JP2002130959A

JP2002130959A - 積載装置のワーク受け

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Publication number: JP2002130959A
Application number: JP2000323576A
Authority: JP
Inventors: Yukio Nagano; 由亀雄長野; Nobuo Amagishi; 伸夫天岸
Original assignee: Tabai Espec Co Ltd
Current assignee: Tabai Espec Co Ltd
Priority date: 2000-10-24
Filing date: 2000-10-24
Publication date: 2002-05-09
Anticipated expiration: 2020-10-24
Also published as: JP3785036B2; KR20020032287A; KR100498565B1

Abstract

(57)【要約】【課題】ワーク受け部の清掃や交換作業を容易にする
共に、高温熱処理時のワークのキズ付きを防止する。【解決手段】ワーク受けは、ワークＷを多段に積載す
るカセット１の一部分を構成し、丸軸２、その支持部材
３、等を有する。丸軸２は、Ｙ方向に長尺状に本例では
１本に形成されていて、Ｘ方向の両側に設けられてい
る。支持部材３は、カセット１の両側各４本の支柱１３
に取り付けられていて、丸軸２を４箇所で支持してい
る。【効果】ワーク受けの清掃や交換時には、丸軸２を支
持部材３から容易に着脱でき、カセットの外部で簡単に
速く且つ十分に清掃できる。交換も容易である。又、ワ
ークを長尺状に連続して受けるので、ワークの支持面圧
が小さく、高温処理や振動環境下でもワークにキズがで
きない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、熱処理される液晶
ガラス基板から成る平板状のワークを多段に載せる積載
装置のワーク受けに関し、特に、熱処理温度が５００℃
程度の高温熱処理装置に使用される耐熱カセットのワー
ク受けとして好都合に利用される。

【０００２】

【従来の技術】液晶ガラス基板からなるワークは、従
来、例えば特開平６−６６７１５号、１０−２３２０８
９号、１０−１３２４５６号公報等の熱処理装置に見ら
れるように、熱処理室内に設置され昇降されるゴンドラ
や循環移動するカセットや昇降支持替えされる基板移載
装置等のワーク受けに載せられて熱処理されている。そ
してこの場合、ワークには液晶回路が形成されているた
め、これを傷つけないように支持接触面を最小にするべ
く、ワークをその幅方向の両端の４点又は６点程度の少
ない位置で局部的に支持するワーク受け構造が一般に採
用されている。

【０００３】この構造では、通常ワーク支持位置に支持
棒を立設してこれに各段のワーク受けをネジ等で取り付
け、その先端部分にワークを載せるようにしている。そ
のため、ワークを受ける部材が多段×多点の多数個にな
り、ワーク受けの清掃に時間がかかると共に、ワーク受
けをカセットに装着した状態で清掃するためその作業が
難しかった。

【０００４】一方、液晶ガラス基板のワークは、従来で
は通常２３０℃程度の温度で熱処理されていて、ワーク
受けには通常樹脂材が使用されていたが、最近では、こ
れよりも十分高い温度である５００℃の高温用熱処理装
置が出現し、この熱処理装置に使用するカセットのワー
ク受けには、ステンレス等の耐熱材が使用されるように
なった。この場合、従来の平面状の狭い受け面を持つ多
点支持式のワーク受け構造であっても、ワーク受けの端
の部分は曲面状に面取りされているため、ワーク受けの
角がワークに当たるようなことはなく、ワークにキズ付
き等の問題は生じないと考えられていた。その結果、こ
のような高温熱処理においても、これまでの通常熱処理
温度のワーク受けと同じ多点支持式ワーク受けが採用さ
れていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、５００
℃程度の高い温度になればガラスの性状が多少変化した
り、又、ステンレスやセラミック等の耐熱性材料が従来
用いられていた樹脂材よりも相当硬度が高いことから、
従来通りの多点状支持構造では、ガラスにキズが付く可
能性が高くなっているおそれがある。そして発明者等
は、実験によってこのようなキズの発生を確認した。

【０００６】一方、最近ではガラス基板が薄形化してき
ていて、ワークのたわみ軽減等のために、多点支持式ワ
ーク受けではワーク受けのワーク中心方向への張り出し
長さを長くする傾向にある。その場合には、ワーク受け
がガラス基板の実使用範囲又はその近傍まで入り込むこ
とになり、ワーク受けの先端部分によってワークにキズ
が付くと、製品が不良品になるため、そのようなキズ付
きが許容されない状況になっている。

【０００７】そこで本発明は、ワーク受け部の清掃作業
が容易且つ迅速にできる共に、通常の温度よりも十分高
い温度で熱処理する熱処理装置に使用される場合であっ
ても確実にワークのキズ付きを防止でき、不良品の発生
をなくしてワークの処理能率も上げることができるワー
ク受けを提供することを課題とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、請求項１の発明は、熱処理される液晶ガラ
ス基板から成る平板状のワークを多段に載せる積載装置
のワーク受けにおいて、前記ワークを載せるときにワー
クの進む方向に直角の方向であるワーク幅方向の両側に
設けられていて前記進む方向に長尺状に形成された受け
部材と、該受け部材を少なくとも２箇所で支持するよう
に前記積載装置に設けられた支持部材と、を有すること
を特徴とする。

【０００９】請求項２の発明は、上記に加えて、前記支
持部材は前記受け部材が嵌め込まれて前記両側の一定位
置で支持されるように構成された支持部と該支持部の断
面積より大きい断面積を持ち該支持部の自由端側を形成
しているつば状部とを備え、前記受け部材は前記つば状
部を通過可能なように前記ワーク幅方向に貫通した穴を
有することを特徴とする。

【００１０】請求項３の発明は、請求項１又は２の発明
の特徴に加えて、前記受け部材は通常の熱処理温度より
十分高い温度に耐えられる耐熱性材料から成ることを特
徴とする。

【００１１】

【発明の実施の形態】図１及び図２は本発明を適用した
ワーク受け及びこれを備えた耐熱カセットの構造例を示
す。ワーク受けは、熱処理される液晶ガラス基板から成
る平板状のワークＷを多段として例えば図示の如く２５
段に載せる積載装置であるカセット１の一部分を構成
し、受け部材としての丸軸２、その支持部材３、等を有
する。丸軸２は、ワークＷを載せるときにその進む方向
であるＹ方向に断面積に対して長さが十分長い長尺状と
して本例ではワークＷの長さとほぼ同じ長さに１本に形
成されていて、Ｙ方向に直角の方向であるワーク幅方向
を成すＸ方向の両側に設けられている。支持部材３は、
丸軸２を少なくとも２箇所として本例では２箇所で支持
するようにカセット１に取り付けられている。なお、丸
軸２は通常長さに対して十分な曲げ剛性を持ち殆ど撓ま
ないため、通常２箇所で支持される。

【００１２】支持部材３は、丸軸２が嵌め込まれてＸ方
向の一定位置で支持されるように構成されていて、本体
部分をなす大径軸部３１、これより小径になっている支
持部としての小径軸部３２、その断面積より大きい断面
積を持つように小径軸部３２より大径になっていてその
自由端側を形成しているつば状部であるつば状ストッパ
３３、大径軸部３１の根元側にあって支柱１３にねじ込
まれるねじ部３４、締め付け用ナット部３５、等を備え
ている。丸軸２は支持部材３のつば状ストッパ３３を通
過可能なようにこれより少し大径になっていてＸ方向に
貫通した穴２１を有する。この穴２１は、寸法誤差等に
対応可能なように長穴になっているが、この中に位置の
固定された支持部材３の小径軸部３２を入れることによ
り、丸軸２のＹ方向への動きを一定範囲内に規制するこ
とができる。

【００１３】丸軸２及び支持部材３は、これらを組み合
わせる構造として図１のものとは異なった種々な構造に
形成され得る。図３は、支持部材３の支持部を、丸軸２
を乗せてＸ方向の一定位置で支持できるように切欠き部
３６にした例を示す。図４では、丸軸２側にも切欠き部
２２を設けている。なお、受け部材としては、丸軸２に
限らず、ワークＷが載置されて接触する部分がある程度
の曲率を持つ曲面状になっていれば、基本的な断面形状
は丸形に限らず四角形状や三角形状等の適当な形状であ
ってもよい。

【００１４】このような丸軸２及びその支持部材３を備
えたワーク受けを装備したカセット１は、上下の枠板１
１、１２、これらに両端を固定された本例では８本の前
記支柱１３、等を主要構造部分として組み立てられてい
る。上の枠板１１には重量軽減等のためにそれぞれ大き
な開口１１ａが明けられている。図示していないが下の
枠板１２についても同様である。

【００１５】８本の支柱１３のうちの中間のもの１３₃
及び１３₄の両側で合計４本の支柱には、支持部材３が
それぞれ上下方向に２５段に取付けられていて、ワーク
Ｗは、これらの片側２本の支持部材３で２箇所で支持さ
れた丸軸２上に２５段に載せられる。８本の支柱１３
は、Ｙ方向及びその反対のＹ´方向の両端の支柱１
３₁、１３₂及び前記中間の支柱１３₃及び１３₄で構
成されていて、両端の支柱１３₁、１３₂及び中間の支
柱１３₃及び１３₄にはそれぞれ、Ｙ、Ｙ´方向のワー
クＷの動きを規制するワーク止め板１４、１５及びワー
クＷのＸ方向の位置を案内するサイドガイド１６が取り
付けられている。なお、ワーク止め板１４、１５を図示
の如くＸ方向において丸軸２の中心位置まで張り出した
構造にすれば、丸軸２のＹ、Ｙ´方向の位置を規制する
こともできる。

【００１６】以上のようなワーク受けを装備したカセッ
ト１は、熱処理室内でゴンドラとして昇降するもの、一
定位置に固定配置されているもの、熱処理室に出し入れ
られるもの、等として種々の構造の熱処理装置に使用さ
れる。図５は本発明のワーク受けを装備したカセットを
取り扱えるこのような熱処理装置の一例であるクリーン
オーブンの概略構造の一例を示す。

【００１７】本例のクリーンオーブン４は、ワークＷを
２３０℃程度の通常温度、３５０℃程度の中間高温、又
は５００℃程度の高温等の熱処理すべき温度で処理可能
な装置であり、熱処理室４１、その下方に配置されてい
る空調室４２、これらを囲う断熱壁４３、扉４４、熱処
理する熱風の流れ方向の順に設けられている加熱器４
５、モータ４６ａで回転駆動される送風機４６、熱処理
室急冷用の冷却器４７、高性能フィルタ４８、等で構成
されている。ワークＷのうち低温ポリシリコンＴＦＴや
プラズマディスプレイ等は、５００℃で高温熱処理され
る液晶ガラス基板の一例である。

【００１８】クリーンオーブン４の熱処理室４１内に
は、通常室外でワークＷが積載されたカセット１が入れ
られて熱処理される。カセット１はワークＷが熱処理さ
れると室外に出される。このときには冷却器４７で熱処
理室４１内が急冷される。なお、本発明のワーク受け
は、例えばゴンドラ昇降式熱処理装置のように、常時熱
処理室内にあるカセットに使用されてもよいことは勿論
である。

【００１９】丸軸２の材料は、ワークＷを熱処理すると
きの温度に対応して選択される。即ち、通常の熱処理温
度である２３０℃程度であれば、従来通り樹脂材を使用
し、熱処理温度がこれより十分高い温度である３５０℃
や５００℃になると、そのような温度に耐えられるよう
に、ステンレス鋼、セラミック、石英等の耐熱性材料を
使用することになる。このときには、熱処理室４１を構
成する部材の材料も一般に耐熱性のあるステンレス鋼が
使用される。以上のようなワーク受けは、カセット１に
装備され、ワークＷを積載してカセットと共にクリーン
オーブン４に入れられ、熱処理工程において以下のよう
な機能を発揮する。

【００２０】ワークＷは、カセット１に装備された受け
部材である両側の２５段の丸軸２の上に、ロボットハン
ド等によって本例では熱処理室の外でＹ方向から載せら
れる。このとき及びこれ以後に熱処理室内に出し入れさ
れるときにおいても、カセットのワーク止め１４、１５
及びサイドガイド１６により、ワークＷが丸軸２上に確
実に支持されて一定範囲内の位置に保持される。

【００２１】カセット１が熱処理室４１内に入れられる
と、空調室４２内の諸機器が運転され、ワークＷが所定
の熱処理温度で熱処理される。この場合、熱処理温度が
５００℃にもなると、ガラスの硬度が下がるなどガラス
の性状が多少変化したり、又、ワーク受けとして従来用
いられていた樹脂材よりも硬いステンレスやセラミック
等の耐熱性材料が用いられるため、送風機４６やそのモ
ータ４６ａ等の動力機械によってもたらされる熱処理室
４１の振動等により、液晶ガラス基板から成るワークＷ
の表面がキズ付く可能性が高くなっている。

【００２２】しかしながら、本発明の丸軸２によってワ
ークＷを支持すれば、従来の点支持状のワーク受けに較
べて、ワークＷとその受け面との間の接触面圧が大幅に
小さくなっているため、ワークＷのキズ付きを確実に防
止することができる。即ち、図６に示す如く、本発明の
ワーク受けでは、その長さをＬ、円と直線との接線で理
論的には点であるが実際には僅かに生ずる接線接触幅を
δｗとすれば、ワークＷと丸軸２との接触面積はＡ₁＝
Ｌ×δｗとなる。

【００２３】これに対して従来のワーク受けでは、仮に
本発明の丸軸２を除去して片側４本の支持部材３でその
載置部の断面を角形にしてこれでワークＷを受けたとす
れば、図７（ａ）に示すそのＹ方向の長さｓの４箇所の
合計長さは、例えば図１に示すようにＬ／１０程度にな
る。一方、ワークＷにたわみが生ずる等によってワーク
下面とその受け面とを断面で見て長い線状に沿わせるこ
とはできないため、同図（ｂ）に示す如く実際に接触す
る長さは結局上記δｗと同程度になる。従って、その接
触面積はほぼＡ´＝Ｌ×δｗ／１０となり、本発明のワ
ーク受けに較べて大幅に小さくなる。その結果、接触面
圧が１０倍程度になり、キズができやすい状態になる。

【００２４】これに対して前記の如く本発明のワーク受
けは極めて安全にできている。従って、例えば熱処理中
に５００℃の環境において送風機の振動等によってカセ
ット及びワークが振動したり、振動環境複合試験を行う
ようなときに、ワーク受けにワークＷの自重の数倍の接
触荷重が仮に衝撃的にかかるようなことがあっても、本
発明のワーク受けでは、ワークにキズ付きの生ずるおそ
れが全くなくなる。

【００２５】このような状況により、発明者等は、本発
明を適用したワーク受けと従来のワーク受けとを用い
て、５００℃の熱処理温度を含んでワークへのキズ付き
の有無を調べる実験を行い、下表のような結果を得た。

【００２６】

【表１】上記実験において、とのステンレス丸棒及びセラミ
ック丸棒を丸軸２とし、その２箇所を支持部材３で受け
てワークＷを支持したときの状態を図８（ａ）に示す。
又、及びの石英ガラス及びステンレスピンのワーク
受け３´によってワークＷを７点受けしたときの状態及
びワーク受け３´の側面形状をそれぞれ（ｂ）及び
（ｃ）に示す。これらの図におけるＸ₁、Ｘ₂、Ｙ₁、
Ｙ₂は、表中の丸棒のズレ量の方向を示す。

【００２７】実験種類Ｃの振動発生機を用いた試験は、
振動発生機単体の上にワークＷの入ったカセット１を乗
せて実施されている。この試験では、振動発生機によっ
て全周波数範囲でＸＹＺ方向にそれぞれ０．３５、０．
３２、３．７ｍ／ｓ²の加速度及び２２、２０、４０５
μｍの振幅をカセット１に発生させた。この振動によっ
て丸棒にはズレが生じている。

【００２８】以上の実験結果によれば、振動発生機でカ
セットを強制的に振動させたりクリーンオーブン内を５
００℃の高温条件にした場合でも、本発明の丸棒使用の
ワーク受けではワークＷに全くキズの発生が無かった。
なお丸棒のワーク受けでは、送風機による振動や特に振
動発生機使用の振動により、ワーク受け上のワークＷに
位置ズレが生じた。しかし、クリーンオーブンでは実際
にはカセットに振動を与えるような試験をすることはな
く、又、このような位置ズレは、カセットのワーク止め
１４、１５及びサイドガイド１６によって規制され、問
題にはならない。なお、図１（ｃ）に示す如く、丸軸２
をワーク止め１５の近傍まで延設してその間隔ｃを十分
小さくして、ワークＷに位置ズレが生じても、丸軸２の
軸端部でワークＷにキズ付きが生ずる可能性をなくして
いる。図示していないがワーク止め１４側も同様であ
る。

【００２９】一方、従来通りの多点（７点）受けのワー
ク受けでは、５００℃の条件で石英ガラス及びステンレ
スの何れの材料の場合にもキズが発生した。図９及び図
１０は、図８（ｂ）及び（ｃ）に示す石英ガラス板の多
点支持ワーク受け使用時に、ワーク受け３´の先端受け
面位置Ｐに対応するワークＷの裏面位置に生じたキズＫ
の状態を例示した図である。キズＫは白い線で囲った中
に示されているものである。これらのキズＫは、図８
（ｂ）のワーク受けのうちの３´ａ及び３´ｂのもので
ある。なお図はデジタルマイクロスコープで約２３倍の
大きさに写したものであり、キズは何れもワークＷの端
面Ｗｅから３ｍｍ程度内側に入った所にできた２ｍｍ程
度の長さのものである。キズの状態は目視観察でも確認
されている。なお、図ではキズのように白く写った部分
が無数に見られるが、これらはガラスのキズではなくガ
ラスを置いたときのバックシートのものである。以上の
実験から、５００℃の高温条件でクリーンオーブンにあ
る程度の振動があっても、本発明を採用した丸軸２のワ
ーク受けでは、ワークＷへのキズ付きを完全に防止でき
ることが確認された。

【００３０】なお、丸軸２は、その穴２１の部分が支持
部材３のつば状ストッパ３３を通過して小径軸部３２に
嵌まって落ち込んでいるので、支持部材３に固定されて
いないが、カセット１に振動等の動きが生じても、穴２
１がつば状ストッパ３３を越えて支持部材３から外れる
おそれは全くない。図３又は図４のような構造のワーク
受けでは、丸軸２又はその切欠き部２２が支持部材３の
切欠き部３６に嵌まり込んでいるだけであるから、両者
の結合状態が多少外れやすい傾向になるが、振動発生機
を使用しない通常のクリーンオーブン等では、丸軸２が
支持部材３から外れて脱落するようなおそれはない。

【００３１】ワークＷの熱処理が終了すると、加熱器４
５がオフになり、熱処理室急冷用の冷却器４７が運転さ
れ、熱処理室４１内が十分冷却されると、扉４４が開け
られてカセット１が取り出され、熱処理すべきワークを
積載した新たなカセット１が再び熱処理室４１に入れら
れ、以上と同じ方法で熱処理される。このようなワーク
Ｗの高温熱処理をある程度の期間実施すると、ワーク受
けを構成する丸軸２に微量の汚れが付着することがあ
る。そして、液晶ガラス基板からなるワークの熱処理工
程ではクリーンな環境及びワーク処理条件が厳しく要求
されるので、カセット１は通常２〜３週間程度に一度清
掃される。又、ワーク受けは熱変形やワークハンドリン
グ時の損傷等によって交換されることもある。

【００３２】そのようなときには、支持部材３の小径軸
部３２に嵌まって落ち込んでいる穴２１の形成された丸
軸２を人が手で少し持ち上げ、穴２１とつば状ストッパ
３３とを位置合わせすることにより、工具を使用するこ
となく、丸軸２を支持部材３から容易に取り外すことが
できる。そして、カセット１の外部の広い操作性のよい
場所で丸軸２を容易に短時間で十分に清掃することがで
きる。又、必要時に丸軸２を容易に交換することができ
る。なお、図３及び図４のワーク受けでは、支持部材３
から丸軸２を取り外す操作は一層容易である。

【００３３】これに対して従来のワーク受けでは、本例
の装置の支持部材３に相当する受け部材のワークＷの載
せられる部分を清掃する必要があるが、その数が丸軸２
の数倍になり多いと共に、狭いカセット内で作業する必
要があるため、清掃作業がやりにくく時間がかかると共
に清掃の程度も悪くなっていた。なお、支持部材をカセ
ットから取り外して清掃するとすれば、工具が必要なる
と共に、取外し作業が更に大変になる。

【００３４】

【発明の効果】以上の如く本発明によれば、請求項１の
発明においては、積載装置に設けられた支持部で支持さ
れる長尺状の受け部材がワークの幅方向の両側に設けら
れているので、受け部材の清掃や交換が容易になる。

【００３５】即ち、支持部材は積載装置の構造部分にネ
ジ止め等で固定的に取り付けられ、これを構造部材から
取り外すことは容易でないと共に、受け部材を少なくと
も２箇所で受けるためその数は少なくとも受け部材の２
倍になる。ところが、清掃や交換が必要になるのは主と
してワークを載せてこれと接触する受け部材であるの
で、その数が少ないため、その分だけ清掃や交換が容易
になる。

【００３６】又、受け部材を長尺状にして支持部材で支
持するようにするので、受け部材を支持部材に固定的に
取り付けてもよいが、通常その必要性は少なくなる。即
ち、受け部材と支持部材とを嵌合関係に結合する等によ
り、熱処理工程中では両者の結合が外れず、清掃や交換
のときには人が手で扱うことによって容易に両者の結合
を分離できる構造にすることができる。その結果、工具
等を使用することなく、清掃や交換の必要のある受け部
材を支持部材から容易に取り外して、積載装置の外の広
くて操作性のよい場所において、これを容易に短時間で
十分に清掃することができる。

【００３７】更に、ワークの進む方向に長尺状の受け部
材でワークを支持すれば、従来の点支持状のワーク受け
に較べて、ワークと接触する接触面積を大幅に増加さ
せ、ワークの接触面圧を大幅に低減させることができ
る。その結果、振動や高温環境下においても熱処理時の
ワークのキズ付きを確実に防止し、不良製品を無くして
熱処理工程の能率を上げることができる。

【００３８】請求項２の発明においては、請求項１の発
明に加えて、支持部材に受け部材を嵌め込んで両側の一
定位置で支持できる支持部とこの部分より大きい断面積
を持ちその自由端側を形成しているつば状部とを設ける
と共に、受け部材にこのつば状部を通過可能なようにワ
ーク幅方向に貫通した穴を設けるので、受け部材の穴を
支持部材のつば状部を通過させて支持部に嵌脱させるこ
とにより、受け部材を支持部材に容易に着脱することが
できる。

【００３９】一方、受け部材が支持部材に装着されワー
クを受ける状態にしたときには、受け部材の穴がつば状
部より大きくても、受け部材の穴がこれより断面積の小
さい支持部材の支持部に嵌まり込むので、この穴がつば
状部を越えることはなく、受け部材と支持部材との結合
状態を確実に維持することができる。即ち、受け部材が
支持部材から外れて脱落するためには、仮に受け部材が
支持部材に２箇所だけで支持されていたとしても、２箇
所の受け部材の穴が同時に２箇所の支持部材のつば状部
を越えるなければならないので、積載装置に振動等があ
ってもそのようなおそれは全くない。その結果、ワーク
受けの安全性を確保しつつ、受け部材を支持部材に容易
に着脱できるようにして、清掃や交換時の取り扱い性を
よくすることができる。

【００４０】請求項３の発明においては、請求項１又は
請求項２の発明に加えて、受け部材を通常の熱処理温度
である２３０℃程度より十分高い温度として例えば５０
０℃に耐えられる耐熱性材料にするので、ワークを高温
で処理可能なワーク受けを提供することができる。そし
て、受け部材を上記のような長尺状にするので、ステン
レス等の硬い材料であっても、ワークとの接触面積が十
分大きくなっているため、接触面圧を下げて高温又はこ
れに加えて振動環境下においても、ワークへのキズの発
生を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用したワーク受けの各部分の構造例
を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は縦断面図、（ｃ）は
平面図、（ｄ）は正面図、（ｅ）は後面図であり、
（ａ）及び（ｂ）では拡大して示している。

【図２】上記ワーク受けを装備したカセットの構造例を
示し、（ａ）は平面図で（ｂ）は正面図である。

【図３】丸軸と支持部材との結合関係の他の例を示す正
面図である。

【図４】丸軸と支持部材との結合関係の更に他の例を示
し、（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ（ｂ）及び（ａ）のａ
−ａ線及びｂ−ｂ線断面図である。

【図５】本発明のワーク受けを装備したカセットを用い
て熱処理する熱処理装置の一例であるクリーンオーブン
の側面図である。

【図６】上記ワーク受けの丸軸のワーク支持状態を示
し、（ａ）は正面図で（ｂ）は側面図である。

【図７】従来のワーク受けのワーク支持状態を示し、
（ａ）は平面図で（ｂ）は正面図である。

【図８】（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ本発明及び従来の
ワーク受けを用いた実験時のワーク支持状態を示す平面
図で（ｃ）は従来のワーク受けの正面図である。

【図９】従来のワーク受けでワークに生じたキズの一例
を示す説明図である。

【図１０】従来のワーク受けでワークに生じたキズの他
の例を示す説明図である。

【符号の説明】

１カセット（積載装置）２丸軸（受け部材）３支持部材２１穴３２小径軸部（支持部）３３つば状ストッパ（つば状部）ＷワークＸＸ方向（直角の方向、ワーク幅方
向）ＹＹ方向（ワークの進む方向）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】熱処理される液晶ガラス基板から成る平
板状のワークを多段に載せる積載装置のワーク受けにお
いて、前記ワークを載せるときにワークの進む方向に直角の方
向であるワーク幅方向の両側に設けられていて前記進む
方向に長尺状に形成された受け部材と、該受け部材を少
なくとも２箇所で支持するように前記積載装置に設けら
れた支持部材と、を有することを特徴とするワーク受
け。
【請求項２】前記支持部材は前記受け部材が嵌め込ま
れて前記両側の一定位置で支持されるように構成された
支持部と該支持部の断面積より大きい断面積を持ち該支
持部の自由端側を形成しているつば状部とを備え、前記
受け部材は前記つば状部を通過可能なように前記ワーク
幅方向に貫通した穴を有することを特徴とする請求項１
に記載のワーク受け。
【請求項３】前記受け部材は通常の熱処理温度より十
分高い温度に耐えられる耐熱性材料から成ることを特徴
とする請求項１又は２に記載のワーク受け。