JP2002043916A - 電圧検出回路および半導体装置 - Google Patents

電圧検出回路および半導体装置

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JP2002043916A
JP2002043916A JP2000228491A JP2000228491A JP2002043916A JP 2002043916 A JP2002043916 A JP 2002043916A JP 2000228491 A JP2000228491 A JP 2000228491A JP 2000228491 A JP2000228491 A JP 2000228491A JP 2002043916 A JP2002043916 A JP 2002043916A
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switch element
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voltage
semiconductor device
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JP2000228491A
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Osamu Takahashi
理 高橋
Seiki Yamaguchi
誠毅 山口
浩司 ▲高▼田
Koji Takada
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K17/00Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
    • H03K17/08Modifications for protecting switching circuit against overcurrent or overvoltage
    • H03K17/082Modifications for protecting switching circuit against overcurrent or overvoltage by feedback from the output to the control circuit
    • H03K17/0822Modifications for protecting switching circuit against overcurrent or overvoltage by feedback from the output to the control circuit in field-effect transistor switches

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  • Electronic Switches (AREA)
  • Logic Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電圧検出機能を内蔵したローサイドスイッチ
のオフ時における漏れ電流を低減する。 【解決手段】 負荷への電力供給を制御する第1スイッ
チ素子1と並列に接続され、且つ互いに直列に接続され
た第2スイッチ素子3と電圧検出部21とを備え、第2
スイッチ素子は、第1スイッチ素子の高電位側に接続さ
れ、電圧検出部は、第2スイッチ素子の導通時に第1ス
イッチ素子の高電位電極5の電圧を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ランプ、LED、
インダクタなどの負荷を駆動するローサイドスイッチに
関し、特にOFF時の漏れ電流を低減することが可能で
あるスイッチに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、ランプやコイル等の負荷を駆動す
る手法として、図7に示すように負荷の低電位側にスイ
ッチを設け、そのスイッチのオン、オフにより、負荷を
駆動する方法は一般的によく用いられている。図7にお
いて、31は電源、32は例えばランプ、コイル等の負
荷、30はスイッチを示す。スイッチ30としては主に
トランジスタが用いられている。トランジスタの中で
も、ローサイドスイッチとして用いることもあり、N型
のパワーMOSFETが用いられる場合が多い。
【0003】また、上記システムを用いる場合に各種保
護機能を備えたものが一般的に用いられている。保護機
能の中で負荷ショート保護機能や過電流保護機能等を実
現するためには、負荷の低電位側の電圧、つまりMOS
FETをスイッチに用いた場合はドレイン端子の電位を
検出する必要がある。図8に、スイッチとしてMOSF
ETを用い、ドレイン端子の電圧検出機能を内蔵した従
来例を示す。
【0004】図8において、31は電源、32は例えば
ランプ、コイル等の負荷、34はシステムの入力端子で
ある。また、21は負荷32を駆動するためのスイッチ
の役割をするMOSFETである。25はMOSFET
21のドレイン電極であり、ドレイン電極25の電位を
VDとする。また、24はMOSFET21のゲート電
極であり、ゲート電極24の電位によってMOSFET
21がオン、オフ制御される。26はMOSFET21
のソース電極であり、接地される。ここで、40はスイ
ッチ部であり、それに含まれる要素は同一半導体基板で
構成することができる。
【0005】スイッチ部40において、ドレイン電極2
5とソース電極26の間には、MOSFET21と並列
に電圧検出回路22が接続される。電圧検出回路22
は、ドレイン電圧検出用抵抗として抵抗素子28(抵抗
値Ra)と抵抗素子29(抵抗値Rb)を直列に接続す
ることで、ドレイン電極25の電位VDを検出すること
が可能である。つまり、電圧検出回路22の出力信号
(電圧検出信号)23の電位Vcをモニタすれば、ドレ
イン電極25の電位VDが検出できる。VDとVcの関
係は以下のように表現できる。
【0006】Vc=Rb/(Ra+Rb)×VD つまり、VD=Vc×(Ra+Rb)/Rbで表せる。
このようにドレイン電圧を検出し、それを負荷ショート
保護機能や過電流制限機能等の各種の制御に用いる。
【0007】また、27は制御回路であり、電圧検出回
路22から出力される電圧検出信号Vcを受けてパワー
MOSFET21のゲート電極24を制御する。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来例
では、パワーMOSFET21がオフ状態の時、パワー
MOSFET21自体のリーク電流が小さくても、ドレ
イン−ソース間に接続された抵抗素子28、29を介し
て電流が流れるために、漏れ電流が流れる。流れる電流
としては、(電源電圧)/(負荷32の抵抗値+電圧検
出用抵抗素子28、29の合計抵抗値)程度の電流が流
れることになる。
【0009】漏れ電流が大きいとシステムとしての消費
電流が大きくなるという問題や、負荷がLEDである場
合、OFF状態にもかかわらず点灯してしまうという問
題が発生する。
【0010】漏れ電流を小さくするためには、電圧検出
用抵抗素子28、29の抵抗値を大きくする方法が安易
に考えられるが、電圧検出信号VcをMOSFETやト
ランジスタで受ける場合、電圧検出用抵抗素子28、2
9の抵抗値を大きくしすぎると、電圧検出信号Vcとし
て流れる電流が小さくなりすぎて、制御に不具合をきた
す可能性がある。また、抵抗を大きくするためには、チ
ップ面積も大きくなるというデメリットがある。
【0011】本発明は、上記の問題に鑑みてなされたも
のであり、その目的は、チップ面積を増大することなく
漏れ電流を低減し、負荷に対する各種保護機能を確実に
実施可能とした電圧検出回路および半導体装置を提供す
ることにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、本発明に係る電圧検出回路は、負荷への電力供給を
制御する第1スイッチ素子と並列に接続され、且つ互い
に直列に接続された第2スイッチ素子と電圧検出部とを
備え、前記第2スイッチ素子は、前記第1スイッチ素子
の高電位側に接続され、前記電圧検出部は、前記第2ス
イッチ素子の導通時に前記第1スイッチ素子の高電位電
極の電圧を検出することを特徴とする。
【0013】この電圧検出回路において、前記電圧検出
部は少なくとも2つの抵抗素子で構成され、前記抵抗素
子の抵抗分割比に基づいて前記第1スイッチ素子の高電
位電極の電圧を検出する。この場合、前記抵抗素子は前
記第1スイッチ素子と同一基板の酸化膜上に形成された
ポリシリコン抵抗であることが好ましい。
【0014】または、前記電圧検出部は少なくとも2つ
のツェナーダイオードで構成される。
【0015】また、前記第2スイッチ素子はNチャネル
MOSFETで構成される。この場合、前記Nチャネル
MOSFETのバックゲートがソースと同一電位にあ
る、あるいは接地電位にあることが好ましい。あるい
は、前記第2スイッチ素子は、バイポーラトランジス
タ、または高耐圧NチャネルMOSFETで構成され
る。
【0016】前記の目的を達成するため、本発明に係る
半導体装置は、負荷への電力供給を制御する第1スイッ
チ素子と、前記電圧検出回路と、外部からの制御信号に
応じて前記第1スイッチ素子を導通または遮断状態にす
るとともに、前記電圧検出回路から出力される電圧検出
信号に基づき、前記第1スイッチ素子を遮断状態にする
制御回路とを備えたことを特徴とする。
【0017】この半導体装置において、前記電圧検出回
路の前記第2スイッチ素子は、外部からの前記制御信号
に応じて導通または遮断状態になる。
【0018】また、前記第1スイッチ素子は、Nチャネ
ルMOSFET、絶縁ゲート型バイポーラトランジス
タ、またはバイポーラトランジスタで構成される。
【0019】また、前記第1スイッチ素子、前記第2ス
イッチ素子、および前記電圧検出回路は同一の半導体基
板内に構成されることが好ましい。
【0020】また、前記第1スイッチ素子は、N型シリ
コン基板をドレイン電極とする高耐圧Nチャネル縦型M
OSFETで構成される。
【0021】また、前記第1スイッチ素子と前記電圧検
出回路の前記第2スイッチ素子は共に、同一のN型シリ
コン基板をドレイン電極とする高耐圧Nチャネル縦型M
OSFETで構成される。
【0022】または、前記電圧検出回路の前記第2スイ
ッチ素子は、前記第1スイッチ素子に対して絶縁体によ
り電気的に絶縁された状態で、前記第1スイッチ素子と
同一の半導体基板上に構成される。
【0023】上記の構成によれば、第1スイッチ素子と
してのパワーMOSFETとは並列に、抵抗分割等でド
レイン電圧を検出する電圧検出部と、漏れ電流を低減す
るための第2スイッチ素子とを直列に接続した電圧検出
回路を設け、パワーMOSFETのオフ時には第2スイ
ッチ素子をオフし、パワーMOSFETがオン時には第
2スイッチ素子をオンすることで、パワーMOSFET
がオン時のドレイン電圧検出は正常に行われ、パワーM
OSFETがオフ時には漏れ電流を低減することができ
る。
【0024】また、電圧検出部としては、抵抗分割の他
に、複数個のツェナーダイオードを用いることもでき
る。
【0025】また、パワーMOSFETのゲート電極と
漏れ電流低減用スイッチ素子の制御電極は直接接続され
ておらず、漏れ電流低減用スイッチ素子の制御電極に
は、外部からの制御信号が直接供給され、パワーMOS
FETのゲート電極には、電圧検出回路からの電圧検出
信号が入力される制御回路を介して制御信号が供給され
る。これにより、システムとして停止状態の時は、パワ
ーMOSFETと漏れ電流低減用スイッチ素子はともに
オフ状態であるが、システムとして起動状態の時は、漏
れ電流低減用スイッチ素子は必ずオン状態にされるが、
パワーMOSFETは、制御回路によって、通常はオン
状態にされるが、電圧検出回路からの電圧検出信号に基
づき保護機能を動作させる必要がある場合には、オフ状
態に制御される。
【0026】また、パワーMOSFETと漏れ電流低減
用スイッチ素子は同一の半導体基板上に形成される。素
子の構造としては、パワーMOSFETはN型シリコン
基板上に形成された縦型のNチャネルMOSFETであ
り、漏れ電流低減用スイッチ素子はドレイン電極がパワ
ーMOSFETのドレイン電極と共通となるシリコン基
板である縦型のNチャネルMOSFETであり、そのソ
ース電極はシリコン基板表面から取り出され、同一シリ
コン基板上に構成されるドレイン電圧検出用の抵抗素子
に接続される。
【0027】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら説明する。
【0028】(第1実施形態)図1は、本発明の第1実
施形態に係る半導体装置を用いた負荷駆動回路の一例を
示す回路図である。図1に示す半導体装置10は、図7
に示すローサイドスイッチ30に各種保護機能を内蔵し
たデバイスとして構成される。システムの用途として
は、図8の従来例と同様の使用方法となる。
【0029】図1において、半導体装置10は、負荷へ
の電力供給をオン/オフするパワースイッチ素子である
NチャネルMOSFET1(第1スイッチ素子)、Nチ
ャネルMOSFET1とは並列に接続され、そのドレイ
ン電圧を検出するための電圧検出回路2、および外部か
ら半導体装置10の制御端子4に供給される制御信号と
電圧検出回路2から出力される電圧検出信号とが入力さ
れ、NチャネルMOSFET1を駆動制御し、負荷ショ
ート保護機能や過電流制限機能等を含む制御回路7とで
構成される。
【0030】電圧検出回路2は、NチャネルMOSFE
T1がオフ状態の時にドレイン端子(電極)5からソー
ス端子(電極)6へ流れる漏れ電流を低減するための漏
れ電流低減用スイッチ素子3(第2スイッチ素子)、お
よび抵抗素子8と9が直列接続され、ドレイン電圧を抵
抗分割により電圧検出信号として出力する電圧検出部2
1から構成される。
【0031】ここで、システムとしての停止状態の時、
つまり、制御端子4に論理“L”レベル信号が入力され
ている時は、NチャネルMOSFET1のゲート電極
に、制御回路7からの論理“L”レベル信号が供給され
ることで、NチャネルMOSFET1はオフ状態とな
り、電圧検出回路2の漏れ電流低減用スイッチ素子3の
ゲート電極には、制御端子4に印加された論理“L”レ
ベル信号が直接供給され、漏れ電流低減用スイッチ素子
3もオフ状態となることで、システムとして停止状態の
時に大きな漏れ電流が流れることなく、約1μA以下の
漏れ電流に抑制することが可能である。
【0032】また、システムとしての起動状態の時、つ
まり、制御端子4に論理“H”レベル信号が入力されて
いる時は、漏れ電流低減用スイッチ素子3のゲート電極
には常に論理“H”レベル信号が供給され、漏れ電流低
減用スイッチ素子3はオン状態となる。この時、電圧検
出部部21の抵抗素子8、9によりドレイン電圧を抵抗
分割した電圧検出信号11が制御回路7へ出力され、各
種保護機能動作に用いられる。NチャネルMOSFET
1の状態としては、制御回路7の出力信号により、オン
とオフ両方の状態があり得る。
【0033】ここで、補足説明として、漏れ電流低減用
スイッチ素子3を電圧検出部21の高電位側つまり、N
チャネルMOSFET1のドレイン電極側に接続する必
要があるのかを説明する。
【0034】例えば、図4に示すように、漏れ電流低減
用スイッチ素子3を電圧検出部21とソース端子6との
間に接続した場合、システムとしての起動時には、ドレ
イン電圧検出機能は正常動作する。次に、システムとし
ての停止状態を考えた場合、制御端子4へは論理“L”
レベル信号が入力され、漏れ電流低減用スイッチ素子3
はオフとなるために、電圧検出部21中の抵抗素子8と
9を通してドレイン端子5からソース端子6へは大きな
漏れ電流は流れない。
【0035】このとき、抵抗素子8と9の共通接続部か
ら出力される電圧検出信号11の電位は、ドレイン端子
5の電位とほぼ同電位まで上昇する。また、通常、電圧
検出回路2の出力を受ける制御回路7の素子は低耐圧M
OSFETのゲートであり、電圧検出回路2の出力と低
耐圧MOSFETのゲートが接続されるのが一般的であ
る。しかし、低耐圧MOSFETのゲート耐圧が低いた
めに、保護素子として低耐圧MOSFETのゲート耐圧
より低い耐圧のツェナーダイオード35を接続する必要
がある。そうすると、NチャネルMOSFET1と漏れ
電流低減用スイッチ素子3が共にオフの時に、ドレイン
端子5の電位がツェナーダイオード35の耐圧を越えた
時点から、ドレイン端子5→抵抗素子8→ツェナーダイ
オード35→ソース端子6の経路で漏れ電流が流れてし
まうことになる。
【0036】しかしながら、図1に示すように、漏れ電
流低減用スイッチ素子3を電圧検出部21とドレイン端
子5の間に接続すれば、システムとしての停止状態時
に、図4に示す構成のように電圧検出回路2の電圧検出
信号11の電位が高電位になることがないので、保護素
子としてのツェナーダイオードがなくとも良く、また、
保護素子としてのツェナーダイオードを接続していても
ドレイン電圧が高くなったときに漏れ電流が流れること
もない。
【0037】なお、第1実施形態では、パワースイッチ
素子としてNチャネルMOSFETを用いた例を示した
が、パワースイッチ素子としては、絶縁ゲート型バイポ
ーラトランジスタ(IGBT)や、通常のバイポーラト
ランジスタにより構成することも可能である。
【0038】(第2実施形態)図2は、本発明の第2実
施形態に係る半導体装置を用いた負荷駆動回路の一例を
示す回路図である。なお、図2において、図1と同一構
成要素については同一記号を付してある。
【0039】第1実施形態では、漏れ電流低減用スイッ
チ素子のバックゲートをそのソース電極に接続したが、
第2実施形態では、漏れ電流低減用スイッチ素子のバッ
クゲートをソース端子6に接続し、システムの接地電位
に落としている点で異なっている。
【0040】図2のように接続した場合、漏れ電流低減
用スイッチ素子33のバックゲート電位は、システムの
接地電位になり動作により変動することがないので、シ
ステムとしての誤動作に強くなるという利点がある。
【0041】(第3実施形態)図3は、本発明の第3実
施形態に係る半導体装置を用いた負荷駆動回路の一例を
示す回路図である。なお、図3において、図1と同一構
成要素については同一記号を付してある。
【0042】第3実施形態と第1実施形態との相違点は
電圧検出部の構成にある。本実施形態は、電圧検出を複
数個(図3では2個)のツェナーダイオード18、19
の分割により決定する方式をとる。このような構成によ
れば、ドレイン電圧検出の精度をツェナーダイオードの
精度にまで確保できるという利点がある。
【0043】(第4実施形態)図5は、本発明の第4実
施形態に係り、第1実施形態による半導体装置の回路構
成を同一の半導体基板で実現するための半導体構造を示
す断面図である。
【0044】図5において、51はパワーMOSFE
T、52は電圧検出部、53は漏れ電流低減用スイッチ
素子としてのMOSFETを示す。パワーMOSFET
51のドレイン電極はN型のシリコン基板65の裏面
(ドレイン端子55)となる。また、61はパワーMO
SFET51のゲート電極を示し、ソース電極56は表
面に取り出され、接地される。また、漏れ電流低減用ス
イッチ素子としてのMOSFET53のドレイン電極
は、パワーMOSFET51のドレイン電極と同様、N
型のシリコン基板65の裏面(ドレイン端子55)とな
る。そのゲート電極54は図の様に取り出され、システ
ムとしての制御端子へと接続される。また、MOSFE
T53のソース電極62は電圧検出部を構成する抵抗5
8へと接続される。また、抵抗素子58と抵抗素子59
が図のように接続され、抵抗素子59の他端は接地され
る。
【0045】ここで、抵抗素子58、59としては、フ
ィールド酸化膜上にポリシリコンで構成される抵抗素子
であることが望ましい。ポリシリコン抵抗を用いること
で、比較的容易に高耐圧、高抵抗の素子をパワーMOS
FET51と同一の半導体基板に構成することができ
る。
【0046】抵抗素子58と抵抗素子59を接続する電
極60から電圧検出部52の出力信号である電圧検出信
号が取り出され、図1に示す制御回路3へ接続される。
【0047】なお、図5において、パワーMOSFET
51のゲート電極61と漏れ電流低減用スイッチ素子で
あるMOSFET53のゲート電極54とは直接接続さ
れていない。
【0048】(第5実施形態)漏れ電流低減用スイッチ
素子は、パワースイッチ素子を形成する部分に対して絶
縁体、例えば酸化膜等で絶縁された箇所に形成しても良
い。パワースイッチ素子として図6に示すような縦型の
MOSFETを用いる場合、このMOSFETのドレイ
ン電極の電圧を半導体表面に取り出し、漏れ電流低減用
スイッチ素子に接続する必要がある。この手法を本発明
に係る第5実施形態として図6に示す。なお、図6にお
いて、図5と同一の構成要素については同一の記号を付
してある。
【0049】NチャネルのパワーMOSFET51のド
レイン電極61は半導体基板65の裏面電極(ドレイン
端子55)となっており、パワーMOSFET51のド
レイン電圧を取り出すために、ドレイン電圧取り出し部
66を設けている。ドレイン電圧取り出し部66の出力
電極である電圧検出電極68には、パワーMOSFET
51のドレイン電圧と同一の電圧が出力され、パワーM
OSFET51がオフ状態の時には、ドレイン電圧取り
出し部66の周辺を濃いP層で囲み、なおかつLOCO
S下をP層としないことで、耐圧はパワーMOSFET
51の耐圧と同等もしくはそれ以上となるために電流リ
ークは発生しない。
【0050】上記のようにして、電圧検出電極68を厚
い酸化膜上に形成した漏れ電流低減用スイッチ素子に接
続する。また、漏れ電流低減用スイッチ素子を酸化膜で
分離された領域に形成しても良い。
【0051】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ドレイン電圧検出を行いつつ、システム停止時の漏れ電
流を低減した、各種保護機能を内蔵したローサイドスイ
ッチを実現することができるという効果がある。
【0052】また、同一の半導体基板にパワースイッチ
素子、漏れ電流低減用スイッチ素子、および電圧検出部
を形成することで、チップ面積を低減することができる
という効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施形態に係る半導体装置を用
いた負荷駆動回路の一例を示す回路図
【図2】 本発明の第2実施形態に係る半導体装置を用
いた負荷駆動回路の一例を示す回路図
【図3】 本発明の第3実施形態に係る半導体装置を用
いた負荷駆動回路の一例を示す回路図
【図4】 本発明の第1実施形態に係る半導体装置の利
点を補足説明するための回路図
【図5】 本発明の第4実施形態に係る半導体装置の構
造を示す断面図
【図6】 本発明の第5実施形態に係る半導体装置の構
造を示す断面図
【図7】 従来の低電位スイッチによる負荷駆動回路の
概略図
【図8】 従来の半導体装置を用いた負荷駆動回路の一
例を示す図
【符号の説明】
1、51 NチャネルパワーMOSFET(第1スイッ
チ素子) 2、2’、2” 電圧検出回路 21、22、52 電圧検出部 3 制御回路 4 制御端子 5 ドレイン端子 6 ソース端子 7、53 漏れ電流低減用スイッチ素子(第2スイッチ
素子) 8、9 抵抗素子 10、20 半導体装置 11 電圧検出信号 18、19 ツェナーダイオード 54 漏れ電流低減用MOSFET53のゲート電極 58、59 ポリシリコン抵抗 60 電圧検出電極 61 パワーMOSFET51のゲート電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 21/8234 H03K 19/003 E 27/088 H01L 27/04 H 21/8238 27/06 321G 27/092 27/08 102A 29/78 656 102J 657 321L H03K 17/687 B H03K 17/695 19/003 (72)発明者 ▲高▼田 浩司 大阪府高槻市幸町1番1号 松下電子工業 株式会社内 Fターム(参考) 5F038 AV04 AV05 AV06 BH13 BH19 DF17 EZ20 5F048 AA01 AC06 AC07 AC10 BA02 BA06 BC03 BC12 BD07 BD09 BG12 BH01 CA03 CC01 CC06 CC08 CC10 CC16 CC18 CC20 5J032 AA02 AA06 AB02 AC18 5J055 AX34 AX53 AX64 BX16 CX13 DX22 DX65 EX07 EX12 EX21 EY01 EY12 EY21 EZ00 FX12 FX17 FX35 GX01 GX07

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 負荷への電力供給を制御する第1スイッ
    チ素子と並列に接続され、且つ互いに直列に接続された
    第2スイッチ素子と電圧検出部とを備え、前記第2スイ
    ッチ素子は、前記第1スイッチ素子の高電位側に接続さ
    れ、前記電圧検出部は、前記第2スイッチ素子の導通時
    に前記第1スイッチ素子の高電位電極の電圧を検出する
    ことを特徴とする電圧検出回路。
  2. 【請求項2】 前記電圧検出部は少なくとも2つの抵抗
    素子で構成され、前記抵抗素子の抵抗分割比に基づいて
    前記第1スイッチ素子の高電位電極の電圧を検出するこ
    とを特徴とする請求項1記載の電圧検出回路。
  3. 【請求項3】 前記抵抗素子は前記第1スイッチ素子と
    同一基板の酸化膜上に形成されたポリシリコン抵抗であ
    ることを特徴とする請求項2記載の電圧検出回路。
  4. 【請求項4】 前記第2スイッチ素子はNチャネルMO
    SFETで構成されることを特徴とする請求項1記載の
    電圧検出回路。
  5. 【請求項5】 前記NチャネルMOSFETのバックゲ
    ートがソースと同一電位にあることを特徴とする請求項
    4記載の電圧検出回路。
  6. 【請求項6】 前記NチャネルMOSFETのバックゲ
    ートが接地電位にあることを特徴とする請求項4記載の
    電圧検出回路。
  7. 【請求項7】 前記第2スイッチ素子はバイポーラトラ
    ンジスタで構成されることを特徴とする請求項1記載の
    電圧検出回路。
  8. 【請求項8】 前記電圧検出部は少なくとも2つのツェ
    ナーダイオードで構成されることを特徴とする請求項1
    記載の電圧検出回路。
  9. 【請求項9】 前記第2スイッチ素子は高耐圧Nチャネ
    ルMOSFETであることを特徴とする請求項1記載の
    電圧検出回路。
  10. 【請求項10】 負荷への電力供給を制御する第1スイ
    ッチ素子と、 請求項1記載の電圧検出回路と、 外部からの制御信号に応じて前記第1スイッチ素子を導
    通または遮断状態にするとともに、前記電圧検出回路か
    ら出力される電圧検出信号に基づき、前記第1スイッチ
    素子を遮断状態にする制御回路とを備えたことを特徴と
    する半導体装置。
  11. 【請求項11】 前記電圧検出回路の前記第2スイッチ
    素子は、外部からの前記制御信号に応じて導通または遮
    断状態になることを特徴とする請求項10記載の半導体
    装置。
  12. 【請求項12】 前記第1スイッチ素子はNチャネルM
    OSFETで構成されることを特徴とする請求項10記
    載の半導体装置。
  13. 【請求項13】 前記第1スイッチ素子は絶縁ゲート型
    バイポーラトランジスタで構成されることを特徴とする
    請求項10記載の半導体装置。
  14. 【請求項14】 前記第1スイッチ素子はバイポーラト
    ランジスタで構成されることを特徴とする請求項10記
    載の半導体装置。
  15. 【請求項15】 前記第1スイッチ素子、前記第2スイ
    ッチ素子、および前記電圧検出回路は同一の半導体基板
    内に構成されることを特徴とする請求項10記載の半導
    体装置。
  16. 【請求項16】 前記第1スイッチ素子は、N型シリコ
    ン基板をドレイン電極とする高耐圧Nチャネル縦型MO
    SFETで構成されることを特徴とする請求項10記載
    の半導体装置。
  17. 【請求項17】 前記第1スイッチ素子と前記電圧検出
    回路の前記第2スイッチ素子は共に、同一のN型シリコ
    ン基板をドレイン電極とする高耐圧Nチャネル縦型MO
    SFETで構成されることを特徴とする請求項10記載
    の半導体装置。
  18. 【請求項18】 前記電圧検出回路の前記第2スイッチ
    素子は、前記第1スイッチ素子に対して絶縁体により電
    気的に絶縁された状態で、前記第1スイッチ素子と同一
    の半導体基板上に構成されることを特徴とする請求項1
    0記載の半導体装置。
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