JP2002083930A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JP2002083930A
JP2002083930A JP2000273812A JP2000273812A JP2002083930A JP 2002083930 A JP2002083930 A JP 2002083930A JP 2000273812 A JP2000273812 A JP 2000273812A JP 2000273812 A JP2000273812 A JP 2000273812A JP 2002083930 A JP2002083930 A JP 2002083930A
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Isamu Kobayashi
勇 小林
Koji Kato
好治 加藤
Takahiro Yokoyama
高広 横山
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Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
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Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
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    • G05F3/02Regulating voltage or current
    • G05F3/08Regulating voltage or current wherein the variable is dc
    • G05F3/10Regulating voltage or current wherein the variable is dc using uncontrolled devices with non-linear characteristics
    • G05F3/16Regulating voltage or current wherein the variable is dc using uncontrolled devices with non-linear characteristics being semiconductor devices
    • G05F3/20Regulating voltage or current wherein the variable is dc using uncontrolled devices with non-linear characteristics being semiconductor devices using diode- transistor combinations
    • G05F3/24Regulating voltage or current wherein the variable is dc using uncontrolled devices with non-linear characteristics being semiconductor devices using diode- transistor combinations wherein the transistors are of the field-effect type only
    • G05F3/242Regulating voltage or current wherein the variable is dc using uncontrolled devices with non-linear characteristics being semiconductor devices using diode- transistor combinations wherein the transistors are of the field-effect type only with compensation for device parameters, e.g. channel width modulation, threshold voltage, processing, or external variations, e.g. temperature, loading, supply voltage
    • GPHYSICS
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    • G11CSTATIC STORES
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Abstract

(57)【要約】 【課題】多電源の入力回路を備えた半導体装置におい
て、基準電位に混入するノイズの影響を遮断しながら、
ダイサイズの増大を防止し得る半導体装置を提供する。 【解決手段】基準電位生成回路11は、第一の外部電源
Vss1に基づいて基準電位Vrefを生成する。第一のフィ
ルタ12は、基準電位Vrefが入力されるともに、第一
の外部電源Vss1が供給され、第二のフィルタ14は基
準電位Vrefが入力されるとともに、第二の外部電源Vs
s2が供給される。第一の入力回路13は、第一のフィル
タ12の出力信号が入力されるとともに、第一の外部電
源Vss1が供給され、第二の入力回路15は第二のフィ
ルタ14の出力信号が入力されるとともに、第二の外部
電源Vss2が供給される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体装置の内
部で生成された基準信号のノイズ対策に関し、詳しくは
挙動の異なる複数の内部電源を有する場合において、複
数の入力回路に入力される基準電位に対するノイズ対策
に関するものである。
【0002】近年の半導体記憶装置は、多ビット化やダ
イサイズの大規模化にともない、外部から供給されるV
cc,Vss等の電源も多岐に亘っている。例えば、I/O
パッドのドライバ回路に供給する電源は、VccQ,Vss
Q等の専用電源が外部から供給され、デバイス内の通常
の周辺機能回路に供給される一般的なVcc,Vss等とは
分離されている。また、周辺機能回路の中でも外部入力
ピンから入力される微小電圧をレベル変換する回路や、
微小電位差を判別するセンスアンプ等は、外的ノイズに
弱いため、DLL(delay lock loop)回路等の消費電
力の大きい回路とは分離されている。この場合には、V
cc,Vssを供給する電源配線をそのパッドから分離する
ように構成される。
【0003】
【従来の技術】図6は、半導体集積回路のセンスアンプ
を示すものであり、特開2000−11649号公報に
記載されたものである。
【0004】このセンスアンプは、内部電源電圧Vint
がローパスフィルタ1を介してノードN1に入力され、
ノードN1の電圧変化速度が次段のインバータ回路2に
入力される基準電圧Vrefの変化速度にあわせて調節さ
れる。
【0005】このような構成により、内部電源電圧Vin
tの立ち上がり時には、ノードN2,N3の電位を一旦
上昇させた後、ノードN2,N3に内部電源電圧Vint
に基づく電位差が生じ、その電位差に基づいてラッチ部
3によりラッチ動作が行われる。
【0006】従って、ノードN2,N3の電圧レベルが
不定な状態でのラッチ動作の開始を防止して、正常なラ
ッチ信号が出力される。また、内部電源電圧Vintが立
ち上がった後にも、共通の内部電源電圧Vintが供給さ
れる他の回路において、一時的に消費電流が増大してそ
の電圧レベルが急激に変動しても、ローパスフィルタ1
により内部電源電圧Vintの高周波ノイズが除去され
る。従って、内部電源電圧Vintの変動によるラッチ部
3の誤動作が防止される。
【0007】図7〜図10は、半導体集積回路の内部電
源供給回路を示し、特開2000−124797号公報
に記載されたものである。図7に示す内部電源供給回路
は、昇圧電源発生回路4と、制御電圧発生回路5a,5
bと、電源供給部6a〜6dとから構成される。
【0008】昇圧電源発生回路4は、電源Vcc2と電源
Vss2が供給され、発振器7から出力される所定周波数
の発振信号に基づいてポンピング動作を行い、昇圧電圧
Vpp1を第一及び第二の制御電圧発生回路5a,5bに
出力する。第一及び第二の制御電圧発生回路5a,5b
は、同様な回路構成である。
【0009】第一の制御電圧発生回路5aは、昇圧電圧
Vpp1と電源Vss1に基づいて、基準電圧Vrefより所定
電圧高い第一の制御電圧Vg1を生成し、第二の制御電圧
発生回路5bは、昇圧電圧Vpp1と電源Vss2に基づい
て、基準電圧Vrefより所定電圧高い第二の制御電圧Vg
2を生成する。
【0010】第一の制御電圧Vg1は、図8に示すDLL
回路用電源供給部6bに入力される。DLL回路用電源
供給部6bは、電源Vcc1、電源Vss1が供給され、所定
電圧の内部電源ViiDを出力する。
【0011】第二の制御電圧Vg2は、電源供給部6aあ
るいは図10に示す電源供給部6dに入力される。電源
供給部6a,6dは、電源Vcc2、電源Vss2が供給さ
れ、所定電圧の内部電源ViiSを出力する。
【0012】なお、図9に示す電源供給部6cは、DL
L回路内の他の回路用の電源Viinを生成するものであ
り、電源Vcc1,Vss1あるいは電源Vcc2,Vss2が供給
され、第一あるいは第二の制御電圧Vg1,Vg2に基づい
て電源Viinを生成する。
【0013】このような構成により、電源供給部6b〜
6dでは、各制御電圧Vg1,Vg2がローパスフィルタ8
を介して入力されるため、各制御電圧Vg1,Vg2に発生
するノイズはローパスフィルタ8で吸収される。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】特開2000−116
49号公報に記載された従来例では、内部電源電圧Vin
tはローパスフィルタ1を介して入力されるが、基準電
圧Vrefはローパスフィルタを介することなく入力され
る。
【0015】すると、内部電源電圧Vintを生成する電
圧生成回路に供給される電源Vssと、基準電圧Vrefを
生成する基準電圧生成回路に供給される電源Vssと、セ
ンスアンプに供給される電源Vssとを共通の電源Vssで
構成する必要がある。
【0016】このことは、デバイス内の各回路及び電源
配線のレイアウトに大きな制約を与えることになり、ダ
イサイズを大型化させる要因となる。特開2000−1
24797号公報に記載された従来例では、電源の異な
る複数の電源供給部に対し、各電源供給部と同じ電源が
供給される制御電圧発生回路をそれぞれ用意する必要が
ある。
【0017】従って、多電源化されたデバイスでは、多
数の制御電圧発生回路をレイアウトする必要が生じ、ダ
イサイズを大型化させる要因となる。この発明の目的
は、多電源の入力回路を備えた半導体装置において、基
準電位に混入するノイズの影響を遮断しながら、ダイサ
イズの増大を防止し得る半導体装置を提供することにあ
る。
【0018】
【課題を解決するための手段】基準電位生成回路は、第
一の外部電源に基づいて基準電位を生成する。第一のフ
ィルタは、前記基準電位が入力されるともに、前記第一
の外部電源が供給され、第二のフィルタは前記基準電位
が入力されるとともに、第二の外部電源が供給される。
第一の入力回路は、前記第一のフィルタの出力信号が入
力されるとともに、前記第一の外部電源が供給され、第
二の入力回路は前記第二のフィルタの出力信号が入力さ
れるとともに、前記第二の外部電源が供給される。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、この発明を具体化した一実
施の形態を図面に従って説明する。図1は、同一基板で
の半導体装置内における各機能回路を示す。基準電位生
成回路11は、電源Vcc1,Vss1が供給され、基準電位
Vrefを生成して出力する。
【0020】前記基準電位Vrefは、第一のローパスフ
ィルタ12を介して第一機能回路中の第一の入力回路1
3に入力されるとともに、第二のローパスフィルタ14
を介して第二機能回路中の第二の入力回路15に入力さ
れる。
【0021】前記第一のローパスフィルタ12は、抵抗
R1と容量C1で構成され、容量C1の一端は、前記第
一の入力回路13の入力端子であるノードn1に接続さ
れ、容量C1の他端は電源Vss1に接続される。前記第
一の入力回路13には電源Vcc1と電源Vss1が供給され
る。
【0022】前記第二のローパスフィルタ14は、抵抗
R2と容量C2で構成され、容量C2の一端は、前記第
二の入力回路15の入力端子であるノードn2に接続さ
れ、容量C2の他端は電源Vss2に接続される。前記第
二の入力回路15には電源Vcc2と電源Vss2が供給され
る。
【0023】前記基準電位生成回路11の具体的構成を
図2に従って説明する。この基準電位生成回路11は、
差動回路16と出力用PチャネルMOSトランジスタT
r1及び抵抗R1〜R3とから構成される公知の回路であ
る。
【0024】そして、差動回路16を構成するNチャネ
ルMOSトランジスタTr2のゲートに定電圧Vfが供給
されると、NチャネルMOSトランジスタTr3のゲート
電位が定電圧Vfと一致するように動作し、このような
動作により所定の基準電位Vrefが出力される。
【0025】前記第一の入力回路13の具体的構成を図
3に従って説明する。第一の入力回路13は電源Vcc
1,Vss1が供給される差動回路17と、第一の入力回路
13から出力される内部電源Vddと電源Vss1が供給さ
れ、入力端子に電源Vss1が供給されるインバータ回路1
8と、出力用PチャネルMOSトランジスタTr4とから
構成される。
【0026】そして、前記第一のローパスフィルタ12
の出力信号が差動回路17のNチャネルMOSトランジ
スタTr5のゲートに入力され、前記インバータ回路18
の出力信号がNチャネルMOSトランジスタTr6のゲー
トに入力される。
【0027】このような構成により、基準電位Vrefに
基づいて、所定電圧の内部電源Vddを出力するように動
作する。前記第二の入力回路15の具体的構成を図4に
従って説明する。第二の入力回路15は電源Vcc2,Vs
s2が供給される差動回路19と、第二の入力回路15か
ら出力される内部電源Vddiと電源Vss2が供給され、入
力端子に電源Vss2が供給されるインバータ回路20
と、出力用PチャネルMOSトランジスタTr7とから構
成される。
【0028】そして、前記第二のローパスフィルタ14
の出力信号が差動回路19のNチャネルMOSトランジ
スタTr8のゲートに入力され、前記インバータ回路20
の出力信号がNチャネルMOSトランジスタTr9のゲー
トに入力される。
【0029】このような構成により、基準電位Vrefに
基づいて、所定電圧の内部電源Vddiを出力するように
動作する。次に、上記のように構成された入力回路部の
作用を説明する。
【0030】基準電位生成回路11と第一のローパスフ
ィルタ12及び第一の入力回路13とは共通の電源Vcc
1,Vss1が供給されているので、電源Vss1にノイズが
生じて基準電位Vrefにノイズが生じても、第一の入力
回路13に供給される電源Vss1にも同相のノイズが生
じている。
【0031】従って、基準電位Vrefのゆらぎに対し、
第一の入力回路13のしきい値は相対的に変化はなく、
第一の入力回路13から安定した内部電源Vddが出力さ
れる。
【0032】電源Vss1にノイズが生じて、基準電位Vr
efにゆらぎが生じたとき、そのゆらぎは第二のローパス
フィルタ14で吸収されるため、第二の入力回路15に
は安定した基準電位Vrefが供給される。
【0033】電源Vss2にノイズが発生したとき、第一
の入力回路13にはまったく影響がない。また、第二の
ローパスフィルタ14では電源Vss2のゆらぎが発生す
ると、容量C2による容量結合により、ノードn2の電
位が電源Vss2のゆらぎと同相で変化する。
【0034】従って、第二のローパスフィルタ14の出
力信号のゆらぎに対し、第二の入力回路15のしきい値
は相対的に変化はなく、第二の入力回路13から安定し
た内部電源Vddiが出力される。
【0035】上記のように構成された入力回路部のレイ
アウトを図5に従って説明する。前記基準電位生成回路
11、第一のローパスフィルタ12及び第一の入力回路
13には、配線L1を介して電源Vss1が供給される。
また、第一及び第二のローパスフィルタ12,14に
は、配線L3を介して基準電位Vrefが供給される。
【0036】前記第二のローパスフィルタ14および第
二の入力回路15には、パッド21から配線L2を介し
て電源Vss2が供給される。このようなレイアウトによ
り、共通の基準電位生成回路11から第一及び第二のロ
ーパスフィルタ12,14を介して第一及び第二の入力
回路13,15に基準電位Vrefが供給される。
【0037】上記のような構成では、次に示す作用効果
を得ることができる。 (1)電源Vss1にノイズが生じて基準電位Vrefにノイ
ズが生じても、第一の入力回路13から安定した内部電
源Vddを出力することができる。
【0038】(2)基準電位Vrefにノイズが生じて
も、そのノイズは第二のローパスフィルタ14で吸収さ
れるため、第二の入力回路15には安定した基準電位V
refが供給される。従って、第二の入力回路13から安
定した内部電源Vddiを出力することができる。
【0039】(3)電源Vss2にノイズが発生しても、
第二のローパスフィルタ14では容量C2による容量結
合により、ノードn2の電位が電源Vss2のゆらぎと同
相で変化する。従って、第二のローパスフィルタ14の
出力信号のゆらぎに対し、第二の入力回路15のしきい
値は相対的に変化はなく、第二の入力回路13から安定
した内部電源Vddiを出力することができる。
【0040】(4)共通の基準電位生成回路11から各
入力回路13,15に基準電位Vrefを供給することが
できる。従って、複数の基準電位を各入力回路に供給す
るための複数本の配線をレイアウトする必要がないの
で、ダイサイズを縮小することができる。
【0041】(5)共通の基準電位生成回路11から各
入力回路13,15に基準電位Vrefを供給することが
できる。従って、多電源に対応した基準電位発生回路を
設ける必要がないので、ダイサイズを縮小することがで
きる。
【0042】前記実施の形態は、次に示すように変更す
ることもできる。 ・電源Vss1,電源Vss2は共通のパッドからそれぞれ独
立した配線で所要の回路に供給する構成としてもよい。 ・第一の入力回路13において、差動回路17のトラン
ジスタTr6に内部電源Vddを直接に入力し、あるいは内
部電源Vddと電源Vss1の電位差を抵抗分割で分圧した
電位を入力してもよい。 ・第二の入力回路15において、差動回路19のトラン
ジスタTr9に内部電源Vddiを直接に入力し、あるいは
内部電源Vddiと電源Vss2の電位差を抵抗分割で分圧し
た電位を入力してもよい。 ・第一及び第二の入力回路13,15は、差動回路以外
の回路で構成することもできる。 ・第一及び第二のローパスフィルタ12,14を構成す
る抵抗は、拡散抵抗、ポリシリコン抵抗あるいはその他
の構成としてもよい。 ・第一及び第二のローパスフィルタ12,14を構成す
る容量は、MOS容量、金属容量あるいはその他の構成
としてもよい。
【0043】
【発明の効果】以上詳述したように、この発明は多電源
の入力回路を備えた半導体装置において、基準電圧から
入力されるノイズの影響を遮断しながら、ダイサイズの
縮小を図り得る半導体装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 一実施の形態を示す回路図である。
【図2】 基準電位生成回路を示す回路図である。
【図3】 第一の入力回路を示す回路図である。
【図4】 第二の入力回路を示す回路図である。
【図5】 チップレイアウトを示す説明図である。
【図6】 第一の従来例を示す回路図である。
【図7】 第二の従来例を示す回路図である。
【図8】 第二の従来例を示す回路図である。
【図9】 第二の従来例を示す回路図である。
【図10】 第二の従来例を示す回路図である。
【符号の説明】 11 基準電位生成回路 12 第一のフィルタ 13 第一の入力回路 14 第二のフィルタ 15 第二の入力回路 Vss1 第一の外部電源 Vss2 第二の外部電源 Vref 基準電位
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 加藤 好治 愛知県春日井市高蔵寺町二丁目1844番2 富士通ヴィエルエスアイ株式会社内 (72)発明者 横山 高広 愛知県春日井市高蔵寺町二丁目1844番2 富士通ヴィエルエスアイ株式会社内 Fターム(参考) 5F038 BG04 BH02 BH03 BH19 CD02 CD03 DF11 EZ20

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第一の外部電源に基づいて基準電位を生
    成する基準電位生成回路と、 前記基準電位が入力されるともに、前記第一の外部電源
    が供給される第一のフィルタと、 前記基準電位が入力されるとともに、第二の外部電源が
    供給される第二のフィルタと、 前記第一のフィルタの出力信号が入力されるとともに、
    前記第一の外部電源が供給される第一の入力回路と、 前記第二のフィルタの出力信号が入力されるとともに、
    前記第二の外部電源が供給される第二の入力回路とを備
    えたことを特徴とする半導体装置。
  2. 【請求項2】 前記第二の外部電源は、異なる電位の複
    数の電源とし、前記第二のフィルタ及び第二の入力回路
    は、各第二の外部電源に対応して複数設けたことを特徴
    とする請求項1記載の半導体装置。
  3. 【請求項3】 前記第一の外部電源と第二の外部電源
    は、同一のパッドから異なる電源配線を介して供給され
    ることを特徴とする請求項1乃至2のいずれかに記載の
    半導体装置。
  4. 【請求項4】 前記第一及び第二の外部電源は、接地電
    源であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに
    記載の半導体装置。
  5. 【請求項5】 前記第一及び第二のフィルタは、抵抗と
    容量とで構成したことを特徴とする請求項1乃至4のい
    ずれかに記載の半導体装置。
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