JP2002156090A - パウダー固着防止手段を備えた排気ガス移送パイプ - Google Patents
パウダー固着防止手段を備えた排気ガス移送パイプInfo
- Publication number
- JP2002156090A JP2002156090A JP2001128410A JP2001128410A JP2002156090A JP 2002156090 A JP2002156090 A JP 2002156090A JP 2001128410 A JP2001128410 A JP 2001128410A JP 2001128410 A JP2001128410 A JP 2001128410A JP 2002156090 A JP2002156090 A JP 2002156090A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pipe
- exhaust gas
- spring
- transfer pipe
- powder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims abstract description 31
- 238000012546 transfer Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 230000002265 prevention Effects 0.000 title claims abstract description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 45
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 231100000614 poison Toxicity 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 2
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 2
- 239000003440 toxic substance Substances 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002341 toxic gas Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B9/00—Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto
- B08B9/02—Cleaning pipes or tubes or systems of pipes or tubes
- B08B9/027—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Pipe Accessories (AREA)
- Rigid Pipes And Flexible Pipes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 構造が簡単ながらも効果的にパウダー固着
を防止できる排気ガス移送パイプを提供する。 【解決手段】 このパイプは排気ガスをガス処理装置に
移送するためのものであって内部にパイプの内径大きさ
の外径を有するスプリングと、スプリングを回転駆動さ
せるために前記スプリングの端部に設けられるモータと
で構成されるパウダー固着防止手段を備えている。パイ
プが折れる部位には内部が空いているエルボボックスが
設置できるが、両方向のパイプ端部モータが設けられ
る。スプリングの設置が容易でない部位にはヒーティン
グコイルが追加で設置できる。また、前記パウダー固着
防止手段はパイプ全体を沿って設置できるが、特に前記
移送パイプでパウダーが多く固着できるガス処理装置と
の連結部位近くにのみ設置されることもある。
を防止できる排気ガス移送パイプを提供する。 【解決手段】 このパイプは排気ガスをガス処理装置に
移送するためのものであって内部にパイプの内径大きさ
の外径を有するスプリングと、スプリングを回転駆動さ
せるために前記スプリングの端部に設けられるモータと
で構成されるパウダー固着防止手段を備えている。パイ
プが折れる部位には内部が空いているエルボボックスが
設置できるが、両方向のパイプ端部モータが設けられ
る。スプリングの設置が容易でない部位にはヒーティン
グコイルが追加で設置できる。また、前記パウダー固着
防止手段はパイプ全体を沿って設置できるが、特に前記
移送パイプでパウダーが多く固着できるガス処理装置と
の連結部位近くにのみ設置されることもある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は排気ガス移送パイプ
に関するものであり、さらに詳細には排気ガス特に半導
体製造中に生じる排気ガスを排気ガス処理装置等に移送
することにおいてパウダー固着を防止する手段を備えた
排気ガス移送パイプに関するものである。
に関するものであり、さらに詳細には排気ガス特に半導
体製造中に生じる排気ガスを排気ガス処理装置等に移送
することにおいてパウダー固着を防止する手段を備えた
排気ガス移送パイプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体製造中に生じる排気ガス
には毒性物質が比較的高濃度に含まれているので、この
ような排気ガスは大気中に放出される前に毒性物質を取
り除くべきである。したがって、半導体製造中に生じた
排気ガスはガス処理装置(ガススクラバー)に移送されて
バーニング(Ｂｕｒｎｉｎｇ)、ウェッティング(Ｗｅｔ
ｔｉｎｇ)、または吸着方法等の毒性物質を取り除く過
程を経るようになる。本発明のガススクラバーに関して
は米国特許登録第５、９９７、８２４号に詳細に記述さ
れている。
には毒性物質が比較的高濃度に含まれているので、この
ような排気ガスは大気中に放出される前に毒性物質を取
り除くべきである。したがって、半導体製造中に生じた
排気ガスはガス処理装置(ガススクラバー)に移送されて
バーニング(Ｂｕｒｎｉｎｇ)、ウェッティング(Ｗｅｔ
ｔｉｎｇ)、または吸着方法等の毒性物質を取り除く過
程を経るようになる。本発明のガススクラバーに関して
は米国特許登録第５、９９７、８２４号に詳細に記述さ
れている。
【０００３】このようなガス処理のために排気ガスをガ
ス処理装置に移送するパイプにはまだ処理されていない
毒性が強い排気ガスが流れるようになるので、パイプ内
周面に毒性ガスの粉末(パウダー）が固着されてついに
はパイプを塞いでしまうこともある。
ス処理装置に移送するパイプにはまだ処理されていない
毒性が強い排気ガスが流れるようになるので、パイプ内
周面に毒性ガスの粉末(パウダー）が固着されてついに
はパイプを塞いでしまうこともある。
【０００４】従来にはこのようにパウダーがパイプ内周
面に固着されることを防ぐために図１に示されたように
排気ガスをガス処理装置７に移送するパイプ１の外周面
にヒーティングコイル３を巻いてその外部に断熱材５を
備えて加熱することによってパイプを流れるガスの温度
変化を減少させる方法を用いた。
面に固着されることを防ぐために図１に示されたように
排気ガスをガス処理装置７に移送するパイプ１の外周面
にヒーティングコイル３を巻いてその外部に断熱材５を
備えて加熱することによってパイプを流れるガスの温度
変化を減少させる方法を用いた。
【０００５】しかしこのような方法はパイプ周りに持続
的に熱を加えるべきなのでエネルギー損失は多いがパウ
ダー固着防止の効率は良くないため定期的にパイプを分
離して内部のパウダーを取り除くクリーニング作業が必
要であって、設備も簡便でない短所があった。
的に熱を加えるべきなのでエネルギー損失は多いがパウ
ダー固着防止の効率は良くないため定期的にパイプを分
離して内部のパウダーを取り除くクリーニング作業が必
要であって、設備も簡便でない短所があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】それで本発明は前記の
ような問題を解決して構造が簡単ながらも効果的にパウ
ダー固着を防止できる排気ガス移送パイプを提供するこ
とにその目的がある。
ような問題を解決して構造が簡単ながらも効果的にパウ
ダー固着を防止できる排気ガス移送パイプを提供するこ
とにその目的がある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記のような目的を達成
するための本発明の排気ガス移送パイプは内部にパイプ
の内径と同じ外径を有するスプリングと前記スプリング
を回転駆動させるためのモータとを備えている。
するための本発明の排気ガス移送パイプは内部にパイプ
の内径と同じ外径を有するスプリングと前記スプリング
を回転駆動させるためのモータとを備えている。
【０００８】パイプが折れる部位には内部が空いている
エルボボックスが設置できるが、両方向のパイプ端部モ
ータが設けられる。そして、スプリングの設置が容易で
ない部位にはヒーティングコイルが追加で設置されるこ
ともある。
エルボボックスが設置できるが、両方向のパイプ端部モ
ータが設けられる。そして、スプリングの設置が容易で
ない部位にはヒーティングコイルが追加で設置されるこ
ともある。
【０００９】また、前記パウダー固着防止手段はパイプ
全体を沿って設置できるが、特に前記移送パイプでパウ
ダーが多く固着されることがあるガス処理装置との連結
部位近くにのみ設置されることもある。
全体を沿って設置できるが、特に前記移送パイプでパウ
ダーが多く固着されることがあるガス処理装置との連結
部位近くにのみ設置されることもある。
【００１０】このような構造の排気ガス移送パイプによ
って簡便で効率的にパウダー固着を防止できることであ
る。
って簡便で効率的にパウダー固着を防止できることであ
る。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明を添付した例示図面
を参照して詳細に説明する。
を参照して詳細に説明する。
【００１２】図２は、本発明による排気ガス移送パイプ
の第１実施例を示したことである。示されたように本発
明の排気ガス移送パイプ１１ａ、１１ｂ、１１ｃはその
内部にスプリング１３ａ、１３ｂ、１３ｃが備わって、
このスプリング１３ａ、１３ｂ、１３ｃは端部に設けら
れたモータ１７ａ、１７ｂまたは１７ｃ、１７ｄによっ
て回転駆動するようになる。
の第１実施例を示したことである。示されたように本発
明の排気ガス移送パイプ１１ａ、１１ｂ、１１ｃはその
内部にスプリング１３ａ、１３ｂ、１３ｃが備わって、
このスプリング１３ａ、１３ｂ、１３ｃは端部に設けら
れたモータ１７ａ、１７ｂまたは１７ｃ、１７ｄによっ
て回転駆動するようになる。
【００１３】前記スプリング１３ａ、１３ｂ、１３ｃ
は、その外径が前記パイプ１１ａ、１１ｂ、１１ｃの内
径とほとんど同じく形成されるが、したがって前記スプ
リング１３ａ、１３ｂ、１３ｃは回転することによって
その外径とパイプ１１ａ、１１ｂ、１１ｃの内径が相互
摩擦するようになる。
は、その外径が前記パイプ１１ａ、１１ｂ、１１ｃの内
径とほとんど同じく形成されるが、したがって前記スプ
リング１３ａ、１３ｂ、１３ｃは回転することによって
その外径とパイプ１１ａ、１１ｂ、１１ｃの内径が相互
摩擦するようになる。
【００１４】このように本発明の排気ガス移送パイプ１
１ａ、１１ｂ、１１ｃではパイプ内径のスプリング１３
ａ、１３ｂ、１３ｃとの機械的な摩擦によってパウダー
が固着されないようにすることである。
１ａ、１１ｂ、１１ｃではパイプ内径のスプリング１３
ａ、１３ｂ、１３ｃとの機械的な摩擦によってパウダー
が固着されないようにすることである。
【００１５】半導体製造中に生じる排気ガスをガス処理
装置７まで連結するためにはパイプを９０度以上曲げる
必要が生じることがある。この時パイプが折れる部位に
は内部が空いているエルボボックス１５ａ、１５ｂが設
置できるが、前記エルボボックス１５ａ、１５ｂには両
方向のパイプ１１ａと１１ｂ、１１ｂと１１ｃ端部に連
結されるモータ１７ａ、１７ｂまたは１７ｃ、１７ｄが
設けられて各々のパイプ１１ａ、１１ｂ、１１ｃ内部に
設けられたスプリング１３ａ、１３ｂ、１３ｃを回転さ
せることができる。
装置７まで連結するためにはパイプを９０度以上曲げる
必要が生じることがある。この時パイプが折れる部位に
は内部が空いているエルボボックス１５ａ、１５ｂが設
置できるが、前記エルボボックス１５ａ、１５ｂには両
方向のパイプ１１ａと１１ｂ、１１ｂと１１ｃ端部に連
結されるモータ１７ａ、１７ｂまたは１７ｃ、１７ｄが
設けられて各々のパイプ１１ａ、１１ｂ、１１ｃ内部に
設けられたスプリング１３ａ、１３ｂ、１３ｃを回転さ
せることができる。
【００１６】そして、パイプ１１ａ、１１ｂ、１１ｃが
連結される部位中内部にスプリングの設置が容易でない
部位例えば、バルブ(図示せず)や排気ガス吐出口１９部
分では従来に用いられるヒーティングコイルを局部的に
用いることもある。すなわち、本発明と従来の方法とを
一緒に用いて補完が可能であることである。
連結される部位中内部にスプリングの設置が容易でない
部位例えば、バルブ(図示せず)や排気ガス吐出口１９部
分では従来に用いられるヒーティングコイルを局部的に
用いることもある。すなわち、本発明と従来の方法とを
一緒に用いて補完が可能であることである。
【００１７】また、前記のように構成されるパウダー固
着防止手段はパイプ全体を沿って設置できるが、特にパ
ウダーが多く固着できる部分すなわち、移送パイプでガ
ス処理装置７と連結される部位２１近くにのみ設置され
ることもある。図３はこのような構造を有する本発明の
他の実施例を示したことである。
着防止手段はパイプ全体を沿って設置できるが、特にパ
ウダーが多く固着できる部分すなわち、移送パイプでガ
ス処理装置７と連結される部位２１近くにのみ設置され
ることもある。図３はこのような構造を有する本発明の
他の実施例を示したことである。
【００１８】すなわち、図３は排気ガス移送パイプの端
部分２１のみを示したことであり、ガス処理装置７と連
結される部位近くにのみ内部にスプリング２３が備わっ
てそのスプリング２３の一端にモータ２７が連結されて
前記スプリング２３が回転駆動されるパウダー固着防止
手段が備わることである。
部分２１のみを示したことであり、ガス処理装置７と連
結される部位近くにのみ内部にスプリング２３が備わっ
てそのスプリング２３の一端にモータ２７が連結されて
前記スプリング２３が回転駆動されるパウダー固着防止
手段が備わることである。
【００１９】このように構成される本発明のパウダー固
着防止手段を備えた排気ガス移送パイプの作用を説明す
ると次のようである。
着防止手段を備えた排気ガス移送パイプの作用を説明す
ると次のようである。
【００２０】半導体製造中に生じた排気ガスは本発明の
移送パイプ１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、２１(図２及び図
３参照)を通してガス処理装置７に注入されるが、この
時排気ガスが移送パイプ１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、２１
を経る間前記パイプ内部のスプリング１３ａ、１３ｂ、
１３ｃ、２３はモータによって続けて回転しながらその
外径がパイプの内径と摩擦するようになる。したがっ
て、排気ガスのパウダーはパイプ１１ａ、１１ｂ、１１
ｃ、２１内周面に固着できなくて粉末状態でガス処理装
置７に一緒に注入されるようになる。そして、排気ガス
はガス処理装置７で有毒成分処理過程を経ながら浄化さ
れることである。
移送パイプ１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、２１(図２及び図
３参照)を通してガス処理装置７に注入されるが、この
時排気ガスが移送パイプ１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、２１
を経る間前記パイプ内部のスプリング１３ａ、１３ｂ、
１３ｃ、２３はモータによって続けて回転しながらその
外径がパイプの内径と摩擦するようになる。したがっ
て、排気ガスのパウダーはパイプ１１ａ、１１ｂ、１１
ｃ、２１内周面に固着できなくて粉末状態でガス処理装
置７に一緒に注入されるようになる。そして、排気ガス
はガス処理装置７で有毒成分処理過程を経ながら浄化さ
れることである。
【００２１】このような構造の本発明の排気ガス移送パ
イプは加熱でなく機械的な構造によってパイプ内のパウ
ダー固着を防止するので構造が簡単でエネルギー効率が
向上される。
イプは加熱でなく機械的な構造によってパイプ内のパウ
ダー固着を防止するので構造が簡単でエネルギー効率が
向上される。
【００２２】これだけでなくパイプ内周面とスプリング
外周面とが摩擦することにより排気ガス移送中パウダー
固着防止の効果が優秀で分解クリーニング作業がほとん
ど要らなくて、したがって維持補修が簡便な利点があ
る。
外周面とが摩擦することにより排気ガス移送中パウダー
固着防止の効果が優秀で分解クリーニング作業がほとん
ど要らなくて、したがって維持補修が簡便な利点があ
る。
【００２３】
【発明の効果】以上で説明したように本発明による排気
ガス移送パイプはパイプ内部の一端にモータを備えて回
転するスプリングを含んでいてこのパイプと内部のスプ
リングとの摩擦によってパウダーの固着を防止してい
る。したがって、構造が極めて簡単でエネルギー効率と
パウダー固着防止効率とが非常に向上される効果がある
ことである。
ガス移送パイプはパイプ内部の一端にモータを備えて回
転するスプリングを含んでいてこのパイプと内部のスプ
リングとの摩擦によってパウダーの固着を防止してい
る。したがって、構造が極めて簡単でエネルギー効率と
パウダー固着防止効率とが非常に向上される効果がある
ことである。
【００２４】以上では本発明の望ましい実施例に対して
示してまた説明したが、本発明は前記した実施例に限ら
ず、以上請求範囲で請求する本発明の要旨を逸脱しない
範囲内で該発明の分野で通常の知識を有する者であれば
誰でも多様な変形実施が可能なことはもちろんであり、
そのような変形は請求範囲の記載範囲内にあるようにな
る。
示してまた説明したが、本発明は前記した実施例に限ら
ず、以上請求範囲で請求する本発明の要旨を逸脱しない
範囲内で該発明の分野で通常の知識を有する者であれば
誰でも多様な変形実施が可能なことはもちろんであり、
そのような変形は請求範囲の記載範囲内にあるようにな
る。
【図1】従来の排気ガス移送パイプの構造を示した一部
折缺斜視図、
折缺斜視図、
【図２】本発明の第１実施例による排気ガス移送パイプ
の一部折缺斜視図、
の一部折缺斜視図、
【図３】本発明の第２実施例よる排気ガス移送パイプの
一部折缺側面図である。
一部折缺側面図である。
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、２１：排気ガス移送パイプ １３ａ、１３ｂ、１３ｃ、２３：スプリング １５ａ、１５ｂ：エルボボックス １７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄ、２７：モータ
Claims (4)
- 【請求項1】 排気ガスをガス処理装置に移送するため
のパイプの内部に設けられて、前記パイプの内径大きさ
の外径を有するスプリングと、 前記スプリングを回転駆動させるために前記スプリング
の端部に設けられるモータとで構成されるパウダー固着
防止手段とを備えた排気ガス移送パイプ。 - 【請求項２】 前記パイプが折れる部位には内部が空い
ているエルボボックスが設けられて、両方向のパイプ端
部モータが設けられることを特徴とする請求項１に記載
のパウダー固着防止手段を備えた排気ガス移送パイプ。 - 【請求項３】 パイプ中前記スプリングの設置が容易で
ない部位に追加でヒーティングコイルが設けられること
を特徴とする請求項１または２に記載のパウダー固着防
止手段を備えた排気ガス移送パイプ。 - 【請求項４】 前記パウダー固着防止手段が特に前記移
送パイプでガス処理装置と連結される部位近くに設けら
れることを特徴とする請求項１に記載の排気ガス移送パ
イプ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2000-62564 | 2000-10-24 | ||
| KR1020000062564A KR20020031823A (ko) | 2000-10-24 | 2000-10-24 | 파우더 고착 방지 수단을 구비한 배기가스 이송 파이프 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002156090A true JP2002156090A (ja) | 2002-05-31 |
Family
ID=19695087
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001128410A Pending JP2002156090A (ja) | 2000-10-24 | 2001-04-25 | パウダー固着防止手段を備えた排気ガス移送パイプ |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20020053357A1 (ja) |
| JP (1) | JP2002156090A (ja) |
| KR (1) | KR20020031823A (ja) |
| CN (1) | CN1187551C (ja) |
| GB (1) | GB2369666A (ja) |
| TW (1) | TW496766B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007511362A (ja) * | 2003-11-17 | 2007-05-10 | ザ ビーオーシー グループ ピーエルシー | 排ガス処理装置 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4769536B2 (ja) * | 2005-10-07 | 2011-09-07 | Ｊｕｋｉ株式会社 | ボタン付けミシン |
| KR101106552B1 (ko) * | 2010-01-13 | 2012-01-20 | 안기태 | 장신용 메달 |
| CN102815538B (zh) * | 2012-08-15 | 2016-08-03 | 华北电力大学 | 一种减少粉末制备输送过程中沉积的装置 |
| KR102385194B1 (ko) | 2020-06-24 | 2022-04-11 | 전주대학교 산학협력단 | 반도체설비용 파이프 정온 가열장치 |
| CN117379962A (zh) * | 2023-11-15 | 2024-01-12 | 山东万物生机械技术有限公司 | 一种集束污染气体洗涤处理装置 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6042804A (ja) * | 1983-08-18 | 1985-03-07 | Hitachi Maxell Ltd | 磁気記録媒体及び磁気記録媒体用磁性粉末 |
| CH677739A5 (ja) * | 1988-05-27 | 1991-06-28 | Asea Brown Boveri | |
| JP3320104B2 (ja) * | 1992-07-24 | 2002-09-03 | 菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社 | セルフクリーニング機構付ダクト |
| KR200181360Y1 (ko) * | 1995-04-14 | 2000-05-15 | 김영환 | 반도체 장치의 배기파이프 |
| KR100230803B1 (ko) * | 1996-10-08 | 1999-11-15 | 김영환 | 스크러버장치의 공급/배기관 |
| US5827370A (en) * | 1997-01-13 | 1998-10-27 | Mks Instruments, Inc. | Method and apparatus for reducing build-up of material on inner surface of tube downstream from a reaction furnace |
| KR200244239Y1 (ko) * | 1999-02-09 | 2001-09-25 | 김경균 | 폐가스 이송용 배관 및 이를 채용한 폐가스처리장치 |
-
2000
- 2000-10-24 KR KR1020000062564A patent/KR20020031823A/ko not_active Application Discontinuation
-
2001
- 2001-02-13 GB GB0103594A patent/GB2369666A/en not_active Withdrawn
- 2001-02-14 US US09/783,511 patent/US20020053357A1/en not_active Abandoned
- 2001-02-16 CN CNB011039612A patent/CN1187551C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2001-03-13 TW TW090106134A patent/TW496766B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-04-25 JP JP2001128410A patent/JP2002156090A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007511362A (ja) * | 2003-11-17 | 2007-05-10 | ザ ビーオーシー グループ ピーエルシー | 排ガス処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB0103594D0 (en) | 2001-03-28 |
| CN1187551C (zh) | 2005-02-02 |
| US20020053357A1 (en) | 2002-05-09 |
| KR20020031823A (ko) | 2002-05-03 |
| CN1350137A (zh) | 2002-05-22 |
| GB2369666A (en) | 2002-06-05 |
| TW496766B (en) | 2002-08-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1795058A (zh) | 反应腔构件的清洗 | |
| JPH10263357A (ja) | ガス スクラバ−及びそれを利用したガス処理方法 | |
| JPH0775714A (ja) | 有機溶剤蒸気吸着装置 | |
| JP2002156090A (ja) | パウダー固着防止手段を備えた排気ガス移送パイプ | |
| JP4570200B2 (ja) | 混合液体を利用する空気浄化装置および方法 | |
| JP2003093987A (ja) | 円筒内面清掃装置 | |
| JP2007255856A (ja) | 煙道配管の清掃用工具 | |
| KR200217509Y1 (ko) | 파우더 고착 방지 수단을 구비한 배기가스 이송 파이프 | |
| JPWO2005058753A1 (ja) | オゾン処理方法及びオゾン処理装置 | |
| CN110075665A (zh) | 一种沸石浓缩转轮分子筛结合催化氧化废气处理装置及其处理方法 | |
| KR20100018137A (ko) | 반도체 공정장비 배기라인의 파우더 제거장치 | |
| JP2009247954A (ja) | 濾過式集塵機およびそれを用いた排ガス除害装置 | |
| JPS6362528A (ja) | 排気ガス処理装置 | |
| RU93005323A (ru) | Способ и устройство для удаления ртути с внутренних поверхностей труб | |
| JPH118200A (ja) | 半導体製造排ガスの除害方法と除害装置 | |
| JP2000197807A (ja) | 排気ガス処理装置 | |
| KR20210026814A (ko) | 반도체 제조 장치의 배기관 클리닝 장치 | |
| JP6443359B2 (ja) | 排ガス処理設備の再生塔 | |
| KR20040070753A (ko) | 반도체 공정용 가스세정장치 | |
| TWI835948B (zh) | 空氣處理方法及在無塵室中之空氣處理系統 | |
| KR200296844Y1 (ko) | 폐기가스 처리를 위한 연소식 처리장치 | |
| KR102069134B1 (ko) | 스크러버 분진 제거장치 | |
| JP4452956B2 (ja) | 有機シリコン含有排気ガス処理方法 | |
| KR100539454B1 (ko) | 반도체장치 제조설비용 스크러버 | |
| KR20060079296A (ko) | 드라이가스 스크러버의 파우더집진장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040401 |