JP2002075100A - 真空バルブ用電極およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 アーク電極の主成分である耐火性金属の製錬
方法が異なり、含まれる微量元素の量が変わっても、従
来と変わらない遮断性能，耐電圧，耐溶着性を備えた真
空バルブ用電極を提供する。 【解決手段】 固定側電極１７と、可動側電極１６と、
固定側電極１７および可動側電極１６をそれぞれ支持す
る電極支持部９と、電極支持部９を背面から支持する電
極棒１０とを有する真空バルブ用電極において、固定側
電極１７および可動側電極両電極１６の対向する全面
が、耐火性金属と高導電性金属との合金からなるアーク
電極７によって構成され、電極支持部９が、高導電性金
属からなり、電極棒１０が、高導電性金属からなり、前
記耐火性金属が、微量元素として、Ａｌを３０ｐｐｍ〜
３０００ｐｐｍ，Ｓｉを２０ｐｐｍ〜２５００ｐｐｍ，
Ｆｅを１３００ｐｐｍ〜３０００ｐｐｍ含む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、真空遮断器に用い
られる真空バルブ用電極およびその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】真空遮断器は、断路器,接地開閉器,避雷
器,交流器などとともに使用されて、各種ビル,ホテル,
変電所,地下街,石油コンビナート,工場,駅,車両,病院,
会館,上下水道などの高圧受電設備／変電設備内に用い
られる装置である。

【０００３】真空遮断器の一部を構成する真空バルブ内
には、一対の固定側電極と可動側電極とを対向させて配
置し、互いに接する側にアーク電極を形成してある。固
定側電極と可動側電極とは、それぞれ、アーク電極の背
面に電極支持部を有する。さらに、電極支持部からは電
極棒が外部に延び、外部導体端子に接続されている。こ
れらのアーク電極,電極支持部,電極棒は、導電性母材に
より形成される。

【０００４】アーク電極は、高電圧の大電流を開閉する
ため、アークに直接さらされる。このようなアーク電極
に要求される特性は、遮断容量が大きいこと、耐電圧値
が高いこと、接触抵抗値が小さいこと(電気伝導性に優
れていること)、耐溶着性に優れていること、電極消耗
量が少ないこと、裁断電流値が小さいことなどである。

【０００５】しかし、これらの特性を全て満足すること
は困難である。一般には、用途に応じた特性を特に重視
し、他の特性はある程度犠牲にした材料が使用されてい
る。

【０００６】例えば、特開昭６３−９６２０４号公報
は、高電圧の大電流遮断用アーク電極材料として、Ｃｒ
またはＣｒ−Ｃｕ成形体にＣｕを溶浸させる方法を開示
している。

【０００７】この種の方法において、アーク電極は、Ｃ
ｒ粉末またはＣｒ粉末とＣｕ粉末との混合粉を所定の組
成,形状,空孔量に成形し、成形体にＣｕまたはその合金
溶湯をしみ込ませるいわゆる溶浸法により製造され、所
定形状に加工される。

【０００８】加工されたアーク電極背面には、電極支持
部および電極棒がろう付け接合され、一連の電極構造と
なる。

【０００９】しかし、ろう付け接合で形成される真空バ
ルブ用電極は、部品組立時の各部品の芯合わせなどに多
くの手間と時間とがかかる。また、ろう付け不良は、電
極材の破壊事故や脱落事故の原因となる。

【００１０】また、特開平１１−７３８３０号公報は、
高導電性成分としてＣｕまたはＡｇの少なくとも１種の
量を４０〜８０重量％とし、第１補助成分としてＡｌ，
Ｓｉ，Ｆｅから選んだ１つ以上の元素の量を０.０１〜
１.０％，残部の所定量が耐火性成分としてＣｒを含ん
だ混合粉末で構成される接点材料を開示している。

【００１１】しかし、発明者らの知見および実験では、
「Ａｌ，Ｓｉ，Ｆｅから選んだ１つ以上の元素の量を
０.０１〜１.０％」の範囲内にあるＡｌ，Ｓｉ，Ｆｅが
１つまたは２つの場合に、所望の特性が得られないこと
が明らかとなった。

【００１２】さらに、特許第２８７４５２２号公報(＝
特開平０７−２９４６１号公報)は、製造過程におい
て、アーク電極，電極支持部，電極棒を一体化する方法
として、耐火性金属であるＣｒと高導電性金属であるＣ
ｕとからなる成形体に、高導電性金属であるＣｕまたは
その合金溶湯をしみ込ませるとともに、高導電性金属の
残部をもって電極支持部および電極棒を形成したいわゆ
る一体溶浸法を開示している。

【００１３】アーク電極の主成分である耐火性金属とし
て、従来は、電解粉を用いていた。

【００１４】しかし、電解粉は、製錬費用がかかり、高
価で需要が伸びないので、メーカは、電解による耐火性
金属の生産を中止する方向にある。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】従来、アーク電極の製
造に用いていた電解による耐火性金属は、電解精錬とい
われる湿式法により製錬していた。

【００１６】しかし、上記の通り、電解による耐火性金
属の代替が急務となっている現在では、もう一つの製錬
法であるテルミット法すなわち乾式法により製錬した耐
火性金属を用いて、アーク電極を製造しなければならな
い方向に進んでいる。

【００１７】本発明の目的は、アーク電極の主成分であ
る耐火性金属の製錬方法が異なり、含まれる微量元素の
量が変わっても、従来と変わらない遮断性能，耐電圧，
耐溶着性を備えた真空バルブ用電極を提供することであ
る。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、固定側電極と、可動側電極と、固定側電
極および可動側電極をそれぞれ支持する電極支持部と、
電極支持部を背面からそれぞれ支持する電極棒とを有す
る真空バルブ用電極において、固定側電極および可動側
電極両電極の対向する全面が、耐火性金属と高導電性金
属との合金からなるアーク電極により構成され、アーク
電極を支持する電極支持部が、高導電性金属からなり、
電極支持部を背面から支持する電極棒が、高導電性金属
からなり、耐火性金属が、微量元素として、Ａｌを３０
ｐｐｍ〜３０００ｐｐｍ，Ｓｉを２０ｐｐｍ〜２５００
ｐｐｍ，Ｆｅを１３００ｐｐｍ〜３０００ｐｐｍ含む真
空バルブ用電極を提案する。

【００１９】本発明は、また、固定側電極と、可動側電
極と、固定側電極および可動側電極をそれぞれ支持する
電極支持部と、電極支持部を背面からそれぞれ支持する
電極棒とを有する真空バルブ用電極において、固定側電
極および可動側電極両電極の対向する全面が、耐火性金
属と高導電性金属との合金からなるアーク電極により構
成され、アーク電極を支持する電極支持部が、高導電性
金属からなり、電極支持部を背面から支持する電極棒
が、高導電性金属からなり、耐火性金属が、微量元素と
して、Ａｌを３０ｐｐｍ〜３０００ｐｐｍ，Ｓｉを２０
ｐｐｍ〜２５００ｐｐｍ，Ｆｅを１３００ｐｐｍ〜３０
００ｐｐｍ，酸素を５０ｐｐｍ〜５０００ｐｐｍ含む真
空バルブ用電極を提案する。

【００２０】アーク電極が、酸素を５０ｐｐｍ〜５００
０ｐｐｍ含む場合、必要な耐電圧特性および導電率が得
られ、特に、アークが溝に沿って回りやすく、遮断性能
に優れることを発見した。酸素は、真空バルブ用電極と
して完成した状態では、単独で存在する必要はなく、Ａ
ｌ，Ｓｉ，Ｆｅと化合し、酸化アルミニウム，二酸化珪
素，酸化鉄の形で含まれていてもよい。このように酸化
物の形で存在すると、遮断性能がより安定することを確
認した。

【００２１】アーク電極と電極支持部と電極棒とが、高
導電性金属の溶融により一体に形成され、固定側電極お
よび可動側電極は、互いに向き合う面において電極内周
側から外周側にかけて形成された３本の溝を有し、前記
溝が、固定側電極および可動側電極の外周側端部まで達
して固定側電極および可動側電極を３分割し、前記溝
が、アーク電極と電極支持部とを貫通している構造も採
用できる。

【００２２】アーク電極と電極支持部および電極棒とが
金相学的に一体化しているので、アーク電極の脱落など
の恐れがなく、接合界面がないから抵抗加熱による局部
的な温度上昇がない。また、内周側から外周側へかけて
の溝の本数を３本とすることで、羽根形状の根元を太く
でき、変形を防止できる。

【００２３】電極支持部と電極棒とが、冶金的に接合さ
れ、固定側電極および可動側電極は、互いに向き合う面
において電極内周側から外周側にかけて形成された３本
の溝を有し、前記溝が、固定側電極および可動側電極の
外周側端部まで達して固定側電極および可動側電極を３
分割し、前記溝が、アーク電極と電極支持部とを貫通し
ているようにしてもよい。

【００２４】アーク電極と電極支持部が金相学的に一体
化し、電極棒は冶金的接合とすると、一体溶浸鋳塊の電
極棒部分の加工しろが大きいという問題を解消できる。

【００２５】真空バルブ用電極は、電極支持部の背面の
一部には高剛性金属または合金からなる補強板を有し、
補強板の一部を介して電極支持部の背面から連なる高導
電性金属からなる電極棒を有し、アーク電極と電極支持
部とは、高導電性金属の溶融によって一体に形成され、
電極支持部，補強板，電極棒は、冶金的に接合され、固
定側電極および可動側電極は、互いに向き合う面におい
て電極内周側から外周側にかけて形成された３本以上の
溝を有し、前記溝が、固定側電極および可動側電極の外
周側端部まで達して固定側電極および可動側電極を溝の
本数に分割し、前記溝が、アーク電極と電極支持部とを
貫通していることも可能である。

【００２６】電極支持部の背面に補強板を設けると、溝
により分割された羽根型の根元が補強され、変形の恐れ
がなく、溝を４本以上とすることができる。

【００２７】なお、この補強板は、高導電性金属の溶融
で鋳ることもでき、アーク電極から電極棒までを金相学
的に一体化できる。

【００２８】アーク電極は、耐火性金属としてＣｒおよ
びＷ,Ｍｏ,Ｔａ,Ｎｂ,Ｂｅ,Ｈｆ,Ｉｒ,Ｐｔ,Ｚｒ,Ｔｉ,
Ｔｅ,Ｓｉ,Ｖ,Ｆｅ,Ｃｏ,Ｎｉ,Ｍｎ,Ｒｈ,Ｒｕの１種ま
たは２種以上の混合物またはこれらの化合物と、高導電
性金属としてＣｕ,ＡgまたはＡuからなる金属またはこ
れらを主にした合金とからなり、電極支持部は、高導電
性金属または高導電性金属を主にした合金からなる。

【００２９】アーク電極は、耐火性金属としてＣｒおよ
びＷ,Ｍｏ,Ｔａ,Ｎｂ,Ｂｅ,Ｈｆ,Ｉｒ,Ｐｔ,Ｚｒ,Ｔｉ,
Ｔｅ,Ｓｉ,Ｖ,Ｆｅ,Ｃｏ,Ｎｉ,Ｍｎ,Ｒｈ,Ｒｕの１種ま
たは２種以上の合金を合計量７０〜２０重量％含み、高
導電性金属としてＣｕ,ＡgまたはＡuからなる金属また
はこれらを主にした合金を３０〜８０重量％含み、電極
支持部は、高導電性金属または高導電性金属を主にした
合金からなる。

【００３０】これにより、遮断性能、耐電圧、耐溶着性
に優れ、必要な機械的強度を有する真空バルブ用電極が
得られる。

【００３１】電極支持部の比抵抗は、１.８μΩｃｍ〜
５.６μΩｃｍである。アーク電極の比抵抗は、３.７μ
Ωｃｍ〜６.６μΩｃｍである。

【００３２】この比抵抗値にすれば、必要な耐電圧特性
および導電率を有する真空バルブ用電極が得られる。

【００３３】多孔質成形体をなす耐火性金属であるＣｒ
およびＷ,Ｍｏ,Ｔａ,Ｎｂ,Ｂｅ,Ｈｆ,Ｉｒ,Ｐｔ,Ｚｒ,
Ｔｉ,Ｔｅ,Ｓｉ,Ｖ,Ｆｅ,Ｃｏ,Ｎｉ,Ｍｎ,Ｒｈ,Ｒｕの
１種または２種以上の原料粉末は、１５０μｍ以上の粒
子が５重量％以下、３２μｍ以下の粒子が５重量％以下
の粒度分布をもつ。

【００３４】多孔質成形体をなす高導電性金属であるＣ
ｕ,ＡgまたはＡuからなる金属またはこれらを主にした
合金の原料粉末は、粒径が７４μｍ以下である。

【００３５】この範囲の規制により、耐火性金属と高導
電性金属とが均一に分散した混合組織が得られ、安定し
た性能が得られる。

【００３６】

【発明の実施の形態】次に、図１〜図７を参照して、本
発明による真空バルブ用電極およびその製造方法の実施
形態を説明する。

【００３７】図１は、本発明による溶浸鋳塊１の構造を
示す断面図である。溶浸鋳塊１は、アーク電極部材２と
電極支持部材３とからなる。

【００３８】図２は、図１の溶浸鋳塊１の製造方法を説
明する図である。この製造方法においては、以下のよう
な処理手順で、アーク電極用圧粉体５と供給用Ｃｕイン
ゴット６とから、溶浸鋳塊１を製造する。本実施形態
は、上記もう一つの製錬法であるテルミット法すなわち
乾式法により製錬した耐火性金属を用いることに特徴が
ある。

【００３９】(１)耐火性金属としてのＣｒ粉末を５７重
量％，Ｎｂ粉末を４.５重量％と、高導電性金属として
のＣｕ粉末を３８.５重量％とをＶミキサにより混合し
た。このときのＣｒ粉末は、微量元素として、酸素を５
０ｐｐｍ〜２０００ｐｐｍ，Ａｌを３０ｐｐｍ〜３００
０ｐｐｍ，Ｓｉを２０ｐｐｍ〜２５００ｐｐｍ，Ｆｅを
１３００ｐｐｍ〜３０００ｐｐｍ含む。直径６０ｍｍの
金型を用いて、混合した粉を１８０ＭＰａの圧力で成形
し、直径６０ｍｍ，厚さ９ｍｍのアーク電極用圧粉体５
を製造した。

【００４０】(２)黒鉛製るつぼ４の底にアーク電極用圧
粉体５を置き、高導電性金属である供給用Ｃｕインゴッ
ト６を重ねて載せる。

【００４１】(３)黒鉛製るつぼ４を加熱用真空電気炉に
入れ、６.７×１０^―３Ｐａ以下の真空中で、１２００
℃に保ち９０分間加熱する。供給用Ｃｕインゴット６
が、溶融し、アーク電極用圧粉体５の空孔に含浸する。

【００４２】(４)凝固後に、黒鉛製るつぼ４から取り出
すと、図１に示す溶浸鋳塊１が得られる。アーク電極部
材２と電極支持部材３とは、金相学的に一体化してい
る。得られたアーク電極２における主成分の組成は、お
よそＣｒが３７重量％，Ｃｕが６０重量％，Ｎｂが３重
量％となる。

【００４３】アーク電極部材２および電極支持部材３の
比抵抗をそれぞれ測定すると、アーク電極部材２の比抵
抗は５.１μΩｃｍであり、電極支持部材３の比抵抗は
２.６μΩｃｍであった。

【００４４】図３は、図２の製造方法により得られた溶
浸鋳塊１を用いて製造した真空バルブ用電極の実施形態
の構造を示す図であり、(ａ)が正面図、(ｂ)がＡ−Ａ断
面の断面図である。

【００４５】本実施形態の真空バルブ用電極において
は、アーク電極７と電極支持部９とは、金相学的に一体
化している。アーク電極７の表面は、平面であり相手側
電極と大きな面積で接することが望ましい。本実施形態
の真空バルブ用電極は、スパイラル溝８を形成してあ
る。スパイラル溝８は、周方向では、電極内周側から外
周側にかけて形成され、軸方向では、アーク電極７から
電極支持部９まで達しており、外周側端部で開放されて
いる。本実施形態の真空バルブ用電極は、補強板を備え
ていないので、強度的には、スパイラル溝８は３本以内
とする。電極支持部９の背面には、電極棒１０がろう付
け接合されている。

【００４６】このように、本発明による耐火性金属を用
いた製造方法で得られた溶浸鋳塊１を用いると、電極材
料として十分な強度を持つ真空バルブ用電極となり、従
来の電解法Ｃｒと比較して遜色のない真空バルブ用電極
を製造できることが確認された。

【００４７】図４は、図３の真空バルブ用電極を採用し
た真空バルブの構造を示す図である。本実施形態の真空
バルブ用電極は、上記図３に示すように、アーク電極７
および電極支持部９にスパイラル溝８を形成し、補強板
１１を介在させて、電極棒１０と一体化してある。本実
施形態の真空バルブは、このような構造の真空バルブ用
電極を可動側電極１６と固定側電極１７とにそれぞれ固
定し、金属製ベローズ１２、中間シールド１３、シリン
ダ１４、シールリング１５などにより覆って構成してあ
る。

【００４８】図５は、上記製造方法で用いた耐火性金属
であるＣｒとＷ,Ｍｏ,Ｔａ,Ｎｂ,Ｂｅ,Ｈｆ,Ｉｒ,Ｐｔ,
Ｚｒ,Ｔｉ,Ｔｅ,Ｓｉ,Ｖ,Ｆｅ,Ｃｏ,Ｎｉ,Ｍｎ,Ｒｈ,Ｒ
ｕの１種または２種以上の材料とを含む原料粉末の粒度
分布を測定した結果を示す図である。

【００４９】この結果に基づいて、耐火性金属の粒度分
布上を好ましい範囲を規定すると、多孔質成形体をなす
耐火性金属であるＣｒおよびＷ,Ｍｏ,Ｔａ,Ｎｂ,Ｂｅ,
Ｈｆ,Ｉｒ,Ｐｔ,Ｚｒ,Ｔｉ,Ｔｅ,Ｓｉ,Ｖ,Ｆｅ,Ｃｏ,Ｎ
ｉ,Ｍｎ,Ｒｈ,Ｒｕの１種または２種以上の原料粉末
は、１５０μｍ以上の粒子が５重量％以下、３２μｍ以
下の粒子が５重量％以下の粒度分布をもつことになる。

【００５０】図６は、上記製造方法で用いた高導電性金
属であるＣｕ,Ａg,Ａuまたはこれらを主にした合金の原
料粉末の粒度分布を測定した結果を示す図である。

【００５１】この結果に基づいて、高導電性金属の粒度
分布上を好ましい範囲を規定すると、多孔質成形体をな
す高導電性金属であるＣｕ,ＡgまたはＡuからなる金属
またはこれらを主にした合金の原料粉末は、粒径が７４
μｍ以下である。

【００５２】本実施形態で得られる電極における主成分
の組成を、およそＣｒが２０重量％、Ｃｕが８０重量％
となるアーク電極部材２と電極支持部材３それぞれの比
抵抗を測定したところ、アーク電極部材２の比抵抗は、
１.８μΩｃｍであり、電極支持部材３の比抵抗は、３.
７μΩｃｍであった。

【００５３】この組成および比抵抗値にすれば、必要な
耐電圧特性および導電率を有する真空バルブ用電極が得
られることを実験により確認した。

【００５４】本実施形態で得られる電極における主成分
の組成を、およそＣｒが７０重量％、Ｃｕが３０重量％
となるアーク電極部材２と電極支持部材３それぞれの比
抵抗を測定したところ、アーク電極部材２の比抵抗は
５.６μΩｃｍ、電極支持部材３の比抵抗は６.６μΩｃ
ｍであった。

【００５５】この組成および比抵抗値にした場合も、必
要な耐電圧特性および導電率を有する真空バルブ用電極
が得られる。

【００５６】図７は、本発明で用いた耐火性金属の材料
特性を測定した結果を示す図である。

【００５７】このように、従来の耐火性金属と比較し
て、密度が高いと、成形しやすいという利点がある。

【００５８】

【発明の効果】本発明によれば、アーク電極の主成分で
ある耐火性金属の製錬方法が異なり、含まれる微量元素
の量が変わっても、従来以上の遮断性能，耐電圧，耐溶
着性を備えた真空バルブ用電極が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による溶浸鋳塊１の構造を示す断面図で
ある。

【図２】図１の溶浸鋳塊１の製造方法を説明する図であ
る。

【図３】図２の製造方法により得られた溶浸鋳塊１を用
いて製造した真空バルブ用電極の実施形態の構造を示す
図である。

【図４】図３の真空バルブ用電極を採用した真空バルブ
の構造を示す図である。

【図５】上記製造方法で用いた耐火性金属であるＣｒと
他の材料とを含む原料粉末の粒度分布を測定した結果を
示す図である。

【図６】上記製造方法で用いた高導電性金属であるＣ
ｕ,Ａg,Ａuまたはこれらを主にした合金の原料粉末の粒
度分布を測定した結果を示す図である。

【図７】本発明で用いた耐火性金属の材料特性を測定し
た結果を示す図である。

【符号の説明】

１ 溶浸鋳塊 ２ アーク電極部材 ３ 電極支持部材 ４ 黒鉛製るつぼ ５ アーク電極用圧粉体 ６ 供給用Ｃｕインゴット ７ アーク電極 ８ スパイラル溝 ９ 電極支持部 １０ 電極棒 １１ 補強板 １２ 金属製ベローズ １３ 中間シールド １４ シリンダ １５ シールリング １６ 可動側電極 １７ 固定側電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 後藤 芳友 茨城県日立市国分町一丁目１番１号 株式 会社日立製作所電機システム事業部内 (72)発明者 菊池 茂 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株 式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 土井 昌之 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株 式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 鈴木 安昭 茨城県日立市国分町一丁目１番１号 株式 会社日立製作所電機システム事業部内 (72)発明者 湖口 義雄 茨城県日立市国分町一丁目１番１号 株式 会社日立製作所電機システム事業部内 (72)発明者 馬場 昇 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株 式会社日立製作所日立研究所内 Ｆターム(参考） 5G023 AA05 5G026 BA01 BA02 BA04 BB02 BB04 BB05 BB08 BB14 BC08 CA02 CB09 5G050 AA01 AA02 AA03 AA11 AA12 AA13 AA14 AA24 AA43 BA01 BA02 BA05 CA01 DA03 EA01

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 固定側電極と、可動側電極と、前記固定
   側電極および可動側電極をそれぞれ支持する電極支持部
   と、前記電極支持部を背面からそれぞれ支持する電極棒
   とを有する真空バルブ用電極において、 前記固定側電極および可動側電極両電極の対向する全面
   が、耐火性金属と高導電性金属との合金からなるアーク
   電極により構成され、 前記アーク電極を支持する電極支持部が、高導電性金属
   からなり、 前記電極支持部を背面から支持する電極棒が、高導電性
   金属からなり、 前記耐火性金属が、微量元素として、Ａｌを３０ｐｐｍ
   〜３０００ｐｐｍ，Ｓｉを２０ｐｐｍ〜２５００ｐｐ
   ｍ，Ｆｅを１３００ｐｐｍ〜３０００ｐｐｍ含むことを
   特徴とする真空バルブ用電極。
2. 【請求項２】 固定側電極と、可動側電極と、前記固定
   側電極および可動側電極をそれぞれ支持する電極支持部
   と、前記電極支持部を背面からそれぞれ支持する電極棒
   とを有する真空バルブ用電極において、 前記固定側電極および可動側電極両電極の対向する全面
   が、耐火性金属と高導電性金属との合金からなるアーク
   電極により構成され、 前記アーク電極を支持する電極支持部が、高導電性金属
   からなり、 前記電極支持部を背面から支持する電極棒が、高導電性
   金属からなり、 前記耐火性金属が、微量元素として、Ａｌを３０ｐｐｍ
   〜３０００ｐｐｍ，Ｓｉを２０ｐｐｍ〜２５００ｐｐ
   ｍ，Ｆｅを１３００ｐｐｍ〜３０００ｐｐｍ，酸素を５
   ０ｐｐｍ〜５０００ｐｐｍ含むことを特徴とする真空バ
   ルブ用電極。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載の真空バルブ用
   電極において、 前記アーク電極と電極支持部と電極棒とが、前記高導電
   性金属の溶融により一体に形成され、 前記固定側電極および可動側電極は、互いに向き合う面
   において電極内周側から外周側にかけて形成された３本
   の溝を有し、 前記溝が、前記固定側電極および可動側電極の外周側端
   部まで達して前記固定側電極および可動側電極を３分割
   し、 前記溝が、前記アーク電極と電極支持部とを貫通してい
   ることを特徴とする真空バルブ用電極。
4. 【請求項４】 請求項１または２に記載の真空バルブ用
   電極において、 前記電極支持部と電極棒とが、冶金的に接合され、 前記固定側電極および可動側電極は、互いに向き合う面
   において電極内周側から外周側にかけて形成された３本
   の溝を有し、 前記溝が、前記固定側電極および可動側電極の外周側端
   部まで達して前記固定側電極および可動側電極を３分割
   し、 前記溝が、前記アーク電極と電極支持部とを貫通してい
   ることを特徴とする真空バルブ用電極。
5. 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれか一項に記載
   の真空バルブ用電極において、 電極支持部の背面の一部には高剛性金属または合金から
   なる補強板を有し、 前記補強板の一部を介して前記電極支持部の背面から連
   なる前記高導電性金属からなる電極棒を有し、 前記アーク電極と電極支持部とは、前記高導電性金属の
   溶融によって一体に形成され、 前記電極支持部，補強板，電極棒は、冶金的に接合さ
   れ、 前記固定側電極および可動側電極は、互いに向き合う面
   において電極内周側から外周側にかけて形成された３本
   以上の溝を有し、 前記溝が、前記固定側電極および可動側電極の外周側端
   部まで達して前記固定側電極および可動側電極を溝の本
   数に分割し、 前記溝が、前記アーク電極と電極支持部とを貫通してい
   ることを特徴とする真空バルブ用電極。
6. 【請求項６】 請求項１ないし５のいずれか一項に記載
   の真空バルブ用電極において、 前記アーク電極は、耐火性金属としてＣｒおよびＷ,Ｍ
   ｏ,Ｔａ,Ｎｂ,Ｂｅ,Ｈｆ,Ｉｒ,Ｐｔ,Ｚｒ,Ｔｉ,Ｔｅ,Ｓ
   ｉ,Ｖ,Ｆｅ,Ｃｏ,Ｎｉ,Ｍｎ,Ｒｈ,Ｒｕの１種または２
   種以上の混合物またはこれらの化合物と、高導電性金属
   としてＣｕ,ＡgまたはＡuからなる金属またはこれらを
   主にした合金とからなり、 前記電極支持部は、前記高導電性金属または前記高導電
   性金属を主にした合金からなることを特徴とする真空バ
   ルブ用電極。
7. 【請求項７】 請求項１ないし５のいずれか一項に記載
   の真空バルブ用電極において、 前記アーク電極は、耐火性金属としてＣｒおよびＷ,Ｍ
   ｏ,Ｔａ,Ｎｂ,Ｂｅ,Ｈｆ,Ｉｒ,Ｐｔ,Ｚｒ,Ｔｉ,Ｔｅ,Ｓ
   ｉ,Ｖ,Ｆｅ,Ｃｏ,Ｎｉ,Ｍｎ,Ｒｈ,Ｒｕの１種または２
   種以上の合金を合計量７０〜２０重量％含み、高導電性
   金属としてＣｕ,ＡgまたはＡuからなる金属またはこれ
   らを主にした合金を３０〜８０重量％含み、 前記電極支持部は、前記高導電性金属または前記高導電
   性金属を主にした合金からなることを特徴とする真空バ
   ルブ用電極。
8. 【請求項８】 請求項１ないし７のいずれか一項に記載
   の真空バルブ用電極において、 前記電極支持部の比抵抗が、１.８μΩｃｍ〜５.６μΩ
   ｃｍであることを特徴とする真空バルブ用電極。
9. 【請求項９】 請求項１ないし８のいずれか一項に記載
   の真空バルブ用電極において、 前記アーク電極の比抵抗が、３.７μΩｃｍ〜６.６μΩ
   ｃｍであることを特徴とする真空バルブ用電極。
10. 【請求項１０】 請求項１ないし９のいずれか一項に記
    載の真空バルブ用電極の製造方法において、 多孔質成形体をなす前記耐火性金属であるＣｒおよび
    Ｗ,Ｍｏ,Ｔａ,Ｎｂ,Ｂｅ,Ｈｆ,Ｉｒ,Ｐｔ,Ｚｒ,Ｔｉ,Ｔ
    ｅ,Ｓｉ,Ｖ,Ｆｅ,Ｃｏ,Ｎｉ,Ｍｎ,Ｒｈ,Ｒｕの１種また
    は２種以上の原料粉末は、１５０μｍ以上の粒子が５重
    量％以下、３２μｍ以下の粒子が５重量％以下の粒度分
    布をもつことを特徴とする真空バルブ用電極の製造方
    法。
11. 【請求項１１】 請求項１ないし１０のいずれか一項に
    記載の真空バルブ用電極の製造方法において、 多孔質成形体をなす前記高導電性金属であるＣｕ,Ａgま
    たはＡuからなる金属またはこれらを主にした合金の原
    料粉末は、粒径が７４μｍ以下であることを特徴とする
    真空バルブ用電極の製造方法。