JP2002096286A - クリーンルーム用の搬送車 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 無人搬送車の天板に旋回筒６を旋回自在に設
け、旋回筒６の内周とほぼ密着するように昇降筒１０を
設け、その上面にスカラーアーム１２を設置する。旋回
筒６で取付板１６を支持し、ネジ軸２０やその軸受２
２，２２，ガイドレール２４を取り付ける。昇降筒１０
にも取付板３２を設け、ナット３４やガイド体３６を設
けて、ネジ軸２０の回転で、ガイドレール２４でガイド
しながら、昇降筒１０を昇降させる。 【効果】 昇降筒１０をコンパクトな機構で昇降させる
ことができ、かつ昇降に伴う発塵がない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の利用分野】この発明はクリーンルーム用の搬送
車に関し、特にクリーンルーム内を走行する、有軌道台
車や無軌道の無人搬送車等に関する。

【０００２】

【従来技術】有軌道台車や無人搬送車等の搬送車では台
車に昇降装置を設けて、この昇降装置で、スカラーアー
ムやスライドフォークなどの移載装置を昇降させるよう
にしている。従来のクリーンルーム用の搬送車では、移
載装置の昇降駆動部が搬送車の車体上に配置されてい
る。このため、クリーンルームのクリーン度を高める
と、昇降駆動部からの発塵が障害になる可能性がある。

【０００３】

【発明の課題】この発明の基本的課題は、搬送車の昇降
駆動部からの発塵を防止すると共に、昇降駆動部をコン
パクトに配置することにある（請求項１〜３）。請求項
２の発明での追加の課題は、昇降駆動部の具体的な取付
形態を提供することにある。請求項３の発明での追加の
課題は、昇降駆動部の気密性を保ちながら、移載装置の
角度補正ができるようにすることにある。

【０００４】

【発明の構成】この発明は、搬送車の車体上面側で開口
する筒体を備えたブラケットを、搬送車に設けると共
に、前記筒体の内周とほぼ密着するように筒状の昇降体
を配設し、該昇降体の上部に移載手段を設けて、移載手
段と昇降体上面との隙間を塞ぐ蓋体を設け、さらに前記
昇降体の内部ないし下部に、昇降体を昇降させるための
昇降駆動部を設けた、クリーンルーム用の搬送車にあ
る。「密着」は、ブラケットの筒体の内周と昇降体の外
周とが摺動することではなく、気流が生じるような隙間
がないことを意味する。ブラケットは好ましくは、搬送
車の車体上面に取り付ける。

【０００５】好ましくは、前記ブラケットで支持した第
１の取付板と、前記昇降体で支持した第２の取付板と
を、第１及び第２の取付板の上下方向がほぼ鉛直方向を
向くように、前記昇降体の内部ないし下部に設けて、第
１及び第２の取付板を互いに対向させ、かつ該第１及び
第２の取付板の間に、前記昇降駆動部を設ける（請求項
２）。

【０００６】また好ましくは、前記ブラケット及び前記
昇降体を同芯の円筒状に構成すると共に、前記ブラケッ
トを回動させるための回動手段を搬送車の車体内部に設
ける（請求項３）。回動の範囲は、３０度などの角度補
正に必要な範囲でも、３６０度全周でも良い。

【０００７】

【発明の作用と効果】この発明では、クリーンルーム用
の搬送車に、搬送車の車体上面側で開口する筒体を備え
たブラケットを設けて、筒体の内周とほぼ密着するよう
に筒状の昇降体を配設する。そして昇降体の上部に移載
手段を設けて、移載手段と昇降体上面との隙間を塞ぐ蓋
体を設け、さらに昇降体の内部ないし下部に、言い換え
ると、昇降駆動部が平面視で昇降体と重なるように、昇
降駆動部を設ける。このため、昇降駆動部での発塵は昇
降体の内部ないし下部で生じ、昇降体とブラケットの筒
体とがほぼ密着しているため、クリーンルームを汚染す
ることがない。また昇降駆動部は平面視で昇降体と重な
る位置に設けられ、コンパクトに昇降駆動部を配置でき
る（請求項１）。

【０００８】請求項２の発明では、ブラケット側に第１
の取付板を、昇降体側に第２の取付板を設けて、これら
の上下方向がほぼ鉛直方向を向くようにし、昇降体の内
部ないし下部で互いに対向するように配置する。そして
これらの取付板の間に、ボールネジやリニアガイドや、
ラックとピニオン等の昇降駆動部を設ける。このため昇
降体を確実に昇降させることができ、しかも昇降駆動部
を容易に昇降体の内部や下部に設けることができる。

【０００９】請求項３の発明では、昇降体とブラケット
を同芯の円筒状に構成するので、これらの製造も回動も
容易で、搬送車の車体内部に設けた回動手段でブラケッ
トを回動させると、昇降体も同時に回動する。このた
め、回動に伴う発塵でクリーンルームを汚染することが
なく、しかも移載装置の向きの角度補正などができる。

【００１０】

【実施例】図１〜図３に実施例を示す。これらの図にお
いて、２は無人搬送車の車体上面の天板で、４は円形の
固定のフランジで、６は円筒状の旋回筒で、車体上面側
が開口している。旋回筒６は、クロスローラ等のベアリ
ング８で、フランジ４に対し旋回自在に支持されてお
り、旋回筒６がこの発明でのブラケットに対応する。旋
回筒６の内側に、旋回筒６と同芯に、かつ旋回筒６とほ
ぼ密着するように、例えば１ｍｍ以下の隙間で、円筒状
の昇降筒１０を設ける。昇降筒１０の上面に、移載手段
としてのスカラーアーム１２を設け、スカラーアーム取
付板１４で昇降筒1０の上面とスカラーアーム１２との
間に隙間が生じないようにしている。なお旋回筒６及び
昇降筒１０は角筒状でもよいが、製造の容易さとこれら
を回動させることとのため、円筒状とする。さらにスカ
ラーアーム１２は、スライドフォーク等の他の移載手段
に代えても良い。

【００１１】１６は取付板で、支持部１８を介して旋回
筒６に取り付けられ、ほぼ平板状で上下方向が鉛直向き
である。２０はネジ軸で、２２はネジ軸２０の軸受で、
２４はネジ軸２０の左右両側に設けた一対のガイドレー
ルである。２６は昇降モータで、支持部２８を介して旋
回筒６に取り付け、ベルト３０を介して、昇降モータ２
６の回転により、ネジ軸２０を回転させる。なお昇降モ
ータ２６にはサーボモータを用いるが、パルスモータそ
の他のサーボモータ以外のモータでも良い。

【００１２】３２は取付板で、昇降筒１０に設けたもの
であり、板状の形状で上下方向が鉛直向きである。取付
板３２は取付板１６と平行に配置されて対向し、ナット
３４と一対のガイド体３６とを備え、ナット３４と前記
のネジ軸２０等によりボールネジを構成し、ガイド体３
６と前記のガイドレール２４との組み合わせによりリニ
アガイドを構成する。そしてこれらのボールネジとリニ
アガイドとが、取付板１６，３２間に設けた昇降駆動部
である。取付板３２は、一対のガイド体３６により向き
をガイドされながら、ネジ軸２０に取り付けたナット３
４により昇降する。

【００１３】ここでは取付板１６側にネジ軸２０やガイ
ドレール２４等を設け、取付板３２側にナット３４やガ
イド体３６等を設けたが、取付板３２側にネジ軸やガイ
ドレール等を設け、取付板１６側にナットやガイド体等
を設けても良い。取付板１６，３２の設置位置は昇降筒
１０の内部ないし下部で、これらを平面視で昇降筒１０
と重ねて配置することにより、コンパクトに昇降駆動部
を設けることができる。ここではボールネジと一対のリ
ニアガイドを取付板１６，３２間に介在させて昇降駆動
部としたが、ラックとピニオン等を用いても良く、また
旋回筒６から昇降筒１０の底部へと延びる取付板を設け
て、この取付板にリンク機構やパンタグラフ機構等を設
けて、昇降筒１０を昇降させるようにしても良い。

【００１４】３８はアーム駆動モータで、例えばサーボ
モータを用い、プーリ４０を介してスカラーアーム１２
を駆動する。無人搬送車にはこれ以外に走行駆動部やス
テアリング部等があり、無軌道でクリーンルーム内を走
行するが、有軌道でクリーンルーム内を走行する有軌道
台車の天板にフランジ４ないしプーリ４０等を設けても
よい。

【００１５】図３に、昇降筒１０の最上部をカットした
姿で、無人搬送車５０の上面を示す。前記の天板２は無
人搬送車５０の車体上面を覆い、旋回筒６や昇降筒１０
は図３に示すように、同軸の円筒状に構成されている。
取付板１６，３２は、例えば図３に示すように取り付
け、前記のように、これらの間にボールネジとリニアガ
イドとから成る昇降駆動部を配置する。昇降モータ２６
は昇降筒１０の底部の位置等に取り付け、アーム駆動モ
ータ３８は昇降筒１０内で、取付板３２の反対側の空き
スペース等に取り付ける。

【００１６】図２，図３を参照すると、昇降筒１０の上
部には開口４２があり、この部分にスカラーアーム１２
を取り付けて、隙間をスカラーアーム取付板１４で塞ぐ
ようにする。これらのため、旋回筒６の内部や昇降筒１
０の内部は、無人搬送車５０の上部に対してほぼ気密で
ある。４４はサーボモータ等を用いた旋回モータで、旋
回筒６の外周に設けたギア４６等を利用して、旋回筒６
を昇降筒１０と一体に、例えば±１５度等の範囲で回動
させ、スカラーアーム１２の進退方向とクリーンルーム
内のステーションの向きとがずれている場合に、角度補
正を行う。なおギア４６を旋回筒６の外周全周に設けれ
ば、スカラーアーム１２の向きを３６０度回動させるこ
ともできる。

【００１７】実施例の作用を示す。旋回筒６は無人搬送
車５０の天板２に対して、フランジ４にベアリング８で
取り付けられているので、旋回筒６を回動させてもほと
んど発塵は生じない。例えば旋回モータ４４の取付位置
は無人搬送車５０の車体内で、ここで生じた発塵は無人
搬送車５０の車体底部からクリーンルームの床面のグレ
ーティングを介して吸引される。旋回筒６に対して昇降
筒１０はごく僅かな隙間で配置されており、昇降駆動部
は昇降筒１０の内部ないし下部にあるので、昇降筒１０
を昇降させてもほとんど発塵は生じない。これらのた
め、旋回筒６の旋回や、昇降筒１０の昇降に伴う発塵が
ほとんどない。

【００１８】旋回筒６や昇降筒１０は同芯の円筒状に構
成されているので、これらの製造も、回動も容易で、ス
テーションとの向きが不一致の場合、角度補正もでき
る。昇降駆動部は昇降筒１０の内部に配置されているの
で、コンパクトに配置できる。そして一対の取付板１
６，３２を対向させることにより、昇降駆動部を容易に
取り付けられる。またボールネジの両側に一対のリニア
ガイドを配置することにより、スムーズに昇降できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 実施例のクリーンルーム用の搬送車の、要部
鉛直方向断面図

【図２】 実施例のクリーンルーム用の搬送車から昇降
筒を除いた状態を示す、図１とは直角方向の、要部鉛直
方向断面図

【図３】 実施例のクリーンルーム用の搬送車の、部分
切り欠き部付き平面図

【符号の説明】

２ 天板 ４ フランジ ６ 旋回筒 ８ ベアリング １０ 昇降筒 １２ スカラーアーム １４ スカラーアーム取付板 １６ 取付板 １８ 支持部 ２０ ネジ軸 ２２ 軸受 ２４ ガイドレール ２６ 昇降モータ ２８ 支持部 ３０ ベルト ３２ 取付板 ３４ ナット ３６ ガイド体 ３８ アーム駆動モータ ４０ プーリ ４２ 開口 ４４ 旋回モータ ４６ ギア ５０ 無人搬送車

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬送車の車体上面側で開口する筒体を備
   えたブラケットを、搬送車に設けると共に、前記筒体の
   内周とほぼ密着するように筒状の昇降体を配設し、該昇
   降体の上部に移載手段を設けて、移載手段と昇降体上面
   との隙間を塞ぐ蓋体を設け、さらに前記昇降体の内部な
   いし下部に、昇降体を昇降させるための昇降駆動部を設
   けた、クリーンルーム用の搬送車。
2. 【請求項２】 前記ブラケットで支持した第１の取付板
   と、前記昇降体で支持した第２の取付板とを、第１及び
   第２の取付板の上下方向がほぼ鉛直方向を向くように、
   前記昇降体の内部ないし下部に設けて、第１及び第２の
   取付板を互いに対向させ、かつ該第１及び第２の取付板
   の間に、前記昇降駆動部を設けたことを特徴とする請求
   項１のクリーンルーム用の搬送車。
3. 【請求項３】 前記ブラケット及び前記昇降体を同芯の
   円筒状に構成すると共に、前記ブラケットを回動させる
   ための回動手段を搬送車の車体内部に設けたことを特徴
   とする、請求項１または２のクリーンルーム用の搬送
   車。