JP2002072160A - 光学部品の温度を安定化するための方法、装置および安定化手段を備えた走査型顕微鏡 - Google Patents
光学部品の温度を安定化するための方法、装置および安定化手段を備えた走査型顕微鏡Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 走査型顕微鏡における光学部品の温度を安定
化すること。 【解決手段】 本発明は、増設されるアセンブリの数を
できるだけ少なくしたまま、できるだけ簡単に、省スペ
ースで安定した態様で部品の温度を一定値に保持できる
よう、好ましくは走査型顕微鏡、特に共焦点走査型顕微
鏡における光学部品、特に光学的にアクティブな部品、
電気光学部品または音響光学部品の温度を安定化するた
めの方法および装置に関し、部品と相互作用するエネル
ギーが安定化のために働くことを特徴とする。
化すること。 【解決手段】 本発明は、増設されるアセンブリの数を
できるだけ少なくしたまま、できるだけ簡単に、省スペ
ースで安定した態様で部品の温度を一定値に保持できる
よう、好ましくは走査型顕微鏡、特に共焦点走査型顕微
鏡における光学部品、特に光学的にアクティブな部品、
電気光学部品または音響光学部品の温度を安定化するた
めの方法および装置に関し、部品と相互作用するエネル
ギーが安定化のために働くことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、好ましくは走査型
顕微鏡、特に共焦点走査型顕微鏡における光学的にアク
ティブな部品の温度を安定化するための方法および装置
に関する。
顕微鏡、特に共焦点走査型顕微鏡における光学的にアク
ティブな部品の温度を安定化するための方法および装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】安定ビーム路の光学的性質が温度変化の
影響を受けないようにするために、例えば音響光学同調
可能フィルタ（ＡＯＴＦ）の場合に、特に光学的にアク
ティブな部品を使用する際に温度調節またはそれに対応
する温度補正を行うことが必要である。多波長レーザー
から光学アセンブリ、例えば共焦点走査型顕微鏡へ光を
波長選択可能に入射結合するためにＡＯＴＦを使用する
ことができる。これに関連し、このＡＯＴＦを通過する
音波により光が屈折される。超音波の駆動パワーレベル
は約１Ｗであり、機械的な音波のエネルギーは最終的に
は熱エネルギーに変換され、この結果、光学部品が加熱
されることになる。部品を通過する光線の吸収により部
品が更に加熱される。通常、共焦点走査型顕微鏡に入射
結合すべき光が遮断された場合、ＡＯＴＦの駆動エネル
ギー、すなわち音波はスイッチオフされ、入射結合すべ
き光は、例えばＡＯＴＦの前のシャッターにより完全に
遮断される。遮断が長時間持続した場合、温度変化によ
り光学部品には光学的性質の差が生じ、よって光を入射
結合する効率に基本的に悪影響が及ぶことになる。
影響を受けないようにするために、例えば音響光学同調
可能フィルタ（ＡＯＴＦ）の場合に、特に光学的にアク
ティブな部品を使用する際に温度調節またはそれに対応
する温度補正を行うことが必要である。多波長レーザー
から光学アセンブリ、例えば共焦点走査型顕微鏡へ光を
波長選択可能に入射結合するためにＡＯＴＦを使用する
ことができる。これに関連し、このＡＯＴＦを通過する
音波により光が屈折される。超音波の駆動パワーレベル
は約１Ｗであり、機械的な音波のエネルギーは最終的に
は熱エネルギーに変換され、この結果、光学部品が加熱
されることになる。部品を通過する光線の吸収により部
品が更に加熱される。通常、共焦点走査型顕微鏡に入射
結合すべき光が遮断された場合、ＡＯＴＦの駆動エネル
ギー、すなわち音波はスイッチオフされ、入射結合すべ
き光は、例えばＡＯＴＦの前のシャッターにより完全に
遮断される。遮断が長時間持続した場合、温度変化によ
り光学部品には光学的性質の差が生じ、よって光を入射
結合する効率に基本的に悪影響が及ぶことになる。
【０００３】実際的な使用から、包括的なタイプの方法
および装置が知られている。例えばＡＯＴＦを有するレ
ーザー走査型顕微鏡を開示しているドイツ特許出願公開
第DE19827140A1号を参照されたい。この装置から知られ
るＡＯＴＦは、この装置の近くに温度センサおよび／ま
たは加熱システムまたは冷却システムを有する。
および装置が知られている。例えばＡＯＴＦを有するレ
ーザー走査型顕微鏡を開示しているドイツ特許出願公開
第DE19827140A1号を参照されたい。この装置から知られ
るＡＯＴＦは、この装置の近くに温度センサおよび／ま
たは加熱システムまたは冷却システムを有する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題および課題を解決するた
めの手段】従って、本発明の第１の視点において、本発
明の一目的は、増設されるアセンブリの数をできるだけ
少なくしたまま、できるだけ簡単に、省スペースで一定
の値で部品の温度を安定に保持できる、特に光学的にア
クティブな電気光学部品または音響光学部品の温度を安
定化するための方法を提案することにある。
めの手段】従って、本発明の第１の視点において、本発
明の一目的は、増設されるアセンブリの数をできるだけ
少なくしたまま、できるだけ簡単に、省スペースで一定
の値で部品の温度を安定に保持できる、特に光学的にア
クティブな電気光学部品または音響光学部品の温度を安
定化するための方法を提案することにある。
【０００５】この目的は特許請求の範囲第１項に記載の
方法によって達成される。即ち、第１の視点によれば、
光ビームを偏向させるための光学的にアクティブな部品
と相互作用するエネルギーの入力パワーを測定する工程
と、光学的にアクティブな部品と相互作用するエネルギ
ーを非偏向状態にスイッチングし、よって平均入力パワ
ーを一定のレベルに維持する工程とを備えた、光学的に
アクティブな部品の温度を安定化する方法が提供され
る。
方法によって達成される。即ち、第１の視点によれば、
光ビームを偏向させるための光学的にアクティブな部品
と相互作用するエネルギーの入力パワーを測定する工程
と、光学的にアクティブな部品と相互作用するエネルギ
ーを非偏向状態にスイッチングし、よって平均入力パワ
ーを一定のレベルに維持する工程とを備えた、光学的に
アクティブな部品の温度を安定化する方法が提供され
る。
【０００６】本発明の第２の視点において、本発明の更
に別の目的は、増設すべきアセンブリの数をできるだけ
少なくし、光学的にアクティブな部品の温度を一定に維
持できる装置を提供することにある。
に別の目的は、増設すべきアセンブリの数をできるだけ
少なくし、光学的にアクティブな部品の温度を一定に維
持できる装置を提供することにある。
【０００７】この目的は、特許請求の範囲第３項記載の
光学的にアクティブな部品の温度を安定化するための装
置によって達成される。即ち、第２の視点によれば、光
ビームを偏向させるための光学的にアクティブな部品と
相互作用するエネルギーの入力パワーを測定する手段
と、光学的にアクティブな部品と相互作用するエネルギ
ーを非偏向状態にスイッチングし、よって平均入力パワ
ーを一定のレベルに維持する手段とを備えた、光学的に
アクティブな部品の温度を安定化する装置が提供され
る。
光学的にアクティブな部品の温度を安定化するための装
置によって達成される。即ち、第２の視点によれば、光
ビームを偏向させるための光学的にアクティブな部品と
相互作用するエネルギーの入力パワーを測定する手段
と、光学的にアクティブな部品と相互作用するエネルギ
ーを非偏向状態にスイッチングし、よって平均入力パワ
ーを一定のレベルに維持する手段とを備えた、光学的に
アクティブな部品の温度を安定化する装置が提供され
る。
【０００８】本発明の第３の視点において、本発明の別
の目的は、光学的にアクティブな部品の温度を一定に保
持でき、時間に対して安定した光学的性質を提供する、
走査型顕微鏡を提供することにある。
の目的は、光学的にアクティブな部品の温度を一定に保
持でき、時間に対して安定した光学的性質を提供する、
走査型顕微鏡を提供することにある。
【０００９】この目的は特許請求の範囲第５項に記載の
走査型顕微鏡によって達成される。即ち、第３の視点に
よれば、規定の光ビームを発生する光源と、光ビームを
走査装置に向け、更に光学システムを介して標本に向け
るためのダイクロイックビームスプリッタと、該光ビー
ムの光路内に配置された光学的にアクティブな部品と、
該光学的にアクティブな部品と相互作用するエネルギー
の入力パワーを測定するための手段と、光学的にアクテ
ィブな部品と相互作用するエネルギーを非偏向状態にス
イッチングし、よって平均入力パワーを一定レベルに維
持する手段と、を備えた走査型顕微鏡が提供される。
走査型顕微鏡によって達成される。即ち、第３の視点に
よれば、規定の光ビームを発生する光源と、光ビームを
走査装置に向け、更に光学システムを介して標本に向け
るためのダイクロイックビームスプリッタと、該光ビー
ムの光路内に配置された光学的にアクティブな部品と、
該光学的にアクティブな部品と相互作用するエネルギー
の入力パワーを測定するための手段と、光学的にアクテ
ィブな部品と相互作用するエネルギーを非偏向状態にス
イッチングし、よって平均入力パワーを一定レベルに維
持する手段と、を備えた走査型顕微鏡が提供される。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明によれば、光学的にアクテ
ィブな部品の場合、駆動エネルギーがより長く遮断され
ると、部品の温度変化が生じることがまず認められる。
部品と相互作用する光が遮断される結果としても、同じ
ように部品の温度変化が生じる。その理由は、当該部品
では光の遮断後には光が更に吸収されることはないから
である。光が吸収された場合には光は熱に変換される。
ィブな部品の場合、駆動エネルギーがより長く遮断され
ると、部品の温度変化が生じることがまず認められる。
部品と相互作用する光が遮断される結果としても、同じ
ように部品の温度変化が生じる。その理由は、当該部品
では光の遮断後には光が更に吸収されることはないから
である。光が吸収された場合には光は熱に変換される。
【００１１】本発明によれば、部品と相互作用するエネ
ルギーを部品温度の安定化にも使用することによって光
学部品の温度の安定化が、達成される。部品と相互作用
するエネルギーが実質的に中断されることなく部品に作
用した場合、部品はほぼ一定の温度となる。特に、部品
と相互作用するエネルギーが少なくとも大きい一定値に
維持された場合、光学部品の温度の一層の安定化を達成
できる。通例の光学装置の場合、部品と相互作用してい
るエネルギーが１分までの短かい時間だけ遮断されて
も、光学部品の温度が実質的に変化することはない。し
かしながら、共焦点走査型顕微鏡では１秒よりも長い時
間にわたって撮像を行わなくなるとすぐに、本発明によ
れば、（何らかの形態の）相互作用エネルギーを光学部
品に入射するようにすることができる。
ルギーを部品温度の安定化にも使用することによって光
学部品の温度の安定化が、達成される。部品と相互作用
するエネルギーが実質的に中断されることなく部品に作
用した場合、部品はほぼ一定の温度となる。特に、部品
と相互作用するエネルギーが少なくとも大きい一定値に
維持された場合、光学部品の温度の一層の安定化を達成
できる。通例の光学装置の場合、部品と相互作用してい
るエネルギーが１分までの短かい時間だけ遮断されて
も、光学部品の温度が実質的に変化することはない。し
かしながら、共焦点走査型顕微鏡では１秒よりも長い時
間にわたって撮像を行わなくなるとすぐに、本発明によ
れば、（何らかの形態の）相互作用エネルギーを光学部
品に入射するようにすることができる。
【００１２】好ましい実施形態では、部品と相互作用す
るエネルギーを変えるようになっている。よって部品の
温度を調節し、部品と相互作用するエネルギーは制御ル
ープの操作変数として働く。制御ループに必要な実際の
状態（光学部品の実際の温度）の検出器を温度センサー
で実現できる。
るエネルギーを変えるようになっている。よって部品の
温度を調節し、部品と相互作用するエネルギーは制御ル
ープの操作変数として働く。制御ループに必要な実際の
状態（光学部品の実際の温度）の検出器を温度センサー
で実現できる。
【００１３】光学部品が音響光学部品である場合、部品
と相互作用するエネルギーは音響光学部品の駆動エネル
ギーである。音響光学部品を正しく作動させるためのい
ずれのケースにおいても、音響光学部品の駆動エネルギ
ーが必要であるので、音響光学部品の温度を安定化する
ための別の部品または別のアセンブリが不要であること
が特に好ましい。
と相互作用するエネルギーは音響光学部品の駆動エネル
ギーである。音響光学部品を正しく作動させるためのい
ずれのケースにおいても、音響光学部品の駆動エネルギ
ーが必要であるので、音響光学部品の温度を安定化する
ための別の部品または別のアセンブリが不要であること
が特に好ましい。
【００１４】本発明に係わる装置に関連し、光学部品と
しては、ダイクロイックビームスプリッタと、音響光学
同調可能フィルタ（ＡＯＴＦ）と、音響光学ビームスプ
リッタ（ＡＯＢＳ）と、音響光学変調器（ＡＯＭ）と、
音響光学偏向器（ＡＯＤ）または電気光学変調器（ＥＯ
Ｍ）を用いることができる。光学アセンブリでこれら光
学部品のいくつかを同時に使用する場合、これまで述べ
たことはこれら部品の各々の温度を安定化することにも
当てはまる。
しては、ダイクロイックビームスプリッタと、音響光学
同調可能フィルタ（ＡＯＴＦ）と、音響光学ビームスプ
リッタ（ＡＯＢＳ）と、音響光学変調器（ＡＯＭ）と、
音響光学偏向器（ＡＯＤ）または電気光学変調器（ＥＯ
Ｍ）を用いることができる。光学アセンブリでこれら光
学部品のいくつかを同時に使用する場合、これまで述べ
たことはこれら部品の各々の温度を安定化することにも
当てはまる。
【００１５】特に好ましい態様では、部品の助けにより
少なくとも１つの波長の光を光学的アセンブリへの入力
（入射）結合又は脱結合する（入射結合をオン・オフ切
替える）。特にこの目的のためには、ＡＯＴＦおよびＡ
ＯＢＳを使用する。更に、光学部品は結合・脱結合され
る光の強度を変えることができる。部品の助けにより光
学アセンブリの光ビームを偏向することも可能である。
少なくとも１つの波長の光を光学的アセンブリへの入力
（入射）結合又は脱結合する（入射結合をオン・オフ切
替える）。特にこの目的のためには、ＡＯＴＦおよびＡ
ＯＢＳを使用する。更に、光学部品は結合・脱結合され
る光の強度を変えることができる。部品の助けにより光
学アセンブリの光ビームを偏向することも可能である。
【００１６】特に有利な態様では、少なくとも１つの波
長の光および／または少なくとも１つの偏光状態にある
光に、光の影響が選択的に効果的となるように部品を調
節できる。例えば多波長レーザーからの光を光学的アセ
ンブリへと選択的に入射結合することができ、その光の
強度を変えることもできる。更に、選択的な偏向を行う
ことも可能である。
長の光および／または少なくとも１つの偏光状態にある
光に、光の影響が選択的に効果的となるように部品を調
節できる。例えば多波長レーザーからの光を光学的アセ
ンブリへと選択的に入射結合することができ、その光の
強度を変えることもできる。更に、選択的な偏向を行う
ことも可能である。
【００１７】光学部品の温度を安定化するために、測定
動作および／または照明動作を行わない時でも部品に相
互作用エネルギーを入射させる対策が講じられる。しか
しながら、モジュールを通過する光が相互作用エネルギ
ーによって影響されないように、相互作用エネルギーの
形態を特に有利な態様で選択する。従って、この場合、
部品と相互作用するエネルギーは部品の温度を安定化す
るようにのみ作用する。
動作および／または照明動作を行わない時でも部品に相
互作用エネルギーを入射させる対策が講じられる。しか
しながら、モジュールを通過する光が相互作用エネルギ
ーによって影響されないように、相互作用エネルギーの
形態を特に有利な態様で選択する。従って、この場合、
部品と相互作用するエネルギーは部品の温度を安定化す
るようにのみ作用する。
【００１８】例えば測定休止時間中に共焦点走査型顕微
鏡に光が入射結合しない場合、ＡＯＢＳまたはＡＯＴＦ
の温度を安定化するために、利用できる光の波長のいず
れにも対応しない周波数の駆動エネルギーがＡＯＢＳま
たはＡＯＴＦに入射する。従って、ＡＯＢＳまたはＡＯ
ＴＦのエネルギーにより光がＡＯＢＳまたはＡＯＴＦに
よって影響されることはなく、ＡＯＢＳまたはＡＯＴＦ
の温度は一定に保持される。
鏡に光が入射結合しない場合、ＡＯＢＳまたはＡＯＴＦ
の温度を安定化するために、利用できる光の波長のいず
れにも対応しない周波数の駆動エネルギーがＡＯＢＳま
たはＡＯＴＦに入射する。従って、ＡＯＢＳまたはＡＯ
ＴＦのエネルギーにより光がＡＯＢＳまたはＡＯＴＦに
よって影響されることはなく、ＡＯＢＳまたはＡＯＴＦ
の温度は一定に保持される。
【００１９】特に共焦点走査型顕微鏡の走査休止時間中
には、使用されている光の波長のいずれにも対応しない
周波数の駆動エネルギーをＡＯＢＳまたはＡＯＴＦに入
射するようにする。これに関連し、「共焦点走査型顕微
鏡の走査休止時間」とは、例えばＸＹ面の走査の場合、
特にＸまたはＹ方向の走査動作の反転ポイントがそれに
該当する。
には、使用されている光の波長のいずれにも対応しない
周波数の駆動エネルギーをＡＯＢＳまたはＡＯＴＦに入
射するようにする。これに関連し、「共焦点走査型顕微
鏡の走査休止時間」とは、例えばＸＹ面の走査の場合、
特にＸまたはＹ方向の走査動作の反転ポイントがそれに
該当する。
【００２０】共焦点走査型顕微鏡に結合されない光は適
当な位置に配置されたビームトラップによって吸収され
る。
当な位置に配置されたビームトラップによって吸収され
る。
【００２１】本発明によれば、ＡＯＴＦまたはＡＯＢＳ
には光および／または相互作用エネルギーが連続的に入
射するので、主にレーザーの安全性の点から、当該部品
の後に配置したビーム遮断システムにより光ビームを更
に遮断するための対策が講じられる。このビーム遮断シ
ステムは例えばシャッターとして具現化できる。
には光および／または相互作用エネルギーが連続的に入
射するので、主にレーザーの安全性の点から、当該部品
の後に配置したビーム遮断システムにより光ビームを更
に遮断するための対策が講じられる。このビーム遮断シ
ステムは例えばシャッターとして具現化できる。
【００２２】
【実施例】本発明の要旨を好ましく具現化し、顕在化す
る方法は種々ある。添付図面を参照し、本発明の好まし
い実施例を説明することにより、本発明の要旨の一般に
好ましい実施例およびその発展例についても説明する。
る方法は種々ある。添付図面を参照し、本発明の好まし
い実施例を説明することにより、本発明の要旨の一般に
好ましい実施例およびその発展例についても説明する。
【００２３】図１は光学的にアクティブな部品１を有す
る、単に略図で示された共焦点走査型顕微鏡を示す。光
学的にアクティブな部品１はダイクロイックビームスプ
リッタ４へ光源３の光ビーム２の一部を偏向する。光学
的にアクティブな部品１によってダイクロイックビーム
スプリッタ４に向かって偏向されない光はビームトラッ
プ５によって吸収される。ダイクロイックビームスプリ
ッタ４から反射された光は走査装置６の助けにより偏向
され、顕微鏡の光学システム７を介して標本８へ送られ
る。標本８から戻った光は顕微鏡の光学システム７およ
び走査装置６を反対方向に通過し、ダイクロイックビー
ムスプリッタ４を通過して検出器９へ向かう。
る、単に略図で示された共焦点走査型顕微鏡を示す。光
学的にアクティブな部品１はダイクロイックビームスプ
リッタ４へ光源３の光ビーム２の一部を偏向する。光学
的にアクティブな部品１によってダイクロイックビーム
スプリッタ４に向かって偏向されない光はビームトラッ
プ５によって吸収される。ダイクロイックビームスプリ
ッタ４から反射された光は走査装置６の助けにより偏向
され、顕微鏡の光学システム７を介して標本８へ送られ
る。標本８から戻った光は顕微鏡の光学システム７およ
び走査装置６を反対方向に通過し、ダイクロイックビー
ムスプリッタ４を通過して検出器９へ向かう。
【００２４】本発明によれば、光学部品１と相互作用す
るエネルギー１０は、その温度を安定化するように働
く。説明に関連し、エネルギー１０は一例として機械的
音波または超音波として理解されたい。相互作用エネル
ギー１０は電磁波によって駆動される駆動ユニット１１
によって制御して生成できる。この相互作用エネルギー
は少なくとも大きな一定の値に維持される。従って、
（ＡＯＴＦとして具現化されている）光学部品１と相互
作用するエネルギーはＡＯＴＦの駆動エネルギーとして
作用する。光学部品１に入射してこれと相互作用する光
ビーム２の光エネルギーも温度の安定化に使用される。
るエネルギー１０は、その温度を安定化するように働
く。説明に関連し、エネルギー１０は一例として機械的
音波または超音波として理解されたい。相互作用エネル
ギー１０は電磁波によって駆動される駆動ユニット１１
によって制御して生成できる。この相互作用エネルギー
は少なくとも大きな一定の値に維持される。従って、
（ＡＯＴＦとして具現化されている）光学部品１と相互
作用するエネルギーはＡＯＴＦの駆動エネルギーとして
作用する。光学部品１に入射してこれと相互作用する光
ビーム２の光エネルギーも温度の安定化に使用される。
【００２５】光源３はいくつかの波長のレーザー光を放
出し、これに関連し、この光源３は４８８ｎｍ、５６８
ｎｍおよび６４７ｎｍの波長を放出するアルゴン−クリ
プトンレーザーとなっている。ＡＯＴＦを適当に附勢す
ることにより、少なくとも１つの波長の光を共焦点走査
型顕微鏡に選択的に入射結合できる。入射結合された光
の強度は相互作用エネルギー１０の振幅を変えることに
よって変更できる。アルゴン−クリプトンレーザー３の
異なる波長の光を選択的に入射結合できるように、ＡＯ
ＴＦには同時に異なる周波数の音波が入射する。
出し、これに関連し、この光源３は４８８ｎｍ、５６８
ｎｍおよび６４７ｎｍの波長を放出するアルゴン−クリ
プトンレーザーとなっている。ＡＯＴＦを適当に附勢す
ることにより、少なくとも１つの波長の光を共焦点走査
型顕微鏡に選択的に入射結合できる。入射結合された光
の強度は相互作用エネルギー１０の振幅を変えることに
よって変更できる。アルゴン−クリプトンレーザー３の
異なる波長の光を選択的に入射結合できるように、ＡＯ
ＴＦには同時に異なる周波数の音波が入射する。
【００２６】光の入力結合は共焦点走査型顕微鏡の照明
動作または検出動作と同期化できる。これに関連し、こ
の同期化はＡＯＴＦ１の駆動ユニット１１を適当に制御
する共焦点走査型顕微鏡の制御装置（図示せず）によっ
て達成される。照明動作または検出動作が行われていな
い時でも、ＡＯＴＦ１に相互作用エネルギー１０が入射
するよう制御される。この場合、ＡＯＴＦ１を通過する
光２はエネルギー的には影響を受けず偏向のみを受け
る。すなわちこの光２は偏向されてビームトラップ５に
よって吸収される。
動作または検出動作と同期化できる。これに関連し、こ
の同期化はＡＯＴＦ１の駆動ユニット１１を適当に制御
する共焦点走査型顕微鏡の制御装置（図示せず）によっ
て達成される。照明動作または検出動作が行われていな
い時でも、ＡＯＴＦ１に相互作用エネルギー１０が入射
するよう制御される。この場合、ＡＯＴＦ１を通過する
光２はエネルギー的には影響を受けず偏向のみを受け
る。すなわちこの光２は偏向されてビームトラップ５に
よって吸収される。
【００２７】従って、アルゴン−クリプトンレーザー３
の３つの波長のうちの１つの光２を入力結合させるに
は、入力結合すべき波長に対応する周波数の駆動エネル
ギーがＡＯＴＦ１に入射しなければならない。対応する
周波数の駆動エネルギーは駆動ユニット１１によって出
力される。
の３つの波長のうちの１つの光２を入力結合させるに
は、入力結合すべき波長に対応する周波数の駆動エネル
ギーがＡＯＴＦ１に入射しなければならない。対応する
周波数の駆動エネルギーは駆動ユニット１１によって出
力される。
【００２８】共焦点走査型顕微鏡に光が入力結合してい
ない場合には、アルゴン−クリプトンレーザー３の出力
可能な波長のいずれにも対応しない周波数の駆動エネル
ギーがＡＯＴＦ１に入射する。共焦点走査型顕微鏡の走
査が休止されている間は、使用されている光源３の波長
のいずれにも対応しない周波数の駆動エネルギーがＡＯ
ＴＦに入射するよう制御される。「走査の休止時間」と
は、ＸＹ面走査の場合、ＸまたはＹ方向への反転ポイン
トにおいて生じ、これは照明動作または検出動作の中断
期間である。
ない場合には、アルゴン−クリプトンレーザー３の出力
可能な波長のいずれにも対応しない周波数の駆動エネル
ギーがＡＯＴＦ１に入射する。共焦点走査型顕微鏡の走
査が休止されている間は、使用されている光源３の波長
のいずれにも対応しない周波数の駆動エネルギーがＡＯ
ＴＦに入射するよう制御される。「走査の休止時間」と
は、ＸＹ面走査の場合、ＸまたはＹ方向への反転ポイン
トにおいて生じ、これは照明動作または検出動作の中断
期間である。
【００２９】顕微鏡に入力結合されない光はビームトラ
ップ５に吸収される。
ップ５に吸収される。
【００３０】共焦点走査型顕微鏡の全作動時間にわた
り、すなわち走査休止時間中でも、ＡＯＴＦ１に光源３
の光ビーム２が向けられる。この結果、このようにＡＯ
ＴＦ１の温度が一定に維持されるよう、ＡＯＴＦには常
に一定の光エネルギーが入射する。特にレーザーの安全
のために設けられる、ＡＯＴＦ１の後に配置されるシャ
ッター１２により、光ビーム２を遮断させるための別の
能力が得られる。
り、すなわち走査休止時間中でも、ＡＯＴＦ１に光源３
の光ビーム２が向けられる。この結果、このようにＡＯ
ＴＦ１の温度が一定に維持されるよう、ＡＯＴＦには常
に一定の光エネルギーが入射する。特にレーザーの安全
のために設けられる、ＡＯＴＦ１の後に配置されるシャ
ッター１２により、光ビーム２を遮断させるための別の
能力が得られる。
【００３１】結論として、上記実施例は特許請求の範囲
記載の要旨を単に説明するためのものでなく、また本発
明を実施例のみに限定するものでないと理解すべきであ
る。
記載の要旨を単に説明するためのものでなく、また本発
明を実施例のみに限定するものでないと理解すべきであ
る。
【００３２】
【発明の効果】本発明の各独立請求項１，３，５により
それぞれ、対応する所定の目的として揚げる効果が達成
される。各従属請求項により、さらに付加的な効果が、
前述のとおり夫々達成される。
それぞれ、対応する所定の目的として揚げる効果が達成
される。各従属請求項により、さらに付加的な効果が、
前述のとおり夫々達成される。
【図１】 本発明に係わる方法を実施するための共焦点
走査型顕微鏡の略図である。
走査型顕微鏡の略図である。
１ 光学部品 ２ 光ビーム ３ アルゴン−クリプトンレーザー ４ ビームスプリッタ ５ ビームトラップ ６ 操作装置 ７ 光学システム ８ 標本 ９ 検出器 １０ 相互作用エネルギー １１ 駆動ユニット １２ シャッター
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H052 AA07 AC04 AC14 AC15 AC27 AC34 2H079 AA02 AA04 CA07 EB21 HA22 HA23 2K002 AA07 AB03 AB07 BA12 EB15 GA05 HA03 HA10
Claims (9)
- 【請求項１】 光ビームを偏向させるための光学的にア
クティブな部品と相互作用するエネルギーの入力パワー
を測定する工程と、 光学的にアクティブな部品と相互作用するエネルギーを
非偏向状態にスイッチングし、よって平均入力パワーを
一定のレベルに維持する工程とを備えた、 光学的にアクティブな部品の温度を安定化する方法。 - 【請求項２】 光学的にアクティブな部品の温度の測定
のために適当な較正測定を行った後に光学的にアクティ
ブな部品の温度測定をこの部品の光学的性質によって行
うことを特徴とする、請求項１記載の方法。 - 【請求項３】 光ビームを偏向させるための光学的にア
クティブな部品と相互作用するエネルギーの入力パワー
を測定する手段と、 光学的にアクティブな部品と相互作用するエネルギーを
非偏向状態にスイッチングし、よって平均入力パワーを
一定のレベルに維持する手段とを備えた、 光学的にアクティブな部品の温度を安定化する装置。 - 【請求項４】 光学的にアクティブな部品が、基本的に
は、ダイクロイックビームスプリッタと、音響光学同調
可能フィルタ（ＡＯＴＦ）と、音響光学ビームスプリッ
タ（ＡＯＢＳ）と、音響光学変調器（ＡＯＭ）と、音響
光学偏向器（ＡＯＤ）または電気光学変調器（ＥＯＭ）
とから構成されることを特徴とする、請求項３記載の装
置。 - 【請求項５】 規定の光ビームを発生する光源と、 光ビームを走査装置に向け、更に光学システムを介して
標本に向けるためのダイクロイックビームスプリッタ
と、 該光ビームの光路内に配置された光学的にアクティブな
部品と、 該光学的にアクティブな部品と相互作用するエネルギー
の入力パワーを測定するための手段と、 光学的にアクティブな部品と相互作用するエネルギーを
非偏向状態にスイッチングし、よって平均入力パワーを
一定レベルに維持する手段と、 を備えた走査型顕微鏡。 - 【請求項６】 光学的にアクティブな部品が、基本的に
は、ダイクロイックビームスプリッタと、音響光学同調
可能フィルタ（ＡＯＴＦ）と、音響光学ビームスプリッ
タ（ＡＯＢＳ）と、音響光学変調器（ＡＯＭ）と、音響
光学偏向器（ＡＯＤ）または電気光学変調器（ＥＯＭ）
とから構成されることを特徴とする、請求項５記載の走
査型顕微鏡。 - 【請求項７】 光学的にアクティブな部品が走査型顕微
鏡へと入力結合又は脱結合すべき１つの波長を発生する
ことを特徴とする、請求項５記載の走査型顕微鏡。 - 【請求項８】 光学的にアクティブな部品が走査型顕微
鏡への入力結合又は脱結合すべき光ビームの強度を変更
することを特徴とする、請求項５記載の走査型顕微鏡。 - 【請求項９】 光ビームの影響が走査型顕微鏡の測定動
作および／または照明動作と同期化していることを特徴
とする、請求項５記載の走査型顕微鏡。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE10029167.8A DE10029167B8 (de) | 2000-06-19 | 2000-06-19 | Verfahren und Vorrichtung zur Temperaturstabilisierung optischer Bauteile |
| DE10029167.8 | 2000-06-19 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002072160A true JP2002072160A (ja) | 2002-03-12 |
| JP4564206B2 JP4564206B2 (ja) | 2010-10-20 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001184471A Expired - Fee Related JP4564206B2 (ja) | 2000-06-19 | 2001-06-19 | 光学部品の温度を安定化するための方法、装置および安定化手段を備えた走査型顕微鏡 |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002169118A (ja) * | 2000-12-04 | 2002-06-14 | Asahi Optical Co Ltd | レーザビーム描画装置における音響光学素子定常化システム |
| WO2012049831A1 (ja) * | 2010-10-14 | 2012-04-19 | 株式会社ニコン | 構造化照明装置、構造化照明顕微鏡装置、及び面形状測定装置 |
| JP2017083854A (ja) * | 2011-07-05 | 2017-05-18 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | 使用中の音響光学ビーム偏向器および音響光学変調器の温度安定性を実現するためのシステムならびに方法 |
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|---|---|---|---|---|
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| US20040105485A1 (en) * | 2002-07-29 | 2004-06-03 | Unaxis Usa, Inc. | Temperature compensation for acousto-optc devices |
| WO2005109083A2 (en) * | 2004-05-06 | 2005-11-17 | Esko-Graphics A/S | Optical image exposing method and apparatus |
| GB0617945D0 (en) | 2006-09-12 | 2006-10-18 | Ucl Business Plc | Imaging apparatus and methods |
| CA2696833A1 (en) | 2007-07-15 | 2009-01-22 | Yitzchak Hillman | Disease treatment via antimicrobial peptides or their inhibitors |
| EP2139191B1 (en) | 2008-06-25 | 2018-02-21 | Nokia Solutions and Networks Oy | Method and device for processing data and system comprising such device |
| GB201006679D0 (en) | 2010-04-21 | 2010-06-09 | Ucl Business Plc | Methods and apparatus to control acousto-optic deflectors |
| DE102010047826A1 (de) * | 2010-10-04 | 2012-04-05 | Eppendorf Ag | Elektronische Pipette |
| GB201106787D0 (en) | 2011-04-20 | 2011-06-01 | Ucl Business Plc | Methods and apparatus to control acousto-optic deflectors |
| DE102014009142A1 (de) | 2014-06-20 | 2015-12-24 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Ansteuerung eines akustooptischen Bauteils |
| DE102017117851B3 (de) | 2017-08-07 | 2018-10-31 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Elektrische Schaltung und Verfahren zur Ansteuerung eines akusto-optischen Kristalls |
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|---|---|---|---|---|
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| JP2000047117A (ja) * | 1998-06-18 | 2000-02-18 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Ａｏｔｆを備えたレ―ザ―走査式顕微鏡 |
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|---|---|---|---|---|
| US4422154A (en) * | 1979-05-21 | 1983-12-20 | Lansing Research Corporation | Temperature compensation of tunable acoustic optical filters |
| JPS561923A (en) * | 1979-06-20 | 1981-01-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Stabilizing method for quantity of light in optical system using light deflecting element |
| US5712722A (en) * | 1996-09-09 | 1998-01-27 | Crystal Technology, Inc. | Driver circuit for stabilizing optical outputs of acoustooptic devices |
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-
2000
- 2000-06-19 DE DE10029167.8A patent/DE10029167B8/de not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-06-01 GB GB0113360A patent/GB2368656B/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-06-11 US US09/878,842 patent/US6888118B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-06-19 JP JP2001184471A patent/JP4564206B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP2000047117A (ja) * | 1998-06-18 | 2000-02-18 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Ａｏｔｆを備えたレ―ザ―走査式顕微鏡 |
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|---|---|
| JP4564206B2 (ja) | 2010-10-20 |
| DE10029167A1 (de) | 2002-01-03 |
| GB2368656B (en) | 2003-02-19 |
| GB0113360D0 (en) | 2001-07-25 |
| DE10029167B8 (de) | 2015-07-02 |
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| DE10029167B4 (de) | 2015-04-30 |
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