JP2002086354A - 平面研削盤 - Google Patents
平面研削盤Info
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- JP2002086354A JP2002086354A JP2000277012A JP2000277012A JP2002086354A JP 2002086354 A JP2002086354 A JP 2002086354A JP 2000277012 A JP2000277012 A JP 2000277012A JP 2000277012 A JP2000277012 A JP 2000277012A JP 2002086354 A JP2002086354 A JP 2002086354A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 連続送り方式で平面研削する場合であって
も、砥石の移動速度を設定する必要がない平面研削盤を
提供すること。 【解決手段】 あらかじめ、送りピッチ設定器２３によ
り送りピッチＰを設定しておく。研削に先立ち、テーブ
ル２を１往復させ、テーブル２が１往復する時間（周
期）Ｔをタイマ２１で計測する。そして、求めた時間Ｔ
とあらかじめ入力されている送りピッチＰとから、砥石
３の軸心方向の移動速度ＳをＳ＝Ｐ／Ｔとする。そし
て、砥石３を速度Ｓで砥石３の軸心方向に移動させなが
らテーブル２を砥石３の軸心と直角の方向に往復移動さ
せてワークの研削を行う。
も、砥石の移動速度を設定する必要がない平面研削盤を
提供すること。 【解決手段】 あらかじめ、送りピッチ設定器２３によ
り送りピッチＰを設定しておく。研削に先立ち、テーブ
ル２を１往復させ、テーブル２が１往復する時間（周
期）Ｔをタイマ２１で計測する。そして、求めた時間Ｔ
とあらかじめ入力されている送りピッチＰとから、砥石
３の軸心方向の移動速度ＳをＳ＝Ｐ／Ｔとする。そし
て、砥石３を速度Ｓで砥石３の軸心方向に移動させなが
らテーブル２を砥石３の軸心と直角の方向に往復移動さ
せてワークの研削を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、テーブルと砥石と
を互いに直角な方向に相対的に移動させて平面を研削す
る、例えば横軸角テーブル形の平面研削盤に関する。
を互いに直角な方向に相対的に移動させて平面を研削す
る、例えば横軸角テーブル形の平面研削盤に関する。
【０００２】
【従来の技術】水平方向の回転軸心を中心に回転する砥
石を使用する平面研削盤では、通常、ワークを載置した
テーブルを砥石の回転軸心と直角の方向に往復移動さ
せ、砥石を回転軸心方向に移動させて平面研削を行う。
石を使用する平面研削盤では、通常、ワークを載置した
テーブルを砥石の回転軸心と直角の方向に往復移動さ
せ、砥石を回転軸心方向に移動させて平面研削を行う。
【０００３】図５（ａ）、（ｂ）は、従来の砥石の、ワ
ーク１に対する相対的な軌跡を示す平面図であり、テー
ブルを同図の左右方向（以下「左右方向」という。）に
往復移動させ、砥石を同図の上下方向（以下「前後方
向」という。）に移動させた場合である。なお、
（ａ）、（ｂ）のいずれの場合も、砥石の回転軸心は、
前後方向である。
ーク１に対する相対的な軌跡を示す平面図であり、テー
ブルを同図の左右方向（以下「左右方向」という。）に
往復移動させ、砥石を同図の上下方向（以下「前後方
向」という。）に移動させた場合である。なお、
（ａ）、（ｂ）のいずれの場合も、砥石の回転軸心は、
前後方向である。
【０００４】図５（ａ）は、砥石の回転軸心上における
幅方向の中心を、２点鎖線で示すワーク１の左右両端又
は左右両端を超えた位置ＸＬ、ＸＲにおいて前後方向に
距離ｆだけ移動させた場合である。以下、軌跡が階段状
になる砥石の送り方式を間欠送り方式という。なお、距
離ｆは、砥石の幅の１／２〜２／３程度に設定される。
幅方向の中心を、２点鎖線で示すワーク１の左右両端又
は左右両端を超えた位置ＸＬ、ＸＲにおいて前後方向に
距離ｆだけ移動させた場合である。以下、軌跡が階段状
になる砥石の送り方式を間欠送り方式という。なお、距
離ｆは、砥石の幅の１／２〜２／３程度に設定される。
【０００５】また、図５（ｂ）は、テーブルを左右方向
に往復移動させながら、砥石の回転軸心上における幅方
向の中心を、テーブルが１往復する間に距離Ｐ（以下
「送りピッチＰ」という。）移動する速度で、前後方向
に移動させた場合である。以下、軌跡が稲妻状になる砥
石の送り方式を連続送り方式という。
に往復移動させながら、砥石の回転軸心上における幅方
向の中心を、テーブルが１往復する間に距離Ｐ（以下
「送りピッチＰ」という。）移動する速度で、前後方向
に移動させた場合である。以下、軌跡が稲妻状になる砥
石の送り方式を連続送り方式という。
【０００６】ここで、図５（ａ）、（ｂ）におけるワー
ク１前後方向の長さを５ｆ、距離ｆを砥石幅の１／２、
また、送りピッチＰをＰ＝２ｆとすると、いずれの送り
方式の場合も、砥石が前進する間にワーク１の表面の任
意の箇所が２回ずつ、したがって、表面全体について２
回研削されることになり、研削面の平坦度は同程度にな
る。
ク１前後方向の長さを５ｆ、距離ｆを砥石幅の１／２、
また、送りピッチＰをＰ＝２ｆとすると、いずれの送り
方式の場合も、砥石が前進する間にワーク１の表面の任
意の箇所が２回ずつ、したがって、表面全体について２
回研削されることになり、研削面の平坦度は同程度にな
る。
【０００７】しかし、間欠送り方式の場合、距離ｆに相
当する幅の筋目（送り目と呼ばれる。）が研削面に形成
されることがある。筋目そのものは視覚的なものであ
り、研削面の品質としては差がない。しかし、筋目は商
品価値を低下させるため、連続送り方式が採用されるこ
とが多い。
当する幅の筋目（送り目と呼ばれる。）が研削面に形成
されることがある。筋目そのものは視覚的なものであ
り、研削面の品質としては差がない。しかし、筋目は商
品価値を低下させるため、連続送り方式が採用されるこ
とが多い。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述の間欠送り方式の
場合、ワーク１の左右方向の大きさ、すなわちテーブル
の移動ストロークにかかわらず、砥石の前後方向の移動
速度は固定でよい。これに対して、連続送り方式の場
合、送りピッチＰを一定にする必要があるので、テーブ
ルの移動ストロークや移動速度を変える度に、すなわち
ワーク１の種類が変わるごとに、砥石の前後方向の移動
速度をワークに合わせて設定しなければならず、作業能
率が低下するという問題があった。
場合、ワーク１の左右方向の大きさ、すなわちテーブル
の移動ストロークにかかわらず、砥石の前後方向の移動
速度は固定でよい。これに対して、連続送り方式の場
合、送りピッチＰを一定にする必要があるので、テーブ
ルの移動ストロークや移動速度を変える度に、すなわち
ワーク１の種類が変わるごとに、砥石の前後方向の移動
速度をワークに合わせて設定しなければならず、作業能
率が低下するという問題があった。
【０００９】本発明は、上述事情に鑑みてなされたもの
であり、連続送り方式で平面研削する場合において、ワ
ークの種類が変わった場合であっても、砥石の移動速度
を設定し直す必要がない平面研削盤を提供することにあ
る。
であり、連続送り方式で平面研削する場合において、ワ
ークの種類が変わった場合であっても、砥石の移動速度
を設定し直す必要がない平面研削盤を提供することにあ
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めの請求項１に係る本発明は、ワークが載置されるテー
ブルと、前記ワーク表面を研削する砥石とを相互に直角
な方向に相対移動させて研削を行う平面研削盤におい
て、研削開始前に、前記テーブルが１往復する周期Ｔを
計測するタイマと、前記テーブルが１往復する間に前記
砥石が前記テーブルの往復方向と直角な方向に移動する
距離である送りピッチＰを設定する設定手段と、を備
え、前記タイマが計測した周期Ｔと前記設定手段によっ
て設定された送りピッチＰとから前記砥石の移動速度Ｐ
／Ｔを算出し、研削に際して、前記テーブルを前記周期
Ｔで往復移動させるとともに、前記砥石を前記移動速度
Ｐ／Ｔで移動させる、ことを特徴とする。
めの請求項１に係る本発明は、ワークが載置されるテー
ブルと、前記ワーク表面を研削する砥石とを相互に直角
な方向に相対移動させて研削を行う平面研削盤におい
て、研削開始前に、前記テーブルが１往復する周期Ｔを
計測するタイマと、前記テーブルが１往復する間に前記
砥石が前記テーブルの往復方向と直角な方向に移動する
距離である送りピッチＰを設定する設定手段と、を備
え、前記タイマが計測した周期Ｔと前記設定手段によっ
て設定された送りピッチＰとから前記砥石の移動速度Ｐ
／Ｔを算出し、研削に際して、前記テーブルを前記周期
Ｔで往復移動させるとともに、前記砥石を前記移動速度
Ｐ／Ｔで移動させる、ことを特徴とする。
【００１１】請求項１の発明によると、砥石の移動速度
をＰ／Ｔとするから、テーブルの移動ストロークや移動
速度が変化した場合であっても、送りピッチＰを所望の
値とすることができる。
をＰ／Ｔとするから、テーブルの移動ストロークや移動
速度が変化した場合であっても、送りピッチＰを所望の
値とすることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面に沿って、本発明の実
施の形態について説明する。
施の形態について説明する。
【００１３】〈実施の形態１〉図１、図２に、本発明に
係る平面研削盤の一例として、横軸角テーブル型の平面
研削盤を示す。図１、図２は、それぞれ正面図、側面図
である。
係る平面研削盤の一例として、横軸角テーブル型の平面
研削盤を示す。図１、図２は、それぞれ正面図、側面図
である。
【００１４】これらの図に示す平面研削盤において、テ
ーブル２は、油圧装置及び油圧シリンダ（いずれも不図
示）により、ベット４上を左右方向（矢印Ｘ方向）に移
動自在である。テーブル２の上面２ａには、チャック５
によってワーク１が固定されている。また、テーブル２
の前側面２ｂに固定されたガイド６には、その左側と右
側とにそれぞれドッグ７Ｌ、７Ｒが位置決め自在に配置
されている。ベッド４の正面中央部、すなわち上述のガ
イド６の中央部に対応する位置には、近接スイッチ８Ｌ
と近接スイッチ８Ｒが、前後方向（矢印Ｚ方向）をそれ
ぞれドッグ７Ｌとドッグ７Ｒとに合わせて固定されてい
る。近接スイッチ８Ｌと近接スイッチ８Ｒとは、制御装
置２０に接続されている。
ーブル２は、油圧装置及び油圧シリンダ（いずれも不図
示）により、ベット４上を左右方向（矢印Ｘ方向）に移
動自在である。テーブル２の上面２ａには、チャック５
によってワーク１が固定されている。また、テーブル２
の前側面２ｂに固定されたガイド６には、その左側と右
側とにそれぞれドッグ７Ｌ、７Ｒが位置決め自在に配置
されている。ベッド４の正面中央部、すなわち上述のガ
イド６の中央部に対応する位置には、近接スイッチ８Ｌ
と近接スイッチ８Ｒが、前後方向（矢印Ｚ方向）をそれ
ぞれドッグ７Ｌとドッグ７Ｒとに合わせて固定されてい
る。近接スイッチ８Ｌと近接スイッチ８Ｒとは、制御装
置２０に接続されている。
【００１５】砥石３は、回転軸心を前後方向に向けた姿
勢で、砥石軸頭９によって回転自在に支持されている。
砥石軸頭９は上下送りサーボモータ１０により、コラム
１１上を上下方向（矢印Ｙ方向）の任意の位置に位置決
め自在である。コラム１１は、前後送りサーボモータ１
２により、ベッド４上を前後方向の任意の位置に位置決
め自在である。
勢で、砥石軸頭９によって回転自在に支持されている。
砥石軸頭９は上下送りサーボモータ１０により、コラム
１１上を上下方向（矢印Ｙ方向）の任意の位置に位置決
め自在である。コラム１１は、前後送りサーボモータ１
２により、ベッド４上を前後方向の任意の位置に位置決
め自在である。
【００１６】制御装置２０は、タイマ２１と演算装置２
２とを備え、テーブル２、砥石３、モータ１０、及びモ
ータ１２等の制御を行う。また、制御装置２０には、送
りピッチ設定器（設定手段）２３が接続されている。
２とを備え、テーブル２、砥石３、モータ１０、及びモ
ータ１２等の制御を行う。また、制御装置２０には、送
りピッチ設定器（設定手段）２３が接続されている。
【００１７】次に、本実施の形態の動作を説明する。
【００１８】図３は、本実施の形態における平面研削盤
の動作を示すフローチャートであり、図４は、ワーク１
に対する砥石３の相対的な軌跡を示す平面図である。加
工に先立ち、操作盤（不図示）により、砥石３の上下方
向（矢印Ｙ方向）の１回の切込み量ｋ、切込み開始位置
Ｙｓ（ここでは、ワーク１の表面に接する位置。）の座
標、切込み終了位置Ｙｅの座標、砥石３の後端位置Ｚｓ
の座標、及び前端位置Ｚｅの座標をそれぞれ入力してお
く。さらに、送りピッチ設定器２３により前後方向（矢
印Ｚ方向）の送りピッチＰを入力しておく。
の動作を示すフローチャートであり、図４は、ワーク１
に対する砥石３の相対的な軌跡を示す平面図である。加
工に先立ち、操作盤（不図示）により、砥石３の上下方
向（矢印Ｙ方向）の１回の切込み量ｋ、切込み開始位置
Ｙｓ（ここでは、ワーク１の表面に接する位置。）の座
標、切込み終了位置Ｙｅの座標、砥石３の後端位置Ｚｓ
の座標、及び前端位置Ｚｅの座標をそれぞれ入力してお
く。さらに、送りピッチ設定器２３により前後方向（矢
印Ｚ方向）の送りピッチＰを入力しておく。
【００１９】また、ワーク１の大きさに合わせて、ドッ
グ７Ｌとドッグ７Ｒとをそれぞれ近接スイッチ８Ｌと近
接スイッチ８Ｒに対して位置決めするとともに、テーブ
ル２を移動ストロークの右端ＸＲに位置決めし、また、
砥石３を、上下方向（矢印Ｙ方向）は切込み開始位置Ｙ
ｓに、前後方向（矢印Ｚ方向）は後端位置Ｚｓにそれぞ
れ位置決めしておく。
グ７Ｌとドッグ７Ｒとをそれぞれ近接スイッチ８Ｌと近
接スイッチ８Ｒに対して位置決めするとともに、テーブ
ル２を移動ストロークの右端ＸＲに位置決めし、また、
砥石３を、上下方向（矢印Ｙ方向）は切込み開始位置Ｙ
ｓに、前後方向（矢印Ｚ方向）は後端位置Ｚｓにそれぞ
れ位置決めしておく。
【００２０】ここでは、ワーク１の前後方向の長さを５
Ｐ／２、全切込み量（Ｙｅ−Ｙｓ）を１回の切込み量ｋ
の整数倍であるとする。また、Ｙ軸とＺ軸の方向は、Ｙ
ｅ＞Ｙｓ、Ｚｅ＞Ｚｓとなる方向である。
Ｐ／２、全切込み量（Ｙｅ−Ｙｓ）を１回の切込み量ｋ
の整数倍であるとする。また、Ｙ軸とＺ軸の方向は、Ｙ
ｅ＞Ｙｓ、Ｚｅ＞Ｚｓとなる方向である。
【００２１】自動サイクル開始ボタン（不図示）がオン
されると、制御装置２０は、テーブル２を移動させると
同時に、タイマ２１をオンする（手順Ｓ１００）。な
お、手順Ｓ１００は、以下単に「Ｓ１００」と記す。他
の手順についても同様である。テーブル２が１往復した
ら（Ｓ１１０）、タイマ２１及びテーブル２を停止させ
る（Ｓ１２０）。そして、演算装置２２により、計測し
た時間（周期）Ｔとあらかじめ設定されている送りピッ
チＰとから、砥石３の前後方向の移動速度ＳをＳ＝Ｐ／
Ｔとする（Ｓ１３０）。
されると、制御装置２０は、テーブル２を移動させると
同時に、タイマ２１をオンする（手順Ｓ１００）。な
お、手順Ｓ１００は、以下単に「Ｓ１００」と記す。他
の手順についても同様である。テーブル２が１往復した
ら（Ｓ１１０）、タイマ２１及びテーブル２を停止させ
る（Ｓ１２０）。そして、演算装置２２により、計測し
た時間（周期）Ｔとあらかじめ設定されている送りピッ
チＰとから、砥石３の前後方向の移動速度ＳをＳ＝Ｐ／
Ｔとする（Ｓ１３０）。
【００２２】次に、砥石３を回転させ、砥石３のＹ座標
をＹ＝Ｙｓ＋ｋとして、すなわち砥石３を切込み開始位
置Ｙｓから切り込み量ｋだけ下げた後（Ｓ１４０）、テ
ーブル２を往復移動させるとともに、砥石３を速度Ｓで
前進させる（Ｓ１５０）。砥石３が前端位置Ｚｅに到達
したら（Ｓ１６０）、砥石３を切込み量ｋだけ切り込ま
せ（Ｓ１７０）、Ｙ≦Ｙｅである場合はＳ１９０の処理
を行ない、Ｙ＞Ｙｅである場合は処理を終了する（Ｓ１
８０）。Ｓ１９０では、砥石３の移動方向を逆にして、
砥石３を速度Ｓで後退させる。そして、砥石３が後端位
置Ｚｓに到達したら（Ｓ２００）、砥石３を切込み量ｋ
だけ切り込ませ（手順Ｓ２１０）、Ｙ≦Ｙｅである場合
はＳ１６０の処理を行ない、Ｙ＞Ｙｅである場合は処理
を終了する（Ｓ２２０）。
をＹ＝Ｙｓ＋ｋとして、すなわち砥石３を切込み開始位
置Ｙｓから切り込み量ｋだけ下げた後（Ｓ１４０）、テ
ーブル２を往復移動させるとともに、砥石３を速度Ｓで
前進させる（Ｓ１５０）。砥石３が前端位置Ｚｅに到達
したら（Ｓ１６０）、砥石３を切込み量ｋだけ切り込ま
せ（Ｓ１７０）、Ｙ≦Ｙｅである場合はＳ１９０の処理
を行ない、Ｙ＞Ｙｅである場合は処理を終了する（Ｓ１
８０）。Ｓ１９０では、砥石３の移動方向を逆にして、
砥石３を速度Ｓで後退させる。そして、砥石３が後端位
置Ｚｓに到達したら（Ｓ２００）、砥石３を切込み量ｋ
だけ切り込ませ（手順Ｓ２１０）、Ｙ≦Ｙｅである場合
はＳ１６０の処理を行ない、Ｙ＞Ｙｅである場合は処理
を終了する（Ｓ２２０）。
【００２３】なお、本実施の形態では、Ｓ１２０におい
てテーブル２の移動を一端停止させたが、往復移動させ
たままでもよい。
てテーブル２の移動を一端停止させたが、往復移動させ
たままでもよい。
【００２４】また、テーブル２が往復する時間の計測を
自動サイクル開始ボタンがオンされた直後だけとした
が、砥石３が前端位置Ｚｅと後端位置Ｚｓに到達するご
とに計測するようにしてもよい。このようにすると、テ
ーブル２の移動速度やテーブル２の移動ストロークを加
工の途中で変更することができる。
自動サイクル開始ボタンがオンされた直後だけとした
が、砥石３が前端位置Ｚｅと後端位置Ｚｓに到達するご
とに計測するようにしてもよい。このようにすると、テ
ーブル２の移動速度やテーブル２の移動ストロークを加
工の途中で変更することができる。
【００２５】また、各種のデータを入力する操作盤（不
図示）により送りピッチを設定するようにすれば、送り
ピッチ設定器２３は設ける必要がない。
図示）により送りピッチを設定するようにすれば、送り
ピッチ設定器２３は設ける必要がない。
【００２６】上述の実施の形態においては、テーブル２
を左右方向に移動させ、かつ砥石３を前後方向に移動さ
せる場合について説明したが、本発明におけるテーブル
と砥石とは互いに直角な方向に相対移動すればよく、し
たがって、例えば、上述とは逆に、テーブルを前後方
向、砥石を左右方向に移動させるようにしてもよい。た
だし、この場合には、ピッチは左右方向に設定されるこ
とになる。また、テーブルを移動させることなく、砥石
のみを前後方向及び左右方向に移動させるようにして
も、あるいはこれとは逆に、砥石は移動させずに、テー
ブルのみを前後方向及び左右方向に移動させるようにし
てもよいのはもちろんである。
を左右方向に移動させ、かつ砥石３を前後方向に移動さ
せる場合について説明したが、本発明におけるテーブル
と砥石とは互いに直角な方向に相対移動すればよく、し
たがって、例えば、上述とは逆に、テーブルを前後方
向、砥石を左右方向に移動させるようにしてもよい。た
だし、この場合には、ピッチは左右方向に設定されるこ
とになる。また、テーブルを移動させることなく、砥石
のみを前後方向及び左右方向に移動させるようにして
も、あるいはこれとは逆に、砥石は移動させずに、テー
ブルのみを前後方向及び左右方向に移動させるようにし
てもよいのはもちろんである。
【００２７】なお、本発明は、平面研削盤についてのも
のであるが、テーブルや砥石の動きが上述と同様なも
の、例えば、横型のフライス盤に砥石を取り付けて研削
作業を行う場合にも適応することができる。さらには、
本発明は、名称にとらわれることなく、前述と同様に作
業を行う他の工作機械にも適用することができる。例え
ば、縦型フライス盤における、正面フライス盤を使用し
ての切削作業においても適用することができる。
のであるが、テーブルや砥石の動きが上述と同様なも
の、例えば、横型のフライス盤に砥石を取り付けて研削
作業を行う場合にも適応することができる。さらには、
本発明は、名称にとらわれることなく、前述と同様に作
業を行う他の工作機械にも適用することができる。例え
ば、縦型フライス盤における、正面フライス盤を使用し
ての切削作業においても適用することができる。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
研削を開始する前に、テーブルが１往復する周期（時
間）Ｔを計測し、あらかじめ設定された送りピッチＰと
計測した時間Ｔとから、砥石の移動速度をＰ／Ｔに設定
するので、作業者は送りピッチＰだけを設定すればよ
く、砥石の移動速度を設定する必要がない。
研削を開始する前に、テーブルが１往復する周期（時
間）Ｔを計測し、あらかじめ設定された送りピッチＰと
計測した時間Ｔとから、砥石の移動速度をＰ／Ｔに設定
するので、作業者は送りピッチＰだけを設定すればよ
く、砥石の移動速度を設定する必要がない。
【図１】本発明に係る横軸角テーブル型の平面研削盤の
正面図である。
正面図である。
【図２】本発明に係る横軸角テーブル型の平面研削盤の
右側面図である。
右側面図である。
【図３】本発明の動作を示すフローチャートである。
【図４】本発明に係る、ワークに対する砥石の相対的な
軌跡を示す平面図である。
軌跡を示す平面図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）は、従来の、ワークに対する砥
石の相対的な軌跡を示す平面図である。
石の相対的な軌跡を示す平面図である。
１ ワーク ２ テーブル ３ 砥石 ２１ タイマ ２３ 設定手段（送りピッチ設定器） Ｐ 送りピッチ Ｐ／Ｔ 砥石の移動速度 Ｓ 砥石の軸心方向の移動速度 Ｔ テーブルの周期（テーブルが１往復する時
間）
間）
Claims (1)
- 【請求項１】 ワークが載置されるテーブルと、前記ワ
ーク表面を研削する砥石とを相互に直角な方向に相対移
動させて研削を行う平面研削盤において、 研削開始前に、前記テーブルが１往復する周期Ｔを計測
するタイマと、 前記テーブルが１往復する間に前記砥石が前記テーブル
の往復方向と直角な方向に移動する距離である送りピッ
チＰを設定する設定手段と、を備え、 前記タイマが計測した周期Ｔと前記設定手段によって設
定された送りピッチＰとから前記砥石の移動速度Ｐ／Ｔ
を算出し、研削に際して、前記テーブルを前記周期Ｔで
往復移動させるとともに、前記砥石を前記移動速度Ｐ／
Ｔで移動させる、 ことを特徴とする平面研削盤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000277012A JP2002086354A (ja) | 2000-09-12 | 2000-09-12 | 平面研削盤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000277012A JP2002086354A (ja) | 2000-09-12 | 2000-09-12 | 平面研削盤 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002086354A true JP2002086354A (ja) | 2002-03-26 |
Family
ID=18762400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000277012A Pending JP2002086354A (ja) | 2000-09-12 | 2000-09-12 | 平面研削盤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002086354A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007210074A (ja) * | 2006-02-10 | 2007-08-23 | Shuwa Kogyo Kk | 研削装置および研磨装置、並びに研削方法および研磨方法 |
| US8826697B2 (en) | 2008-03-28 | 2014-09-09 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Method of manufacturing plate member and plate member |
| JP2018202582A (ja) * | 2017-06-08 | 2018-12-27 | 株式会社Ihi | 加工方法及び加工装置 |
| TWI761776B (zh) * | 2019-03-22 | 2022-04-21 | 日商住友重機械精科技股份有限公司 | 研磨裝置的控制裝置、程式及研磨方法 |
-
2000
- 2000-09-12 JP JP2000277012A patent/JP2002086354A/ja active Pending
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| JP2007210074A (ja) * | 2006-02-10 | 2007-08-23 | Shuwa Kogyo Kk | 研削装置および研磨装置、並びに研削方法および研磨方法 |
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