JP3320104B2 - セルフクリーニング機構付ダクト - Google Patents
セルフクリーニング機構付ダクトInfo
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- JP3320104B2 JP3320104B2 JP19845892A JP19845892A JP3320104B2 JP 3320104 B2 JP3320104 B2 JP 3320104B2 JP 19845892 A JP19845892 A JP 19845892A JP 19845892 A JP19845892 A JP 19845892A JP 3320104 B2 JP3320104 B2 JP 3320104B2
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- 239000013049 sediment Substances 0.000 claims description 6
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 3
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- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
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Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Duct Arrangements (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば半導体製造装
置用のダクト内に堆積した物質等を自動的に除去、又は
堆積するのを防止する機能を備えたダクトに関するもの
である。
置用のダクト内に堆積した物質等を自動的に除去、又は
堆積するのを防止する機能を備えたダクトに関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】図３ａ，ｂはそれぞれ従来から用いられ
ているこの種の吸、排気ダクトの２つの例を示す斜視図
で、１はブリキ製スパイラルダクトであり、２は鋼管ダ
クトである。
ているこの種の吸、排気ダクトの２つの例を示す斜視図
で、１はブリキ製スパイラルダクトであり、２は鋼管ダ
クトである。
【０００３】次にその作用について説明する。従来のダ
クトは以上のように、ブリキ板をスパイラル状に巻いて
円筒状にしたもの１や、鋼製の円筒状のもの２が用いら
れてきた。そしてこのようなものにおいては、ダクト内
に流す物質により、ダクト内壁にそれらが付着、堆積し
て、つまりの原因となるため、定期的に取り除く必要が
あった。
クトは以上のように、ブリキ板をスパイラル状に巻いて
円筒状にしたもの１や、鋼製の円筒状のもの２が用いら
れてきた。そしてこのようなものにおいては、ダクト内
に流す物質により、ダクト内壁にそれらが付着、堆積し
て、つまりの原因となるため、定期的に取り除く必要が
あった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のダクトは以上の
様に構成されているので、ダクトの内壁に反応ガスの生
成物やゴミが付着、堆積するために、クリーニングが必
要であるとともに、その除去作業は容易ではなく、かつ
長時間を要し、装置稼働率の低下、危険度の増加等の問
題があった。
様に構成されているので、ダクトの内壁に反応ガスの生
成物やゴミが付着、堆積するために、クリーニングが必
要であるとともに、その除去作業は容易ではなく、かつ
長時間を要し、装置稼働率の低下、危険度の増加等の問
題があった。
【０００５】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、ダクト内の内壁に反応ガスによ
る生成物やゴミが付着堆積しにくくなり、又堆積しても
自動的に取り除くことができるダクトを得ることを目的
とする。
ためになされたもので、ダクト内の内壁に反応ガスによ
る生成物やゴミが付着堆積しにくくなり、又堆積しても
自動的に取り除くことができるダクトを得ることを目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
るセルフクリーニング機構付ダクトは、羽根の形状が平
板状で、流体の流れ方向に長くかつダクトの内壁に沿っ
て回転可能なセルフクリーニング用羽根に、堆積物の移
送用のらせん状フィンを断片的に付設したものである。
るセルフクリーニング機構付ダクトは、羽根の形状が平
板状で、流体の流れ方向に長くかつダクトの内壁に沿っ
て回転可能なセルフクリーニング用羽根に、堆積物の移
送用のらせん状フィンを断片的に付設したものである。
【０００７】この発明の請求項２に係るセルフクリーニ
ング機構付ダクトは、ダクトの内壁に沿って回転可能に
配置され、ダクト内径と同一直径を有しかつ内部にヒー
タを備えたコイル状セルフクリーナーを備えたものであ
る。
ング機構付ダクトは、ダクトの内壁に沿って回転可能に
配置され、ダクト内径と同一直径を有しかつ内部にヒー
タを備えたコイル状セルフクリーナーを備えたものであ
る。
【０００８】この発明の請求項３に係るセルフクリーニ
ング機構付ダクトは、らせん状フィンを付設したセルフ
クリーニング用羽根の内部にヒーターを備えたものであ
る。
ング機構付ダクトは、らせん状フィンを付設したセルフ
クリーニング用羽根の内部にヒーターを備えたものであ
る。
【０００９】
【実施例】実施例１． 以下、この発明の実施例１を図について説明する。図１
はこの発明に係るセルフクリーニング機構を備えたダク
トを示すもので、ａは一部切欠の斜視図、ｂは断面正面
図、ｃはその側面図である。図において、３はダクト本
体、４はダクト内壁に沿って回転可能に配置されたセル
フクリーニング用羽根であり、その形状は平板状の枠体
で、流体の流れ方向に長く構成されている。５はこの羽
根４を支持するための支柱で、可能な限り表面積を小さ
くして堆積物の付着をおさえる様にしている。６は羽根
の駆動用モータ、７は接続用の吸、排気口、８は接続
部、９はらせん状フィンであり、セルフクリーニング用
羽根４に位相をかえて交互に断片的に付設している。
はこの発明に係るセルフクリーニング機構を備えたダク
トを示すもので、ａは一部切欠の斜視図、ｂは断面正面
図、ｃはその側面図である。図において、３はダクト本
体、４はダクト内壁に沿って回転可能に配置されたセル
フクリーニング用羽根であり、その形状は平板状の枠体
で、流体の流れ方向に長く構成されている。５はこの羽
根４を支持するための支柱で、可能な限り表面積を小さ
くして堆積物の付着をおさえる様にしている。６は羽根
の駆動用モータ、７は接続用の吸、排気口、８は接続
部、９はらせん状フィンであり、セルフクリーニング用
羽根４に位相をかえて交互に断片的に付設している。
【００１０】次にその動作について説明する。セルフク
リーニング用羽根４がダクトの内壁に沿って回転可能に
配置されているので、排気ガスによる反応生成物等の物
質がダクト内壁に付着、堆積した場合、駆動用モータ６
によって羽根４を回転させることで、上記付着物質を自
動的に取り除くことができる。また、このセルフクリー
ニング用羽根４を常時回転させることにより、物質の付
着をおさえることも可能になる。したがって、配管を接
続したままでクリーニングが行なえるため、従来の様に
装置を止めて配管を外してクリーニングを行なう必要が
ない。また、ダクト本体の内壁に付着した堆積物をセル
フクリーニング用羽根４の回転によりけずり落とすとと
もに、羽根に断片的に取付けられたらせん状フィン９の
回転によりこのけずり落とされた物質を所定の場所にま
で移送することができ、この結果、堆積物除去作業の効
率をさらに良くすることが可能になる。
リーニング用羽根４がダクトの内壁に沿って回転可能に
配置されているので、排気ガスによる反応生成物等の物
質がダクト内壁に付着、堆積した場合、駆動用モータ６
によって羽根４を回転させることで、上記付着物質を自
動的に取り除くことができる。また、このセルフクリー
ニング用羽根４を常時回転させることにより、物質の付
着をおさえることも可能になる。したがって、配管を接
続したままでクリーニングが行なえるため、従来の様に
装置を止めて配管を外してクリーニングを行なう必要が
ない。また、ダクト本体の内壁に付着した堆積物をセル
フクリーニング用羽根４の回転によりけずり落とすとと
もに、羽根に断片的に取付けられたらせん状フィン９の
回転によりこのけずり落とされた物質を所定の場所にま
で移送することができ、この結果、堆積物除去作業の効
率をさらに良くすることが可能になる。
【００１１】実施例２． 図２はこの発明の実施例２を示す一部切欠の斜視図ａと
断面側面図ｂであり、この図において、１０はダクトの
内径と同じ寸法の直径を有する回転可能なコイル状セル
フクリーナーである。このコイル状セルフクリーナー１
０を回転することで、ダクト内壁に付着した物質を自動
的に除去すると同時に、一方へ移送する機能を有する。
なお、コイル状セルフクリーナー１０には所要の剛性を
付与して除去移送能力を維持させることができる。ま
た、曲線状のダクトにも対応させることが可能である。
１１はコイル状セルフクリーナー１０の一部に設けられ
たヒーターで、必要に応じて該クリーナーの表面温度を
任意に設定することができ、このヒーターによる熱によ
って反応生成物等の付着防止機能をさらに向上させるこ
とができる。
断面側面図ｂであり、この図において、１０はダクトの
内径と同じ寸法の直径を有する回転可能なコイル状セル
フクリーナーである。このコイル状セルフクリーナー１
０を回転することで、ダクト内壁に付着した物質を自動
的に除去すると同時に、一方へ移送する機能を有する。
なお、コイル状セルフクリーナー１０には所要の剛性を
付与して除去移送能力を維持させることができる。ま
た、曲線状のダクトにも対応させることが可能である。
１１はコイル状セルフクリーナー１０の一部に設けられ
たヒーターで、必要に応じて該クリーナーの表面温度を
任意に設定することができ、このヒーターによる熱によ
って反応生成物等の付着防止機能をさらに向上させるこ
とができる。
【００１２】
【発明の効果】この発明の請求項１によれば、セルフク
リーング用羽根に、堆積物の移送用らせん状フィンを断
片的に付設したものであり、羽根でけずり落とされた堆
積物はフィンの回転により直ちに移送され堆積物の除去
効率が向上する。また、フィンを設けるだけの簡単な構
造であり、抵抗が低減され、小さい表面積の設備で優れ
た効果が期待できる。
リーング用羽根に、堆積物の移送用らせん状フィンを断
片的に付設したものであり、羽根でけずり落とされた堆
積物はフィンの回転により直ちに移送され堆積物の除去
効率が向上する。また、フィンを設けるだけの簡単な構
造であり、抵抗が低減され、小さい表面積の設備で優れ
た効果が期待できる。
【００１３】また、この発明の請求項２によれば、ダク
トの内壁に沿って回転するコイル状セルフクリーナー
は、ダクト内径と同一直径に設定し、かつ内部にヒータ
を備えたものであり、堆積物の除去能力が優れ、また熱
作用によって反応生成物等の付着が防止される。
トの内壁に沿って回転するコイル状セルフクリーナー
は、ダクト内径と同一直径に設定し、かつ内部にヒータ
を備えたものであり、堆積物の除去能力が優れ、また熱
作用によって反応生成物等の付着が防止される。
【００１４】また、この発明の請求項３によれば、らせ
ん状フィンを付設したセルフクリーニング用羽根の内部
にヒーターを備えたものであり、クリーナーの表面温度
を任意に設定することができ、熱作用によって反応生成
物等の付着防止機能が向上する。
ん状フィンを付設したセルフクリーニング用羽根の内部
にヒーターを備えたものであり、クリーナーの表面温度
を任意に設定することができ、熱作用によって反応生成
物等の付着防止機能が向上する。
【図１】 この発明の実施例１を示す一部切欠の斜視図
ａと断面図ｂとその側面図ｃである。
ａと断面図ｂとその側面図ｃである。
【図２】 この発明の実施例２を示す一部切欠の斜視図
ａと断面側面図ｂである。
ａと断面側面図ｂである。
【図３】 ａ，ｂは従来のダクトの例を示す斜視図であ
る。
る。
３ ダクト本体、４ セルフクリーニング用羽根、５
支柱、６ 駆動用モータ、９ らせん状フィン、１０
コイル状セルフクリーナー、１１ ヒータ。
支柱、６ 駆動用モータ、９ らせん状フィン、１０
コイル状セルフクリーナー、１１ ヒータ。
フロントページの続き (72)発明者 村岡 俊一 伊丹市瑞原４丁目１番地 菱電セミコン ダクタシステムエンジニアリング株式会 社内 (56)参考文献 特開 平２−187596（ＪＰ，Ａ) 実開 昭52−108049（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−152695（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭54−101620（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−71393（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭50−42578（ＪＰ，Ｕ) 実公 昭26−2474（ＪＰ，Ｙ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F24F 13/02 H01L 23/467 B08B 9/02 F23J 3/00 B08B 1/04
Claims (3)
- 【請求項１】 羽根の形状が平板状で、流体の流れ方向
に長くかつダクトの内壁に沿って回転可能なセルフクリ
ーニング用羽根に、堆積物の移送用のらせん状フィンを
断片的に付設したことを特徴とするセルフクリーニング
機構付ダクト。 - 【請求項２】 ダクトの内壁に沿って回転可能に配置さ
れ、ダクト内径と同一直径を有しかつ内部にヒータを備
えたコイル状セルフクリーナーを備えたことを特徴とす
るセルフクリーニング機構付ダクト。 - 【請求項３】 らせん状フィンを付設したセルフクリー
ニング用羽根の内部にヒーターを備えたことを特徴とす
る請求項１記載のセルフクリーニング機構付ダクト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19845892A JP3320104B2 (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | セルフクリーニング機構付ダクト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19845892A JP3320104B2 (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | セルフクリーニング機構付ダクト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0642804A JPH0642804A (ja) | 1994-02-18 |
| JP3320104B2 true JP3320104B2 (ja) | 2002-09-03 |
Family
ID=16391443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19845892A Expired - Fee Related JP3320104B2 (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | セルフクリーニング機構付ダクト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3320104B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020031823A (ko) * | 2000-10-24 | 2002-05-03 | 김동수 | 파우더 고착 방지 수단을 구비한 배기가스 이송 파이프 |
| JP4642995B2 (ja) * | 2000-12-21 | 2011-03-02 | 敏夫 淡路 | 排ガス通路のクリーニング方法及びその装置 |
| KR101676955B1 (ko) * | 2015-05-06 | 2016-11-17 | 최옥선 | 실내 청정공기 공급 시스템 |
| CN106568135A (zh) * | 2016-10-18 | 2017-04-19 | 天津市华诺盛源科技有限公司 | 一种具有管壁除尘装置的中央空调 |
| CN114951165B (zh) * | 2022-06-17 | 2023-03-14 | 江西力达塑胶管业有限公司 | 一种排污管道去污装置 |
-
1992
- 1992-07-24 JP JP19845892A patent/JP3320104B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0642804A (ja) | 1994-02-18 |
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Legal Events
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| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
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