JP3621793B2 - 無人搬送台車 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、マニピュレータ等を有し、搬送物の搬送ならびに移載を行う無人搬送台車に関する。
【0002】
【従来の技術】
現在、半導体素子の製造工場等ではロボット等の機械と人間とが同時に作業する場合も珍しくない。
そこで例えば、ウェハカセット等を移載する無人搬送台車等と人間とが混在する場合、ウェハの大型化や重量化に伴って安全面の問題がクローズアップされてきている。
【0003】
上述した、ウェハカセットを移載するためのマニピュレータを搭載した無人搬送台車に対する安全策としては、一例として、マニピュレータと人間とを隔離する防護柵を用いるものが挙げられる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
図6は、従来の無人搬送台車100の構成の一例を示す斜視図である。この図において、101は制御部や車輪(図示省略)等を有し、矢示のAA’方向に走行可能な台車部である。
【0005】
この台車部101の上面101aには、複数のウェハカセット102、102・・・を載置可能であるとともに、多関節アーム様のマニピュレータ103が取り付けられている。
【0006】
また、台車部101の上面101aにおいては、1つの端部(101b−1)を除く各端部(101b−2〜101b−4)上に防護柵104が設けられている。
図7は、図6に示す無人搬送台車100が適用される工場の概略構成を示す斜視図である。
【0007】
図7に示すように、工場には複数の装置110−1、110−2・・・(以降、必要に応じて110−nと称する)が設置されている。
これら各装置110−nは、特定の面に上述のウェハカセット102、102・・・を載置する載置部111を有している。(なお102は、ウェハカセットに限定されず、半導体ウェハ自体や、これを格納した箱等でもよい。)
【0008】
この工場内において無人搬送台車100は、各装置110−nの載置部111を有する面に沿って自走するが、図中の破線部Bに示すように方向転換が必要な場合もある。
【0009】
しかしながら、上述したようにマニピュレータ103が移載作業を実施できるのは、無人搬送台車100の上面101aにおいて防護柵104が設けられていない1つの端部101b−1側のみである。即ち、端部101b−1を常に各装置110−n側に向けて走行する必要がある。
【0010】
従って破線部Bで方向転換する際に、場合によってはスイッチバック(B−1)やスピンターン(B−2)を余儀なくされていた。
こういったスイッチバックやスピンターンは、走行の制御が複雑であったり、走行そのものを一時的に停止しなければならないので、移載作業の高速化の妨げになっていた。
さらに、一般に半導体ウェハ等を扱うクリーンルームは狭い場合が多い反面、上述のような動作には広い空間を必要としている。また、無人搬送台車100が広い場所まで移動する必要等もあるため、大きな時間の無駄を生じる原因にもなっていた。
【0011】
この発明は、このような背景の下になされたもので、移動しながら安全確実且つ高速に作業を実行することができる無人搬送台車を提供することを目的としている。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、請求項1に記載の発明にあっては、走行手段を有し、1つ以上の搬送物を載置して搬送する搬送手段と、前記搬送手段に設けられ前記搬送物を移載する移載手段と、前記搬送手段において、その走行方向に対する両側部の各々に設けられ、前記搬送物ならびに前記移載手段と外周とを隔離する隔離手段と、前記隔離手段の各々を昇降させる昇降手段とを具備することを特徴とする。
また、請求項2に記載の発明に合っては、請求項1に記載の無人搬送台車では、前記隔離手段は、前記搬送物の移載時には前記搬送手段における当該搬送物の移載側の一方が昇降手段によって開放されるとともに他方が閉鎖され、前記搬送手段の走行時には両方が閉鎖されることを特徴とする。
また、請求項3に記載の発明にあっては、請求項1または請求項2の何れかに記載の無人搬送台車では、前記搬送手段上に支持手段を介して設けられた上部隔離手段を有し、前記昇降手段は前記上部隔離手段に取り付けられていることを特徴とする。
また、請求項4に記載の発明にあっては、請求項3に記載の無人搬送台車では、前記上部隔離手段は、前記搬送物への塵埃の堆積を防止する防塵手段を有することを特徴とする。
【0013】
この発明によれば、搬送物の移載時には搬送手段における当該搬送物の移載側の一方の隔離手段が昇降手段によって開放されるとともに他方の隔離手段が閉鎖され、搬送手段の走行時には両方の隔離手段が閉鎖される。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明について説明する。図1は、本発明の一実施の形態にかかる無人搬送台車10の外観ならびに無人搬送台車10が適用される工場内の概略を示す斜視図である。なお図1において、図6あるいは図7に示す各部と対応する部分には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【0015】
図1において、11は無人搬送台車10の台車部である。この台車部11は、モータ等によって回転駆動される車輪や操舵装置、ならびにこれらを含む各部の動作を制御する制御装置(何れも図示省略)等を有し、矢示のCC’方向に走行可能である。(なお、図1では無人搬送台車10はCC’方向に走行することを示しているが、CC’以外の斜め方向や横方向に方向可能なものであってよい。)
【0016】
台車部11の上面11aにはには、複数のウェハカセット102、102・・・を載置可能であるとともに、多関節アーム様のマニピュレータ103が取り付けられている。
【0017】
台車部11の上面11aにおいて、走行方向CC’側の各々端部11b−4、11b−2には、その上方に支持部材を兼ねた防護柵14、14が取り付けられている。また防護柵14、14を介して台車部11の上方には、後述する上部ユニット20が取り付けられている。
【0018】
また、上面11aにおける走行方向CC’に対する側方の端部11b−1、11b−3には、各々開閉柵24−1、24−2が取り付けられている。
なおこの図1では、各装置110−nが有する載置部111と対向している開閉柵24−1は“開(開放)”となっており、載置部111と対向していない開閉柵24−2は“閉(閉鎖)”となっている。
【0019】
図1に示す構成の無人搬送台車10は、走行時には開閉柵24−1および24−2を、何れも閉鎖する。従って、マニピュレータ103やウェハカセット102、102・・・が、周囲の人間や他の無人搬送台車あるいはマニピュレータ等に接触することはない。
【0020】
この無人搬送台車10がウェハカセット102、102・・・の移載を行うときは、目的の装置110−nが有する載置部111の前面に停止した後、この載置部111と対向する開閉柵24−1あるいは24−2の何れかを開放する。
【0021】
しかる後、マニピュレータ103によって、台車部11の上面11aにおける開放された端部11b−1あるいは11b−3を介して、ウェハカセット102、102・・・の移載を行う。
【0022】
ウェハカセット102、102・・・の移載が終了した後、先般開放した開閉柵24−1あるいは24−2を閉鎖し、次の目的たる装置110−nが有する載置部111の正面に向けて走行する。
【0023】
図2は、開閉柵を有する無人搬送台車の詳細な構成の一例を示す斜視図である。図2に示す構成によれば、台車部11の上面部11aにおいて、台車部11の走行方向(図2では左右方向)に対する側端部にはスリット11cが形成されている。開閉柵24は、このスリット11cを介して昇降自在に取り付けられている。
開閉柵24の一側端部には、上端から下端に亙るラック(ラックギア)25が取り付けられている。
【0024】
一方、台車11内にはモータ(例えばステッピングモータ)26が取り付けられており、このモータ26の出力シャフト(図示省略)にはピニオン(ピニオンギア)27が取り付けられている。
これらラック25とピニオン27とは歯合しており、ピニオン27をモータ2によって回転駆動することにより、開閉柵24が昇降する構成となっている。
【0025】
図3は、開閉柵を有する無人搬送台車の別の構成の例を示す斜視図である。図3において、図1あるいは図2に示す各部と対応する部分には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【0026】
図3において、30は台車部11に取り付けられた圧力シリンダである。この圧力シリンダは、空気圧シリンダや油圧シリンダ、あるいは電動シリンダ等、何れのものであってもよい。
【0027】
上述した圧力シリンダ30は、ロッド31によって開閉柵24を押し上げ、および下げる構成となっている。従って、図示しない制御装置によって圧力シリンダ30に加える圧力を変えることにより、開閉柵24が昇降する。
【0028】
また図3において、35aは複数の投光素子36、36・・・を有するエリアセンサ(投光側)であり、35bは複数の受光素子37、37・・・を有するエリアセンサ(受光側)である。
【0029】
これらエリアセンサ35aおよびエリアセンサ35bは、投光素子36、36・・・から投光され、受光素子37、37・・・に受光する光線が遮られたか否かによって、これらエリアセンサ35aとエリアセンサ35bとの間の開口部にウェハカセットや人間、あるいはマニピュレータ等が存在しないことを確認する。
これによって、開閉柵24によってウエハカセット等の移載物や人間、あるいはマニピュレータ等を挟み込むといった事故を事前に防ぐことが可能になる。
【0030】
図4は、開閉柵を有する無人搬送台車のさらに別の構成の例を示す斜視図である。この図4に示す構成では、上部ユニット20にスリット20cが形成されている。開閉柵24は、このスリット20cを介して昇降自在に取り付けられている。
【0031】
従って図4に示す構成では、ウェハカセットの移載時には開閉柵24を上昇させて開放し、走行時には開閉柵24を下降させて閉鎖する。
なお、ここに示した例において開閉柵を昇降させる構成は、図2に示したようなモータとラック/ピニオンとによるものや図3に示したような圧力シリンダによるもの等、何れであってもよい。
【0032】
図5は、本発明の無人搬送台車の応用例の構成を示す斜視図である。この図5に示す構成では、上部ユニット20にはHEPAフィルタ(High Efficiency Particulate Air−filter)やULPAフィルタ(Ultra Low Penetration Air−filter)等のフィルタ30とファンユニット31(詳細の図示は省略する)が取り付けられている。
【0033】
言うまでもなく、工場内において搬送車や人間等が動作すると塵埃が発生し、またこれが舞い上がる可能性がある。一方、こうした工場内で製造される半導体ウェハは、塵埃等を極度に嫌う。
【0034】
そこで、図5に示すようにフィルタ30とファンユニット31を設けることによって、半導体ウェハを格納するウェハカセットの清浄度を確保することができる。
【0035】
なお上述したように、本発明では、ウェハカセットを搬送するものの他、半導体ウェハ自体や、これを格納した箱を搬送するもの等にあっても、適用可能である。
【0036】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、搬送物の移載時には搬送手段における当該搬送物の移載側の一方の隔離手段が昇降手段によって開放されるとともに他方の隔離手段が閉鎖され、搬送手段の走行時には両方の隔離手段が閉鎖されるので、移動しながら安全確実且つ高速に作業を実行することができる無人搬送台車が実現可能であるという効果が得られる。
【0037】
即ち、開閉柵が昇降するため、台車部の両側で移載作業が可能である。従って台車部の走行の制約がなくなり、搬送時間を大幅に短縮することができる。また、これに伴って台車部の運行制御も簡単になる。
【0038】
さらに、本発明では移載を行わない場合、あるいは走行時等には両側の開閉柵を閉鎖しておくことができるので、周囲の人間や搬送物、あるいはマニピュレータ等が接触することがなくなり、安全性が増す。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態にかかる無人搬送台車10の外観ならびに無人搬送台車10が適用される工場内の概略を示す斜視図である。
【図2】本発明にかかる開閉柵を有する無人搬送台車の詳細な構成の一例を示す斜視図である。
【図3】本発明にかかる開閉柵を有する無人搬送台車の別の構成の例を示す斜視図である。
【図4】本発明にかかる開閉柵を有する無人搬送台車のさらに別の構成の例を示す斜視図である。
【図5】本発明の無人搬送台車の応用例の構成を示す斜視図である。
【図6】従来の無人搬送台車100の構成の一例を示す斜視図である。
【図7】図6に示す無人搬送台車100が適用される工場の概略構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
11 台車部(搬送手段)
14 防護柵(支持手段)
20 上部ユニット(上部隔離手段)
24−1、24−2 開閉柵(隔離手段)
102 ウェハカセット(搬送物)
103 マニピュレータ(移載手段)
Claims (4)
- 走行手段を有し、1つ以上の搬送物(102)を載置して搬送する搬送手段(11)と、
前記搬送手段に設けられ前記搬送物を移載する移載手段(103)と、
前記搬送手段において、その走行方向に対する両側部の各々に設けられ、前記搬送物ならびに前記移載手段と外周とを隔離する隔離手段(24−1、24−2)と、
前記隔離手段の各々を昇降させる昇降手段と
を具備することを特徴とする無人搬送台車。 - 前記隔離手段は、
前記搬送物の移載時には前記搬送手段における当該搬送物の移載側の一方が昇降手段によって開放されるとともに他方が閉鎖され、
前記搬送手段の走行時には両方が閉鎖される
ことを特徴とする請求項1に記載の無人搬送台車。 - 前記搬送手段上に支持手段(14)を介して設けられた上部隔離手段(20)を有し、
前記昇降手段は前記上部隔離手段に取り付けられている
ことを特徴とする請求項1または請求項2の何れかに記載の無人搬送台車。 - 前記上部隔離手段は、
前記搬送物への塵埃の堆積を防止する防塵手段を有する
ことを特徴とする請求項3に記載の無人搬送台車。
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