JP2002152024A - パワー半導体スイッチング素子のスナバ回路及びパワー半導体装置 - Google Patents

パワー半導体スイッチング素子のスナバ回路及びパワー半導体装置

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JP2002152024A
JP2002152024A JP2000346551A JP2000346551A JP2002152024A JP 2002152024 A JP2002152024 A JP 2002152024A JP 2000346551 A JP2000346551 A JP 2000346551A JP 2000346551 A JP2000346551 A JP 2000346551A JP 2002152024 A JP2002152024 A JP 2002152024A
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switching element
power semiconductor
semiconductor switching
drive signal
snubber circuit
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Masayuki Takara
正行 高良
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Mitsubishi Electric Corp
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Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 パワー半導体スイッチング素子のオン時の損
失の低減化を図ると共に、サージに起因するコレクタ・
エミッタ間電圧の上昇率が低い場合でもスナバ回路を確
実に動作させる。 【解決手段】 パワー半導体スイッチング素子1のスナ
バ回路03は、IGBT2と、アバランシェダイオード
21と、ダイオード22と、抵抗23とを有する。抵抗
23の値は、コレクタ・エミッタ間電圧がアバランシェ
ダイオード21の耐圧を越える時に流れる電流と抵抗2
3との積で与えられる電圧がIGBT2のしきい値電圧
以上となる様に、調整される。IGBT2に印加される
第2駆動信号02の立ち上がり時間は第1駆動信号01
のそれに対して遅延しており、逆に第2駆動信号02の
立ち下がり時間は第1駆動信号01のそれよりも早い。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、回路を開閉する
パワー半導体スイッチング素子のスナバ回路及び当該ス
ナバ回路を含むパワー半導体装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】特開平3−178214号公報に記載の
第1従来技術は、パワー半導体装置と並列に接続したM
OSFET又はバイポーラトランジスタをパワー半導体
装置のスナバ素子として用いることを、提案している。
この構成により、高いdv/dtが印加された場合に
は、MOSFET又はバイポーラトランジスタをオンさ
せてスパイク電圧を抑制出来る旨が、開示されている。
【0003】又、特開平5−102571号公報に記載
の第2従来技術は、直列に接続された複数個の電力用サ
イリスタの各々に保護用FETを並列に接続し、各保護
用FETのアノードとゲート間にアバランシェダイオー
ドを接続する構成を提案している。この構成により、何
れかの電力用サイリスタに故障が発生して当該電力用サ
イリスタが短絡状態に至り、残りの健全な電力用サイリ
スタに過電圧が印加されても、過電圧の値がアバランシ
ェダイオードの耐圧を越えるときにはアバランシェダイ
オードを介して大きな電流が保護用FETに流れ込む結
果、保護用FETがオンして健全な電力用サイリスタが
保護される旨が、開示されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、第1従
来技術では、高いdv/dtが印加された場合にのみス
ナバ回路が動作してサージ電圧が吸収されるにすぎず、
例えば数百V/μsと言う様な低いdv/dtが発生し
ている時には、たとえ高いサージ電圧が印加されていて
もスナバ回路が全く動作しないため、パワー半導体スイ
ッチング素子の破壊と言う事態の発生が考えられる。
【0005】加えて、第1従来技術では、オン期間中の
パワー半導体スイッチング素子の電力損失の低減化が一
切図られていない。この点は、第2従来技術についても
言える問題点である。
【0006】本発明は、この様な懸案事項を克服すべく
成されたものであり、パワー半導体スイッチング素子の
オン時の損失の低減化を実現でき、且つ、パワー半導体
スイッチング素子の第1主電極・第2主電極間電圧の上
昇率の高低如何に係わらずに高いサージ電圧を確実に吸
収できるスナバ回路を提供することを、その目的として
いる。
【0007】
【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
第1駆動信号が印加される制御電極と、その間に主電流
が流れる第1及び第2主電極とを有し、前記第1駆動信
号が第1レベルのときには前記主電流が流れるオン状態
にあり、前記第1駆動信号が第2レベルのときには前記
主電流が流れないオフ状態にあるパワー半導体スイッチ
ング素子の前記第1主電極と前記第2主電極間に加わる
サージ電圧を吸収するためのスナバ回路であって、前記
パワー半導体スイッチング素子の前記第1主電極に接続
された第1主電極と、前記パワー半導体スイッチング素
子の前記第2主電極に接続された第2主電極と、第2駆
動信号が印加される制御電極とを有し、前記第2駆動信
号が前記第1レベルのときには前記第1主電極から前記
第2主電極へ電流が流れるオン状態にあり、前記第2駆
動信号が前記第2レベルのときには前記電流が流れない
オフ状態にある、スナバ回路用半導体スイッチング素子
を備え、前記第2駆動信号が前記第2レベルから前記第
1レベルに変化するタイミングは、前記第1駆動信号が
前記第2レベルから前記第1レベルに変化するタイミン
グよりも遅延しており、前記第2駆動信号が前記第1レ
ベルから前記第2レベルに変化するタイミングは、前記
第1駆動信号が前記第1レベルから前記第2レベルに変
化するタイミングよりも早いことを特徴とする。
【0008】請求項2に係る発明は、請求項1記載のパ
ワー半導体スイッチング素子のスナバ回路であって、前
記パワー半導体スイッチング素子の前記第1主電極に接
続されたカソード電極と、前記スナバ回路用半導体スイ
ッチング素子の前記制御電極に接続されたアノード電極
とを有するアバランシェダイオードと、前記スナバ回路
用半導体スイッチング素子の前記制御電極に接続された
第1端と、前記パワー半導体スイッチング素子の前記第
2主電極に接続された第2端とを有する抵抗とを更に備
え、前記アバランシェダイオードが導通するときに流れ
る電流と前記抵抗との積で与えられる電圧が前記スナバ
回路用半導体スイッチング素子のしきい値電圧以上とな
る様に、前記抵抗の値が設定されていることを特徴とす
る。
【0009】請求項3に係る発明は、請求項2記載のパ
ワー半導体スイッチング素子のスナバ回路であって、前
記アバランシェダイオードの前記アノード電極に接続さ
れたアノード電極と、前記スナバ回路用半導体スイッチ
ング素子の前記制御電極に接続されたカソード電極とを
有するダイオードを更に備えることを特徴とする。
【0010】請求項4に係る発明は、請求項1乃至請求
項3の何れかに記載の前記スナバ回路と、請求項1に記
載の前記パワー半導体スイッチング素子とを備えること
を特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】(実施の形態1)図1は、本実施
の形態に係るパワー半導体装置を示す図である。同図に
示す通り、本パワー半導体装置は高電位側パワー半導体
回路と低電位側パワー半導体回路とを有するが、両パワ
ー半導体回路の構成は基本的に同一である。即ち、高電
位側パワー半導体回路は各部1A、11A、5A、FW
DA、03A、12Aを有しており、同様に、低電位側
パワー半導体回路は各部1B、11B、5B、FWD
B、03B、12Bを有している。しかも、本発明の中
核を成す両スナバ回路03A、03Bの構成も共通して
いる。そこで、以下の説明では、両パワー半導体回路の
共通例として、図1に示すパワー半導体回路10の構成
について説明する(図1では各部の符号に付いている記
号A、Bを以下の図面では削除している)。
【0012】図2は、パワー半導体回路10の構成を示
す図である。但し、図2においては、図示の便宜上、図
1に示すフリーホイールダイオードFWDB、FWDA
の図示化を割愛している。
【0013】図2に於いて、1は保護対象のパワー半導
体スイッチング素子であり、ここではIGBTが採用さ
れている。尚、IGBTに代えて、パワーMOSFET
やバイポーラトランジスタをパワー半導体スイッチング
素子1として用いることも出来る。図2に示す様に、パ
ワー半導体スイッチング素子1は、第1駆動回路11を
介して第1駆動信号01が印加される制御電極ないしは
ゲート端子5と、第1主電極ないしはコレクタ端子3
と、第2主電極ないしはエミッタ端子4とを有してい
る。そして、第1駆動信号01が第1レベル(この例で
はHレベルに該当)にあるときには、パワー半導体スイ
ッチング素子1は、コレクタ端子3とエミッタ端子4と
の間に主電流101が流れるオン状態にある。他方、第
1駆動信号01が第2レベル(この例ではLレベルに該
当)にあるときには、パワー半導体スイッチング素子1
は、主電流101が流れないオフ状態にある。
【0014】これに対して、スナバ回路03は、次の構
成要素2、21、22、23を備えている。
【0015】先ず、スナバ回路03の中核を成すスナバ
回路用半導体スイッチング素子2には、ここではIGB
Tが採用されている。IGBT2は、パワー半導体スイ
ッチング素子1のコレクタ端子3に接続された第1主電
極ないしはコレクタ端子と、パワー半導体スイッチング
素子1のエミッタ端子4に接続された第2主電極ないし
はエミッタ端子と、スナバ回路03の外部にある第2駆
動回路12を介して第2駆動信号02が印加される制御
電極ないしはゲート端子24とを有している。この様
に、IGBT2は、パワー半導体スイッチング素子1の
コレクタ端子3−エミッタ端子4間に並列に配設されて
いる。そして、第2駆動信号02が上記第1レベル(H
レベル)にあるときには、IGBT2は、そのコレクタ
端子3からエミッタ端子4へ向けて回路電流100から
分散した副電流102が流れるオン状態にあり、他方、
第2駆動信号02が上記第2レベル(Lレベル)にある
ときには、IGBT2は、分散電流102が流れないオ
フ状態にある。尚、IGBT2に代えて、パワーMOS
FETやバイポーラトランジスタをスナバ回路用半導体
スイッチング素子として用いることも出来る。
【0016】又、IGBT2のコレクタ端子3−ゲート
端子24間には、アバランシェダイオード21と、逆電
流防止用ダイオード22とが、直列に配設されている。
即ち、アバランシェダイオード乃至はアバランシェ素子
(この例ではツェナダイオードである)21は、パワー
半導体スイッチング素子1のコレクタ端子3に接続され
たカソード電極と、ダイオード22を介してIGBT2
のゲート端子24に接続されたアノード電極とを有す
る。このアバランシェダイオード21の代表的な電圧・
電流特性を図3に示す。図3中の記号VAがアバランシ
ェダイオード21の耐圧(ブレークダウン電圧)であ
る。又、ダイオード22は、アバランシェダイオード2
1の上記アノード電極に接続されたアノード電極と、I
GBT2のゲート端子24に直接に接続されたカソード
電極とを有する。このダイオード22は、第1レベルの
第2駆動信号02がIGBT2のゲート端子24に印加
されているときにゲート端子24からパワー半導体スイ
ッチング素子1のコレクタ端子3側へ向けて流れようと
する逆電流の発生を阻止するためのものである。
【0017】更に、抵抗23は、IGBT2のゲート端
子24に接続された第1端と、パワー半導体スイッチン
グ素子1のエミッタ端子4に接続された第2端とを有す
る。その際、抵抗23の値は、アバランシェダイオード
21が降伏領域に入って導通するときに流れる電流の値
と抵抗23の値との積で定まる電圧がIGBT2のしき
い値電圧以上となる様に、設定されている。
【0018】又、スナバ回路03の外部に配設されてい
る第2駆動信号生成回路13は、第1駆動信号01を受
信して、同信号01のパルス幅を狭めてそのduty比
を変更し、変更後のパルス信号を第2駆動信号02とし
て第2駆動回路(バッファ)12に出力する。この第2
駆動信号02の波形を、第1駆動信号01の波形と共
に、図4のタイミングチャートに示す。図4に示す様
に、第2駆動信号02のLレベルからHレベルへの立ち
上がりタイミングは第1駆動信号01のそれよりも第1
時間Δt1だけ遅延しており、逆に第2駆動信号02の
HレベルからLレベルへの立ち下がりタイミングは第1
駆動信号01のそれよりも第2時間Δt2だけ早い。そ
の結果、第2駆動信号02のパルス幅T2(>Δt1,
Δt2)は第1駆動信号01のパルス幅T1よりも短く
なる。この様に両信号01,02の立ち上がりタイミン
グ及び立ち下がりタイミングを共に相違させているの
は、両素子1,2の特性の相違(完全に一致することは
ない)を考慮したことに起因する。
【0019】次に、図2のパワー半導体回路10の動作
を図4のタイミングチャートを参照しつつ説明する。
【0020】(I) 時間t1から時間t2直前のオン
期間の動作 時間t1で第1駆動信号01がHレベルに立ち上がりパ
ワー半導体スイッチング素子1がターンオンすると、パ
ワー半導体回路10に流れ込む回路電流100の全てが
パワー半導体スイッチング素子1内を主電流101とし
て流れる。しかし、時間t1のすぐ後の時間(t1+Δ
t1)に於いて、第2駆動信号02がHレベル(IGB
T2のしきい値電圧よりも大きいレベル)に立ち上がり
スナバ回路03内のIGBT2が引き続いてターンオン
する結果、回路電流100は、パワー半導体スイッチン
グ素子1内を流れる主電流101と、IGBT2内を流
れる副電流102とに分散される。この様な回路電流1
00の分散状態は、時間(t2−Δt2)に於いて第2
駆動信号02がLレベルに立ち下がるまでの期間中、持
続される。そのため、オン期間中の主電流101の波形
は図4に示す様に凹型状となり、オン期間の大部分を占
める期間T2中の主電流101の値は、時間t1に於け
る主電流101の値と比較して低減される。その結果、
オン期間中にパワー半導体スイッチング素子1内で生じ
る電力損失を格段に低減することが可能となる。この様
に、本装置によれば、あたかも2個のモジュールが本装
置内に配設されている様に、互いに並列接続された両素
子1,2を設けているので、オン期間中の電力損失を有
効に分散することが可能となる。
【0021】(II) 時間t2のターンオフ時から時
間t3迄のオフ期間の動作 時間t2で第1駆動信号01がLレベルに立ち下がりパ
ワー半導体スイッチング素子1がターンオフすると、配
線のインダクタンスの存在に起因して、サージ電圧がコ
レクタ端子3−エミッタ端子4間に発生する。加えて、
パワー半導体スイッチング素子1のターンオフに連動し
て、他方のパワー半導体回路内のパワー半導体スイッチ
ング素子(例えば図1の素子1A)が逆にターンオンす
る結果、他方のパワー半導体回路内のフリーホイールダ
イオード(例えば図1のフリーホイールダイオードFW
DA)にリカバリー現象が生ずることとなり、このリカ
バリーに起因して、パワー半導体スイッチング素子1の
オフ期間内にもサージ電圧がコレクタ端子3−エミッタ
端子4間に発生する。しかし、これらのサージ電圧は、
コレクタ端子3−エミッタ端子4間電圧の上昇率(dV
/dt)の高低如何に係わらず、本スナバ回路03によ
って確実に吸収される。その点を上昇率(dV/dt)
が高い場合と低い場合とに分けて説明する。
【0022】先ず、上昇率(dV/dt)が例えば数千
V/μsと言う様に、当該上昇率(dV/dt)が相対
的に高い場合(急峻な場合)には、既述した特開平3−
178214号公報の場合と同様に、スナバ回路03内
のIGBT2の接合容量が充電されてIGBT2がオン
状態となる結果、コレクタ端子3−エミッタ端子4間電
圧の上昇が抑制される。
【0023】他方、上昇率(dV/dt)が例えば数百
V/μsと言う様に、当該上昇率(dV/dt)が相対
的に低い場合(緩やかな場合)においても、コレクタ端
子3−エミッタ端子4間に印加されるサージ電圧が高く
なり、当該サージ電圧がアバランシェダイオード21の
耐圧を越える値となったときには、スナバ回路03はサ
ージ電圧を吸収する動作を行う。即ち、サージ電圧が上
記耐圧よりも大きくなると、アバランシェダイオード2
1が降伏領域に入り、その抵抗値が下がって電流が流れ
る状態と成る。この導通により、コレクタ端子3からゲ
ート端子24を経てエミッタ端子4に至る経路に電流が
流れることとなり、抵抗23の両端に電位差が発生す
る。この電位差は、既述した通り、IGBT2のしきい
値電圧以上となるので、IGBT2がオンし、コレクタ
端子3−エミッタ端子4間電圧の上昇が抑制される。
【0024】上記(I)及び(II)の説明より明らか
となった様に、本装置のスナバ回路03によれば、オン
期間中の電力損失を分散することができると共に、上昇
率(dV/dt)の高低如何に係わらずにサージ電圧を
確実に吸収することが出来ると言う利点が得られる。
【0025】
【発明の効果】請求項1、4の発明によれば、パワー半
導体スイッチング素子に流れ込む回路電流を分散させる
ことができ、これにより主電流の値を低減できる結果、
オン状態のパワー半導体スイッチング素子で生じ得る損
失の低減化を図ることが出来る。しかも、本発明によれ
ば、パワー半導体スイッチング素子の第1主電極−第2
主電極間電圧の上昇率が高いときには、スナバ回路用半
導体スイッチング素子がオン状態となり第1主電極−第
2主電極間電圧を制限することが出来るという効果をも
奏する。
【0026】請求項2、4の発明によれば、パワー半導
体スイッチング素子の第1主電極−第2主電極間電圧の
上昇率が低いときであっても、パワー半導体スイッチン
グ素子の第1主電極−第2主電極間電圧がアバランシェ
ダイオードの耐圧を越える場合には、スナバ回路用半導
体スイッチング素子がオン状態となりスナバ回路動作が
働く結果、パワー半導体スイッチング素子の第1主電極
−第2主電極間電圧を制限することが出来るという効果
を奏する。
【0027】請求項3、4の発明によれば、第1レベル
の第2駆動信号がスナバ回路用半導体スイッチング素子
の制御電極に印加されているときに当該制御電極からパ
ワー半導体スイッチング素子の第1主電極へ向けて流れ
ようとする逆電流の発生を阻止することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係るパワー半導体装置を示す回路図
である。
【図2】 本発明に係るパワー半導体スイッチング素子
とそのスナバ回路とを示す回路図である。
【図3】 本発明に係るスナバ回路が有するアバランシ
ェダイオードの電圧・電流特性を示す図である。
【図4】 本発明に係るパワー半導体スイッチング素子
とそのスナバ回路との動作を示すタイミングチャートで
ある。
【符号の説明】
01 第1駆動信号、02 第2駆動信号、1 パワー
半導体スイッチング素子、2 IGBT、3 コレクタ
端子、4 エミッタ端子、5 ゲート端子、10 パワ
ー半導体装置、21 アバランシェダイオード、22
ダイオード、23 抵抗、24 ゲート端子、100
回路電流、101 パワー半導体スイッチング素子に流
れる電流、102 IGBTに流れる電流。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H03K 17/56

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1駆動信号が印加される制御電極と、
    その間に主電流が流れる第1及び第2主電極とを有し、
    前記第1駆動信号が第1レベルのときには前記主電流が
    流れるオン状態にあり、前記第1駆動信号が第2レベル
    のときには前記主電流が流れないオフ状態にあるパワー
    半導体スイッチング素子の前記第1主電極と前記第2主
    電極間に加わるサージ電圧を吸収するためのスナバ回路
    であって、 前記パワー半導体スイッチング素子の前記第1主電極に
    接続された第1主電極と、前記パワー半導体スイッチン
    グ素子の前記第2主電極に接続された第2主電極と、第
    2駆動信号が印加される制御電極とを有し、前記第2駆
    動信号が前記第1レベルのときには前記第1主電極から
    前記第2主電極へ電流が流れるオン状態にあり、前記第
    2駆動信号が前記第2レベルのときには前記電流が流れ
    ないオフ状態にある、スナバ回路用半導体スイッチング
    素子を備え、 前記第2駆動信号が前記第2レベルから前記第1レベル
    に変化するタイミングは、前記第1駆動信号が前記第2
    レベルから前記第1レベルに変化するタイミングよりも
    遅延しており、 前記第2駆動信号が前記第1レベルから前記第2レベル
    に変化するタイミングは、前記第1駆動信号が前記第1
    レベルから前記第2レベルに変化するタイミングよりも
    早いことを特徴とする、パワー半導体スイッチング素子
    のスナバ回路。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のパワー半導体スイッチン
    グ素子のスナバ回路であって、 前記パワー半導体スイッチング素子の前記第1主電極に
    接続されたカソード電極と、前記スナバ回路用半導体ス
    イッチング素子の前記制御電極に接続されたアノード電
    極とを有するアバランシェダイオードと、 前記スナバ回路用半導体スイッチング素子の前記制御電
    極に接続された第1端と、前記パワー半導体スイッチン
    グ素子の前記第2主電極に接続された第2端とを有する
    抵抗とを更に備え、 前記アバランシェダイオードが導通するときに流れる電
    流と前記抵抗との積で与えられる電圧が前記スナバ回路
    用半導体スイッチング素子のしきい値電圧以上となる様
    に、前記抵抗の値が設定されていることを特徴とする、
    パワー半導体スイッチング素子のスナバ回路。
  3. 【請求項3】 請求項2記載のパワー半導体スイッチン
    グ素子のスナバ回路であって、 前記アバランシェダイオードの前記アノード電極に接続
    されたアノード電極と、前記スナバ回路用半導体スイッ
    チング素子の前記制御電極に接続されたカソード電極と
    を有するダイオードを更に備えることを特徴とする、パ
    ワー半導体スイッチング素子のスナバ回路。
  4. 【請求項4】 請求項1乃至請求項3の何れかに記載の
    前記スナバ回路と、 請求項1に記載の前記パワー半導体スイッチング素子と
    を備えることを特徴とする、パワー半導体装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2015166523A1 (ja) * 2014-04-28 2017-04-20 株式会社日立産機システム 半導体装置および電力変換装置
US9692226B2 (en) 2012-08-23 2017-06-27 General Electric Technology Gmbh Circuit interruption device

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