JP2000173415A - 電気接点及びその製造方法 - Google Patents

電気接点及びその製造方法

Info

Publication number
JP2000173415A
JP2000173415A JP10341341A JP34134198A JP2000173415A JP 2000173415 A JP2000173415 A JP 2000173415A JP 10341341 A JP10341341 A JP 10341341A JP 34134198 A JP34134198 A JP 34134198A JP 2000173415 A JP2000173415 A JP 2000173415A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
conductive metal
melting point
highly conductive
powders
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10341341A
Other languages
English (en)
Inventor
Masao Shimizu
政男 清水
Katsuhiro Komuro
勝博 小室
Noboru Baba
馬場  昇
Yoshiyuki Kojima
慶享 児島
Toru Tanimizu
徹 谷水
Yoshimi Hakamata
好美 袴田
Hitoshi Okabe
均 岡部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP10341341A priority Critical patent/JP2000173415A/ja
Publication of JP2000173415A publication Critical patent/JP2000173415A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明の目的は、大容量での耐溶着性に優れた
真空バルブ用電気接点を得るための組成及びその製造方
法を提供することにある。 【解決手段】アーク電極は、高融点金属のCr,W,M
o及びTaの1種または2種以上の合計量を30〜80
重量%、高導電性金属のCuを20〜70重量%、低融
点金属のTe,Se及びSbの1種又は2種以上の合計
量0.1 重量%以下(0は除く)とからなる複合合金で
あることを特徴とする真空しゃ断器にある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電気接点及びその
製造法に関する。
【0002】
【従来の技術】真空遮断器は、断路器,接地開閉器,避
雷器,変流器とともに用いられ、高層ビル,ホテル,イ
ンテリジェントビル,地下街,石油コンビナート,各種
工場,駅,病院,会館,地下鉄,上下水道等の公共設備
などの電源として欠かせない高圧受変電設備として用い
られる。
【0003】真空遮断器内の電極構造は、一対の固定電
極及び可動電極からなっている。上記固定及び可動電極
の構造は、アーク電極と該アーク電極を支持するアーク
支持部材と、該アーク支持部材に連なるコイル電極材と
コイル電極端部には電極棒の4部品から構成されてい
る。
【0004】上述したアーク電極材は、高電圧,大電流
を開閉遮断するために直接アークにさらされる、アーク
電極に要求される満足すべき特性は、遮断容量が大きい
こと、耐電圧値が高いこと、接触抵抗値が小さいこと
(電気伝導に優れていること)、耐溶着性に優れているこ
と、接点消耗量が少ないこと及び裁断電流値が小さいこ
と、等基本的な要件が挙げられる。
【0005】しかし、これらの特性を全て満足させるこ
とは困難であって一般には用途に応じて特に重要な特性
を重視し、他の特性はある程度犠牲にした材料が使用さ
れている。大電流,高電圧遮断用アーク電極材料として
は、特開昭63−96204 号公報にはCr又はCr−Cuス
ケルトンにCuを溶浸させる方法が開示されている。ま
た、同様の製法は特公昭50−21670 号公報にも開示され
ている。
【0006】一方、耐電圧,耐溶着性に優れているCr
−CuにNbを添加した組成の電極は、大容量では耐溶
着性が不十分であった。
【0007】一方、Cr−CuスケルトンにTe,Se
及びSbの低融点金属を添加したスケルトンにCuを溶
浸させ、スケルトン内にTe等の低融点金属を均一に分
散させることは、比重差が大きいために難しい。
【0008】一方、これらアーク電極,アーク電極支持
部,コイル電極及び電極棒で構成される電極の製造工程
は、アーク電極材の製造と機械加工,アーク電極支持部
材,コイル電極材及び電極棒のそれぞれの機械加工と各
部品の組立てとろう付け作業の工程を経て電極が完了す
る。
【0009】前述のアーク電極の製造方法は、Cr粉
末,Cu粉末,Nb粉末,Ti粉末,Zr粉末,Te粉
末,Sb粉末等あるいはこれらの混合粉末を所定の組
成,形状,空孔量に成形,焼結後、焼結体のスケルトン
にCuあるいは合金溶湯をしみ込ませるいわゆる溶浸法
が、あるいは溶浸前の焼結工程で密度を100%にする
いわゆる粉末冶金法により製造されたアーク電極材を、
更に機械加工して所定形状とする。
【0010】アーク電極支持部,コイル電極及び電極棒
は、純Cu素材から縦磁界の発生し易いように工夫され
た所定形状にそれぞれ切り出し加工される。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】Cu−Crスケルトン
にNbを添加した焼結体に高導電性金属を溶浸したCu
−Cr−Nb電極は、Cu溶浸の際、Cr化合物が生成
し、これが脆性の性質を持つために容易に破壊しやすく
なるため耐溶着性にすぐれているが、電極は大容量化す
ると、耐溶着性が不十分である。
【0012】この対策として、前述の組成に低融点金属
または低融点金属と銅の化合物を少量添加することによ
り大容量電極での耐溶着性を向上する電極が得られるこ
とを見出した。従来の製造方法としては、スケルトン内
に低融点金属を均一に分散させるには、比重差が大きく
難しい。今回は、溶浸温度及び保持時間の制御をするこ
とにより、スケルトン内の低融点金属の均一分散化が可
能になる製造条件を見出した。
【0013】この電極は、低融点金属の無添加のものに
比べ、引張強さが著しく小さくできるため溶着しても開
離しやすい電極であることがわかった。また、一体溶浸
法により、各部材の機械加工工程,ろう付け時の各部材
組立工程の低減ができる。
【0014】本発明の目的は、大容量での耐溶着性に優
れた真空バルブ用電気接点を得るための組成及びその製
造方法を提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明は、固定側電極と
可動側電極とを備えた真空バルブにおいて、前記固定側
電極及び可動側電極は高融点金属と高導電性金属と低融
点金属とを有する複合合金からなるアーク電極と、該ア
ーク電極を支持する高導電性金属からなる電極支持部と
を有し、前記アーク電極と電極支持部とは前記高導電性
金属の溶融によって一体に形成され、前記アーク電極
は、高融点金属のCr,W,Mo及びTaの1種または
2種以上の合計量を30〜80重量%、高導電性金属の
Cuを20〜70重量%、低融点金属のTe,Se及び
Sbの1種又は2種以上の合計量0.1重量%以下(0は
除く)とからなる複合合金、または前記アーク電極と電
極支持部とは前記高導電性金属の溶融によって一体に形
成され、前記アーク電極は、高融点金属のCr,W,M
o及びTaの1種または2種以上の合計量を30〜80
重量%、高導電性金属のCuを20〜70重量%、N
b,V,Zr,Ti,Fe,Y及びSiの1種又は2種
以上の合計量5.0 重量%以下、低融点金属のTe,S
e及びSbの1種又は2種以上の合計量0.1 重量%以
下(0は除く)とからなる複合合金である。
【0016】いずれの複合合金の組成により、電極の大
容量での高耐溶着性を得られる。これは、低融点金属の
Te等を少量添加することにより、引張強さが著しく小
さくできるためアーク電極は溶着しても開離しやすくな
る。
【0017】本発明の真空バルブ用電気接点の製造方法
は、高融点金属のCr,W,Mo及びTaの1種または
2種以上の粉末と、高導電性金属のCu粉末と、低融点
金属のTe,Se及びSbの1種又は2種以上の粉末と
からなる混合粉末を焼結した焼結体に高導電性金属のC
uを真空中に溶浸すること、または高融点金属のCr,
W,Mo及びTaの1種または2種以上の粉末と、高導
電性金属のCu粉末と、Nb,V,Zr,Ti,Fe,
Y及びSiの1種又は2種以上の粉末と、低融点金属の
Te,Se及びSbの1種又は2種以上の粉末とからな
る混合粉末を焼結した焼結体に高導電性金属のCuを真
空中に溶浸することであり、また上記の低融点金属のT
e,Se及びSbを低融点金属の銅化物にかえて、添加
することもできる。
【0018】すなわち、高融点金属のCr,W,Mo及
びTaの1種または2種以上の粉末と、高導電性金属の
Cu粉末と、低融点金属の銅化物の1種または2種以上
の粉末とからなる混合粉末を焼結した焼結体に高導電性
金属のCuを真空中に溶浸すること、または高融点金属
のCr,W,Mo及びTaの1種または2種以上の粉末
と、Nb,V,Zr,Ti,Fe,Y及びSiの1種又
は2種以上の粉末と、高導電性金属のCu粉末と、低融
点金属の銅化物の1種または2種以上の粉末とからなる
混合粉末を焼結した焼結体に高導電性金属のCuを真空
中に溶浸することである。
【0019】いずれの製造方法により、前述の組成を有
する真空バルブ用電気接点が得られ、溶浸した高導電性
金属の残部は、電極支持部との溶融によって一体に形成
することが可能になる。
【0020】本発明の真空バルブ用電気接点の製造方法
において、焼結体の製造条件は雰囲気が水素ガスまた
は、真空中で、温度が1000〜1350℃、保持時間
が1〜5時間である。この製造条件により、低融点金属
を高融点金属粒子及び高導電性金属粒子に拡散接合させ
て、低融点金属の均一な分散をし、溶浸での低融点金属
の脱落を防止するものである。この結果、各部材の機械
加工工程,ろう付け時の各部材組立工程の低減、また、
非接合であることから従来のろう付け部の局部発熱,ろ
う付け不良によるアーク電極材の破壊,脱落等の問題が
なくなる。
【0021】
【発明の実施の形態】実施例1 図1(a)は、試作した一体構造電極の鋳塊断面を示す
ものである。図中、1がアーク電極、2がアーク電極支
持部である。
【0022】5重量%のCu粉末と94.9重量%のC
r粉末と0.1重量%のTe粉末をV型ミキサーにより
混合後、直径80mmの金型を用いて、成形圧力3.0ton
/cm2で直径80mm,厚さ9mmの成形体を作製した。そ
の成形体の空隙率は75%で、水素ガス中で焼結温度1
050℃×120分で焼結を行った。この時の焼結体空
隙率は65%である。次に図1(b)は電極の製造方法
を示す図で、黒鉛容器3の底面中央に上記多孔質焼結体
4を置き、純Cuからなるアーク電極支持部2を前記多
孔質焼結体4と同一円心上に載置した。黒鉛容器3と焼
結体4の側面と純Cuからなるアーク電極支持部2の側
面及び上部にはAl23粉末5を充填する。
【0023】溶浸条件は、1×10-5Torr以下の真空中
で1150℃×60分間保持し、アーク電極支持部2が
溶融し、多孔質焼結体4のスケルトン中に均一にしみ込
ませた後、真空雰囲気中で凝固させる。図1(a)は、
凝固後に黒鉛製容器から取り出した鋳塊の断面外観であ
る。また図1(c)には切削加工後のアーク電極1とア
ーク電極支持部2とを示し、両者の界面部を顕微鏡組織
写真により観察した結果、Cr粒子焼結体の空孔にCu
が溶浸しており、Cr粒子は互いに複数個結合している
が、粒子としての形が見られる。
【0024】このように本発明方法によれば、図1
(a)及び図1(c)からもわかるようにアーク電極と
アーク電極支持部が一体構造で構成される電極が十分作
製可能であることがわかる。アーク電極材とアーク電極
支持部材の界面は金相学的に完全に連続一体化がなされ
ており、ろう付け等による接合が不必要であることがわ
かる。また、アーク電極1の断面のTeを分析した結
果、Teが均一に分散されていた。
【0025】実施例2 図2は、成形体に添加したTe量と溶浸後のアーク電極
材のTe分布を示したものである。成形体組成はNo.
1:Cu−50Cr−5Zr−0.1Te ,No.2:Cu-5
0Cr-5Nb-0.5Te 及びNo.3:Cu−50Cr−5Z
r−1.5Teである。
【0026】溶浸後のアーク電極材のTe分布方法はア
ーク電極材とアーク電極支持部材の界面を基準とし、そ
れぞれ1mmずつ切削し分析した。図2に示すようにTe
添加量0.5%及び1.5%材ではアーク電極材のTe分
布は勾配を持ち均一組成のアーク電極材を供給すること
ができない。一方、Te添加量0.1% 材はアーク電極
材にほぼ均一に分布していることが分かる。
【0027】このように本発明によれば、Te添加量
0.1% 材はアーク電極材にほぼ均一に分布することが
でき、安定したアーク電極材を供給することができる。
【0028】また、Se及びSbについても同様の方法
で検討した結果、Teの分布結果と同様であった。
【0029】
【表1】
【0030】表1は、アーク電極材の強度及び0.2%
耐力の測定結果を示したものである。強度測定はアムス
ーラ引張試験機を用いた。Teを含まないCu−35C
r(比較例1)は、強度が29kg/mm2,0.2%耐力が
13kg/mm2 である。一方、本発明したNo.1〜4でT
eを含むアーク電極は、強度が9〜13kg/mm2,0.2
%耐力が9〜12kg/mm2と低く、このようなアーク電
極材は溶着しても、開離しやすいことがわかる。Teの
代わりにSe及びSbをそれぞれ含有した合金も同様の
強度であった。
【0031】実施例3 図3は、上述した本発明の製造方法により作製した電極
部を示したものである。
【0032】ここで、図3(a)は電極の断面図、図3
(b)は電極6をアーク電極面から見た平面図である。
【0033】この電極6は直線の溝を備えた電極であ
り、120°の角度で直線形状の溝7が設けられてい
る。この直線形状の溝7は機械加工によって形成するこ
とができる。
【0034】また、図示しないが、短絡電流が少ないタ
イプの真空遮断器の電極には直線形の溝7の無い単純な
平板形構造が用いられるが、これらの平板形構造電極に
おいても、本発明により作製されたアーク電極を用いる
ことが可能である。
【0035】図4は図3にて説明した本発明の製造方法
により製作された電極に使用した真空バルブの断面図を
示したものである。
【0036】この真空バルブの基本的な構成は特開平7
−29461号に示された構成と同様であり、絶縁材で形成
されたシリンダ8の上側開口部には固定側電極シールリ
ング9,下側開口部には可動側電極シールリング10を
設けて真空室を形成する真空容器を構成し、上記固定側
電極シールリング9の中程に固定側電極11を垂設し、
上記固定側電極の直下に位置する上記可動側電極シール
リング10の中程にガイド12に支持された可動ホルダ
ー13を昇降自在に設け、この可動ホルダー13に可動
側電極14を固定させることにより、上記固定側電極1
1のアーク電極15に対して上記可動側電極14のアー
ク電極16を接触可能なようにする。
【0037】上記可動側電極シールリング10の内側に
金属製ベローズ17を伸縮するようにして被冠して設
け、さらに、上記両アーク電極の周りには円筒状をなす
金属板の中間シールド部材18を設置し、このシールド
部材18は上記シリンダ8の絶縁性を損なわず、また、
可動側電極14には可動側シールド19が設置されてい
る。
【0038】さらに、上記アーク電極15,16は、前
述した本発明の製法により、それぞれアーク電極支持部
20,21に一体に結合されている。
【0039】アーク電極支持部20及び可動ホルダー1
3は端子に接続され、電流の通路となる。前記の部品は
接合部にろう材を載置して組み立てられた後、真空雰囲
気中で加熱され、ろう付けされることにより、図4に示
す真空バルブ内を真空封止することができる。
【0040】
【発明の効果】本発明によれば、真空バルブ用電気接点
は、Te,Se及びSbの低融点金属または低融点金属
と銅の化合物を添加することにより、溶着しても開離し
やすい大容量での耐溶着性の向上ができる電極が得ら
れ、かつ雰囲気ガス、溶浸温度及び保持時間の制御によ
り、低融点金属を均一分散化を可能にした製造方法を提
供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)ないし(c)は本発明の電気接点の製造
法を示す工程図。
【図2】Te量と距離との関係を示す特性図。
【図3】(a)及び(b)は真空バルブ用電極の側断面
図及び同図(a)の下側から視た平面図。
【図4】真空バルブの側断面図。
【符号の説明】
1,15,16…アーク電極、2,20,21…アーク
電極支持部、3…黒鉛容器、4…多孔質焼結体、5…ア
ルミナ粉末、6,11,14…電極、7…溝、8…シリ
ンダ、9,10…シールリング、12…ガイド、13…
ホルダー、17…ベローズ、18…シールド部材、19
…シールド。
フロントページの続き (72)発明者 馬場 昇 茨城県日立市大みか町七丁目1番1号 株 式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 児島 慶享 茨城県日立市大みか町七丁目1番1号 株 式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 谷水 徹 茨城県日立市国分町一丁目1番1号 株式 会社日立製作所国分工場内 (72)発明者 袴田 好美 茨城県日立市国分町一丁目1番1号 株式 会社日立製作所国分工場内 (72)発明者 岡部 均 茨城県日立市国分町一丁目1番1号 株式 会社日立製作所国分工場内 Fターム(参考) 5G026 BA04 BB02 BB12 BB14 BB15 BB16 BB25 BB27 BB30 BC04 5G050 AA12 AA13 AA25 AA40 AA42 AA46 AA47 AA51 BA05 5G051 AA01

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】固定側電極と可動側電極とを備えた真空バ
    ルブにおいて、前記固定側電極及び可動側電極は高融点
    金属と高導電性金属と低融点金属とを有する複合合金か
    らなるアーク電極と、該アーク電極を支持する導電性金
    属の電極支持部とを有し、前記アーク電極と電極支持部
    とは前記高導電性金属の溶融によって一体に形成され、
    前記アーク電極は、高融点金属のCr,W,Mo及びT
    aの1種または2種以上の合計量を30〜80重量%、
    高導電性金属のCuを20〜70重量%、低融点金属の
    Te,Se及びSbの1種又は2種以上の合計量0.1
    重量%以下(0は除く)とからなる複合合金であること
    を特徴とする電気接点。
  2. 【請求項2】アーク電極と電極支持部とは上記高導電性
    金属の溶融によって一体に形成され、前記アーク電極
    は、高融点金属のCr,W,Mo及びTaの1種または
    2種以上の合計量を30〜80重量%、高導電性金属の
    Cuを20〜70重量%、Nb,V,Zr,Ti,F
    e,Y及びSiの1種又は2種以上の合計量5.0 重量
    %以下、低融点金属のTe,Se及びSbの1種又は2
    種以上の合計量0.1 重量%以下(0は除く)とからな
    る複合合金であることを特徴とする電気接点。
  3. 【請求項3】請求項1に記載の真空バルブ用電気接点
    は、高融点金属のCr,W,Mo及びTaの1種または
    2種以上の粉末と、高導電性金属のCu粉末と、低融点
    金属のTe,Se及びSbの1種又は2種以上の粉末と
    からなる混合粉末を焼結した焼結体に高導電性金属のC
    uを真空中に溶浸することを特徴とする電気接点の製造
    方法。
  4. 【請求項4】請求項1に記載の真空バルブ用電気接点
    は、高融点金属のCr,W,Mo及びTaの1種または
    2種以上の粉末と、高導電性金属のCu粉末と、低融点
    金属と銅の化合物の1種または2種以上の粉末とからな
    る混合粉末を焼結した焼結体に高導電性金属のCuを真
    空中に溶浸することを特徴とする電気接点の製造方法。
  5. 【請求項5】請求項2に記載の真空バルブ用電気接点
    は、高融点金属のCr,W,Mo及びTaの1種または
    2種以上の粉末と、高導電性金属のCu粉末と、Nb,
    V,Zr,Ti,Fe,Y及びSiの1種又は2種以上
    の粉末と、低融点金属のTe,Se及びSbの1種又は
    2種以上の粉末とからなる混合粉末を焼結した焼結体に
    高導電性金属のCuを真空中に溶浸することを特徴とす
    る電気接点の製造方法。
  6. 【請求項6】請求項2に記載の真空バルブ用電気接点
    は、高融点金属のCr,W,Mo及びTaの1種または
    2種以上の粉末と、Nb,V,Zr,Ti,Fe,Y及
    びSiの1種又は2種以上の粉末と、高導電性金属のC
    u粉末と、低融点金属の銅化物の1種または2種以上の
    粉末とからなる混合粉末を焼結した焼結体に高導電性金
    属のCuを真空中に溶浸することを特徴とする電気接点
    の製造方法。
  7. 【請求項7】請求項3から6のいずれか1項に記載の電
    気接点の製造方法において、焼結体の製造条件は雰囲気
    が水素ガスまたは、真空中で、温度が1000〜135
    0℃,保持時間が1〜5時間であることを特徴とする電
    気接点の製造方法。
JP10341341A 1998-12-01 1998-12-01 電気接点及びその製造方法 Pending JP2000173415A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10341341A JP2000173415A (ja) 1998-12-01 1998-12-01 電気接点及びその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10341341A JP2000173415A (ja) 1998-12-01 1998-12-01 電気接点及びその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000173415A true JP2000173415A (ja) 2000-06-23

Family

ID=18345321

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10341341A Pending JP2000173415A (ja) 1998-12-01 1998-12-01 電気接点及びその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000173415A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2161728A2 (en) 2008-09-03 2010-03-10 Hitachi, Ltd. Electrical contacts and methods of manufacturing the same, and switchgear for electric power
CN111206163A (zh) * 2020-01-10 2020-05-29 陕西斯瑞新材料股份有限公司 一种高Te含量CuCr触头的制备方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2161728A2 (en) 2008-09-03 2010-03-10 Hitachi, Ltd. Electrical contacts and methods of manufacturing the same, and switchgear for electric power
CN111206163A (zh) * 2020-01-10 2020-05-29 陕西斯瑞新材料股份有限公司 一种高Te含量CuCr触头的制备方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100315732B1 (ko) 진공차단기및그것에이용되는진공밸브와전기접점
US6048216A (en) Vacuum circuit breaker as well as vacuum valve and electric contact used in same
JP4759987B2 (ja) 電極および電気接点とその製法
US3385677A (en) Sintered composition material
CN100388403C (zh) 烧结合金制成的电触点及其制造方法
US6248969B1 (en) Vacuum circuit breaker, and vacuum bulb and vacuum bulb electrode used therefor
EP0155322A1 (en) Electrode of vacuum breaker
US5697150A (en) Method forming an electric contact in a vacuum circuit breaker
JPH0534406B2 (ja)
JP2001135206A (ja) 電極及び真空バルブ用電極と真空バルブ並びに真空開閉器
US4546222A (en) Vacuum switch and method of manufacturing the same
JPH11232971A (ja) 真空遮断器及びそれに用いる真空バルブと電気接点並びに製造方法
JPH1012103A (ja) 真空遮断器及びそれに用いる真空バルブと電気接点
JP2000235825A (ja) 真空遮断器用電極部材及びその製造方法
JP2000173415A (ja) 電気接点及びその製造方法
CN113593992A (zh) 一种超低铬含量CuW-CuCr整体电触头及其制备方法
KR19980087242A (ko) 진공밸브의 모재의 제조방법
US5019156A (en) Sintered electric contact material for vacuum switch tube and process for manufacturing the same
JP2000188045A (ja) 真空遮断器及びそれに用いる真空バルブとその電極
JP2003223834A (ja) 電気接点部材とその製法
KR960004315B1 (ko) 진공스위치용 접점재료 및 그 제법
JP3273018B2 (ja) 真空バルブの母材の製造方法
JP3627712B2 (ja) 真空遮断器及びそれに用いる真空バルブと電気接点
JP3381605B2 (ja) 真空遮断器及びそれに用いる真空バルブと電気接点
JPH11167847A (ja) 真空遮断器及びそれに用いる真空バルブとその電極