JP2002140830A

JP2002140830A - 光ピックアップ装置及び光ピックアップ装置の製造方法

Info

Publication number: JP2002140830A
Application number: JP2000336076A
Authority: JP
Inventors: Yoshiyuki Kiyozawa; 良行清澤
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 2000-11-02
Filing date: 2000-11-02
Publication date: 2002-05-17

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、薄型で安価な光ピックアップ装置及
び光ピックアップ装置の製造方法を提供する。【解決手段】光ピックアップ装置１は、光源としての半
導体レーザ２、基板３、立ち上げミラー４及び対物レン
ズ５等を備えているとともに、受光素子等を備えてお
り、対物レンズ５の上部に光ディスク６が配設される。
立ち上げミラー４は、基板３上にフォトレジストで傾斜
面形状を形成し、ドライエッチングで基板３にフォトレ
ジストの傾斜面形状を転写して、当該基板３に転写され
た傾斜面に反射膜を形成することで形成されている。し
たがって、立ち上げミラー４、ひいては光ピックアップ
装置１を小型・薄型で、信頼性が高く、かつ、安価なも
とすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光ピックアップ装
置及び光ピックアップ装置の製造方法に関し、詳細に
は、薄型で安価な光ピックアップ装置及び光ピックアッ
プ装置の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、光ピックアップ装置は、音楽の記
録・再生だけでなく、情報やデータの記録・再生を行う
装置として広く使われている。現在では、ほとんどのパ
ーソナルコンピュータ（ＰＣ）に内蔵されるようにな
り、ＰＣの小型化、軽量化に伴って、光ピックアップ装
置の小型化、薄型化が要求されている。特に、ノート型
ＰＣに内蔵される光ピックアップ装置は、非常に薄型の
ものが要求されている。また、ＰＣは、低価格化が進ん
でおり、それに伴って、光ピックアップ装置の製造コス
トの低減化も要求されている。さらに、性能、機能の面
においても、大容量化（高記録密度化）が要望され、再
生だけでなく、書き込み、書き換え可能なものが要望さ
れている。

【０００３】そして、従来の光ピックアップ装置は、薄
型化という点においては、立ち上げミラーを使用して、
光源からの光を偏向させることにより、薄型化を図って
いる。例えば、特開平６−２０３４０３、特開２０００
−１１４２２及び特開平１０−２１４４３３において
は、ミラーやプリズムを使って光源からの光を偏向させ
ることで薄型化を図った光ピックアップが提案されてい
る。

【０００４】すなわち、特開２０００−１１４２２号公
報には、光学ピックアップ装置としては、図１１に示す
ようなものが示されており、光ディスク１０１に対向し
て配置された対物レンズ１０２と、小型化、及びコスト
の低減化を図るためにハイブリット化されたいわゆるレ
ーザカプラ１０３とから構成されている。レーザカプラ
１０３は、たとえば、図１２に示す構造となっている。
図１２において、レーザカプラ１０３は、２つのフォト
ディテクタ１０４、１０５が形成された半導体集積回路
基板１０６上に、プリズム１０７及びフォトダイオード
１０８が搭載されている。フォトダイオード１０８上に
は、レーザ出力モニタ用フォトディテクタ１０９が形成
されているとともに、レーザダイオード１１０が搭載さ
れている。レーザダイオード１１０は、プリズム１０７
のビームスプリッタ面１０７ａに向けてレーザ光を出射
するとともに、後方にもレーザダイオード１１０の出力
を自動的にコントロールするためのＡＰＣ(Auto Power
Control)用のレーザ光を出射し、モニタ用フォトディテ
クタ１０９によって受光される。プリズム１０７のビー
ムスプリッタ面１０７ａに出射されたレーザ光は、ビー
ムスプリッタ面１０７ａにおいて反射して対物レンズ１
０２を通じて光ディスク１０１の信号面に集光する。こ
の光は、ピットにより変調を受け、反射して同一の光路
でビームスプリッタ面１０７ａに入射する。ビームスプ
リッタ面１０７ａに入射した反射光は、フォトディテク
タ１０４に集光し、さらに、フォトディテクタ１０４で
反射した光はプリズム１０７の上面である反射面１０７
ｂで反射してフォトディテクタ１０５に入射する。

【０００５】また、特開平１０−２１４４３３号公報に
は、図１３に示すような光ピックアップ装置が示されて
おり、図１３において、１２０は光源、１２１はビーム
スプリッタ、１２２は受光手段、１２３は立ち上げ手
段、１２４は集光レンズ、１２５は光ディスクである。
ビームスプリッタ１２１は光源１２０から出射された光
の一部を透過するとともに光ディスク１２５から反射さ
れて戻ってきた光の一部を受光手段１２２へ分離して導
く働きを有している。立ち上げ手段１２３は、入射して
きた光を光ディスク１２５に向けるとともに拡散光で入
射してきた光の拡散角を変換して、その拡散角を小さく
するか若しくは略平行光にする働きを有しており、反射
面１２３ａを形成する凹曲面は、光源１２０から出射さ
れ、発散しながら入射してくる光を反射するとともに略
平行光に変換する働きを有している。即ち立ち上げ手段
１２３の反射面１２３ａの形状は、光源１２０からの全
発散光束のうち少なくとも光ディスク１２５の再生及び
各種誤差信号の形成に供される光束が反射後に互いに略
平行となるように設計されている。

【０００６】さらに、特開平６−２０３４０３号公報に
は、図１４に示すような光ピックアップ装置の光源部が
示されており、この半導体レーザ装置の光源部は、保護
板１３０上にチップ搭載部１３１及びヒートシンク用シ
リコン基板１３２が搭載されて、当該シートシンク用シ
リコン基板１３２に半導体レーザチップ１３３が搭載さ
れている。保護板１３０上には、これらのチップ搭載部
１３１及びヒートシンク用シリコン基板１３２を取り囲
むように枠体１３４が設けられており、枠体１３４の上
部は、レーザ出射光１３５を透過するガラスや樹脂等か
らなる光学平板１３６で閉止されている。

【０００７】上述のように、従来の光ピックアップ装置
は、マイクロプリズムや立ち上げミラー、またはシリコ
ン基板に形成した反射面を使って光を偏向させており光
ピックアップ装置を薄型化している。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の技術にあっては、より一層の小型化、低コス
ト化を図る上で、また、より一層正確な信号検出を行う
上で、なお改良の必要があった。

【０００９】すなわち、特開２０００−１１４２２号公
報記載の光ピックアップ装置は、マイクロプリズムの反
射面が平面であると、ビーム整形やコリメート機構がな
いので、光学系を有限系で構成し、また、半導体レーザ
からのビームは楕円形であるので、ビームの一部分をカ
ットして使うようになる。一般的に、対物レンズの設計
は光学系が無限系の場合に比べて光学系が有限系の場合
のほうが難しく、また、高記録密度化のためにビームス
ポットを小さく絞るために対物レンズのＮＡ（Numerica
l Aperture：開口数）を大きくすると、有限系での対物
レンズの設計はさらに難しくなる。また、現在光ピック
アップ装置の光源として主流になっている半導体レーザ
のほとんどは非点収差があるため、これを補正せずにレ
ンズで集光すると、半導体レーザの接合面に対して垂直
方向と水平方向とで焦点位置にズレが生じるため、波長
程度までビームを絞ろうとすると、これが問題になり、
絞ることができなくなる。さらに、ビームの一部分をカ
ットして使うような半導体レーザからの光を低効率で使
用する方法は、パワーを必要としない再生のみの光ピッ
クアップ装置として使用することはできるが、記録・再
生を行う装置の光ピックアップ装置としてはパワーが不
十分であり、使用することができない。したがって、こ
れらの光ピックアップ装置にも使用できるようにする場
合には、新たにビーム整形やコリメート光学系を追加す
る必要があり、光ピックアップが大きくなるとともに、
コストが高くなるという問題がある。

【００１０】また、特開平６−２０３４０３号公報記載
の立ち上げミラーの製造方法のように、シリコン基板の
結晶異方性エッチングを利用して傾斜面を形成した場
合、平坦な傾斜面は容易に形成可能であるが、任意の曲
面を形成するのは非常に困難である。したがって、ビー
ム整形およびコリメートが必要な場合は別途光学部品が
必要となり、光ピックアップの小型化が難しく、コスト
も高くなるという問題がある。

【００１１】さらに、特開平１０−２１４４３３号公報
記載の立ち上げミラーは、平面および任意曲面を形成す
るのに、切削、研磨、型形成で行なっているが、切削、
研磨は一括して大量に作ることが困難であり、コストア
ップが高くなるという問題がある。また、型形成は大量
生産が可能でコストダウンを図ることはできるが、材料
が樹脂や低融点のガラスに限られ、使用環境の温度変化
などによる形状変動が起きてしまうという問題があっ
た。

【００１２】そこで、請求項１記載の発明は、光源から
出射された光を対物レンズ方向に偏向して光情報記録媒
体に照射させる立ち上げミラーを、基板上にフォトレジ
ストで傾斜面形状を形成し、ドライエッチングで基板に
フォトレジストの傾斜面形状を転写して、当該基板に転
写された傾斜面に反射膜を形成することで形成すること
により、小型・薄型で、信頼性が高く、かつ、安価な光
ピックアップ装置を提供することを目的とする。

【００１３】請求項２記載の発明は、基板上に塗布され
たフォトレジストの傾斜面形状を、基板上に露光量分布
を生じさせた露光を行うことで形成することにより、小
型・薄型で、信頼性が高く、かつ、より一層安価な光ピ
ックアップ装置を提供することを目的とする。

【００１４】請求項３記載の発明は、立ち上げミラーの
形成された基板に、当該立ち上げミラーで対物レンズ方
向に偏向された光の通過するレンズを形成することによ
り、小型・薄型で、より一層信頼性が高く、かつ、安価
な光ピックアップ装置を提供することを目的とする。

【００１５】請求項４記載の発明は、立ち上げミラー
に、光源からの光を対物レンズ方向と検出用受光素子方
向とに分離する分離機能を持たせることにより、より一
層小型・薄型で、信頼性が高く、かつ、安価な光ピック
アップ装置を提供することを目的とする。

【００１６】請求項５記載の発明は、立ち上げミラー
を、ハーフミラーとすることにより、より一層小型・薄
型で、信頼性が高く、かつ、より一層安価な光ピックア
ップ装置を提供することを目的とする。

【００１７】請求項６記載の発明は、基板の傾斜面を、
光源から出射される光の一部を対物レンズ方向に偏向す
る立ち上げミラーの形成された領域と、当該立ち上げミ
ラーの形成されていない領域と、を有し、当該立ち上げ
ミラーの形成されていない領域に照射された光源からの
光の一部が、基板を透過して検出用受光素子に照射され
るものとすることにより、より一層小型・薄型で、信頼
性が高く、かつ、より一層安価な光ピックアップ装置を
提供することを目的とする。

【００１８】請求項７記載の発明は、基板に、立ち上げ
ミラーを少なくとも２つ以上形成することにより、小型
・薄型で、信頼性が高く、かつ、安価なものとするとと
もに、異なる複数の規格の光情報記録媒体にも対応する
ことのできる光ピックアップ装置を提供することを目的
としている。

【００１９】請求項８記載の発明は、２つ以上形成され
た立ち上げミラーを、それぞれ異なる形状とすることに
より、小型・薄型で、信頼性が高く、かつ、安価なもの
とするとともに、異なる複数の規格の光情報記録媒体に
もより一層適切に対応することのできる光ピックアップ
装置を提供することを目的としている。

【００２０】請求項９記載の発明は、立ち上げミラー
を、検出用受光素子及び受光素子の上部に配設すること
により、より一層小型・薄型で、信頼性が高く、かつ、
安価な光ピックアップ装置を提供することを目的とす
る。

【００２１】請求項１０記載の発明は、少なくとも光
源、立ち上げミラー、検出用受光素子及び受光素子を１
つのパッケージ内に収納することにより、外気と遮断し
て、光源やミラー等への結露を防止するとともに、取り
扱いを容易なものとし、小型・薄型で、より一層信頼性
が高く、かつ、安価で生産性の良好な光ピックアップ装
置を提供することを目的とする。

【００２２】請求項１１記載の発明は、対物レンズを、
少なくとも２つ以上のレンズからなるレンズ群で形成す
ることにより、光情報記録媒体への光のスポットを非常
に小さくして、より一層高密度の記録再生を可能とし、
小型・薄型で、信頼性が高く、かつ、高密度記録再生が
可能な安価な光ピックアップ装置を提供することを目的
とする。

【００２３】請求項１２記載の発明は、光源から出射さ
れた光を対物レンズ方向に偏向して光情報記録媒体に照
射させる立ち上げミラーを、基板上にフォトレジストで
傾斜面形状を形成し、ドライエッチングで基板にフォト
レジストの傾斜面形状を転写して、当該基板に転写され
た傾斜面に反射膜を形成することで形成することによ
り、小型・薄型で、信頼性が高く、かつ、安価な光ピッ
クアップ装置の製造方法を提供することを目的とする。

【００２４】請求項１３記載の発明は、基板上に塗布さ
れたフォトレジストの傾斜面形状を、基板上に露光量分
布を生じさせた露光を行うことで形成することにより、
小型・薄型で、信頼性が高く、かつ、より一層安価な光
ピックアップ装置の製造方法を提供することを目的とす
る。

【００２５】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明の光
ピックアップ装置は、光源から出射された光を立ち上げ
ミラーで対物レンズ方向に偏向して、当該対物レンズを
通して光情報記録媒体に照射し、当該光情報記録媒体か
らの反射光を受光素子に集光照射するとともに、前記光
源からの光を検出用受光素子で検出して当該光源の光量
調整を行う光ピックアップ装置において、前記立ち上げ
ミラーは、基板上にフォトレジストで傾斜面形状が形成
され、ドライエッチングで前記基板に前記フォトレジス
トの傾斜面形状を転写して、当該基板に転写された傾斜
面に反射膜を形成することで形成されていることによ
り、上記目的を達成している。

【００２６】上記構成によれば、光源から出射された光
を対物レンズ方向に偏向して光情報記録媒体に照射させ
る立ち上げミラーを、基板上にフォトレジストで傾斜面
形状を形成し、ドライエッチングで基板にフォトレジス
トの傾斜面形状を転写して、当該基板に転写された傾斜
面に反射膜を形成することで形成しているので、小型・
薄型で、信頼性が高く、かつ、安価なもとすることがで
きる。

【００２７】この場合、例えば、請求項２に記載するよ
うに、前記基板上に塗布されたフォトレジストの傾斜面
形状は、前記基板上に露光量分布を生じさせた露光を行
うことで形成されていてもよい。

【００２８】上記構成によれば、基板上に塗布されたフ
ォトレジストの傾斜面形状を、基板上に露光量分布を生
じさせた露光を行うことで形成しているので、小型・薄
型で、信頼性が高く、かつ、より一層安価なものとする
ことができる。

【００２９】また、例えば、請求項３に記載するよう
に、前記光ピックアップ装置は、前記立ち上げミラーの
形成された前記基板に、当該立ち上げミラーで前記対物
レンズ方向に偏向された光の通過するレンズが形成され
ていてもよい。

【００３０】上記構成によれば、立ち上げミラーの形成
された基板に、当該立ち上げミラーで対物レンズ方向に
偏向された光の通過するレンズを形成しているので、小
型・薄型で、より一層信頼性が高く、かつ、安価なもの
とすることができる。

【００３１】さらに、例えば、請求項４に記載するよう
に、前記立ち上げミラーは、前記光源からの光を前記対
物レンズ方向と前記検出用受光素子方向とに分離する分
離機能を有していてもよい。

【００３２】上記構成によれば、立ち上げミラーに、光
源からの光を対物レンズ方向と検出用受光素子方向とに
分離する分離機能を持たせているので、より一層小型・
薄型で、信頼性が高く、かつ、安価なものとすることが
できる。

【００３３】また、例えば、請求項５に記載するよう
に、前記立ち上げミラーは、ハーフミラーであってもよ
い。

【００３４】上記構成によれば、立ち上げミラーを、ハ
ーフミラーとしているので、より一層小型・薄型で、信
頼性が高く、かつ、より一層安価なものとすることがで
きる。

【００３５】さらに、例えば、請求項６に記載するよう
に、前記基板の前記傾斜面は、前記光源から出射される
光の一部を前記対物レンズ方向に偏向する前記立ち上げ
ミラーの形成された領域と、当該立ち上げミラーの形成
されていない領域と、を有し、当該立ち上げミラーの形
成されていない領域に照射された前記光源からの光の一
部は、前記基板を透過して前記検出用受光素子に照射さ
れるものであってもよい。

【００３６】上記構成によれば、基板の傾斜面を、光源
から出射される光の一部を対物レンズ方向に偏向する立
ち上げミラーの形成された領域と、当該立ち上げミラー
の形成されていない領域と、を有し、当該立ち上げミラ
ーの形成されていない領域に照射された光源からの光の
一部が、基板を透過して検出用受光素子に照射されるも
のとしているので、より一層小型・薄型で、信頼性が高
く、かつ、より一層安価なものとすることができる。

【００３７】また、例えば、請求項７に記載するよう
に、前記基板は、前記立ち上げミラーが少なくとも２つ
以上形成されていてもよい。

【００３８】上記構成によれば、基板に、立ち上げミラ
ーを少なくとも２つ以上形成しているので、小型・薄型
で、信頼性が高く、かつ、安価なものとすることができ
るとともに、異なる複数の規格の光情報記録媒体にも対
応することができる。

【００３９】さらに、例えば、請求項８に記載するよう
に、前記２つ以上形成された前記立ち上げミラーは、そ
れぞれ異なる形状であってもよい。

【００４０】上記構成によれば、２つ以上形成された立
ち上げミラーを、それぞれ異なる形状としているので、
小型・薄型で、信頼性が高く、かつ、安価なものとする
ことができるとともに、異なる複数の規格の光情報記録
媒体にもより一層適切に対応することができる。

【００４１】また、例えば、請求項９に記載するよう
に、前記立ち上げミラーは、前記検出用受光素子及び前
記受光素子の上部に配設されていてもよい。

【００４２】上記構成によれば、立ち上げミラーを、検
出用受光素子及び受光素子の上部に配設しているので、
より一層小型・薄型で、信頼性が高く、かつ、安価なも
のとすることができる。

【００４３】さらに、例えば、請求項１０に記載するよ
うに、前記光ピックアップ装置は、少なくとも前記光
源、前記立ち上げミラー、前記検出用受光素子及び前記
受光素子が１つのパッケージ内に収納されていてもよ
い。

【００４４】上記構成によれば、少なくとも光源、立ち
上げミラー、検出用受光素子及び受光素子を１つのパッ
ケージ内に収納しているので、外気と遮断して、光源や
ミラー等への結露を防止することができるとともに、取
り扱いを容易なものとすることができ、小型・薄型で、
より一層信頼性が高く、かつ、安価で生産性の良好なも
のとすることができる。

【００４５】また、例えば、請求項１１に記載するよう
に、前記対物レンズは、少なくとも２つ以上のレンズか
らなるレンズ群で形成されていてもよい。

【００４６】上記構成によれば、対物レンズを、少なく
とも２つ以上のレンズからなるレンズ群で形成されてい
るので、光情報記録媒体への光のスポットを非常に小さ
くして、より一層高密度の記録再生を可能とすることが
でき、小型・薄型で、信頼性が高く、かつ、高密度記録
再生が可能で安価なものとすることができる。

【００４７】請求項１２記載の発明の光ピックアップ装
置の製造方法は、光源から出射された光を立ち上げミラ
ーで対物レンズ方向に偏向して、当該対物レンズを通し
て光情報記録媒体に照射し、当該光情報記録媒体からの
反射光を受光素子に集光照射するとともに、前記光源か
らの光を検出用受光素子で検出して当該光源の光量調整
を行う光ピックアップ装置の製造方法において、基板上
にフォトレジストで傾斜面形状を形成し、ドライエッチ
ングで前記基板に前記フォトレジストの傾斜面形状を転
写して、当該基板に転写された傾斜面に反射膜を形成す
ることで前記立ち上げミラーを形成することにより、上
記目的を達成している。

【００４８】上記構成によれば、光源から出射された光
を対物レンズ方向に偏向して光情報記録媒体に照射させ
る立ち上げミラーを、基板上にフォトレジストで傾斜面
形状を形成し、ドライエッチングで基板にフォトレジス
トの傾斜面形状を転写して、当該基板に転写された傾斜
面に反射膜を形成することで形成しているので、小型・
薄型で、信頼性が高い光ピックアップ装置を安価に製造
することができる。

【００４９】この場合、例えば、請求項１３に記載する
ように、前記基板上に塗布されたフォトレジストを、前
記基板上に露光量分布を生じさせた露光を行うことで前
記フォトレジストの傾斜面を形成してもよい。

【００５０】上記構成によれば、基板上に塗布されたフ
ォトレジストの傾斜面形状を、基板上に露光量分布を生
じさせた露光を行うことで形成しているので、小型・薄
型で、信頼性が高い光ピックアップ装置をより一層安価
に製造することができる。

【００５１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な実施の形態であるか
ら、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本
発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定す
る旨の記載がない限り、これらの態様に限られるもので
はない。

【００５２】図１〜図３は、本発明の光ピックアップ装
置及び光ピックアップ装置の製造方法の第１の実施の形
態を示す図である。

【００５３】図１は、本発明の光ピックアップ装置及び
光ピックアップ装置の製造方法の第１の実施の形態を適
用した光ピックアップ装置１の要部構成図である。光ピ
ックアップ装置１は、光源としての半導体レーザ２、基
板３、立ち上げミラー４及び対物レンズ５等を備えてい
るとともに、図示しないフォトダイオード等の受光素子
等を備えており、対物レンズ５の上部に光ディスク（光
情報記録媒体）６が配設される。

【００５４】立ち上げミラー４は、図２（ａ）〜図２
（ｅ）に示す手順で作成される。まず、図２（ａ）に示
すように、石英ガラスで形成された基板３にフォトレジ
ス７を塗布し、プリベークを行う。次に、露光量に分布
が生じるような露光方法を用いて、図２（ｂ）に示すよ
うに、露光を行い、フォトレジスト７を現像して傾斜面
形状を形成する。

【００５５】この場合の露光量とフォトレジスト（ポジ
レジスト）７との現像後の残膜量の関係は、図３のよう
に示され、図３から分かるように、露光量を制御するこ
とで、フォトレジスト７の残膜量を制御することができ
る。したがって、露光量に分布が生じるような露光を行
い、任意のレジスト形状を形成することができる。この
場合の露光量に分布が生じるような露光方法としては、
光学的濃淡の分布があるフォトマスクを用いて露光する
方法、微小ドットパターンの密度に分布のあるマスクを
使い露光時に故意にデフォーカスさせる方法等を用いる
ことができる。

【００５６】次に、フォトレジスト７でパターンの形成
された基板３を、図２（ｃ）に示すように、ＥＣＲ（電
子サイクロトロン共鳴）エッチング装置等のドライエッ
チングを行うエッチング装置を用いてドライエッチング
して、フォトレジスト７の傾斜面形状を基板３に転写す
る。このドライエッチングにおいては、エッチングガス
として、例えば、ＣＦ₄ を用い、これにＨ₂ あるいはＯ
₂ を添加してエッチングレートやエッチング選択比を調
整して、ドライエッチングを行う。

【００５７】上記フォトレジスト７で形成した形状をそ
のままの大きさで基板３に転写させる場合、エッチング
選択比（石英ガラスエッチングレート／レジストエッチ
ングレート）が、１．０となるようなエッチング条件を
選択する。

【００５８】基板３に曲面が凹面の傾斜面を形成する
と、次に、この傾斜面に反射膜としての立ち上げミラー
４を、例えば、Ａｌ蒸着膜で形成する。すなわち、立ち
上げミラー４は、Ａｌ蒸着膜で形成する場合、傾斜面を
形成した基板３に、図２（ｄ）に示すように、Ａｌ蒸着
膜８を一面に真空蒸着させた後、フォトリソグラフィ工
程で、当該傾斜面にフォトレジストパターンを残し、エ
ッチング液として、Ｈ₃ＰＯ₄＋ＨＮＯ₃＋ＣＨ₃ＣＯＯＨ
で、図２（ｅ）に示すように、ウェットエッチングし
て、傾斜面にのみＡｌ蒸着膜８を残して、当該Ａｌ蒸着
膜８を立ち上げミラー４とする。

【００５９】なお、上記立ち上げミラー４の作製方法
は、１個の立ち上げミラー４の製造工程について説明し
ているが、実際には、１枚の基板３上に１回の作製工程
で多数の立ち上げミラー４を作製することができ、最終
的に、ダイシング等で分割する。

【００６０】また、本実施の形態では、図２に示したよ
うに、反射面が凹面である立ち上げミラー４を作製して
いるが、レジストパターン形成時に任意の曲面を形成す
ることができるため、反射面が凸面となっている立ち上
げミラーや球面だけでなく、非球面形状の立ち上げミラ
ーを作製することができ、さらに、傾斜面が、曲面では
なく、平坦な面であっても作製することができる。

【００６１】このように、本実施の形態においては、製
造工程で立ち上げミラー４を作製しているので、大量生
産することができ、立ち上げミラー４の製造コストを下
げることができる。また、任意形状の反射面を形成して
当該反射面に立ち上げミラー４を形成しているので、立
ち上げミラー４にビーム整形機能やコリメートレンズと
しての機能も持たせることができ、光ピックアップ装置
１の部品点数を少なくして、光ピックアップ装置１を小
型薄型化および低価格化することができる。

【００６２】また、本実施の形態においては、立ち上げ
ミラー４を基板３に形成しているが、基板としては、石
英ガラス以外のガラスやガラス以外の材質であっても形
成することができる。この場合、ドライエッチングの条
件は、エッチングガスの種類も含めて、基板３の材質に
合わせて、変更する必要がある。しかしながら、特に石
英ガラスは熱膨張係数が非常に小さく、環境温度の変化
による変形が少ないことから、石英ガラスを用いた基板
３に立ち上げミラー４を形成することは、光ピックアッ
プ装置１の信頼性を向上させる上で、有効である。

【００６３】さらに、本実施の形態においては、フォト
レジスト７で形成した形状をそのままの大きさで基板３
に転写しているが、図４（ａ）〜（ｅ）に示すように、
フォトレジスト７で形成したパターンの高さ方向を拡大
して基板３に転写することもできる。

【００６４】すなわち、図４（ａ）に示すように、石英
ガラスで形成された基板３にフォトレジスト７を塗布
し、図４（ｂ）に示すように、フォトレジスト７を露光
して傾斜面を形成する。このフォトレジスト７に形成し
た傾斜面を、ドライエッチングにより、拡大して、図４
（ｃ）に示すように、傾斜面を基板３に形成する。この
場合、ドライエッチングでの選択比（石英ガラスエッチ
ングレート／レジストエッチングレート）を高くするこ
とで、フォトレジスト７の傾斜面を拡大した傾斜面を基
板３に形成することができ、エッチングガスとしては、
ＣＦ₄ にＨ₂ を大量に添加したり、あるいは、ＣＨＦ₃
やＣ₂ Ｆ₆ 、Ｃ₄ Ｆ₈ などを用いることで、容易に高選
択比を得ることができる。

【００６５】その後、図２の場合と同様に、図４（ｄ）
に示すように、傾斜面の形成された基板３の表面全体に
蒸着法で、Ａｌ蒸着膜８を形成し、フォトリソグラフィ
工程で、当該傾斜面にフォトレジストパターンを残し
て、エッチング液として、Ｈ₃ＰＯ₄＋ＨＮＯ₃＋ＣＨ₃Ｃ
ＯＯＨで、図４（ｅ）に示すように、ウェットエッチン
グして、傾斜面にのみＡｌ蒸着膜８を残して、当該Ａｌ
蒸着膜８を立ち上げミラー４とする。

【００６６】図４に示す方法は、比較的大きな立ち上げ
ミラー４を作製する場合などに有効である。また、図４
の場合とは逆に、エッチングの選択比を１よりも小さく
することで、フォトレジスト７で形成するパターンの高
さ方向を縮小して、基板３にフォトレジスト７に形成し
たパターンを転写することもできる。

【００６７】また、本実施の形態においては、ドライエ
ッチング装置として、ＥＣＲエッチング装置を使用して
いるが、ＩＣＰエッチング装置等の他の方式によるエッ
チング装置を用いることができ、この場合、エッチング
方式やエッチング装置が異なると、エッチングレートお
よび選択比が異なるので、エッチング条件を変更する必
要がある。

【００６８】さらに、本実施の形態においては、反射膜
としての立ち上げミラー４として、Ａｌ蒸着膜８を用い
ているが、立ち上げミラー４としては、使用する波長に
対して反射率の高い材質であれば他の材料、例えば、Ａ
ｕ等を用いることができる。また、反射膜としての立ち
上げミラー４のパターニングを、リフトオフ工法で行っ
ているが、他の工法であってもよい。

【００６９】図５は、本発明の光ピックアップ装置及び
光ピックアップ装置の製造方法の第２の実施の形態を示
す図である。

【００７０】なお、本実施の形態は、上記第１の実施の
形態の光ピックアップ装置と同様の光ピックアップ装置
に適用したものであり、本実施の形態の説明において
は、上記第１の実施の形態と同様の構成部分には、同一
の符号を付して、その詳細な説明を省略する。

【００７１】図５は、本発明の光ピックアップ装置及び
光ピックアップ装置の製造方法の第２の実施の形態を適
用した光ピックアップ装置１０の要部構成図である。光
ピックアップ装置１０は、上記第１の実施の形態と同様
の光源としての半導体レーザ２、基板３、立ち上げミラ
ー４、対物レンズ５及び図示しないフォトダイオード等
の受光素子等を備えているとともに、レンズ１１を備え
ており、対物レンズ５の上部に光ディスク６が配設され
る。

【００７２】基板３には、上記第１の実施の形態と同様
の作製方法で、立ち上げミラー４が形成されており、こ
の立ち上げミラー４の形成された基板３に、立ち上げミ
ラー４と同様のフォトリソ工程とドライエッチング工程
により、レンズ１１が形成されている。

【００７３】立ち上げミラー４の形成工程において、同
時に、アライメントマークを形成しておき、レンズ形成
工程において、このアライメントマークを用いて位置合
わせを行って、レンズ１１を形成する。

【００７４】本実施の形態においても、第１の実施の形
態で説明したように、反射面を任意の形状に形成するこ
とができるため、反射面とレンズ面の２つの面で、ビー
ム整形およびコリメートするように設計することで、ビ
ーム整形機能とコリメート機能の双方を有した立ち上げ
ミラー４を作製することができる。

【００７５】このように、本実施の形態の作製方法で、
ビーム整形機能およびコリメート機能を有した立ち上げ
ミラー４を作製することにより、大量生産することがで
き、製造コストを下げることができる。また、立ち上げ
ミラー４がビーム整形機能とコリメート機構の双方の機
能を有しているため、ビーム整形を行う光学部品やコリ
メートレンズを別途設ける必要がなく、光ピックアップ
装置１０の部品点数を削減して、光ピックアップ装置１
０を小型薄型化および低価格化することができる。

【００７６】また、本実施の形態では、立ち上げミラー
４を形成した後、レンズ１１を形成しているが、先にレ
ンズ１１を形成してもよく、また、反射膜としての立ち
上げミラー４の形成を最後に行ってもよい。

【００７７】図６は、本発明の本発明の光ピックアップ
装置及び光ピックアップ装置の製造方法の第３の実施の
形態を示す図である。

【００７８】なお、本実施の形態は、上記第１の実施の
形態の光ピックアップ装置と同様の光ピックアップ装置
に適用したものであり、本実施の形態の説明において
は、上記第１の実施の形態と同様の構成部分には、同一
の符号を付して、その詳細な説明を省略する。

【００７９】図６は、本発明の光ピックアップ装置及び
光ピックアップ装置の製造方法の第３の実施の形態を適
用した光ピックアップ装置２０の要部構成図であり、光
ピックアップ装置２０は、上記第１の実施の形態と同様
の光源としての半導体レーザ２、基板３及び対物レンズ
５等を備えているとともに、立ち上げミラー２１及び受
光素子等を備えており、対物レンズ５の上部に光ディス
ク６が配設される。

【００８０】立ち上げミラー２１は、誘電体膜で形成さ
れており、半導体レーザ２からの光の一部を透過し、一
部を対物レンズ５方向に反射するという光路分離機能を
有している。

【００８１】立ち上げミラー２１は、第１の実施の形態
の立ち上げミラー４と同様の作成方法で作成することが
でき、この場合、傾斜面の形成された基板３の表面に、
Ａｌ蒸着膜の代わりに、誘電体膜を形成することで、光
路分離機能を有した立ち上げミラー２１を形成する。

【００８２】立ち上げミラー２１の形成された基板３
は、受光素子２２に接着されており、受光素子２２とし
ては、例えば、フォトダイオードが用いられている。

【００８３】この光ピックアップ装置２０は、半導体レ
ーザ２から立ち上げミラー２１に向かって出射された光
が、立ち上げミラー２１でその一部が対物レンズ５方向
に反射されて、対物レンズ５で光ディスク６に集光さ
れ、光ディスク６への情報の記録や光ディスク６からの
情報の再生に利用される。また、立ち上げミラー２１
は、半導体レーザ２から入射された光の一部を透過さ
せ、、立ち上げミラー２１を透過した光は、石英ガラス
で形成されている基板３を通って受光素子（検出用受光
素子）２２に照射されて、受光素子２２の出力する信号
が半導体レーザ２の制御化回路へと帰還される。

【００８４】すなわち、光ピックアップ装置２０は、半
導体レーザ２から出射された光を立ち上げミラー２１で
分離して、一方を基板３を通過して受光素子２２で受光
して、半導体レーザ２の出力をモニタし、受光素子２２
の出力信号を半導体レーザ２の制御回路に帰還して、半
導体レーザ２のオートパワーコントロールを行う。

【００８５】したがって、半導体レーザ２の出力を安定
させて、安定した記録・再生を行うことができ、光ピッ
クアップ装置２０の信頼性を向上させることができる。

【００８６】また、本実施の形態の光ピックアップ装置
２０は、ハーフミラーである立ち上げミラー２１を形成
した基板３をフォトダイオード等の受光素子２２に直接
接着しているため、外部衝撃などによる相互の位置ズレ
を抑制することができ、信頼性を向上させることができ
る。

【００８７】また、本実施の形態の光ピックアップ装置
２０は、接着工程においては、石英ガラスの基板３に形
成したアライメントと受光素子２２に形成したアライメ
ントマークを用いて位置合わせを行っているため、高精
度にかつ容易に位置合わせを行うことができ、自動化も
容易に行うことができる。また、アライメントマーク
は、立ち上げミラー２１、受光素子２２それぞれの製造
工程の中で、特に工程を追加することなく、形成するこ
とができる。

【００８８】なお、本実施の形態においては、立ち上げ
ミラー２１を誘電体膜で形成してハーフミラーとしてい
るが、Ａｌ等の金属膜を若干光が透過する程度に薄く形
成してもよい。

【００８９】図７は、本発明の光ピックアップ装置及び
光ピックアップ装置の製造方法の第４の実施の形態を示
す図である。

【００９０】なお、本実施の形態は、上記第１の実施の
形態の光ピックアップ装置と同様の光ピックアップ装置
に適用したものであり、本実施の形態の説明において
は、上記第１の実施の形態と同様の構成部分には、同一
の符号を付して、その詳細な説明を省略する。

【００９１】図７は、本発明の光ピックアップ装置及び
光ピックアップ装置の製造方法の第４の実施の形態を適
用した光ピックアップ装置３０の要部構成図である。光
ピックアップ装置３０は、上記第１の実施の形態と同様
の光源としての半導体レーザ２、基板３、対物レンズ５
及び立ち上げミラー３１及び受光素子３２等を備えてお
り、対物レンズ５の上部に光ディスク６が配設される。

【００９２】基板３の傾斜面には、上記第１の実施の形
態と同様の作製方法で、立ち上げミラー３１が形成され
ているとともに、立ち上げミラー３１の形成されていな
い領域が形成されており、この立ち上げミラー３１は、
上記第１の実施の形態の場合と同様に、傾斜面を形成し
た基板３の表面にＡｌを蒸着した後、フォトリソ工程で
レジストパターンを形成する際に、傾斜面の一部の領域
のフォトレジストを、立ち上げミラー３１の形成しない
領域となる部分として、取り除き、その後、ウェットエ
ッチングを行うことで形成する。この立ち上げミラー３
１は、半導体レーザ２から照射される光を全て対物レン
ズ５方向に反射する。

【００９３】基板３には、フォトダイオード等の受光素
子３２が接着されており、受光素子３２には、基板３の
立ち上げミラー３１の形成されていない傾斜面部分に照
射された光が基板３を透過して照射される。受光素子３
２は、受光量に対応する検出信号を半導体レーザ２の制
御回路に出力する。

【００９４】本実施の形態の光ピックアップ装置３０
は、半導体レーザ２から出射されたの光の一部が、立ち
上げミラー３１で反射されて対物レンズ５を通して光デ
ィスク６に照射され、立ち上げミラー３１の形成されて
いない基板３の傾斜面に照射された光が、石英ガラスの
基板３１に入射して、フォトダイオード等の受光素子
（検出用受光素子）３２に照射される。

【００９５】したがって、光ピックアップ装置３０は、
基板３の傾斜面に立ち上げミラー３１の形成されていな
い領域を設けることで、半導体レーザ２から出射された
光を対物レンズ５方向に反射する光と基板３を透過して
受光素子３２に入射させる光とに分離し、基板３を透過
した光を受光素子３２で受光して半導体レーザ２の出力
をモニタして、その信号を半導体レーザ２の制御回路に
帰還してオートパワーコントロールを行うことができ
る。その結果、半導体レーザ２の出力を安定させて、安
定した記録・再生ができ、光ピックアップ装置３０の信
頼性を向上させることができる。

【００９６】また、本実施の形態の光ピックアップ装置
３０は、傾斜面に立ち上げミラー３１の形成していない
領域を有する石英ガラスの基板３をフォトダイオード等
の受光素子３２に直接接着しているため、外部衝撃など
による相互の位置ズレを抑制することができ、信頼性を
向上させることができる。

【００９７】さらに、接着工程においても、石英ガラス
の基板３に形成したアライメントマークと受光素子３２
に形成したアライメントマークを用いて位置合わせを行
うので、非常に精度良く、容易に行うことができ、自動
化も容易に行うことができる。アライメントマークは、
立ち上げミラー、フォトダイオードそれぞれの製造工程
の中で、特に工程を追加することなく、形成することが
できる。

【００９８】図８は、本発明の光ピックアップ装置及び
光ピックアップ装置の製造方法の第５の実施の形態を示
す図である。

【００９９】なお、本実施の形態は、上記第１の実施の
形態の光ピックアップ装置と同様の光ピックアップ装置
に適用したものであり、本実施の形態の説明において
は、上記第１の実施の形態と同様の構成部分には、同一
の符号を付して、その詳細な説明を省略するとともに、
図示しない部分についても、必要に応じて同一の符号を
用いて説明する。

【０１００】図８は、本発明の光ピックアップ装置及び
光ピックアップ装置の製造方法の第５の実施の形態を適
用した光ピックアップ装置４０の要部構成図であり、光
ピックアップ装置４０は、２つの光源としての半導体レ
ーザ２ａ、２ｂ、基板４１、及び２つの立ち上げミラー
４２ａ、４２ｂ等を備えているとともに、図示しない２
つの対物レンズや受光素子等を備えており、対物レンズ
の上部に光ディスク６が配設される。

【０１０１】２つの半導体レーザ２ａ、２ｂは、それぞ
れ波長が異なっており、規格の異なる光ディスクに対応
する波長の光をそれぞれ出射する。

【０１０２】基板４１の傾斜面には、２つの立ち上げミ
ラー４２ａ、４２ｂが同時に形成されており、立ち上げ
ミラー４２ａと立ち上げミラー４２ｂは、それぞれ２つ
の半導体レーザ２ａ、２ｂの出射する波長の光を反射す
る形状に形成されている。これらの２つの立ち上げミラ
ー４２ａと立ち上げミラー４２ｂは、同じ作製工程で同
時に作製されており、また、石英ガラスの基板４１に多
数の組の立ち上げミラー４２ａ、４２ｂが同時に作製さ
れている。

【０１０３】したがって、立ち上げミラー４２ａ、４２
ｂの製造コストを、第１の実施の形態の場合と同程度の
コストで作製することができる。また、光ピックアップ
装置４０の組立工程においても、立ち上げミラー４２
ａ、４２ｂの実装を１回で済み、実装コストの低減にも
つながる。

【０１０４】このように、複数の立ち上げミラー４２
ａ、４２ｂを１つの基板４１に形成することで、異なる
複数の規格の光ディスク６にも対応できる光ピックアッ
プ装置４０を小型化、低価格化することができる。

【０１０５】図９は、本発明の光ピックアップ装置及び
光ピックアップ装置の製造方法の第６の実施の形態を示
す図である。

【０１０６】なお、本実施の形態は、上記第４の実施の
形態の光ピックアップ装置と同様の光ピックアップ装置
に適用したものであり、本実施の形態の説明において
は、上記第４の実施の形態と同様の構成部分には、同一
の符号を付して、その詳細な説明を省略する。

【０１０７】図９は、本発明の光ピックアップ装置及び
光ピックアップ装置の製造方法の第６の実施の形態を適
用した光ピックアップ装置５０の要部構成図である。光
ピックアップ装置５０は、上記第４の実施の形態と同様
の光源としての半導体レーザ２、基板３、立ち上げミラ
ー３１、受光素子３２等を備えているとともに、ヒート
シンク５１、サブマウント５２、セラミックスパッケー
ジ５３、リードフレーム５４、窓部５５及びホログラム
５６等を備えており、窓部５５の上部に図示しない対物
レンズ５が配設され、さらに、対物レンズ５の上部に光
ディスク６が配設される。

【０１０８】半導体レーザ２は、セラミックスパッケー
ジ５３上に配設されたヒートシンク５１上に、サブマウ
ント５２を介して配設されており、光ピックアップ装置
５０は、ヒートシンク５１上のサブマウント５２上に半
導体レーザ２、受光素子３２及び立ち上げミラー３１の
形成された基板３が１つのセラミックスパッケージ５３
内に封入されている。

【０１０９】窓部５５は、セラミックスパッケージ５３
の上部を閉止する状態で配設されており、石英ガラス等
の半導体レーザ２の出射する波長の光を透過する透明部
材で形成されている。窓部５５の立ち上げミラー３１で
反射された光の照射される部分には、ホログラム５６が
配設されており、窓部５５のホログラム５６部分を透過
した光は、図示しない対物レンズ５を経て光ディスク６
に照射される。

【０１１０】光ディスク６で反射されたビームは、ホロ
グラム５６で光路が変わり、立ち上げミラー３１の形成
されている石英ガラスの基板３の立ち上げミラー３１部
文意外の部分を通って、受光素子３２に照射される。

【０１１１】フォトダイオード３２には、半導体レーザ
２のパワーモニタを行う受光領域と光ディスク６からの
戻り光を受光する領域が形成されており、基板３には、
この検出光学系を作り込むことも可能である。

【０１１２】このように、本実施の形態の光ピックアッ
プ装置５０は、立ち上げミラー３１、受光素子３２及び
半導体レーザ２等をセラミックスパッケージ５３内に一
緒にパッケージングされており、外気と遮断されてい
る。したがって、半導体レーザ２の出射端面や立ち上げ
ミラー３１の反射膜が結露等で汚れることを防止するこ
とができ、光ピックアップ装置５０の信頼性を大幅に向
上させることができる。

【０１１３】また、高い実装精度の要求される立ち上げ
ミラー３１、受光素子３２、半導体レーザ２及びホログ
ラム５６を先に実装してモジュール化しておくことで、
取り扱いを容易なものとし、光ピックアップ装置５０の
製造工程での生産性を向上させることができる。

【０１１４】なお、本実施の形態においては、第４の実
施の形態の光ピックアップ装置３０の立ち上げミラー３
１と同様の立ち上げミラーを備えている場合について説
明したが、立ち上げミラーとしては、これに限るもので
はなく、上記第１から第３の実施の形態または第５の実
施の形態の立ち上げミラー構造のものにも同様に適用す
ることができる。

【０１１５】図１０は、本発明の光ピックアップ装置及
び光ピックアップ装置の製造方法の第７の実施の形態を
示す図である。

【０１１６】なお、本実施の形態は、上記第２の実施の
形態の光ピックアップ装置と同様の光ピックアップ装置
に適用したものであり、本実施の形態の説明において
は、上記第２の実施の形態と同様の構成部分には、同一
の符号を付して、その詳細な説明を省略する。

【０１１７】図１０は、本発明の光ピックアップ装置及
び光ピックアップ装置の製造方法の第７の実施の形態を
適用した光ピックアップ装置６０の要部構成図である。
光ピックアップ装置６０は、半導体レーザ２、レンズ１
１の形成された基板３、立ち上げミラー４、フォトダイ
オード等の受光素子６１、基板６２に形成された第１レ
ンズ６３と第２レンズ６４等を備えており、基板６２の
対物レンズ５の第２レンズ６４の上部に光ディスク６が
配設される。

【０１１８】基板６２には、立ち上げレンズ４側に第１
レンズ６３が形成され、光ディスク６側に第２レンズが
形成されており、これらの第１レンズ６３と第２レンズ
６４で構成されるレンズ群は、立ち上げミラー４で反射
されてレンズ１１で平行光とされた光を光ディスク６上
にスポットとして集光させる。これらの第１レンズ６３
と第２レンズ６４で構成されるレンズ群は、高ＮＡを実
現しやすくなるため、光ディスク６上のスポットを小さ
くすることができ、高密度の記録・再生を行うことがで
きる。

【０１１９】さらに、第２レンズ６４を光ディスク６の
極近傍（例えば、光源波長の１／４程度）まで接近させ
た構成にすると、近接場光による記録・再生を行うこと
ができ、実効的なＮＡを「１」以上にすることができ
る。したがって、非常に小さなスポット（例えば、０．
２〜０．３μｍ）を得ることができ、より高密度の記録
・再生を行うことができる。

【０１２０】このように構成することで、小型で低価格
で、かつ、高密度記録・再生が可能な光ピックアップ装
置６０を提供することができる。

【０１２１】なお、本実施の形態においては、第２の実
施の形態の光ピックアップ装置１０の立ち上げミラー４
と同様の立ち上げミラー及びレンズ１１を備えている場
合について説明したが、立ち上げミラーとしては、これ
に限るものではなく、上記第１または第３の実施の形態
から第５の実施の形態の立ち上げミラー構造のものにも
同様に適用することができる。

【０１２２】以上、本発明者によってなされた発明を好
適な実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は
上記のものに限定されるものではなく、その要旨を逸脱
しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもな
い。

【０１２３】

【発明の効果】請求項１記載の発明の光ピックアップ装
置によれば、光源から出射された光を対物レンズ方向に
偏向して光情報記録媒体に照射させる立ち上げミラー
を、基板上にフォトレジストで傾斜面形状を形成し、ド
ライエッチングで基板にフォトレジストの傾斜面形状を
転写して、当該基板に転写された傾斜面に反射膜を形成
することで形成しているので、小型・薄型で、信頼性が
高く、かつ、安価なもとすることができる。

【０１２４】請求項２記載の発明の光ピックアップ装置
によれば、基板上に塗布されたフォトレジストの傾斜面
形状を、基板上に露光量分布を生じさせた露光を行うこ
とで形成しているので、小型・薄型で、信頼性が高く、
かつ、より一層安価なものとすることができる。

【０１２５】請求項３記載の発明の光ピックアップ装置
によれば、立ち上げミラーの形成された基板に、当該立
ち上げミラーで対物レンズ方向に偏向された光の通過す
るレンズを形成しているので、小型・薄型で、より一層
信頼性が高く、かつ、安価なものとすることができる。

【０１２６】請求項４記載の発明の光ピックアップ装置
によれば、立ち上げミラーに、光源からの光を対物レン
ズ方向と検出用受光素子方向とに分離する分離機能を持
たせているので、より一層小型・薄型で、信頼性が高
く、かつ、安価なものとすることができる。

【０１２７】請求項５記載の発明の光ピックアップ装置
によれば、立ち上げミラーを、ハーフミラーとしている
ので、より一層小型・薄型で、信頼性が高く、かつ、よ
り一層安価なものとすることができる。

【０１２８】請求項６記載の発明の光ピックアップ装置
によれば、基板の傾斜面を、光源から出射される光の一
部を対物レンズ方向に偏向する立ち上げミラーの形成さ
れた領域と、当該立ち上げミラーの形成されていない領
域と、を有し、当該立ち上げミラーの形成されていない
領域に照射された光源からの光の一部が、基板を透過し
て検出用受光素子に照射されるものとしているので、よ
り一層小型・薄型で、信頼性が高く、かつ、より一層安
価なものとすることができる。

【０１２９】請求項７記載の発明の光ピックアップ装置
によれば、基板に、立ち上げミラーを少なくとも２つ以
上形成しているので、小型・薄型で、信頼性が高く、か
つ、安価なものとすることができるとともに、異なる複
数の規格の光情報記録媒体にも対応することができる。

【０１３０】請求項８記載の発明の光ピックアップ装置
によれば、２つ以上形成された立ち上げミラーを、それ
ぞれ異なる形状としているので、小型・薄型で、信頼性
が高く、かつ、安価なものとすることができるととも
に、異なる複数の規格の光情報記録媒体にもより一層適
切に対応することができる。

【０１３１】請求項９記載の発明の光ピックアップ装置
によれば、立ち上げミラーを、検出用受光素子及び受光
素子の上部に配設しているので、より一層小型・薄型
で、信頼性が高く、かつ、安価なものとすることができ
る。

【０１３２】請求項１０記載の発明の光ピックアップ装
置によれば、少なくとも光源、立ち上げミラー、検出用
受光素子及び受光素子を１つのパッケージ内に収納して
いるので、外気と遮断して、光源やミラー等への結露を
防止することができるとともに、取り扱いを容易なもの
とすることができ、小型・薄型で、より一層信頼性が高
く、かつ、安価で生産性の良好なものとすることができ
る。

【０１３３】請求項１１記載の発明の光ピックアップ装
置によれば、対物レンズを、少なくとも２つ以上のレン
ズからなるレンズ群で形成されているので、光情報記録
媒体への光のスポットを非常に小さくして、より一層高
密度の記録再生を可能とすることができ、小型・薄型
で、信頼性が高く、かつ、高密度記録再生が可能で安価
なものとすることができる。

【０１３４】請求項１２記載の発明の光ピックアップ装
置の製造方法によれば、光源から出射された光を対物レ
ンズ方向に偏向して光情報記録媒体に照射させる立ち上
げミラーを、基板上にフォトレジストで傾斜面形状を形
成し、ドライエッチングで基板にフォトレジストの傾斜
面形状を転写して、当該基板に転写された傾斜面に反射
膜を形成することで形成しているので、小型・薄型で、
信頼性が高い光ピックアップ装置を安価に製造すること
ができる。

【０１３５】請求項１３記載の発明の光ピックアップ装
置の製造方法によれば、基板上に塗布されたフォトレジ
ストの傾斜面形状を、基板上に露光量分布を生じさせた
露光を行うことで形成しているので、小型・薄型で、信
頼性が高い光ピックアップ装置をより一層安価に製造す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の光ピックアップ装置の第１の実施の形
態を適用した光ピックアップ装置の要部構成図。

【図２】図１の立ち上げミラーの製造手順を示す図。

【図３】露光量とフォトレジストの現像後の残膜量との
関係を示す図。

【図４】図１の立ち上げミラーの別の製造手順を示す
図。

【図５】本発明の光ピックアップ装置の第２の実施の形
態を適用した光ピックアップ装置の要部構成図。

【図６】本発明の光ピックアップ装置の第３の実施の形
態を適用した光ピックアップ装置の要部構成図。

【図７】本発明の光ピックアップ装置の第４の実施の形
態を適用した光ピックアップ装置の要部構成図。

【図８】本発明の光ピックアップ装置の第５の実施の形
態を適用した光ピックアップ装置の要部構成図。

【図９】本発明の光ピックアップ装置の第６の実施の形
態を適用した光ピックアップ装置の要部構成図。

【図１０】本発明の光ピックアップ装置の第７の実施の
形態を適用した光ピックアップ装置の要部構成図。

【図１１】従来の光ピックアップ装置の概略構成図。

【図１２】図１１のレーザカプラの斜視図。

【図１３】他の従来の光ピックアップ装置の概略構成
図。

【図１４】他の従来の光ピックアップ装置の光源部の正
面断面図。

【符号の説明】

１光ピックアップ装置２半導体レーザ３基板４立ち上げミラー５対物レンズ６光ディスク７フォトレジスト８Ａｌ蒸着膜１０光ピックアップ装置１１レンズ２０光ピックアップ装置２１立ち上げミラ
ー２２受光素子３０光ピックアッ
プ装置３１立ち上げミラー３２受光素子４０光ピックアップ装置４１基板４２ａ、４２ｂ立ち上げミラー５０光ピックアッ
プ装置５１ヒートシンク５２サブマウント５３セラミックスパッケージ５４リードフレー
ム５５窓部５６ホログラム６０光ピックアップ装置６１受光素子６２基板６３第１レンズ６４第２レンズ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ０２Ｂ 17/08 Ｇ０２Ｂ 17/08 ＺＦターム(参考） 2H042 DA02 DA08 DA12 DA22 DB01 DC01 DC02 DC08 DD08 DD09 DE00 2H087 KA13 LA01 PA01 PA02 PA17 QA01 QA02 QA05 QA07 QA13 QA14 QA21 QA33 QA34 QA41 RA41 RA48 TA01 TA03 TA06 5D119 AA01 AA05 AA38 AA41 BA01 CA09 DA01 DA05 EA02 EA03 EC45 EC47 FA05 FA08 JA16 JA57 JA64 KA02 LB07 MA01 NA05

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光源から出射された光を立ち上げミラーで
対物レンズ方向に偏向して、当該対物レンズを通して光
情報記録媒体に照射し、当該光情報記録媒体からの反射
光を受光素子に集光照射するとともに、前記光源からの
光を検出用受光素子で検出して当該光源の光量調整を行
う光ピックアップ装置において、前記立ち上げミラー
は、基板上にフォトレジストで傾斜面形状が形成され、
ドライエッチングで前記基板に前記フォトレジストの傾
斜面形状を転写して、当該基板に転写された傾斜面に反
射膜を形成することで形成されていることを特徴とする
光ピックアップ装置。
【請求項２】前記基板上に塗布されたフォトレジストの
傾斜面形状は、前記基板上に露光量分布を生じさせた露
光を行うことで形成されていることを特徴とする請求項
１記載の光ピックアップ装置。
【請求項３】前記光ピックアップ装置は、前記立ち上げ
ミラーの形成された前記基板に、当該立ち上げミラーで
前記対物レンズ方向に偏向された光の通過するレンズが
形成されていることを特徴とする請求項１または請求項
２記載の光ピックアップ装置。
【請求項４】前記立ち上げミラーは、前記光源からの光
を前記対物レンズ方向と前記検出用受光素子方向とに分
離する分離機能を有していることを特徴とする請求項１
から請求項３のいずれかに記載の光ピックアップ装置。
【請求項５】前記立ち上げミラーは、ハーフミラーであ
ることを特徴とする請求項４記載の光ピックアップ装
置。
【請求項６】前記基板の前記傾斜面は、前記光源から出
射される光の一部を前記対物レンズ方向に偏向する前記
立ち上げミラーの形成された領域と、当該立ち上げミラ
ーの形成されていない領域と、を有し、当該立ち上げミ
ラーの形成されていない領域に照射された前記光源から
の光の一部は、前記基板を透過して前記検出用受光素子
に照射されることを特徴とする請求項１から請求項３の
いずれかに記載の光ピックアップ装置。
【請求項７】前記基板は、前記立ち上げミラーが少なく
とも２つ以上形成されていることを特徴とする請求項１
から請求項６のいずれかに記載の光ピックアップ装置。
【請求項８】前記２つ以上形成された前記立ち上げミラ
ーは、それぞれ異なる形状であることを特徴とする請求
項７記載の光ピックアップ装置。
【請求項９】前記立ち上げミラーは、前記検出用受光素
子及び前記受光素子の上部に配設されていることを特徴
とする請求項１から請求項８のいずれかに記載の光ピッ
クアップ装置。
【請求項１０】前記光ピックアップ装置は、少なくとも
前記光源、前記立ち上げミラー、前記検出用受光素子及
び前記受光素子が１つのパッケージ内に収納されている
ことを特徴とする請求項１から請求項９のいずれかに記
載の光ピックアップ装置。
【請求項１１】前記対物レンズは、少なくとも２つ以上
のレンズからなるレンズ群で形成されていることを特徴
とする請求項１から請求項１０のいずれかに記載の光ピ
ックアップ装置。
【請求項１２】光源から出射された光を立ち上げミラー
で対物レンズ方向に偏向して、当該対物レンズを通して
光情報記録媒体に照射し、当該光情報記録媒体からの反
射光を受光素子に集光照射するとともに、前記光源から
の光を検出用受光素子で検出して当該光源の光量調整を
行う光ピックアップ装置の製造方法において、基板上に
フォトレジストで傾斜面形状を形成し、ドライエッチン
グで前記基板に前記フォトレジストの傾斜面形状を転写
して、当該基板に転写された傾斜面に反射膜を形成する
ことで前記立ち上げミラーを形成することを特徴とする
光ピックアップ装置の製造方法。
【請求項１３】前記基板上に塗布されたフォトレジスト
を、前記基板上に露光量分布を生じさせた露光を行うこ
とで前記フォトレジストの傾斜面を形成することを特徴
とする請求項１２記載の光ピックアップ装置の製造方
法。