JP2002105291A - 光半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び光半導体装置 - Google Patents

光半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び光半導体装置

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JP2002105291A
JP2002105291A JP2001225081A JP2001225081A JP2002105291A JP 2002105291 A JP2002105291 A JP 2002105291A JP 2001225081 A JP2001225081 A JP 2001225081A JP 2001225081 A JP2001225081 A JP 2001225081A JP 2002105291 A JP2002105291 A JP 2002105291A
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optical semiconductor
cured product
epoxy
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Shinji Komori
慎司 小森
Masahito Akiyama
仁人 秋山
Satoshi Segawa
聡 瀬川
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Sumitomo Bakelite Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 透明性及び耐半田性に優れ、さらに電気特性
の優れた光半導体封止用エポキシ樹脂組成物の及びその
硬化物で封止された光半導体装置を提供する。 【解決手段】 1分子内に2個以上のエポキシ基を有す
るエポキシ樹脂、酸無水物硬化剤、硬化促進剤、無機充
填材を必須成分とする光半導体封止用エポキシ樹脂組成
物において、硬化促進剤が、一般式(1)で表される化
合物であり、かつ、無機充填材がガラス粉末であって、
該ガラスが、ガラスを除いた前記エポキシ樹脂組成物成
分の硬化物と±0.01以下の屈折率差を有することを
特徴とする光半導体封止用エポキシ樹脂組成物及びその
硬化物で封止された光半導体装置である。 【化1】

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、透明性及び耐半田
性に優れた光半導体封止用エポキシ樹脂組成物及びその
硬化物で封止された光半導体装置に関するのものであ
る。
【0002】
【従来の技術】近年、通信情報機器の小型化、集積密度
の向上及び製造プロセスの簡略化をねらい、半導体産業
において従来の実装方法にかわり、表面実装方法の要求
が急速に高まっている。さらにオプトエレクトロニクス
の分野に着目すると、従来の半導体封止樹脂の機能に加
えて、透明性が非常に重要な要因となっている。すなわ
ち、フォトセンサー、LED、発光素子等のオプトデバ
イスにおいては、表面実装におけるIRリフロー等の実
装方式を行っても、透明性が損なわれることなく、その
上、熱衝撃によるパッケージクラックの発生や、チップ
やリードフレームと樹脂間に剥離を生じず、高い信頼性
のある封止用樹脂が求められている。
【0003】光半導体封止用の樹脂としては、これまで
に数多く示されている。例えば、特開昭58−1287
56号公報には、4級アンモニウムのハロゲン塩を硬化
促進剤に用いる技術が記載されている。本発明者らが、
この技術を光半導体封止用の樹脂組成物に適用したとこ
ろ、電気特性の不良や、プレッシャークッカー処理及び
85℃、湿度85%の高温高湿処理などの吸湿処理後
の、アルミ配線の断線不良が発生する不具合を生じるこ
とがわかった。本発明者らが類推するには、詳細なとこ
ろは不明だが、カウンターアニオンであるハロゲン原子
が多量に含まれているために引き起こしたと考えられ
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、透明性及び
耐半田性に優れ、さらに電気特性の優れた光半導体封止
用エポキシ樹脂組成物の及びその硬化物で封止された光
半導体装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明らは、特定の硬化
促進剤及び充填材を用いることにより、吸水率を低減
し、かつ高い透明性及び耐半田性を両立し、さらに電気
特性の優れた樹脂組成物が得られることを見いだし、本
発明を完成するに至った。
【0006】すなわち、本発明は、1分子内に2個以上
のエポキシ基を有するエポキシ樹脂(A)、酸無水物硬
化剤(B)、硬化促進剤(C)、充填材(D)を必須成
分とし、硬化促進剤(C)が、一般式(1)で表される
化合物であり、かつ、充填材(D)がガラス粒子であっ
て、該充填材が、それ以外の成分からなる組成物の硬化
物と0.01以下の屈折率差を有することを特徴とする
光半導体封止用エポキシ樹脂組成物及びその硬化物で封
止された光半導体装置である。
【0007】
【化3】 (式中、Nは窒素、R1、R2、R3、R4は独立してアリ
ール基、アルキル基、水素のいずれかであって、同一で
あっても異なっていても良い。カウンターアニオンX-
は、脂肪族或いは芳香族カルボン酸を示す。)
【0008】
【発明の実施の形態】本発明に用いる、1分子内に2個
以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂(A)は、1分
子内に2個以上のエポキシ基を有していれば、何ら制限
されるものではく、具体的には、ビスフェノールA型エ
ポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフ
ェノールS型エポキシ樹脂などのビスフェノール型エポ
キシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、水素化添加ビス
フェノールA型エポキシ樹脂等の2個のエポキシ基を有
するエポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹
脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、アルキル変
性トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、トリグリシジ
ルイソシアヌレートのなどの多官能複素環式エポキシ樹
脂、ポリ(エポキシ化シクロヘキセンオキサイド)など
の多官能脂環式エポキシ樹脂等の3個以上のエポキシ基
を有するエポキシ樹脂などが好ましく挙げられる。これ
らのうち、透明性の観点から着色の少ない、ビスフェノ
ール型エポキシ樹脂や複素環式エポキシ樹脂を用いるこ
とがより好ましく、複素環式エポキシ樹脂の中でもトリ
グリシジルイソシアヌレートが好ましい。これらを単独
もしくは2種以上用いても何ら差し支えない。
【0009】本発明の光半導体封止用エポキシ樹脂組成
物には、ビスフェノール型エポキシ樹脂として、一般式
(2)で表されるエポキシ樹脂を用いることもできる。
該エポキシ樹脂は、ビスフェノールF型エポキシ樹脂の
溶融粘度の低い特長と、ビスフェノールA型エポキシ樹
脂の色調安定性の両者の特長を兼ね備えるため好まし
い。このエポキシ樹脂が、優れた成形性を発現させる必
要がある場合、nは1以上、7以下であることが好まし
い。また、一般式(2)で表されるエポキシ樹脂とトリ
グリシジルイソシアヌレートを併用することにより、透
明性、耐熱性、成形性を両立させることができ、好まし
い。
【0010】
【化4】 (但し、式中、RはC(CH32またはCH2の両者を
表し、それぞれ少なくとも1個以上有する。nは1以
上、7以下である。)
【0011】本発明に用いる酸無水物硬化剤(B)とし
ては、無水フタル酸、無水マレイン酸、無水トリメリッ
ト酸、無水ピロメリット酸、ヘキサヒドロ無水フタル
酸、3−メチル−ヘキサヒドロ無水フタル酸、4−メチ
ル−ヘキサヒドロ無水フタル酸、あるいは3−メチル−
ヘキサヒドロ無水フタル酸と4−メチル−ヘキサヒドロ
無水フタル酸との混合物、テトラヒドロ無水フタル酸、
無水ナジック酸、無水メチルナジック酸などが例示され
るが、特にこれらに限定されるものではなく、単独もし
くは2種以上用いても差し支えない。
【0012】本発明に用いる硬化促進剤(C)として
は、一般式(1)で表される化合物を用いれば、高い透
明性を有し、かつ電気特性も良好な硬化物が得られる。
【0013】本発明に用いる、一般式(1)で表される
化合物の窒素上の置換基R1〜R4は、独立してアリール
基、アルキル基、水素のいずれかであって、同一であっ
ても異なっていても良い。特に、窒素上の置換基がアル
キル基の場合、高い透明性を有し、より好ましい。アル
キル基としては、メチル基、エチル基、ブチル基、シク
ロヘキシル基、イソプロピル基、オクチル基等が挙げら
れ、また、アリール基としては、ベンゼン環、ナフタレ
ン環等が挙げられる。
【0014】本発明で用いる一般式(1)で表される化
合物のカウンターアニオンX-は、脂肪族或いは芳香族
カルボン酸である。組成物の硬化時に生じる発熱を最小
限に抑えることができると共に、着色を低く抑えられる
ため、高い透明性を得ることができる。さらに、カルボ
ン酸は、エポキシ樹脂と反応することができ、硬化時に
架橋構造に取り込まれるため、エポキシ樹脂組成物の硬
化物で封止された半導体装置のプレッシャークッカー処
理や85℃、湿度85%の高温高湿処理などの吸湿処理
後の、アルミ配線の断線不良が発生する不具合が生じる
ことなく、優れた電気特性を示す。カウンターアニオン
-の具体的な例としては、酢酸、プロピオン酸、ウン
デカン酸、オクチル酸、吉草酸、アジピン酸、マロン
酸、シクロヘキサンジカルボン酸、安息香酸、サリチル
酸、ナフトエ酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル
酸、ピロメリット酸等があげられる。特に、酢酸、オク
チル酸等の脂肪族カルボン酸は透明性の観点でより好ま
しい。
【0015】本発明に用いる一般式(1)で表される化
合物は、当業者間では公知の技術によって得ることがで
きる。例えば、水酸化4級アンモニウムとカルボン酸と
を反応させる方法、3級アミンを炭酸ジエステルと反応
させる方法等が例示できる。
【0016】本発明に用いる充填材(D)は、それ以外
の成分からなる組成物の硬化物と0.01以下の屈折率
差を有するガラス粒子であれば、その種類に制限はな
い。充填材が、それ以外の成分からなる樹脂組成物の硬
化物との屈折率差の絶対値が0.01を越えると、充填
材の表面で光の散乱損失が生じ、透明性が低下する。充
填材の具体例としては、ほう珪酸ガラス、シリカガラ
ス、無アルカリガラスなどのガラスを利用することがで
きる。これらのうち、SiO2、CaO、及びAl23
からなるガラスは、これら3成分の成分比を変化させる
ことで、屈折率を調整することができるため好ましい。
【0017】本発明の樹脂組成物において、SiO2
CaO、及びAl23からなるガラスと、それ以外の成
分からなる樹脂組成物の硬化物との屈折率を整合させる
方法としては、SiO2を40〜70重量%、CaOを
1〜40重量%、Al23を5〜30重量%の割合で、
合計が100重量%となるように成分を調整するのが好
ましい。
【0018】さらに、高い透明性を得るためには、充填
材が球状であり、平均粒径が5μm以上、100μm以
下であることがより好ましい。形状を球状にすることに
より、比表面積が最小になり、光の散乱損失が小さく抑
えることができる。また、特に、前記平均粒径では、ガ
ラス粒子の凝集による透明性低下や、成形時の成形不良
が生じることがなく好ましい。ここで、成形不良とは金
型のゲート部で樹脂詰まりがおこり、未充填となること
などである。また、前記充填材の粒径測定には、公知の
方法を用いればよいが、レーザー光散乱法で粒子の体積
粒径分布を測定し、粒子の真密度の値を用いて重量粒径
分布に換算する方法を用いるのが好適である。
【0019】さらに、樹脂組成物の高い透明性を得るた
めに、ガラス粒子が、1mmの光路長で波長400nm
において80%以上の光透過率を有することが好まし
い。光透過率の測定は、分光光度計等の光透過率を測定
できる装置であれば何ら制限されるものではない。分光
光度計としては島津自記分光光度計UV−3100(積
分球装置設置型)で測定することが簡便でより好まし
い。測定サンプルはガラスの塊状のものを用いれば良
く、例えば、10×30×1mmの直方体の板を作り、
表面を平滑にして1mmの厚みで測定すればよい。ガラ
スの波長400nmの光透過率が80%未満の場合、エ
ポキシ樹脂組成物に配合しても高い透明性を得ることが
できない恐れがある。ガラスの波長400nmの光透過
率が80%以上となるガラスを製造する方法としては、
ガラスの製造工程中に、減圧脱泡する方法や、ガラスの
溶融時に空気や窒素などのガスを吹き込んでバブリング
し、微細な気泡を大きな気泡に吸着させることで、気泡
が容易に除去できるようにする方法が利用でき、また必
要に応じて消泡材などの添加剤を利用することもでき
る。
【0020】充填材の配合量としては、エポキシ樹脂組
成物中に5〜70重量%が、吸水率低減、耐半田性、透
明性、成形性の上で好ましい。
【0021】本発明の光半導体封止用エポキシ樹脂組成
物には、上記成分以外に、必要に応じて、他のエポキシ
樹脂、酸化防止剤、離型剤、カップリング剤、充填材等
の当業者にて公知の添加剤、副資材を組み合わせること
は何らさしつかえない。
【0022】本発明の光半導体封止用エポキシ樹脂組成
物は、上記の各成分を適宜配合するが、例えば、エポキ
シ樹脂と硬化剤の当量比、すなわち、エポキシ樹脂のエ
ポキシ基と酸無水物硬化剤の酸無水物基のモル比を、
0.8〜1.4、より好ましくは1.0〜1.2とし、
エポキシ樹脂および硬化剤の総重量を100重量部とし
た時、硬化促進剤の添加量は0.5〜2重量部が好まし
い。
【0023】本発明の樹脂組成物は、成分(A)〜
(D)、及びその他の添加剤を、ミキサー等を用いて混
合後、加熱ニーダや加熱ロール、押し出し機等を用いて
加熱混練し、続いて冷却、粉砕することで得られる。ま
た、成分(A)、(B)を予め反応釜等で加熱混合し、
Bステージ状態の樹脂組成物を得た後に、前述工程を経
ることでも得られる。
【0024】このようにして得られた光半導体封止用エ
ポキシ樹脂組成物を用いての封止は、一般的な方法でで
きるが、例えば、トランスファー成形法等により、光半
導体素子を封止して、エポキシ樹脂組成物の硬化物で封
止された光半導体装置を得ることができる。
【0025】本発明の光半導体装置において、エポキシ
樹脂組成物の硬化物は、2.0%以下の吸水率および8
0%以上の波長400nm光透過率を有することが、半
田工程における水分の影響によるクラック等を生じず耐
半田性に優れ、また、高い透明性を示すため、光半導体
の封止に用いた際、発光した光を効率よく外部に放出で
きるため好ましい。吸水率は、0%であることが、最も
良いが、低いほど良い。また、光透過率は、100%で
あることが最も良く、大きいほど良い。吸水率の試験方
法としては直径50mm、厚み3mmの円盤状の試験片
を、85℃、湿度85%に設定した恒温恒湿槽に168
時間放置し、吸水処理前後の硬化物の重量変化率から算
出して得られる。
【0026】
【実施例】以下に、本発明についてさらに詳細に説明す
るため実施例を示すが、これらに本発明が限定されるも
のではない。
【0027】(実施例1〜6、比較例1〜7)成分
(A)〜(D)に相当する成分、およびその他添加剤
を、表1、2に示した配合割合で混合し、2本ロールを
用いて、50〜90℃で5分間混練し、得られた混練物
シートを、冷却後粉砕して樹脂組成物を得た。なお、本
実施例、比較例において用いたガラス充填材は、すべて
SiO2、CaO、およびAl23からなる球状ガラス
であり、且つ、充填材ガラスとガラス以外の成分の硬化
物の屈折率差の絶対値については、予め、充填材以外の
硬化物の屈折率を確認し、表1及び表2の値になるよう
に前記ガラスの成分比を調整した。
【0028】評価方法は以下の通りであり、結果は表
1、2にまとめて示す。 [光透過率の測定]上記の樹脂組成物タブレットを、金
型温度150℃、注入圧力6.86MPa、硬化時間9
0秒の条件でトランスファー成形し、30×10×1m
mの成形品を得た。この成形品を、積分球を搭載した分
光光度計(島津製作所製自記分光光度計UV−310
0)を用いて、波長400nm、厚み1mmの光透過率
を測定した。
【0029】[ガラス転移温度の測定]上記の樹脂組成
物タブレットを、金型温度150℃、注入圧力6.86
MPa、硬化時間90秒の条件でトランスファー成形
し、この成形品を、温度150℃の熱風オーブンで2時
間ポストキュアした後、熱膨張計(セイコー電子社製T
MA120)を用い、5℃/分の昇温速度で昇温して、
テストピースの伸び率が急激に変化する温度をガラス転
移点として測定した。
【0030】[吸水率の評価]上記の樹脂組成物タブレ
ットを、金型温度150℃、注入圧力6.86MPa、
硬化時間90秒の条件でトランスファー成形し、直径5
0mm、厚み3mmの円板状の成形品を得た。この成形
品を、温度150℃の熱風オーブンで2時間ポストキュ
アした後、温度85℃、相対湿度85%に設定した恒温
恒湿槽に168時間放置し、保管前後の重量変化率を吸
水率として測定した。
【0031】[流動性の評価]成形前の樹脂組成物を、
EMMI−I−66に準じたスパイラルフロー測定用の
金型を用い、成形温度175℃、注入圧力6.86MP
a、硬化時間5分の条件で成形し、充填した長さが60
cmを上回るものを○、そうでないものを×として評価
した。
【0032】[耐湿信頼性の評価]上記の樹脂組成物タ
ブレットを、メラミン樹脂クリーニング材によりクリー
ニング済みの耐湿評価用16ピンDIP金型を用いて、
金型温度150℃、注入圧力6.86MPa、硬化時間
90秒でトランスファー成形し、温度150℃の熱風オ
ーブンで、2時間後硬化させた。得られた光半導体パッ
ケージを、所定の時間125℃、2.3気圧のオートク
レーブ中、不飽和100%の水蒸気中で20Vの電圧を
引加した後、断線不良を調べるPCBT(プレッシャー
クッカーバイアステスト)を行なった。評価した半導体
パッケージの内の半数に不良が生じるまでの時間を、P
CBT不良時間とした。なお、評価時間は最長で500
時間とし、その時点で不良件数が半数未満であったもの
については、不良時間を500時間以上と表記した。こ
の時間が長いほど、耐湿信頼性が良いことを示す。
【0033】[耐半田性の評価]上記の樹脂組成物タブ
レットを、メラミン樹脂クリーニング材によりクリーニ
ング済みの表面実装用パッケージ(12ピンSOP、4
×5mm、厚み1.2mm、チップサイズは1.5mm
×2.0mm、リードフレームは42アロイ製)金型を
用いて、金型温度150℃、注入圧力6.86MPa、
硬化時間90秒でトランスファー成形し、温度150℃
の熱風オーブンで、2時間後硬化させた。得られた光半
導体パッケージを、温度85℃、相対湿度60%の環境
下で、168時間放置し、その後240℃のIRリフロ
ー処理を行った。処理したパッケージを顕微鏡及び超音
波探傷装置で観察し、クラック、チップと樹脂との剥離
の有無を確認した。
【0034】
【表1】
【0035】表1中、 注1:油化シェルエポキシ製ビ
スフェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ当量47
5)、 注2:三井化学製ビスフェノール型エポキシ樹
脂(エポキシ当量950、一般式(2)で表されるエポ
キシ樹脂で、R=C(CH32が70%、CH2が30
%含み、n=6)、 注3:日産化学製トリグリシジル
イソシアヌレート(エポキシ当量100)、 注4:日
本化薬製オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂
(エポキシ当量210)、 注5:ダイセル化学製脂肪
族環状エポキシ樹脂(エポキシ当量132)、 注6:
新日本理化製ヘキサヒドロ無水フタル酸とメチルヘキサ
ヒドロ無水フタル酸の混合物、 注7:新日本理化製テ
トラヒドロ無水フタル酸、 注8:住友化学製フェノー
ル系酸化防止剤、注9:日本ユニカー製シラン系カップ
リング剤、 注10:離型剤。
【0036】
【表2】
【0037】表2中、注1:油化シェルエポキシ製ビス
フェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ当量475)、
注2:三井化学製ビスフェノール型エポキシ樹脂(エ
ポキシ当量950、 一般式(1)で表されるエポキシ
樹脂で、C(CH32が70%、CH2が30%含み、
n=6)、 注3:日産化学製トリグリシジルイソシア
ヌレート(エポキシ当量100)、 注4:日本化薬製
オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ
当量210)、 注5:ダイセル化学製脂肪族環状エポ
キシ樹脂(エポキシ当量132)、 注6:新日本理化
製ヘキサヒドロ無水フタル酸とメチルヘキサヒドロ無水
フタル酸との混合物、 注7:水酸基当量103、軟化
点95℃のフェノールノボラック樹脂、 注8:サンア
プロ製ジアザビシクロウンデセンとオクチル酸との塩、
注9:住友化学製フェノール系酸化防止剤、 注1
0:日本ユニカー製シラン系カップリング剤、 注1
1:離型剤、 注12:ガラスBを篩で分級して得た球
状ガラス、 注13:ガラスBを篩で分級して得た球状
ガラス、 注14:平均粒径10nm、屈折率1.46
2の破砕状結晶シリカ、注15:金型のゲート詰まりが
発生し、成形不良となった。
【0038】表の結果から明らかなように、本発明の樹
脂組成物は透明性に優れ、良好な耐半田性、耐湿信頼性
を有していることがわかる。
【0039】
【発明の効果】本発明の光半導体封止用エポキシ樹脂組
成物は、透明性及び耐半田性に優れており、高い信頼性
を有したオプトデバイスを提供することができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 23/31 Fターム(参考) 4J002 CD021 CD051 CD061 CD071 CD111 CD141 DL008 EL136 EL146 EN137 FA088 FD018 FD146 FD157 GJ02 GQ00 4J036 AA01 AA05 AB17 AD01 AD08 AD14 DB15 FA05 GA02 JA07 4M109 AA01 EA03 EB02 EB04 EB13 EC05 EC11 GA01

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 1分子内に2個以上のエポキシ基を有す
    るエポキシ樹脂(A)、酸無水物硬化剤(B)、硬化促
    進剤(C)、充填材(D)を必須成分とし、硬化促進剤
    (C)が、一般式(1)で表される化合物であり、か
    つ、充填材(D)がガラス粒子であって、該充填材が、
    それ以外の成分からなる組成物の硬化物と0.01以下
    の屈折率差を有することを特徴とする光半導体封止用エ
    ポキシ樹脂組成物。 【化1】 (式中、Nは窒素、R1、R2、R3、R4は、独立してア
    リール基、アルキル基、水素のいずれかであって、同一
    であっても異なっていても良い。カウンターアニオンX
    -は、脂肪族或いは芳香族カルボン酸を示す。)
  2. 【請求項2】 1分子内に2個以上のエポキシ基を有す
    るエポキシ樹脂(A)が、ビスフェノール型エポキシ樹
    脂、及び複素環式エポキシ樹脂からなる群より、少なく
    とも1つ選ばれる、請求項1記載の光半導体封止用エポ
    キシ樹脂組成物。
  3. 【請求項3】 ビスフェノール型エポキシ樹脂が、一般
    式(2)で表されるエポキシ樹脂である、請求項2記載
    の光半導体封止用エポキシ樹脂組成物。 【化2】 (但し、式中、RはC(CH32またはCH2を表し、
    それぞれ少なくとも1個以上有する。nは1以上、7以
    下である。)
  4. 【請求項4】 複素環式エポキシ樹脂が、トリグリシジ
    ルイソシアヌレートである、請求項2記載の光半導体封
    止用エポキシ樹脂組成物。
  5. 【請求項5】 1分子内に2個以上のエポキシ基を有す
    るエポキシ樹脂(A)が、一般式(2)で表されるエポ
    キシ樹脂、及びトリグリシジルイソシアヌレートを必須
    とする、請求項1記載の光半導体封止用エポキシ樹脂組
    成物
  6. 【請求項6】 ガラス粒子が、SiO2、CaO、およ
    びAl23からなる、平均粒径5μm以上、100μm
    以下の球状粒子であり、1mmの光路長で波長400n
    mにおいて80%以上の光透過率を有する、請求項1記
    載の光半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
  7. 【請求項7】 請求項1〜6のいずれかに記載の光半導
    体封止用エポキシ樹脂組成物の硬化物で封止されたこと
    を特徴とする光半導体装置。
  8. 【請求項8】 光半導体封止用エポキシ樹脂組成物の硬
    化物が、2.0パーセント以下の吸水率、及び80パー
    セント以上の波長400nmの光透過率を有する請求項
    7に記載の光半導体装置。
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