JP2002066869A - 切削装置 - Google Patents
切削装置Info
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- JP2002066869A JP2002066869A JP2000257665A JP2000257665A JP2002066869A JP 2002066869 A JP2002066869 A JP 2002066869A JP 2000257665 A JP2000257665 A JP 2000257665A JP 2000257665 A JP2000257665 A JP 2000257665A JP 2002066869 A JP2002066869 A JP 2002066869A
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- protection sheet
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- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims abstract description 52
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 28
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims abstract description 27
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims abstract description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 6
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 51
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
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- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 ジャバラ布が受け止めた切削水をウォーター
ケースを介して排水する機構を備えた切削装置におい
て、硬質材料の切削によって鋭利な刃物のような端材が
飛散したとしても、ジャバラ布に孔を開けないようにし
て装置内部に切削水が侵入するのを防止する。 【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブル２
１と、回転ブレード３１によって切削をする切削手段２
２と、チャックテーブル２１の送り手段２４と、切削方
向に伸縮自在に配設されたジャバラ布４３、４４と、ジ
ャバラ布４３、４４が受け止めた切削水を排水するウォ
ーターケース４７とを備えた切削装置１０において、ジ
ャバラ布の上部を保護シート１１によって覆い、ジャバ
ラ布の伸縮に伴って保護シート１１を巻き取りまたは送
り出す保護シート巻き取り／送り出し手段１２を配設す
る。
ケースを介して排水する機構を備えた切削装置におい
て、硬質材料の切削によって鋭利な刃物のような端材が
飛散したとしても、ジャバラ布に孔を開けないようにし
て装置内部に切削水が侵入するのを防止する。 【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブル２
１と、回転ブレード３１によって切削をする切削手段２
２と、チャックテーブル２１の送り手段２４と、切削方
向に伸縮自在に配設されたジャバラ布４３、４４と、ジ
ャバラ布４３、４４が受け止めた切削水を排水するウォ
ーターケース４７とを備えた切削装置１０において、ジ
ャバラ布の上部を保護シート１１によって覆い、ジャバ
ラ布の伸縮に伴って保護シート１１を巻き取りまたは送
り出す保護シート巻き取り／送り出し手段１２を配設す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェーハ等
の被加工物を切削する切削装置に関する。
の被加工物を切削する切削装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４に示す切削装置２０は、チャックテ
ーブル２１において保持した被加工物を切削手段２２を
用いて切削する装置であり、チャックテーブル２１は支
持基台２３によって回転可能に支持され、更に支持基台
２３は送り手段２４によってＸ軸方向に移動可能に支持
されている。
ーブル２１において保持した被加工物を切削手段２２を
用いて切削する装置であり、チャックテーブル２１は支
持基台２３によって回転可能に支持され、更に支持基台
２３は送り手段２４によってＸ軸方向に移動可能に支持
されている。
【０００３】ここで、送り手段２４は、切削方向である
Ｘ軸方向に配設されたＸ軸ガイドレール２５と、Ｘ軸ガ
イドレール２５に摺動可能に支持されたＸ軸移動基台２
６と、Ｘ軸移動基台２６に形成されたナット部（図示せ
ず）に螺合するＸ軸ボールネジ２７と、Ｘ軸ボールネジ
２７を回転駆動するＸ軸パルスモータ２８とから構成さ
れており、チャックテーブル２１を回転可能に支持する
支持基台２３はＸ軸移動基台２６に固定されている。
Ｘ軸方向に配設されたＸ軸ガイドレール２５と、Ｘ軸ガ
イドレール２５に摺動可能に支持されたＸ軸移動基台２
６と、Ｘ軸移動基台２６に形成されたナット部（図示せ
ず）に螺合するＸ軸ボールネジ２７と、Ｘ軸ボールネジ
２７を回転駆動するＸ軸パルスモータ２８とから構成さ
れており、チャックテーブル２１を回転可能に支持する
支持基台２３はＸ軸移動基台２６に固定されている。
【０００４】切削手段２２は、Ｙ軸方向に配設されたス
ピンドルハウジング２９と、スピンドルハウジング２９
によって回転可能に支持されたスピンドル３０と、スピ
ンドル３０に装着された回転ブレード３１と、回転ブレ
ード３１の両側において回転ブレード３１を挟むように
して配設された切削水供給ノズル３２とから構成され、
Ｚ軸スライダー３３によって切り込み方向であるＺ軸方
向に移動可能に支持されており、更にこのＺ軸スライダ
ー３３は、Ｙ軸スライダー３４によって割り出し方向で
あるＹ軸方向に移動可能に支持されている。
ピンドルハウジング２９と、スピンドルハウジング２９
によって回転可能に支持されたスピンドル３０と、スピ
ンドル３０に装着された回転ブレード３１と、回転ブレ
ード３１の両側において回転ブレード３１を挟むように
して配設された切削水供給ノズル３２とから構成され、
Ｚ軸スライダー３３によって切り込み方向であるＺ軸方
向に移動可能に支持されており、更にこのＺ軸スライダ
ー３３は、Ｙ軸スライダー３４によって割り出し方向で
あるＹ軸方向に移動可能に支持されている。
【０００５】Ｚ軸スライダー３３は、壁部３５の側面に
おいてＺ軸方向に配設されたＺ軸ガイドレール３６と、
切削手段２２を支持すると共にＺ軸ガイドレール３６に
摺動可能に支持された昇降部３７と、Ｚ軸方向に配設さ
れて昇降部３７に形成されたナット部（図示せず）に螺
合するＺ軸ボールネジ（図示せず）と、Ｚ軸ボールネジ
を回転駆動するＺ軸パルスモータ３８とから構成され、
Ｚ軸パルスモータ３８の駆動によりＺ軸ボールネジが回
転して昇降部３７がＺ軸方向に昇降する構成となってい
る。
おいてＺ軸方向に配設されたＺ軸ガイドレール３６と、
切削手段２２を支持すると共にＺ軸ガイドレール３６に
摺動可能に支持された昇降部３７と、Ｚ軸方向に配設さ
れて昇降部３７に形成されたナット部（図示せず）に螺
合するＺ軸ボールネジ（図示せず）と、Ｚ軸ボールネジ
を回転駆動するＺ軸パルスモータ３８とから構成され、
Ｚ軸パルスモータ３８の駆動によりＺ軸ボールネジが回
転して昇降部３７がＺ軸方向に昇降する構成となってい
る。
【０００６】一方、Ｙ軸スライダー３４は、Ｙ軸方向に
配設されたＹ軸ガイドレール３９と、Ｙ軸ガイドレール
３９に摺動可能に支持され壁部３５と一体形成されたＹ
軸移動基台４０と、Ｙ軸移動基台４０に形成されたナッ
ト部（図示せず）に螺合するＹ軸ボールネジ４１と、Ｙ
軸ボールネジ４１を回転駆動するＹ軸パルスモータ４２
とから構成され、Ｙ軸パルスモータ４２の駆動によって
Ｙ軸ボールネジ４１が回転することにより、Ｙ軸移動基
台４０がＹ軸方向に移動する構成となっている。
配設されたＹ軸ガイドレール３９と、Ｙ軸ガイドレール
３９に摺動可能に支持され壁部３５と一体形成されたＹ
軸移動基台４０と、Ｙ軸移動基台４０に形成されたナッ
ト部（図示せず）に螺合するＹ軸ボールネジ４１と、Ｙ
軸ボールネジ４１を回転駆動するＹ軸パルスモータ４２
とから構成され、Ｙ軸パルスモータ４２の駆動によって
Ｙ軸ボールネジ４１が回転することにより、Ｙ軸移動基
台４０がＹ軸方向に移動する構成となっている。
【０００７】支持基台２３のＸ軸方向の両端には、伸縮
自在なジャバラ布４３、４４が連結されている。このジ
ャバラ布４３、４４は、切削水を受け止めると共にウォ
ーターケース４７に落下させて内周壁４５と外周壁４６
との間に切削水を導き、更にその切削水は、排水ドレー
ン４８を通じて外部に排出される。
自在なジャバラ布４３、４４が連結されている。このジ
ャバラ布４３、４４は、切削水を受け止めると共にウォ
ーターケース４７に落下させて内周壁４５と外周壁４６
との間に切削水を導き、更にその切削水は、排水ドレー
ン４８を通じて外部に排出される。
【０００８】各ジャバラ布の端部の取り付けフレーム４
９ａ、５０ａと装置の固定壁とをネジ止めによって固定
すると共に、支持基台２３と取り付けフレーム４９ｂ、
５０ｂとをネジ止めによって固定することによって、開
口部５１がジャバラ布４３、４４によって上方から覆わ
れ、これによって装置内部に切削水が侵入するのを防止
している。また、ジャバラ布４３の中間部には下部にロ
ーラー５２を備えたガイドプレート５４が取り付けら
れ、ジャバラ布４４の中間部には下部にローラー５３を
備えたガイドプレート５５が取り付けられ、ジャバラ布
４３、４４の中央部が垂下しないように支持している。
９ａ、５０ａと装置の固定壁とをネジ止めによって固定
すると共に、支持基台２３と取り付けフレーム４９ｂ、
５０ｂとをネジ止めによって固定することによって、開
口部５１がジャバラ布４３、４４によって上方から覆わ
れ、これによって装置内部に切削水が侵入するのを防止
している。また、ジャバラ布４３の中間部には下部にロ
ーラー５２を備えたガイドプレート５４が取り付けら
れ、ジャバラ布４４の中間部には下部にローラー５３を
備えたガイドプレート５５が取り付けられ、ジャバラ布
４３、４４の中央部が垂下しないように支持している。
【０００９】例えば半導体ウェーハＷを切削する場合
は、保持テープＴを介してフレームＦに保持されたウェ
ーハＷがチャックテーブル２１に保持される。そして、
切削手段２２がＹ軸方向に移動することにより、半導体
ウェーハＷの表面に複数形成されたストリートのうち、
切削しようとするストリートと切削ブレード３１とのＹ
軸方向の位置合わせがなされ、チャックテーブル２１が
＋Ｘ方向に移動し、更に切削手段２２が下降し、切削水
供給ノズル３２から切削水を供給すると共に高速回転す
る切削ブレード３１が＋Ｘ方向に移動する半導体ウェー
ハＷのストリートに切り込み、当該ストリートが切削さ
れる。
は、保持テープＴを介してフレームＦに保持されたウェ
ーハＷがチャックテーブル２１に保持される。そして、
切削手段２２がＹ軸方向に移動することにより、半導体
ウェーハＷの表面に複数形成されたストリートのうち、
切削しようとするストリートと切削ブレード３１とのＹ
軸方向の位置合わせがなされ、チャックテーブル２１が
＋Ｘ方向に移動し、更に切削手段２２が下降し、切削水
供給ノズル３２から切削水を供給すると共に高速回転す
る切削ブレード３１が＋Ｘ方向に移動する半導体ウェー
ハＷのストリートに切り込み、当該ストリートが切削さ
れる。
【００１０】また、チャックテーブル２１のＸ軸方向の
往復運動と共に切削手段２２をＹ軸方向にストリート間
隔ずつ割り出し送りしながらストリートを順次切削して
いくことにより、同方向のストリートがすべて切削さ
れ、更にチャックテーブル２１を９０度回転させてから
上記と同様の切削を行うと、すべてのストリートが縦横
に切削され、個々のチップに分割される。
往復運動と共に切削手段２２をＹ軸方向にストリート間
隔ずつ割り出し送りしながらストリートを順次切削して
いくことにより、同方向のストリートがすべて切削さ
れ、更にチャックテーブル２１を９０度回転させてから
上記と同様の切削を行うと、すべてのストリートが縦横
に切削され、個々のチップに分割される。
【００１１】このようにして行われる切削の際は、支持
基台２３のＸ軸方向の移動に伴ってジャバラ布４３、４
４が伸縮することによって開口部５１は常にジャバラ布
４３、４４によって覆われているため、開口部５１から
装置内部に切削水が侵入するのが防止されている。
基台２３のＸ軸方向の移動に伴ってジャバラ布４３、４
４が伸縮することによって開口部５１は常にジャバラ布
４３、４４によって覆われているため、開口部５１から
装置内部に切削水が侵入するのが防止されている。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、切削装
置２０によって切削される被加工物は、半導体ウェー
ハ、ＣＳＰ（Chip Size Package）基板、ガラス基板等
の硬質材料からなるものであるため、これらを切削する
ことによって鋭利な刃物のような端材が形成され、この
端材が回転ブレード３１の回転によってジャバラ布４
３、４４の上部に飛散することがある。この場合は、ジ
ャバラ布４３，４４の伸縮に伴い端材がジャバラ布４
３，４４に食い込んで孔を開け、この孔から装置内部に
切削水が侵入してしまうという問題を引き起こす。
置２０によって切削される被加工物は、半導体ウェー
ハ、ＣＳＰ（Chip Size Package）基板、ガラス基板等
の硬質材料からなるものであるため、これらを切削する
ことによって鋭利な刃物のような端材が形成され、この
端材が回転ブレード３１の回転によってジャバラ布４
３、４４の上部に飛散することがある。この場合は、ジ
ャバラ布４３，４４の伸縮に伴い端材がジャバラ布４
３，４４に食い込んで孔を開け、この孔から装置内部に
切削水が侵入してしまうという問題を引き起こす。
【００１３】従って、硬質材料の切削によって端材が飛
散したとしても、ジャバラ布に孔を開けないようにして
装置内部に切削水が侵入するのを防止することに課題を
有している。
散したとしても、ジャバラ布に孔を開けないようにして
装置内部に切削水が侵入するのを防止することに課題を
有している。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の具体的手段として本発明は、被加工物を保持するチャ
ックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工
物に切削水を供給しながら回転ブレードによって切削を
遂行する切削手段と、チャックテーブルを切削方向に往
復移動させる送り手段と、一端部がチャックテーブルを
支持する支持基台に固定されると共に他端部が装置の固
定壁に固定されて切削方向に伸縮自在に配設されたジャ
バラ布と、ジャバラ布が受け止めた切削水を排水するウ
ォーターケースとを少なくとも備えた切削装置であっ
て、ジャバラ布の上部は保護シートによって覆われ、ジ
ャバラ布の伸縮に伴って保護シートを巻き取りまたは送
り出す保護シート巻き取り／送り出し手段が配設されて
いる切削装置を提供する。
の具体的手段として本発明は、被加工物を保持するチャ
ックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工
物に切削水を供給しながら回転ブレードによって切削を
遂行する切削手段と、チャックテーブルを切削方向に往
復移動させる送り手段と、一端部がチャックテーブルを
支持する支持基台に固定されると共に他端部が装置の固
定壁に固定されて切削方向に伸縮自在に配設されたジャ
バラ布と、ジャバラ布が受け止めた切削水を排水するウ
ォーターケースとを少なくとも備えた切削装置であっ
て、ジャバラ布の上部は保護シートによって覆われ、ジ
ャバラ布の伸縮に伴って保護シートを巻き取りまたは送
り出す保護シート巻き取り／送り出し手段が配設されて
いる切削装置を提供する。
【００１５】そしてこの切削装置は、保護シート巻き取
り／送り出し手段は、保護シートを巻き取る巻き取り部
と、保護シートに付着した端材を除去するブラシ部と、
ブラシ部を保護シートに接触させる付勢部とから構成さ
れて装置の固定壁に装着され、保護シートの一端側は巻
き取り部に巻回され、他端側はチャックテーブルを支持
する支持基台に固定されること、保護シートは、ポリエ
ステルで形成され巻き癖が付けられており、保護シート
巻き取り／送り出し手段の巻き取り部に巻回されている
こと、保護シート巻き取り／送り出し手段には、保護シ
ートを、ジャバラ布に接触させない位置に位置付けるガ
イドローラーが配設されていること、保護シートは、切
削によって形成された端材が飛散する位置のジャバラ布
の上部を覆い、保護シート巻き取り／送り出し手段は、
保護シートの位置に対応して配設されることを付加的要
件とする。
り／送り出し手段は、保護シートを巻き取る巻き取り部
と、保護シートに付着した端材を除去するブラシ部と、
ブラシ部を保護シートに接触させる付勢部とから構成さ
れて装置の固定壁に装着され、保護シートの一端側は巻
き取り部に巻回され、他端側はチャックテーブルを支持
する支持基台に固定されること、保護シートは、ポリエ
ステルで形成され巻き癖が付けられており、保護シート
巻き取り／送り出し手段の巻き取り部に巻回されている
こと、保護シート巻き取り／送り出し手段には、保護シ
ートを、ジャバラ布に接触させない位置に位置付けるガ
イドローラーが配設されていること、保護シートは、切
削によって形成された端材が飛散する位置のジャバラ布
の上部を覆い、保護シート巻き取り／送り出し手段は、
保護シートの位置に対応して配設されることを付加的要
件とする。
【００１６】このように構成される切削装置において
は、ジャバラ布の上部が保護シートによって覆われてい
るため、切削によって生じて飛散した端材がジャバラ布
の上部に落下することがない。
は、ジャバラ布の上部が保護シートによって覆われてい
るため、切削によって生じて飛散した端材がジャバラ布
の上部に落下することがない。
【００１７】また、保護シートは、保護シート巻き取り
／送り出し手段によってジャバラ布の伸縮に伴って巻き
取られまたは送り出されるため、切削時のチャックテー
ブルの切削方向の移動が妨げられることがない。
／送り出し手段によってジャバラ布の伸縮に伴って巻き
取られまたは送り出されるため、切削時のチャックテー
ブルの切削方向の移動が妨げられることがない。
【００１８】更に、保護シート巻き取り／送り出し手段
には、保護シートに付着した端材を除去するブラシ部が
配設されているため、保護シートに端材が付着していた
としても、巻き取り部によって巻き取られた際にブラシ
部によってその端材は除去され、保護シートといっしょ
に端材が巻き取られることによって保護シートの裏側に
端材が付着し、保護シートが送り出された際にその端材
もいっしょに送り出されてジャバラ布上に落下するとい
うことがない。
には、保護シートに付着した端材を除去するブラシ部が
配設されているため、保護シートに端材が付着していた
としても、巻き取り部によって巻き取られた際にブラシ
部によってその端材は除去され、保護シートといっしょ
に端材が巻き取られることによって保護シートの裏側に
端材が付着し、保護シートが送り出された際にその端材
もいっしょに送り出されてジャバラ布上に落下するとい
うことがない。
【００１９】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態の一例につい
て図１〜図３を参照して説明する。なお、図４に示した
従来例と同様に構成される部位については同一の符号を
付し、その説明は省略することとする。
て図１〜図３を参照して説明する。なお、図４に示した
従来例と同様に構成される部位については同一の符号を
付し、その説明は省略することとする。
【００２０】図１に示す切削装置１０は、本発明の実施
の形態の一例を示したもので、ジャバラ布４３、４４の
上部を覆う保護シート１１を設け、それに対応して保護
シート巻き取り／送り出し手段１２を配設した点が図４
に示した切削装置２０とは異なっている。
の形態の一例を示したもので、ジャバラ布４３、４４の
上部を覆う保護シート１１を設け、それに対応して保護
シート巻き取り／送り出し手段１２を配設した点が図４
に示した切削装置２０とは異なっている。
【００２１】この保護シート１１は、一端が支持基台２
３に固定され、ジャバラ布４３の伸縮に伴って、保護シ
ート巻き取り／送り出し手段１２によって巻き取られ、
または、送り出されることによって、常にジャバラ布４
３を上方から覆っている構成となっている。
３に固定され、ジャバラ布４３の伸縮に伴って、保護シ
ート巻き取り／送り出し手段１２によって巻き取られ、
または、送り出されることによって、常にジャバラ布４
３を上方から覆っている構成となっている。
【００２２】図２に示すように、保護シート１１の一端
には、支持基台２３に固定するための固定部１６が設け
られており、ネジ穴１６ａ、１６ｂ、１６ｃにおいてネ
ジ止めによって支持基台２３に設けられたネジ穴に固定
される。
には、支持基台２３に固定するための固定部１６が設け
られており、ネジ穴１６ａ、１６ｂ、１６ｃにおいてネ
ジ止めによって支持基台２３に設けられたネジ穴に固定
される。
【００２３】図２に示すように、保護シート巻き取り／
送り出し手段１２には、保護シート１１を巻き取る巻き
取り部１３と、保護シート１１に付着した端材を除去す
るブラシ部１４と、ブラシ部１４をおもり１５ａの回転
しようとする力で保護シート１１に接触させる付勢部１
５とを備えている。
送り出し手段１２には、保護シート１１を巻き取る巻き
取り部１３と、保護シート１１に付着した端材を除去す
るブラシ部１４と、ブラシ部１４をおもり１５ａの回転
しようとする力で保護シート１１に接触させる付勢部１
５とを備えている。
【００２４】保護シート巻き取り／送り出し手段１２に
は、少なくとも２以上のガイドローラー１７が設けら
れ、図３に示すように、保護シート１１がガイドローラ
ー１７によって一定の高さに保たれ、ジャバラ布４３に
接触しない位置に位置付けられている。
は、少なくとも２以上のガイドローラー１７が設けら
れ、図３に示すように、保護シート１１がガイドローラ
ー１７によって一定の高さに保たれ、ジャバラ布４３に
接触しない位置に位置付けられている。
【００２５】保護シート巻き取り／送り出し手段１２
は、取り付け部１８をウォーターケース４７を構成する
装置内部の固定壁である内周壁４５の外側に密着させ、
ボルト孔１８ａを介してボルトによって固定し、チャッ
クテーブル２１を支持する支持基台２３がＸ軸方向に移
動した場合にも常にジャバラ布４３は上方から保護シー
ト１１によって覆われる構成となっている。
は、取り付け部１８をウォーターケース４７を構成する
装置内部の固定壁である内周壁４５の外側に密着させ、
ボルト孔１８ａを介してボルトによって固定し、チャッ
クテーブル２１を支持する支持基台２３がＸ軸方向に移
動した場合にも常にジャバラ布４３は上方から保護シー
ト１１によって覆われる構成となっている。
【００２６】保護シート１１は、例えばポリエステルに
よって形成され、巻き取り部１３に巻かれた状態におい
て一定の温度で加熱処理を行う等によって巻き癖がつけ
られた状態となっている。
よって形成され、巻き取り部１３に巻かれた状態におい
て一定の温度で加熱処理を行う等によって巻き癖がつけ
られた状態となっている。
【００２７】チャックテーブル２１に保持された被加工
物を切削する際は、チャックテーブル２１を支持する支
持基台２３がＸ軸方向に往復運動する。また切削時は図
１に示した切削水供給ノズル３２から切削水が切削部位
に供給されると共に、硬質部材からなる被加工物を回転
ブレード３１により切削することによって生じた端材が
飛散する。
物を切削する際は、チャックテーブル２１を支持する支
持基台２３がＸ軸方向に往復運動する。また切削時は図
１に示した切削水供給ノズル３２から切削水が切削部位
に供給されると共に、硬質部材からなる被加工物を回転
ブレード３１により切削することによって生じた端材が
飛散する。
【００２８】しかし、保護シート１１には巻き癖がつけ
られているため、支持基台２３が＋Ｘ方向に移動するこ
とによってジャバラ布４３が収縮した場合には保護シー
ト巻き取り／送り出し手段１２によって保護シート１１
が巻き取られ、保護シート１１は緊張状態でジャバラ布
４３を上方から覆ったままの状態を維持することができ
る。
られているため、支持基台２３が＋Ｘ方向に移動するこ
とによってジャバラ布４３が収縮した場合には保護シー
ト巻き取り／送り出し手段１２によって保護シート１１
が巻き取られ、保護シート１１は緊張状態でジャバラ布
４３を上方から覆ったままの状態を維持することができ
る。
【００２９】一方、支持基台２３が−Ｘ方向に移動する
ことによってジャバラ布４３が伸張した場合には固定部
１６が支持基台２３と共に−Ｘ方向に移動するが、保護
シート１１には巻き癖がついているため、保護シート１
１はこの場合も緊張状態でジャバラ布４３を上方から覆
ったままの状態を維持することができる。
ことによってジャバラ布４３が伸張した場合には固定部
１６が支持基台２３と共に−Ｘ方向に移動するが、保護
シート１１には巻き癖がついているため、保護シート１
１はこの場合も緊張状態でジャバラ布４３を上方から覆
ったままの状態を維持することができる。
【００３０】即ち、切削時も常に保護シート１１によっ
てジャバラ布４３が上方から覆われた状態となってお
り、切削により生じた端材が飛散しても保護シートによ
ってジャバラ布４３が保護されているため、ジャバラ布
４３に孔が開くことがない。従って、切削水が装置内部
に侵入することがない。
てジャバラ布４３が上方から覆われた状態となってお
り、切削により生じた端材が飛散しても保護シートによ
ってジャバラ布４３が保護されているため、ジャバラ布
４３に孔が開くことがない。従って、切削水が装置内部
に侵入することがない。
【００３１】また、保護シート１１はジャバラ布のよう
に伸縮するものではないため、保護シート１１に端材が
付着したとしてもその端材が保護シート１１に食い込む
ことはない。
に伸縮するものではないため、保護シート１１に端材が
付着したとしてもその端材が保護シート１１に食い込む
ことはない。
【００３２】更に、保護シート１１に端材が付着してい
たとしても、巻き取り部１３によって巻き取られた際に
ブラシ部１５によってその端材を除去することができる
ため、保護シートといっしょに端材も巻き取られること
によって保護シートの裏側に端材が付着し、保護シート
が送り出された際にその端材もいっしょに送り出されて
ジャバラ布上に落下するという問題も生じない。
たとしても、巻き取り部１３によって巻き取られた際に
ブラシ部１５によってその端材を除去することができる
ため、保護シートといっしょに端材も巻き取られること
によって保護シートの裏側に端材が付着し、保護シート
が送り出された際にその端材もいっしょに送り出されて
ジャバラ布上に落下するという問題も生じない。
【００３３】なお、本実施の形態において、ジャバラ布
４３のみを保護シート１１によって覆うようにしたの
は、回転ブレード３１の回転方向に起因して端材がジャ
バラ布４３の方向に飛散する場合を想定したからであ
り、端材がジャバラ布４４の方向に飛散する場合には、
ジャバラ布４４を覆うように保護シートを設けてもよ
い。また、ジャバラ布４３及びジャバラ布４４の双方に
端材が飛散するおそれがあるときは、双方を覆う保護シ
ートを設けるようにすることもできる。
４３のみを保護シート１１によって覆うようにしたの
は、回転ブレード３１の回転方向に起因して端材がジャ
バラ布４３の方向に飛散する場合を想定したからであ
り、端材がジャバラ布４４の方向に飛散する場合には、
ジャバラ布４４を覆うように保護シートを設けてもよ
い。また、ジャバラ布４３及びジャバラ布４４の双方に
端材が飛散するおそれがあるときは、双方を覆う保護シ
ートを設けるようにすることもできる。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る切削
装置においては、ジャバラ布の上部が保護シートによっ
て覆われており、切削によって生じて飛散した端材がジ
ャバラ布の上部には落下しないため、ジャバラ布に孔が
開いて切削水が装置内部に侵入することがなくなる。
装置においては、ジャバラ布の上部が保護シートによっ
て覆われており、切削によって生じて飛散した端材がジ
ャバラ布の上部には落下しないため、ジャバラ布に孔が
開いて切削水が装置内部に侵入することがなくなる。
【００３５】また、保護シートは、保護シート巻き取り
／送り出し手段によってジャバラ布の伸縮に伴って巻き
取られまたは送り出されるため、切削時のチャックテー
ブルの切削方向の移動が妨げられることがなく、切削に
支障が生じない。
／送り出し手段によってジャバラ布の伸縮に伴って巻き
取られまたは送り出されるため、切削時のチャックテー
ブルの切削方向の移動が妨げられることがなく、切削に
支障が生じない。
【００３６】更に、保護シート巻き取り／送り出し手段
には、保護シートに付着した端材を除去するブラシ部が
配設されているため、保護シートに端材が付着していた
としても、巻き取り部によって巻き取られる際にブラシ
部によってその端材は除去され、保護シートといっしょ
に端材が巻き取られることによって保護シートの裏側に
端材が付着し、保護シートが送り出された際にその端材
もいっしょに送り出されてジャバラ布上に落下するとい
う問題が生じない。
には、保護シートに付着した端材を除去するブラシ部が
配設されているため、保護シートに端材が付着していた
としても、巻き取り部によって巻き取られる際にブラシ
部によってその端材は除去され、保護シートといっしょ
に端材が巻き取られることによって保護シートの裏側に
端材が付着し、保護シートが送り出された際にその端材
もいっしょに送り出されてジャバラ布上に落下するとい
う問題が生じない。
【図１】本発明に係る切削装置を示す斜視図である。
【図２】同切削装置を構成する保護シート巻き取り／送
り出し手段を示す斜視図である。
り出し手段を示す斜視図である。
【図３】同保護シート巻き取り／送り出し手段が装着さ
れた状態を示す正面図である。
れた状態を示す正面図である。
【図４】従来の切削装置を示す斜視図である。
１０…切削装置 １１…保護シート １２…保護シート巻き取り／送り出し手段 １３…巻き取り部 １４…ブラシ部 １５…付勢部 １６…固定部 １６ａ、１６ｂ、１６ｃ…ネジ穴 １７…ガイドローラー １８…取り付け部 １８ａ…ボルト孔 ２０…切削装置 ２１…チャックテーブル ２２…切削手段 ２３…支持基台 ２４…送り手段 ２５…Ｘ軸ガイドレール ２６…Ｘ軸移動基台 ２７…Ｘ軸ボールネジ ２８…Ｘ軸パルスモータ ２９…スピンドルハウジング ３０…スピンドル ３１…回転ブレード ３２…切削水供給ノズル ３３…Ｚ軸スライダー ３４…Ｙ軸スライダー ３５…壁部 ３６…Ｚ軸ガイドレール ３７…昇降部 ３８…Ｚ軸パルスモータ ３９…Ｙ軸ガイドレール ４０…Ｙ軸移動基台 ４１…Ｙ軸ボールネジ ４２…Ｙ軸パルスモータ ４３，４４…ジャバラ布 ４５…内周壁 ４６…外周壁 ４７…ウォーターケース ４８…排水ドレーン ４９ａ、４９ｂ、５０ａ、５０ｂ…取り付けフレーム ５１…開口部 ５２、５３…ローラー ５４、５５…ガイドプレート
Claims (5)
- 【請求項１】 被加工物を保持するチャックテーブル
と、該チャックテーブルに保持された被加工物に切削水
を供給しながら回転ブレードによって切削を遂行する切
削手段と、該チャックテーブルを切削方向に往復移動さ
せる送り手段と、一端部が該チャックテーブルを支持す
る支持基台に固定されると共に他端部が装置の固定壁に
固定されて切削方向に伸縮自在に配設されたジャバラ布
と、該ジャバラ布が受け止めた切削水を排水するウォー
ターケースとを少なくとも備えた切削装置であって、 該ジャバラ布の上部は保護シートによって覆われ、該ジ
ャバラ布の伸縮に伴って該保護シートを巻き取りまたは
送り出す保護シート巻き取り／送り出し手段が配設され
ている切削装置。 - 【請求項２】 保護シート巻き取り／送り出し手段は、
保護シートを巻き取る巻き取り部と、該保護シートに付
着した端材を除去するブラシ部と、該ブラシ部を保護シ
ートに接触させる付勢部とから構成されて装置の固定壁
に装着され、 該保護シートの一端側は該巻き取り部に巻回され、他端
側はチャックテーブルを支持する支持基台に固定される
請求項１に記載の切削装置。 - 【請求項３】 保護シートは、ポリエステルで形成され
巻き癖が付けられており、保護シート巻き取り／送り出
し手段の巻き取り部に巻回されている請求項２に記載の
切削装置。 - 【請求項４】 保護シート巻き取り／送り出し手段に
は、保護シートを、ジャバラ布に接触させない位置に位
置付けるガイドローラーが配設されている請求項３に記
載の切削装置。 - 【請求項５】 保護シートは、切削によって形成された
端材が飛散する位置のジャバラ布の上部を覆い、保護シ
ート巻き取り／送り出し手段は、該保護シートの位置に
対応して配設される請求項１乃至４に記載の切削装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000257665A JP4647068B2 (ja) | 2000-08-28 | 2000-08-28 | 切削装置 |
| SG200104974A SG97193A1 (en) | 2000-08-28 | 2001-08-17 | Cutting machine |
| US09/933,945 US6568385B2 (en) | 2000-08-28 | 2001-08-22 | Cutting machine |
| KR1020010051690A KR100709459B1 (ko) | 2000-08-28 | 2001-08-27 | 절단기 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000257665A JP4647068B2 (ja) | 2000-08-28 | 2000-08-28 | 切削装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002066869A true JP2002066869A (ja) | 2002-03-05 |
| JP4647068B2 JP4647068B2 (ja) | 2011-03-09 |
Family
ID=18746092
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000257665A Expired - Lifetime JP4647068B2 (ja) | 2000-08-28 | 2000-08-28 | 切削装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4647068B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004314295A (ja) * | 2003-04-11 | 2004-11-11 | Gebr Heller Maschinenfabrik Gmbh | 少なくとも一つの内部の円形フライス工具を備え、工作物、特にクランクシャフトやカムシャフトを加工するための機械 |
| JP2007111848A (ja) * | 2005-10-24 | 2007-05-10 | Makino Milling Mach Co Ltd | 工作機械 |
| JP2008004620A (ja) * | 2006-06-20 | 2008-01-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
| CN106311678A (zh) * | 2016-10-15 | 2017-01-11 | 深圳市澄天伟业科技股份有限公司 | 一种智能卡铣槽设备的清洁装置 |
| CN109048478A (zh) * | 2018-09-07 | 2018-12-21 | 宁波天阁汽车零部件有限公司 | 一种精铸件浇口切割机 |
| KR101989918B1 (ko) * | 2018-10-30 | 2019-09-24 | 주식회사 한성Gt | 자체 가이드 기능을 갖는 공작기계 슬라이드 커버용 가이드 레일 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4724354Y1 (ja) * | 1969-06-21 | 1972-08-01 | ||
| JPH0235655A (ja) * | 1987-12-25 | 1990-02-06 | Sony Corp | ディスクファイル装置 |
| JPH0235655U (ja) * | 1988-08-26 | 1990-03-07 | ||
| JPH04283041A (ja) * | 1991-03-13 | 1992-10-08 | Hitachi Seiki Co Ltd | スライド機構のカバー |
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-
2000
- 2000-08-28 JP JP2000257665A patent/JP4647068B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4647068B2 (ja) | 2011-03-09 |
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