JP2002142437A - リニアモータ - Google Patents

リニアモータ

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JP2002142437A
JP2002142437A JP2000342376A JP2000342376A JP2002142437A JP 2002142437 A JP2002142437 A JP 2002142437A JP 2000342376 A JP2000342376 A JP 2000342376A JP 2000342376 A JP2000342376 A JP 2000342376A JP 2002142437 A JP2002142437 A JP 2002142437A
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magnetic
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牧  晃司
Kouchiyuu Kin
金  弘中
Hiroshi Katayama
博 片山
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健治 宮田
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    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02Linear motors; Sectional motors
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Abstract

(57)【要約】 【課題】巻線数が少なくコンパクトな構造でありながら
複数の磁極歯を備え、かつ可動子と固定子との間に働く
磁気吸引力が相殺されるようなリニアモータを提供す
る。 【解決手段】磁性体で形成されたコアと該コアに巻回し
た巻線とを有する固定子と、該固定子と空隙を介して相
対移動可能に支持された可動子とを備えたリニアモー
タ。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はリニアモータに関
し、特に、固定子の対向する磁極歯間に可動子が空隙を
介して挟持されているリニアモータに関する。
【0002】
【従来の技術】一般にリニアモータは、複数の磁極歯を
有する固定子と、該固定子と空隙を介して相対移動可能
に支持された可動子とを備える。そのうち、可動子と固
定子との間に働く磁気吸引力を相殺して可動子支持機構
への負担を軽くするために、固定子の対向する磁極歯間
に可動子が空隙を介して挟持される構造にしたものが、
特開平10−174418号公報に開示されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが前記の従来技
術によると、次のような課題があった。すなわち、図2
0及び図21に示すように、1つの固定子ユニットに複
数の巻線が巻回されており複雑である。さらに、隣接す
る固定子磁極(図中ではC形鉄心と記載)には相異なる
巻線が巻回される構造になっており、固定子の占有スペ
ースに無駄が多い。
【0004】本発明の一つの目的は、巻線数が少なくコ
ンパクトな構造でありながら複数の磁極歯を備え、かつ
可動子と固定子との間に働く磁気吸引力が相殺されるよ
うなリニアモータを提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の一つの見方によ
れば、リニアモータは、磁性体で形成されたコアと該コ
アに巻回した巻線とを有する固定子と、該固定子と空隙
を介して相対移動可能に支持された可動子とを備え、前
記固定子は前記可動子の移動方向に対して略垂直方向に
第1段と第2段とに分けて配列した一方の磁極歯列と、
同じく前記可動子の移動方向に対して略垂直方向に第1
段と第2段とに分けて配列した他方の磁極歯列とを有
し、該一方の磁極歯列の第1段の磁極歯と該他方の磁極
歯列の第1段の磁極歯とが前記可動子の移動方向に沿っ
て交互に配列され、同様に該一方の磁極歯列の第2段の
磁極歯と該他方の磁極歯列の第2段の磁極歯とが前記可
動子の移動方向に沿って交互に配列され、前記第1段に
属する磁極歯と前記第2段に属する磁極歯との間に前記
可動子が挟持されている。
【0006】また本発明の他の見方によれば、リニアモ
ータは、磁性体で形成されたコアと該コアに巻回した巻
線とを有する固定子と、該電機子と空隙を介して相対移
動可能に支持された可動子とを備え、前記固定子は前記
可動子の移動方向に対して略垂直方向に第1段と第2段
とに分けて配列した一方の磁極歯列と、同じく前記可動
子の移動方向に対して略垂直方向に第1段と第2段とに
分けて配列した他方の磁極歯列とを有し、該一方の磁極
歯列の第1段の磁極歯と該他方の磁極歯列の第1段の磁
極歯とが前記可動子の移動方向に沿って交互に配列さ
れ、同様に該一方の磁極歯列の第2段の磁極歯と該他方
の磁極歯列の第2段の磁極歯とが前記可動子の移動方向
に沿って交互に配列され、前記一方の磁極歯列と前記他
方の磁極歯列との間に前記可動子が挟持されている。
【0007】さらに本発明のさらに他の見方によれば、
リニアモータは、前記可動子は巻線又は永久磁石又はそ
の両方を有し、該可動子の移動方向に沿って一方の磁極
と他方の磁極とが交互に現れる。また前記可動子は磁性
体で形成されたコアを有し、該可動子の移動方向に沿っ
て磁気的凸部と磁気的凹部とが交互に現れる。
【0008】さらに本発明の他の見方によれば、リニア
モータは、前記固定子が固定的に支持され、前記可動子
が移動する。あるいは前記可動子が固定的に支持され、
前記固定子が移動する。
【0009】さらに本発明の他の見方によれば、リニア
モータは、前記固定子のコアに巻回した巻線に替えて、
前記固定子のコアに固着された永久磁石を有する。
【0010】さらに本発明の他の見方によれば、リニア
モータは、相数をm(m=2,3,4,…)、磁極ピッ
チをPとしたとき、前記固定子を1ユニットとして複数
ユニットを備え、相異なる固定子ユニットの磁極同士の
可動子移動方向の間隔がkP+nP/m (ただしk=
0,1,2,3,…、n=1,2,…,m)である。あ
るいは前記可動子は複数ユニットから構成され、相異な
る可動子ユニットの磁極同士の可動子移動方向の間隔が
kP+nP/m (ただしk=0,1,2,3,…、
n=1,2,…,m)である。
【0011】さらに本発明の他の見方によれば、リニア
モータは、前記固定子のコアが、前記可動子の移動方向
に対して略垂直方向に該可動子を挿入するのに十分な幅
の開口部を有する。
【0012】さらに本発明の他の見方によれば、リニア
モータは、前記可動子を前記開口部方向に変位させた状
態で支持し、前記可動子に加わる荷重を相殺するような
磁気吸引力を可動子と固定子との間に発生させること
で、可動子支持機構に加わる負荷を軽減する。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を用いて説明する。図1は、本発明の一実施形態
(実施例1と称する)によるリニアモータの基本構成図
である。本実施例のリニアモータは、磁性体で形成され
たコア11と該コアの一箇所に環状に巻回した巻線12
とを有する固定子10と、該固定子と空隙を介して相対
移動可能に支持された可動子20とを備える。コア11
を形成する磁性体としては、一般的には鉄が使用される
が、他の材料でもよい。可動子20には永久磁石21が
固着されており、該可動子の移動方向に沿って一方の磁
極21aと他方の磁極21bとが交互に現れている。
【0014】図2は、本実施例のリニアモータの固定子
のコア11の一方の磁極歯列13のみを表示した部分斜
視図である。このように磁極歯は第1段13aと第2段
13bとに分けて配列されている。また図3は、本実施例
のリニアモータの固定子のコア11の他方の磁極歯列1
4のみを表示した部分斜視図である。図2と同様に、磁
極歯は第1段14aと第2段14bとに分けて配列され
ている。なお図2及び図3中の矢印は、巻線12に電流
を図1中の矢印の向きに流したときに発生する磁場のお
およその向きを示す。図2及び図3に示された一方の磁
極歯列13及び他方の磁極歯列14を共に表示してコア
11の全体図としたものが図4である。第1段及び第2
段のそれぞれにおいて、一方の磁極歯列に属する磁極歯
と他方の磁極歯列に属する磁極歯とが交互に配列されて
いる。それにより、第1段の磁極歯13a及び14aと
第2段の磁極歯13b及び14bとに挟まれた空間に
は、巻線12に電流を流すことで、第1段の磁極歯から
第2段の磁極歯へ向かう向きに磁場が発生する領域と、
第2段の磁極歯から第1段の磁極歯へ向かう向きに磁場
が発生する領域とが交互に並ぶ。可動子20はその空間
に空隙を介して挟持され、前記固定子の発生する磁場と
作用して移動する。なお巻線12はコア11に囲まれて
いるため、外部からの衝撃に強いという利点もある。
【0015】ここで前記可動子に固着された永久磁石2
1の代わりに、図5に示すように、巻線22を設置し該
巻線に電流を流すことで磁極を生じさせてもよい。その
場合、巻線22の芯として磁性体を設置してもよい。あ
るいは永久磁石と巻線を併用してもよい。また巻線22
は、互いに一部重なり合うように設置されていてもよ
い。また巻線22は、基板上にプリントされた配線であ
ってもよい。
【0016】あるいは図6に示すように、可動子20に
磁性体で形成されたコア23を備えさせ、該可動子の移
動方向に沿って磁気的凸部24と磁気的凹部25とが交
互に現れるようにすることで、磁気抵抗の差により生じ
るリラクタンス力を推力として利用することもできる。
その場合、永久磁石を可動子20に固着して併用しても
よい。なお磁気的凹部は非磁性体で形成してもよい。
【0017】また可動子20が巻線22を有する場合、
固定子のコア11に巻回した巻線12に替えて、図7に
示すように、一方向に着磁された永久磁石15をコア1
1に固着させてもよい。
【0018】さらに可動子20の断面形状は、矩形以外
の形状、例えば円形や楕円形であってもよい。
【0019】最後に、本実施例のリニアモータでは、固
定子10が固定的に支持されて可動子20が移動しても
よいし、可動子20が固定的に支持されて固定子10が
移動してもよい。
【0020】図8は、本発明の他の実施形態(実施例2
と称する)によるリニアモータの基本構成図である。本
実施例のリニアモータは、磁性体で形成されたコア11
と該コアの一箇所に環状に巻回した巻線12とを有する
固定子10と、該固定子と空隙を介して相対移動可能に
支持された可動子20とを備える。コア11を形成する
磁性体としては、一般的には鉄が使用されるが、他の材
料でもよい。可動子20には永久磁石21が磁性体26
に挟まれて固着されており、該可動子の移動方向に沿っ
て一方の磁極21aと他方の磁極21bとが交互に現れ
ている。隣接する磁極が磁性体26を経由して短絡しな
いように、各磁極は非磁性体27で分離されている。な
お非磁性体27は空気であってもよい。
【0021】図9は、本実施例のリニアモータの固定子
のコア11の一方の磁極歯列13のみを表示した部分斜
視図である。このように磁極歯は第1段13aと第2段
13bとに分けて配列されている。また図10は、本実
施例のリニアモータの固定子のコア11の他方の磁極歯
列14のみを表示した部分斜視図である。図9と同様
に、磁極歯は第1段14aと第2段14bとに分けて配
列されている。なお図9及び図10中の矢印は、巻線1
2に電流を図8中の矢印の向きに流したときに発生する
磁場のおおよその向きを示す。図9及び図10に示され
た一方の磁極歯列13及び他方の磁極歯列14を共に表
示してコア11の全体図としたものが図11である。第
1段及び第2段のそれぞれにおいて、一方の磁極歯列に
属する磁極歯と他方の磁極歯列に属する磁極歯とが交互
に配列されている。それにより、一方の磁極歯列13a
及び13bと他方の磁極歯列14a及び14bとに挟ま
れた空間には、巻線12に電流を流すことで、第1段の
磁極歯から第2段の磁極歯へ向かう向きに磁場が発生す
る領域と、第2段の磁極歯から第1段の磁極歯へ向かう
向きに磁場が発生する領域とが交互に並ぶ。可動子20
はその空間に空隙を介して挟持され、前記固定子の発生
する磁場と作用して移動する。なお巻線12は図8では
コア11の一箇所に巻回しているが、幾何学的構造が変
わらない範囲で複数箇所に分割して巻回してもよい。
【0022】ここで前記可動子に固着された永久磁石2
1の代わりに、図12に示すように、巻線22を設置し
該巻線に電流を流すことで磁極を生じさせてもよい。そ
の場合、永久磁石21を挟んでいた磁性体26を一体化
して、巻線22の芯としてもよい。あるいは永久磁石と
巻線を併用してもよい。また巻線22は、互いに一部重
なり合うように設置されていてもよい。また巻線22
は、基板上にプリントされた配線であってもよい。
【0023】あるいは図13に示すように、巻線22を
設置せず、磁性体26と非磁性体27との磁気抵抗の差
により生じるリラクタンス力を推力として利用すること
もできる。
【0024】また可動子20が巻線22を有する場合、
固定子のコア11に巻回した巻線12に替えて、図14
に示すように、一方向に着磁された永久磁石15をコア
11に固着させてもよい。
【0025】さらに可動子20の断面形状は、矩形以外
の形状、例えば円形や楕円形であってもよい。
【0026】最後に、本実施例のリニアモータでは、固
定子10が固定的に支持されて可動子20が移動しても
よいし、可動子20が固定的に支持されて固定子10が
移動してもよい。
【0027】リニアモータの最終形態としては、例えば
図1に示した固定子10を1つの固定子ユニットとし、
これを複数個並べて、各固定子ユニットにそれぞれある
相を担わせる。そして相数をm(m=2,3,4,…)、
磁極ピッチをPとしたとき、相異なる固定子ユニットの
磁極同士の可動子移動方向の間隔が kP+nP/m
(ただしk=0,1,2,3,…、n=1,2,…,
m)となるようにする。各固定子ユニット10a,10
b,10cの位置関係は、図15のように直列に並べて
もよいし、図16のように並列に並べてもよい。
【0028】あるいは可動子20を複数ユニットから構
成し、各可動子ユニットにそれぞれある相を担わせる。
そして相異なる可動子ユニットの磁極同士の可動子移動
方向の間隔が kP+nP/m (ただしk=0,1,
2,3,…、n=1,2,…,m)となるようにする。
各可動子ユニット20a,20b,20cの位置関係
は、図17のように直列に並べてもよいし、図18のよ
うに並列に並べてもよい。
【0029】前記実施例1及び実施例2では、固定子の
コア11は、可動子20の移動方向に対して略垂直方向
に、該可動子を挿入するのに十分な幅の開口部を有す
る。また可動子20が前記開口部方向に変位すると、元
の位置へ引き戻す向きの磁気吸引力が可動子20と固定
子10との間に働く。そのため可動子20の支持機構
は、前記開口部方向に関しては比較的緩やかでよい。
【0030】さらには可動子20を前記開口部方向に変
位させた状態で支持し、可動子20に加わる荷重を相殺
するような磁気吸引力を発生させることで、支持機構に
加わる負荷を軽減することも出来る。
【0031】用途によっては、図19に示すように、固
定子のコア11が可動子20を取り囲む構造にしてもよ
い。これは本発明者を含む3名によって特願平11−12
7081号として出願済の構造と同等である。
【0032】以上説明したように、本発明の実施形態に
よれば、基本的には固定子コアの一箇所に環状に巻回し
た巻線に電流を流すだけで、磁極歯間に交互に反転する
多極磁場を発生させることが出来る。その磁極歯間に可
動子を挟持することで、巻線数が少なくコンパクトな構
造でありながら複数の磁極歯を備え、かつ可動子と固定
子との間に働く磁気吸引力が相殺されるようなリニアモ
ータが得られる。
【0033】
【発明の効果】本発明によれば、コンパクトな構造で、
可動子と固定子との間に働く可動子支持機構に負担を与
える磁気吸引力を小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1によるリニアモータの基本構
成図。
【図2】本発明の実施例1によるリニアモータの固定子
コアの一方の磁極歯列のみを表示した部分斜視図。
【図3】本発明の実施例1によるリニアモータの固定子
コアの他方の磁極歯列のみを表示した部分斜視図。
【図4】本発明の実施例1によるリニアモータの固定子
コアの斜視図。
【図5】本発明の実施例1の第1変形案によるリニアモ
ータの基本構成図。
【図6】本発明の実施例1の第2変形案によるリニアモ
ータの基本構成図。
【図7】本発明の実施例1の第3変形案によるリニアモ
ータの基本構成図。
【図8】本発明の実施例2によるリニアモータの基本構
成図。
【図9】本発明の実施例2によるリニアモータの固定子
コアの一方の磁極歯列のみを表示した部分斜視図。
【図10】本発明の実施例2によるリニアモータの固定
子コアの他方の磁極歯列のみを表示した部分斜視図。
【図11】本発明の実施例2によるリニアモータの固定
子コアの斜視図。
【図12】本発明の実施例2の第1変形案によるリニア
モータの基本構成図。
【図13】本発明の実施例2の第2変形案によるリニア
モータの基本構成図。
【図14】本発明の実施例2の第3変形案によるリニア
モータの基本構成図。
【図15】固定子ユニットを直列に配置した本発明のリ
ニアモータの概念図。
【図16】固定子ユニットを並列に配置した本発明のリ
ニアモータの概念図。
【図17】可動子ユニットを直列に配置した本発明のリ
ニアモータの概念図。
【図18】可動子ユニットを並列に配置した本発明のリ
ニアモータの概念図。
【図19】本発明のその他の実施例によるリニアモータ
の基本構成図。
【図20】従来技術によるリニアモータの斜視図。
【図21】従来技術によるリニアモータの平面図。
【符号の説明】
10…固定子、11…コア(固定子)、12…巻線(固
定子)、13,14…磁極歯列、15…永久磁石(固定
子)、20…可動子、21…永久磁石(可動子)、22…
巻線(可動子)、23…コア(可動子)、24…磁気的
凸部、25…磁気的凹部、26…磁性体、27…非磁性
体。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 片山 博 茨城県ひたちなか市大字高場2520番地 株 式会社日立製作所自動車機器グループ内 (72)発明者 宮田 健治 茨城県日立市大みか町七丁目1番1号 株 式会社日立製作所日立研究所内 Fターム(参考) 5H641 BB06 BB18 BB19 GG02 GG03 GG04 GG06 HH02 HH03 HH04 HH05 HH07 HH10 HH14

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】磁性体で形成されたコアと該コアに巻回し
    た巻線とを有する固定子と、該固定子と空隙を介して相
    対移動可能に支持された可動子とを備えたリニアモータ
    で、前記固定子は前記可動子の移動方向に対して略垂直
    方向に第1段と第2段とに分けて配列した一方の磁極歯
    列と、同じく前記可動子の移動方向に対して略垂直方向
    に第1段と第2段とに分けて配列した他方の磁極歯列と
    を有し、該一方の磁極歯列の第1段の磁極歯と該他方の
    磁極歯列の第1段の磁極歯とが前記可動子の移動方向に
    沿って交互に配列され、同様に該一方の磁極歯列の第2
    段の磁極歯と該他方の磁極歯列の第2段の磁極歯とが前
    記可動子の移動方向に沿って交互に配列され、前記第1
    段に属する磁極歯と前記第2段に属する磁極歯との間に
    前記可動子が挟持されることを特徴とするリニアモー
    タ。
  2. 【請求項2】磁性体で形成されたコアと該コアに巻回し
    た巻線とを有する固定子と、該固定子と空隙を介して相
    対移動可能に支持された可動子とを備えたリニアモータ
    で、前記固定子は前記可動子の移動方向に対して略垂直
    方向に第1段と第2段とに分けて配列した一方の磁極歯
    列と、同じく前記可動子の移動方向に対して略垂直方向
    に第1段と第2段とに分けて配列した他方の磁極歯列と
    を有し、該一方の磁極歯列の第1段の磁極歯と該他方の
    磁極歯列の第1段の磁極歯とが前記可動子の移動方向に
    沿って交互に配列され、同様に該一方の磁極歯列の第2
    段の磁極歯と該他方の磁極歯列の第2段の磁極歯とが前
    記可動子の移動方向に沿って交互に配列され、前記一方
    の磁極歯列と前記他方の磁極歯列との間に前記可動子が
    挟持されることを特徴とするリニアモータ。
  3. 【請求項3】前記可動子は巻線又は永久磁石又はその両
    方を有し、該可動子の移動方向に沿って一方の磁極と他
    方の磁極とが交互に現れることを特徴とする請求項1又
    は2記載のリニアモータ。
  4. 【請求項4】前記可動子は磁性体で形成されたコアを有
    し、該可動子の移動方向に沿って磁気的凸部と磁気的凹
    部とが交互に現れることを特徴とする請求項1又は2記
    載のリニアモータ。
  5. 【請求項5】前記固定子が固定的に支持され、前記可動
    子が移動することを特徴とする請求項1又は2記載のリ
    ニアモータ。
  6. 【請求項6】前記可動子が固定的に支持され、前記固定
    子が移動することを特徴とする請求項1又は2記載のリ
    ニアモータ。
  7. 【請求項7】前記固定子のコアに巻回した巻線に替え
    て、前記固定子のコアに固着された永久磁石を有するこ
    とを特徴とする請求項1又は2記載のリニアモータ。
  8. 【請求項8】相数をm(m=2,3,4,…)、磁極ピ
    ッチをPとしたとき、前記固定子を1ユニットとして複
    数ユニットを備え、相異なる固定子ユニットの磁極同士
    の可動子移動方向の間隔が kP+nP/m (ただし
    k=0,1,2,3,…、n=1,2,…,m)である
    ことを特徴とする請求項1又は2記載のリニアモータ。
  9. 【請求項9】相数をm(m=2,3,4,…)、磁極ピ
    ッチをPとしたとき、前記可動子は複数ユニットから構
    成され、相異なる可動子ユニットの磁極同士の可動子移
    動方向の間隔が kP+nP/m (ただしk=0,
    1,2,3,…、n=1,2,…,m)であることを特
    徴とする請求項1又は2記載のリニアモータ。
  10. 【請求項10】前記固定子のコアが、前記可動子の移動
    方向に対して略垂直方向に、該可動子を挿入するのに十
    分な幅の開口部を有することを特徴とする請求項1又は
    2記載のリニアモータ。
  11. 【請求項11】前記可動子を前記開口部方向に変位させ
    た状態で支持し、前記可動子に加わる荷重を相殺するよ
    うな磁気吸引力を可動子と固定子との間に発生させるこ
    とで、可動子支持機構に加わる負荷を軽減することを特
    徴とする請求項1又は2記載のリニアモータ。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6876108B2 (en) 2003-02-04 2005-04-05 Hitachi, Ltd. Linear motor, its controlling method, and XY table
WO2011154996A1 (ja) * 2010-06-09 2011-12-15 株式会社 日立製作所 発電機およびそれを用いた発電装置
WO2011154995A1 (ja) * 2010-06-09 2011-12-15 株式会社 日立製作所 リニアモータおよびそれを用いた位置決め装置
DE112011100996T5 (de) 2010-03-23 2013-01-24 Hitachi Metals, Ltd. Linearmotor
JP2017509302A (ja) * 2014-03-05 2017-03-30 ウウエル エネルジー 永久磁石を有し磁束コレクタが取付けられた発電機

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3395155B2 (ja) * 1999-05-07 2003-04-07 株式会社日立製作所 リニアモータ及びその製造方法
JP3894297B2 (ja) * 2001-02-28 2007-03-14 富士電機機器制御株式会社 リニアアクチュエータ
JP3744437B2 (ja) * 2002-02-20 2006-02-08 株式会社日立製作所 駆動装置
JP2004364392A (ja) * 2003-06-03 2004-12-24 Canon Inc リニアモータ、及びこれを備えるステージ装置、露光装置並びにデバイス製造方法
JP4089597B2 (ja) * 2003-11-18 2008-05-28 株式会社日立製作所 リニアモータ及びxyステージ
JP4708093B2 (ja) * 2005-06-01 2011-06-22 山洋電気株式会社 リニアモータ
DE102006012736A1 (de) * 2006-03-17 2007-09-20 Siemens Ag Elektrische Maschine
US8884473B2 (en) * 2008-11-18 2014-11-11 Hitachi Metals, Ltd. Mover, armature, and linear motor
WO2010067837A1 (ja) * 2008-12-10 2010-06-17 株式会社日立製作所 推力発生機構、駆動装置,xyステージ及びxyzステージ

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4254350A (en) * 1979-07-12 1981-03-03 Miroshnichenko Vitaly T Asynchronous line-fed motor
US4945268A (en) * 1987-12-26 1990-07-31 Hitachi, Ltd. Permanent magnet type linear pulse motor
JP3791082B2 (ja) 1996-12-04 2006-06-28 株式会社安川電機 リニアモータ
US6078114A (en) * 1998-04-08 2000-06-20 Universal Instruments Corporation Method and apparatus for vibration reduction/control in a variable reluctance linear motor
JP3395155B2 (ja) 1999-05-07 2003-04-07 株式会社日立製作所 リニアモータ及びその製造方法

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6876108B2 (en) 2003-02-04 2005-04-05 Hitachi, Ltd. Linear motor, its controlling method, and XY table
DE112011100996T5 (de) 2010-03-23 2013-01-24 Hitachi Metals, Ltd. Linearmotor
WO2011154996A1 (ja) * 2010-06-09 2011-12-15 株式会社 日立製作所 発電機およびそれを用いた発電装置
WO2011154995A1 (ja) * 2010-06-09 2011-12-15 株式会社 日立製作所 リニアモータおよびそれを用いた位置決め装置
JPWO2011154995A1 (ja) * 2010-06-09 2013-08-01 株式会社日立製作所 リニアモータおよびそれを用いた位置決め装置
JPWO2011154996A1 (ja) * 2010-06-09 2013-08-01 株式会社日立製作所 発電機およびそれを用いた発電装置
JP5796576B2 (ja) * 2010-06-09 2015-10-21 株式会社日立製作所 発電機およびそれを用いた発電装置
JP5796575B2 (ja) * 2010-06-09 2015-10-21 株式会社日立製作所 リニアモータおよびそれを用いた位置決め装置
US10218252B2 (en) 2010-06-09 2019-02-26 Hitachi, Ltd. Linear motor and positioning apparatus
JP2017509302A (ja) * 2014-03-05 2017-03-30 ウウエル エネルジー 永久磁石を有し磁束コレクタが取付けられた発電機

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