JP2002090499A - 電子線照射装置 - Google Patents
電子線照射装置Info
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- JP2002090499A JP2002090499A JP2000282013A JP2000282013A JP2002090499A JP 2002090499 A JP2002090499 A JP 2002090499A JP 2000282013 A JP2000282013 A JP 2000282013A JP 2000282013 A JP2000282013 A JP 2000282013A JP 2002090499 A JP2002090499 A JP 2002090499A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 走査器において電子の過走査が生じて当該電
子が走査管の走査部管に当たる状態になったことを速や
かに検出する。 【解決手段】 この電子線照射装置は、走査管１０を構
成する走査部管１０ｂの電子走査方向Ｘの両側の下部付
近に設けられていて当該下部付近の温度をそれぞれ検出
する温度検出器２２、２４と、これらで検出した検出温
度Ｔ1 、Ｔ2 と設定温度Ｔ0 とをそれぞれ比較して前者
が後者を超えたときに温度異常検出信号Ｓ 1 、Ｓ2 をそ
れぞれ出力する比較器２６、２８とを備えている。更
に、少なくとも一方の信号Ｓ1 、Ｓ2 に応答して、加速
器による電子４の加速および電子源による電子４の発生
の少なくとも一方を停止させる制御器３２を備えてい
る。
子が走査管の走査部管に当たる状態になったことを速や
かに検出する。 【解決手段】 この電子線照射装置は、走査管１０を構
成する走査部管１０ｂの電子走査方向Ｘの両側の下部付
近に設けられていて当該下部付近の温度をそれぞれ検出
する温度検出器２２、２４と、これらで検出した検出温
度Ｔ1 、Ｔ2 と設定温度Ｔ0 とをそれぞれ比較して前者
が後者を超えたときに温度異常検出信号Ｓ 1 、Ｓ2 をそ
れぞれ出力する比較器２６、２８とを備えている。更
に、少なくとも一方の信号Ｓ1 、Ｓ2 に応答して、加速
器による電子４の加速および電子源による電子４の発生
の少なくとも一方を停止させる制御器３２を備えてい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、電子（電子線）
を被照射物に照射して、当該被照射物に架橋、改質、殺
菌等の処理を施すことに用いられる電子線照射装置に関
し、より具体的には、電子を走査する走査型の電子線照
射装置において、電子の過走査が起こった場合の検出手
段に関する。
を被照射物に照射して、当該被照射物に架橋、改質、殺
菌等の処理を施すことに用いられる電子線照射装置に関
し、より具体的には、電子を走査する走査型の電子線照
射装置において、電子の過走査が起こった場合の検出手
段に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の電子線照射装置の従来例を図２
に示す。この電子線照射装置は、電子（電子線）４を発
生する電子源（例えばフィラメント）２と、この電子源
２に接続されていて当該電子源２からの電子４を加速す
る加速器６と、この加速器６に接続されていて当該加速
器６からの電子４を一定方向（この例では図中のＸ方
向）に所定の走査幅で走査する走査器８と、この走査器
８の先端部に設けられていて、当該走査器８（およびそ
れにつながる加速器６等）の内部の真空雰囲気と外部の
照射雰囲気（例えば大気中）とを分離すると共に電子４
を透過させる窓箔を有する照射窓１４とを備えている。
に示す。この電子線照射装置は、電子（電子線）４を発
生する電子源（例えばフィラメント）２と、この電子源
２に接続されていて当該電子源２からの電子４を加速す
る加速器６と、この加速器６に接続されていて当該加速
器６からの電子４を一定方向（この例では図中のＸ方
向）に所定の走査幅で走査する走査器８と、この走査器
８の先端部に設けられていて、当該走査器８（およびそ
れにつながる加速器６等）の内部の真空雰囲気と外部の
照射雰囲気（例えば大気中）とを分離すると共に電子４
を透過させる窓箔を有する照射窓１４とを備えている。
【０００３】照射雰囲気中に取り出された電子４は、被
照射物（図示省略）に照射される。それによって、当該
被照射物に、例えば架橋、改質、硬化、殺菌等の処理を
施すことができる。
照射物（図示省略）に照射される。それによって、当該
被照射物に、例えば架橋、改質、硬化、殺菌等の処理を
施すことができる。
【０００４】走査器８は、全体的に見て末広がりの形状
をした走査管１０と、この走査管１０の上部付近の外部
に設けられていて電子４を上記のように走査する走査コ
イル１２とを備えている。
をした走査管１０と、この走査管１０の上部付近の外部
に設けられていて電子４を上記のように走査する走査コ
イル１２とを備えている。
【０００５】走査管１０は、この例では、図３に示すよ
うに、上記加速器６に接続される接続部管１０ａと、そ
の下部に接続されていて幾分末広がりになった走査部管
１０ｂと、その下部に接続されていて末広がりになった
拡張部管１０ｃとを備えている。この走査部管１０ｂは
非磁性の金属から成り、その外部に（具体的には、当該
走査部管１０ｂを紙面の表裏方向から挟むように）上記
走査コイル１２が設けられている。即ち、走査部管１０
ｂおよびその外部の走査コイル１２は、走査管１０の上
部付近に設けられている。
うに、上記加速器６に接続される接続部管１０ａと、そ
の下部に接続されていて幾分末広がりになった走査部管
１０ｂと、その下部に接続されていて末広がりになった
拡張部管１０ｃとを備えている。この走査部管１０ｂは
非磁性の金属から成り、その外部に（具体的には、当該
走査部管１０ｂを紙面の表裏方向から挟むように）上記
走査コイル１２が設けられている。即ち、走査部管１０
ｂおよびその外部の走査コイル１２は、走査管１０の上
部付近に設けられている。
【０００６】走査部管１０ｂは、加速された電子４を走
査コイル１２によって作られる磁界により走査する場所
に位置していることから、、他の接続部管１０ａおよび
拡張部管１０ｃよりも磁性を帯びにくくかつ耐熱性の高
い金属、例えばインコネルで形成されている。接続部管
１０ａおよび拡張部管１０ｃは、例えばステンレス鋼で
形成されている。
査コイル１２によって作られる磁界により走査する場所
に位置していることから、、他の接続部管１０ａおよび
拡張部管１０ｃよりも磁性を帯びにくくかつ耐熱性の高
い金属、例えばインコネルで形成されている。接続部管
１０ａおよび拡張部管１０ｃは、例えばステンレス鋼で
形成されている。
【０００７】拡張部管１０ｃも、走査部管１０ｂほどで
はないにしても、電子４が当たって温度が上昇する可能
性があるので、通常はこの例のように、その外部に冷却
パイプ２０を何段かに（例えば３段に）設けて、冷却水
等によって冷却するようにしている。
はないにしても、電子４が当たって温度が上昇する可能
性があるので、通常はこの例のように、その外部に冷却
パイプ２０を何段かに（例えば３段に）設けて、冷却水
等によって冷却するようにしている。
【０００８】拡張部管１０ｃには、この例では、走査管
１０等の内部を真空排気する真空排気装置１６が接続さ
れている。走査管１０の内部の圧力（真空度）は圧力計
１８によって計測される。
１０等の内部を真空排気する真空排気装置１６が接続さ
れている。走査管１０の内部の圧力（真空度）は圧力計
１８によって計測される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記電子線照射装置に
おいては、装置の運転中（即ち電子４の発生中）に、何
らかの原因で、例えば電子流のフィードバック制御系や
走査コイル１２の制御系等に予期せぬ異常が生じて、電
子４の過走査（オーバースキャン）が生じて、図３中に
２点鎖線で示すように、加速された電子４が走査管１０
の走査部管１０ｂに当たることが起こり得る。
おいては、装置の運転中（即ち電子４の発生中）に、何
らかの原因で、例えば電子流のフィードバック制御系や
走査コイル１２の制御系等に予期せぬ異常が生じて、電
子４の過走査（オーバースキャン）が生じて、図３中に
２点鎖線で示すように、加速された電子４が走査管１０
の走査部管１０ｂに当たることが起こり得る。
【００１０】このような、電子４が走査部管１０ｂに当
たっている状態が２〜３秒続くと、たとえ走査部管１０
ｂを他よりも耐熱性の高い金属で形成していても、電子
４が当たった部分が過熱され、破損や溶損することがあ
る。
たっている状態が２〜３秒続くと、たとえ走査部管１０
ｂを他よりも耐熱性の高い金属で形成していても、電子
４が当たった部分が過熱され、破損や溶損することがあ
る。
【００１１】電子４が走査部管１０ｂ等に当たり続ける
と、そこからガスや蒸気が放出されて走査管１０内の真
空度が悪化する（即ち圧力が上昇する）ので、それを圧
力計１８で検出することは可能であるけれども、この方
法による検出には比較的長い時間を要するので、この検
出後に電子４の発生を止める等のインターロック動作に
入っても、走査部管１０ｂは既にかなり損傷を受けてい
る場合が多いので、それでは遅過ぎる。
と、そこからガスや蒸気が放出されて走査管１０内の真
空度が悪化する（即ち圧力が上昇する）ので、それを圧
力計１８で検出することは可能であるけれども、この方
法による検出には比較的長い時間を要するので、この検
出後に電子４の発生を止める等のインターロック動作に
入っても、走査部管１０ｂは既にかなり損傷を受けてい
る場合が多いので、それでは遅過ぎる。
【００１２】そこでこの発明は、走査器において電子の
過走査が生じて当該電子が走査管の走査部管に当たる状
態になったことを速やかに検出することを主たる目的と
する。
過走査が生じて当該電子が走査管の走査部管に当たる状
態になったことを速やかに検出することを主たる目的と
する。
【００１３】
【課題を解決するための手段】この発明の電子線照射装
置は、前記走査管を構成する走査部管の電子走査方向の
少なくとも一方側に設けられていて当該走査部管の温度
を検出する温度検出器と、この温度検出器で検出した温
度と所定の設定温度とを比較して前者が後者を超えたと
きに温度異常検出信号を出力する比較器とを備えること
を特徴としている。
置は、前記走査管を構成する走査部管の電子走査方向の
少なくとも一方側に設けられていて当該走査部管の温度
を検出する温度検出器と、この温度検出器で検出した温
度と所定の設定温度とを比較して前者が後者を超えたと
きに温度異常検出信号を出力する比較器とを備えること
を特徴としている。
【００１４】走査器において電子の過走査が生じて当該
電子が走査管の走査部管に当たる状態になると、当該走
査部管が加熱されるため、その温度が急上昇する。前述
したように走査管内の圧力上昇よりも、この走査部管の
温度上昇の方が遙かに早い。この温度上昇が温度検出器
によって検出され、その検出温度が設定温度を超える
と、比較器から温度異常検出信号が出力される。
電子が走査管の走査部管に当たる状態になると、当該走
査部管が加熱されるため、その温度が急上昇する。前述
したように走査管内の圧力上昇よりも、この走査部管の
温度上昇の方が遙かに早い。この温度上昇が温度検出器
によって検出され、その検出温度が設定温度を超える
と、比較器から温度異常検出信号が出力される。
【００１５】このようにして、走査器において電子の過
走査が生じて当該電子が走査管の走査部管に当たる状態
になったことを速やかに検出することができる。
走査が生じて当該電子が走査管の走査部管に当たる状態
になったことを速やかに検出することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】図１は、この発明に係る電子線照
射装置の走査器周りの一例を示す図である。この部分以
外の構成は、例えば図２に示したものと同様であるので
当該図２およびその前記説明を参照するものとし、ここ
では重複説明を省略する。また、図３に示した従来例と
同一または相当する部分には同一符号を付し、以下にお
いては当該従来例との相違点を主に説明する。
射装置の走査器周りの一例を示す図である。この部分以
外の構成は、例えば図２に示したものと同様であるので
当該図２およびその前記説明を参照するものとし、ここ
では重複説明を省略する。また、図３に示した従来例と
同一または相当する部分には同一符号を付し、以下にお
いては当該従来例との相違点を主に説明する。
【００１７】この電子線照射装置は、前記走査管１０を
構成する走査部管１０ｂの電子線走査方向（この例では
図中のＸ方向）の両側に設けられていて、当該走査部管
１０ｂの温度をそれぞれ検出する温度検出器２２および
２４を備えている。両温度検出器２２および２４は、こ
の例のように、走査部管１０ｂの外部（大気側）に取り
付けるのが簡単で良い。
構成する走査部管１０ｂの電子線走査方向（この例では
図中のＸ方向）の両側に設けられていて、当該走査部管
１０ｂの温度をそれぞれ検出する温度検出器２２および
２４を備えている。両温度検出器２２および２４は、こ
の例のように、走査部管１０ｂの外部（大気側）に取り
付けるのが簡単で良い。
【００１８】走査器８において電子４の過走査が起こる
場合は、左右対称に過走査が起こる場合が多いと想定さ
れるので、温度検出器は電子走査方向の少なくとも一方
側に（例えば温度検出器２２または２４の少なくとも一
方を）設ければ良い。しかし、過走査が必ずしも左右対
称に起こらない場合もあり得ることを想定して、この例
のように両側に設けておく方がより好ましい。そのよう
にすれば、電子４の過走査をより確実にかつより速やか
に検出することができる。
場合は、左右対称に過走査が起こる場合が多いと想定さ
れるので、温度検出器は電子走査方向の少なくとも一方
側に（例えば温度検出器２２または２４の少なくとも一
方を）設ければ良い。しかし、過走査が必ずしも左右対
称に起こらない場合もあり得ることを想定して、この例
のように両側に設けておく方がより好ましい。そのよう
にすれば、電子４の過走査をより確実にかつより速やか
に検出することができる。
【００１９】上記温度検出器２２および２４は、走査部
管１０ｂの内でも、この例のように当該走査部管１０ｂ
の下部付近に設けるのがより好ましい。これは、走査器
８において電子４の過走査が起こるとしても、電子４が
真横に（９０度近く）曲げられるような極端な過走査が
起こる可能性は殆どなく、正常な走査よりも幾分大きな
走査になる場合が多いと想定される。その場合は、電子
４は走査部管１０ｂの下部付近に当たり、その部分の温
度が急上昇するので、当該下部付近に温度検出器２２お
よび２４を設けておくことによって、当該温度上昇を、
ひいては電子４の過走査発生を、近くでより速やかに検
出することができる。
管１０ｂの内でも、この例のように当該走査部管１０ｂ
の下部付近に設けるのがより好ましい。これは、走査器
８において電子４の過走査が起こるとしても、電子４が
真横に（９０度近く）曲げられるような極端な過走査が
起こる可能性は殆どなく、正常な走査よりも幾分大きな
走査になる場合が多いと想定される。その場合は、電子
４は走査部管１０ｂの下部付近に当たり、その部分の温
度が急上昇するので、当該下部付近に温度検出器２２お
よび２４を設けておくことによって、当該温度上昇を、
ひいては電子４の過走査発生を、近くでより速やかに検
出することができる。
【００２０】この電子線照射装置は、更に、上記各温度
検出器２２、２４で検出した検出温度Ｔ1 、Ｔ2 と所定
の設定温度Ｔ0 とをそれぞれ比較して、各検出温度
Ｔ1 、Ｔ 2 が設定温度Ｔ0 を超えたときに温度異常検出
信号Ｓ1 、Ｓ2 をそれぞれ出力する比較器２６および２
８を備えている。もちろん、上記のように温度検出器２
２、２４をどちらか一方だけにする場合は、比較器２
６、２８も対応するどちらか一方だけを設ければ良い。
検出器２２、２４で検出した検出温度Ｔ1 、Ｔ2 と所定
の設定温度Ｔ0 とをそれぞれ比較して、各検出温度
Ｔ1 、Ｔ 2 が設定温度Ｔ0 を超えたときに温度異常検出
信号Ｓ1 、Ｓ2 をそれぞれ出力する比較器２６および２
８を備えている。もちろん、上記のように温度検出器２
２、２４をどちらか一方だけにする場合は、比較器２
６、２８も対応するどちらか一方だけを設ければ良い。
【００２１】上記設定温度Ｔ0 は、正常運転時の検出温
度Ｔ1 、Ｔ2 の最大値よりも幾分高めに設定すれば良
い。例えば、正常運転時の検出温度Ｔ1 、Ｔ2 は室温〜
３５℃程度であるので、上記設定温度Ｔ0 は、それより
も例えば５℃高めの４０℃程度に設定すれば良い。
度Ｔ1 、Ｔ2 の最大値よりも幾分高めに設定すれば良
い。例えば、正常運転時の検出温度Ｔ1 、Ｔ2 は室温〜
３５℃程度であるので、上記設定温度Ｔ0 は、それより
も例えば５℃高めの４０℃程度に設定すれば良い。
【００２２】走査器８において電子４の過走査が生じて
当該電子４が走査管１０の走査部管１０ｂに当たる状態
になると、当該走査部管１０ｂが加熱されるため、その
温度が急上昇する。前述したように走査管１０内の圧力
上昇よりも、この走査部管１０ｂの温度上昇の方が遙か
に早い。この温度上昇がこの例では少なくとも一方の温
度検出器２２、２４によって検出され、その少なくとも
一方の検出温度Ｔ1 、Ｔ2 が設定温度Ｔ0 を超えると、
少なくとも一方の比較器２６、２８から少なくとも一方
の温度異常検出信号Ｓ1 、Ｓ2 が出力される。
当該電子４が走査管１０の走査部管１０ｂに当たる状態
になると、当該走査部管１０ｂが加熱されるため、その
温度が急上昇する。前述したように走査管１０内の圧力
上昇よりも、この走査部管１０ｂの温度上昇の方が遙か
に早い。この温度上昇がこの例では少なくとも一方の温
度検出器２２、２４によって検出され、その少なくとも
一方の検出温度Ｔ1 、Ｔ2 が設定温度Ｔ0 を超えると、
少なくとも一方の比較器２６、２８から少なくとも一方
の温度異常検出信号Ｓ1 、Ｓ2 が出力される。
【００２３】このようにして、走査器８において電子４
の過走査が生じて当該電子４が走査管１０の走査部管１
０ｂに当たる状態になったことを速やかに検出すること
ができる。これによって、走査部管１０ｂの過熱による
破損、溶損、真空漏れ等の事故発生を未然に防止するこ
とが可能になる。
の過走査が生じて当該電子４が走査管１０の走査部管１
０ｂに当たる状態になったことを速やかに検出すること
ができる。これによって、走査部管１０ｂの過熱による
破損、溶損、真空漏れ等の事故発生を未然に防止するこ
とが可能になる。
【００２４】更にこの例のように、上記比較器２６また
は２８からの温度異常検出信号Ｓ1またはＳ2 に応答し
て、即ち少なくとも一方の温度異常検出信号Ｓ1 、Ｓ2
が与えられたときにそれに応答して、前記加速器６によ
る電子４の加速および電子源２による電子４の発生の少
なくとも一方を停止させる制御器３２を設けておくのが
好ましい。この停止制御のために、制御器３２はこの例
ではインターロック信号Ｓを出力する。この制御器３２
を設けておけば、電子４の過走査が起こったときに、そ
れの検出だけでなく当該電子４が走査部管１０ｂに当た
ることを自動的に停止させることができるので、走査部
管１０ｂの過熱による破損、溶損、真空漏れ等の事故発
生を未然にしかも自動で防止することができる。
は２８からの温度異常検出信号Ｓ1またはＳ2 に応答し
て、即ち少なくとも一方の温度異常検出信号Ｓ1 、Ｓ2
が与えられたときにそれに応答して、前記加速器６によ
る電子４の加速および電子源２による電子４の発生の少
なくとも一方を停止させる制御器３２を設けておくのが
好ましい。この停止制御のために、制御器３２はこの例
ではインターロック信号Ｓを出力する。この制御器３２
を設けておけば、電子４の過走査が起こったときに、そ
れの検出だけでなく当該電子４が走査部管１０ｂに当た
ることを自動的に停止させることができるので、走査部
管１０ｂの過熱による破損、溶損、真空漏れ等の事故発
生を未然にしかも自動で防止することができる。
【００２５】上記制御器３２によって加速器６による電
子４の加速を停止させるためには、例えば、上記インタ
ーロック信号Ｓによって、加速器６に加速電圧を印加す
る加速電源（図示省略）を制御して当該加速電圧の出力
を停止すれば良い。
子４の加速を停止させるためには、例えば、上記インタ
ーロック信号Ｓによって、加速器６に加速電圧を印加す
る加速電源（図示省略）を制御して当該加速電圧の出力
を停止すれば良い。
【００２６】また、制御器３２によって電子源２による
電子４の発生を停止させるためには、例えば、上記イン
ターロック信号Ｓによって、電子源２を構成するフィラ
メントを加熱するフィラメント電源（図示省略）を制御
して当該フィラメントの加熱を停止すれば良い。
電子４の発生を停止させるためには、例えば、上記イン
ターロック信号Ｓによって、電子源２を構成するフィラ
メントを加熱するフィラメント電源（図示省略）を制御
して当該フィラメントの加熱を停止すれば良い。
【００２７】加速器６による電子４の加速を停止させる
ことと、電子源２による電子４の発生を停止させること
の両方を行うのが好ましいけれども、勿論、どちらか一
方のみを停止させても良い。
ことと、電子源２による電子４の発生を停止させること
の両方を行うのが好ましいけれども、勿論、どちらか一
方のみを停止させても良い。
【００２８】更にこの例のように、前述した圧力計１８
で検出した検出圧力Ｐ1 と所定の設定圧力Ｐ0 とを比較
して、検出圧力Ｐ1 が設定圧力Ｐ0 を超えたときに圧力
異常検出信号Ｓ3 を出力する比較器３０を設けておいて
も良い。その場合は、この圧力異常検出信号Ｓ3 が与え
られたときにも、上記制御器３２から上記インターロッ
ク信号Ｓを出力して上記停止制御を行うようにしておく
のが好ましい。
で検出した検出圧力Ｐ1 と所定の設定圧力Ｐ0 とを比較
して、検出圧力Ｐ1 が設定圧力Ｐ0 を超えたときに圧力
異常検出信号Ｓ3 を出力する比較器３０を設けておいて
も良い。その場合は、この圧力異常検出信号Ｓ3 が与え
られたときにも、上記制御器３２から上記インターロッ
ク信号Ｓを出力して上記停止制御を行うようにしておく
のが好ましい。
【００２９】上記設定圧力Ｐ0 は、正常運転時の検出圧
力Ｐ1 の最大値よりも幾分高めに設定すれば良い。例え
ば、正常運転時の検出圧力Ｐ1 は（１〜５）×１０-6Ｐ
ａ程度であるので、上記設定圧力Ｐ0 は、それよりも高
めの２×１０-4Ｐａ程度に設定すれば良い。
力Ｐ1 の最大値よりも幾分高めに設定すれば良い。例え
ば、正常運転時の検出圧力Ｐ1 は（１〜５）×１０-6Ｐ
ａ程度であるので、上記設定圧力Ｐ0 は、それよりも高
めの２×１０-4Ｐａ程度に設定すれば良い。
【００３０】電子４の上記のような過走査が起こった場
合は、通常は上記温度検出の方が速いけれども、上記の
ような比較器３０系を更に設けておくと、電子４の過走
査発生を、走査部管１０ｂの温度上昇と走査管１０内の
圧力上昇の両方から検出することが可能になるので、過
走査発生の検出および走査部管１０ｂの保護がより確実
になる。即ち、二重の検出および保護が可能になる。
合は、通常は上記温度検出の方が速いけれども、上記の
ような比較器３０系を更に設けておくと、電子４の過走
査発生を、走査部管１０ｂの温度上昇と走査管１０内の
圧力上昇の両方から検出することが可能になるので、過
走査発生の検出および走査部管１０ｂの保護がより確実
になる。即ち、二重の検出および保護が可能になる。
【００３１】また、過走査が小さくて電子４が走査部管
１０ｂ以外の走査管１０に、例えば拡張部管１０ｃに当
たって、そこからガス等が発生して走査管１０内の圧力
が上昇した場合にもそれを検出することができるので、
過走査発生の検出および走査管１０等の装置の保護がよ
り確実になる。
１０ｂ以外の走査管１０に、例えば拡張部管１０ｃに当
たって、そこからガス等が発生して走査管１０内の圧力
が上昇した場合にもそれを検出することができるので、
過走査発生の検出および走査管１０等の装置の保護がよ
り確実になる。
【００３２】
【発明の効果】この発明は、上記のとおり構成されてい
るので、次のような効果を奏する。
るので、次のような効果を奏する。
【００３３】請求項１記載の発明によれば、上記のよう
な温度検出器および比較器を備えているので、走査器に
おいて電子の過走査が生じて当該電子が走査管の走査部
管に当たる状態になったことを、当該走査部管の温度上
昇によって速やかに検出することができる。
な温度検出器および比較器を備えているので、走査器に
おいて電子の過走査が生じて当該電子が走査管の走査部
管に当たる状態になったことを、当該走査部管の温度上
昇によって速やかに検出することができる。
【００３４】請求項２記載の発明によれば、温度検出器
を、過走査による電子の当たる可能性の高い所付近に設
けているので、電子の過走査発生をより近くでより速や
かに検出することができる。
を、過走査による電子の当たる可能性の高い所付近に設
けているので、電子の過走査発生をより近くでより速や
かに検出することができる。
【００３５】請求項３記載の発明によれば、電子の過走
査が起こったときに、それの検出だけでなく、当該電子
が走査部管に当たることを自動的に停止させることがで
きるので、走査部管の過熱による破損等の事故発生を未
然にしかも自動で防止することができる。
査が起こったときに、それの検出だけでなく、当該電子
が走査部管に当たることを自動的に停止させることがで
きるので、走査部管の過熱による破損等の事故発生を未
然にしかも自動で防止することができる。
【図１】この発明に係る電子線照射装置の走査器周りの
一例を示す図である。
一例を示す図である。
【図２】従来の電子線照射装置の一例を示す概略図であ
る。
る。
【図３】図２中の走査器周りの拡大断面図である。
２ 電子源 ４ 電子（電子線） ６ 加速器 ８ 走査器 １０ 走査管 １０ｂ 走査部管 １２ 走査コイル １４ 照射窓 ２２、２４ 温度検出器 ２６、２８、３０ 比較器 ３２ 制御器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ２１Ｋ 5/00 Ｇ２１Ｋ 5/00 Ａ Ｈ０１Ｌ 21/027 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５４１Ｖ Ｆターム(参考） 4C058 AA01 BB06 CC02 DD04 DD06 DD16 EE26 KK01 KK14 KK22 4G075 AA01 AA24 AA37 AA62 AA63 AA65 BA05 BA10 CA03 CA39 CA65 DA02 EB01 EB31 EC30 5F056 BA09 BB10 BC05 CB02 EA12
Claims (3)
- 【請求項１】 電子を発生する電子源と、この電子源に
接続されていて当該電子源からの電子を加速する加速器
と、この加速器に接続されていて当該加速器からの電子
を走査する走査器と、この走査器の先端部に設けられて
いて、当該走査器内部の真空雰囲気と外部の照射雰囲気
とを分離すると共に電子を透過させる窓箔を有する照射
窓とを備えており、しかも前記走査器が、末広がりの形
状をしていて上部付近に他よりも耐熱性の高い金属から
成る走査部管を有する走査管と、この走査部管の外部に
設けられていて電子を走査する走査コイルとを備えてい
る電子線照射装置において、前記走査管を構成する走査
部管の電子走査方向の少なくとも一方側に設けられてい
て当該走査部管の温度を検出する温度検出器と、この温
度検出器で検出した温度と所定の設定温度とを比較して
前者が後者を超えたときに温度異常検出信号を出力する
比較器とを備えることを特徴とする電子線照射装置。 - 【請求項２】 前記温度検出器を、前記走査部管の下部
付近に設けている請求項１記載の電子線照射装置。 - 【請求項３】 前記比較器からの温度異常検出信号に応
答して、前記加速器による電子の加速および前記電子源
による電子の発生の少なくとも一方を停止させる制御器
を更に備える請求項１または２記載の電子線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000282013A JP2002090499A (ja) | 2000-09-18 | 2000-09-18 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000282013A JP2002090499A (ja) | 2000-09-18 | 2000-09-18 | 電子線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002090499A true JP2002090499A (ja) | 2002-03-27 |
Family
ID=18766590
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000282013A Pending JP2002090499A (ja) | 2000-09-18 | 2000-09-18 | 電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002090499A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008213845A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 電子線殺菌システム |
| WO2009139399A1 (ja) * | 2008-05-12 | 2009-11-19 | 株式会社日本Ａｅパワーシステムズ | 監視装置付き電子線照射装置 |
-
2000
- 2000-09-18 JP JP2000282013A patent/JP2002090499A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008213845A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 電子線殺菌システム |
| WO2009139399A1 (ja) * | 2008-05-12 | 2009-11-19 | 株式会社日本Ａｅパワーシステムズ | 監視装置付き電子線照射装置 |
| JP2009276062A (ja) * | 2008-05-12 | 2009-11-26 | Japan Ae Power Systems Corp | 監視装置付き電子線照射装置 |
| US8227776B2 (en) | 2008-05-12 | 2012-07-24 | Japan AE Power System Corporation | Electron beam irradiating apparatus with monitoring device |
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