JP2002071901A - X線レンズ及びその製造方法 - Google Patents
X線レンズ及びその製造方法Info
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Abstract
焦点距離を短くすることが可能なX線レンズを提供す
る。 【解決手段】 X線レンズが、改質フッ素樹脂で形成さ
れている。改質フッ素樹脂の一例として、改質ポリテト
ラフルオロエチレン、改質テトラフルオロエチレン−ヘ
キサフルオロプロピレン共重合体、及び改質テトラフル
オロエチレン−ペルフルオロアルキルビニルエーテル共
重合体が挙げられる。主平面に平行な直線を母線とする
柱面からなる第1の表面を有し、該第1の表面が前記主
平面に関して面対称であり、該第1の表面と、その母線
に垂直な仮想平面との交線が滑らかな第1の曲線であ
り、該第1の曲線の、前記主平面との交点における曲率
半径が20μm以下であるような構成とすることが好ま
しい。
Description
の製造方法に関し、特に焦点距離を短くするのに適した
X線レンズ及びその製造方法に関する。
年11月7日)の第49〜51頁に開示されているX線
レンズの側面図を示す。ボロンまたはアルミニウム等か
らなる基材100に、図9の紙面に垂直な中心軸を有す
る円柱状の複数の貫通孔101が形成されている。各貫
通孔101の半径は100〜1100μmであり、相互
に隣接する2つの貫通孔101の間隔dは、約25μm
である。
入射する。入射したX線は、各貫通孔101の内周面で
屈折を繰り返す。X線に対するボロンやアルミニウムの
屈折率は1よりもやや小さいため、基材100の図の右
端から出射するX線103は、収束光線束となる。
常に1に近いため、焦点距離の短いX線レンズを作製す
ることは困難である。図9のように、複数の貫通孔10
1を形成し複合レンズとすることにより、焦点距離の比
較的短いレンズを得ることができる。
めにレンズの枚数(図9では貫通孔101の個数に相
当)を多くすると、レンズ材料によるX線の吸収が大き
くなってしまう。例えば、貫通孔101の個数を50、
相互に隣接する2つの貫通孔101の間隔dを0.02
mmとすると、レンズの吸収体の合計の厚さは1mmに
なる。
線吸収係数、Nはレンズ枚数である。例えば、アルミニ
ウムのX線吸収係数μは約20cm-1である。R=0.
2mm、N=50、とすると、有効口径ACは0.12
mmになってしまう。
焦点距離を短くすることが可能なX線レンズ及びその製
造方法を提供することである。
と、改質フッ素樹脂で形成されたX線レンズが提供され
る。改質フッ素樹脂の一例として、改質ポリテトラフル
オロエチレン、改質テトラフルオロエチレン−ヘキサフ
ルオロプロピレン共重合体、及び改質テトラフルオロエ
チレン−ペルフルオロアルキルビニルエーテル共重合体
が挙げられる。主平面に平行な直線を母線とする柱面か
らなる第1の表面を有し、該第1の表面が前記主平面に
関して面対称であり、該第1の表面と、その母線に垂直
な仮想平面との交線が滑らかな第1の曲線であり、該第
1の曲線の、前記主平面との交点における曲率半径が2
0μm以下であるような構成とすることが好ましい。
と、X線小角散乱を抑制することができる。第1の曲線
の曲率半径が20μm以下であるため、第1の表面を屈
折面とする焦点距離の短いX線レンズが得られる。
脂により形成されたX線レンズであって、XYZ直交座
標係を考えたとき、Y軸に平行な直線を母線とする柱面
からなる第1の表面を有し、該第1の表面がYZ面に関
して面対称な凹面であり、該第1の表面とZX面との交
線が放物線になるX線レンズが提供される。
るような第1の表面を屈折面とすることにより、円柱面
を屈折面とする場合に比べて、有効口径が大きく、かつ
焦点距離の短いレンズを得ることが可能になる。
ッ素樹脂により形成された部材を準備する工程と、縁の
一部に、凹状の放物線部分を含み、シンクロトロン放射
光を透過させないマスクを、前記部材の表面に密着さ
せ、または該表面からある間隔を隔てて配置する工程
と、前記マスクを介して前記部材にシンクロトロン放射
光を照射し、該部材の、シンクロトロン放射光の照射さ
れた部分をエッチングする工程とを含むX線レンズの製
造方法が提供される。
樹脂を加工するため、機械的に加工する場合に比べて、
曲率半径の小さな曲面を容易に形成することができる。
よるX線レンズの斜視図を示す。XYZ直交座標系を考
える。改質ポリテトラフルオロエチレン(改質PTF
E)からなる直方体形状の基材50が、各面をXY面、
YZ面、及びZX面に平行にするように配置されてい
る。改質PTFEの製造方法は、特開平6−11642
3号公報、特開平7−118423号公報、及び特開平
7−118424号公報等に説明されている。本実施例
では、約340℃まで加熱したPTFEの基材に、照射
線量100kGyの電子線を照射して基材50を得た。
電子線を照射する時には、PTFEの温度を、その融点
(327℃)よりもやや高い温度とすることが好まし
い。上述の公報に記載されたその他の方法を用いてPT
FEを改質させてもよい。PTFEに照射する放射線
は、電子線に限らず、その他の電離放射線、例えばガン
マ線、X線、アルファ線等でもよい。改質PTFEは、
架橋ポリテトラフルオロエチレン(架橋PTFE)とも
呼ばれる。なお、改質PTFEの化学的物理的性質につ
いて、後に詳しく説明する。
1A及び51Bが形成されている。溝51Aの内面(第
1の表面52A)及び溝51Bの内面(第2の表面52
B)は、共にY軸に平行な直線を母線とする柱面であ
り、YZ面(本明細書において、YZ面を主平面と呼
ぶ)に関して面対称である。
き、第2の表面52BはZ軸の正の方向を向いている。
すなわち、両者は相互に反対方向を向いている。また、
第1及び第2の表面52A及び52Bは、共に凹面であ
る。第1の表面52AとZX面との交線、及び第2の表
面52BとZX面との交線は、共に放物線である。
fractive index decrement)である。波長0.7nmの
X線に対する改質PTFEのδは7.25×10 -7であ
り、吸収係数μは6cm-1である。
線60が、第1の表面52Aに入射する。第1の表面5
2Aに入射したX線は、第1の表面52Aで屈折し、さ
らに第2の表面52Bで屈折し、ZX面内に関して収束
するX線61が得られる。すなわち、第1及び第2の表
面52A及び52Bを有する基材50は、X線に対して
集光レンズとして作用する。
ZX面における断面形状を示す。第1の表面52AとZ
X面との交線は、
る。すなわち、この放物線の、YZ面との交点における
曲率半径は2μmであり、YZ面上において、第1の表
面52Aと第2の表面52Bとの間の厚さは10μmで
ある。このレンズの焦点距離Fは、R/(2δ)で与え
られるため、F=1.4mとなる。
とすると、Z=±600μmの位置における第1及び第
2の表面52A及び52BのX座標は約±49μmにな
る。すなわち、このX線レンズのX軸方向の有効口径は
約98μmになる。このとき、分解能σ=1μmにな
る。焦点距離F=1.4m、有効口径98μmの収束レ
ンズを、1枚の円柱面のレンズで実現することは不可能
である。上記特性の収束レンズを得るためには、図9に
示すように、円柱面レンズを複数用いた複合レンズとし
なければならない。本実施例の場合には、屈折面を放物
面にしているため、1枚のレンズで焦点距離が短く、か
つ有効口径の大きな収束レンズを実現することができ
る。
つ大きな有効口径を確保するためには、第1または第2
の表面52Aまたは52BとZX面との交線の、YZ面
との交点における曲率半径を20μm以下とすることが
好ましい。
(YZ面近傍)におけるレンズの厚さが10μm程度で
あるため、X線吸収量を低減することができる。X線吸
収量を十分少なくするためには、第1の表面52Aと第
2の表面52Bとに挟まれた部分の最小厚さを50μm
以下とすることが好ましい。
射側の2つの屈折面を、共に放物面とした場合を説明し
たが、一方の面のみを放物面としてもよい。また、X線
を収束させる作用を奏する曲面であれば、放物面以外の
滑らかな曲面としてもよい。ただし、この場合にも、こ
の曲面とZX面との交線の、YZ面(主平面)との交点
における曲率半径を20μm以下とすることが好まし
い。
線レンズの製造方法について説明する。
加工装置の概略図である。シンクロトロンに蓄積された
電子の軌道1から光軸5に沿ってシンクロトロン放射光
(SR光)2が放射される。光軸5に沿った光源からの
距離Lの位置に改質PTFE基材4が配置されている。
基材4の前方には、間隔Gだけ離れてマスク3が配置さ
れている。電子軌道1、基材4及びマスク3は同一の真
空容器内に配置されている。
る領域と透過させない領域とが画定されている。なお、
実質的に透過させる領域とは、改質PTFE基材4を加
工するのに十分な強さのSR光を透過させる領域を意味
し、実質的に透過させない領域とは、その領域をSR光
が透過しないか、または透過したとしても透過光が改質
PTFE基材4を加工しない程度の強さまで弱められる
ような領域を意味する。
に示すパターンを有する厚さ10〜100μmの銅板で
ある。すなわち、マスクの縁は、凹状の放物線部分を含
む。なお、銅以外の金属を用いてもよい。なお、マスク
は、2〜10μm程度の厚さのものでもよい。
E基材4の表面に照射される。SR光の照射される面
は、図1(A)のZX面に平行な面である。改質PTF
E基材4の表面でSR光によるエッチングが生じ、SR
光が照射された部分が剥離される。SR光2は高い平行
度を有するため、加工された改質PTFE基材4は、光
軸5に沿って見たときマスク3とほぼ同一形状になる。
このため、図1(A)に示すようなX線レンズが得られ
る。
空容器20内に試料保持台14が配置されている。試料
保持台14の試料保持面に改質PTFE基材4が保持さ
れている。マスク3が、マスク保持手段17により改質
PTFE基材4の前面に配置されている。マスク3を改
質PTFE基材4の表面に密着させてもよいし、ある間
隔を隔てて配置してもよい。加工時には、図の左方から
マスク3を通して改質PTFE基材4の表面にSR光2
を照射する。
成され、内部にヒータ8が埋め込まれている。ヒータ8
のリード線が、真空容器20の壁に取り付けられたコネ
クタ21の容器内側の端子に接続されている。コネクタ
21の容器外側の端子が、電源7に接続されており、電
源7からヒータ8に電流が供給される。ヒータ8に電流
を流すことにより、改質PTFE基材4を加熱すること
ができる。
が取り付けられている。熱電対23のリード線は、リー
ド線取出口22を通して真空容器20の外部に導出さ
れ、温度制御装置9に接続されている。リード線取出口
22は、例えばハンダ付けにより気密性が保たれてい
る。温度制御装置9は、試料保持面の温度が所望の温度
になるように、電源7を制御しヒータ8を流れる電流を
調節する。
示す。試料保持台15の内部にガス流路16が形成され
ている。ガス流路16に所望の温度のガスを流してガス
と改質PTFE基材4との熱交換を行わせ、改質PTF
E基材4を所望の温度に維持することができる。
面、及び最小の間隔が50μm以下となるような2つの
屈折面を、機械的な加工によって作製することは困難で
ある。図2(A)に示すSR光を利用した加工装置を用
いることにより、最小曲率半径20μm以下の放物面を
容易に形成することができる。また、2つの放物面の最
小間隔が50μm以下となるX線レンズを再現性よく作
製することができる。
(A)のX線レンズのY軸方向の厚さをTとしたとき、
T/Rが5以上のレンズを容易に作製することができ
る。T/Rが5以上となるようにすることにより、レン
ズをY軸方向に大きくしても、焦点距離を短く維持する
ことができる。
の未架橋PTFEにはない種々の特徴を有している。以
下、改質PTFEの特徴について説明する。
り生成するラジカル数が、未架橋PTFEに放射線を照
射することにより生成するラジカル数よりも著しく多い
ことが、電子スピン共鳴法(ESR)により確かめられ
ている。
ルの収量と、ラジカルを発生させるためのガンマ線の吸
収線量との関係を示す。横軸はガンマ線の吸収線量を単
位「kGy」で表し、縦軸は補足ラジカルの収量を単位
「スピン/g」で表す。試料1は、放射線照射を行って
いない従来の未架橋のPTFEであり、試料2〜4は、
340℃に加熱したPTFEに、それぞれ電子線を10
0kGy、500kGy、及び3000kGyだけ照射
して作製した改質PTFEである。このように準備され
た試料1〜4に、室温、真空雰囲気中でガンマ線を照射
し、補足ラジカルの収量を測定した。
がり部の傾き(G値)で評価することができる。改質P
TFE(試料2〜4)のG値は、未架橋PTFEのG値
の10倍以上であることがわかる。
びとガンマ線の吸収線量との関係を示す。横軸は各試料
に照射したガンマ線の吸収線量を単位「kGy」で表
し、縦軸は破断時の伸びを単位「%」で表す。試料5
は、未架橋PTFEであり、試料6〜8は、340℃に
加熱したPTFEに、それぞれ電子線を50kGy、5
00kGy、及び1000kGyだけ照射して作製した
改質PTFEである。なお、各試料の厚さは0.5mm
であり、引っ張り速度は200mm/分とした。
の引張強度とガンマ線の吸収線量との関係を示す。横軸
は各試料に照射したガンマ線の吸収線量を単位「kG
y」で表し、縦軸は破断時の引張強度を単位「MPa」
で表す。
FEは、従来の未架橋PTFEと比べて、ガンマ線を照
射された後でも比較的高い機械的強度を維持している。
SR光照射によってPTFEを加工すると、マスクで遮
光されていた領域にも弱められたSR光が照射される。
このSR光により、加工後のPTFEの機械的強度が低
下する。改質PTFEを用いることにより、SR光の照
射に起因する機械的強度の低下を抑制することができ
る。
℃、室温、及び温度340℃で電子線を照射した試料の
結晶化熱量ΔHcを示す。横軸は電子線の吸収線量を単
位「kGy」で表し、縦軸は結晶化熱量を単位「J/
g」で表す。図中の菱形、三角、及び丸記号は、それぞ
れ温度−196℃、室温、及び温度340℃で電子線を
照射した試料の結晶化熱量の測定値を示す。
した試料の結晶化熱量は、電子線の吸収線量の増加に従
って急激に増加し、約80J/gでほぼ一定になる。こ
れに対し、温度340℃で電子線を照射した試料の結晶
化熱量は、電子線の吸収線量を増加させるに従って、一
旦は増加するがその後減少する。結晶化熱量の減少は、
架橋が生じて網目構造が構築され、結晶化が阻害される
ようになったためと考えられる。結晶化熱量の増加は、
電子線の照射によって分子鎖が切断され、分子鎖同士が
配列しやすくなったためと考えられる。
とにより、未架橋PTFEと改質PTFEとの区別を行
うことが可能であると考えられる。例えば、結晶化熱量
が15J/g以下のものは、改質PTFEといってよい
であろう。
たものを含む)の光透過率の波長依存性を示す。横軸は
波長を単位「nm」で表し、縦軸は光透過率を単位
「%」で表す。なお、測定対象の試料の厚さは、0.5
mmであり、測定環境は大気である。図中の各曲線に付
された数値は、PTFEを架橋させるために照射した電
子線の吸収線量を表す。なお、電子線照射時のPTFE
の温度は340℃である。PTFEを架橋させるために
照射する電子線の吸収線量が増加するに従って、光透過
率が大きくなっていることがわかる。試料の光透過率を
測定することにより、未架橋PTFEと改質PTFEと
を区別することができるであろう。例えば、波長500
nmの光に対する厚さ0.5mmのPTFE板の透過率
が20%以上であれば、改質PTFEといえるであろ
う。
あるということは、試料を構成する材料の吸光係数が約
14cm-1であることに相当する。従って、波長500
nmの光に対する吸光係数が14cm-1以下であれば改
質PTFEといえるであろう。
子線を10MGyだけ照射して作製した改質PTFE
を、高分解能19F固体NMR測定した結果を示す。横軸
はケミカルシフトを単位「PPM」で表す。図中の上段
及び下段のグラフは、それぞれ試料を12kHz及び1
5kHzで回転させながら測定したものである。また、
記号*は、CF2基のメインピークのサイドバンドを表
す。ピークa、d及びiは、架橋構造に由来するもので
あり、未架橋PTFEの測定結果には現れない。従っ
て、高分解能19F固体NMR測定によっても、未架橋P
TFEと改質PTFEとを区別することが可能である。
Eを用いることの光学的な効果について説明する。
の結晶化部と、それらを取り巻く非晶質部で構成され
る。一般的にPTFEの結晶化度は約40%である。結
晶化部と非晶質部とは、相互に異なる密度を有するた
め、PTFEをX線が通過すると前方への散漫散乱が生
じる。この散乱は、X線小角散乱と呼ばれる。例えば、
光子エネルギ8〜10keVのX線に対するPTFEの
小角散乱率が、非晶質相からなるポリメチルメタアクリ
レート(PMMA)の小角散乱率の500倍に達すると
の報告もある(B. Lengeler et al., J. Applied Physi
cs, Vol.84, pp.5855-5861, (1998))。X線小角散乱
は、X線レンズの集光点でのボケの原因になる。その結
果、得られる利得が小さくなってしまう。また、このX
線レンズを用いて拡大撮像を行う場合には、X線小角散
乱が空間分解能低下の要因になる。
まず、非晶質部のみで形成されている。このため、X線
小角散乱を抑制することができる。これにより、集光点
の大きさを小さくし、利得を大きくし、また、空間分解
能の向上を図ることができるであろう。
改質PTFEを用いた場合を説明したが、その他の改質
フッ素樹脂を用いても同様の効果が期待できるであろ
う。改質フッ素樹脂の例として、改質テトラフルオロエ
チレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体(例えばデ
ュポン社の登録商標「テフロンFEP」を改質させたも
の)、及び改質テトラフルオロエチレン−ペルフルオロ
アルキルビニルエーテル共重合体(例えばデュポン社の
登録商標「テフロンPFA」を改質させたもの)等が挙
げられる。
本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種
々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に
自明であろう。
曲率半径の小さい曲面で屈折面を構成することにより、
焦点距離の短いX線レンズを得ることができる。また、
SR光によるエッチングを利用してX線レンズを作製す
ることにより、曲率半径の小さな屈折面を容易に形成
し、薄いレンズを再現性よく作製することが可能にな
る。レンズ基材として改質フッ素樹脂を用いることによ
り、X線小角散乱を抑制することができる。
び断面図である。
持部の断面図である。
ためのガンマ線の吸収線量との関係を示すグラフであ
る。
示すグラフである。
係を示すグラフである。
び温度340℃で電子線を照射した試料の結晶化熱量を
示すグラフである。
む)の光透過率の波長依存性を示すグラフである。
Gyだけ照射して作製した改質PTFEを、高分解能19
F固体NMR測定した結果を示すグラフである。
Claims (10)
- 【請求項1】 改質フッ素樹脂で形成されたX線レン
ズ。 - 【請求項2】 前記改質フッ素樹脂が、改質ポリテトラ
フルオロエチレン、改質テトラフルオロエチレン−ヘキ
サフルオロプロピレン共重合体、及び改質テトラフルオ
ロエチレン−ペルフルオロアルキルビニルエーテル共重
合体からなる群より選択された樹脂である請求項1に記
載のX線レンズ。 - 【請求項3】 さらに、主平面に平行な直線を母線とす
る柱面からなる第1の表面を有し、該第1の表面が前記
主平面に関して面対称であり、該第1の表面と、その母
線に垂直な仮想平面との交線が滑らかな第1の曲線であ
り、該第1の曲線の、前記主平面との交点における曲率
半径が20μm以下である請求項1または2に記載のX
線レンズ。 - 【請求項4】 前記第1の表面が凹面である請求項1〜
3のいずれかに記載のX線レンズ。 - 【請求項5】 前記第1の曲線が放物線である請求項1
〜3のいずれかに記載のX線集光レンズ。 - 【請求項6】 さらに、前記第1の表面の母線に平行な
直線を母線とする柱面からなり、該第1の表面とは反対
方向を向く第2の表面を有し、該第2の表面が前記主平
面に関して面対称な凹面であり、該第2の表面と、その
母線に垂直な仮想平面との交線が滑らかな第2の曲線で
あり、前記第1の表面と第2の表面とに挟まれた部分の
最小厚さが50μm以下である請求項1〜5のいずれか
に記載のX線レンズ。 - 【請求項7】 改質フッ素樹脂により形成されたX線レ
ンズであって、XYZ直交座標係を考えたとき、Y軸に
平行な直線を母線とする柱面からなる第1の表面を有
し、該第1の表面がYZ面に関して面対称な凹面であ
り、該第1の表面とZX面との交線が放物線になるX線
レンズ。 - 【請求項8】 さらに、前記第1の表面とZX面との交
線の、YZ面との交点における曲率半径をR、X線レン
ズのY軸方向の厚さをTとしたとき、T/Rが5以上で
ある請求項7に記載のX線レンズ。 - 【請求項9】 改質フッ素樹脂により形成された部材を
準備する工程と、 縁の一部に、凹状の放物線部分を含み、シンクロトロン
放射光を透過させないマスクを、前記部材の表面に密着
させ、または該表面からある間隔を隔てて配置する工程
と、 前記マスクを介して前記部材にシンクロトロン放射光を
照射し、該部材の、シンクロトロン放射光の照射された
部分をエッチングする工程とを含むX線レンズの製造方
法。 - 【請求項10】 前記マスクの縁のうち前記放物線部分
の最小曲率半径が20μm以下である請求項9に記載の
X線レンズの製造方法。
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