JP2002049048A5 - - Google Patents

Description

【発明の名称】電気光学装置及びプロジェクタ

Claims (15)

1. 基板上に、マトリクス状に配列された複数の画素電極と、該画素電極に接続された薄膜トランジスタと、該薄膜トランジスタに接続され且つ前記画素電極の間隙に対応する各画素の非開口領域に形成された相交差する複数のデータ線及び複数の走査線と、該走査線上に層間絶縁膜を介して積層され且つ前記データ線及び前記走査線とは異なる導電層から形成された前記画素電極に蓄積容量を付加するための容量線とを備えており、
   前記データ線は、前記走査線に沿った第１方向に相隣接する画素電極の間隙に対応し且つ前記データ線に沿った第２方向に伸びる非開口領域の中央に配置され、
   前記第１方向に相隣接する画素電極は、それらの間に配置された前記データ線に対して線対称な平面形状を有し、
   前記走査線は、前記第２方向に相隣接する画素電極の間隙に対応し且つ前記第１方向に伸びる非開口領域の中央に配置され、
   前記第２方向に相隣接する画素電極は、それらの間に配置された前記走査線に対して線対称な平面形状を有することを特徴とする電気光学装置。
2. 前記容量線は、平面的に見て前記非開口領域のうち少なくとも前記走査線に沿った部分を規定する遮光膜としても機能することを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置。
3. 前記容量線は、前記走査線と前記データ線との間に積層されたことを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置。
4. 前記データ線は、平面的に見て前記非開口領域のうち少なくとも前記データ線に沿った部分を規定する遮光膜としても機能することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の電気光学装置。
5. 前記薄膜トランジスタのチャネル領域を含む半導体層は夫々、平面的に見て前記走査線に対して線対称に形成されたことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の電気光学装置。
6. 前記薄膜トランジスタのチャネル領域を含む半導体層のドレイン領域と前記画素電極とを中継接続する中間導電層を更に備えており、
   前記半導体層のソース領域と前記データ線とを接続する第１コンタクトホールと、前記ドレイン領域と前記中間導電層とを接続する第２コンタクトホールとは、平面的に見て前記走査線に対して線対称な位置に開孔されたことを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の電気光学装置。
7. 前記薄膜トランジスタのチャネル領域を含む半導体層のドレイン領域と前記画素電極とを中継接続する中間導電層を更に備えており、
   前記半導体層のソース領域と前記データ線とを接続する第１コンタクトホールと、前記ドレイン領域と前記中間導電層とを接続する第２コンタクトホールとは、平面的に見て相互に前記走査線の逆側に開孔されており、
   前記走査線に対する前記第１コンタクトホールが開孔される側と前記第２コンタクトホールが開孔される側とが、前記第１方向に配列された薄膜トランジスタ毎に交互に入れ替えられることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の電気光学装置。
8. 前記薄膜トランジスタのチャネル領域を含む半導体層のドレイン領域と前記画素電極とを中継接続する中間導電層を更に備えており、
   前記中間導電層と前記画素電極とを接続する第３コンタクトホールが開孔される前記走査線に対する側が、前記第１方向に沿って画素毎に交互に逆になり、
   前記走査線に対して前記第３コンタクトホールが開孔された側にある画素電極と前記中間導電層とが、前記第３コンタクトホールを介して接続されることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の電気光学装置。
9. 前記薄膜トランジスタのチャネル領域を含む半導体層のドレイン領域と前記画素電極とを中継接続する中間導電層を更に備えており、
   前記画素電極と前記中間導電層とを接続する第３コンタクトホールは、前記第１方向に相隣接するデータ線間の中央に開孔されたことを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の電気光学装置。
10. 前記薄膜トランジスタのチャネル領域を含む半導体層のドレイン領域と前記画素電極とを中継接続する中間導電層を更に備えており、
    前記中間導電層を画素電位側容量電極とし且つ該画素電位側容量電極に誘電体膜を介して対向配置される前記容量線の一部を固定電位側容量電極として前記蓄積容量が構築されることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の電気光学装置。
11. 前記薄膜トランジスタのチャネル領域を含む半導体層のソース領域及びドレイン領域が、前記第１方向に奇数番目のデータ線に接続される薄膜トランジスタと偶数番目のデータ線に接続される薄膜トランジスタとで、平面的に見て前記走査線に対して正反対に形成されていることを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載の電気光学装置。
12. 前記第１方向に配列された画素電極には、同一電位極性の画像信号が供給されることを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の電気光学装置。
13. 前記基板に電気光学物質を介して対向配置された対向基板を更に備えており、
    前記第１方向に相隣接する画素電極の一方は、前記第２方向に第ｎ（但し、ｎは自然数）番目の走査線に接続された薄膜トランジスタに接続されており、前記第１方向に相隣接する画素電極の他方は、前記第２方向に第ｎ＋１番目の走査線に接続された薄膜トランジスタに接続されたことを特徴とする請求項１２に記載の電気光学装置。
14. 前記対向基板上に、前記画素電極に対向配置された対向電極を更に備えており、
    前記基板上で前記データ線、前記走査線、前記容量線及び前記薄膜トランジスタに対向する領域に設けられた溝内に、前記データ線、前記走査線、前記容量線及び前記薄膜トランジスタが少なくとも部分的に埋め込まれることにより、前記画素電極の下地面が平坦化されており、
    前記走査線に沿った領域において少なくとも部分的に前記溝が設けられないことにより、前記画素電極の下地面が前記画素電極の縁部が位置する領域において前記走査線に沿った盛上り部が形成されていることを特徴とする請求項１３に記載の電気光学装置。
15. 請求項１から１４のいずれか一項に記載の電気光学装置をライトバルブとして用いたことを特徴とするプロジェクタ。