KR20020031823A - 파우더 고착 방지 수단을 구비한 배기가스 이송 파이프 - Google Patents

Abstract

본 발명은 배기가스 이송 파이프에 관한 것이다.

이 파이프는 배기가스를 가스처리장치로 이송하기 위한 것으로 내부에 파이프의 내경 크기의 외경을 갖는 스프링과; 스프링을 회전구동시키기 위하여 상기 스프링의 단부에 설치되는 모터로 구성되는 파우더 고착 방지 수단을 구비하고 있다. 파이프가 꺾이는 부위에는 내부가 빈 엘보우 박스가 설치될 수 있는데, 양방향의 파이프 단부 모터가 설치된다. 스프링의 설치가 용이하지 않은 부위에는 히팅 코일이 추가로 설치될 수 있다. 또한, 상기 파우더 고착 방지 수단은 파이프 전체를 따라 설치될 수 있으나, 특히 상기 이송 파이프에서 파우더가 많이 고착될 수 있는 가스처리장치와의 연결부위 가까이에만 설치될 수도 있다.

이러한 구조의 배기가스 이송 파이프에 의하여 간편하고 효율적으로 파우더 고착을 방지할 수 있다.

Description

파우더 고착 방지 수단을 구비한 배기가스 이송 파이프{Exhaust gas delivering pipe with cleaning device}

본 발명은 배기가스 이송파이프에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 배기가스특히 반도체 제조중이 발생하는 배기가스를 배기가스 처리장치등으로 이송함에 있어 파우더 고착을 방지하는 수단을 구비한 배기가스 이송 파이프에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 제조중에 발생되는 배기가스에는 독성 물질이 비교적 고농도로 함유되어 있으므로,이러한 배기가스는 대기중으로 방출되기 전에 독성 물질을 제거해 주어야 한다. 따라서, 반도체 제조중에 발생된 배기가스는 가스 처리 장치(가스 스크러버)로 이송되어 버닝(Burning), 웨팅(Wetting), 또는 흡착 방법등의 독성물질을 제거하는 과정을 거치게 된다.(가스 스크러버에 관하여는 특허등록 제 208401 호와 제 208402 호 및 제 276178 호에 상세히 기술되어 있다.)

이러한 가스 처리를 위하여 배기가스를 가스 처리 장치로 이송하는 파이프에는 아직 처리되지 않은 독성이 강한 배기 가스가 흐르게 되므로, 파이프 내주면에 독성 가스의 분말(파우더)이 고착되고 마침내는 파이프를 막아버릴 수도 있다.

종래에는 이와 같이 파우더가 파이프 내주면에 고착되는 것을 막아주기 위하여 도 1에 도시된 바와 같이 배기가스를 가스처리장치(7)로 이송하는 파이프(1)의 외주면에 히팅 코일(3)을 감고 그 외부에 단열재(5)를 구비하여 가열해 줌으로써 파이프를 흐르는 가스의 온도변화를 감소시키는 방법을 사용하였다.

그러나 이러한 방법은 파이프 둘레에 지속적으로 열을 가하여야 하므로 에너지 손실은 많으나 파우더 고착 방지의 효율은 좋지 못하여 정기적으로 파이프를 분리하여 내부의 파우더를 제거해 주는 클리닝 작업이 필요하고, 설비도 간편하지 못한 단점이 있었다.

이에 본 발명은 상기한 바와 같은 문제를 해결하여 구조가 간단하면서도 효과적으로 파우더 고착을 방지할 수 있는 배기가스 이송 파이프를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기한 바의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 배기가스 이송 파이프는 내부에 파이프의 내경과 같은 외경을 갖는 스프링과 상기 스프링을 회전구동시키기 위한 모터를 구비하고 있다.

파이프가 꺾이는 부위에는 내부가 빈 엘보우 박스가 설치될 수 있는데, 양방향의 파이프 단부 모터가 설치된다. 그리고, 스프링의 설치가 용이하지 않은 부위에는 히팅 코일이 추가로 설치될 수도 있다.

또한, 상기 파우더 고착 방지 수단은 파이프 전체를 따라 설치될 수 있으나, 특히 상기 이송 파이프에서 파우더가 많이 고착될 수 있는 가스처리장치와의 연결부위 가까이에만 설치될 수도 있다.

이러한 구조의 배기가스 이송 파이프에 의하여 간편하고 효율적으로 파우더 고착을 방지할 수 있는 것이다.

도 1은 종래의 배기가스 이송파이프의 구조를 도시한 일부 절결 사시도,

도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 배기가스 이송파이프의 일부 절결 사시도,

도 3은 본 발명의 제 2 실시예 따른 배기가스 이송파이프의 일부절결 측면도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

11a,11b,11c,21 : 배기가스 이송 파이프

13a,13b,13c,23 : 스프링

15a,15b : 엘보우 박스

17a,17b,17c,17d,27: 모터

이하, 본 발명을 첨부한 예시도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명에 따른 배기 가스 이송파이프의 제 1 실시예를 나타낸 것이다. 도시된 바와 같이 본 발명의 배기가스 이송 파이프(11a,11b,11c)는 그 내부에스프링(13a,13b,13c)이 구비되고, 이 스프링(13a,13b,13c)은 단부에 설치된 모터(17a,17b 또는 17c,17d)에 의하여 회전구동하게 된다.

상기 스프링(13a,13b,13c)은 그 외경이 상기 파이프(11a,11b,11c)의 내경과 거의 같도록 형성되는데, 따라서 상기 스프링(13a,13b,13c)은 회전함에 따라 그 외경과 파이프(11a,11b,11c)의 내경이 서로 마찰하게 된다.

이와 같이 본 발명의 배기가스 이송 파이프(11a,11b,11c)에서는 파이프 내경의 스프링(13a,13b,13c)과의 기계적인 마찰에 의하여 파우더가 고착되지 않도록 하는 것이다.

반도체 제조중에 발생되는 배기가스를 가스처리장치(7)까지 연결하기 위해서는 파이프를 90도 이상 꺽어줄 필요가 생길 수 있다. 이때 파이프가 꺾이는 부위에는 내부가 빈 엘보우 박스(15a,15b)가 설치될 수 있는데, 상기 엘보우 박스(15a,15b)에는 양방향의 파이프(11a와 11b,11b와 11c) 단부에 연결되는 모터(17a,17b 또는 17c,17d)가 설치되어 각각의 파이프(11a,11b,11c) 내부에 설치된 스프링(13a,13b,13c) 을 회전시킬 수 있다.

그리고, 파이프(11a,11b,11c)가 연결되는 부위중 내부에 스프링의 설치가 용이하지 않은 부위 예컨대, 밸브(도시되지 않음)나 배기가스 토출구(19) 부분에서는 종래에 사용되는 히팅 코일을 국부적으로 사용할 수도 있다. 즉, 본 발명과 종래의 방법을 함께 사용하여 보완이 가능한 것이다.

또한, 상기와 같이 구성되는 파우더 고착 방지 수단은 파이프 전체를 따라 설치될 수 있으나, 특히 파우더가 많이 고착될 수 있는 부분 즉, 이송 파이프에서가스 처리 장치(7)와 연결되는 부위(21) 가까이에만 설치될 수도 있다. 도 3은 이와 같이 구조를 갖는 본 발명의 다른 실시예를 도시한 것이다.

즉, 도 3은 배기가스 이송 파이프의 끝부분(21)만을 도시한 것으로, 가스처리장치(7)와 연결되는 부위 가까이에만 내부에 스프링(23)이 구비되고 그 스프링(23)의 일단에 모터(27)가 연결되어 상기 스프링(23)이 회전 구동되는 파우더 고착 방지 수단이 구비되는 것이다.

이와 같이 구성되는 본 발명의 파우더 고착 방지 수단을 구비한 배기가스 이송 파이프의 작용을 살펴보면 다음과 같다.

반도체 제조중에 발생된 배기가스는 본 발명의 이송 파이프(11a,11b,11c,21,도 2 및 도 3 참조)를 통하여 가스처리장치(7)로 주입되는데, 이때 배기가스가 이송 파이프(11a,11b,11c,21)를 거치는 동안 상기 파이프 내부의 스프링(13a,13b,13c,23)은 모터에 의하여 계속 회전하면서 그 외경이 파이프의 내경과 마찰하게 된다. 따라서, 배기가스의 파우더는 파이프(11a,11b,11c,21) 내주면에 고착되지 못하고 분말상태로 가스처리장치(7)로 함께 주입되게 된다. 그리고, 배기가스는 가스처리장치(7)에서 유독 성분 처리과정을 거치면서 정화되는 것이다.

이러한 구조의 본 발명의 배기가스 이송 파이프는 가열이 아니라 기계적인 구조에 의하여 파이프 내의 파우더 고착을 방지하므로 구조가 간단하고 에너지 효율이 향상된다.

뿐만 아니라 파이프 내주면과 스프링 외주면이 마찰함에 의해 배기가스 이송중 파우더 고착 방지의 효과가 우수하여 분해 클리닝 작업이 거의 필요하지 않고,따라서 유지보수가 간편하다는 잇점이 있다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 배기가스 이송 파이프는 파이프 내부에 일단에 모터를 구비하여 회전하는 스프링을 포함하고 있어 이 파이프와 내부의 스프링의 마찰에 의하여 파우더의 고착을 방지하고 있다. 따라서, 구조가 아주 간단하면서도 에너지 효율과 파우더 고착 방지 효율이 매우 향상되는 효과가 있는 것이다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 또한 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능함은 물론이며, 그와 같은 변형은 청구범위의 기재 범위 내에 있게 된다.

Claims (4)

1. 배기가스를 가스처리장치로 이송하기 위한 파이프의 내부에 설치되고, 상기 파이프의 내경 크기의 외경을 갖는 스프링과;

   상기 스프링을 회전구동시키기 위하여 상기 스프링의 단부에 설치되는 모터로 구성되는 파우더 고착 방지 수단을 구비한 배기가스 이송 파이프.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 파이프가 꺾이는 부위에는 내부가 빈 엘보우 박스가 설치되고, 양방향의 파이프 단부 모터가 설치되는 것을 특징으로 하는 파우더 고착 방지 수단을 구비한 배기가스 이송 파이프.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 파이프중 상기 스프링의 설치가 용이하지 않은 부위에 추가로 히팅 코일이 설치되는 것을 특징으로 하는 파우더 고착 방지 수단을 구비한 배기가스 이송 파이프.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 파우더 고착 방지 수단이 특히 상기 이송 파이프에서 가스처리장치와 연결되는 부위 가까이에 설치되는 것을 특징으로 하는 배기가스 이송 파이프.