JP2002043195A - 電子部品の特性調整方法 - Google Patents
電子部品の特性調整方法Info
- Publication number
- JP2002043195A JP2002043195A JP2000226591A JP2000226591A JP2002043195A JP 2002043195 A JP2002043195 A JP 2002043195A JP 2000226591 A JP2000226591 A JP 2000226591A JP 2000226591 A JP2000226591 A JP 2000226591A JP 2002043195 A JP2002043195 A JP 2002043195A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trimming
- electronic component
- characteristic
- amount
- relationship
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 電子部品の特性調整を、生産性高くかつ歩留
まり高く行なうことができる特性調整方法を提供する。 【解決手段】 電子部品の電極表面をトリミングして特
性調整する方法において、基準サンプルを用いて予めト
リミング量と特性変化の関係を求めてトリミング基準を
作成しこれを利用することで、被調整品の特性調整は、
トリミング前の１回の特性値測定と、１回のトリミング
で行なうことを特徴とする。
まり高く行なうことができる特性調整方法を提供する。 【解決手段】 電子部品の電極表面をトリミングして特
性調整する方法において、基準サンプルを用いて予めト
リミング量と特性変化の関係を求めてトリミング基準を
作成しこれを利用することで、被調整品の特性調整は、
トリミング前の１回の特性値測定と、１回のトリミング
で行なうことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品の特性調
整方法に関し、特にレーザトリミングにより特性調整を
行なうのに好適な特性調整方法である。
整方法に関し、特にレーザトリミングにより特性調整を
行なうのに好適な特性調整方法である。
【０００２】
【従来の技術】電子部品の特性調整としては、コンデン
サや抵抗をトリミングして行なうものがよく知られてい
る。例えば特開平９−１９１２２２には、積層体表面に
形成されたコンデンサ電極を、レーザビームやサンドブ
ラストによりトリミングする方法が開示されている。こ
れは、初期特性を測定する工程と、表面の電極を予備ト
リミングする工程と、予備トリミング量と特性変化量の
関係を求め目標値に対する必要トリミング量を算出する
工程と、算出された必要トリミング量をもとに最終トリ
ミングをする工程を含んだ積層電子部品の特性調整方法
である。
サや抵抗をトリミングして行なうものがよく知られてい
る。例えば特開平９−１９１２２２には、積層体表面に
形成されたコンデンサ電極を、レーザビームやサンドブ
ラストによりトリミングする方法が開示されている。こ
れは、初期特性を測定する工程と、表面の電極を予備ト
リミングする工程と、予備トリミング量と特性変化量の
関係を求め目標値に対する必要トリミング量を算出する
工程と、算出された必要トリミング量をもとに最終トリ
ミングをする工程を含んだ積層電子部品の特性調整方法
である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記特性調整作業は、
特性の測定回数は初期特性測定と、予備トリミング後
と、チエックのための最終の合計３回、トリミングは予
備トリミングと最終トリミングの合計２回ですみ、特性
測定回数とトリミング回数を減少させることができるも
のであるが、さらなる時間短縮と、トリミングによる製
品損傷の回避及び高精度の特性調整が望まれている。従
って、本発明は、電子部品の特性調整を、生産性高くか
つ歩留まり高く行なうことができる特性調整方法を提供
することを目的としている。
特性の測定回数は初期特性測定と、予備トリミング後
と、チエックのための最終の合計３回、トリミングは予
備トリミングと最終トリミングの合計２回ですみ、特性
測定回数とトリミング回数を減少させることができるも
のであるが、さらなる時間短縮と、トリミングによる製
品損傷の回避及び高精度の特性調整が望まれている。従
って、本発明は、電子部品の特性調整を、生産性高くか
つ歩留まり高く行なうことができる特性調整方法を提供
することを目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、電子部品の電
極表面をトリミングして特性調整する方法において、基
準サンプルを用いて予めトリミング量と特性変化の関係
を求めてトリミング基準を作成しこれを利用すること
で、被調整品の特性調整は、トリミング前の１回の特性
値測定と、１回のトリミングで行なうことを特徴として
いる。また、本発明は、電子部品の電極表面をトリミン
グして特性調整する方法において、基準サンプルを用い
て予めトリミング量と特性変化の関係を求めておき、被
調整品のトリミング前の特性値を測定し、測定値と目標
特性値との差を算出し、前記トリミング量と特性変化の
関係をもとにトリミング量を決定し、決定されたトリミ
ング量だけ電極表面をトリミングすることを特徴として
いる。なお、前記発明においては、トリミング良否の検
査のために、トリミング後に特性測定をして、良品と不
良品を選別するようにするとよい。
極表面をトリミングして特性調整する方法において、基
準サンプルを用いて予めトリミング量と特性変化の関係
を求めてトリミング基準を作成しこれを利用すること
で、被調整品の特性調整は、トリミング前の１回の特性
値測定と、１回のトリミングで行なうことを特徴として
いる。また、本発明は、電子部品の電極表面をトリミン
グして特性調整する方法において、基準サンプルを用い
て予めトリミング量と特性変化の関係を求めておき、被
調整品のトリミング前の特性値を測定し、測定値と目標
特性値との差を算出し、前記トリミング量と特性変化の
関係をもとにトリミング量を決定し、決定されたトリミ
ング量だけ電極表面をトリミングすることを特徴として
いる。なお、前記発明においては、トリミング良否の検
査のために、トリミング後に特性測定をして、良品と不
良品を選別するようにするとよい。
【０００５】また、本発明は、電子部品の電極表面をト
リミングして特性調整する方法において、基準サンプル
を用いて予めトリミング量と特性変化の関係を求めてお
き、被調整品のトリミング前の特性値を測定し、測定値
と目標特性値との差を算出し、前記トリミング量と特性
変化の関係をもとに初期トリミング量を決定し、初期ト
リミング量だけ電極表面をトリミングし、初期トリミン
グ後の特性を測定し、目標特性値範囲内であるかどうか
を判定し、目標特性値範囲に達していない場合は、目標
特性値範囲に達するまで初期トリミング量より少量の微
細トリミングを繰返し行なうものである。前記発明にお
ける微細トリミングは、電極内部で境界部には達しない
線状又はスポット状のレーザ照射部で形成され、特性測
定値が所定範囲内になったことを確認して終了するよう
にすると、精度の高い特性調整ができ望ましい。前記の
発明においては、少なくとも最初のトリミングは、レー
ザをＮＣ制御して閉じた軌跡に照射し、閉じた軌跡内部
の面積が前記決定したトリミング量となるようにすると
よい。特に、電極面積が特性を定める要因の一つである
コンデンサの容量調整の場合、確実に所定の電極面積を
除去することができて好ましい。
リミングして特性調整する方法において、基準サンプル
を用いて予めトリミング量と特性変化の関係を求めてお
き、被調整品のトリミング前の特性値を測定し、測定値
と目標特性値との差を算出し、前記トリミング量と特性
変化の関係をもとに初期トリミング量を決定し、初期ト
リミング量だけ電極表面をトリミングし、初期トリミン
グ後の特性を測定し、目標特性値範囲内であるかどうか
を判定し、目標特性値範囲に達していない場合は、目標
特性値範囲に達するまで初期トリミング量より少量の微
細トリミングを繰返し行なうものである。前記発明にお
ける微細トリミングは、電極内部で境界部には達しない
線状又はスポット状のレーザ照射部で形成され、特性測
定値が所定範囲内になったことを確認して終了するよう
にすると、精度の高い特性調整ができ望ましい。前記の
発明においては、少なくとも最初のトリミングは、レー
ザをＮＣ制御して閉じた軌跡に照射し、閉じた軌跡内部
の面積が前記決定したトリミング量となるようにすると
よい。特に、電極面積が特性を定める要因の一つである
コンデンサの容量調整の場合、確実に所定の電極面積を
除去することができて好ましい。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明は、電子部品の表面電極を
トリミングして特性を調整する方法であり、以下、セラ
ミックグリーンシートを積層してなる積層電子部品の積
層コンデンサ（以下単にコンデンサと略す）１１を例
に、コンデンサ容量を調整する方法について説明する。
対象製品１の概略図を図２に示すが、コンデンサ１１
は、複数のコンデンサ（Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３）からなって
いる。製品１は、下面側にグランド電極１２、上面側に
トリミングを施すトリミング用電極１３を有する。トリ
ミング用電極１３は、コンデンサＣ１、Ｃ２、Ｃ３個別
に形成されている。なお、図２のグランド電極１２は、
コンデンサ１１に対して１個の共通電極として設けてい
るが、各コンデンサＣ１、Ｃ２、Ｃ３毎に個別としても
よい。またグランド電極１２の位置は下面に限らず側面
や上面に形成されていてもよい。以上の形態をなす製品
１のコンデンサ１１の容量値の調整は、コンデンサＣ
１、Ｃ２、Ｃ３の各トリミング用電極１３にレーザ光を
照射し、トリミングすることによって行なう。
トリミングして特性を調整する方法であり、以下、セラ
ミックグリーンシートを積層してなる積層電子部品の積
層コンデンサ（以下単にコンデンサと略す）１１を例
に、コンデンサ容量を調整する方法について説明する。
対象製品１の概略図を図２に示すが、コンデンサ１１
は、複数のコンデンサ（Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３）からなって
いる。製品１は、下面側にグランド電極１２、上面側に
トリミングを施すトリミング用電極１３を有する。トリ
ミング用電極１３は、コンデンサＣ１、Ｃ２、Ｃ３個別
に形成されている。なお、図２のグランド電極１２は、
コンデンサ１１に対して１個の共通電極として設けてい
るが、各コンデンサＣ１、Ｃ２、Ｃ３毎に個別としても
よい。またグランド電極１２の位置は下面に限らず側面
や上面に形成されていてもよい。以上の形態をなす製品
１のコンデンサ１１の容量値の調整は、コンデンサＣ
１、Ｃ２、Ｃ３の各トリミング用電極１３にレーザ光を
照射し、トリミングすることによって行なう。
【０００７】図１は、本発明を実施するためのレーザト
リミング装置の一構成図である。本装置はレーザ光をＮ
Ｃ制御する照射装置２、コンデンサの容量値を測定する
ための測定器３、測定器３に接続されコンデンサの各電
極に接触する測定端子４、データ処理機能を有し測定器
３からのデータなどを基にレーザの制御を行う制御装置
５、製品１を設置固定する治具６を備えている。製品１
は下面側に共通のグランド電極１２、上面側に複数個の
トリミング用電極１３を有するため、測定端子４は製品
１の下面側に１個、上面側にトリミング用電極１３の個
数分、本例では３個が設置され、各々の測定端子４は各
電極に当接することができる。
リミング装置の一構成図である。本装置はレーザ光をＮ
Ｃ制御する照射装置２、コンデンサの容量値を測定する
ための測定器３、測定器３に接続されコンデンサの各電
極に接触する測定端子４、データ処理機能を有し測定器
３からのデータなどを基にレーザの制御を行う制御装置
５、製品１を設置固定する治具６を備えている。製品１
は下面側に共通のグランド電極１２、上面側に複数個の
トリミング用電極１３を有するため、測定端子４は製品
１の下面側に１個、上面側にトリミング用電極１３の個
数分、本例では３個が設置され、各々の測定端子４は各
電極に当接することができる。
【０００８】次に、本発明のトリミング方法について説
明する。実際の特性調整を行なう前に、実製品１の基準
サンプルをレーザトリミング装置にセットし、各コンデ
ンサＣ１、Ｃ２、Ｃ３の容量値とトリミング面積との関
係を求めるためのトリミングを行い、データベースを構
築する。コンデンサＣ１の場合を例に、図３（ａ）に容
量値Ｃとトリミング面積ΔＡとの関係を示す。トリミン
グ面積ΔＡが増えるに従って、容量値Ｃがほぼ比例的に
低下していることが分かる。これより、コンデンサＣ１
に対するトリミング面積ΔＡと容量変化ΔＣは、図３
（ｂ）に示すような比例関係で表すことができる。これ
より、初期の容量値が分かれば、初期容量値と目標容量
値との差から、目標の容量値を得るためのトリミング面
積を算出することが可能になる。同様にして、コンデン
サＣ２、Ｃ３に関するトリミング面積ΔＡと容量変化Δ
Ｃの関係を求め、制御装置５に収納しておく。
明する。実際の特性調整を行なう前に、実製品１の基準
サンプルをレーザトリミング装置にセットし、各コンデ
ンサＣ１、Ｃ２、Ｃ３の容量値とトリミング面積との関
係を求めるためのトリミングを行い、データベースを構
築する。コンデンサＣ１の場合を例に、図３（ａ）に容
量値Ｃとトリミング面積ΔＡとの関係を示す。トリミン
グ面積ΔＡが増えるに従って、容量値Ｃがほぼ比例的に
低下していることが分かる。これより、コンデンサＣ１
に対するトリミング面積ΔＡと容量変化ΔＣは、図３
（ｂ）に示すような比例関係で表すことができる。これ
より、初期の容量値が分かれば、初期容量値と目標容量
値との差から、目標の容量値を得るためのトリミング面
積を算出することが可能になる。同様にして、コンデン
サＣ２、Ｃ３に関するトリミング面積ΔＡと容量変化Δ
Ｃの関係を求め、制御装置５に収納しておく。
【０００９】特性調整のためのトリミング操作について
説明する。被測定製品１をレーザトリミング装置にセッ
トし、測定端子４を各コンデンサＣ１、Ｃ２、Ｃ３電極
に当接し、測定器３は初期容量値Ｃ１１、Ｃ１２、Ｃ１
３を測定する。制御装置５は、得られた初期容量値と目
標の容量値Ｃ０１、Ｃ０２、Ｃ０３から、差ΔＣ１１
（＝Ｃ１１−Ｃ０１）、ΔＣ１２（＝Ｃ１２−Ｃ０
２）、ΔＣ１３（＝Ｃ１３−Ｃ０３）を算出する。次い
で、予め求めておいた各コンデンサＣ１、Ｃ２、Ｃ３毎
のトリミング面積ΔＡと容量変化ΔＣの関係から、各コ
ンデンサに対するトリミング面積ΔＡ１１、ΔＡ１２、
ΔＡ１３を求める。
説明する。被測定製品１をレーザトリミング装置にセッ
トし、測定端子４を各コンデンサＣ１、Ｃ２、Ｃ３電極
に当接し、測定器３は初期容量値Ｃ１１、Ｃ１２、Ｃ１
３を測定する。制御装置５は、得られた初期容量値と目
標の容量値Ｃ０１、Ｃ０２、Ｃ０３から、差ΔＣ１１
（＝Ｃ１１−Ｃ０１）、ΔＣ１２（＝Ｃ１２−Ｃ０
２）、ΔＣ１３（＝Ｃ１３−Ｃ０３）を算出する。次い
で、予め求めておいた各コンデンサＣ１、Ｃ２、Ｃ３毎
のトリミング面積ΔＡと容量変化ΔＣの関係から、各コ
ンデンサに対するトリミング面積ΔＡ１１、ΔＡ１２、
ΔＡ１３を求める。
【００１０】トリミングは、閉じた軌跡でトリミング用
電極１３を分離するようにして行なう。閉じた軌跡がト
リミング用電極内１３にあれば、その場所が変動しても
容量変化に影響を与えない。閉じた軌跡のパターン２０
は、例えば図４（ａ）に示す矩形状や、円状または多角
形状とすることができる。トリミング面積は閉じた線で
囲んだ面積であり、予め閉じた軌跡のパターンを決めて
おけば、求められたトリミング面積から容易に軌道は算
出することができる。例えば、矩形状パターンとする場
合、縦横寸法の最小値と最大値を設定しておきこれをも
とに計算したり、複数のトリミング面積と縦横寸法関係
を登録しておきこれをもとに計算したりするなど、いず
れも簡単な論理で行なうことができる。円状であれば一
義的に半径は計算できる。照射装置２はこの位置データ
を受け、軌道に沿ってレーザを照射しトリミングを行な
う。なお、囲まれた線の内側のトリミング用電極全てを
除去するようにしてもよい。
電極１３を分離するようにして行なう。閉じた軌跡がト
リミング用電極内１３にあれば、その場所が変動しても
容量変化に影響を与えない。閉じた軌跡のパターン２０
は、例えば図４（ａ）に示す矩形状や、円状または多角
形状とすることができる。トリミング面積は閉じた線で
囲んだ面積であり、予め閉じた軌跡のパターンを決めて
おけば、求められたトリミング面積から容易に軌道は算
出することができる。例えば、矩形状パターンとする場
合、縦横寸法の最小値と最大値を設定しておきこれをも
とに計算したり、複数のトリミング面積と縦横寸法関係
を登録しておきこれをもとに計算したりするなど、いず
れも簡単な論理で行なうことができる。円状であれば一
義的に半径は計算できる。照射装置２はこの位置データ
を受け、軌道に沿ってレーザを照射しトリミングを行な
う。なお、囲まれた線の内側のトリミング用電極全てを
除去するようにしてもよい。
【００１１】トリミング終了後、検査のための容量測定
を行ない、目標容量範囲からはずれているものは、レー
ザトリミング装置から排出した時、不良品として別途排
除する。以上説明したように、本発明では、トリミング
は１回、測定は２回だけであり、最初の測定が終了した
時点で、予め登録しておいた論理に基づいてトリミング
面積を即座に算出してトリミングを実行し、トリミング
終了後に最終検査の測定をするだけであり、調整時間を
短くすることができ、トリミングによる製品損傷の危険
性も少ない。
を行ない、目標容量範囲からはずれているものは、レー
ザトリミング装置から排出した時、不良品として別途排
除する。以上説明したように、本発明では、トリミング
は１回、測定は２回だけであり、最初の測定が終了した
時点で、予め登録しておいた論理に基づいてトリミング
面積を即座に算出してトリミングを実行し、トリミング
終了後に最終検査の測定をするだけであり、調整時間を
短くすることができ、トリミングによる製品損傷の危険
性も少ない。
【００１２】前述した方法（第１の方法と呼ぶ）は、目
標容量範囲が比較的広い場合や、大量生産部品で製造タ
クトが早いことが要求され、製品単価が安いような部品
に適用するとよいが、目標容量範囲が狭い高精度品の場
合や、特性調整工程での歩留まりが原価に大きく影響す
るような部品に対しては、前述したトリミング（以降初
期トリミングと呼ぶ）終了後に、必要に応じて微調整ト
リミングを行なう第２の方法をとるとよい。
標容量範囲が比較的広い場合や、大量生産部品で製造タ
クトが早いことが要求され、製品単価が安いような部品
に適用するとよいが、目標容量範囲が狭い高精度品の場
合や、特性調整工程での歩留まりが原価に大きく影響す
るような部品に対しては、前述したトリミング（以降初
期トリミングと呼ぶ）終了後に、必要に応じて微調整ト
リミングを行なう第２の方法をとるとよい。
【００１３】第２の方法における初期トリミングでは、
設定するトリミング面積は、前述したようにして算出し
た面積ΔＡ１１、ΔＡ１２、ΔＡ１３よりも数％小さな
値になるように補正する。これは、初期トリミング後の
容量が、目標容量値の下限以下にならないようにするた
めであり、どの程度小さな割合とするかは、目標容量範
囲、レーザ照射精度、トリミング用電極厚さバラツキ、
材質などをもとに決めればよいが、５〜１０％程度がよ
い。前記で求めた補正後のトリミング面積をもとに、閉
じた軌跡でトリミング用電極１３をトリミングする。
設定するトリミング面積は、前述したようにして算出し
た面積ΔＡ１１、ΔＡ１２、ΔＡ１３よりも数％小さな
値になるように補正する。これは、初期トリミング後の
容量が、目標容量値の下限以下にならないようにするた
めであり、どの程度小さな割合とするかは、目標容量範
囲、レーザ照射精度、トリミング用電極厚さバラツキ、
材質などをもとに決めればよいが、５〜１０％程度がよ
い。前記で求めた補正後のトリミング面積をもとに、閉
じた軌跡でトリミング用電極１３をトリミングする。
【００１４】初期トリミングを行った後、前述したと同
様容量値の測定を行ない、目標容量値範囲内であれば、
特性調整は完了とする。目標の容量値範囲より大きい場
合はそのまま微調整トリミング作業に移る。この場合の
微調整トリミングは、容量値を測定しながらトリミング
を行い、目標容量値範囲に達した時点でトリミングを終
了する。この時のトリミングパターンは、容量変化が微
小調節できて精度の高いトリミングが可能となるよう、
電極除去面積が小さい線状やスポット状とするとよい。
本例では、図４（ｂ）に示すような線状軌跡を、前述の
矩形状のトリミングパターン２０の外部に複数本形成し
た。
様容量値の測定を行ない、目標容量値範囲内であれば、
特性調整は完了とする。目標の容量値範囲より大きい場
合はそのまま微調整トリミング作業に移る。この場合の
微調整トリミングは、容量値を測定しながらトリミング
を行い、目標容量値範囲に達した時点でトリミングを終
了する。この時のトリミングパターンは、容量変化が微
小調節できて精度の高いトリミングが可能となるよう、
電極除去面積が小さい線状やスポット状とするとよい。
本例では、図４（ｂ）に示すような線状軌跡を、前述の
矩形状のトリミングパターン２０の外部に複数本形成し
た。
【００１５】前記線状トリミングは、測定値を監視する
ことにより、目標容量値範囲の所定値に達するまで順次
本数を増やして行けばよいが、当然１本でよい場合もあ
る。なお、初期トリミング後の各積層コンデンサＣ１、
Ｃ２、Ｃ３の容量値Ｃ２１、Ｃ２２、Ｃ２３を測定した
時点で、目標とする容量値Ｃ０１、Ｃ０２、Ｃ０３との
差ΔＣ２１（＝Ｃ２１−Ｃ０１）、ΔＣ２２（＝Ｃ２２
−Ｃ０２）、ΔＣ２３（＝Ｃ２３−Ｃ０３）を算出する
ことができるので、図３（ｂ）で示したトリミング面積
ΔＡと容量変化ΔＣの関係から、コンデンサＣ１，Ｃ
２、Ｃ３に対するトリミング面積ΔＡ２１、ΔＡ２２、
ΔＡ２３を求めることができる。このため、微細トリミ
ング用パターンを１回実施当たりのトリミング面積が決
まった値となるように設定した、例えば線幅、線長を決
めた線状パターンとした場合、トリミングの必要回数は
算出できる。このため、常時測定値を監視しなくても、
目標値に達する少し前のトリミングから測定するように
することができる。これにより、測定値収集に時間がか
かるような場合でも、トリミング時間を短くすることが
できる。
ことにより、目標容量値範囲の所定値に達するまで順次
本数を増やして行けばよいが、当然１本でよい場合もあ
る。なお、初期トリミング後の各積層コンデンサＣ１、
Ｃ２、Ｃ３の容量値Ｃ２１、Ｃ２２、Ｃ２３を測定した
時点で、目標とする容量値Ｃ０１、Ｃ０２、Ｃ０３との
差ΔＣ２１（＝Ｃ２１−Ｃ０１）、ΔＣ２２（＝Ｃ２２
−Ｃ０２）、ΔＣ２３（＝Ｃ２３−Ｃ０３）を算出する
ことができるので、図３（ｂ）で示したトリミング面積
ΔＡと容量変化ΔＣの関係から、コンデンサＣ１，Ｃ
２、Ｃ３に対するトリミング面積ΔＡ２１、ΔＡ２２、
ΔＡ２３を求めることができる。このため、微細トリミ
ング用パターンを１回実施当たりのトリミング面積が決
まった値となるように設定した、例えば線幅、線長を決
めた線状パターンとした場合、トリミングの必要回数は
算出できる。このため、常時測定値を監視しなくても、
目標値に達する少し前のトリミングから測定するように
することができる。これにより、測定値収集に時間がか
かるような場合でも、トリミング時間を短くすることが
できる。
【００１６】上述したように、微小トリミング工程を有
する第２の方法であっても、初期トリミング時のトリミ
ング面積を、トリミング精度に合せて適切な縮小レート
で補正すれば、初期トリミングだけで、大部分のコンデ
ンサは目標容量値範囲内に入れることができ、１回のト
リミングで済ますことができる。また、トリミング面積
設定は、トリミング面積を変えた時の容量変化の関係を
多数収集して統計処理した基準から決めるため、トリミ
ング面積と容量変化が図３で示すような比例関係にない
場合でも対応できる。なお、前述したように本発明を、
コンデンサの容量調整で説明したが、抵抗値の調整にも
適用できる。
する第２の方法であっても、初期トリミング時のトリミ
ング面積を、トリミング精度に合せて適切な縮小レート
で補正すれば、初期トリミングだけで、大部分のコンデ
ンサは目標容量値範囲内に入れることができ、１回のト
リミングで済ますことができる。また、トリミング面積
設定は、トリミング面積を変えた時の容量変化の関係を
多数収集して統計処理した基準から決めるため、トリミ
ング面積と容量変化が図３で示すような比例関係にない
場合でも対応できる。なお、前述したように本発明を、
コンデンサの容量調整で説明したが、抵抗値の調整にも
適用できる。
【００１７】
【発明の効果】本発明によれば、特性調整を１回のトリ
ミングと２回の特性測定で行なうことができ、損傷の少
ない電子部品を生産性高く製造することができる。ま
た、高精度品であっても、特性を確認しながら調整を行
なうので、歩留まり高く製造することができる。さら
に、測定時間が短く、かつ最大でも２回のトリミングで
行なうことができるので、生産性高く、損傷の少なく製
造することができる。
ミングと２回の特性測定で行なうことができ、損傷の少
ない電子部品を生産性高く製造することができる。ま
た、高精度品であっても、特性を確認しながら調整を行
なうので、歩留まり高く製造することができる。さら
に、測定時間が短く、かつ最大でも２回のトリミングで
行なうことができるので、生産性高く、損傷の少なく製
造することができる。
【図１】本発明に係わるレーザトリミング装置の構成図
【図２】特性調整を施す電子部品の一例としての積層コ
ンデンサを有する製品例
ンデンサを有する製品例
【図３】トリミング面積とコンデンサ容量変化の関係を
示す図
示す図
【図４】トリミングパターンを示す図
１ 製品 ２ レーザ照射装置 ３ 測定器 ４ 測定端子 ５ 制御装置 ６ 治具 １１ 積層コンデンサ １２ グランド電極 １３ トリミング電極 ２０ トリミングパターン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5E032 AB01 BA00 BB01 TA11 TB02 TC02 5E082 AB03 BC12 EE04 EE12 EE23 EE35 FF05 FG06 FG26 FG54 MM05 MM36 PP08
Claims (5)
- 【請求項１】 電子部品の電極表面をトリミングして特
性調整する方法において、基準サンプルを用いて予めト
リミング量と特性変化の関係を求めてトリミング基準を
作成しこれを利用することで、被調整品の特性調整は、
トリミング前の１回の特性値測定と、１回のトリミング
で行なうことを特徴とする電子部品の特性調整方法。 - 【請求項２】 電子部品の電極表面をトリミングして特
性調整する方法において、基準サンプルを用いて予めト
リミング量と特性変化の関係を求めておき、被調整品の
トリミング前の特性値を測定し、測定値と目標特性値と
の差を算出し、前記トリミング量と特性変化の関係をも
とにトリミング量を決定し、決定されたトリミング量だ
け電極表面をトリミングすることを特徴とする電子部品
の特性調整方法。 - 【請求項３】 電子部品の電極表面をトリミングして特
性調整する方法において、基準サンプルを用いて予めト
リミング量と特性変化の関係を求めておき、被調整品の
トリミング前の特性値を測定し、測定値と目標特性値と
の差を算出し、前記トリミング量と特性変化の関係をも
とに初期トリミング量を決定し、初期トリミング量だけ
電極表面をトリミングし、初期トリミング後の特性を測
定し、目標特性値範囲内であるかどうかを判定し、目標
特性値範囲に達していない場合は、目標特性値範囲に達
するまで初期トリミング量より少量の微細トリミングを
繰返し行なうことを特徴とする電子部品の特性調整方
法。 - 【請求項４】 微細トリミングは、電極内部で境界部に
は達しない線状又はスポット状のレーザ照射部で形成さ
れ、特性測定値が所定範囲内になったことを確認して終
了する請求項３記載の電子部品の特性調整方法。 - 【請求項５】 少なくとも最初のトリミングは、レーザ
をＮＣ制御して閉じた軌跡に照射し、閉じた軌跡内部の
面積が前記決定したトリミング量となるような請求項１
乃至４いずれかに記載の電子部品の特性調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000226591A JP2002043195A (ja) | 2000-07-27 | 2000-07-27 | 電子部品の特性調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000226591A JP2002043195A (ja) | 2000-07-27 | 2000-07-27 | 電子部品の特性調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002043195A true JP2002043195A (ja) | 2002-02-08 |
Family
ID=18720181
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000226591A Pending JP2002043195A (ja) | 2000-07-27 | 2000-07-27 | 電子部品の特性調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002043195A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006508551A (ja) * | 2002-11-21 | 2006-03-09 | サンマイナ エスシーアイ コーポレイション | レジスタのレーザトリミング |
| JP2011054976A (ja) * | 2002-11-21 | 2011-03-17 | Hadco Santa Clara Inc | レジスタのレーザトリミング |
-
2000
- 2000-07-27 JP JP2000226591A patent/JP2002043195A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006508551A (ja) * | 2002-11-21 | 2006-03-09 | サンマイナ エスシーアイ コーポレイション | レジスタのレーザトリミング |
| JP2011054976A (ja) * | 2002-11-21 | 2011-03-17 | Hadco Santa Clara Inc | レジスタのレーザトリミング |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP7002221B2 (ja) | 直接描画システムのためのリアルタイムの検査及び修正技術 | |
| US8515701B2 (en) | Method for detecting particulate contamination under a workpiece | |
| US20020070738A1 (en) | Semiconductor device inspecting apparatus | |
| US5010224A (en) | Very small orifice manufacturing system | |
| JP2002043195A (ja) | 電子部品の特性調整方法 | |
| US20210039323A1 (en) | Verification of additive manufacturing processes | |
| CN113532341B (zh) | 用于确定测量测量物体的测量策略的方法和设备及程序 | |
| CN108088363B (zh) | 用于自动化加工和测试齿轮部件的方法和装置 | |
| JPS6350732A (ja) | 固体圧力センサの高圧テストを行なう方法 | |
| JP4777817B2 (ja) | チップサーミスタの製造方法 | |
| JP7449581B2 (ja) | コンデンサの測定装置及びコンデンサの測定方法 | |
| CN110057330B (zh) | 一种线宽测量方法和线宽测量系统 | |
| JP4158408B2 (ja) | セラミックコンデンサの等価直列抵抗における電極抵抗および誘電体の損失の測定方法 | |
| JP3717578B2 (ja) | 四端子測定法による接続不良リードの有無判別方法 | |
| WO2007037012A1 (ja) | チャンバーマッチング方法、半導体プロセス支援装置、メンテナンス方法、メンテナンス支援装置 | |
| JP3375500B2 (ja) | 放電加工方法および放電加工装置 | |
| JP3981911B2 (ja) | 製造工程監視方法 | |
| US20040212459A1 (en) | Method for producing a layer with a predefined layer thickness profile | |
| CN110287610B (zh) | 离线量产产品工艺参数调整方法及其调整系统 | |
| JP2687540B2 (ja) | 積層型コンデンサのトリミング装置 | |
| US11585858B2 (en) | Method and device for reducing incorrect measurements during the determination of electrical parameters of electrical components | |
| JP2933272B2 (ja) | 共振器の製造方法 | |
| JP2003014808A (ja) | 基準データ作成方法および回路基板検査装置 | |
| JPH0720620Y2 (ja) | テストフィクスチュアの校正治具 | |
| JP2740925B2 (ja) | 電子部品のトリミング装置 |