JP2002059556A - 撥水膜の形成方法 - Google Patents
撥水膜の形成方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板に強固な撥水性膜を形成する方法を提供
すること 【解決手段】 基板上に樹脂膜を形成し、この樹脂膜上
に撥水性樹脂層を物理的蒸発成膜法にて形成する。この
方法はインクジェットヘッドにも応用され、ノズル周縁
に撥水性樹脂層が強固に形成され、撥水性膜として十分
に機能し、インクジェットヘッドの射出性能が十分に発
揮される。
すること 【解決手段】 基板上に樹脂膜を形成し、この樹脂膜上
に撥水性樹脂層を物理的蒸発成膜法にて形成する。この
方法はインクジェットヘッドにも応用され、ノズル周縁
に撥水性樹脂層が強固に形成され、撥水性膜として十分
に機能し、インクジェットヘッドの射出性能が十分に発
揮される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に撥水性膜
を形成する方法に関する。さらに詳しくは、微細構造を
有する基板、例えば、ノズル周縁に撥水性膜を形成する
方法に関する。
を形成する方法に関する。さらに詳しくは、微細構造を
有する基板、例えば、ノズル周縁に撥水性膜を形成する
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、プリンター技術が大幅に進展し、
高速かつ精細な印字が要求されている。このような要求
を満たすためにインクジェットプリンターが開発されて
いる。このインクジェットプリンターには、例えば、図
１に示すインクジェットヘッド１が用いられている。イ
ンクジェットヘッド１は、ノズル２、インク室３、リス
トリクター４、インク供給室５と振動膜６とから構成さ
れている。振動膜６にはピエゾ素子１０が設けられてお
り、電気信号を振動に変え、これを振動膜６に伝達し、
これによって、インクをノズル２から噴出する。
高速かつ精細な印字が要求されている。このような要求
を満たすためにインクジェットプリンターが開発されて
いる。このインクジェットプリンターには、例えば、図
１に示すインクジェットヘッド１が用いられている。イ
ンクジェットヘッド１は、ノズル２、インク室３、リス
トリクター４、インク供給室５と振動膜６とから構成さ
れている。振動膜６にはピエゾ素子１０が設けられてお
り、電気信号を振動に変え、これを振動膜６に伝達し、
これによって、インクをノズル２から噴出する。
【０００３】ところで、ノズル２の縁およびその周辺が
親水性である場合、図２に示すように、ノズル２から射
出されるインク１５がノズル２の周辺に出てきて表面を
濡らすと、図３に示すように、インク室３に入っていた
インク１５がノズル２の外にインク１５の表面張力によ
って引き出される。これにより、ノズル２の出口にイン
クのメニスカスが形成されない状態になり、ノズル２の
中心から真直ぐに出てくるはずのインク粒子１９は、図
３に示すようにインク１５ によって適当でかつ方向が
定まらなく曲げられてしまい、さらに使用を続けると、
インク１５の量が増加して、ついにインクが噴出されな
くなるというインクジェットとしては、致命的な欠陥に
なる。
親水性である場合、図２に示すように、ノズル２から射
出されるインク１５がノズル２の周辺に出てきて表面を
濡らすと、図３に示すように、インク室３に入っていた
インク１５がノズル２の外にインク１５の表面張力によ
って引き出される。これにより、ノズル２の出口にイン
クのメニスカスが形成されない状態になり、ノズル２の
中心から真直ぐに出てくるはずのインク粒子１９は、図
３に示すようにインク１５ によって適当でかつ方向が
定まらなく曲げられてしまい、さらに使用を続けると、
インク１５の量が増加して、ついにインクが噴出されな
くなるというインクジェットとしては、致命的な欠陥に
なる。
【０００４】このような状態にならないためには、ノズ
ル２あるいはインク室３の内壁の親水性に比べ、ノズル
２の外側周辺の表面を疎水性に、すなわち、撥水性する
必要がある。図４はノズル２の周辺に撥水性膜１７を設
けたときの模式図である。撥水膜１７があると、周辺の
インクは図２に示すようなインクの溜り１５が形成され
ず、ノズル２には、メニスカス１６が形成される。従っ
て、図５に示すように、インク粒子１９がノズル２のメ
ニスカス１６をやぶってノズルから真直ぐに飛び出して
くる。
ル２あるいはインク室３の内壁の親水性に比べ、ノズル
２の外側周辺の表面を疎水性に、すなわち、撥水性する
必要がある。図４はノズル２の周辺に撥水性膜１７を設
けたときの模式図である。撥水膜１７があると、周辺の
インクは図２に示すようなインクの溜り１５が形成され
ず、ノズル２には、メニスカス１６が形成される。従っ
て、図５に示すように、インク粒子１９がノズル２のメ
ニスカス１６をやぶってノズルから真直ぐに飛び出して
くる。
【０００５】このように、インクジェットヘッド１にお
いて撥水膜１７をノズル２の外表面およびその周辺に作
ることは、インク粒子を真直ぐ飛ばすには、不可欠であ
ると同時に撥水膜１７がないとインクジェットヘッド１
としての機能が発揮できないことになる。
いて撥水膜１７をノズル２の外表面およびその周辺に作
ることは、インク粒子を真直ぐ飛ばすには、不可欠であ
ると同時に撥水膜１７がないとインクジェットヘッド１
としての機能が発揮できないことになる。
【０００６】ところで、ノズルは非常に微細な構造（孔
径が１５〜１００μｍ）を有しており、金属で形成され
る場合が多い。このような場合、金属製ノズルの表面を
撥水鍍金処理する方法で行われている。
径が１５〜１００μｍ）を有しており、金属で形成され
る場合が多い。このような場合、金属製ノズルの表面を
撥水鍍金処理する方法で行われている。
【０００７】他方で、成形技術の進歩により、プラスチ
ック樹脂を用いて、微細なノズル構造を有するインクジ
ェットヘッドが成形されつつある。しかし、成形樹脂の
表面にメッキ処理を行うことは困難である。成形樹脂の
表面に撥水膜を形成する方法として、撥水性材料を成形
樹脂表面にコーティングする方法がある。例えば、フッ
素樹脂などの撥水性を示すフロロカーボン系材料を成形
樹脂表面にコーティングしてフッ素樹脂膜を形成する方
法があるが、この方法で得られる撥水膜は初期には撥水
性を示すものの、フッ素樹脂が磨耗すると結合の切れた
炭素を露出するために撥水性が低下する。また分子内に
フッ素原子を取り込んだ高分子はフッ素の性格上、分子
内に多くのフッ素原子を結合させられない。従って、必
要とする撥水性が得られないという問題がある。
ック樹脂を用いて、微細なノズル構造を有するインクジ
ェットヘッドが成形されつつある。しかし、成形樹脂の
表面にメッキ処理を行うことは困難である。成形樹脂の
表面に撥水膜を形成する方法として、撥水性材料を成形
樹脂表面にコーティングする方法がある。例えば、フッ
素樹脂などの撥水性を示すフロロカーボン系材料を成形
樹脂表面にコーティングしてフッ素樹脂膜を形成する方
法があるが、この方法で得られる撥水膜は初期には撥水
性を示すものの、フッ素樹脂が磨耗すると結合の切れた
炭素を露出するために撥水性が低下する。また分子内に
フッ素原子を取り込んだ高分子はフッ素の性格上、分子
内に多くのフッ素原子を結合させられない。従って、必
要とする撥水性が得られないという問題がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】そこで、微細構造を有
するインクジェットヘッドなどの基板表面に、撥水性材
料を強固にコーティング（保持）する方法、および撥水
性に優れた表面を有する基板、撥水性に優れた表面を有
するインクジェットヘッドが望まれている。
するインクジェットヘッドなどの基板表面に、撥水性材
料を強固にコーティング（保持）する方法、および撥水
性に優れた表面を有する基板、撥水性に優れた表面を有
するインクジェットヘッドが望まれている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板上に樹脂
膜を形成し、該樹脂膜上に撥水性樹脂層を物理的蒸発成
膜法にて形成することを特徴とする、撥水性樹脂膜の形
成方法に関する。
膜を形成し、該樹脂膜上に撥水性樹脂層を物理的蒸発成
膜法にて形成することを特徴とする、撥水性樹脂膜の形
成方法に関する。
【００１０】好ましい実施態様においては、前記撥水性
樹脂がフッ素樹脂である。
樹脂がフッ素樹脂である。
【００１１】本発明は、さらに、ノズル周縁に樹脂膜が
形成され、該樹脂膜上に撥水性樹脂層が物理的蒸発成膜
法にて形成された、インクジェットヘッドに関する。
形成され、該樹脂膜上に撥水性樹脂層が物理的蒸発成膜
法にて形成された、インクジェットヘッドに関する。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の撥水性樹脂膜の製造方法
は、金属製基板、セラミック製基板、ガラス製基板、樹
脂製基板のいずれにも用いられる。セラミック製基板、
ガラス製基板、樹脂製基板に好ましく用いられ、樹脂製
基板に特に好ましく用いられる。
は、金属製基板、セラミック製基板、ガラス製基板、樹
脂製基板のいずれにも用いられる。セラミック製基板、
ガラス製基板、樹脂製基板に好ましく用いられ、樹脂製
基板に特に好ましく用いられる。
【００１３】樹脂製基板に特に制限はなく、また、熱硬
化性樹脂、熱可塑性樹脂のいずれも用いられる。熱硬化
性樹脂としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、不飽
和ポリエステル樹脂などが用いられる。熱可塑性樹脂と
しては、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリアミド、ポリイミド、ポリフェニレンサルファ
イドなどが用いられる。
化性樹脂、熱可塑性樹脂のいずれも用いられる。熱硬化
性樹脂としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、不飽
和ポリエステル樹脂などが用いられる。熱可塑性樹脂と
しては、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリアミド、ポリイミド、ポリフェニレンサルファ
イドなどが用いられる。
【００１４】撥水性樹脂膜は、基板上に設けられた樹脂
膜上に設けられる。この樹脂膜は、撥水性樹脂を強固に
保持するために用いられる。樹脂膜としては、上記熱硬
化性樹脂、熱可塑性樹脂の膜が好ましく用いられる。例
えば、熱硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を適切な濃度で
溶剤に溶解し、数Åから数１０Å程度の厚みになるよう
に、スピンコート、ディッピング、またはスプレーなど
の方法で薄膜を形成する。エポキシ樹脂を樹脂膜として
用い、スピンコート法を用いるのは一つの実施例である
が、この場合、エポキシ樹脂のアセトン溶液（エポキシ
ワニス）の粘度は、０．３〜１．０Ｐａ・ｓ（パスカル
秒）のものが好ましく用いられる。
膜上に設けられる。この樹脂膜は、撥水性樹脂を強固に
保持するために用いられる。樹脂膜としては、上記熱硬
化性樹脂、熱可塑性樹脂の膜が好ましく用いられる。例
えば、熱硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を適切な濃度で
溶剤に溶解し、数Åから数１０Å程度の厚みになるよう
に、スピンコート、ディッピング、またはスプレーなど
の方法で薄膜を形成する。エポキシ樹脂を樹脂膜として
用い、スピンコート法を用いるのは一つの実施例である
が、この場合、エポキシ樹脂のアセトン溶液（エポキシ
ワニス）の粘度は、０．３〜１．０Ｐａ・ｓ（パスカル
秒）のものが好ましく用いられる。
【００１５】次に、塗膜を形成した基板を、樹脂を溶解
した溶剤の気化温度より５℃程度高い温度で処理して溶
剤を除去し、樹脂膜を接着剤として固化させる。溶剤が
アセトンであれば７０℃から８０℃位の温度で処理す
る。この固化温度は、樹脂が熱硬化性樹脂の場合、樹脂
が硬化する温度（例えば、エポキシ樹脂の場合、１２０
℃）以下の温度である。
した溶剤の気化温度より５℃程度高い温度で処理して溶
剤を除去し、樹脂膜を接着剤として固化させる。溶剤が
アセトンであれば７０℃から８０℃位の温度で処理す
る。この固化温度は、樹脂が熱硬化性樹脂の場合、樹脂
が硬化する温度（例えば、エポキシ樹脂の場合、１２０
℃）以下の温度である。
【００１６】次に、樹脂膜を形成した基板に物理的蒸発
成膜法により、撥水性樹脂膜を形成する。撥水性樹脂と
しては、例えば、フッ素樹脂が好ましく用いられる。フ
ッ素樹脂としては、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチ
レン）、ＦＥＰ（フッ化エチレンプロピレン）、ＰＦＡ
（フッ化アルコキシエチレン樹脂）、ＰＣＴＦＥ（三フ
ッ化塩化エチレン樹脂）、ＥＴＦＥ（エチレン−四フッ
化エチレン樹脂）などが例示されるが、これらに限定さ
れない。好ましくは、ＰＴＦＥ、ＦＥＰ、ＰＦＡであ
る。
成膜法により、撥水性樹脂膜を形成する。撥水性樹脂と
しては、例えば、フッ素樹脂が好ましく用いられる。フ
ッ素樹脂としては、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチ
レン）、ＦＥＰ（フッ化エチレンプロピレン）、ＰＦＡ
（フッ化アルコキシエチレン樹脂）、ＰＣＴＦＥ（三フ
ッ化塩化エチレン樹脂）、ＥＴＦＥ（エチレン−四フッ
化エチレン樹脂）などが例示されるが、これらに限定さ
れない。好ましくは、ＰＴＦＥ、ＦＥＰ、ＰＦＡであ
る。
【００１７】この撥水性樹脂膜の物理的蒸着方法として
は、スパッタ法、イオンプレーティング法などが挙げら
れるが、スパッタ法が好ましく用いられる。
は、スパッタ法、イオンプレーティング法などが挙げら
れるが、スパッタ法が好ましく用いられる。
【００１８】図６は本発明の物理的蒸発成膜法に用いら
れるスパッタリング装置の一例である。スパッタリング
装置２１は、放電チャンバー２２と放電チャンバー２２
内に設けられた平行平板電極２３と平行平板電極２３と
対極に配置された被蒸着物搭載台２４から構成されてい
る。平行平板電極２３には、直流高電圧電源３１から保
護抵抗３２を介してディジタルマルチメーター３３が接
続されており、対極に向けてグロー放電する。また、放
電チャンバー２２には、放電チャンバー２２の内部を真
空にするためのオイルマノメーター３４、ロータリーポ
ンプ３５が接続され、さらに、バルブ３６を介してアル
ゴンガスボンベ３７が接続されている。
れるスパッタリング装置の一例である。スパッタリング
装置２１は、放電チャンバー２２と放電チャンバー２２
内に設けられた平行平板電極２３と平行平板電極２３と
対極に配置された被蒸着物搭載台２４から構成されてい
る。平行平板電極２３には、直流高電圧電源３１から保
護抵抗３２を介してディジタルマルチメーター３３が接
続されており、対極に向けてグロー放電する。また、放
電チャンバー２２には、放電チャンバー２２の内部を真
空にするためのオイルマノメーター３４、ロータリーポ
ンプ３５が接続され、さらに、バルブ３６を介してアル
ゴンガスボンベ３７が接続されている。
【００１９】このスパッタリング装置２１の放電チャン
バー２２のチャンバー内部の被蒸着物搭載台２４上に、
樹脂膜を塗布した基板２５の樹脂膜面を平行平板電極２
３に対向するように配置し、平行平板電極２３には、樹
脂膜を塗布した基板２５と対向するように撥水性樹脂２
６（例えば、フッ素樹脂）を配置する。ロータリーポン
プ３５を駆動させて放電チャンバー２２の内部を真空に
した後、数トールのアルゴンガスをアルゴンガスボンベ
３７から供給して、放電チャンバー２２内をアルゴン雰
囲気にする。
バー２２のチャンバー内部の被蒸着物搭載台２４上に、
樹脂膜を塗布した基板２５の樹脂膜面を平行平板電極２
３に対向するように配置し、平行平板電極２３には、樹
脂膜を塗布した基板２５と対向するように撥水性樹脂２
６（例えば、フッ素樹脂）を配置する。ロータリーポン
プ３５を駆動させて放電チャンバー２２の内部を真空に
した後、数トールのアルゴンガスをアルゴンガスボンベ
３７から供給して、放電チャンバー２２内をアルゴン雰
囲気にする。
【００２０】次に、直流高電圧電源３１から電流を平行
平板電極２３に流して、直流グロー放電すると、アルゴ
ンガスがイオン化し、平行平板電極２３に配置された撥
水性樹脂２６に衝突し、励起状態となった撥水性樹脂の
粒子２７が対極に配置されている樹脂膜を塗布した基板
２５の樹脂膜に向けて勢いよく発射され、図７に示す樹
脂膜２８に衝突し、突き刺さるように樹脂膜２８上に積
層され、撥水性樹脂層１７が形成される。
平板電極２３に流して、直流グロー放電すると、アルゴ
ンガスがイオン化し、平行平板電極２３に配置された撥
水性樹脂２６に衝突し、励起状態となった撥水性樹脂の
粒子２７が対極に配置されている樹脂膜を塗布した基板
２５の樹脂膜に向けて勢いよく発射され、図７に示す樹
脂膜２８に衝突し、突き刺さるように樹脂膜２８上に積
層され、撥水性樹脂層１７が形成される。
【００２１】撥水性樹脂２６のスパッタリングが完了し
たところで、撥水性樹脂膜が形成された基板２５を取り
出し、例えば、熱硬化性樹脂の場合、１２０〜１８０℃
の加熱処理を施す。この処理により熱硬化性樹脂膜は、
０.５から１％程度体積が収縮するが、撥水性樹脂、例
えばフッ素樹脂は、熱膨張する。このときの熱硬化性樹
脂の収縮力で撥水性樹脂層をしっかりと機械的に保持す
ることができる。さらに、基板と同じ樹脂で樹脂膜を作
成した場合、撥水性樹脂が基板とも強固に接着し結合す
ることになるので、撥水性樹脂膜は剥離強度が強くな
り、強固な膜とになる。
たところで、撥水性樹脂膜が形成された基板２５を取り
出し、例えば、熱硬化性樹脂の場合、１２０〜１８０℃
の加熱処理を施す。この処理により熱硬化性樹脂膜は、
０.５から１％程度体積が収縮するが、撥水性樹脂、例
えばフッ素樹脂は、熱膨張する。このときの熱硬化性樹
脂の収縮力で撥水性樹脂層をしっかりと機械的に保持す
ることができる。さらに、基板と同じ樹脂で樹脂膜を作
成した場合、撥水性樹脂が基板とも強固に接着し結合す
ることになるので、撥水性樹脂膜は剥離強度が強くな
り、強固な膜とになる。
【００２２】このようにして、基板（樹脂など）の表面
に、撥水性樹脂膜を強固に形成させることができる。
に、撥水性樹脂膜を強固に形成させることができる。
【００２３】
【実施例】次に、熱硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を用
い、基板として、ノズルなどの微細構造を有するインク
ジェットヘッドのノズル面に撥水性樹脂膜を作成する場
合について説明する。
い、基板として、ノズルなどの微細構造を有するインク
ジェットヘッドのノズル面に撥水性樹脂膜を作成する場
合について説明する。
【００２４】まず、インクジェットヘッドをエポキシ樹
脂で金型成形し、突き当て型でノズルを形成し、閉じ穴
として樹脂成形されたノズル部分をエキシマレーザー加
工にてノズル穴を貫通させた。なお、ノズル穴の開口
は、研磨またはプラズマエッチングで行っても良い。次
に、ノズル穴のインク吐出面にエポキシ樹脂のアセトン
溶液（エポキシワニス）をスピンコート法で塗布した。
このときのエポキシワニスの粘度は、０．８Ｐａ・ｓ
（パスカル秒）のものを使用した。ついで、エポキシ樹
脂を塗布したインクジェットヘッドを８０℃で加熱処理
して表面にエポキシ樹脂膜を形成させた。この膜は数Å
から数１０Åくらいの厚みであるので、ノズル穴がふさ
がることはない。
脂で金型成形し、突き当て型でノズルを形成し、閉じ穴
として樹脂成形されたノズル部分をエキシマレーザー加
工にてノズル穴を貫通させた。なお、ノズル穴の開口
は、研磨またはプラズマエッチングで行っても良い。次
に、ノズル穴のインク吐出面にエポキシ樹脂のアセトン
溶液（エポキシワニス）をスピンコート法で塗布した。
このときのエポキシワニスの粘度は、０．８Ｐａ・ｓ
（パスカル秒）のものを使用した。ついで、エポキシ樹
脂を塗布したインクジェットヘッドを８０℃で加熱処理
して表面にエポキシ樹脂膜を形成させた。この膜は数Å
から数１０Åくらいの厚みであるので、ノズル穴がふさ
がることはない。
【００２５】ついで、上記スパッタリング装置２１を用
いてフッ素樹脂をスパッタした。フッ素樹脂として、Ｐ
ＴＦＥを用い、平行平板電極２３にこのＰＴＦＥ樹脂を
配置し、放電チャンバー内部の被蒸着物搭載台２４上
に、エポキシ樹脂膜を有するインクジェットヘッドを、
エポキシ樹脂膜面をフッ素樹脂ＰＴＦＥに対向するよう
に配置した。ロータリーポンプ３５を駆動させて放電チ
ャンバー２２の内部を真空にした後、アルゴンガスボン
ベ３７からアルゴンガスを供給して放電チャンバー２２
内を５×１０−３トールのアルゴン雰囲気とした。
いてフッ素樹脂をスパッタした。フッ素樹脂として、Ｐ
ＴＦＥを用い、平行平板電極２３にこのＰＴＦＥ樹脂を
配置し、放電チャンバー内部の被蒸着物搭載台２４上
に、エポキシ樹脂膜を有するインクジェットヘッドを、
エポキシ樹脂膜面をフッ素樹脂ＰＴＦＥに対向するよう
に配置した。ロータリーポンプ３５を駆動させて放電チ
ャンバー２２の内部を真空にした後、アルゴンガスボン
ベ３７からアルゴンガスを供給して放電チャンバー２２
内を５×１０−３トールのアルゴン雰囲気とした。
【００２６】次に、直流高電圧電源３１から ２００Ｗ
の電流を平行平板電極２３に流して、直流グロー放電し
た。ＰＴＦＥ樹脂層がエポキシ樹脂膜上に形成されたこ
とは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）による写真で確認し
た。
の電流を平行平板電極２３に流して、直流グロー放電し
た。ＰＴＦＥ樹脂層がエポキシ樹脂膜上に形成されたこ
とは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）による写真で確認し
た。
【００２７】撥水性樹脂層がエポキシ樹脂層に積層され
たインクジェットヘッドを１４０℃で熱処理して、エポ
キシ樹脂層を硬化し、表面が撥水性樹脂で被覆されたイ
ンクジェットヘッドを形成した。得られたインクジェッ
トノズルは、撥水性に優れ、繰り返し使用しても不都合
を生じなかった。
たインクジェットヘッドを１４０℃で熱処理して、エポ
キシ樹脂層を硬化し、表面が撥水性樹脂で被覆されたイ
ンクジェットヘッドを形成した。得られたインクジェッ
トノズルは、撥水性に優れ、繰り返し使用しても不都合
を生じなかった。
【００２８】ところで、ノズル面を機械的または化学的
な方法で処理しておき、スパッタするフッ素樹脂のアン
カーとして働かす方法もある。しかし、インクジェット
ヘッドにおいては、ノズル周縁の処理に際して、ノズル
の周辺に欠損が生じ、インクが射出されるときにこの欠
損部分にインク粒子が引き付けられて射出方向が曲がっ
てしまうという欠陥が生じる虞がある。そこで、本発明
では、いったん、樹脂膜を作成した上で、物理的蒸発成
膜法で撥水性樹脂膜を形成した。
な方法で処理しておき、スパッタするフッ素樹脂のアン
カーとして働かす方法もある。しかし、インクジェット
ヘッドにおいては、ノズル周縁の処理に際して、ノズル
の周辺に欠損が生じ、インクが射出されるときにこの欠
損部分にインク粒子が引き付けられて射出方向が曲がっ
てしまうという欠陥が生じる虞がある。そこで、本発明
では、いったん、樹脂膜を作成した上で、物理的蒸発成
膜法で撥水性樹脂膜を形成した。
【００２９】
【発明の効果】本発明の基板に撥水性樹脂膜を形成する
方法は、まず、エポキシ樹脂などの樹脂層を薄く形成
し、ついで物理的蒸発成膜法で、その樹脂層上に撥水樹
脂、例えばフッ素樹脂膜を形成し、その後、エポキシ樹
脂を硬化することで樹脂層を収縮させ、面との結合力の
弱いフッ素樹脂を機械的にしっかりと保持して強固な撥
水膜を形成できる。インクジェットヘッドのノズル周辺
に撥水性樹脂膜を形成する場合、樹脂膜を非常に薄くす
ることによりノズル穴が塞がれることはない。従って、
ノズルの縁および周辺に撥水性樹脂膜が均一に形成され
るので、撥水性膜として十分に機能し、インクジェット
ヘッドの射出性能が十分に発揮される。
方法は、まず、エポキシ樹脂などの樹脂層を薄く形成
し、ついで物理的蒸発成膜法で、その樹脂層上に撥水樹
脂、例えばフッ素樹脂膜を形成し、その後、エポキシ樹
脂を硬化することで樹脂層を収縮させ、面との結合力の
弱いフッ素樹脂を機械的にしっかりと保持して強固な撥
水膜を形成できる。インクジェットヘッドのノズル周辺
に撥水性樹脂膜を形成する場合、樹脂膜を非常に薄くす
ることによりノズル穴が塞がれることはない。従って、
ノズルの縁および周辺に撥水性樹脂膜が均一に形成され
るので、撥水性膜として十分に機能し、インクジェット
ヘッドの射出性能が十分に発揮される。
【図１】インクジェットヘッドの模式図である。
【図２】ノズル周辺が親水性である場合の、インクの挙
動を示す模式図である。
動を示す模式図である。
【図３】ノズル周辺が親水性である場合の、インクの挙
動を示す模式図である。
動を示す模式図である。
【図４】ノズル周辺が撥水性である場合の、インクの挙
動を示す模式図である。
動を示す模式図である。
【図５】ノズル周辺が撥水性である場合の、インクの挙
動を示す模式図である。
動を示す模式図である。
【図６】本発明に用いられるスパッタリング装置の模式
図である。
図である。
【図７】撥水性樹脂膜のスパッタ法による形成の模式図
である。
である。
１ インクジェットヘッド ２ ノズル ３ インク室 ４ リストリクター ５ インク供給室 ６ 振動膜 １０ ピエゾ素子 １５ インク １６ メニスカス １７ 撥水性膜 １９ インク粒子 ２１ スパッタリング装置 ２２ 放電チャンバー ２３ 平行平板電極 ２４ 被蒸着物搭載台 ２５ 樹脂膜を塗布した基板 ２６ 撥水性樹脂 ２７ 撥水性樹脂の粒子 ２８ 樹脂膜 ３１ 直流高電圧電源 ３２ 保護抵抗 ３３ ディジタルマルチメーター ３４ オイルマノメーター ３５ ロータリーポンプ ３６ バルブ ３７ アルゴンガスボンベ
Claims (3)
- 【請求項１】 基板上に樹脂膜を形成し、該樹脂膜上に
撥水性樹脂層を物理的蒸発成膜法にて形成することを特
徴とする、撥水性樹脂膜の形成方法。 - 【請求項２】 前記撥水性樹脂がフッ素樹脂である、請
求項１に記載の方法。 - 【請求項３】 ノズル周縁に樹脂膜が形成され、該樹脂
膜上に撥水性樹脂層が物理的蒸発成膜法にて形成され
た、インクジェットヘッド。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000251555A JP2002059556A (ja) | 2000-08-22 | 2000-08-22 | 撥水膜の形成方法 |
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|---|---|---|---|
| JP2000251555A JP2002059556A (ja) | 2000-08-22 | 2000-08-22 | 撥水膜の形成方法 |
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| JP2000251555A Pending JP2002059556A (ja) | 2000-08-22 | 2000-08-22 | 撥水膜の形成方法 |
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| JP (1) | JP2002059556A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100650708B1 (ko) * | 2005-11-21 | 2006-11-27 | 삼성전기주식회사 | 마이크로 노즐 및 그 제조방법 |
-
2000
- 2000-08-22 JP JP2000251555A patent/JP2002059556A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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