JP2002150734A - 磁気ヘッド及び磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 浮上式磁気ヘッドが不良品であった場合にフ
レキシャのみを再利用可能な磁気ヘッド及びその製造方
法を提供する。 【解決手段】 パッド部７…がスライダ５の一端面５ａ
に設けられてなる浮上式磁気ヘッド４と、浮上式磁気ヘ
ッド４を保持するフレキシャ３と、フレキシャ３に取り
付けられてパッド部７…側に付勢される付勢電極８…か
ら構成され、浮上式磁気ヘッド４は、フレキシャ３の接
着面３ｂにスライダ５の被接着面５ｃが接着樹脂１１に
よって接合されることによりフレキシャ３に保持され、
接着樹脂１１は、ゲル状態から温度Ｔｇでゲル状態に変
化し、温度Ｔｍでゲル状態から溶融状態に変化し、温度
Ｔｃで溶融状態から硬化状態に変化するものであってＴ
ｇ＜Ｔｍ＜Ｔｃの関係を有し、前記の硬化状態または前
記ゲル状態で接着面３ｂと被接着面５ｃを接合させるも
のであることを特徴とする磁気ヘッド１を採用する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ヘッド及びそ
の製造方法に関するものであり、特に、磁気ヘッドの構
成部品を製造工程にて再利用可能な磁気ヘッドの製造方
法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】記録媒体に対して非接触状態で磁気情報
を記録／再生を行う磁気ヘッドは、一般的に、サスペン
ションの先端に設けられたフレキシャに浮上式磁気ヘッ
ドを保持させて構成されている。上記の磁気ヘッドは、
フレキシャに浮上式磁気ヘッドを接着剤によって接着
し、次にフレキシャ側の電極を浮上式磁気ヘッドのパッ
ド部に金ボール等を介して電気的に接続し、更に浮上式
磁気ヘッドの電気特性を検査して良品のみを選別する、
といった工程を経て製造されるのが一般的である。電気
特性を検査して不良品と判定された浮上式磁気ヘッド
は、フレキシャに接合されたままの状態で廃棄されてい
た。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで最近では、性
能向上のために、サスペンション自体にマイクロアクチ
ュエータや半導体素子を取り付けたものを用いる場合が
ある。従って、浮上式磁気ヘッドが不良品と判定された
場合であっても、サスペンション自体を再使用したいと
いう要望があった。

【０００４】しかし、浮上式磁気ヘッドは接着剤によっ
てフレキシャに強固に固定されているため、一旦フレキ
シャに接着したあとで取り外そうとすると、フレキシャ
の強度が極めて低いためにサスペンションを損傷させる
可能性が高い。従ってフレキシャから浮上式磁気ヘッド
を分離してサスペンションのみを再利用することは極め
て困難であった。

【０００５】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であって、浮上式磁気ヘッドが不良品であった場合にサ
スペンションのみを再利用可能な磁気ヘッド及びその製
造方法を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は以下の構成を採用した。本発明の磁気ヘ
ッドは、スライダの媒体対向面に磁気ヘッド素子が露出
するとともに前記磁気ヘッド素子と電気的に接続される
パッド部が前記スライダの一端面に設けられてなる浮上
式磁気ヘッドと、前記浮上式磁気ヘッドを保持するフレ
キシャと、前記フレキシャに取り付けられて前記パッド
部側に付勢される付勢電極とから構成され、前記浮上式
磁気ヘッドは、前記フレキシャの接着面に前記スライダ
の前記媒体対向面反対側の被接着面が接着樹脂によって
接合されることにより前記フレキシャに保持され、前記
接着樹脂は、溶媒に分散されたゾル状態から温度Ｔｇで
ゲル状態に変化し、温度Ｔｍでゲル状態から溶融状態に
変化し、温度Ｔｃで溶融状態から硬化状態に変化するも
のであってＴｇ＜Ｔｍ＜Ｔｃの関係を有しており、前記
の硬化状態または前記ゲル状態で前記接着面と前記被接
着面を接合させるものであることを特徴とする。

【０００７】係る磁気ヘッドによれば、加熱によって化
学的に硬化する接着樹脂により浮上式磁気ヘッドをフレ
キシャに保持させているので、実際の使用によって磁気
ヘッドの温度が上昇した場合でも接着強度が低下するこ
とがなく、安定した磁気記録情報の記録再生を行うこと
が可能になる。また、接着樹脂がゲル状態の場合であっ
ても、充分な接着強度が得られるので、浮上式磁気ヘッ
ドとフレキシャを仮固定することができ、この状態で浮
上式磁気ヘッドの電気特性等を測定することができる。
更に接着樹脂がゲル状態の場合には、接着樹脂を更に加
熱して溶融状態とすることで、浮上式磁気ヘッドをフレ
キシャから容易に取り外せるので、フレキシャを損傷さ
せることがない。また、浮上式磁気ヘッドと外部との電
気的な接続をパッド部と付勢電極のみにより行うので、
浮上式磁気ヘッドをフレキシャから取りはずしてもフレ
キシャを損傷させることがない。

【０００８】また本発明の磁気ヘッドは、先に記載の磁
気ヘッドであって、前記接着面の周囲に前記接着樹脂の
流動を防止する凸部が設けられ、前記凸部の上面に前記
スライダの被接着面が当接することにより生じる前記接
着面と前記被接着面の間の隙間に、前記接着樹脂が硬化
状態またはゲル状態で充填されていることを特徴とす
る。

【０００９】係る磁気ヘッドによれば、接着樹脂の流動
防止用の凸部が設けられているので、接着樹脂が広範囲
に広がることがなく、これによりフレキシャと浮上式磁
気ヘッドの接着強度が低下することがないので、浮上式
磁気ヘッドをフレキシャに確実に固定することが可能に
なる。

【００１０】また本発明の磁気ヘッドは、先に記載の磁
気ヘッドであって、前記付勢電極は、外部配線の先端を
折り曲げて形成され、この折曲部の付勢力により前記パ
ッド部に圧着されるものであることを特徴とする。また
本発明の磁気ヘッドは、先に記載の磁気ヘッドであっ
て、前記パッド部に前記付勢電極側に突出する接続電極
が取り付けられ、前記付勢電極は、フレキシャの一部を
浮上式磁気ヘッドより離れた側に折り曲げるように打ち
抜いて形成され、この折曲部の付勢力により前記接続電
極に圧着されるものであることを特徴とする。

【００１１】係る磁気ヘッドによれば、折曲部の付勢力
によって付勢電極をパッド部または接続電極に圧着させ
ているので、付勢電極とパッド部を電気的に接続するこ
とができ、磁気記録情報を磁気ヘッドの外部に確実に送
受することが可能になる。また、浮上式磁気ヘッドをフ
レキシャから取り外す場合でもフレキシャを損傷させる
ことなく容易に取り外すことができる。

【００１２】次に本発明の磁気ヘッド用のフレキシャ
は、浮上式磁気ヘッドが取り付けられるフレキシャ舌部
と、該フレキシャ舌部を弾性支持するフレキシャ本体
と、外部配線と、端子電極とを具備してなり、前記端子
電極が、前記フレキシャ本体または前記フレキシャ舌部
のいずれか一方により弾性支持された状態で前記フレキ
シャ本体と前記フレキシャ舌部との接続部近傍に設けら
れ、前記外部配線の先端がこの端子電極まで延在してい
ることを特徴とする。特に、前記端子電極の周囲にスリ
ットを設けることにより、該端子電極が前記フレキシャ
本体によって弾性支持されるように構成されたことが好
ましい。

【００１３】係る磁気ヘッド用のフレキシャによれば、
端子電極が弾性支持されているので、例えば、端子電極
側に突出する接続電極を備えた浮上式磁気ヘッドをフレ
キシャ舌部に取り付けるだけで、端子電極が接続電極に
押圧されて、これらの電極同士を電気的に接続させるこ
とが可能になる。

【００１４】次に、本発明の磁気ヘッドの製造方法は、
磁気ヘッド素子及び該磁気ヘッド素子に電気的に接続さ
れるパッド部がスライダに備えられてなる浮上式磁気ヘ
ッドを、付勢電極を備えたフレキシャに接着樹脂によっ
て接合することにより磁気ヘッドを製造する方法であ
り、前記接着樹脂は、溶媒に分散されたゾル状態から温
度Ｔｇでゲル状態に変化し、温度Ｔｍでゲル状態から溶
融状態に変化し、温度Ｔｃで溶融状態から硬化状態に変
化するものであってＴｇ＜Ｔｍ＜Ｔｃの関係を有するも
のであり、該接着樹脂を前記フレキシャの接着面に塗布
するとともにＴｇ以上Ｔｍ以下に加熱することにより前
記接着樹脂をゲル化して前記スライダの被接着面を前記
接着面に圧着することにより、前記パッド部に前記付勢
電極を圧着させた状態で前記浮上式磁気ヘッドを前記フ
レキシャに仮固定して仮止め品とする仮固定工程と、前
記付勢電極を介して前記浮上式磁気ヘッドの電気特性を
基準値と比較し、前記仮止め品を基準内のものと基準外
のものに選別する検査工程と、前記基準内の仮止め品
を、温度Ｔｃ以上に加熱することにより前記接着樹脂を
硬化状態にして、前記浮上式磁気ヘッドを前記フレキシ
ャに固定して磁気ヘッドとする完成化工程と、前記基準
外の仮止め品を、温度Ｔｍ以上Ｔｃ以下に加熱して前記
接着樹脂を溶融状態にして、前記浮上式磁気ヘッドと前
記フレキシャとを分離する分解工程と、前記分解工程に
より得られた前記フレキシャを、前記仮固定工程に返送
する返送工程とを具備してなることを特徴とする。

【００１５】係る磁気ヘッドの製造方法によれば、フレ
キシャに浮上式磁気ヘッドを仮固定した状態で浮上式磁
気ヘッドの電気特性を測定し、電気特性が基準外のもの
のみを選別して接着樹脂を溶融状態とし、フレキシャと
浮上式磁気ヘッドを分離するので、フレキシャを損傷さ
せずに浮上式磁気ヘッドを取りはずすことができ、フレ
キシャの再利用が可能になる。また、電気特性が基準内
のものは、接着樹脂を加熱するだけで浮上式磁気ヘッド
をフレキシャに強固に固定できるので、特別な設備を必
要とせず、製造工程を簡略化することが可能になる。

【００１６】また、本発明の磁気ヘッドの製造方法は、
磁気ヘッド素子及び該磁気ヘッド素子に電気的に接続さ
れるパッド部がスライダに備えられてなる浮上式磁気ヘ
ッドを、端子電極を備えたフレキシャに接着樹脂によっ
て接合することにより磁気ヘッドを製造する方法であ
り、前記接着樹脂は、溶媒に分散されたゾル状態から温
度Ｔｇでゲル状態に変化し、温度Ｔｍでゲル状態から溶
融状態に変化し、温度Ｔｃで溶融状態から硬化状態に変
化するものであってＴｇ＜Ｔｍ＜Ｔｃの関係を有するも
のであり、前記浮上式磁気ヘッドのパッド部に接触突起
を有する接続電極を取り付ける電極形成工程と、前記接
着樹脂を前記フレキシャの前記接着面に塗布するととも
にＴｇ以上Ｔｍ以下に加熱して前記接着樹脂をゲル化し
て前記スライダの被接着面を前記接着面に圧着すると同
時に、前記接触突起を前記端子電極に接触させた状態
で、前記浮上式磁気ヘッドを前記フレキシャに仮固定し
て仮止め品とする仮固定工程と、前記端子電極を介して
前記浮上式磁気ヘッドの電気特性を基準値と比較し、前
記仮止め品を基準内のものと基準外のものに選別する検
査工程と、前記基準内の仮止め品を、温度Ｔｃ以上に加
熱することにより前記接着樹脂を硬化状態にして前記浮
上式磁気ヘッドを前記フレキシャに固定するとともに、
前記接触突起を潰しつつ前記接続電極を前記端子電極に
圧着して磁気ヘッドとする完成化工程と、前記基準外の
仮止め品を、温度Ｔｍ以上Ｔｃ以下に加熱することによ
り前記接着樹脂を溶融状態にして、前記浮上式磁気ヘッ
ドと前記フレキシャとを分離する分解工程と、前記分解
工程により得られた前記フレキシャを、前記仮固定工程
に返送する返送工程とを具備してなることを特徴とす
る。

【００１７】係る磁気ヘッドの製造方法によれば、接触
突起を潰しつつ前記接続電極を前記端子電極に圧着して
磁気ヘッドとするので、接続電極と端子電極との電気的
接続を確実なものとすることができ、磁気ヘッドの歩留
まりを向上させることが可能になる。

【００１８】また、本発明の磁気ヘッドの製造方法は、
先に記載の磁気ヘッドの製造方法であって、前記電極形
成工程が、前記浮上式磁気ヘッドを接続電極形成用の型
面に対して前記パッド部の表面が起立した状態で配置
し、接続電極用材料を前記パッド部に接合すると同時に
前記型面に圧着して、前記型面に対応した接触突起を有
する接続電極を形成し、前記接続電極を前記型面から剥
離する工程からなることを特徴とする。

【００１９】係る磁気ヘッドの製造方法によれば、接続
電極形成用の型面を用いて接触突起付きの接続電極を形
成するので、一定の形状の接続電極を量産することがで
き、接続電極の生産性を高めることが可能になる。

【００２０】

【発明の実施の形態】（第１の実施形態）以下、本発明
の第１の実施の形態を図面を参照して説明する。図１に
本発明の第１の実施形態である磁気ヘッド１の斜視図を
示し、図２に磁気ヘッド１の平面図を示し、図３には磁
気ヘッド１の側面図を示す。図１に示すように、この磁
気ヘッド１は、ロードビーム２の先端２ａに取り付けら
れたフレキシャ３と、フレキシャ３に保持された浮上式
磁気ヘッド４とを主体として構成されている。これらフ
レキシャ３とロードビーム２とによりサスペンション３
ｄが構成されている。

【００２１】図１に示すように、浮上式磁気ヘッド４
は、Ａｉ₂Ｏ₃-ＴｉＣ等の非磁性体からなるスライダ５
に磁気ヘッド素子６が形成されて構成されている。磁気
ヘッド素子６はスライダ５の一端面５ａ上に、再生ヘッ
ド部と書込ヘッド部とを積層して構成されている。そし
て、磁気ヘッド素子６の一部がスライダ５の媒体対向面
５ｂに露出している。また、図１及び図３に示すよう
に、スライダ５の一端面５ａ上には金等からなる４つの
パッド部７…が設けられている。これらのパッド部７…
は磁気ヘッド素子６に電気的に接続され、磁気ヘッド素
子６と外部との間でやりとりされる電気信号の端子とし
ての役割を果たす。尚、パッド部７…の数は４つに限ら
れるものではない。そして図１及び図３に示すように、
スライダ５の媒体対向面５ｂの反対面である被接着面５
ｃが、フレキシャ３のフレキシャ舌部３ａに接着されて
いる。

【００２２】図２に示すように、フレキシャ３は厚さ数
十μｍのステンレス等の薄板からなり、その先端にはフ
レキシャ舌部３ａが形成されている。フレキシャ舌部３
ａは、フレキシャ３の先端中央を打ち抜いて舌状に形成
されたもので、フレキシャ３の先端側から基端側に向け
て延在している。そして、フレキシャ舌部３ａの接着面
３ｂには、凸部３ｃ…が形成されている。凸部３ｃ…は
図３に示すように、接着面３ｂから浮上式磁気ヘッド４
側に突出して形成されている。

【００２３】また図１〜図３に示すように、フレキシャ
３には、少なくとも表面が金からなる付勢電極８…が取
り付けられている。付勢電極８…は、フレキシャ３の基
端側から先端側に向けて延在する外部配線９…の先端に
設けられており、図１及び図３に示すように、外部配線
９…の先端が折り曲げられて折曲部１０が形成され、付
勢電極８…はその折曲部１０…を介して外部配線９…に
接続されている。そして付勢電極８…は、折曲部１０…
を固定点とする片持ちばねとされ、浮上式磁気ヘッド４
のパッド部７…側に付勢されてパッド部７に圧着されて
いる。尚、パッド部７…が金で構成された場合は、付勢
力によって付勢電極８…がパッド部７…に若干くい込む
ため、付勢電極８…とパッド部７…との電気的な接続が
良好なものとなる。

【００２４】そして、浮上式磁気ヘッド４のスライダ５
の被接着面５ｃが、フレキシャ３のフレキシャ舌部３ａ
の接着面３ｂに接着樹脂１１により接着されている。即
ち図３に示すように、被接着面５ｃと接着面３ｂとの間
に接着樹脂１１が充填され、浮上式磁気ヘッド４とフレ
キシャ３とがこの接着樹脂１１により接合されている。
浮上式磁気ヘッド４の被接着面５ｃは、凸部３ｃ…の上
面に当接し、被接着面５ｃと接着面３ｂとの間に微小な
隙間が設けられ、接着樹脂１１はこの隙間に充填され
る。また凸部３ｃは、図２に示すように、接着面３ｂを
取り囲むように形成されている。そして接着樹脂１１
は、凸部３ｃ…によってせき止められ、凸部３ｃ…に囲
まれた領域のみに塗布されている。このように、凸部３
ｃ…は、浮上式磁気ヘッド４を支持するとともに接着樹
脂１１の流動を防止する。

【００２５】接着樹脂１１は、温度Ｔｇでゾル状態から
ゲル状態に変化し、温度Ｔｍでゲル状態から溶融状態に
変化し、温度Ｔｃで溶融状態から硬化状態に変化するも
のである。ここで、各温度は、Ｔｇ＜Ｔｍ＜Ｔｃの関係
を示す。浮上式磁気ヘッド４とフレキシャ３を接合する
際には、接着樹脂１１が硬化状態またはゲル状態とな
る。

【００２６】この接着樹脂１１は、通常、溶剤に溶解さ
れた状態でフレキシャ舌部３ａの接着面３ｂに塗布され
る。溶剤に溶解された状態の接着樹脂１１は、溶剤中に
溶解分散、若しくはコロイド状に分散した状態となって
おり、外見上は液状体あるいは半流動状体のような性状
を示し、いわゆるゾル状態になっている。そして温度Ｔ
ｇを越えると溶剤がほとんど揮発し、接着樹脂１１が析
出したゲル状態になる。このゲル状態でフレキシャ３に
浮上式磁気ヘッド４を圧着させることにより、フレキシ
ャ３と浮上式磁気ヘッド４とを仮固定できる。図１〜図
３に示す磁気ヘッド１では、接着樹脂１１がゲル状態で
あっても良い。

【００２７】更に温度がＴｍを越えると、接着樹脂１１
はゲル状態から溶融状態に変化し、ジェリー状から液状
若しくは半流動体状になる。溶融状態の接着樹脂１１は
粘着性が著しく低下し、これによりフレキシャ３に機械
的な負荷を与えることなくフレキシャ３から浮上式磁気
ヘッド４を分離可能となる。そして、温度がＴｃを越え
ると、接着樹脂１１は溶融状態から化学的な反応、例え
ば重合反応、縮合反応等の化学反応を経て硬化して硬化
状態になる。この硬化状態への反応は不可逆的反応であ
り、接着樹脂１１が一旦硬化すると、温度が低下したと
しても溶融状態に戻ることがない。図１〜３に示す磁気
ヘッド１の接着樹脂１１は硬化状態であり、これにより
フレキシャ３と浮上式磁気ヘッド４を強固に固定でき
る。

【００２８】上記の接着樹脂１１の具体例としては、ポ
リエステル系、アクリル系、ポリオレフィン系、エポキ
シ系、ポリウレタン系の樹脂を例示できるが、特にエポ
キシ系の樹脂が好ましい。また、溶剤の具体例として
は、グリコールエステル類、ケトン類、芳香族類等を例
示できるが、特にケトン類が好ましい。

【００２９】上記の磁気ヘッド１によれば、化学的に硬
化した接着樹脂１１により浮上式磁気ヘッド４をフレキ
シャ舌部３ａに接着しているので、実際の使用によって
磁気ヘッドに温度が上昇した場合でも接着強度が低下す
ることがなく、安定した磁気記録情報の記録再生を行う
ことができる。また、接着樹脂１１がゲル状態の場合で
あっても、充分な接着強度が得られるので、浮上式磁気
ヘッド４とフレキシャ３を仮固定することができ、この
状態で浮上式磁気ヘッド４の電気特性等を測定すること
ができる。更に、接着樹脂がゲル状態の場合には、接着
樹脂を更にＴｍまで加熱して溶融状態とすることによ
り、浮上式磁気ヘッド４をフレキシャ３から容易に取り
外せるので、フレキシャ３に機械的な負荷がかかること
がなく、サスペンション３ｄを損傷させることがない。

【００３０】また、浮上式磁気ヘッド４と外部との電気
的な接続をパッド部７…と付勢電極８…のみにより行う
ので、従来のように金ボールを介して溶接する必要がな
く、部品点数が低減して信頼性の高い磁気ヘッドを構成
することが可能になる。更にパッド部７…と付勢電極８
…の接続は、付勢電極８…をパッド部７…に付勢して圧
着することのみで維持されているので、フレキシャ３か
ら浮上式磁気ヘッド４を取りはずす際に、パッド部７…
と付勢電極８…を切り離すための操作は特に必要なく、
単に接着樹脂１１を溶融状態にするだけでフレキシャ３
から浮上式磁気ヘッド４を取りはずすことができ、パッ
ド部７…や付勢電極８…を損傷させることがない。

【００３１】また、フレキシャ舌部３ａの接着面３ｂ上
に接着樹脂１１の流動を防止する凸部３ｃ…が設けられ
ているので、接着樹脂１１が過度に広範囲に広がること
がなく、フレキシャ３と浮上式磁気ヘッド４の接着強度
が低下することがないので、浮上式磁気ヘッド４をフレ
キシャ３に確実に固定させることができる。

【００３２】また、付勢電極に接続電極を取り付け、こ
の接続電極にパッド部を付勢させることによって、浮上
式磁気ヘッドを外部配線に電気的に接続しても良い。こ
の例の磁気ヘッドの要部を図４に示す。なお、図４に示
す磁気ヘッドの構成要素のうち、図１〜図３に示した磁
気ヘッド１と同一の構成要素には同一符号を付してその
説明を省略する。図４に磁気ヘッド２０は、図１〜３に
示した磁気ヘッドと同様に、パッド部７…を有する浮上
式磁気ヘッド４と、フレキシャ２３と、付勢電極２８と
を主体として構成されている。

【００３３】付勢電極２８は、フレキシャ舌部２３ａの
一部を打ち抜いて舌状に形成されたもので、フレキシャ
舌部２３ａの先端側から基端側に向けて延在している。
付勢電極２８は、浮上式磁気ヘッド４から離れる側に向
けてフレキシャ舌部２３ａから折り曲げられており、こ
の折り曲げられた部分が折曲部３０とされている。そし
て、外部配線９の先端がこの折曲部３０近傍に接続され
ている。

【００３４】また、浮上式磁気ヘッド４のパッド部７…
には、接続電極４０…が取り付けられている。接続電極
４０…は、一端がパッド部７…に接合し、他端がフレキ
シャ舌部２３ａ側に突出している。接続電極４０…の他
端は、付勢電極１８…の打ち抜きによって形成された打
抜孔１８ａを貫通して付勢電極１８側に突出している。
そして付勢電極１８…は、折曲部３０…を固定点とする
片持ちばねとされ、浮上式磁気ヘッド４のパッド部７…
側に付勢され、接続電極４０…に圧着されている。

【００３５】上記の磁気ヘッド２０によれば、先に説明
した磁気ヘッド１と同様な効果の他に次の効果が得られ
る。即ち、付勢電極１８とパッド部７…との間に接続電
極４０…が配置され、付勢電極１８…が接続電極４０…
側に付勢されているので、浮上式磁気ヘッドと外部配線
９とを確実に接続することができる。また、フレキシャ
舌部２３ａを打ち抜くだけで、あるいはエッチングする
ことにより付勢電極１８…を形成できるので、構造が簡
略化されて磁気ヘッド２０の信頼性を高めることができ
る。

【００３６】次に、本発明の第１の実施形態の磁気ヘッ
ド１の製造方法を図面を参照して説明する。磁気ヘッド
１の製造方法は、浮上式磁気ヘッド４をフレキシャ３に
仮固定して仮止め品とする仮固定工程と、浮上式磁気ヘ
ッド４の電気特性に基づいて仮止め品を選別する検査工
程と、仮止め品が良品の場合に浮上式磁気ヘッド４をフ
レキシャ３に完全に固定する完成化工程と、仮止め品が
不良品の場合に浮上式磁気ヘッド４とフレキシャ３を分
離する分解工程と、フレキシャ３を仮固定工程に返送す
る返送工程とから構成されている。

【００３７】まず仮固定工程では、図５の符号１００で
示すように、フレキシャ舌部３ａの接着面３ｂに接着樹
脂１１を塗布する。接着樹脂１１は凸部３ｃ…に囲まれ
た領域に塗布することが望ましい。また、接着樹脂１１
は前述したように、加熱によってゾル状態からゲル状態
へ、更に溶融状態から硬化状態に変化するものであり、
この仮固定工程においては溶剤に溶解されてゾル状態の
接着樹脂１１を塗布する。そして、Ｔｇ以上Ｔｍ以下の
温度に加熱して溶剤を揮発させることにより接着樹脂１
１をゲル化する。接着樹脂１１が例えばポリエステル系
樹脂の場合、Ｔｇは２５℃（室温）程度、Ｔｍは１００
℃程度である。

【００３８】次に、図５の符号１０１で示すように、フ
レキシャ舌部３ａに浮上式磁気ヘッド４を圧着して仮固
定し、仮止め品Ａとする。ゲル状態の接着樹脂１１は、
外見的にはジェリー状であり、粘着性を示す。従って接
着樹脂１１がゲル状態のときに、フレキシャ３に浮上式
磁気ヘッド４を圧着させることにより、フレキシャ３と
浮上式磁気ヘッド４とを仮固定できる。フレキシャ３に
浮上式磁気ヘッド４を仮固定した状態では、図５の符号
１０１で示すように、パッド部７…に付勢電極８…が圧
着された状態になる。なお、浮上式磁気ヘッド４とフレ
キシャ３とを冶具等により固定した状態で接着樹脂１１
を加熱してゲル状態とし、浮上式磁気ヘッド４とフレキ
シャ３を仮固定しても良い。

【００３９】次に検査工程では、まず図５の符号１０２
に示すように、仮止め品Ａの外部配線９に測定機器Ｂを
接続する。これにより測定装置Ｂを、外部配線９から付
勢電極８…及びパッド部７…を介して浮上式磁気ヘッド
４の磁気ヘッド素子（図示せず）に電気的に接続する。
浮上式磁気ヘッド４はフレキシャ３に仮固定された状態
であるが、付勢電極８…をパッド部７…に圧着した状態
であるので、付勢電極８…とパッド部７…との間の電気
的な接続が良好な状態に保たれている。この状態で、浮
上式磁気ヘッド４の磁気ヘッド素子の電気特性を測定機
器Ｂにより測定する。測定する電気特性としては、例え
ば、磁気ヘッド素子の再生ヘッド部に設けられたＭＲ素
子の電気抵抗や、再生出力、出力波形の対称性、安定
性、磁気ヘッド素子の寸法、位置関係等を例示できる。

【００４０】そして、測定した電気特性とあらかじめ決
められた基準値（若しくは許容範囲）とを比較し、測定
した仮止め品Ａが基準内のものか、基準外のものかを選
別する。例えば、測定した電気特性がＭＲ素子の電気抵
抗である場合には、この電気抵抗値を基準となる電気抵
抗値の許容範囲と比較する。そして、ＭＲ素子の電気抵
抗が許容範囲外である場合はその仮止め品を基準外のも
の（不良品）Ａ1とし、ＭＲ素子の電気抵抗が許容範囲
内である場合はその仮止め品を基準内のもの（良品）Ａ
2とする。

【００４１】次に、上記の検査工程で基準内のもの（良
品）と判定された仮止め品Ａ1は、完成化工程に進んで
以下の処理が行われる。完成化工程では仮止め品Ａ1に
対し、図５の符号１０３で示すように、仮止め品Ａ1を
温度Ｔｃ以上に加熱して接着樹脂１１を化学反応させて
硬化状態とすることにより、浮上式磁気ヘッド４をフレ
キシャ３に完全に固定する。接着樹脂１１を温度Ｔｃま
で加熱すると、接着樹脂１１は溶融状態を経て化学的な
反応、例えば重合反応、縮合反応等を引き起こして硬化
する。溶融状態から硬化状態への反応は不可逆的反応で
あり、接着樹脂１１が一旦この硬化状態になると温度が
低下しても溶融状態に戻ることはない。また、加熱する
温度は、浮上式磁気ヘッド４の耐熱温度以下の温度とす
ることが好ましい。尚、接着樹脂１１がポリエステル系
樹脂の場合、Ｔｃは１２０〜１３０℃程度となる。この
ようにして磁気ヘッド１が得られる。

【００４２】次に、上記の検査工程で基準外のもの（不
良品）と判定された仮止め品Ａ2は、分解工程に進んで
以下の処理が行われる。分解工程では仮止め品Ａ2に対
し、図５の符号１０４で示すように、仮止め品Ａ2を温
度Ｔｍ以上Ｔｃ以下の範囲に加熱してゲル状態の接着樹
脂１１を溶融状態にすることにより、浮上式磁気ヘッド
４をフレキシャ３から分離する。接着樹脂１１を温度Ｔ
ｍ以上Ｔｃ以下の範囲に加熱すると、ゲル状態の接着樹
脂１１は溶融状態に変化し、液状若しくは半流動体状に
なる。溶融状態の接着樹脂１１は粘着性が著しく低下
し、これによりフレキシャ３に機械的な負荷を与えるこ
となくフレキシャ３から浮上式磁気ヘッド４を分離する
ことができる。

【００４３】特に浮上式磁気ヘッド４はフレキシャ舌部
３ａに仮固定されており、このフレキシャ舌部３ａはフ
レキシャ３の一部を切り欠いてフレキシャ３に対して撓
みやすく形成されている。従ってフレキシャ３自体の機
械的強度は極めて低いものであるが、溶融状態になった
接着樹脂１１は粘着性が極めて低くなっているので、フ
レキシャ３を変形させることなく、浮上式磁気ヘッド４
を取りはずすことができる。更にパッド部７…と付勢電
極８…の接続は、付勢電極８…をパッド部７…に付勢し
て圧着することのみで維持されているので、フレキシャ
３から浮上式磁気ヘッド４を取りはずす際に、パッド部
７…と付勢電極８…を切り離すための操作は特に必要な
く、単に接着樹脂１１を溶融状態にするだけでフレキシ
ャ３から浮上式磁気ヘッド４を取りはずすことができ、
パッド部７…や付勢電極８…を損傷させることがない。

【００４４】そして検査工程に続く返送工程では、図５
の符号１０５で示すように、分解工程において浮上式磁
気ヘッド４を分離した後のフレキシャ３とロードビーム
２を含むサスペンション３ｄを、仮固定工程に返送す
る。このフレキシャ３には、仮固定工程にて再び別の浮
上式磁気ヘッド４が仮固定される。尚、返送工程におい
て、返送するフレキシャ３のフレキシャ舌部３ａに接着
樹脂１１の一部が残存している場合には、適当な溶剤中
にフレキシャ３ごと浸漬して接着樹脂１１を除去するこ
とが好ましい。また本発明の磁気ヘッド１の製造方法に
よれば、サスペンション３ｄを再利用することができ
る。特にサスペンション３ｄに付加機能を追加すべくマ
イクロアクチュエータや半導体素子等を取り付けたもの
であっても、サスペンション３ｄを破棄することなく再
利用できるので、省資源化できるとともに磁気ヘッド１
の製造コストを大幅に低減できる。

【００４５】（第２の実施形態）次に、本発明の第２の
実施形態を図面を参照して説明する。図６に本発明の第
２の実施形態である磁気ヘッド４１の側面図を示し、図
７には上記の磁気ヘッド４１のフレキシャ３３の平面図
を示す。尚、図６及び図７に示す磁気ヘッド４１の構成
要素のうち、第１の実施形態で説明した磁気ヘッド１の
構成要素と同一のものには、同一符号を付してその説明
の一部若しくは全部を省略する。図６に示す磁気ヘッド
４１は、第１の実施形態の磁気ヘッド１と同様に、ロー
ドビーム２の先端に設けられたフレキシャ３３と、フレ
キシャ３３に保持された浮上式磁気ヘッド４とを主体と
して構成されている。また、フレキシャ３３とロードビ
ーム２とによりサスペンションが構成されている。

【００４６】浮上式磁気ヘッド４は、Ａｉ₂Ｏ₃-ＴｉＣ
等の非磁性体からなるスライダ５に図示しない磁気ヘッ
ド素子が形成されて構成され、スライダ５の一端面５ａ
上には金等からなるパッド部７…が設けられている。こ
れらのパッド部７…は磁気ヘッド素子に電気的に接続さ
れ、磁気ヘッド素子と外部との間でやりとりされる電気
信号の端子としての役割を果たす。そして図６に示すよ
うに、スライダ５の媒体対向面５ｂの反対面である被接
着面５ｃが、フレキシャ３３のフレキシャ舌部３３ａに
接着されている。

【００４７】図７に示すように、フレキシャ３３は厚さ
数十μｍのステンレス等の薄板からなり、フレキシャ舌
部３３ａ及びフレキシャ本体３３ｄを有し、更に外部配
線３９と、端子電極３８とを主体として構成されてい
る。フレキシャ３３の中央にはフレキシャ舌部３３ａが
形成されている。フレキシャ舌部３３ａは、フレキシャ
３３の先端中央を打ち抜いて舌状に形成されたもので、
フレキシャ本体３３ｄにより弾性支持されている。ま
た、フレキシャ舌部３３ａの接着面３３ｂには、凸部３
３ｃ…が形成されている。凸部３３ｃ…は図６に示すよ
うに、接着面３３ｂから浮上式磁気ヘッド４側に突出し
て形成されている。

【００４８】また図６及び図７に示すように、フレキシ
ャ３３の端子電極３８…は、フレキシャ本体３３ｄとフ
レキシャ舌部３３ａの接続部分において、フレキシャ舌
部３３ａの一部を打ち抜いて平面視コ字状のスリット３
９ｂを設けて形成され、フレキシャ舌部３３ａにより弾
性支持されている。そして端子電極３８…は、フレキシ
ャ舌部３３ａとの接続部分を固定点とする片持ちばねと
されている。また端子電極３８には、図６及び図７に示
すように、外部配線３９の先端３９ａが位置している。

【００４９】浮上式磁気ヘッド４のパッド部７と端子電
極３８の外部配線の先端３９ａは、接続電極５０により
電気的に接続されている。接続電極５０は、金ボールを
超音波成形等により断面視略Ｌ字型に形成してなるもの
で、パッド部７と外部配線先端３９ａに双方に接合され
ている。

【００５０】そして、浮上式磁気ヘッド４のスライダ５
の被接着面５ｃが、フレキシャ舌部３３ａの接着面３３
ｂに接着樹脂１１により接着されている。即ち図６に示
すように、被接着面５ｃと接着面３３ｂとの間に接着樹
脂１１が充填され、浮上式磁気ヘッド４とフレキシャ３
３とがこの接着樹脂１１により接合されている。被接着
面５ｃは、凸部３３ｃ…の上面に当接し、被接着面５ｃ
と接着面３３ｂとの間に微小な隙間が設けられ、接着樹
脂１１はこの隙間に充填される。また凸部３３ｃは、図
７に示すように、接着面３３ｂを取り囲むように形成さ
れている。そして接着樹脂１１は、凸部３３ｃ…によっ
てせき止められ、凸部３３ｃ…に囲まれた領域のみに塗
布されている。このように、凸部３３ｃ…は、浮上式磁
気ヘッド４を支持するとともに接着樹脂１１の流動を防
止する。

【００５１】接着樹脂１１は、第１の実施形態にて説明
した接着樹脂１１と同様のもので、温度Ｔｇでゾル状態
からゲル状態に変化し、温度Ｔｍでゲル状態から溶融状
態に変化し、温度Ｔｃで溶融状態から硬化状態に変化す
るものである。浮上式磁気ヘッド４とフレキシャ３３を
接合する際には、接着樹脂１１が硬化状態となる。

【００５２】上記の磁気ヘッド４１によれば、パッド部
７及び端子電極３８（外部配線先端３９ａ）とが接続電
極５０に接合されているので、外部配線３９と浮上式磁
気ヘッド４とを電気的に確実に接続することができる。
また、この磁気ヘッド４１によれば、接着樹脂１１によ
り浮上式磁気ヘッド４をフレキシャ３３に接着している
ので、実際の使用によって磁気ヘッドに温度が上昇した
場合でも接着強度が低下することがなく、安定した磁気
記録情報の記録再生を行うことができる。また、接着樹
脂１１がゲル状態の場合であっても、充分な接着強度が
得られるので、浮上式磁気ヘッド４とフレキシャ３３を
仮固定することができ、この状態で浮上式磁気ヘッド４
の電気特性等を測定することができる。更に、接着樹脂
がゲル状態の場合には、接着樹脂を更にＴｍまで加熱し
て溶融状態とすることにより、浮上式磁気ヘッド４をフ
レキシャ３３から容易に取り外せるので、フレキシャ３
３に機械的な負荷がかかることがなく、フレキシャ３３
を損傷させることがない。

【００５３】また、フレキシャ３３の接着面３３ｂ上に
接着樹脂１１の流動を防止する凸部３３ｃ…が設けられ
ているので、接着樹脂１１が過度に広範囲に広がること
がなく、フレキシャ３３と浮上式磁気ヘッド４の接着強
度が低下することがないので、浮上式磁気ヘッド４をフ
レキシャ３３に確実に固定させることができる。

【００５４】次に、上記の磁気ヘッド４１の製造方法を
説明する。この磁気ヘッド４１の製造方法は、浮上式磁
気ヘッド４に接続電極５０を接合する電極形成工程と、
浮上式磁気ヘッド４をフレキシャ３３に仮固定して仮止
め品とする仮固定工程と、浮上式磁気ヘッド４の電気特
性に基づいて仮止め品を選別する検査工程と、仮止め品
が良品の場合に浮上式磁気ヘッド４をフレキシャ３３に
完全に固定するとともに接続電極５０をフレキシャ３３
に圧着する完成化工程と、仮止め品が不良品の場合に浮
上式磁気ヘッド４とフレキシャ３３を分離する分解工程
と、フレキシャ３３を仮固定工程に返送する返送工程と
から構成されている。

【００５５】まず、電極形成工程では、図８の符号２０
１に示すように、浮上式磁気ヘッド４を媒体対向面５ａ
を上にして接続電極形成用の型Ｃの型面Ｃ1上に配置す
る。この型Ｃの型面Ｃ1は例えばステンレス等により構
成されており、そして型面Ｃ1上にはディンプルＤが設
けられている。浮上式磁気ヘッド４は、この型面Ｃ1に
対し、パッド部７…の表面が起立した状態で配置され
る。次に、金ボール等の接続電極用材料５１をパッド部
７…と型面Ｃ1のディンプルＤとに接触するように配置
し、超音波溶着を行って接続電極用材料５０をパッド部
７…と型面Ｃ1に圧着させる。接続電極用材料５１が型
面Ｃ1に圧着される際に、材料５１の一部が型面Ｃ1上の
ディンプルＤに充填される。このようにして、接続電極
５０が形成される。接続電極用材料５１が金ボールから
なるとともにパッド部７…も金から構成される場合に
は、接続電極５０がパッド部７の表面に完全に接合す
る。一方、接続電極５０は材質の異なる型面Ｃ1には完
全に接合せず、剥離可能な状態となる。

【００５６】そして、図８の符号２０２に示すように、
型Ｃから接続電極５０及び浮上式磁気ヘッド４を剥離す
る。接続電極５０には、スライダ５の被接着面５ｃより
も図中下方に突出する接続突起５０ａが設けられる。こ
の接続突起５０ａは、型面Ｃ1上に設けられたディンプ
ルＤに対応するものである。

【００５７】次に図８の符号２０３で示すように、仮固
定工程では、第１の実施形態の仮固定工程と同様にし
て、フレキシャ舌部３３ａの接着面３３ｂに接着樹脂１
１を塗布し、Ｔｇ以上Ｔｍ以下の温度に加熱して接着樹
脂１１をゲル化し、そしてフレキシャ舌部３３ａに浮上
式磁気ヘッド４を圧着して仮固定し、仮止め品Ａとす
る。フレキシャ舌部３３ａに浮上式磁気ヘッド４を仮固
定した状態では、図８の符号２０３で示すように、接続
電極５０の接触突起５０ａが端子電極３８に接触して端
子電極３８を図中下側に付勢させた状態になる。

【００５８】次に検査工程では、第１の実施形態にて説
明した検査工程と全く同様にして、図示しない測定機器
を外部配線３９に接続し、接続電極５０及びパッド部７
を介してこの測定機器を浮上式磁気ヘッド４に電気的に
接続し、浮上式磁気ヘッド４の磁気ヘッド素子の電気特
性を測定する。

【００５９】そして、測定した電気特性とあらかじめ決
められた基準値（若しくは許容範囲）とを比較し、測定
した仮止め品Ａが基準内のものか、基準外のものかを選
別する。例えば、測定した電気特性がＭＲ素子の電気抵
抗である場合には、この電気抵抗値を基準となる電気抵
抗値の許容範囲と比較する。そして、ＭＲ素子の電気抵
抗が許容範囲外である場合はその仮止め品を基準外のも
の（不良品）とし、ＭＲ素子の電気抵抗が許容範囲内で
ある場合はその仮止め品を基準内のもの（良品）とす
る。

【００６０】次に、上記の検査工程で基準内のもの（良
品）と判定された仮止め品は、完成化工程に進んで以下
の処理が行われる。完成化工程では図８の符号２０４で
示すように、仮止め品を温度Ｔｃ以上に加熱して接着樹
脂１１を化学反応させて硬化状態とすることにより、浮
上式磁気ヘッド４をフレキシャ３３に完全に固定する。
同時に、超音波溶着処理等によって接続電極５０を端子
電極３８に圧着する。圧着の際には、図中上側から超音
波溶着用のヘッドを接続電極５０に押し当てるとともに
フレキシャ舌部３３ａの図中下方から図示しない冶具等
により端子電極３８を支持し、接続電極５０を上下方向
から挟む形で成形する。この圧着によって接続電極５０
に設けられていた接触突起５０ａが潰され、接続電極５
０と端子電極３８上の外部配線の先端３９ａが完全に接
合する。このようにして磁気ヘッド４１が得られる。

【００６１】次に、上記の検査工程で基準外のもの（不
良品）と判定された仮止め品は、分解工程に進み、第１
の実施形態の場合と同様にして、以下の処理が行われ
る。分解工程では仮止め品を温度Ｔｍ以上Ｔｃ以下の範
囲に加熱してゲル状態の接着樹脂１１を溶融状態にし
て、浮上式磁気ヘッド４をフレキシャ３３から分離す
る。溶融状態の接着樹脂１１は粘着性が著しく低下し、
これによりフレキシャ３３に機械的な負荷を与えること
なくフレキシャ３３から浮上式磁気ヘッド４を分離する
ことができる。

【００６２】更にパッド部７…と端子電極３８…の接続
は、接続電極５０の接触突起５０ａによる点接触のみで
維持されているので、フレキシャ３３から浮上式磁気ヘ
ッド４を取りはずす際に、パッド部７と端子電極３８を
切り離すための操作は特に必要なく、パッド部７や端子
電極３８を損傷させることがない。

【００６３】そして検査工程に続く返送工程では、第１
の実施形態の場合と同様にして、フレキシャ３３を仮固
定工程に返送する。このフレキシャ３３には、仮固定工
程にて再び別の浮上式磁気ヘッド４が仮固定される。

【００６４】上記の磁気ヘッド４１の製造方法によれ
ば、フレキシャ３３とロードビーム２からなるサスペン
ションを再利用することができる。特にサスペンション
に付加機能を追加すべくマイクロアクチュエータや半導
体素子等をサスペンションに取り付けたものであって
も、サスペンションを破棄することなく再利用できるの
で、省資源化できるとともに磁気ヘッド４１の製造コス
トを大幅に低減できる。また完成化工程において、接続
電極５０をパッド部７と端子電極３８に完全に接合する
ので、浮上式磁気ヘッド４を外部配線３９に確実に接続
することができ、磁気ヘッド４１の歩留まりを構造させ
ることができる。

【００６５】なお、上記の製造方法の仮固定工程におい
て、端子電極３８が接続電極５０によって付勢されてい
るが、付勢されないものであっても良い。即ち、端子電
極３８がフレキシャ本体３３ｄに対して剛性支持された
ものであってもよい。

【００６６】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように本発明の磁
気ヘッドによれば、加熱によって硬化する接着樹脂によ
り浮上式磁気ヘッドをフレキシャに接着しているので、
実際の使用によって磁気ヘッドの温度が上昇した場合で
も接着強度が低下することがなく、安定した磁気記録情
報の記録再生を行うことができる。また、接着樹脂がゲ
ル状態の場合であっても、充分な接着強度が得られるの
で、浮上式磁気ヘッドとフレキシャを仮固定することが
でき、この状態で浮上式磁気ヘッドの電気特性等を測定
することができる。更に接着樹脂がゲル状態の場合に
は、更に接着樹脂を加熱して溶融状態とすることで、浮
上式磁気ヘッドをフレキシャから容易に取り外せるの
で、フレキシャを損傷させることがない。更に、浮上式
磁気ヘッドと外部との電気的な接続をパッド部と付勢電
極のみにより行うので、従来のように金ボールを介して
溶接する必要がなく、部品点数が低減して信頼性の高い
磁気ヘッドを構成することができる。

【００６７】また、本発明の磁気ヘッドの製造方法によ
れば、フレキシャに浮上式磁気ヘッドを仮固定した状態
で浮上式磁気ヘッドの電気特性を測定し、電気特性が基
準外のもののみを選別して接着樹脂を溶融状態とし、フ
レキシャと浮上式磁気ヘッドを分離するので、フレキシ
ャを損傷させずに浮上式磁気ヘッドを取りはずすことが
でき、フレキシャを再利用することができる。また、電
気特性が基準内のものは、接着樹脂を加熱するだけで浮
上式磁気ヘッドをフレキシャに強固に固定できるので、
特別な設備を必要とせず、製造工程を簡略化することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施形態である磁気ヘッド
の斜視図である。

【図２】 本発明の第１の実施形態である磁気ヘッド
のフレキシャの要部を示す平面図である。

【図３】 本発明の第１の実施形態である磁気ヘッド
の側面図である。

【図４】 本発明の第１の実施形態である他の磁気ヘ
ッドの要部を示す側面図である。

【図５】 本発明の第１の実施形態である磁気ヘッド
の製造方法を説明するための工程図である。

【図６】 本発明の第２の実施形態である磁気ヘッド
の側面図である。

【図７】 本発明の第２の実施形態である磁気ヘッド
のフレキシャの要部を示す平面図である。

【図８】 本発明の第２の実施形態である磁気ヘッド
の製造方法を説明するための工程図である。

【符号の説明】

１、２０…磁気ヘッド、３…フレキシャ、３ｂ…接着
面、３ｃ…凸部、４…浮上式磁気ヘッド、５…スライ
ダ、５ａ…一端面、５ｂ…媒体対向面、５ｃ…被接着
面、６…磁気ヘッド素子、７…パッド部、８、１８…付
勢電極、９…外部配線、１０、３０…折曲部、１１…接
着樹脂、４０…接続電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中川 正義 東京都大田区雪谷大塚町１番７号 アルプ ス電気株式会社内 (72)発明者 中澤 徹 東京都大田区雪谷大塚町１番７号 アルプ ス電気株式会社内 (72)発明者 野村 壮一郎 東京都大田区雪谷大塚町１番７号 アルプ ス電気株式会社内 (72)発明者 阿部 秀昭 東京都大田区雪谷大塚町１番７号 アルプ ス電気株式会社内 Ｆターム(参考） 5D042 NA02 PA01 TA01 5D059 AA01 BA01 CA26 DA04 DA31 EA02

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 スライダの媒体対向面に磁気ヘッド素
   子が露出するとともに前記磁気ヘッド素子と電気的に接
   続されるパッド部が前記スライダの一端面に設けられて
   なる浮上式磁気ヘッドと、前記浮上式磁気ヘッドを保持
   するフレキシャと、前記フレキシャに取り付けられて前
   記パッド部側に付勢される付勢電極とから構成され、 前記浮上式磁気ヘッドは、前記フレキシャの接着面に前
   記スライダの前記媒体対向面反対側の被接着面が接着樹
   脂によって接合されることにより前記フレキシャに保持
   され、 前記接着樹脂は、溶媒に分散されたゾル状態から温度Ｔ
   ｇでゲル状態に変化し、温度Ｔｍでゲル状態から溶融状
   態に変化し、温度Ｔｃで溶融状態から硬化状態に変化す
   るものであってＴｇ＜Ｔｍ＜Ｔｃの関係を有しており、
   前記の硬化状態または前記ゲル状態で前記接着面と前記
   被接着面を接合させるものであることを特徴とする磁気
   ヘッド。
2. 【請求項２】 前記接着面の周囲に前記接着樹脂の流
   動を防止する凸部が設けられ、前記凸部の上面に前記ス
   ライダの被接着面が当接することにより生じる前記接着
   面と前記被接着面の間の隙間に、前記接着樹脂が硬化状
   態またはゲル状態で充填されていることを特徴とする請
   求項１に記載の磁気ヘッド。
3. 【請求項３】 前記付勢電極は、外部配線の先端を折
   り曲げて形成され、この折曲部の付勢力により前記パッ
   ド部に圧着されるものであることを特徴とする請求項１
   または請求項２に記載の磁気ヘッド。
4. 【請求項４】 前記パッド部に前記付勢電極側に突出
   する接続電極が取り付けられ、前記付勢電極は、フレキ
   シャの一部を浮上式磁気ヘッドより離れた側に折り曲げ
   るように打ち抜いて形成され、この折曲部の付勢力によ
   り前記接続電極に圧着されるものであることを特徴とす
   る請求項１または請求項２に記載の磁気ヘッド。
5. 【請求項５】 浮上式磁気ヘッドが取り付けられるフ
   レキシャ舌部と、該フレキシャ舌部を弾性支持するフレ
   キシャ本体と、外部配線と、端子電極とを具備してな
   り、 前記端子電極が、前記フレキシャ本体または前記フレキ
   シャ舌部のいずれか一方により弾性支持された状態で前
   記フレキシャ本体と前記フレキシャ舌部との接続部近傍
   に設けられ、前記外部配線の先端がこの端子電極まで延
   在していることを特徴とする磁気ヘッド用のフレキシ
   ャ。
6. 【請求項６】 前記端子電極の周囲にスリットを設け
   ることにより、該端子電極が前記フレキシャ本体によっ
   て弾性支持されたことを特徴とする請求項５に記載の磁
   気ヘッド用のフレキシャ。
7. 【請求項７】 磁気ヘッド素子及び該磁気ヘッド素子
   に電気的に接続されるパッド部がスライダに備えられて
   なる浮上式磁気ヘッドを、付勢電極を備えたフレキシャ
   に接着樹脂によって接合することにより磁気ヘッドを製
   造する方法であり、 前記接着樹脂は、溶媒に分散されたゾル状態から温度Ｔ
   ｇでゲル状態に変化し、温度Ｔｍでゲル状態から溶融状
   態に変化し、温度Ｔｃで溶融状態から硬化状態に変化す
   るものであってＴｇ＜Ｔｍ＜Ｔｃの関係を有するもので
   あり、 該接着樹脂を前記フレキシャの接着面に塗布するととも
   にＴｇ以上Ｔｍ以下に加熱して前記接着樹脂をゲル化し
   て前記スライダの被接着面を前記接着面に圧着すること
   により、前記パッド部に前記付勢電極を圧着させた状態
   で前記浮上式磁気ヘッドを前記フレキシャに仮固定して
   仮止め品とする仮固定工程と、 前記付勢電極を介して前記浮上式磁気ヘッドの電気特性
   を基準値と比較し、前記仮止め品を基準内のものと基準
   外のものに選別する検査工程と、 前記基準内の仮止め品を、温度Ｔｃ以上に加熱すること
   により前記接着樹脂を硬化状態にして、前記浮上式磁気
   ヘッドを前記フレキシャに固定して磁気ヘッドとする完
   成化工程と、 前記基準外の仮止め品を、温度Ｔｍ以上Ｔｃ以下に加熱
   することにより前記接着樹脂を溶融状態にして、前記浮
   上式磁気ヘッドと前記フレキシャとを分離する分解工程
   と、 前記分解工程により得られた前記フレキシャを、前記仮
   固定工程に返送する返送工程とを具備してなることを特
   徴とする磁気ヘッドの製造方法。
8. 【請求項８】 磁気ヘッド素子及び該磁気ヘッド素子
   に電気的に接続されるパッド部がスライダに備えられて
   なる浮上式磁気ヘッドを、端子電極を備えたフレキシャ
   に接着樹脂によって接合することにより磁気ヘッドを製
   造する方法であり、 前記接着樹脂は、溶媒に分散されたゾル状態から温度Ｔ
   ｇでゲル状態に変化し、温度Ｔｍでゲル状態から溶融状
   態に変化し、温度Ｔｃで溶融状態から硬化状態に変化す
   るものであってＴｇ＜Ｔｍ＜Ｔｃの関係を有するもので
   あり、 前記浮上式磁気ヘッドのパッド部に、接触突起を有する
   接続電極を接合する電極形成工程と、 前記接着樹脂を前記フレキシャの前記接着面に塗布する
   とともにＴｇ以上Ｔｍ以下に加熱して前記接着樹脂をゲ
   ル化して前記スライダの被接着面を前記接着面に圧着す
   ると同時に、前記接触突起を前記端子電極に接触させた
   状態で、前記浮上式磁気ヘッドを前記フレキシャに仮固
   定して仮止め品とする仮固定工程と、 前記端子電極を介して前記浮上式磁気ヘッドの電気特性
   を基準値と比較し、前記仮止め品を基準内のものと基準
   外のものに選別する検査工程と、 前記基準内の仮止め品を、温度Ｔｃ以上に加熱すること
   により前記接着樹脂を硬化状態にして前記浮上式磁気ヘ
   ッドを前記フレキシャに固定するとともに、前記接触突
   起を潰しつつ前記接続電極を前記端子電極に圧着して磁
   気ヘッドとする完成化工程と、 前記基準外の仮止め品を、温度Ｔｍ以上Ｔｃ以下に加熱
   することにより前記接着樹脂を溶融状態にして、前記浮
   上式磁気ヘッドと前記フレキシャとを分離する分解工程
   と、 前記分解工程により得られた前記フレキシャを、前記仮
   固定工程に返送する返送工程とを具備してなることを特
   徴とする磁気ヘッドの製造方法。
9. 【請求項９】 前記電極形成工程は、前記浮上式磁気
   ヘッドを接続電極形成用の型面に対して前記パッド部の
   表面が起立した状態で配置し、 接続電極用材料を前記パッド部に接合すると同時に前記
   型面に圧着して、前記型面に対応した接触突起を有する
   接続電極を形成し、 前記接続電極を前記型面から剥離する工程からなること
   を特徴とする請求項８に記載の磁気ヘッドの製造方法。