消去を
終了する。
【0087】次に、メモリブロック
〔0〕において消去
エラーでなければ、次の64KBの容量を持つメモリブ
ロック〔1〕について、図10に示した自動一括消去の
フローチャートに従って、消去前書き込み、消去/消去
ベリファイを実行する。消去エラーであれば自動一括消
去を終了する。
【0088】次に、メモリブロック〔1〕において消去
エラーでなければ、次の64KBの容量を持つメモリブ
ロック〔2〕について、図10に示した自動一括消去の
フローチャートに従って、消去前書き込み、消去/消去
ベリファイを実行する。消去エラーであれば自動一括消
去を終了する。
【0089】次に、メモリブロック〔2〕において消去
エラーでなければ、残りの32KBの容量を持つメモリ
ブロック〔3〕,16KBの容量を持つメモリブロック
〔4〕,8KBの容量を持つメモリブロック〔5〕,4
KBの容量を持つメモリブロック〔6〕,4KBの容量
を持つメモリブロック〔7〕の5つのメモリブロックに
対して、図10に示した自動一括消去のフローチャート
に従って、消去前書き込み、消去/消去ベリファイを実
行する。消去エラーであれば自動一括消去を終了する。
消去前書き込み、消去/消去ベリファイの各処理は、メ
モリブロック〔3〕,メモリブロック〔4〕,メモリブ
ロック〔5〕,メモリブロック〔6〕,メモリブロック
〔7〕の各メモリ個別に実行されるのではなく、メモリ
ブロック〔3〕,メモリブロック〔4〕,メモリブロッ
ク〔5〕,メモリブロック〔6〕,メモリブロック
〔7〕を一括して行われる。消去エラーであれば自動一
括消去を終了する。
【0090】この発明による実施の形態に係る不揮発性
半導体メモリでは、不揮発性トランジスタからなる複数
のメモリセルが行列状に配置されたメモリアレイで前記
メモリアレイを書き込み/消去可能か否かを示す不揮発
性トランジスタからなるメモリセルを前記メモリアレイ
内に有するメモリアレイと、メモリ容量の相違する前記
メモリアレイが複数個集まったブロックメモリアレイ
と、前記メモリアレイ内の書き込み/消去可能か否かを
示す不揮発性トランジスタからなるメモリセルの内容を
全て読み出しその内容を保持する記憶手段を備え、前記
記憶手段により保持された記憶内容により、前記ブロッ
クメモリアレイ中の消去可能な複数個の小容量メモリブ
ロックを同時に消去するものである。
【0091】また、この発明による実施の形態に係る不
揮発性半導体メモリでは、前記メモリ容量の相違するメ
モリアレイが複数個集まったブロックメモリアレイで、
前記記憶手段により記憶された記憶内容により、前記ブ
ロックメモリアレイ中の消去可能な大容量メモリブロッ
クと小容量メモリブロックを同時に消去するものであ
る。
【0092】さらに、この発明による実施の形態に係る
不揮発性半導体メモリでは、前記メモリ容量の相違する
メモリアレイが複数個集まったブロックメモリアレイ
で、前記記憶手段により記憶された記憶内容に関係な
く、前記ブロックメモリアレイ中の消去可能な小容量メ
モリブロック全てを同時に消去するものである。
【0093】そして、この発明による実施の形態に係る
不揮発性半導体メモリの動作方法では、不揮発性トラン
ジスタからなる複数のメモリセルが行列状に配置された
メモリアレイで前記メモリアレイを書き込み/消去可能
か否かを示す不揮発性トランジスタからなるメモリセル
を前記メモリアレイ内に有するメモリアレイと、メモリ
容量の相違する前記メモリアレイが複数個集まったブロ
ックメモリアレイと、前記メモリアレイ内の書き込み/
消去可能か否かを示す不揮発性トランジスタからなるメ
モリセルの内容を全て読み出しその内容を保持する記憶
手段を備え、前記記憶手段により保持された記憶内容に
より、前記ブロックメモリアレイ中の消去可能な複数個
の小容量メモリブロックを同時に消去するものである。
【0094】さらにまた、この発明による実施の形態に
係る不揮発性半導体メモリの動作方法では、前記メモリ
容量の相違するメモリアレイが複数個集まったブロック
メモリアレイで、前記記憶手段により記憶された記憶内
容により、前記ブロックメモリアレイ中の消去可能な大
容量メモリブロックと小容量メモリブロックを同時に消
去するものである。
【0095】この発明による実施の形態に係る不揮発性
半導体メモリの動作方法では、前記メモリ容量の相違す
るメモリアレイが複数個集まったブロックメモリアレイ
で、前記記憶手段により記憶された記憶内容に関係な
く、前記ブロックメモリアレイ中の消去可能な小容量メ
モリブロック全てを同時に消去するものである。
【0096】この発明による実施の形態によれば、不揮
発性トランジスタからなる複数のメモリセルが行列状に
配置されたメモリアレイで構成され比較的小さなメモリ
容量を持つ複数個の小容量メモリブロックと、不揮発性
トランジスタからなる複数のメモリセルが行列状に配置
されたメモリアレイで構成され比較的大きなメモリ容量
を持つ大容量メモリブロックとを含むメモリ部、前記小
容量メモリブロックおよび大容量メモリブロックにそれ
ぞれ設けられ各メモリブロックの書き込み/消去可能か
否かを示す不揮発性トランジスタからなるロックビット
メモリセルで構成された書き込み/消去識別用メモリセ
ル、前記書き込み/消去識別用メモリセルの内容を全て
読み出しその内容を保持するロックビットフラグ回路1
5からなる記憶手段を備え、非強制消去モードによる自
動消去において、前記記憶手段により保持された記憶内
容により、前記メモリ部における消去可能な大容量メモ
リブロックを個別に消去するとともに、前記メモリ部に
おける消去可能な複数個の小容量メモリブロックを同時
に消去するようにしたので、非強制消去モードによる自
動消去における小容量メモリブロックの消去処理を適切
に行わせることにより、消去処理時間の短縮を実現でき
る不揮発性半導体メモリを得ることができる。
【0097】また、この発明による実施の形態によれ
ば、不揮発性トランジスタからなる複数のメモリセルが
行列状に配置されたメモリアレイで構成され比較的小さ
なメモリ容量を持つ複数個の小容量メモリブロックと、
不揮発性トランジスタからなる複数のメモリセルが行列
状に配置されたメモリアレイで構成され比較的大きなメ
モリ容量を持つ大容量メモリブロックとを含むメモリ
部、前記小容量メモリブロックおよび大容量メモリブロ
ックにそれぞれ設けられ各メモリブロックの書き込み/
消去可能か否かを示す不揮発性トランジスタからなるロ
ックビットメモリセルで構成された書き込み/消去識別
用メモリセル、前記書き込み/消去識別用メモリセルの
内容を全て読み出しその内容を保持するロックビットフ
ラグ回路15からなる記憶手段を備え、非強制消去モー
ドによる自動消去において、前記記憶手段により記憶さ
れた記憶内容により、前記メモリ部における消去可能な
大容量メモリブロックと小容量メモリブロックを同時に
消去するようにしたので、非強制消去モードによる自動
消去における小容量メモリブロックの消去処理を適切に
行わせることにより、消去処理時間の短縮を実現できる
不揮発性半導体メモリを得ることができる。
【0098】さらに、この発明による実施の形態によれ
ば、不揮発性トランジスタからなる複数のメモリセルが
行列状に配置されたメモリアレイで構成され比較的小さ
なメモリ容量を持つ複数個の小容量メモリブロックと、
不揮発性トランジスタからなる複数のメモリセルが行列
状に配置されたメモリアレイで構成され比較的大きなメ
モリ容量を持つ大容量メモリブロックとを含むメモリ
部、前記小容量メモリブロックおよび大容量メモリブロ
ックにそれぞれ設けられ各メモリブロックの書き込み/
消去可能か否かを示す不揮発性トランジスタからなるロ
ックビットメモリセルで構成された書き込み/消去識別
用メモリセル、前記書き込み/消去識別用メモリセルの
内容を全て読み出しその内容を保持するロックビットフ
ラグ回路15からなる記憶手段を備え、強制消去モード
による自動消去において、前記記憶手段により記憶され
た記憶内容に関係なく、前記ブロックメモリアレイ中の
消去可能な小容量メモリブロック全てを同時に消去する
ようにしたので、強制消去モードによる自動消去におけ
る小容量メモリブロックの消去処理を適切に行わせるこ
とにより、消去処理時間の短縮を実現できる不揮発性半
導体メモリを得ることができる。
【0099】そして、この発明による実施の形態によれ
ば、不揮発性トランジスタからなる複数のメモリセルが
行列状に配置されたメモリアレイで構成され比較的小さ
なメモリ容量を持つ複数個の小容量メモリブロックと、
不揮発性トランジスタからなる複数のメモリセルが行列
状に配置されたメモリアレイで構成され比較的大きなメ
モリ容量を持つ大容量メモリブロックとを含むメモリ
部、前記小容量メモリブロックおよび大容量メモリブロ
ックにそれぞれ設けられ各メモリブロックの書き込み/
消去可能か否かを示す不揮発性トランジスタからなるロ
ックビットメモリセルで構成された書き込み/消去識別
用メモリセル、前記書き込み/消去識別用メモリセルの
内容を全て読み出しその内容を保持するロックビットフ
ラグ回路15からなる記憶手段を備えた不揮発性半導体
メモリを動作させるにあたり、非強制消去モードによる
自動消去において、前記記憶手段により保持された記憶
内容により、前記メモリ部における消去可能な大容量メ
モリブロックを個別に消去するとともに、前記メモリ部
における消去可能な複数個の小容量メモリブロックを同
時に消去するようにしたので、非強制消去モードによる
自動消去における小容量メモリブロックの消去処理を適
切に行わせることにより、消去処理時間の短縮を実現で
きる不揮発性半導体メモリの動作方法を得ることができ
る。
【0100】さらにまた、この発明による実施の形態に
よれば、不揮発性トランジスタからなる複数のメモリセ
ルが行列状に配置されたメモリアレイで構成され比較的
小さなメモリ容量を持つ複数個の小容量メモリブロック
と、不揮発性トランジスタからなる複数のメモリセルが
行列状に配置されたメモリアレイで構成され比較的大き
なメモリ容量を持つ大容量メモリブロックとを含むメモ
リ部、前記小容量メモリブロックおよび大容量メモリブ
ロックにそれぞれ設けられ各メモリブロックの書き込み
/消去可能か否かを示す不揮発性トランジスタからなる
ロックビットメモリセルで構成された書き込み/消去識
別用メモリセル、前記書き込み/消去識別用メモリセル
の内容を全て読み出しその内容を保持するロックビット
フラグ回路15からなる記憶手段を備えた不揮発性半導
体メモリを動作させるにあたり、非強制消去モードによ
る自動消去において、前記記憶手段により記憶された記
憶内容により、前記メモリ部における消去可能な大容量
メモリブロックと小容量メモリブロックを同時に消去す
るようにしたので、非強制消去モードによる自動消去に
おける小容量メモリブロックの消去処理を適切に行わせ
ることにより、消去処理時間の短縮を実現できる不揮発
性半導体メモリを得ることができる。
【0101】そしてまた、この発明による実施の形態に
よれば、不揮発性トランジスタからなる複数のメモリセ
ルが行列状に配置されたメモリアレイで構成され比較的
小さなメモリ容量を持つ複数個の小容量メモリブロック
と、不揮発性トランジスタからなる複数のメモリセルが
行列状に配置されたメモリアレイで構成され比較的大き
なメモリ容量を持つ大容量メモリブロックとを含むメモ
リ部、前記小容量メモリブロックおよび大容量メモリブ
ロックにそれぞれ設けられ各メモリブロックの書き込み
/消去可能か否かを示す不揮発性トランジスタからなる
ロックビットメモリセルで構成された書き込み/消去識
別用メモリセル、前記書き込み/消去識別用メモリセル
の内容を全て読み出しその内容を保持するロックビット
フラグ回路10からなる記憶手段を備えた不揮発性半導
体メモリを動作させるにあたり、強制消去モードによる
自動消去において、前記記憶手段により記憶された記憶
内容に関係なく、前記ブロックメモリアレイ中の消去可
能な小容量メモリブロック全てを同時に消去するように
したので、強制消去モードによる自動消去における小容
量メモリブロックの消去処理を適切に行わせることによ
り、消去処理時間の短縮を実現できる不揮発性半導体メ
モリを得ることができる。
【0102】
【発明の効果】第1の発明によれば、不揮発性トランジ
スタからなる複数のメモリセルが行列状に配置されたメ
モリアレイで構成され比較的小さなメモリ容量を持つ複
数個の小容量メモリブロックと、不揮発性トランジスタ
からなる複数のメモリセルが行列状に配置されたメモリ
アレイで構成され比較的大きなメモリ容量を持つ大容量
メモリブロックとを含むメモリ部、前記小容量メモリブ
ロックおよび大容量メモリブロックにそれぞれ設けられ
各メモリブロックの書き込み/消去可能か否かを示す不
揮発性トランジスタからなる書き込み/消去識別用メモ
リセル、前記書き込み/消去識別用メモリセルの内容を
全て読み出しその内容を保持する記憶手段を備え、非強
制消去モードによる自動消去において、前記記憶手段に
より保持された記憶内容により、前記メモリ部における
消去可能な大容量メモリブロックを個別に消去するとと
もに、前記メモリ部における消去可能な複数個の小容量
メモリブロックを同時に消去するようにしたので、非強
制消去モードによる自動消去における小容量メモリブロ
ックの消去処理を適切に行わせることにより、消去処理
時間の短縮を実現できる不揮発性半導体メモリを得るこ
とができる。
【0103】第2の発明によれば、不揮発性トランジス
タからなる複数のメモリセルが行列状に配置されたメモ
リアレイで構成され比較的小さなメモリ容量を持つ複数
個の小容量メモリブロックと、不揮発性トランジスタか
らなる複数のメモリセルが行列状に配置されたメモリア
レイで構成され比較的大きなメモリ容量を持つ大容量メ
モリブロックとを含むメモリ部、前記小容量メモリブロ
ックおよび大容量メモリブロックにそれぞれ設けられ各
メモリブロックの書き込み/消去可能か否かを示す不揮
発性トランジスタからなる書き込み/消去識別用メモリ
セル、前記書き込み/消去識別用メモリセルの内容を全
て読み出しその内容を保持する記憶手段を備え、非強制
消去モードによる自動消去において、前記記憶手段によ
り記憶された記憶内容により、前記メモリ部における消
去可能な大容量メモリブロックと小容量メモリブロック
を同時に消去するようにしたので、非強制消去モードに
よる自動消去における小容量メモリブロックの消去処理
を適切に行わせることにより、消去処理時間の短縮を実
現できる不揮発性半導体メモリを得ることができる。
【0104】第3の発明によれば、不揮発性トランジス
タからなる複数のメモリセルが行列状に配置されたメモ
リアレイで構成され比較的小さなメモリ容量を持つ複数
個の小容量メモリブロックと、不揮発性トランジスタか
らなる複数のメモリセルが行列状に配置されたメモリア
レイで構成され比較的大きなメモリ容量を持つ大容量メ
モリブロックとを含むメモリ部、前記小容量メモリブロ
ックおよび大容量メモリブロックにそれぞれ設けられ各
メモリブロックの書き込み/消去可能か否かを示す不揮
発性トランジスタからなる書き込み/消去識別用メモリ
セル、前記書き込み/消去識別用メモリセルの内容を全
て読み出しその内容を保持する記憶手段を備え、強制消
去モードによる自動消去において、前記記憶手段により
記憶された記憶内容に関係なく、前記ブロックメモリア
レイ中の消去可能な小容量メモリブロック全てを同時に
消去するようにしたので、強制消去モードによる自動消
去における小容量メモリブロックの消去処理を適切に行
わせることにより、消去処理時間の短縮を実現できる不
揮発性半導体メモリを得ることができる。
【0105】第4の発明によれば、不揮発性トランジス
タからなる複数のメモリセルが行列状に配置されたメモ
リアレイで構成され比較的小さなメモリ容量を持つ複数
個の小容量メモリブロックと、不揮発性トランジスタか
らなる複数のメモリセルが行列状に配置されたメモリア
レイで構成され比較的大きなメモリ容量を持つ大容量メ
モリブロックとを含むメモリ部、前記小容量メモリブロ
ックおよび大容量メモリブロックにそれぞれ設けられ各
メモリブロックの書き込み/消去可能か否かを示す不揮
発性トランジスタからなる書き込み/消去識別用メモリ
セル、前記書き込み/消去識別用メモリセルの内容を全
て読み出しその内容を保持する記憶手段を備えた不揮発
性半導体メモリを動作させるにあたり、非強制消去モー
ドによる自動消去において、前記記憶手段により保持さ
れた記憶内容により、前記メモリ部における消去可能な
大容量メモリブロックを個別に消去するとともに、前記
メモリ部における消去可能な複数個の小容量メモリブロ
ックを同時に消去するようにしたので、非強制消去モー
ドによる自動消去における小容量メモリブロックの消去
処理を適切に行わせることにより、消去処理時間の短縮
を実現できる不揮発性半導体メモリの動作方法を得るこ
とができる。
【0106】第5の発明によれば、不揮発性トランジス
タからなる複数のメモリセルが行列状に配置されたメモ
リアレイで構成され比較的小さなメモリ容量を持つ複数
個の小容量メモリブロックと、不揮発性トランジスタか
らなる複数のメモリセルが行列状に配置されたメモリア
レイで構成され比較的大きなメモリ容量を持つ大容量メ
モリブロックとを含むメモリ部、前記小容量メモリブロ
ックおよび大容量メモリブロックにそれぞれ設けられ各
メモリブロックの書き込み/消去可能か否かを示す不揮
発性トランジスタからなる書き込み/消去識別用メモリ
セル、前記書き込み/消去識別用メモリセルの内容を全
て読み出しその内容を保持する記憶手段を備えた不揮発
性半導体メモリを動作させるにあたり、非強制消去モー
ドによる自動消去において、前記記憶手段により記憶さ
れた記憶内容により、前記メモリ部における消去可能な
大容量メモリブロックと小容量メモリブロックを同時に
消去するようにしたので、非強制消去モードによる自動
消去における小容量メモリブロックの消去処理を適切に
行わせることにより、消去処理時間の短縮を実現できる
不揮発性半導体メモリの動作方法を得ることができる。
【0107】第6の発明によれば、不揮発性トランジス
タからなる複数のメモリセルが行列状に配置されたメモ
リアレイで構成され比較的小さなメモリ容量を持つ複数
個の小容量メモリブロックと、不揮発性トランジスタか
らなる複数のメモリセルが行列状に配置されたメモリア
レイで構成され比較的大きなメモリ容量を持つ大容量メ
モリブロックとを含むメモリ部、前記小容量メモリブロ
ックおよび大容量メモリブロックにそれぞれ設けられ各
メモリブロックの書き込み/消去可能か否かを示す不揮
発性トランジスタからなる書き込み/消去識別用メモリ
セル、前記書き込み/消去識別用メモリセルの内容を全
て読み出しその内容を保持する記憶手段を備えた不揮発
性半導体メモリを動作させるにあたり、強制消去モード
による自動消去において、前記記憶手段により記憶され
た記憶内容に関係なく、前記ブロックメモリアレイ中の
消去可能な小容量メモリブロック全てを同時に消去する
ようにしたので、強制消去モードによる自動消去におけ
る小容量メモリブロックの消去処理を適切に行わせるこ
とにより、消去処理時間の短縮を実現できる不揮発性半
導体メモリの動作方法を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明による実施の形態における不揮発性
半導体メモリの機能ブロックを示す図である。
【図2】 この発明による実施の形態における不揮発性
半導体メモリの動作モード一覧を示す図である。
【図3】 図1に示す機能ブロック中の、マイクロシー
ケンサの機能ブロックを示す図である。
【図4】 図1に示す機能ブロック中の、チャージポン
プの機能ブロックを示す図である。
【図5】 図1に示す機能ブロック中の、メモリデコー
ダ・メモリブロックの構成図である。
【図6】 図1に示す機能ブロック中の、メモリブロッ
クのアドレス空間を示す図である。
【図7】 図5に示す機能ブロック中の、Xデコーダ,
Yデコーダ,メモリセルアレイ,センスアンプ/書き込
み回路を抽出して示す図である。
【図8】 図5に示す機能ブロック中の、Xデコーダ,
Yデコーダ,ダミーメモリセルアレイ,ロックビットセ
ルアレイ,センスアンプ/書き込み回路を抽出して示す
図である。
【図9】 図3に示す機能ブロック中の、自動消去シー
ケンサの機能ブロックを示す図である。
【図10】 自動一括消去シーケンスを示すフローチャ
ート図である。
【図11】 強制消去モードにおける消去するメモリブ
ロックの組み合わせについて示した図である。
【図12】 非強制消去モードにおける消去するメモリ
ブロックの組み合わせについて示した図である。
【図13】 非強制消去モードにおける消去するメモリ
ブロックの組み合わせについて示した図である。
【図14】 非強制消去モードにおける消去するメモリ
ブロックの組み合わせについて示した図である。
【符号の説明】
1 マイクロシーケンサ、2 チャージポンプ、3 メ
モリデコーダ、4 メモリブロック、5 アドレス/デ
ータ/制御信号ラッチ回路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山本 誠 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 伊庭 智久 東京都千代田区大手町二丁目6番2号 三 菱電機エンジニアリング株式会社内 Fターム(参考) 5B025 AA03 AB01 AC01 AD01 AD08 AD14 AE05

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 不揮発性トランジスタからなる複数のメ
    モリセルが行列状に配置されたメモリアレイで構成され
    比較的小さなメモリ容量を持つ複数個の小容量メモリブ
    ロックと、不揮発性トランジスタからなる複数のメモリ
    セルが行列状に配置されたメモリアレイで構成され比較
    的大きなメモリ容量を持つ大容量メモリブロックとを含
    むメモリ部、前記小容量メモリブロックおよび大容量メ
    モリブロックにそれぞれ設けられ各メモリブロックの書
    き込み/消去可能か否かを示す不揮発性トランジスタか
    らなる書き込み/消去識別用メモリセル、前記書き込み
    /消去識別用メモリセルの内容を全て読み出しその内容
    を保持する記憶手段を備え、非強制消去モードによる自
    動消去において、前記記憶手段により保持された記憶内
    容により、前記メモリ部における消去可能な大容量メモ
    リブロックを個別に消去するとともに、前記メモリ部に
    おける消去可能な複数個の小容量メモリブロックを同時
    に消去することを特徴とする不揮発性半導体メモリ。
  2. 【請求項2】 不揮発性トランジスタからなる複数のメ
    モリセルが行列状に配置されたメモリアレイで構成され
    比較的小さなメモリ容量を持つ複数個の小容量メモリブ
    ロックと、不揮発性トランジスタからなる複数のメモリ
    セルが行列状に配置されたメモリアレイで構成され比較
    的大きなメモリ容量を持つ大容量メモリブロックとを含
    むメモリ部、前記小容量メモリブロックおよび大容量メ
    モリブロックにそれぞれ設けられ各メモリブロックの書
    き込み/消去可能か否かを示す不揮発性トランジスタか
    らなる書き込み/消去識別用メモリセル、前記書き込み
    /消去識別用メモリセルの内容を全て読み出しその内容
    を保持する記憶手段を備え、非強制消去モードによる自
    動消去において、前記記憶手段により記憶された記憶内
    容により、前記メモリ部における消去可能な大容量メモ
    リブロックと小容量メモリブロックを同時に消去するこ
    とを特徴とする不揮発性半導体メモリ。
  3. 【請求項3】 不揮発性トランジスタからなる複数のメ
    モリセルが行列状に配置されたメモリアレイで構成され
    比較的小さなメモリ容量を持つ複数個の小容量メモリブ
    ロックと、不揮発性トランジスタからなる複数のメモリ
    セルが行列状に配置されたメモリアレイで構成され比較
    的大きなメモリ容量を持つ大容量メモリブロックとを含
    むメモリ部、前記小容量メモリブロックおよび大容量メ
    モリブロックにそれぞれ設けられ各メモリブロックの書
    き込み/消去可能か否かを示す不揮発性トランジスタか
    らなる書き込み/消去識別用メモリセル、前記書き込み
    /消去識別用メモリセルの内容を全て読み出しその内容
    を保持する記憶手段を備え、強制消去モードによる自動
    消去において、前記記憶手段により記憶された記憶内容
    に関係なく、前記ブロックメモリアレイ中の消去可能な
    小容量メモリブロック全てを同時に消去することを特徴
    とする不揮発性半導体メモリ。
  4. 【請求項4】 不揮発性トランジスタからなる複数のメ
    モリセルが行列状に配置されたメモリアレイで構成され
    比較的小さなメモリ容量を持つ複数個の小容量メモリブ
    ロックと、不揮発性トランジスタからなる複数のメモリ
    セルが行列状に配置されたメモリアレイで構成され比較
    的大きなメモリ容量を持つ大容量メモリブロックとを含
    むメモリ部、前記小容量メモリブロックおよび大容量メ
    モリブロックにそれぞれ設けられ各メモリブロックの書
    き込み/消去可能か否かを示す不揮発性トランジスタか
    らなる書き込み/消去識別用メモリセル、前記書き込み
    /消去識別用メモリセルの内容を全て読み出しその内容
    を保持する記憶手段を備えた不揮発性半導体メモリを動
    作させるにあたり、非強制消去モードによる自動消去に
    おいて、前記記憶手段により保持された記憶内容によ
    り、前記メモリ部における消去可能な大容量メモリブロ
    ックを個別に消去するとともに、前記メモリ部における
    消去可能な複数個の小容量メモリブロックを同時に消去
    することを特徴とする不揮発性半導体メモリの動作方
    法。
  5. 【請求項5】 不揮発性トランジスタからなる複数のメ
    モリセルが行列状に配置されたメモリアレイで構成され
    比較的小さなメモリ容量を持つ複数個の小容量メモリブ
    ロックと、不揮発性トランジスタからなる複数のメモリ
    セルが行列状に配置されたメモリアレイで構成され比較
    的大きなメモリ容量を持つ大容量メモリブロックとを含
    むメモリ部、前記小容量メモリブロックおよび大容量メ
    モリブロックにそれぞれ設けられ各メモリブロックの書
    き込み/消去可能か否かを示す不揮発性トランジスタか
    らなる書き込み/消去識別用メモリセル、前記書き込み
    /消去識別用メモリセルの内容を全て読み出しその内容
    を保持する記憶手段を備えた不揮発性半導体メモリを動
    作させるにあたり、非強制消去モードによる自動消去に
    おいて、前記記憶手段により記憶された記憶内容によ
    り、前記メモリ部における消去可能な大容量メモリブロ
    ックと小容量メモリブロックを同時に消去することを特
    徴とする不揮発性半導体メモリの動作方法。
  6. 【請求項6】 不揮発性トランジスタからなる複数のメ
    モリセルが行列状に配置されたメモリアレイで構成され
    比較的小さなメモリ容量を持つ複数個の小容量メモリブ
    ロックと、不揮発性トランジスタからなる複数のメモリ
    セルが行列状に配置されたメモリアレイで構成され比較
    的大きなメモリ容量を持つ大容量メモリブロックとを含
    むメモリ部、前記小容量メモリブロックおよび大容量メ
    モリブロックにそれぞれ設けられ各メモリブロックの書
    き込み/消去可能か否かを示す不揮発性トランジスタか
    らなる書き込み/消去識別用メモリセル、前記書き込み
    /消去識別用メモリセルの内容を全て読み出しその内容
    を保持する記憶手段を備えた不揮発性半導体メモリを動
    作させるにあたり、強制消去モードによる自動消去にお
    いて、前記記憶手段により記憶された記憶内容に関係な
    く、前記ブロックメモリアレイ中の消去可能な小容量メ
    モリブロック全てを同時に消去することを特徴とする不
    揮発性半導体メモリの動作方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004253021A (ja) * 2003-02-18 2004-09-09 Fujitsu Ltd 不揮発性半導体記憶装置
US7382663B2 (en) 2006-02-08 2008-06-03 Samsung Electronics Co., Ltd. Erase voltage generator circuit for providing uniform erase execution time and nonvolatile memory device having the same
JP2010238360A (ja) * 2010-06-25 2010-10-21 Toshiba Corp 不揮発性半導体記憶装置及びそのデータ消去方法

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US7643351B2 (en) 2006-02-08 2010-01-05 Samsung Electronics Co., Ltd. Erase voltage generator circuit for providing uniform erase execution time and nonvolatile memory device having the same
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