JP2002122382A5 - - Google Patents

Description

【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、基板を収納するための開口部を有すると共に、該開口部を密閉可能に覆う蓋体を備えた容器本体と、該容器本体内において前記基板に接触する気流の循環流路を形成するファンモータと、前記基板に向かって流れる気流の流路に配置された粒子除去フィルタおよびガス状不純物捕捉フィルタと、前記循環流の流路に配置された固体高分子電解質膜と、該電解質膜が前記気流中の水分を分解して除湿を行うための電圧供給手段とからなる除湿手段とを備えたことを特徴とする基板容器である。すなわち、基板を収納するための開口部を有すると共に、該開口部を密閉可能に覆う蓋体を備えた容器本体と、該容器本体内において前記基板に接触する気流の循環流を形成するファンモータと、前記循環流の流路に配置された固体高分子電解質膜と、該電解質膜が前記気流中の水分を分解して除湿を行うための電圧を供給する電源ユニットを含む除湿ユニットとを備えたことを特徴とするものである。

【００１１】
また、前記容器本体は、前記基板に向かって流れる流路に配置されて基板をその主面を前記基板に向かって流れる気流の流路にほぼ平行に前記基板を保持する基板保持部を備えることが好ましい。これにより、基板保持部に保持された基板に対して、前記除湿され、粒子状汚染物質及びガス状汚染物質が除去された清浄気流を供給することができる。

Claims (12)

1. 基板を収納するための開口部を有すると共に、該開口部を密閉可能に覆う蓋体を備えた容器本体と、
   該容器本体内において前記基板に接触する気流の循環流を形成するファンモータと、前記基板に向かって流れる気流の流路に配置された粒子除去フィルタおよびガス状不純物捕捉フィルタと、
   前記循環流の流路に配置された固体高分子電解質膜と、該電解質膜が前記気流中の水分を分解して除湿を行うための電圧供給手段とからなる除湿手段とを備えたことを特徴とする基板容器。
2. 前記気流の流路にほぼ平行に前記基板を保持する基板保持部を備えたことを特徴とする請求項１に記載の基板容器。
3. 基板又は基板を保持する容器を個別に出し入れ可能な複数の収容室と、
   前記各収容室に連通する送気通路及び排気通路を介して前記各収容室内に清浄空気を循環させる共通の空気循環手段とを、更に備えたことを特徴とする請求項１に記載の基板容器。
4. 前記請求項１乃至３のいずれかに記載の基板容器において、前記除湿手段は、前記固体高分子電解質膜の一方の面に除湿反応を促進するための触媒が添着された陽極と、他方の面に陰極を備え、前記固体高分子電解質膜に所定の電圧を供給することで、前記基板容器内の湿度を任意に制御可能としたことを特徴とする基板容器。
5. 前記容器本体内に、乾燥ガスを充填中又は充填後に、前記固体高分子電解質膜による除湿を行うことにより低湿度を維持することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の基板容器。
6. 前記容器本体の外壁に不透湿材料又は透湿材料に不透湿材料を被覆した材料を用いたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の基板容器。
7. 基板を収納する容器内に循環気流を形成し、該循環気流に接触するように固体高分子電解質膜を配置し、該電解質膜に電圧を供給することで、前記循環気流中の水分を分解して除湿することを特徴とする基板容器の除湿方法。
8. 前記基板容器内に、乾燥ガスを充填中、又は充填後に、前記固体高分子電解質膜による除湿を行うことにより、低湿度を維持することを特徴とする請求項７記載の基板容器の除湿方法。
9. 基板を収納するための開口部を有すると共に、該開口部を密閉可能に覆う蓋体を備えた容器本体と、
   該容器本体内において前記基板に接触する気流の循環流を形成するファンモータと、
   前記循環流の流路に配置された固体高分子電解質膜と、該電解質膜が前記気流中の水分を分解して除湿を行うための電圧を供給する電源ユニットを含む除湿ユニットとを備えたことを特徴とする基板容器。
10. 前記基板に向かって流れる気流の流路に配置された粒子除去フィルタを備えたことを特徴とする請求項９記載の基板容器。
11. 前記基板に向かって流れる気流の流路に配置されたガス状不純物捕捉フィルタを備えたことを特徴とする請求項９記載の基板容器。
12. 前記固体高分子電解質膜は、前記気流の循環流路において、前記粒子除去フィルタまたはガス状不純物捕捉フィルタの上流側に配置されていることを特徴とする請求項１０または１１記載の基板容器。