JP2011204788A - 光モジュール - Google Patents

Abstract

【課題】小型化に寄与し、モニタＰＤの検出精度を更に高めることができる光モジュールを提供する。
【解決手段】光モジュール１は、レーザダイオード１６と、レーザダイオード１６を内蔵する積層セラミックパッケージ２と、積層セラミックパッケージ２に固定され、レーザダイオード１６と光結合される光ファイバ３３を収容する金属スリーブ３１と、レーザダイオード１６からの出射光の光軸と交差する主面２３ａを有し、出射光の一部を受けて該出射光の一部を光ファイバ３３へ向けて反射する反射領域２３ｂを主面２３ａ内に含む反射部材２３と、出射光のうち反射領域２３ｂの外側を通過した光を受けるモニタ用フォトダイオード２０とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、光通信等で使用される光モジュールに関するものである。

従来の光モジュールとしては、例えば特許文献１に記載されているように、レーザダイオード（以下、ＬＤとする）の光出射面がレンズを介して光ファイバと光結合され、ＬＤの光反射面がモニタ用フォトダイオード（以下、モニタＰＤとする）と光結合されたものが知られている。

特開２０００−５６１８５号公報

特許文献１に記載された構成のような、ＬＤの光反射面から漏れる光をモニタＰＤにより検出する方式には、次の問題点がある。すなわち、ＬＤの前方に光ファイバとの結合の為の光学部品を配置し、さらにＬＤの後方にモニタＰＤを配置することとなり、光学系が前後に延び、光モジュールの小型化を妨げてしまう。また、ＬＤの光出射面（前端面）からの出射光と、光反射面（後端面）から漏れる光とでは光強度が大きく異なるので、後端面から漏れる光をモニタＰＤにより検出する場合、検出精度が抑えられてしまう。

上記問題点に鑑み、例えば、所定の反射率をもつように調整された反射面をＬＤの光出射面の前方に配置し、該反射面において反射した出射光を光ファイバへ導く一方、該反射面を透過した出射光をモニタＰＤにより検出することが考えられる。このような方式によれば、ＬＤの前方に光学部品やモニタＰＤを配置できるので、光モジュールの小型化に寄与できる。また、光出射面からの強い光をモニタＰＤが検出できるので、検出精度を高めることができる。しかしながら、このような方式では、ＬＤの出射光の一部を、反射面を透過させてモニタＰＤへ入射させるので、反射面を透過する際のロス（損失）が生じてしまい、検出精度に影響する。

本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、小型化に寄与し、モニタＰＤの検出精度を更に高めることができる光モジュールを提供することを目的とする。

上述した課題を解決するために、本発明による光モジュールは、（ａ）レーザダイオードと、（ｂ）レーザダイオードを内蔵するパッケージと、（ｃ）パッケージに固定され、レーザダイオードと光結合される光ファイバを収容する部材と、（ｄ）レーザダイオードからの出射光の光軸と交差する第１の面を有し、出射光の一部を受けて該出射光の一部を光ファイバへ向けて反射する第１の反射領域を第１の面内に含む反射部材と、（ｅ）出射光のうち第１の反射領域の外側を通過した光を受けるモニタ用フォトダイオードとを備えることを特徴とする。

この光モジュールにおいては、レーザダイオードからの出射光の一部が、反射部材の第１の面内に形成された第１の反射領域へ入射する。第１の反射領域は、この出射光の一部を光ファイバへ向けて反射する。一方、出射光の残部は、第１の反射領域の外側を通る。そして、第１の反射領域の外側を通過する光のうち少なくとも一部は、モニタ用フォトダイオードに入射する。この光モジュールによれば、レーザダイオードの前方に反射部材やモニタ用フォトダイオードを配置できるので、光モジュールの小型化に寄与できる。また、レーザダイオードの光出射面からの強い出射光をモニタ用フォトダイオードが検出できるので、検出精度を高めることができる。また、モニタ用フォトダイオードが受ける光は第１の反射領域の外側を通過した光なので、所定の反射率をもつように調整された反射面を透過した光を受ける場合のようなロス（損失）が殆どない。したがって、レーザダイオードの検出精度を更に高めることができる。

また、上記光モジュールは、レーザダイオードが所定の拡がり角θ１でもって出射光を出射し、第１の反射領域の外縁のうち少なくとも一部とレーザダイオードの光出射端とを結ぶ直線と、第１の反射領域に入射する出射光の光軸との成す角θ２が、所定の拡がり角θ１の１／２より小さいことを特徴としてもよい。このような構成によって、レーザダイオードからの出射光の一部を第１の反射領域へ入射させ、他の一部を第１の反射領域の外側を通過させてモニタ用フォトダイオードへ入射させる構成を好適に実現できる。

また、上記光モジュールは、第１の反射領域が第１の面の全面にわたって形成されており、モニタ用フォトダイオードが、出射光のうち第１の面の外側を通過した光を受けることを特徴としてもよい。このような構成によって、上記光モジュールを好適に実現できる。

また、上記光モジュールは、第１の反射領域が第１の面の一部に形成されており、モニタ用フォトダイオードが、出射光のうち第１の反射領域の外側を通過し且つ反射部材を透過した光を受けることを特徴としてもよい。このような構成によって、上記光モジュールを好適に実現できる。この場合、第１の反射領域は、第１の面の全面にわたって反射膜が成膜された後、第１の反射領域を除く領域上に成膜された反射膜が除去されることにより形成されたことを特徴としてもよい。或いは、第１の反射領域は、第１の面の第１の反射領域を除く領域上にマスクが形成され、第１の面の全面にわたって反射膜が成膜された後、マスクが除去されることにより形成されたことを特徴としてもよい。これらのうち何れかの構成によって、反射部材の第１の面の一部に第１の反射領域を好適に形成できる。

また、上記光モジュールは、反射部材が、光の入射角の増加に応じて反射率が増加する反射膜を第１の面に有し、第１の反射領域は、出射光が反射膜に対して所定の入射角以上で入射する領域であることを特徴としてもよい。このような構成であっても、反射部材の第１の面の一部に第１の反射領域を好適に形成できる。

また、上記光モジュールは、反射部材が、第１の面に対して０°より大きい角度を成す第２の面を更に有し、第１の反射領域の外側を通過した光をモニタ用フォトダイオードへ向けて反射する第２の反射領域を第２の面内に含むことを特徴としてもよい。このように、第１の反射領域の外側を通過する光を反射する第２の反射領域を反射部材が有することによって、この光をモニタ用フォトダイオードへ効率的に入射させることができる。

また、上記光モジュールは、反射部材と光ファイバとの間の光路上に配置された高結合型非球面レンズを更に備えることを特徴としてもよい。これにより、レーザダイオードと光ファイバとの結合効率をより高めることができる。

また、上記光モジュールは、パッケージが、レーザダイオードが実装される第１セラミック層と、第１セラミック層の上に積層された第２セラミック層とを有する積層セラミックパッケージであり、筒状部材が、金属製であり、第２セラミック層の上面に接合されていることを特徴としてもよい。

また、上記光モジュールは、レーザダイオードが、第１セラミック層上にサブマウントを介して実装されており、モニタ用フォトダイオードが、第１セラミック層上に直に実装されていることを特徴としてもよい。

本発明の光モジュールによれば、光モジュールの小型化に寄与し、モニタＰＤの検出精度を更に高めることができる。

図１は、本発明に係る光モジュールの一実施形態を示す斜視図である。 図２は、図１に示した光モジュールの一部断面を含む斜視図である。 図３は、光モジュールの一部の構成を概略的に示す図である。 図４は、光モジュールの一部の構成を概略的に示す図である。 図５（ａ）は、ＬＤの縦方向（ファスト軸）における遠視野像（ＦＦＰ）を示すグラフである。図５（ｂ）は、ＬＤの縦方向（ファスト軸）における光軸Ａｘからの角度θと累積光強度（角度θ以下の成分の光強度が全光強度に占める割合）との関係を示すグラフである。 図６は、図４に示すθ２と、Ｐ２（第１の反射領域で反射される光パワー）と、ｗ１（ＬＤの光軸と第１の反射領域との交点と、第１の反射領域の外縁との距離）との関係を示すグラフである。 図７は、具体例として、モニタＰＤを流れる光電流とθ２との関係を示すグラフである。 図８は、第１変形例を示す図である。 図９は、第２変形例を示す図である。 図１０（ａ）〜図１０（ｃ）は、図９に示した第２変形例の反射部材を製造する工程の例を示す図である。 図１１は、第３変形例を示す図である。 図１２は、第３変形例における反射膜の反射特性を示すグラフである。 図１３は、第４変形例を示す図である。 図１４（ａ）〜図１４（ｃ）は、図１３に示した第４変形例の反射部材を製造する工程の例を示す図である。 図１５は、一芯双方向光モジュールの例を示す斜視図である。

以下、添付図面を参照しながら本発明による光モジュールの実施の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。以下の実施形態において説明する光モジュールは、ＧＥ−ＰＯＮ（Gigabit Ethernet-Passive Optical Network）の宅側装置（ＯＮＵ：Optical NetworkUnit）や局側装置（ＯＬＴ：Optical Line Terminal）に搭載される一心双方向光デバイスや、次世代システムの１０Ｇ−ＥＰＯＮのＯＮＵなど、小型・低コストであって高出力が要求される用途に適した光通信用デバイスである。

（実施の形態）
図１は、本発明に係る光モジュールの一実施形態を示す斜視図である。図２は、図１に示した光モジュールの一部断面を含む斜視図であり、図３は、光モジュールの一部の構成を概略的に示す図である。図１及び図２に示すように、本実施形態の光モジュール１は、光デバイス及び電子部品が配置される積層セラミックパッケージ２を備えている。

積層セラミックパッケージ２は、第１セラミック層３ａ，第２セラミック層３ｂおよび第３セラミック層３ｃを含む複数のセラミック層が積層された多層構造を有している。これらのセラミック層は、加工性に優れるアルミナで形成されている。積層セラミックパッケージ２は、これら複数のセラミック層を位置決め積層した状態で焼結及びダイシング加工を行うことにより形成される。

複数のセラミック層それぞれの外形は、略矩形となっている。第２セラミック層３ｂおよび第３セラミック層３ｃを除く他のセラミック層の上面及び下面には、金属製の回路配線パターン（メタライズ層）がそれぞれ設けられている。また、これらのセラミック層には、上下の回路配線パターン同士を電気的に接続する複数のビアが当該セラミック層を貫通するように設けられている。最下層に位置するセラミック層の下面には、外部回路との接続を行うための外部接続端子（図示せず）が設けられている。

第２セラミック層３ｂの中央部分には、開口部１０が形成されている。この開口部１０は、第１セラミック層３ａの上面と協働して光デバイスを実装するための矩形状の凹部（キャビティ）１１を形成している。

第３セラミック層３ｃは、第２セラミック層３ｂに電子部品を実装するためのスペースを確保するように略矩形の環状を呈しており、積層セラミックパッケージ２の側壁を構成している。つまり、第３セラミック層３ｃは、凹部１１を含む領域を取り囲むように設けられている。第３セラミック層３ｃの上面及び下面には、回路配線パターン１２がそれぞれ設けられている。ただし、第３セラミック層３ｃには、上下の回路配線パターン１２同士を電気的に接続するビアは設けられていない。従って、第３セラミック層３ｃの上面と下面とは、電気的に完全に絶縁（分離）された状態となっている。第３セラミック層３ｃの上面の回路配線パターン（メタライズ層）１２には、略矩形環状の金属リング１３がロウ付け等により固定されている。

上記凹部１１の底面には、直方体状のサブマウント１４が載置されている。サブマウント１４の厚みは、第２セラミック層３ｂの厚みと同等である。つまり、サブマウント１４の上面と第２セラミック層３ｂの上面とは面一となっている。サブマウント１４は、セラミック層３ａ〜３ｃを構成するアルミナよりも熱伝導率の高い絶縁材料（例えば窒化アルミニウム、酸化ベリリウム、炭化珪素、サファイア、ダイヤモンド等）によって構成されている。

サブマウント１４の上面には、レーザダイオード（以下、ＬＤとする）１６が実装されている。ＬＤ１６は、端面発光型ＬＤであり、横方向（第２セラミック層３ｂの上面に沿った方向）に向けて光を出射する。

ＬＤ１６の前方に位置する凹部１１上には、板状の反射部材２３が配置されている。反射部材２３は、ＬＤ１６の出射光の光軸と交差する主面（第１の面）２３ａを有しており、本実施形態では、この主面２３ａとＬＤ１６の出射光の光軸との成す角が４５°となるように反射部材２３の向きが設定されている。

反射部材２３の主面２３ａには、ＬＤ１６からの出射光を反射する反射領域２３ｂが含まれている。なお、本実施形態では、反射部材２３の主面２３ａの全面が反射領域２３ｂとなっている。反射領域２３ｂは、本実施形態における第１の反射領域であり、ＬＤ１６からの出射光の一部を受けて、該出射光の一部を、上方に配置された光ファイバ３３へ向けて垂直に反射する。反射領域２３ｂは、例えば誘電体多層膜等の反射膜が形成されることによって、ＬＤ１６の出力波長に対して高い反射率を有している。誘電体多層膜は、ＬＤ１６の出力波長に対して高い反射率をもつように各層の材料及び厚さが制御される。

なお、反射部材２３の形状としては、主面２３ａを有していれば、直角三角形や五角形あるいは平面形状であっても良い。また、反射部材２３の材料としては、ガラスや樹脂材料を用いることができる。反射部材２３は、後述するモニタ用フォトダイオードやワイヤ類と干渉しないことを考慮して、片端支持や両端支持などによって支持されることが好ましい。

ＬＤ１６の前方に位置する凹部１１の底面には、ＬＤ１６の出力光量をモニタするためのモニタ用フォトダイオード（以下、モニタＰＤとする）２０が、該底面に直に（すなわち、サブマウントを介することなく）実装されている。モニタＰＤ２０は、ＬＤ１６からの出射光のうち、反射部材２３の反射領域２３ｂの外側を通過した光を受ける。

以上のような積層セラミックパッケージ２の上面には、レンズ２４を保持する金属製のホルダ２５が固定されている。このとき、積層セラミックパッケージ２の内部を窒素置換した環境において、ホルダ２５が金属リング１３の上面に溶接されることで、積層セラミックパッケージ２の内部が気密封止される。ホルダ２５は、金属リング１３に接合され、積層セラミックパッケージ２の上部開口を覆い塞ぐフタ部２６と、このフタ部２６と一体化された筒状部２７とを有している。筒状部２７の軸心は、積層セラミックパッケージ２の上下面に対して直交している。

レンズ２４は、筒状部２７の内周面から張り出すように設けられた環状保持部２７ａに封止固定されることにより、反射部材２３と光ファイバ３３との間の光路上に配置されている。レンズ２４は、例えば高結合型非球面レンズであることが好ましい。ＬＤ１６と光ファイバ３３との結合効率をより高めることができるからである。

ホルダ２５には、金属製のジョイント２８が、ＵＶ硬化接着剤を用いた接着やＹＡＧ溶接等により固定されている。ジョイント２８は、光を通すための貫通穴２９ａを有する基部２９と、この基部２９と一体化された筒状部３０とを有している。そして、その筒状部３０の内周面がホルダ２５の筒状部２７の外周面に接合されている。

ジョイント２８の基部２９には、金属スリーブ３１が、ＵＶ硬化接着剤を用いた接着やＹＡＧ溶接等により固定されている。金属スリーブ３１の内部には、ジルコニアスリーブ３２が配置されている。ジルコニアスリーブ３２内のジョイント２８側には、ＬＤ１６と光結合される光ファイバ３３を保持したフェルール３４が配置されている。また、金属スリーブ３１の内部には、フェルール３４を圧入固定する金属筒状体３５がジルコニアスリーブ３２に隣接して配置されている。金属スリーブ３１の外周面には、環状の保持溝３６ａを有するフランジ部３６が設けられている。

ここで、ＬＤ１６、モニタＰＤ２０および反射部材２３の位置関係について具体的に説明する。図３は、ＬＤ１６、モニタＰＤ２０および反射部材２３の位置関係を示す縦断面図である。前述したように、ＬＤ１６からの出射光の光軸Ａｘは、反射部材２３の主面２３ａと交差している。ＬＤ１６からの出射光の一部は、反射部材２３の主面２３ａへ入射する。主面２３ａのほぼ全面は反射領域２３ｂとなっており、反射領域２３ｂはＬＤ１６からの出射光の一部を受け、該一部のほぼ全てをレンズ２４へ向けて反射する。

一方、ＬＤ１６からの出射光の残りの部分は反射領域２３ｂの外側を通ることとなるが、そのうち一部の光Ｌｍは、モニタＰＤ２０へ入射する。換言すれば、モニタＰＤ２０は、反射領域２３ｂから逸れた光を受けることができるように、ＬＤ１６との間に反射領域２３ｂを挟まない位置に配置されている。反射領域２３ｂは、ＬＤ１６の出射端面とモニタＰＤ２０の受光面とを結ぶ直線を遮らない。

いま、図４に示すように、ＬＤ１６からの出射光の拡がり角をθ１とする。また、反射領域２３ｂの外縁の一部（本実施形態では反射領域２３ｂの下縁）とＬＤ１６の光出射端１６ａとを結ぶ直線と、反射領域２３ｂに入射する出射光の光軸Ａｘとの成す角をθ２とする。この場合、θ２は、θ１の１／２より小さいことが好ましい。このような構成によって、ＬＤ１６からの出射光の一部を反射領域２３ｂへ入射させ、他の一部を反射領域２３ｂの外側を通過させてモニタＰＤ２０へ入射させるといった、図３のような構成を好適に実現できる。

図５（ａ）は、ＬＤの縦方向（ファスト軸）における遠視野像（ＦＦＰ）を示すグラフであり、横軸は光軸Ａｘからの角度θを示し、縦軸は規格化後の光強度を示している。また、図５（ｂ）は、ＬＤの縦方向（ファスト軸）における光軸Ａｘからの角度θと累積光強度（角度θ以下の成分の光強度が全光強度に占める割合）との関係を示すグラフである。ＬＤ１６の全出力パワーをＰ１とし、このうち反射領域２３ｂで反射される光パワーをＰ２とすると、光モジュール１において、光損失を抑制するためにはＰ１に対するＰ２の比を大きくすることが重要である。一方、Ｐ１のうちＰ２を除く他の一部をモニタＰＤ２０で受光する必要がある。これらの要求を満たすように、図５（ａ）および図５（ｂ）に示されたグラフに従い、図４のθ２を設定するとよい。

図６は、θ２、Ｐ２およびｗ１（ＬＤ１６の光軸と反射領域２３ｂとの交点と、反射領域２３ｂの外縁との距離。図４参照）の関係を示すグラフである。なお、図６において、横軸はθ２（単位：度）を示している。また、左側の縦軸は反射領域２３ｂにおける光反射率（すなわちＰ２と同義）を示しており、右側の縦軸はｗ１（単位：ｍｍ）を示している。この図６において、グラフＧ１はθ２と光反射率との関係を示し、グラフＧ２はθ２とｗ１との関係を示している。

図６に示すように、θ２が大きくなるほどｗ１が大きくなる。すなわち、θ２が大きくなるほど、反射領域２３ｂの面積が広くなる。従って、反射領域２３ｂによって反射される光のパワーＰ２も増加し、反射率が増す。逆に言えば、θ２を小さくすると、反射領域２３ｂの面積が小さくなり、パワーＰ２が減少することとなる。ＬＤ１６の全出射パワーＰ１のうち、Ｐ２を除く他の部分は、反射領域２３ｂの外側を通過する。本実施形態では、モニタＰＤ２０が、この外側を通過する光の一部を受光することができる。

ここで、図７は、具体例として、モニタＰＤ２０を流れる光電流Ｉｍとθ２との関係を示すグラフである。図７において、横軸はθ２（単位：度）を示し、左側の縦軸は光電流（単位：μＡ）および結合効率（Ｐ１に対するモニタＰＤ２０への入射パワーの比）を併せて示している。なお、図７の右側の縦軸には、ｗ１（単位：ｍｍ）が示されている。この図７において、グラフＧ３はθ２と光電流Ｉｍとの関係を示し、グラフＧ４は光電流Ｉｍから換算した結合効率とθ２との関係を示している。このグラフを求める際には、ＬＤ１６の光出射端面から反射領域２３ｂまでの光軸方向の距離を０．２（ｍｍ）とし、ＬＤ１６の全出射パワーＰ１を９（ｍＷ）とし、モニタＰＤ２０の変換効率を０．７（Ａ／Ｗ）とし、モニタＰＤ２０の受光径を２４０（μｍ）とした。

図７に示すように、θ２が大きくなる（すなわち反射領域２３ｂが広くなる）にしたがって、モニタＰＤ２０へ入射する光が小さくなる。図７では、モニタＰＤ２０に流れる電流Ｉｍの大きさが、θ２の増大とともに減少する。

十分な光パワーＰ２を光ファイバ３３へ導くために、例えばＰ１に対するＰ２の比を０．９５以上にする必要がある（すなわち、光損失を５％以下に抑える必要がある）場合、図６のグラフＧ１から、θ２を２０度以上にすればよいことがわかる。そして、図６のグラフＧ２から、θ２が２０度のときの反射領域２３ｂの大きさ（ｗ１）が求められる。この場合の結合効率は図７のグラフＧ４から０．０４となり、モニタＰＤ２０に流れる光電流Ｉｍの大きさは図７のグラフＧ３から０．２４（ｍＡ）であることがわかる。なお、モニタＰＤ２０の光電流Ｉｍの大きさが０．２（ｍＡ）以上であれば、十分に精度よくＬＤ１６の光出力強度をモニタすることができる。

以上に説明した本実施形態の光モジュール１によれば、次の効果が得られる。すなわち、ＬＤ１６の前方に反射部材２３やモニタＰＤ２０を配置できるので、光モジュール１の小型化に寄与できる。また、ＬＤ１６の光出射面からの強い出射光をモニタＰＤ２０が検出できるので、検出精度を高めることができる。また、モニタＰＤ２０が受ける光は反射領域２３ｂの外側を通過した光なので、所定の反射率をもつように調整された反射面を透過した光を受ける場合のようなロス（損失）が殆どない。したがって、ＬＤ１６の検出精度を更に高めることができる。

（第１の変形例）
図８は、上記実施形態の第１変形例を示す図である。図８に示す変形例では、反射部材の構成が上記実施形態とは異なっている。

本変形例の反射部材４１は、反射領域（第１の反射領域）４１ｂが主面（第１の面）４１ａの一部にのみ形成されている。モニタＰＤ２０は、ＬＤ１６からの出射光のうち、反射領域４１ｂの外側を通過し、且つ反射部材４１を透過した光を受ける。

具体的には、ＬＤ１６からの出射光の光軸Ａｘは、反射部材４１の主面４１ａと交差している。ＬＤ１６からの出射光の全部は、反射部材４１の主面４１ａへ入射する。反射部材４１は、板状部材４２と、板状部材４２の表面の一部に形成された誘電体多層膜（反射膜）４３とを含む。板状部材４２は、ＬＤ１６の出射光の波長に対して透明な材質からなり、出射光の一部を透過する。誘電体多層膜４３は、反射部材４１の反射領域４１ｂを構成する。反射領域４１ｂ（誘電体多層膜４３）は、ＬＤ１６からの出射光の一部を受け、該一部のほぼ全てをレンズ２４へ向けて反射する。

一方、ＬＤ１６からの出射光の残りの部分は、反射領域４１ｂ（誘電体多層膜４３）の外側を通る。そのうち一部の光Ｌｍは、板状部材４２のうち誘電体多層膜４３が形成されていない領域を透過して、モニタＰＤ２０へ入射する。

本変形例のような構成であっても、前述した実施形態と同様の効果を好適に得ることができる。なお、本変形例のような反射部材４１は、例えば板状部材４２の表面の一部（反射領域４１ｂを除く領域）にマスクを形成し、その後に板状部材４２の表面全体を覆うように誘電体多層膜４３を形成（コーティング）し、マスクを除去することによって容易に得ることができる。

（第２の変形例）
図９は、上記実施形態の第２変形例を示す図である。図９に示す変形例においても、反射部材の構成が上記実施形態とは異なっている。

本変形例の反射部材４４は、反射領域（第１の反射領域）４４ｂが主面（第１の面）４４ａの一部にのみ形成されている。モニタＰＤ２０は、ＬＤ１６からの出射光のうち、反射領域４４ｂの外側を通過し、且つ反射部材４４を透過した光を受ける。

具体的には、ＬＤ１６からの出射光の光軸Ａｘは、反射部材４４の主面４４ａと交差している。ＬＤ１６からの出射光の全部は、反射部材４４の主面４４ａへ入射する。反射部材４４は、板状部材４５と、板状部材４５の表面の一部に形成された誘電体多層膜（反射膜）４６とを含む。板状部材４５は、ＬＤ１６の出射光の波長に対して透明な材質からなり、出射光の一部を透過する。誘電体多層膜４６は、反射部材４４の反射領域４４ｂを構成する。反射領域４４ｂ（誘電体多層膜４６）は、ＬＤ１６からの出射光の一部を受け、該一部のほぼ全てをレンズ２４へ向けて反射する。

一方、ＬＤ１６からの出射光の残りの部分は、反射領域４４ｂ（誘電体多層膜４６）の外側を通る。そのうち一部の光Ｌｍは、板状部材４５のうち誘電体多層膜４６が形成されていない領域を透過して、モニタＰＤ２０へ入射する。

本変形例のような構成であっても、前述した実施形態と同様の効果を好適に得ることができる。また、本変形例のような反射部材４４は、例えば図１０に示される工程によって容易に製造可能である。まず、図１０（ａ）に示すように、板状部材４５の表面の全面にわたって誘電体多層膜４６をコーティングする。次に、図１０（ｂ）に示すように、エンドミルＭを使用して、板状部材４５の表面のうち反射領域４１ｂとなる領域を除く領域に凹部４５ａを形成する。このとき、エンドミルＭは誘電体多層膜４６を貫通し、その部分の誘電体多層膜４６を完全に除去する。その後、図１０（ｃ）に示すように、凹部４５ａの一側面に沿って板状部材４５を切断する。以上の工程を経ることによって、反射領域４４ｂが主面の一部にのみ形成された反射部材４４を容易に実現できる。

（第３の変形例）
図１１は、上記実施形態の第３変形例を示す図である。図１１に示す変形例においても、反射部材の構成が上記実施形態とは異なっている。

本変形例の反射部材５１は、反射領域（第１の反射領域）５１ｂが主面（第１の面）５１ａの一部にのみ形成されている。モニタＰＤ２０は、ＬＤ１６からの出射光のうち、反射領域５１ｂの外側を通過し、且つ反射部材５１を透過した光を受ける。

具体的には、ＬＤ１６からの出射光の光軸Ａｘは、反射部材５１の主面５１ａと交差している。ＬＤ１６からの出射光の全部は、反射部材５１の主面５１ａへ入射する。反射部材５１は、板状部材５２と、板状部材５２の表面全体に形成された反射膜５３とを含む。板状部材５２は、ＬＤ１６の出射光の波長に対して透明な材質からなる。

図１２は、反射膜５３の反射特性を示すグラフであり、横軸は反射膜５３への光の入射角φ（光軸Ａｘとな成す角θを併記）を示し、縦軸は反射率を示している。図１２に示すように、本変形例の反射膜５３は、光の入射角によって反射率が変化するフィルタ特性を有しており、光の入射角の増加に応じて反射膜５３の反射率が増加する。この例では、入射角φ＝１０度（θ＝−３５度）付近から反射率が急速に立ち上がり、入射角φ＝２５度（θ＝−２０度）において反射率が１．０に極めて近くなっている。この場合、主面５１ａのうちＬＤ１６からの出射光の入射角φが−２０度以上となる領域は、反射膜５３によって、反射部材５１の反射領域５１ｂとなる。この反射領域５１ｂは、ＬＤ１６からの出射光の一部を受け、該一部のほぼ全てをレンズ２４へ向けて反射する。

一方、ＬＤ１６からの出射光の残りの部分は、反射領域５１ｂの外側、すなわち出射光の入射角φが−２０度より小さい領域を通る。そのうち一部の光Ｌｍは、板状部材５２を透過して、モニタＰＤ２０へ入射する。

本変形例のように、光の入射角φの増加に応じて反射率が減少する反射膜５３を反射部材５１が有し、反射領域５１ｂが、反射膜５３に対して出射光が所定の入射角φ以下で入射する領域であるような構成であっても、前述した実施形態と同様の効果を好適に得ることができる。また、本変形例によれば、マスキングやエンドミル加工といった製造工程を経ずに、反射領域を簡易に形成できる。

（第４の変形例）
図１３は、上記実施形態の第４変形例を示す図である。図１３に示す変形例においても、反射部材の構成が上記実施形態とは異なっている。

本変形例では、反射部材６１が、ＬＤ１６の出射光の光軸と交差する主面（第１の面）６１ａと、この主面６１ａに対して０°より大きい角度を成す傾斜面（第２の面）６１ｃとを有している。一例としては、主面６１ａとＬＤ１６の出射光の光軸Ａｘとの成す角は４５度に設定され、傾斜面６１ｃと主面６１ａとの成す角は１３５度に設定される。この場合、主面６１ａの下方に位置する傾斜面６１ｃはモニタＰＤ２０の載置面（図３に示した第１セラミック層３ａの表面）に対して垂直になる。ＬＤ１６からの出射光の光軸Ａｘは、反射部材６１の主面６１ａと交差している。ＬＤ１６からの出射光の一部は、主面６１ａへ入射する。また、ＬＤ１６からの出射光の他の一部は、傾斜面６１ｃへ入射する。

主面６１ａおよび傾斜面６１ｃには、誘電体多層膜（反射膜）６３がコーティングされている。これにより、主面６１ａの全面は、本変形例における第１の反射領域６１ｂとなる。第１の反射領域６１ｂは、ＬＤ１６からの出射光の一部を受け、該一部のほぼ全てをレンズ２４へ向けて反射する。また、傾斜面６１ｃの一部は、本変形例における第２の反射領域６１ｄとなる。この第２の反射領域６１ｄは、第１の反射領域６１ｂの外側を通過する光のうち一部をモニタＰＤ２０へ向けて反射する。モニタＰＤ２０は、ＬＤ１６からの出射光のうち、第１の反射領域６１ｂの外側を通過し、且つ第２の反射領域６１ｄにおいて反射した光Ｌｍ２を受ける。

本変形例のような構成であっても、前述した実施形態と同様の効果を好適に得ることができる。本変形例では、第１の反射領域６１ｂの外側を通過する光を反射する第２の反射領域６１ｄを反射部材６１が有することによって、この光をモニタＰＤ２０へ効率的に入射させることができる。

本変形例のような反射部材６１は、例えば図１４に示される工程によって容易に製造可能である。まず、図１４（ａ）に示すように、板状部材６５を準備する。この板状部材６５を、先端が円錐形のエンドミルＭ２で切断することにより、図１４（ｂ）に示すように、主面６１ａおよび傾斜面６１ｃを有する板状部材６２を形成する。その後、図１４（ｃ）に示すように、板状部材６２の表面の全面にわたって誘電体多層膜６３をコーティングする。以上の工程を経ることによって、第１および第２の反射領域６１ｂ，６１ｄを有する反射部材６１を容易に実現できる。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、本発明の構成は、上記実施形態のような光送信デバイスとしての光モジュールに限られず、図１５に示すような一芯双方向光モジュールにおいても適用され得る。図１５に示す一芯双方向光モジュール７０は、送信部７１および受信部７２を備え、送信部７１の構成は上記実施形態と略同様である。また、受信部７２は受信用フォトダイオードを内蔵しており、波長選択フィルタ等によって分岐された受信光を検出する。このような一芯双方向光モジュール７０において、送信部７１に本発明の構成を適用することにより、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。

また、上記実施形態では、反射部材の下方（光ファイバの光軸方向）にモニタＰＤを配置しているが、モニタＰＤと反射部材との位置関係はこれに限られるものではなく、例えばモニタＰＤは反射部材の側方に配置されてもよい。

１…光モジュール、２…積層セラミックパッケージ、３ａ…第１セラミック層、３ｂ…第２セラミック層、３ｃ…第３セラミック層、１０…開口部、１１…凹部、１２…回路配線パターン、１３…金属リング、１４…サブマウント、１６…レーザダイオード、２０…モニタ用フォトダイオード、２３，４１，４４，５１，６１…反射部材、２３ａ，４１ａ，４４ａ，５１ａ，６１ａ…主面、２３ｂ，４１ｂ，４４ｂ，５１ｂ…（第１の）反射領域、２４…レンズ、２５…ホルダ、３１…金属スリーブ、３２…ジルコニアスリーブ、３３…光ファイバ、４２，４５，５２，６２，６５…板状部材、４３，４６，６３…誘電体多層膜、５３…反射膜、６１ｂ…第１の反射領域、６１ｃ…傾斜面、６１ｄ…第２の反射領域、７０…一芯双方向光モジュール、７１…送信部、７２…受信部。

Claims (11)

1. レーザダイオードと、
   前記レーザダイオードを内蔵するパッケージと、
   前記パッケージに固定され、前記レーザダイオードと光結合される光ファイバを収容する部材と、
   前記レーザダイオードからの出射光の光軸と交差する第１の面を有し、前記出射光の一部を受けて該出射光の一部を前記光ファイバへ向けて反射する第１の反射領域を前記第１の面内に含む反射部材と、
   前記出射光のうち前記第１の反射領域の外側を通過した光を受けるモニタ用フォトダイオードと
   を備えることを特徴とする、光モジュール。
2. 前記レーザダイオードが所定の拡がり角θ１でもって前記出射光を出射し、
   前記第１の反射領域の外縁のうち少なくとも一部と前記レーザダイオードの光出射端とを結ぶ直線と、前記第１の反射領域に入射する前記出射光の光軸との成す角θ２が、前記所定の拡がり角θ１の１／２より小さいことを特徴とする、請求項１に記載の光モジュール。
3. 前記第１の反射領域が前記第１の面の全面にわたって形成されており、
   前記モニタ用フォトダイオードが、前記出射光のうち前記第１の面の外側を通過した光を受けることを特徴とする、請求項１または２に記載の光モジュール。
4. 前記第１の反射領域が前記第１の面の一部に形成されており、
   前記モニタ用フォトダイオードが、前記出射光のうち前記第１の反射領域の外側を通過し且つ前記反射部材を透過した光を受けることを特徴とする、請求項１または２に記載の光モジュール。
5. 前記第１の反射領域は、前記第１の面の全面にわたって反射膜が成膜された後、前記第１の反射領域を除く領域上に成膜された前記反射膜が除去されることにより形成されたことを特徴とする、請求項４に記載の光モジュール。
6. 前記第１の反射領域は、前記第１の面の前記第１の反射領域を除く領域上にマスクが形成され、前記第１の面の全面にわたって反射膜が成膜された後、前記マスクが除去されることにより形成されたことを特徴とする、請求項４に記載の光モジュール。
7. 前記反射部材が、光の入射角の増加に応じて反射率が増加する反射膜を前記第１の面に有し、
   前記第１の反射領域は、前記出射光が前記反射膜に対して所定の入射角以上で入射する領域であることを特徴とする、請求項４に記載の光モジュール。
8. 前記反射部材が、前記第１の面に対して０°より大きい角度を成す第２の面を更に有し、前記第１の反射領域の外側を通過した光を前記モニタ用フォトダイオードへ向けて反射する第２の反射領域を前記第２の面内に含むことを特徴とする、請求項１または２に記載の光モジュール。
9. 前記反射部材と前記光ファイバとの間の光路上に配置された高結合型非球面レンズを更に備えることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか一項に記載の光モジュール。
10. 前記パッケージが、前記レーザダイオードが実装される第１セラミック層と、前記第１セラミック層の上に積層された第２セラミック層とを有する積層セラミックパッケージであり、
    前記筒状部材が、金属製であり、前記第２セラミック層の上面に接合されていることを特徴とする、請求項１〜９のいずれか一項に記載の光モジュール。
11. 前記レーザダイオードが、前記第１セラミック層上にサブマウントを介して実装されており、
    前記モニタ用フォトダイオードが、前記第１セラミック層上に直に実装されていることを特徴とする、請求項１０に記載の光モジュール。

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