JP2924872B2 - 光ヘッドとその組立方法 - Google Patents
光ヘッドとその組立方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光を利用して情報
の記録再生を行う情報入出力装置に用いる光ヘッド装置
に関する。
の記録再生を行う情報入出力装置に用いる光ヘッド装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】光ディスク装置の光ピックアップに用い
られる光ヘッドは、小型軽量化、生産性向上などの観点
からマイクロプリズムやホログラム素子などの微小光学
素子を実装してパッケージ化、モジュール化する試みが
なされている。このような集積型光ヘッドの従来例とし
て「１９９３年１２月、Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ ｏｆ
１２ｔｈ Ｍｅｅｔｉｎｇ ｏｎ Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ
Ｓｅｎｓｉｎｇ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ、１０３〜１
０６頁」記載の光ヘッドを図６に示す。この光ヘッドは
レーザダイオードチップ４１とマイクロミラー４２がフ
ォトダイオードチップ４３上に実装されており、ホログ
ラム４４と組み合わせて光ヘッドを構成している。レー
ザダイオードチップ４１からの出射光は、マイクロミラ
ー４２で反射して垂直に立ち上がりホログラム４４に入
射する。ホログラム４４の０次透過光は、図示しない対
物レンズを介して光ディスク上に集光される。光ディス
クからの反射光は再び対物レンズを介してホログラム４
４に入射し、ホログラム４４で回折されて方向を変える
ので、マイクロミラー４２を避けてフォトダイオードチ
ップ４３の受光部４５で受光されて光ディスクからの情
報信号を検出する。また、マイクロミラー４２で反射さ
れなかった僅かな透過光はマイクロミラー４２の後方端
面４６で反射されて、マイクロミラー４２とフォトダイ
オードチップ４３の界面に設けられた図示しない受光部
で受光されて、レーザダイオードチップ４１のモニター
光として用いられる。この集積型光ヘッドの外形寸法
は、縦６ｍｍ、横６ｍｍ、高さ１．６４ｍｍであり、従
来バルク光学素子群で構成されていた光ヘッドを微小光
学素子で集積化すると大幅な小型軽量化が実現される。
られる光ヘッドは、小型軽量化、生産性向上などの観点
からマイクロプリズムやホログラム素子などの微小光学
素子を実装してパッケージ化、モジュール化する試みが
なされている。このような集積型光ヘッドの従来例とし
て「１９９３年１２月、Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ ｏｆ
１２ｔｈ Ｍｅｅｔｉｎｇ ｏｎ Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ
Ｓｅｎｓｉｎｇ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ、１０３〜１
０６頁」記載の光ヘッドを図６に示す。この光ヘッドは
レーザダイオードチップ４１とマイクロミラー４２がフ
ォトダイオードチップ４３上に実装されており、ホログ
ラム４４と組み合わせて光ヘッドを構成している。レー
ザダイオードチップ４１からの出射光は、マイクロミラ
ー４２で反射して垂直に立ち上がりホログラム４４に入
射する。ホログラム４４の０次透過光は、図示しない対
物レンズを介して光ディスク上に集光される。光ディス
クからの反射光は再び対物レンズを介してホログラム４
４に入射し、ホログラム４４で回折されて方向を変える
ので、マイクロミラー４２を避けてフォトダイオードチ
ップ４３の受光部４５で受光されて光ディスクからの情
報信号を検出する。また、マイクロミラー４２で反射さ
れなかった僅かな透過光はマイクロミラー４２の後方端
面４６で反射されて、マイクロミラー４２とフォトダイ
オードチップ４３の界面に設けられた図示しない受光部
で受光されて、レーザダイオードチップ４１のモニター
光として用いられる。この集積型光ヘッドの外形寸法
は、縦６ｍｍ、横６ｍｍ、高さ１．６４ｍｍであり、従
来バルク光学素子群で構成されていた光ヘッドを微小光
学素子で集積化すると大幅な小型軽量化が実現される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記集積型光ヘッドで
用いられるマイクロミラー４２は、光ディスクで反射さ
れてホログラム４４で回折された光がマイクロミラー４
２の反射面で蹴られないように幅が限定され、素子全体
の寸法がわずか幅４００μｍ、高さ６００μｍ程度と非
常に微小なものになる。さらに、この微小なマイクロミ
ラー４２をフォトダイオードチップ４３に取り付ける際
には高精度な調整が必要であるため非常に取り扱いが難
しい。また、幅４００μｍというのは、ハンドリングの
ために最低必要な幅であり、実際に光が反射する領域は
１００μｍ以下なので受光部４５の間隔を必要以上に拡
大させている。受光部４５の間隔が大きくなればフォト
ダイオードチップ４３の面積も大きくなりコストを増大
させる他、ホログラム４４のパターンも狭ピッチ化し、
作製を困難にさせる要因になる。また、微小なマイクロ
ミラー４２を個別に調整して実装することは、量産性や
低コスト化を考えると好ましくない。
用いられるマイクロミラー４２は、光ディスクで反射さ
れてホログラム４４で回折された光がマイクロミラー４
２の反射面で蹴られないように幅が限定され、素子全体
の寸法がわずか幅４００μｍ、高さ６００μｍ程度と非
常に微小なものになる。さらに、この微小なマイクロミ
ラー４２をフォトダイオードチップ４３に取り付ける際
には高精度な調整が必要であるため非常に取り扱いが難
しい。また、幅４００μｍというのは、ハンドリングの
ために最低必要な幅であり、実際に光が反射する領域は
１００μｍ以下なので受光部４５の間隔を必要以上に拡
大させている。受光部４５の間隔が大きくなればフォト
ダイオードチップ４３の面積も大きくなりコストを増大
させる他、ホログラム４４のパターンも狭ピッチ化し、
作製を困難にさせる要因になる。また、微小なマイクロ
ミラー４２を個別に調整して実装することは、量産性や
低コスト化を考えると好ましくない。
【０００４】本発明の目的は、前記集積型光ヘッドに用
いられるマイクロミラーの代わりに、取り扱いに十分な
寸法を有しながらフォトダイオードチップの面積を縮小
することによる低コスト化とホログラムのパターンのピ
ッチを拡大して作製を容易にすることが可能な立ち上げ
ミラーを有した集積型光ヘッドを提供することにある。
いられるマイクロミラーの代わりに、取り扱いに十分な
寸法を有しながらフォトダイオードチップの面積を縮小
することによる低コスト化とホログラムのパターンのピ
ッチを拡大して作製を容易にすることが可能な立ち上げ
ミラーを有した集積型光ヘッドを提供することにある。
【０００５】本発明の他の目的は、前記の立ち上げミラ
ーを用いることにより、本発明の集積型光ヘッドの組み
立て工程を１回の調整で複数個作製可能にする生産性に
優れた組立方法を提供することにある。
ーを用いることにより、本発明の集積型光ヘッドの組み
立て工程を１回の調整で複数個作製可能にする生産性に
優れた組立方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の集積型光ヘッド
に用いられる立ち上げミラーは、取り扱いに十分な幅を
もったマイクロプリズムであってその斜面の一部分のみ
光を反射しそのほかの部分では光を透過する構成であ
る。このような構成は、例えば、反射させたい領域にの
み反射膜を施し、それ以外の領域には無反射コートを施
すことにより実現できる。この構成により、立ち上げミ
ラーに入射した光は、反射膜のある領域に入射した場合
に反射し、それ以外の領域に入射した場合にはそのほと
んどを透過させる特性を有する。これにより、従来の集
積型光ヘッドのようなマイクロミラーのすぐ脇に光を透
過させたい構成でも、反射膜の幅を適当にすれば素子全
体の幅に制限がないので取り扱いやすい大きさにするこ
とができる。また、反射膜は実際に光を反射させたい領
域のみに限定できるので、従来の集積型光ヘッドよりも
フォトダイオードチップの受光部の間隔が狭められるこ
とでフォトダイオードチップの面積が縮小され、低コス
ト化が実現される。同様の理由で、ホログラムを同一位
置に置いた場合、パターンのピッチが拡大されるので作
製が容易になり、歩留まりが向上する。さらに、前記立
ち上げミラーを一定の間隔で反射膜を施した棒の状態で
作製し、反射膜と同一の間隔で複数の受光部パターンが
形成されたフォトダイオードバーに調整して接着した後
にチップに切り分けることにより、１回の調整で立ち上
げミラーが実装されたフォトダイオードチップが複数作
製可能となり、微小なマイクロミラーを個別に調整して
取り付ける従来の組み立て方法に比べて大幅に生産性が
向上する。
に用いられる立ち上げミラーは、取り扱いに十分な幅を
もったマイクロプリズムであってその斜面の一部分のみ
光を反射しそのほかの部分では光を透過する構成であ
る。このような構成は、例えば、反射させたい領域にの
み反射膜を施し、それ以外の領域には無反射コートを施
すことにより実現できる。この構成により、立ち上げミ
ラーに入射した光は、反射膜のある領域に入射した場合
に反射し、それ以外の領域に入射した場合にはそのほと
んどを透過させる特性を有する。これにより、従来の集
積型光ヘッドのようなマイクロミラーのすぐ脇に光を透
過させたい構成でも、反射膜の幅を適当にすれば素子全
体の幅に制限がないので取り扱いやすい大きさにするこ
とができる。また、反射膜は実際に光を反射させたい領
域のみに限定できるので、従来の集積型光ヘッドよりも
フォトダイオードチップの受光部の間隔が狭められるこ
とでフォトダイオードチップの面積が縮小され、低コス
ト化が実現される。同様の理由で、ホログラムを同一位
置に置いた場合、パターンのピッチが拡大されるので作
製が容易になり、歩留まりが向上する。さらに、前記立
ち上げミラーを一定の間隔で反射膜を施した棒の状態で
作製し、反射膜と同一の間隔で複数の受光部パターンが
形成されたフォトダイオードバーに調整して接着した後
にチップに切り分けることにより、１回の調整で立ち上
げミラーが実装されたフォトダイオードチップが複数作
製可能となり、微小なマイクロミラーを個別に調整して
取り付ける従来の組み立て方法に比べて大幅に生産性が
向上する。
【０００７】
（実施形態１）図１に本発明の集積型光ヘッドの第１の
実施の形態を示す。この光ヘッドは、ヒートシンク３上
にマウントされたレーザダイオードチップ２と、所望の
受光部パターンが形成されたフォトダイオードチップ４
と、本発明のキーデバイスである立ち上げミラー１がパ
ッケージ６に実装されており、ホログラム５と組み合わ
せて光ヘッドを構成している。立ち上げミラー１は、ガ
ラスのような透明な材質でできたマイクロプリズムの一
方の斜面に、一部に所望の反射率を得るための金属膜や
誘電体膜などの反射膜７が施されており、それ以外の領
域には無反射コート（ＡＲコート）が施されている。従
って、立ち上げミラー１に入射した光は反射膜７のある
領域でのみ反射され、それ以外の領域ではそのほとんど
を透過させる特性を有する。反射膜７は偏光分離膜や波
長フィルターのような特定の入射光を反射させるような
ものでも良い。レーザダイオードチップ２からの出射光
は立ち上げミラー１の反射膜で反射して垂直に立ち上が
り、ホログラム５に入射する。ホログラム５の０次透過
光は、図示しない対物レンズを介して光ディスク上に集
光される。光ディスクからの反射光は再び対物レンズを
介してホログラム５に入射し、ホログラム５で回折され
て方向を変えるので、光素子１の反射膜がない領域に入
射するため透過し、フォトダイオードチップ４の受光部
ａ９および受光部ｂ１０で受光されて光ディスクからの
情報信号を検出する。この場合、反射膜は入射光のほと
んどを反射させるが、極一部を透過させるような膜厚で
成膜されているので、反射膜を透過した僅かな光は立ち
上げミラー１の後方端面８で反射されて、フォトダイオ
ードチップ４の受光部ｃ１１で受光され、レーザダイオ
ードチップ２のモニター光として用いられる。立ち上げ
ミラーは外形幅に制限がないので、図示したようにパッ
ケージ６と同程度の幅にすれば、従来の集積型光ヘッド
に用いられているマイクロミラーよりも素子全体の外形
寸法を大きくできるので、調整・固定の際に取り扱いが
容易になる。また、反射膜の幅は実際に光を反射させた
い領域のみに制限できるので、従来の集積型光ヘッドに
用いられているマイクロミラーよりも戻り光が蹴られる
領域が縮小され、フォトダイオードチップ４の受光部ａ
９と受光部ｂ１０の間隔を狭くすることができる。受光
部の間隔が狭められれば、フォトダイオードチップ４の
全体の面積も従来の集積型光ヘッドに用いられているフ
ォトダイオードチップよりも縮小されるので、コストが
低減される。さらに光の蹴られる領域が縮小されている
ことは、従来の集積型光ヘッドと同一程度の位置にホロ
グラム５をおいた場合、ホログラム５により生じる回折
光の回折角が小さくなるので、ホログラム５のパターン
のピッチが拡大し、作製が容易になるので歩留まりが向
上する。また、ホログラム５のパターンのピッチを従来
の集積型光ヘッドと同一程度にした場合は、ホログラム
５とフォトダイオードチップ４の間隔が狭められるの
で、一層の小型化が可能になる。
実施の形態を示す。この光ヘッドは、ヒートシンク３上
にマウントされたレーザダイオードチップ２と、所望の
受光部パターンが形成されたフォトダイオードチップ４
と、本発明のキーデバイスである立ち上げミラー１がパ
ッケージ６に実装されており、ホログラム５と組み合わ
せて光ヘッドを構成している。立ち上げミラー１は、ガ
ラスのような透明な材質でできたマイクロプリズムの一
方の斜面に、一部に所望の反射率を得るための金属膜や
誘電体膜などの反射膜７が施されており、それ以外の領
域には無反射コート（ＡＲコート）が施されている。従
って、立ち上げミラー１に入射した光は反射膜７のある
領域でのみ反射され、それ以外の領域ではそのほとんど
を透過させる特性を有する。反射膜７は偏光分離膜や波
長フィルターのような特定の入射光を反射させるような
ものでも良い。レーザダイオードチップ２からの出射光
は立ち上げミラー１の反射膜で反射して垂直に立ち上が
り、ホログラム５に入射する。ホログラム５の０次透過
光は、図示しない対物レンズを介して光ディスク上に集
光される。光ディスクからの反射光は再び対物レンズを
介してホログラム５に入射し、ホログラム５で回折され
て方向を変えるので、光素子１の反射膜がない領域に入
射するため透過し、フォトダイオードチップ４の受光部
ａ９および受光部ｂ１０で受光されて光ディスクからの
情報信号を検出する。この場合、反射膜は入射光のほと
んどを反射させるが、極一部を透過させるような膜厚で
成膜されているので、反射膜を透過した僅かな光は立ち
上げミラー１の後方端面８で反射されて、フォトダイオ
ードチップ４の受光部ｃ１１で受光され、レーザダイオ
ードチップ２のモニター光として用いられる。立ち上げ
ミラーは外形幅に制限がないので、図示したようにパッ
ケージ６と同程度の幅にすれば、従来の集積型光ヘッド
に用いられているマイクロミラーよりも素子全体の外形
寸法を大きくできるので、調整・固定の際に取り扱いが
容易になる。また、反射膜の幅は実際に光を反射させた
い領域のみに制限できるので、従来の集積型光ヘッドに
用いられているマイクロミラーよりも戻り光が蹴られる
領域が縮小され、フォトダイオードチップ４の受光部ａ
９と受光部ｂ１０の間隔を狭くすることができる。受光
部の間隔が狭められれば、フォトダイオードチップ４の
全体の面積も従来の集積型光ヘッドに用いられているフ
ォトダイオードチップよりも縮小されるので、コストが
低減される。さらに光の蹴られる領域が縮小されている
ことは、従来の集積型光ヘッドと同一程度の位置にホロ
グラム５をおいた場合、ホログラム５により生じる回折
光の回折角が小さくなるので、ホログラム５のパターン
のピッチが拡大し、作製が容易になるので歩留まりが向
上する。また、ホログラム５のパターンのピッチを従来
の集積型光ヘッドと同一程度にした場合は、ホログラム
５とフォトダイオードチップ４の間隔が狭められるの
で、一層の小型化が可能になる。
【０００８】（実施形態２）本発明の集積型光ヘッドの
第２の実施の形態として、第１の実施の形態で立ち上げ
ミラー１を図２に示すような立ち上げミラー１２に置き
換えたものも考えられる。この立ち上げミラー１２は第
１の実施の形態の立ち上げミラー１と同様にマイクロプ
リズムａ１４の斜面の一部に反射膜１３が施されてお
り、屈折率の近い別のマイクロプリズムｂ１５と斜面同
士を張り合わせた構造になっている。ただし、この場合
ＡＲコートはプリズム斜面ではなく、図示したようにＡ
Ｒコート面ａ１６およびＡＲコート面ｂ１７に施されて
いる。この構造でもプリズム張り合わせ境界面の屈折率
差がほとんどないので、第１の実施の形態の立ち上げミ
ラー１と同様に反射膜のある領域に入射した光のみを反
射させ、それ以外の領域ではそのほとんどを透過させる
特性を有する。この立ち上げミラー１２にした場合の利
点は、ホログラムで回折されて立ち上げミラー１２を透
過する際にＡＲコート面ａ６にほぼ垂直に入射するの
で、屈折の作用が複雑にならず設計が容易になる。ま
た、マイクロプリズムｂ１５での屈折の作用により、反
射膜１３への入射角が減少するので、反射膜１３に入射
角依存性がある場合に有効になる。さらに、反射膜１３
の施された境界面の屈折率差がほとんどないので、反射
膜１３に偏光分離膜を用いた場合でも十分な特性が得ら
れる。
第２の実施の形態として、第１の実施の形態で立ち上げ
ミラー１を図２に示すような立ち上げミラー１２に置き
換えたものも考えられる。この立ち上げミラー１２は第
１の実施の形態の立ち上げミラー１と同様にマイクロプ
リズムａ１４の斜面の一部に反射膜１３が施されてお
り、屈折率の近い別のマイクロプリズムｂ１５と斜面同
士を張り合わせた構造になっている。ただし、この場合
ＡＲコートはプリズム斜面ではなく、図示したようにＡ
Ｒコート面ａ１６およびＡＲコート面ｂ１７に施されて
いる。この構造でもプリズム張り合わせ境界面の屈折率
差がほとんどないので、第１の実施の形態の立ち上げミ
ラー１と同様に反射膜のある領域に入射した光のみを反
射させ、それ以外の領域ではそのほとんどを透過させる
特性を有する。この立ち上げミラー１２にした場合の利
点は、ホログラムで回折されて立ち上げミラー１２を透
過する際にＡＲコート面ａ６にほぼ垂直に入射するの
で、屈折の作用が複雑にならず設計が容易になる。ま
た、マイクロプリズムｂ１５での屈折の作用により、反
射膜１３への入射角が減少するので、反射膜１３に入射
角依存性がある場合に有効になる。さらに、反射膜１３
の施された境界面の屈折率差がほとんどないので、反射
膜１３に偏光分離膜を用いた場合でも十分な特性が得ら
れる。
【０００９】（実施形態３）図３に本発明の集積型光ヘ
ッドの第３の実施の形態を示す。第１および第２の実施
の形態と同様の構成だが、フォトダイオードチップ２１
上に立ち上げミラー１８を張り合わせた構造になってい
る。この構造にすると、第１および第２の実施の形態で
の利点の他に図４に示すような組立方法が可能になる。
まず、複数の立ち上げミラー２６を一定の間隔で反射膜
２７を施したバーの状態で作製し、所望の受光部３０が
反射膜２７と同一の間隔で形成されたフォトダイオード
バー３１に調整しながら接着する。このとき、基準とな
る相対位置、例えば最後の両端の反射膜２７と受光部３
０との相対位置のみを調整して固定すればよい。最後に
これをダイシングによりチップに切り分ければ、フォト
ダイオードチップ２１に立ち上げミラー１８を取り付け
る行程が１回の調整で同時に複数可能となる。この組み
立て方法を用いれば、フォトダイオードチップに微小な
マイクロミラーを個別に調整して固定する従来の方法に
比べて、生産性が大幅に向上し、組立コストも削減され
る。
ッドの第３の実施の形態を示す。第１および第２の実施
の形態と同様の構成だが、フォトダイオードチップ２１
上に立ち上げミラー１８を張り合わせた構造になってい
る。この構造にすると、第１および第２の実施の形態で
の利点の他に図４に示すような組立方法が可能になる。
まず、複数の立ち上げミラー２６を一定の間隔で反射膜
２７を施したバーの状態で作製し、所望の受光部３０が
反射膜２７と同一の間隔で形成されたフォトダイオード
バー３１に調整しながら接着する。このとき、基準とな
る相対位置、例えば最後の両端の反射膜２７と受光部３
０との相対位置のみを調整して固定すればよい。最後に
これをダイシングによりチップに切り分ければ、フォト
ダイオードチップ２１に立ち上げミラー１８を取り付け
る行程が１回の調整で同時に複数可能となる。この組み
立て方法を用いれば、フォトダイオードチップに微小な
マイクロミラーを個別に調整して固定する従来の方法に
比べて、生産性が大幅に向上し、組立コストも削減され
る。
【００１０】（実施形態４）図５に本発明の集積型光ヘ
ッドの第４の実施の形態を示す。第３の実施の形態にさ
らにヒートシンク３５とレーザダイオードチップ３４が
フォトダイオードチップ３６上に実装された構造であ
り、第１〜第４の実施の形態での利点を有しながら最も
小型化が可能である。さらに、図４に示した組立方法で
立ち上げミラー３３の他にヒートシンク３６もバーの状
態で作製して同時に組み立てることも可能である。
ッドの第４の実施の形態を示す。第３の実施の形態にさ
らにヒートシンク３５とレーザダイオードチップ３４が
フォトダイオードチップ３６上に実装された構造であ
り、第１〜第４の実施の形態での利点を有しながら最も
小型化が可能である。さらに、図４に示した組立方法で
立ち上げミラー３３の他にヒートシンク３６もバーの状
態で作製して同時に組み立てることも可能である。
【００１１】（実施形態５）本発明の集積型光ヘッドの
第５の実施の形態として、第１〜第４の実施の形態の構
成で、ホログラムをニオブ酸リチウム基板を用いた偏光
性ホログラムに置き換え、１／４波長板と組み合わせた
構造も考えられる。この構造では不要な回折光が生じな
いため、光利用率の高い集積型光ヘッドが実現される。
この構造の場合、ホログラムのパターンのピッチが拡大
するという利点が最も有効になる。通常、偏光性ホログ
ラムはニオブ酸リチウム基板にイオン交換を施して作製
されるが、その際パターン以外の部分にも横拡散が生じ
て特性を劣化させるが、その横拡散の影響はパターンの
ピッチが細かくなればなるほど大きくなる。本発明の集
積型光ヘッドは、立ち上げミラーの反射膜を必要最低限
の幅に制限できることから、ホログラムのパターンのピ
ッチが拡大されるので、偏光性ホログラムの横拡散の影
響が少なく、作製が容易で良好な特性の集積型光ヘッド
が実現される。
第５の実施の形態として、第１〜第４の実施の形態の構
成で、ホログラムをニオブ酸リチウム基板を用いた偏光
性ホログラムに置き換え、１／４波長板と組み合わせた
構造も考えられる。この構造では不要な回折光が生じな
いため、光利用率の高い集積型光ヘッドが実現される。
この構造の場合、ホログラムのパターンのピッチが拡大
するという利点が最も有効になる。通常、偏光性ホログ
ラムはニオブ酸リチウム基板にイオン交換を施して作製
されるが、その際パターン以外の部分にも横拡散が生じ
て特性を劣化させるが、その横拡散の影響はパターンの
ピッチが細かくなればなるほど大きくなる。本発明の集
積型光ヘッドは、立ち上げミラーの反射膜を必要最低限
の幅に制限できることから、ホログラムのパターンのピ
ッチが拡大されるので、偏光性ホログラムの横拡散の影
響が少なく、作製が容易で良好な特性の集積型光ヘッド
が実現される。
【００１２】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の集積型光ヘ
ッドは、立ち上げミラーの外形幅に制限がなく、また戻
り光の蹴られる領域を最小限にできるので、取り扱いに
十分な幅を有しながら、フォトダイオードチップの面積
を縮小するとともに、ホログラムのパターンのピッチの
拡大もしくはホログラムとフォトダイオードチップの間
隔を狭められるので、組み立てが容易で小型・低コスト
な集積型光ヘッドが実現される。さらに、複数の立ち上
げミラーとフォトダイオードをバーの状態で作製して張
り合わせてからチップに切り分ける組み立て方法を用い
れば、生産性が大幅に向上する。
ッドは、立ち上げミラーの外形幅に制限がなく、また戻
り光の蹴られる領域を最小限にできるので、取り扱いに
十分な幅を有しながら、フォトダイオードチップの面積
を縮小するとともに、ホログラムのパターンのピッチの
拡大もしくはホログラムとフォトダイオードチップの間
隔を狭められるので、組み立てが容易で小型・低コスト
な集積型光ヘッドが実現される。さらに、複数の立ち上
げミラーとフォトダイオードをバーの状態で作製して張
り合わせてからチップに切り分ける組み立て方法を用い
れば、生産性が大幅に向上する。
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す斜視図であ
る。
る。
【図２】本発明の第２の実施の形態を示す斜視図であ
る。
る。
【図３】本発明の第３の実施の形態を示す斜視図であ
る。
る。
【図４】本発明の組み立て方法の実施の形態を示す斜視
図である。
図である。
【図５】本発明の第４の実施の形態を示す斜視図であ
る。
る。
【図６】集積型光ヘッドの従来例を示す斜視図である。
１ 立ち上げミラー ２ レーザダイオードチップ ３ ヒートシンク ４ フォトダイオードチップ ５ ホログラム ６ パッケージ ７ 反射膜 ８ 後方端面 ９ 受光部ａ １０ 受光部ｂ １１ 受光部ｃ １２ 立ち上げミラー １３ 反射膜 １４ マイクロプリズムａ １５ マイクロプリズムｂ １６ ＡＲコート面ａ １７ ＡＲコート面ｂ １８ 立ち上げミラー １９ レーザダイオードチップ ２０ ヒートシンク ２１ フォトダイオードチップ ２２ ホログラム ２３ 受光部ａ ２４ 受光部ｂ ２５ 受光部ｃ ２６ 立ち上げミラー ２７ 反射膜 ２８ マイクロプリズムバー ２９ 立ち上げミラーバー ３０ 受光部 ３１ フォトダイオードバー ３２ ダイシングブレード ３３ 立ち上げミラー ３４ レーザダイオードチップ ３５ ヒートシンク ３６ フォトダイオードチップ ３７ ホログラム ３８ 受光部ａ ３９ 受光部ｂ ４０ 受光部ｃ ４１ レーザダイオードチップ ４２ マイクロミラー ４３ フォトダイオードチップ ４４ ホログラム ４５ 受光部 ４６ 後方端面
Claims (9)
- 【請求項１】光源と、この光源からの光の進行方向を変
える立ち上げミラーと、この立ち上げミラーで反射され
た光を光記録媒体に集光する集光手段と、前記光記録媒
体からの反射光を検出する光検出器と、前記光記録媒体
からの反射光を前記光検出器の受光部に導く波面変換手
段とを備えた光ヘッドにおいて、前記立ち上げミラーが
一部分のみ光を反射しそのほかの部分では光を透過する
マイクロプリズムであることを特徴とする光ヘッド。 - 【請求項２】前記立ち上げミラーが、光を反射したい領
域にのみ反射膜を施したマイクロプリズムであることを
特徴とする光ヘッド。 - 【請求項３】前記立ち上げミラーの反射膜を施した領域
以外の領域に無反射コートを施したことを特徴とする請
求項２記載の光ヘッド。 - 【請求項４】前記立ち上げミラーが光を反射したい部分
に反射膜を施したマイクロプリズムと、このマイクロプ
リズムと屈折率の近い別のマイクロプリズムを前記反射
膜を施した面に張り合わせた構成を有することを特徴と
する請求項２記載の光ヘッド。 - 【請求項５】前記光検出器に前記立ち上げミラーを張り
合わせたことを特徴とする請求項１から４のいずれかに
記載の光ヘッド。 - 【請求項６】前記光検出器に前記立ち上げミラーおよび
前記光源を張り合わせたことを特徴とする請求項１から
４のいずれかに記載の光ヘッド。 - 【請求項７】前記波面変換手段が、ニオブ酸リチウム基
板にイオン交換を施した偏光性ホログラムであることを
特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の光ヘッ
ド。 - 【請求項８】複数の光検出器を備えた基板と、複数の反
射領域を前記光検出器の間隔と揃えて施してあるマイク
ロプリズムとを張り合わせた後、チップに切り分ける工
程を少なくとも含むことを特徴とする光ヘッドの組立方
法。 - 【請求項９】複数の光検出器を備えた基板と、複数の反
射領域を前記光検出器の間隔と揃えて施してあるマイク
ロプリズムと、複数の光源を前記光検出器の間隔と揃え
て設けてあるヒートシンクとを張り合わせた後、チップ
に切り分ける工程を少なくとも含むことを特徴とする光
ヘッドの組立方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9248783A JP2924872B2 (ja) | 1997-09-12 | 1997-09-12 | 光ヘッドとその組立方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9248783A JP2924872B2 (ja) | 1997-09-12 | 1997-09-12 | 光ヘッドとその組立方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1186321A JPH1186321A (ja) | 1999-03-30 |
| JP2924872B2 true JP2924872B2 (ja) | 1999-07-26 |
Family
ID=17183337
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9248783A Expired - Fee Related JP2924872B2 (ja) | 1997-09-12 | 1997-09-12 | 光ヘッドとその組立方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2924872B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4627627B2 (ja) | 2004-03-31 | 2011-02-09 | 富士通株式会社 | マイクロミラー素子および光スイッチ |
-
1997
- 1997-09-12 JP JP9248783A patent/JP2924872B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1186321A (ja) | 1999-03-30 |
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