JPH03229861A - 電子ビーム蒸発装置 - Google Patents
電子ビーム蒸発装置Info
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- JPH03229861A JPH03229861A JP2227290A JP2227290A JPH03229861A JP H03229861 A JPH03229861 A JP H03229861A JP 2227290 A JP2227290 A JP 2227290A JP 2227290 A JP2227290 A JP 2227290A JP H03229861 A JPH03229861 A JP H03229861A
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、金属の真空溶解や蒸着に用いられる電子ビー
ム蒸発装置に関する。
ム蒸発装置に関する。
（従来の技術）
従来、金属の真空溶解や蒸着等に用いられる電子ビーム
蒸発装置として、水冷るつぼ内に蒸発用金属を置き、電
子銃に加速された電子ビームを磁場等で偏向し、前記蒸
発用金属に衝突させたときのエネルギーを加熱源とした
ものがある。この場合、水冷るつぼに直接電子ビームが
照射されると、水冷るつぼが損傷することから、これを
防止するため前記水冷るつぼ内に高融点金属例えばタン
グステンで作られたるつぼハースライナを配置し、この
ハースライナ内に前記蒸発用金属を置き、これに電子ビ
ームを照射して金属蒸気を得るようにしたものがある。
蒸発装置として、水冷るつぼ内に蒸発用金属を置き、電
子銃に加速された電子ビームを磁場等で偏向し、前記蒸
発用金属に衝突させたときのエネルギーを加熱源とした
ものがある。この場合、水冷るつぼに直接電子ビームが
照射されると、水冷るつぼが損傷することから、これを
防止するため前記水冷るつぼ内に高融点金属例えばタン
グステンで作られたるつぼハースライナを配置し、この
ハースライナ内に前記蒸発用金属を置き、これに電子ビ
ームを照射して金属蒸気を得るようにしたものがある。
第２図はその一例を示すもので、タングステン等ででき
たフィラメント１に電流を流して加熱することにより、
放出される熱電子２は、マイナス電位のウェーネルト電
極３とアース電位のアノード電極４の間で加速された電
子銃ユニット５より飛出す。この飛出した熱電子２は、
その後図示しない磁場または電場によって偏向され、る
つぼハースライナ６内に置かれた蒸発用金属７にぶつけ
られ、その運動エネルギーが熱エネルギーに変換される
。蒸発用金属７が十分に加熱されると、ハースライナ６
内で溶融状態となり、蒸発用金属７の蒸気８を発生する
。前記ハースライナ６は水冷るつぼ９内に配置され、こ
のるつぼ９には多数の冷却管１２を有し、この内部に冷
却水を流通させることにより水冷るつぼ９が冷却され、
ハースライナ６が冷却される。
たフィラメント１に電流を流して加熱することにより、
放出される熱電子２は、マイナス電位のウェーネルト電
極３とアース電位のアノード電極４の間で加速された電
子銃ユニット５より飛出す。この飛出した熱電子２は、
その後図示しない磁場または電場によって偏向され、る
つぼハースライナ６内に置かれた蒸発用金属７にぶつけ
られ、その運動エネルギーが熱エネルギーに変換される
。蒸発用金属７が十分に加熱されると、ハースライナ６
内で溶融状態となり、蒸発用金属７の蒸気８を発生する
。前記ハースライナ６は水冷るつぼ９内に配置され、こ
のるつぼ９には多数の冷却管１２を有し、この内部に冷
却水を流通させることにより水冷るつぼ９が冷却され、
ハースライナ６が冷却される。
この様な構成のものにおいて、熱電子２が蒸発用金属７
に衝突する加熱中心１０と、冷却されているハースライ
ナ６内部との間に大きな温度差が生ずるため、ハースラ
イナ６内で対流が起る。
に衝突する加熱中心１０と、冷却されているハースライ
ナ６内部との間に大きな温度差が生ずるため、ハースラ
イナ６内で対流が起る。
通常、この対流は液面に沿って加熱中心１０から冷却さ
れているハースライナ６の内壁に向かって流れ、下方へ
回り込み再度加熱中心１０に向がって流れる。この際、
蒸発用金属７が腐食性の強い活性金属がハースライナ６
の内壁に接するため、ハースライナ６の内壁が徐々に浸
食される。これを防止するため、一般には、蒸発用金属
７に対する反応性が極めて低い耐食絶縁層１１がハース
ライナ６の内壁に、また、蒸発用金属７に直接さらされ
ないハースライナ６の外壁にも断熱性を高め、均一に溶
融させ熱効率を上げるため耐食絶縁層１１゛が設けられ
ている。耐食絶縁層１１゜１１′は、融点が高く前述の
ように溶融した蒸発用金属７に対して反応性の低いもの
が適するが、これらの多くは電気的に絶縁性の酸化物セ
ラミックスを用いる。
れているハースライナ６の内壁に向かって流れ、下方へ
回り込み再度加熱中心１０に向がって流れる。この際、
蒸発用金属７が腐食性の強い活性金属がハースライナ６
の内壁に接するため、ハースライナ６の内壁が徐々に浸
食される。これを防止するため、一般には、蒸発用金属
７に対する反応性が極めて低い耐食絶縁層１１がハース
ライナ６の内壁に、また、蒸発用金属７に直接さらされ
ないハースライナ６の外壁にも断熱性を高め、均一に溶
融させ熱効率を上げるため耐食絶縁層１１゛が設けられ
ている。耐食絶縁層１１゜１１′は、融点が高く前述の
ように溶融した蒸発用金属７に対して反応性の低いもの
が適するが、これらの多くは電気的に絶縁性の酸化物セ
ラミックスを用いる。
（発明が解決しようとする課題）
以上述べた従来の電子ビーム蒸発装置では、ハースライ
ナ６内の蒸発用金属７が存在しているかどうかを検知す
るための手段を何等備えていないので、蒸発用金属７の
レベルが低下したり、万−該レベルが零になると、水冷
るつぼの損傷につながり、水漏性事故になることがあり
、危険な状態となる。
ナ６内の蒸発用金属７が存在しているかどうかを検知す
るための手段を何等備えていないので、蒸発用金属７の
レベルが低下したり、万−該レベルが零になると、水冷
るつぼの損傷につながり、水漏性事故になることがあり
、危険な状態となる。
本発明は、るつぼハースライナの損傷を初期段階で検知
することが可能で、これによりるつぼの損傷を未然に防
止できる電子ビーム蒸発装置を提供することを目的とす
る。
することが可能で、これによりるつぼの損傷を未然に防
止できる電子ビーム蒸発装置を提供することを目的とす
る。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
本発明は前記目的を達成するため、上部が開口している
形状のるつぼ内に、このるつぼの損傷を防止するための
ものであって、上部が開いていて蒸発用金属を貯え可能
なハースライナの外周面全部に絶縁層を形成してなるる
つぼハースライナを設け、前記ハースライナに流れる電
子ビーム電流を検知する電流検知手段を設けたものであ
る。
形状のるつぼ内に、このるつぼの損傷を防止するための
ものであって、上部が開いていて蒸発用金属を貯え可能
なハースライナの外周面全部に絶縁層を形成してなるる
つぼハースライナを設け、前記ハースライナに流れる電
子ビーム電流を検知する電流検知手段を設けたものであ
る。
（作 用）
本発明によれば、るつぼハースライナの外周面に形成さ
れている絶縁層が破壊されると、電流検知手段により電
子ビーム電流が検知されることか、ら、るつぼハースラ
イナの損傷を初期段階で検知することが可能で、これに
よりるつぼの損傷を未然に防止できる。
れている絶縁層が破壊されると、電流検知手段により電
子ビーム電流が検知されることか、ら、るつぼハースラ
イナの損傷を初期段階で検知することが可能で、これに
よりるつぼの損傷を未然に防止できる。
（実施例）
以下、本発明の実施例について、第１図を参照して説明
する。第１図は、前述した従ネの第２、図に部いて、ハ
ースライナ６に流れる電子ビーム電流を検知する電流検
知手段例えば電流計１３を、ハースライナ６とアース電
位との、間に電気的に接続した点のみが異なる。この様
な構成のものにおいて、ハースライナ６の外周面に形成
されている絶縁層１１．１１−の少なくともいずれか一
方に、電子ビーム２が直接照射されると、温度が上昇し
て絶縁層１１．１１−が破壊されることがある。
する。第１図は、前述した従ネの第２、図に部いて、ハ
ースライナ６に流れる電子ビーム電流を検知する電流検
知手段例えば電流計１３を、ハースライナ６とアース電
位との、間に電気的に接続した点のみが異なる。この様
な構成のものにおいて、ハースライナ６の外周面に形成
されている絶縁層１１．１１−の少なくともいずれか一
方に、電子ビーム２が直接照射されると、温度が上昇し
て絶縁層１１．１１−が破壊されることがある。
この絶縁層１１．４１−が破壊されると、ハースライナ
６に電子ビーム電流が流れ、この値に応じて電流計１３
が動作する。この電流計１３の動作により１、絶縁層１
１．１１−が破壊されたことが分かる。この時、電子銃
ユニット５の運転を停止させれば、ハースライナ６の損
傷を初期段階で止めることができ、これにより水冷のる
つぼ９の損傷を未然に防止できる。
６に電子ビーム電流が流れ、この値に応じて電流計１３
が動作する。この電流計１３の動作により１、絶縁層１
１．１１−が破壊されたことが分かる。この時、電子銃
ユニット５の運転を停止させれば、ハースライナ６の損
傷を初期段階で止めることができ、これにより水冷のる
つぼ９の損傷を未然に防止できる。
以上述べた実施例では、るつぼ９と、して水冷方式のも
のをあげたが、これ以外の冷却媒体方式でもよいことは
言うまでもない。
のをあげたが、これ以外の冷却媒体方式でもよいことは
言うまでもない。
［発明の効果］
以上述べた本発明によれば、るつぼハースライナの外周
面に形成されている絶縁層が破壊されると、電流検知手
段により電子ビーム電流が検知されることから、るつぼ
ハースライナの損傷を初期段階で検知することが可能で
、これによりるつぼの損傷を未然に防止できる電子ビー
ム蒸発装置を提供できる。
面に形成されている絶縁層が破壊されると、電流検知手
段により電子ビーム電流が検知されることから、るつぼ
ハースライナの損傷を初期段階で検知することが可能で
、これによりるつぼの損傷を未然に防止できる電子ビー
ム蒸発装置を提供できる。
第１図は本発明による電子ビーム蒸発装置の実施例を示
す概略構成図、第２図は従来の電子ビーム蒸発装置の一
例を示す概略構成図である。 ５・・・電子銃ユニット、６・・・るつぼハースライナ
、７・・・蒸発用金属、８・・・蒸気、９・・・水冷る
っは、１１．１１−・・・絶縁層、１２・・・冷却管。
す概略構成図、第２図は従来の電子ビーム蒸発装置の一
例を示す概略構成図である。 ５・・・電子銃ユニット、６・・・るつぼハースライナ
、７・・・蒸発用金属、８・・・蒸気、９・・・水冷る
っは、１１．１１−・・・絶縁層、１２・・・冷却管。
Claims (1)
- 上部が開口している形状のるつぼ内に、このるつぼの損
傷を防止するためのものであって、上部が開いていて蒸
発用金属を貯え可能なハースライナの外周面全部に絶縁
層を形成してなるるつぼハースライナを設け、前記ハー
スライナに流れる電子ビーム電流を検知する電流検知手
段を設けた電子ビーム蒸発装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2227290A JPH03229861A (ja) | 1990-02-02 | 1990-02-02 | 電子ビーム蒸発装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2227290A JPH03229861A (ja) | 1990-02-02 | 1990-02-02 | 電子ビーム蒸発装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03229861A true JPH03229861A (ja) | 1991-10-11 |
Family
ID=12078129
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2227290A Pending JPH03229861A (ja) | 1990-02-02 | 1990-02-02 | 電子ビーム蒸発装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03229861A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20080047487A1 (en) * | 2006-07-14 | 2008-02-28 | Georgia Tech Research Corporation | In-situ flux measurement devices, methods, and systems |
-
1990
- 1990-02-02 JP JP2227290A patent/JPH03229861A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20080047487A1 (en) * | 2006-07-14 | 2008-02-28 | Georgia Tech Research Corporation | In-situ flux measurement devices, methods, and systems |
| US8261690B2 (en) * | 2006-07-14 | 2012-09-11 | Georgia Tech Research Corporation | In-situ flux measurement devices, methods, and systems |
| US8360002B2 (en) | 2006-07-14 | 2013-01-29 | Georgia Tech Research Corporation | In-situ flux measurement devices, methods, and systems |
| US8377518B2 (en) | 2006-07-14 | 2013-02-19 | Georgia Tech Research Corporation | In-situ flux measurement devices, methods, and systems |
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