JP2002053336A - ガラス母材の加工方法 - Google Patents
ガラス母材の加工方法Info
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/01205—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments
- C03B37/01225—Means for changing or stabilising the shape, e.g. diameter, of tubes or rods in general, e.g. collapsing
- C03B37/01228—Removal of preform material
- C03B37/01237—Removal of preform material to modify the diameter by heat-polishing, e.g. fire-polishing
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
- C03C23/007—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by thermal treatment
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガラス母材の加工方法において、ガラス母材
の表面にある傷や異物を除去して、これらがガラス母材
の内部に混入することを防止する。 【解決手段】 ガラス母材を回転チャックで保持して回
転しつつ、加熱源をガラス母材の長手方向に移動させな
がらガラス母材を加熱して加工するガラス母材の加工方
法において、ガラス母材の表面を酸洗浄した後、又はガ
ラス母材の表面を化学エッチングして、Δφ０．０２〜
０．３ｍｍ溶解侵食させた後、該ガラス母材を加熱して
加工する。
の表面にある傷や異物を除去して、これらがガラス母材
の内部に混入することを防止する。 【解決手段】 ガラス母材を回転チャックで保持して回
転しつつ、加熱源をガラス母材の長手方向に移動させな
がらガラス母材を加熱して加工するガラス母材の加工方
法において、ガラス母材の表面を酸洗浄した後、又はガ
ラス母材の表面を化学エッチングして、Δφ０．０２〜
０．３ｍｍ溶解侵食させた後、該ガラス母材を加熱して
加工する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス母材の加工
方法、特に石英系の光通信用ファイバ（以下、光ファイ
バという）の製造に使用されるガラス母材の加工方法に
関するものである。
方法、特に石英系の光通信用ファイバ（以下、光ファイ
バという）の製造に使用されるガラス母材の加工方法に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバは、ＶＡＤ法、ＯＶＤ法、あ
るいはＭＣＶＤ法等の方法で作製した石英系のガラス母
材を、ガラス旋盤で所定の径に延伸し、ダミーガラス棒
を溶着して、線引機で線引することにより製造される。
この石英系ガラスからなる光ファイバは、表面に傷があ
ると機械強度が非常に小さくなる。そのため、ガラス母
材を線引して光ファイバを製造する場合、そのガラス母
材の表面に傷があったり、異物が付着していると、線引
中にそれらの部分で破断して、断線が生じてしまう。線
引の途中で一度断線が起こると、再び線引を開始するま
でに要する時間およびオペレーターの作業量は、断線が
起こらなかった場合に比べて、約２倍の時間および作業
量となり、光ファイバの生産性は極めて低下する。
るいはＭＣＶＤ法等の方法で作製した石英系のガラス母
材を、ガラス旋盤で所定の径に延伸し、ダミーガラス棒
を溶着して、線引機で線引することにより製造される。
この石英系ガラスからなる光ファイバは、表面に傷があ
ると機械強度が非常に小さくなる。そのため、ガラス母
材を線引して光ファイバを製造する場合、そのガラス母
材の表面に傷があったり、異物が付着していると、線引
中にそれらの部分で破断して、断線が生じてしまう。線
引の途中で一度断線が起こると、再び線引を開始するま
でに要する時間およびオペレーターの作業量は、断線が
起こらなかった場合に比べて、約２倍の時間および作業
量となり、光ファイバの生産性は極めて低下する。
【０００３】そこで、このような弊害を解消するため、
従来、ガラス旋盤でガラス母材を所定の径に延伸した後
に、火炎研磨を実施して、ガラス母材の表面の傷や異物
を除去している。すなわち、ガラス母材を火炎により加
熱すると、その表面温度は約２０００℃に達し、ガラス
母材の一部はＳｉＯとなって昇華する。そして、このＳ
ｉＯが昇華することにより、ガラス母材の径がわずかに
減少し、それによって、ガラス母材の表面にある傷や異
物が除去される。また、ガラス母材の表面温度が約２０
００℃以上になると、ガラス母材の粘度は１０4〜１０5
ポアズ程度にまで低下し、わずかな力でも容易に変形す
ることができるようになる。そして、ガラス母材の粘度
が低下すると、表面張力が発生するため、ガラス母材の
表面が滑らかになる。その結果、ガラス母材の表面にあ
る傷や異物が除去される。
従来、ガラス旋盤でガラス母材を所定の径に延伸した後
に、火炎研磨を実施して、ガラス母材の表面の傷や異物
を除去している。すなわち、ガラス母材を火炎により加
熱すると、その表面温度は約２０００℃に達し、ガラス
母材の一部はＳｉＯとなって昇華する。そして、このＳ
ｉＯが昇華することにより、ガラス母材の径がわずかに
減少し、それによって、ガラス母材の表面にある傷や異
物が除去される。また、ガラス母材の表面温度が約２０
００℃以上になると、ガラス母材の粘度は１０4〜１０5
ポアズ程度にまで低下し、わずかな力でも容易に変形す
ることができるようになる。そして、ガラス母材の粘度
が低下すると、表面張力が発生するため、ガラス母材の
表面が滑らかになる。その結果、ガラス母材の表面にあ
る傷や異物が除去される。
【０００４】しかしながら、ガラス母材の加熱によって
昇華したＳｉＯは、雰囲気に存在するＨ2Ｏの作用によ
り、再びガラス微粒子となって、再度、ガラス母材の表
面に付着することが知られている。石英系のガラス母材
を火炎で加熱、加工すると、強く熱せられた部分のすぐ
外側に帯状の曇りが発生する。この曇りはガラス微粒子
であり、加熱炉内を飛散して異物と同様に加熱炉内の雰
囲気を汚染して、ガラス母材の表面に傷を生じさせた
り、異物として付着する恐れがある。このような不都合
を回避するため、ガラス母材を線引する前に、上記ガラ
ス微粒子を除去する必要がある。このガラス微粒子は、
ガラス母材を比較的弱い火炎で、約１９００℃程度に熱
することで除去することができる。しかしながら、その
場合、加熱源であるバーナーに供給するガスの量や、バ
ーナーの移動速度によっては、ガラス母材の中心部の加
熱が不十分となる結果、強い歪が残ってしまい、わずか
な衝撃でクラックが発生する恐れがある。逆に必要以上
に加熱してしまうと残留する歪は小さくなるが、再び帯
状の曇りが発生することになる。
昇華したＳｉＯは、雰囲気に存在するＨ2Ｏの作用によ
り、再びガラス微粒子となって、再度、ガラス母材の表
面に付着することが知られている。石英系のガラス母材
を火炎で加熱、加工すると、強く熱せられた部分のすぐ
外側に帯状の曇りが発生する。この曇りはガラス微粒子
であり、加熱炉内を飛散して異物と同様に加熱炉内の雰
囲気を汚染して、ガラス母材の表面に傷を生じさせた
り、異物として付着する恐れがある。このような不都合
を回避するため、ガラス母材を線引する前に、上記ガラ
ス微粒子を除去する必要がある。このガラス微粒子は、
ガラス母材を比較的弱い火炎で、約１９００℃程度に熱
することで除去することができる。しかしながら、その
場合、加熱源であるバーナーに供給するガスの量や、バ
ーナーの移動速度によっては、ガラス母材の中心部の加
熱が不十分となる結果、強い歪が残ってしまい、わずか
な衝撃でクラックが発生する恐れがある。逆に必要以上
に加熱してしまうと残留する歪は小さくなるが、再び帯
状の曇りが発生することになる。
【０００５】そこで、火炎研磨する際の条件は、ガラス
母材に残留する歪を歪計等で測定し、さらに外観検査を
行い、残留する歪が問題のないレベルであり、かつ、曇
りの発生のないガスの量およびバーナーの移動速度を試
行錯誤によって求め、決定していた。そして、従来、ガ
ラス母材の表面に生じた傷や異物を除去するため、１回
目は、ガラス母材の表面温度が約２０００℃以上になる
条件で火炎研磨を行い、２回目は、１回目の火炎研磨の
際に付着したガラス微粒子を除去するため、表面温度が
約１９００℃程度になる条件で火炎研磨を行っている。
母材に残留する歪を歪計等で測定し、さらに外観検査を
行い、残留する歪が問題のないレベルであり、かつ、曇
りの発生のないガスの量およびバーナーの移動速度を試
行錯誤によって求め、決定していた。そして、従来、ガ
ラス母材の表面に生じた傷や異物を除去するため、１回
目は、ガラス母材の表面温度が約２０００℃以上になる
条件で火炎研磨を行い、２回目は、１回目の火炎研磨の
際に付着したガラス微粒子を除去するため、表面温度が
約１９００℃程度になる条件で火炎研磨を行っている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ごとく火炎研磨処理を行っても、わずかな汚れがガラス
母材内に溶け込み、外部から照明を当てた場合、輝点と
してガラス母材の表面に捉えることができる場合があ
る。そして、このような輝点は、外観検査の結果、表面
異物として判断されるため、そのガラス母材は不合格と
なり、ガラス母材の表面部を再加工することが必要とな
る。光ファイバの製造では、例えば、ＯＶＤ法等により
ガラス母材が作製された後、加熱炉でガラス化され、さ
らに延伸炉等で延伸、縮径され、その後、延伸により得
られた棒状のガラス母材は、ガラス旋盤に取り付けられ
て、仕上げ加工（火炎研磨）が施される。そして、ガラ
ス母材に傷が生じたり、異物が表面に付着するのを防ぐ
ため、上記加工の前工程および後工程にガラス母材を搬
送する際は、ビニール袋等に入れて搬送され、さらに静
電気対策も施される。しかし、このような取り扱い方法
を実施しても、ガラス母材の表面に異物の付着が見られ
た。この異物は、ガラス母材の取り扱い時に、何らかの
原因により、ガラス母材の表面に付着し、その後、火炎
研磨処理しても取り除くことができないものであった。
ごとく火炎研磨処理を行っても、わずかな汚れがガラス
母材内に溶け込み、外部から照明を当てた場合、輝点と
してガラス母材の表面に捉えることができる場合があ
る。そして、このような輝点は、外観検査の結果、表面
異物として判断されるため、そのガラス母材は不合格と
なり、ガラス母材の表面部を再加工することが必要とな
る。光ファイバの製造では、例えば、ＯＶＤ法等により
ガラス母材が作製された後、加熱炉でガラス化され、さ
らに延伸炉等で延伸、縮径され、その後、延伸により得
られた棒状のガラス母材は、ガラス旋盤に取り付けられ
て、仕上げ加工（火炎研磨）が施される。そして、ガラ
ス母材に傷が生じたり、異物が表面に付着するのを防ぐ
ため、上記加工の前工程および後工程にガラス母材を搬
送する際は、ビニール袋等に入れて搬送され、さらに静
電気対策も施される。しかし、このような取り扱い方法
を実施しても、ガラス母材の表面に異物の付着が見られ
た。この異物は、ガラス母材の取り扱い時に、何らかの
原因により、ガラス母材の表面に付着し、その後、火炎
研磨処理しても取り除くことができないものであった。
【０００７】ガラス母材の延伸では、加熱炉に順次送り
込まれたガラス母材は、送り速度より速い速度で引き取
られることにより、加熱炉内において軟化溶融したガラ
ス母材が引き伸ばされる。この延伸されたガラス母材を
引き取る方法としては、ガラス母材の一端をチャック等
により把持して引き取る方法、あるいは対向した２個の
ローラーで挟みこみ、ローラーを回転することにより引
き取る方法が一般的に実施されている。このような方法
で、ガラス母材を延伸する際、チャックまたはローラー
等が、ガラス母材の表面と何らかの形で接触することに
なる。そして、それにより、チャックまたはローラー等
の接触箇所には何らかの形で接触痕が残り、ガラス母材
が室温に冷却された後、この接触痕をクリーンな不織布
で拭き取っても、該接触痕は、微細な傷跡として残る可
能性が十分予想される。また、火炎研磨処理したガラス
母材の表面に見られる異物は、延伸されたガラス母材を
ガラス旋盤に取り付けて仕上げ加工を施す前に、ガラス
母材の表面に付着し、さらに火炎により加熱されガラス
母材に溶け込み、ガラス母材内部へ混入したと考えられ
る。そこで、本発明の目的は、ガラス母材を延伸した後
に行うガラス母材の加工方法において、ガラス母材の表
面にある傷や異物を除去して、これらがガラス母材の内
部に混入することを防止することにある。
込まれたガラス母材は、送り速度より速い速度で引き取
られることにより、加熱炉内において軟化溶融したガラ
ス母材が引き伸ばされる。この延伸されたガラス母材を
引き取る方法としては、ガラス母材の一端をチャック等
により把持して引き取る方法、あるいは対向した２個の
ローラーで挟みこみ、ローラーを回転することにより引
き取る方法が一般的に実施されている。このような方法
で、ガラス母材を延伸する際、チャックまたはローラー
等が、ガラス母材の表面と何らかの形で接触することに
なる。そして、それにより、チャックまたはローラー等
の接触箇所には何らかの形で接触痕が残り、ガラス母材
が室温に冷却された後、この接触痕をクリーンな不織布
で拭き取っても、該接触痕は、微細な傷跡として残る可
能性が十分予想される。また、火炎研磨処理したガラス
母材の表面に見られる異物は、延伸されたガラス母材を
ガラス旋盤に取り付けて仕上げ加工を施す前に、ガラス
母材の表面に付着し、さらに火炎により加熱されガラス
母材に溶け込み、ガラス母材内部へ混入したと考えられ
る。そこで、本発明の目的は、ガラス母材を延伸した後
に行うガラス母材の加工方法において、ガラス母材の表
面にある傷や異物を除去して、これらがガラス母材の内
部に混入することを防止することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、鋭意検討
した結果、ガラス母材に対して、所定の処理を行うこと
により、上記課題を解決できることを見出し、かかる知
見に基づき、本発明を完成するに至った。すなわち、本
発明は、ガラス母材を回転チャックで保持して回転しつ
つ、加熱源をガラス母材の長手方向に移動させながらガ
ラス母材を加熱して加工するガラス母材の加工方法にお
いて、ガラス母材の表面を酸洗浄した後、該ガラス母材
を加熱して加工することを特徴とするガラス母材の加工
方法である。また、もう１つの本発明は、ガラス母材を
回転チャックで保持して回転しつつ、加熱源をガラス母
材の長手方向に移動させながらガラス母材を加熱して加
工するガラス母材の加工方法において、ガラス母材の表
面を化学エッチングして、Δφ０．０２〜０．３ｍｍ溶
解侵食させた後、該ガラス母材を加熱して加工すること
を特徴とするガラス母材の加工方法である。
した結果、ガラス母材に対して、所定の処理を行うこと
により、上記課題を解決できることを見出し、かかる知
見に基づき、本発明を完成するに至った。すなわち、本
発明は、ガラス母材を回転チャックで保持して回転しつ
つ、加熱源をガラス母材の長手方向に移動させながらガ
ラス母材を加熱して加工するガラス母材の加工方法にお
いて、ガラス母材の表面を酸洗浄した後、該ガラス母材
を加熱して加工することを特徴とするガラス母材の加工
方法である。また、もう１つの本発明は、ガラス母材を
回転チャックで保持して回転しつつ、加熱源をガラス母
材の長手方向に移動させながらガラス母材を加熱して加
工するガラス母材の加工方法において、ガラス母材の表
面を化学エッチングして、Δφ０．０２〜０．３ｍｍ溶
解侵食させた後、該ガラス母材を加熱して加工すること
を特徴とするガラス母材の加工方法である。
【０００９】
【発明の実施の形態】次に、図面を参照して本発明を詳
細に説明する。図２は、ガラス延伸装置であるガラス旋
盤を使用したガラス母材の延伸方法の一例を示す説明図
である。図２に例示したように、ガラス母材の延伸は、
まず、ガラス母材６を回転チャック３、４に保持して、
回転させる。そして、火炎バーナ５を有する加熱源２を
ガラス母材１の長手方向（図中、矢印方向）に移動させ
ながら、ガラス母材１を加熱し、延伸、縮径する。な
お、ガラス延伸装置の例として、図３に示す縦型のロー
ラー式延伸装置、図４に示す縦型のチャック式延伸装置
が挙げられる。延伸されたガラス母材１は、図１に例示
したように、ガラス加工装置により加工（火炎研磨）す
る。すなわち、このガラス母材１は、回転チャック３、
４に保持され、火炎バーナ５を有する加熱源２をガラス
母材１の長手方向（図中、矢印方向）に移動して、加工
する。本発明の特徴は、このガラス母材１の加工方法に
おいて、ガラス母材１を加熱、加工する前に、該ガラス
母材１の表面を予め酸洗浄する点、および該ガラス母材
１の表面を化学エッチングして、Δφ０．０２〜０．３
ｍｍ溶解侵食させる点にある。本発明はかかる特徴を有
することにより、ガラス母材の表面にある傷や異物を除
去することができ、より清浄なガラス母材表面を確保す
ることが可能となる。
細に説明する。図２は、ガラス延伸装置であるガラス旋
盤を使用したガラス母材の延伸方法の一例を示す説明図
である。図２に例示したように、ガラス母材の延伸は、
まず、ガラス母材６を回転チャック３、４に保持して、
回転させる。そして、火炎バーナ５を有する加熱源２を
ガラス母材１の長手方向（図中、矢印方向）に移動させ
ながら、ガラス母材１を加熱し、延伸、縮径する。な
お、ガラス延伸装置の例として、図３に示す縦型のロー
ラー式延伸装置、図４に示す縦型のチャック式延伸装置
が挙げられる。延伸されたガラス母材１は、図１に例示
したように、ガラス加工装置により加工（火炎研磨）す
る。すなわち、このガラス母材１は、回転チャック３、
４に保持され、火炎バーナ５を有する加熱源２をガラス
母材１の長手方向（図中、矢印方向）に移動して、加工
する。本発明の特徴は、このガラス母材１の加工方法に
おいて、ガラス母材１を加熱、加工する前に、該ガラス
母材１の表面を予め酸洗浄する点、および該ガラス母材
１の表面を化学エッチングして、Δφ０．０２〜０．３
ｍｍ溶解侵食させる点にある。本発明はかかる特徴を有
することにより、ガラス母材の表面にある傷や異物を除
去することができ、より清浄なガラス母材表面を確保す
ることが可能となる。
【００１０】ガラス母材１の表面を予め酸洗浄する場合
において、使用する酸としては、フッ化水素酸が挙げら
れる。また、洗浄方法は、特に限定されるものではな
く、例えば、不織布に上記酸を付けて、ガラス母材を拭
くことが挙げられる。一方、ガラス母材１の表面を化学
エッチングする場合は、化学エッチング液としては、フ
ッ化水素酸が挙げられる。化学エッチングの程度は、前
記したように、化学エッチング前と後におけるガラス母
材の径の差（Δφ）が、０．０２〜０．３ｍｍとなるよ
うに、ガラス母材１の表面を溶解侵食させる。化学エッ
チングの程度がΔφ０．０２ｍｍより小さいと、化学エ
ッチングが不充分となり、Δφ０．３ｍｍより大きい
と、不適当な外径値となる。
において、使用する酸としては、フッ化水素酸が挙げら
れる。また、洗浄方法は、特に限定されるものではな
く、例えば、不織布に上記酸を付けて、ガラス母材を拭
くことが挙げられる。一方、ガラス母材１の表面を化学
エッチングする場合は、化学エッチング液としては、フ
ッ化水素酸が挙げられる。化学エッチングの程度は、前
記したように、化学エッチング前と後におけるガラス母
材の径の差（Δφ）が、０．０２〜０．３ｍｍとなるよ
うに、ガラス母材１の表面を溶解侵食させる。化学エッ
チングの程度がΔφ０．０２ｍｍより小さいと、化学エ
ッチングが不充分となり、Δφ０．３ｍｍより大きい
と、不適当な外径値となる。
【００１１】
【実施例】（実施例１）φ１５０ｍｍ、長さ１５００ｍ
ｍの石英ガラス母材１２を図３に示すローラー式延伸装
置に取り付け、該石英ガラス母材１２の送り速度を５〜
４０ｍｍ／分で約２０００℃に加熱された加熱炉１３内
に送り込み、５０〜２００ｍｍ／分の引き取り速度で引
き出すことにより、約φ６０ｍｍのガラス母材に延伸、
縮径した。その後、このガラス母材を１〜１．５ｍに切
断し、フッ化水素酸に浸して、該ガラス母材の表面をΔ
φ０．１ｍｍ溶解侵食させる化学エッチングを行った。
次に、火炎によるガラス母材の加工（火炎研磨）を実施
した後、その表面を観察したところ、透明になった表面
には輝点となるような傷や異物は発見されなかった。
ｍの石英ガラス母材１２を図３に示すローラー式延伸装
置に取り付け、該石英ガラス母材１２の送り速度を５〜
４０ｍｍ／分で約２０００℃に加熱された加熱炉１３内
に送り込み、５０〜２００ｍｍ／分の引き取り速度で引
き出すことにより、約φ６０ｍｍのガラス母材に延伸、
縮径した。その後、このガラス母材を１〜１．５ｍに切
断し、フッ化水素酸に浸して、該ガラス母材の表面をΔ
φ０．１ｍｍ溶解侵食させる化学エッチングを行った。
次に、火炎によるガラス母材の加工（火炎研磨）を実施
した後、その表面を観察したところ、透明になった表面
には輝点となるような傷や異物は発見されなかった。
【００１２】（実施例２）φ１５０ｍｍ、長さ１５００
ｍｍの石英ガラス母材１２を図４に示すチャック式延伸
装置に取り付け、該石英ガラス母材１２の送り速度を５
〜４０ｍｍ／分で約２０００℃に加熱された加熱炉１３
内に送り込み、５０〜２００ｍｍ／分の引き取り速度で
引き出すことにより、約φ６０ｍｍのガラス母材に延
伸、縮径した。その後、このガラス母材を１〜１．５ｍ
に切断し、フッ化水素酸に浸して、該ガラス母材の表面
をΔφ０．３ｍｍ溶解侵食させる化学エッチングを行っ
た。次に、火炎によるガラス母材の加工（火炎研磨）を
実施した後、その表面を観察したところ、透明になった
表面には輝点となるような傷や異物は発見されなかっ
た。
ｍｍの石英ガラス母材１２を図４に示すチャック式延伸
装置に取り付け、該石英ガラス母材１２の送り速度を５
〜４０ｍｍ／分で約２０００℃に加熱された加熱炉１３
内に送り込み、５０〜２００ｍｍ／分の引き取り速度で
引き出すことにより、約φ６０ｍｍのガラス母材に延
伸、縮径した。その後、このガラス母材を１〜１．５ｍ
に切断し、フッ化水素酸に浸して、該ガラス母材の表面
をΔφ０．３ｍｍ溶解侵食させる化学エッチングを行っ
た。次に、火炎によるガラス母材の加工（火炎研磨）を
実施した後、その表面を観察したところ、透明になった
表面には輝点となるような傷や異物は発見されなかっ
た。
【００１３】（比較例１）φ１５０ｍｍ、長さ１５００
ｍｍの石英ガラス母材１２を図４に示すチャック式延伸
装置に取り付け、該石英ガラス母材１２の送り速度を５
〜４０ｍｍ／分で約２０００℃に加熱された加熱炉１３
内に送り込み、５０〜２００ｍｍ／分の引き取り速度で
引き出すことにより、約φ６０ｍｍのガラス母材に延
伸、縮径した。その後、このガラス母材を１〜１．５ｍ
に切断し、不織布にエタノールを付けて、該ガラス母材
の表面をきれいに拭き取り、洗浄を実施した。次に、火
炎によるガラス母材の加工（火炎研磨）を実施した後、
その表面を観察したところ、透明になった表面には、有
害な輝点となるような傷や異物がごく僅かではあるが観
察された。
ｍｍの石英ガラス母材１２を図４に示すチャック式延伸
装置に取り付け、該石英ガラス母材１２の送り速度を５
〜４０ｍｍ／分で約２０００℃に加熱された加熱炉１３
内に送り込み、５０〜２００ｍｍ／分の引き取り速度で
引き出すことにより、約φ６０ｍｍのガラス母材に延
伸、縮径した。その後、このガラス母材を１〜１．５ｍ
に切断し、不織布にエタノールを付けて、該ガラス母材
の表面をきれいに拭き取り、洗浄を実施した。次に、火
炎によるガラス母材の加工（火炎研磨）を実施した後、
その表面を観察したところ、透明になった表面には、有
害な輝点となるような傷や異物がごく僅かではあるが観
察された。
【００１４】（比較例２）φ１５０ｍｍ、長さ１５００
ｍｍの石英ガラス母材１２を図３に示すローラー式延伸
装置に取り付け、該石英ガラス母材１２の送り速度を５
〜４０ｍｍ／分で約２０００℃に加熱された加熱炉１３
内に送り込み、５０〜２００ｍｍ／分の引き取り速度で
引き出すことにより、約φ６０ｍｍのガラス母材に延
伸、縮径した。その後、このガラス母材を１〜１．５ｍ
に切断し、フッ化水素酸に浸して、該ガラス母材の表面
をΔφ０．４ｍｍ溶解侵食させる化学エッチングを行っ
た。エッチング表面には大きなクワレ（凹部）が発生し
ており、表面粗さを測定したところＲａ０．６μｍであ
った。次に、この表面を火炎によるガラス母材の加工
（火炎研磨）を実施した後、その表面を観察したとこ
ろ、透明になった表面には、有害な輝点となるような傷
（へこみ）、ピンホールや凹部がごく僅かではあるが観
察された。
ｍｍの石英ガラス母材１２を図３に示すローラー式延伸
装置に取り付け、該石英ガラス母材１２の送り速度を５
〜４０ｍｍ／分で約２０００℃に加熱された加熱炉１３
内に送り込み、５０〜２００ｍｍ／分の引き取り速度で
引き出すことにより、約φ６０ｍｍのガラス母材に延
伸、縮径した。その後、このガラス母材を１〜１．５ｍ
に切断し、フッ化水素酸に浸して、該ガラス母材の表面
をΔφ０．４ｍｍ溶解侵食させる化学エッチングを行っ
た。エッチング表面には大きなクワレ（凹部）が発生し
ており、表面粗さを測定したところＲａ０．６μｍであ
った。次に、この表面を火炎によるガラス母材の加工
（火炎研磨）を実施した後、その表面を観察したとこ
ろ、透明になった表面には、有害な輝点となるような傷
（へこみ）、ピンホールや凹部がごく僅かではあるが観
察された。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、ガラス母材を延伸した
後に行うガラス母材の加工方法において、ガラス母材の
表面にある傷や異物を除去して、これらがガラス母材の
内部に混入することを防止することができるため、光フ
ァイバの生産性が向上し、産業利用上、その価値は極め
て高い。
後に行うガラス母材の加工方法において、ガラス母材の
表面にある傷や異物を除去して、これらがガラス母材の
内部に混入することを防止することができるため、光フ
ァイバの生産性が向上し、産業利用上、その価値は極め
て高い。
【図１】ガラス母材の加工方法を例示した説明図であ
る。
る。
【図２】ガラス母材の延伸方法を例示した説明図であ
る。
る。
【図３】ローラー式延伸装置の概略図である。
【図４】チャック式延伸装置の概略図である。
１，６，１２ ガラス母材 ２ 加熱源 ３，４ 回転チャック ５ 火炎バーナ １１ 吊り下げ機構 １３ 加熱炉 １４ ローラー １５ ガイドレール １６ 把持機構
Claims (3)
- 【請求項１】 ガラス母材を回転チャックで保持して回
転しつつ、加熱源をガラス母材の長手方向に移動させな
がらガラス母材を加熱して加工するガラス母材の加工方
法において、ガラス母材の表面を酸洗浄した後、該ガラ
ス母材を加熱して加工することを特徴とするガラス母材
の加工方法。 - 【請求項２】 ガラス母材を回転チャックで保持して回
転しつつ、加熱源をガラス母材の長手方向に移動させな
がらガラス母材を加熱して加工するガラス母材の加工方
法において、ガラス母材の表面を化学エッチングして、
Δφ０．０２〜０．３ｍｍ溶解侵食させた後、該ガラス
母材を加熱して加工することを特徴とするガラス母材の
加工方法。 - 【請求項３】 フッ化水素酸を用いて、ガラス母材の表
面を酸洗浄または化学エッチングする請求項１または２
記載のガラス母材の加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000238040A JP2002053336A (ja) | 2000-08-07 | 2000-08-07 | ガラス母材の加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000238040A JP2002053336A (ja) | 2000-08-07 | 2000-08-07 | ガラス母材の加工方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2009205546A Division JP2010013352A (ja) | 2009-09-07 | 2009-09-07 | ガラス母材の加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002053336A true JP2002053336A (ja) | 2002-02-19 |
Family
ID=18729806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000238040A Pending JP2002053336A (ja) | 2000-08-07 | 2000-08-07 | ガラス母材の加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002053336A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006123621A1 (ja) * | 2005-05-16 | 2006-11-23 | Nipro Corporation | バイアルおよびその製造方法 |
| CN101874760A (zh) * | 2009-04-30 | 2010-11-03 | 尼普洛株式会社 | 用于生产医用玻璃容器的方法 |
| JP2012053120A (ja) * | 2010-08-31 | 2012-03-15 | Hoya Corp | マスクブランク用基板及びマスクブランクの製造方法 |
-
2000
- 2000-08-07 JP JP2000238040A patent/JP2002053336A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| WO2006123621A1 (ja) * | 2005-05-16 | 2006-11-23 | Nipro Corporation | バイアルおよびその製造方法 |
| US9580349B2 (en) | 2005-05-16 | 2017-02-28 | Nipro Corporation | Vial and method for producing the same |
| US9751795B2 (en) | 2005-05-16 | 2017-09-05 | Nipro Corporation | Vial and method for producing the same |
| US10894735B2 (en) | 2005-05-16 | 2021-01-19 | Nipro Corporation | Vial and method for producing the same |
| CN101874760A (zh) * | 2009-04-30 | 2010-11-03 | 尼普洛株式会社 | 用于生产医用玻璃容器的方法 |
| JP2012053120A (ja) * | 2010-08-31 | 2012-03-15 | Hoya Corp | マスクブランク用基板及びマスクブランクの製造方法 |
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