JP2002039864A - 燃焼火炎温度測定方法及び分光計 - Google Patents
燃焼火炎温度測定方法及び分光計Info
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Classifications
-
- G—PHYSICS
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-
- G—PHYSICS
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 燃焼火炎温度測定用の分光計を提供する。
【解決手段】 分光計（１００）は、燃焼火炎からの光
を受ける位置に配置される少なくとも２個の光検出器で
あって、それぞれの出力信号を発生するためのオーバー
ラップする異なる光応答帯域幅を持っている少なくとも
２個の光検出器（１、２、３、４）と、前記少なくとも
２個の光検出器のうちの第１の光検出器の第１の出力信
号と前記少なくとも２個の光検出器のうちの第２の光検
出器の第２の出力信号との差を求め、この差を前記第１
及び第２の出力信号のうちの一方によって除算して正規
化出力信号を求め、この正規化出力信号を用いて燃焼火
炎温度を決定するコンピュータ（３４）とを含む。
を受ける位置に配置される少なくとも２個の光検出器で
あって、それぞれの出力信号を発生するためのオーバー
ラップする異なる光応答帯域幅を持っている少なくとも
２個の光検出器（１、２、３、４）と、前記少なくとも
２個の光検出器のうちの第１の光検出器の第１の出力信
号と前記少なくとも２個の光検出器のうちの第２の光検
出器の第２の出力信号との差を求め、この差を前記第１
及び第２の出力信号のうちの一方によって除算して正規
化出力信号を求め、この正規化出力信号を用いて燃焼火
炎温度を決定するコンピュータ（３４）とを含む。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は一般には光学的火炎
検出に関し、より具体的には、燃焼火炎温度測定用ソリ
ッドステート分光計に関する。
検出に関し、より具体的には、燃焼火炎温度測定用ソリ
ッドステート分光計に関する。
【０００２】
【発明の背景】ブラウン（Ｂｒｏｗｎ）等の米国特許第
５，５８９，６８２号（１９９６年１２月３１日発行）
に述べられるような従来の炭化ケイ素火炎検出器は、火
炎の存在を検出して、広範囲な波長に亘ってその火炎光
束の強度を測定する。しかしながら、その測定強度は火
炎温度と常に相関関係にあるとは限らず、特に複数の火
炎がある燃焼器ではその関係が成り立たない。
５，５８９，６８２号（１９９６年１２月３１日発行）
に述べられるような従来の炭化ケイ素火炎検出器は、火
炎の存在を検出して、広範囲な波長に亘ってその火炎光
束の強度を測定する。しかしながら、その測定強度は火
炎温度と常に相関関係にあるとは限らず、特に複数の火
炎がある燃焼器ではその関係が成り立たない。
【０００３】
【発明の概要】したがって、もっと直接的な温度測定手
法を得ることが望ましいということがわかる。
法を得ることが望ましいということがわかる。
【０００４】簡単に述べると、本発明の一態様に従え
ば、燃焼火炎温度測定用分光計が提供され、該分光計
は、燃焼火炎からの光を受ける位置に配置された少なく
とも２個の光検出器であって、それぞれの出力信号を発
生するためのオーバーラップする（部分的に重なり合
う）異なる光応答帯域幅を持っている少なくとも２個の
光検出器と、前記少なくとも２個の光検出器のうちの第
１の光検出器の第１の出力信号と前記少なくとも２個の
光検出器のうちの第２の光検出器の第２の出力信号との
差を求め、この差を前記第１及び第２の出力信号のうち
の一方によって除算して正規化出力信号を求め、この正
規化出力信号を用いて燃焼火炎温度を決定するコンピュ
ータとを含む。
ば、燃焼火炎温度測定用分光計が提供され、該分光計
は、燃焼火炎からの光を受ける位置に配置された少なく
とも２個の光検出器であって、それぞれの出力信号を発
生するためのオーバーラップする（部分的に重なり合
う）異なる光応答帯域幅を持っている少なくとも２個の
光検出器と、前記少なくとも２個の光検出器のうちの第
１の光検出器の第１の出力信号と前記少なくとも２個の
光検出器のうちの第２の光検出器の第２の出力信号との
差を求め、この差を前記第１及び第２の出力信号のうち
の一方によって除算して正規化出力信号を求め、この正
規化出力信号を用いて燃焼火炎温度を決定するコンピュ
ータとを含む。
【０００５】新規と信じられる本発明の特徴は添付され
た請求項に詳しく記載されている。しかしながら、本発
明自体は、構成および作動方法の両方に関し、発明のそ
のほかの目的および利点と共に、添付図面を参照した以
下の説明から最もよく理解されよう。図面において同じ
数字は同様な部品を示すものである。
た請求項に詳しく記載されている。しかしながら、本発
明自体は、構成および作動方法の両方に関し、発明のそ
のほかの目的および利点と共に、添付図面を参照した以
下の説明から最もよく理解されよう。図面において同じ
数字は同様な部品を示すものである。
【０００６】
【発明の詳しい記述】図１及び図２に、本発明の一実施
態様による燃焼火炎温度測定用の分光計１００の側断面
図及び平面図を示す。分光計１００は、燃焼火炎からの
光１４及び／又は１５を受ける位置に配置された少なく
とも２個の光検出器（例として、４個の光検出器１、
２、３及び４を示す）を含む。少なくとも２個の光検出
器の各々は、オーバーラップする（部分的に重なり合
う）異なる光応答帯域幅を持っていて、（好ましくは、
ＯＨ発光帯から）それぞれの出力信号を発生する。分光
計１００はまた、前記少なくとも２個の光検出器のうち
の第１の光検出器の第１の出力信号と前記少なくとも２
個の光検出器のうちの第２の光検出器の第２の出力信号
との差を求め、この差を前記第１及び第２の出力信号の
うちの一方によって除算して正規化出力信号を求め、こ
の正規化出力信号を用いて燃焼火炎温度を決定するコン
ピュータ３４（図８に示す）を含む。
態様による燃焼火炎温度測定用の分光計１００の側断面
図及び平面図を示す。分光計１００は、燃焼火炎からの
光１４及び／又は１５を受ける位置に配置された少なく
とも２個の光検出器（例として、４個の光検出器１、
２、３及び４を示す）を含む。少なくとも２個の光検出
器の各々は、オーバーラップする（部分的に重なり合
う）異なる光応答帯域幅を持っていて、（好ましくは、
ＯＨ発光帯から）それぞれの出力信号を発生する。分光
計１００はまた、前記少なくとも２個の光検出器のうち
の第１の光検出器の第１の出力信号と前記少なくとも２
個の光検出器のうちの第２の光検出器の第２の出力信号
との差を求め、この差を前記第１及び第２の出力信号の
うちの一方によって除算して正規化出力信号を求め、こ
の正規化出力信号を用いて燃焼火炎温度を決定するコン
ピュータ３４（図８に示す）を含む。
【０００７】この３１０ナノメートル（ｎｍ）域の波長
のＯＨ発光帯はＯＨ分子のエネルギ準位間の種々の遷移
によって生じた一連の細い輝線を含む。回転遷移および
振動遷移の両方が起こる。燃焼火炎中のＯＨ分子は熱平
衡状態にあり、燃焼火炎温度を表す発光特性を持つ。３
１０ナノメートル域のＯＨ発光帯のこれらの輝線の強度
および分布が４段階の温度について図３〜図６に示して
ある。１５００゜Ｋと３０００゜Ｋとの間の温度が代表
的なガスタービン燃焼器の火炎温度である。
のＯＨ発光帯はＯＨ分子のエネルギ準位間の種々の遷移
によって生じた一連の細い輝線を含む。回転遷移および
振動遷移の両方が起こる。燃焼火炎中のＯＨ分子は熱平
衡状態にあり、燃焼火炎温度を表す発光特性を持つ。３
１０ナノメートル域のＯＨ発光帯のこれらの輝線の強度
および分布が４段階の温度について図３〜図６に示して
ある。１５００゜Ｋと３０００゜Ｋとの間の温度が代表
的なガスタービン燃焼器の火炎温度である。
【０００８】窒化ガリウム（ＧａＮ、Ｅｇ＝３．４ｅ
Ｖ）の最大吸収波長は約３６５ナノメートルである。す
なわち、ＧａＮは３６５ナノメートル以上の波長に対し
透過性である。窒化アルミニウム（ＡｌＮ、Ｅｇ＝６．
２）の最大吸収波長は約２００ナノメートルである。Ａ
ｌX ＧａX-1 Ｎで表される、ＧａＮとＡｌＮとの合金類
は、ＧａＮとＡｌＮとの両極端の間で、その合金中のア
ルミニウム量に依存して変わるバンドギャップ幅を持つ
直接バンドギャップ幅の物質である。これらの合金より
成る半導体は価電子帯から伝導帯に直接光学的に遷移
し、これらの遷移のためにフォノンの助けを必要としな
い（これに対し、炭化ケイ素はフォノンの助けを必要と
する）。その結果、応答のカットオフ特性がシャープで
あり、したがって高分解能を与える。本発明の特定の実
施態様ではＡｌX ＧａX-1 Ｎに関して述べられている
が、他の合金も使用することができ、直接バンドギャッ
プ幅の合金が特に有効である。
Ｖ）の最大吸収波長は約３６５ナノメートルである。す
なわち、ＧａＮは３６５ナノメートル以上の波長に対し
透過性である。窒化アルミニウム（ＡｌＮ、Ｅｇ＝６．
２）の最大吸収波長は約２００ナノメートルである。Ａ
ｌX ＧａX-1 Ｎで表される、ＧａＮとＡｌＮとの合金類
は、ＧａＮとＡｌＮとの両極端の間で、その合金中のア
ルミニウム量に依存して変わるバンドギャップ幅を持つ
直接バンドギャップ幅の物質である。これらの合金より
成る半導体は価電子帯から伝導帯に直接光学的に遷移
し、これらの遷移のためにフォノンの助けを必要としな
い（これに対し、炭化ケイ素はフォノンの助けを必要と
する）。その結果、応答のカットオフ特性がシャープで
あり、したがって高分解能を与える。本発明の特定の実
施態様ではＡｌX ＧａX-1 Ｎに関して述べられている
が、他の合金も使用することができ、直接バンドギャッ
プ幅の合金が特に有効である。
【０００９】光検出器１−４（図１および図２）の配列
はＯＨ発光帯の異なるセグメントの火炎強度（光１４及
び／又は１５）の検出に用いることができる。これらの
光検出器として、たとえば、フォトダイオード又はフォ
トトランジスタを用いることができる。好ましい実施態
様においては、各光検出器は、最小光応答波長が実質的
にほぼ同じであるが最大光応答波長が異なるような、異
なったバンドギャップ幅を持つ合金を含む。
はＯＨ発光帯の異なるセグメントの火炎強度（光１４及
び／又は１５）の検出に用いることができる。これらの
光検出器として、たとえば、フォトダイオード又はフォ
トトランジスタを用いることができる。好ましい実施態
様においては、各光検出器は、最小光応答波長が実質的
にほぼ同じであるが最大光応答波長が異なるような、異
なったバンドギャップ幅を持つ合金を含む。
【００１０】たとえば、図１に関して、２個の光検出器
１及び２の各々が１つ以上の基板１０上に配置される。
一実施態様では、各々の基板は燃焼環境に耐えうる十分
に透明な物質よりなる。そのような物質については、た
とえば、約１２５ミクロンから約７５０ミクロンの範囲
の厚みを持つサファイヤがある。第１のｎ型半導体層１
１４及び２１４がアルミニウム・ガリウム窒化物を含
み、約０．５ミクロンから約５ミクロンの範囲の厚みを
持つ。元素の組合せによりＡｌ0.35Ｇａ0.65Ｎの組成を
持つ合金が得られれば、第１の半導体層の最大吸収波長
（したがって光検出器１及び２の最小光応答波長）は約
２９０ナノメートルであると立証されている。すなわ
ち、その合金は２９０ナノメートルより長い波長を実質
的に透過して２９０ナノメートルより短い波長を吸収す
る光学フィルタの役割を果たす。この実施態様では、不
純物を添加していない又は不純物を低濃度に添加した第
２のｎ型半導体層１１６及び２１６が、アルミニウムの
組成の異なるアルミニウム・ガリウム窒化物で構成さ
れ、光検出器の最大光応答波長を様々にかえると共に、
約０．１ミクロンから約１ミクロンの範囲の厚みを持
つ。図７の実施態様では、最大光応答波長は３１９ナノ
メートルから、３１４ナノメートル、３１０ナノメート
ルおよび３０６ナノメートルへ変化する。第３のｐ型半
導体層１１８及び２１８は、第２の半導体層１１６及び
２１６によって支持することができ、窒化ガリウムを含
む。図１の実施態様において、第１のコンタクト・パッ
ド１２０及び２２０が第１の半導体層１１４及び２１４
によって支持され、第２のコンタクト・パッド１２４及
び２２４が第１、第２および第３の半導体層によって支
持される。一実施態様において、この第１および第２コ
ンタクト・パッドは、たとえば、チタン、ニッケル、ア
ルミニウム又は金のような物質を含む金属、合金、又は
金属類ないしは合金類の層を含み、約１０００オングス
トロームから５０００オングストロームの範囲の厚みを
持つ。そのうえ、その第１半導体層と基板との間に窒化
アルミニウム又はアルミニウム・ガリウム窒化物のバッ
ファ層１１２および２１２を設けることができる。一実
施態様において、このバッファ層は約０．１ミクロンか
ら約１ミクロンの範囲の厚みを持つ。上述の実施態様
は、基板を介して光の照射を受けるときに最適な性能が
得られるように構成されている。第２の実施態様は（こ
れはｐ型半導体層１１８及び２１８を介しての光の照射
の場合に最適化されるが）、バッファ層１１２および２
１２並びに第１の半導体層１１４および２１４（これ
は、例えば、窒化ガリウムで構成される）を含むことが
できる。この第２の実施態様では、さらに最上部のｐ型
の第２の半導体層１１６および２１６を含んでいてよ
く、また随意選択によるｐ型の第３の半導体層１１８お
よび２１８は、活性ｐ型の第２の半導体層１１６および
２１６のアルミニウム成分よりも大きいか又は等しいア
ルミニウム成分を有するアルミニウム・ガリウム窒化物
で構成される。
１及び２の各々が１つ以上の基板１０上に配置される。
一実施態様では、各々の基板は燃焼環境に耐えうる十分
に透明な物質よりなる。そのような物質については、た
とえば、約１２５ミクロンから約７５０ミクロンの範囲
の厚みを持つサファイヤがある。第１のｎ型半導体層１
１４及び２１４がアルミニウム・ガリウム窒化物を含
み、約０．５ミクロンから約５ミクロンの範囲の厚みを
持つ。元素の組合せによりＡｌ0.35Ｇａ0.65Ｎの組成を
持つ合金が得られれば、第１の半導体層の最大吸収波長
（したがって光検出器１及び２の最小光応答波長）は約
２９０ナノメートルであると立証されている。すなわ
ち、その合金は２９０ナノメートルより長い波長を実質
的に透過して２９０ナノメートルより短い波長を吸収す
る光学フィルタの役割を果たす。この実施態様では、不
純物を添加していない又は不純物を低濃度に添加した第
２のｎ型半導体層１１６及び２１６が、アルミニウムの
組成の異なるアルミニウム・ガリウム窒化物で構成さ
れ、光検出器の最大光応答波長を様々にかえると共に、
約０．１ミクロンから約１ミクロンの範囲の厚みを持
つ。図７の実施態様では、最大光応答波長は３１９ナノ
メートルから、３１４ナノメートル、３１０ナノメート
ルおよび３０６ナノメートルへ変化する。第３のｐ型半
導体層１１８及び２１８は、第２の半導体層１１６及び
２１６によって支持することができ、窒化ガリウムを含
む。図１の実施態様において、第１のコンタクト・パッ
ド１２０及び２２０が第１の半導体層１１４及び２１４
によって支持され、第２のコンタクト・パッド１２４及
び２２４が第１、第２および第３の半導体層によって支
持される。一実施態様において、この第１および第２コ
ンタクト・パッドは、たとえば、チタン、ニッケル、ア
ルミニウム又は金のような物質を含む金属、合金、又は
金属類ないしは合金類の層を含み、約１０００オングス
トロームから５０００オングストロームの範囲の厚みを
持つ。そのうえ、その第１半導体層と基板との間に窒化
アルミニウム又はアルミニウム・ガリウム窒化物のバッ
ファ層１１２および２１２を設けることができる。一実
施態様において、このバッファ層は約０．１ミクロンか
ら約１ミクロンの範囲の厚みを持つ。上述の実施態様
は、基板を介して光の照射を受けるときに最適な性能が
得られるように構成されている。第２の実施態様は（こ
れはｐ型半導体層１１８及び２１８を介しての光の照射
の場合に最適化されるが）、バッファ層１１２および２
１２並びに第１の半導体層１１４および２１４（これ
は、例えば、窒化ガリウムで構成される）を含むことが
できる。この第２の実施態様では、さらに最上部のｐ型
の第２の半導体層１１６および２１６を含んでいてよ
く、また随意選択によるｐ型の第３の半導体層１１８お
よび２１８は、活性ｐ型の第２の半導体層１１６および
２１６のアルミニウム成分よりも大きいか又は等しいア
ルミニウム成分を有するアルミニウム・ガリウム窒化物
で構成される。
【００１１】４個の光検出器１−４を図２に示すが、本
発明によれば２個の光検出器１−２のようなより少数の
光検出器を使用することができ、また光検出器の数の上
限も無い。光検出器の数を追加すれば、装置の費用と計
算の複雑性は増すが、より正確な結果が得られる。
発明によれば２個の光検出器１−２のようなより少数の
光検出器を使用することができ、また光検出器の数の上
限も無い。光検出器の数を追加すれば、装置の費用と計
算の複雑性は増すが、より正確な結果が得られる。
【００１２】そのうえ、各光検出器の最小光応答波長が
おおむね同じであることが好ましいが、最小光応答波長
が異なる光検出器をもう１個追加する場合でも、１個以
上のフィルタ１２（図８に示す）を用いて所定の最小光
応答波長より短い波長を除去し、温度測定に使用する出
力信号群の最小光応答波長がおおむね等しくなるように
することができる。フィルタ１２は好ましくは光学フィ
ルタを含み、１つの実施態様として基板１０と光検出器
１、２、３及び４の間に位置する。
おおむね同じであることが好ましいが、最小光応答波長
が異なる光検出器をもう１個追加する場合でも、１個以
上のフィルタ１２（図８に示す）を用いて所定の最小光
応答波長より短い波長を除去し、温度測定に使用する出
力信号群の最小光応答波長がおおむね等しくなるように
することができる。フィルタ１２は好ましくは光学フィ
ルタを含み、１つの実施態様として基板１０と光検出器
１、２、３及び４の間に位置する。
【００１３】さらに、説明のため各最小光応答波長がお
おむね同じであるという観点で本発明について述べてき
たが、おおむね同じであるのが必ずしも最小光応答波長
である必要は無い。たとえば、図１にて、アルミニウム
含有量を第２半導体層１１６及び２１６でよりもむしろ
第１半導体層１１４及び２１４で変えて、各最大光応答
波長がおおむね同じになり且つ最小光応答波長がそれぞ
れ異なるようにしてもよい。出力信号群を得る方法の厳
密な説明は省くとして、本発明による出力信号群は、オ
ーバーラップする異なる光応答帯域幅を持つ光検出器に
よって発生される少なくとも２つの出力信号を含む。
「オーバーラップする異なる光応答帯域幅」とは、好ま
しくは、光応答カットオフの最小波長か又は最大波長の
いずれか一方がほぼ同じである帯域幅、もしくは、幾分
共通の光応答を持つが、最小および最大光応答カットオ
フが異なる帯域幅を含んでいることを意味する。
おむね同じであるという観点で本発明について述べてき
たが、おおむね同じであるのが必ずしも最小光応答波長
である必要は無い。たとえば、図１にて、アルミニウム
含有量を第２半導体層１１６及び２１６でよりもむしろ
第１半導体層１１４及び２１４で変えて、各最大光応答
波長がおおむね同じになり且つ最小光応答波長がそれぞ
れ異なるようにしてもよい。出力信号群を得る方法の厳
密な説明は省くとして、本発明による出力信号群は、オ
ーバーラップする異なる光応答帯域幅を持つ光検出器に
よって発生される少なくとも２つの出力信号を含む。
「オーバーラップする異なる光応答帯域幅」とは、好ま
しくは、光応答カットオフの最小波長か又は最大波長の
いずれか一方がほぼ同じである帯域幅、もしくは、幾分
共通の光応答を持つが、最小および最大光応答カットオ
フが異なる帯域幅を含んでいることを意味する。
【００１４】オーバーラップする波長領域内での応答の
大きさが実質的に同じでない場合、一実施態様では、オ
ーバーラップ領域内で大きさを補正するように較正処理
を行うことができる。補正係数は、波長がオーバーラッ
プ領域内にある１つ又はそれ以上の狭い帯域の光で光検
出器を照射することにより決定することができる。この
補正係数をコンピュータで使用して、応答の大きさがオ
ーバーラップ領域内でほぼ同じになるようにすることが
できる。
大きさが実質的に同じでない場合、一実施態様では、オ
ーバーラップ領域内で大きさを補正するように較正処理
を行うことができる。補正係数は、波長がオーバーラッ
プ領域内にある１つ又はそれ以上の狭い帯域の光で光検
出器を照射することにより決定することができる。この
補正係数をコンピュータで使用して、応答の大きさがオ
ーバーラップ領域内でほぼ同じになるようにすることが
できる。
【００１５】少なくとも２つの出力信号群の一方から他
方を減じることにより、それらの２つの最大波長の間の
スペクトル輝線の強度が求められる。たとえば、図７で
各光検出器の出力信号にＡ、Ｂ、Ｃ及びＤと符号をつけ
てある。出力信号Ａから出力信号Ｂを減じた場合、その
結果生じる３１４〜３１９ナノメートルの範囲の波長域
のセグメント信号の信号強度が、コンピュータ３４によ
って、コンピュータ内のルックアップ・テーブル（これ
は図３〜図６のような曲線の積分をもとにグラフの形ま
たは数値の形で作成される）と比較され、これにより温
度を決定することができる。
方を減じることにより、それらの２つの最大波長の間の
スペクトル輝線の強度が求められる。たとえば、図７で
各光検出器の出力信号にＡ、Ｂ、Ｃ及びＤと符号をつけ
てある。出力信号Ａから出力信号Ｂを減じた場合、その
結果生じる３１４〜３１９ナノメートルの範囲の波長域
のセグメント信号の信号強度が、コンピュータ３４によ
って、コンピュータ内のルックアップ・テーブル（これ
は図３〜図６のような曲線の積分をもとにグラフの形ま
たは数値の形で作成される）と比較され、これにより温
度を決定することができる。
【００１６】基板１０（又は光学窓）が燃焼環境によっ
て汚れた場合、各波長帯の信号がそれぞれ比例して低下
するので、基板または光学窓の状態にかかわらず信号強
度は温度を正確に表し、この測定系は自己補償型になっ
ている。
て汚れた場合、各波長帯の信号がそれぞれ比例して低下
するので、基板または光学窓の状態にかかわらず信号強
度は温度を正確に表し、この測定系は自己補償型になっ
ている。
【００１７】前述のように、光検出器を追加することに
よって精度は増加する。たとえば、光検出器を３個使用
して、信号の減算を２回行うと（Ａ−ＢおよびＢ−
Ｃ）、ルックアップ・テーブルで使用し測定温度が得ら
れるデータが追加される。帯域幅の広い出力信号から帯
域幅の狭い出力信号を減じることが好ましいが、そのよ
うな方針は決定的なものではない。そのうえ、精度上
は、Ａ−Ｂ、Ｂ−Ｃ、およびＣ−Ｄのように隣接する出
力信号間の差し引きによるセグメント信号を測定するこ
とが好ましいが、Ａ−Ｃ又はＢ−Ｄのように隣接してい
ない出力信号間のセグメント信号を用いることもでき
る。
よって精度は増加する。たとえば、光検出器を３個使用
して、信号の減算を２回行うと（Ａ−ＢおよびＢ−
Ｃ）、ルックアップ・テーブルで使用し測定温度が得ら
れるデータが追加される。帯域幅の広い出力信号から帯
域幅の狭い出力信号を減じることが好ましいが、そのよ
うな方針は決定的なものではない。そのうえ、精度上
は、Ａ−Ｂ、Ｂ−Ｃ、およびＣ−Ｄのように隣接する出
力信号間の差し引きによるセグメント信号を測定するこ
とが好ましいが、Ａ−Ｃ又はＢ−Ｄのように隣接してい
ない出力信号間のセグメント信号を用いることもでき
る。
【００１８】３１０ナノメートル（ｎｍ）波長域のＯＨ
発光帯は、この波長領域で信号強度が強く、１１００゜
Ｃもの高温な燃焼器壁（図示してない）に関する黒体放
射に起因する干渉がほとんどないことから、有効であ
る。発光帯としてはＯＨの発光帯が好ましいが、この原
理は他のスペクトル帯に適用することができる。
発光帯は、この波長領域で信号強度が強く、１１００゜
Ｃもの高温な燃焼器壁（図示してない）に関する黒体放
射に起因する干渉がほとんどないことから、有効であ
る。発光帯としてはＯＨの発光帯が好ましいが、この原
理は他のスペクトル帯に適用することができる。
【００１９】図８は本発明の実施態様による図１および
図２の光検出器の分析手法のブロック線図であり、検出
器１−２を例示している。もし望ましいのであれば、い
くつかの検出器の信号を合波して１つの増幅器３０に送
るか、又はいくつかの別々の増幅器１３０及び２３０を
使用して信号を増幅することができる。好ましくはアナ
ログ式演算増幅器で増幅を行う。これらの信号は次に単
一のアナログ−デジタル（Ａ／Ｄ）変換器３２か又は別
々のＡ／Ｄ変換器１３２及び２３２によってディジタル
信号に変換される。
図２の光検出器の分析手法のブロック線図であり、検出
器１−２を例示している。もし望ましいのであれば、い
くつかの検出器の信号を合波して１つの増幅器３０に送
るか、又はいくつかの別々の増幅器１３０及び２３０を
使用して信号を増幅することができる。好ましくはアナ
ログ式演算増幅器で増幅を行う。これらの信号は次に単
一のアナログ−デジタル（Ａ／Ｄ）変換器３２か又は別
々のＡ／Ｄ変換器１３２及び２３２によってディジタル
信号に変換される。
【００２０】一実施態様では、例えば、これらの出力信
号の差をコンピュータ３４の減算部１３６により求め、
次いで除算器１３８を用いて、この差を出力信号のうち
の１つの信号で除算することにより正規化出力信号を求
める。より具体的な実施態様では、出力信号のうちの大
きい方の信号から出力信号のうちの小さい方の信号を減
算し、該大きい方の信号で除算を行う。
号の差をコンピュータ３４の減算部１３６により求め、
次いで除算器１３８を用いて、この差を出力信号のうち
の１つの信号で除算することにより正規化出力信号を求
める。より具体的な実施態様では、出力信号のうちの大
きい方の信号から出力信号のうちの小さい方の信号を減
算し、該大きい方の信号で除算を行う。
【００２１】正規化出力信号を求めた後、コンピュータ
３４がルックアップ・テーブル４０を用いて燃焼火炎温
度を決定することができる。この温度ルックアップ・テ
ーブルは図３〜図６に示すような各曲線のセグメント内
で正規化出力信号の算出に基づくものにすることができ
る。前述のように、追加のデータ部分は精度の増加をも
たらす。
３４がルックアップ・テーブル４０を用いて燃焼火炎温
度を決定することができる。この温度ルックアップ・テ
ーブルは図３〜図６に示すような各曲線のセグメント内
で正規化出力信号の算出に基づくものにすることができ
る。前述のように、追加のデータ部分は精度の増加をも
たらす。
【００２２】増幅やＡ／Ｄ変換のためにマルチプレクサ
が用いられる場合、コンピュータは減算および除算処理
に先立ち各出力信号を保存する記憶装置を含むことにな
る。また、減算処理および除算処理の前および後にコン
ピュータで長時間出力信号を平均化して、ノイズの影響
を低減するようにすることはさらに有益である。このよ
うな時間平均化は、たとえば、数時間のオーダー又は数
日のオーダーで行ってよい。
が用いられる場合、コンピュータは減算および除算処理
に先立ち各出力信号を保存する記憶装置を含むことにな
る。また、減算処理および除算処理の前および後にコン
ピュータで長時間出力信号を平均化して、ノイズの影響
を低減するようにすることはさらに有益である。このよ
うな時間平均化は、たとえば、数時間のオーダー又は数
日のオーダーで行ってよい。
【００２３】他の実施態様においては、この測定系が火
炎吹き消え又は着火をすばやく検知できるように設計す
ることができる。火炎の存在と平均温度に関する情報は
即時にコンピュータの制御系に伝えることができる。燃
料−空気比を最適化して燃焼で生じる窒素酸化物および
一酸化炭素の排出を最小にするために閉ループ制御を用
いることができる。
炎吹き消え又は着火をすばやく検知できるように設計す
ることができる。火炎の存在と平均温度に関する情報は
即時にコンピュータの制御系に伝えることができる。燃
料−空気比を最適化して燃焼で生じる窒素酸化物および
一酸化炭素の排出を最小にするために閉ループ制御を用
いることができる。
【００２４】この明細書では本発明のある特定の好まし
い特徴だけを例示し説明してきたが、多くの変更態様お
よび改造が当業者に思い浮かぶであろう。それゆえ、特
許請求の範囲は本発明の本来の精神の中に入るような変
更態様および改造をすべて網羅するものであることを理
解されたい。
い特徴だけを例示し説明してきたが、多くの変更態様お
よび改造が当業者に思い浮かぶであろう。それゆえ、特
許請求の範囲は本発明の本来の精神の中に入るような変
更態様および改造をすべて網羅するものであることを理
解されたい。
【図１】本発明の一実施態様により用いられる光検出器
の側断面図である。
の側断面図である。
【図２】本発明の一実施態様により用いられる光検出器
の平面図である。
の平面図である。
【図３】異なる温度におけるＯＨ発光の線強度および分
布を示すグラフである。
布を示すグラフである。
【図４】異なる温度におけるＯＨ発光の線強度および分
布を示すグラフである。
布を示すグラフである。
【図５】異なる温度におけるＯＨ発光の線強度および分
布を示すグラフである。
布を示すグラフである。
【図６】異なる温度におけるＯＨ発光の線強度および分
布を示すグラフである。
布を示すグラフである。
【図７】図１および図２の光検出器の光応答の最大波長
例を示すグラフである。
例を示すグラフである。
【図８】本発明の実施態様による図１および図２の光検
出器の出力を分析する手法のブロック図である。
出器の出力を分析する手法のブロック図である。
１、２、３、４ 光検出器 １０ 基板 １２ フィルタ １４、１５ 光 ３０ 増幅器 ３２ アナログ−ディジタル変換器 ３４ コンピュータ １００ 分光計 １１４、２１４ 第１のｎ型半導体層 １１６、２１６ 第２のｎ型半導体層 １１８、２１８ 第３のｐ型半導体層 １２０、２２０ 第１のコンタクト・パッド １２４、２２４ 第２のコンタクト・パッド １１２、２１２ バッファ層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０１Ｊ 5/28 Ｇ０１Ｊ 5/28 Ｆターム(参考） 2G020 AA05 BA13 CD04 CD24 CD34 CD37 2G065 AA04 AB05 AB18 BA02 BA34 BB27 BC16 BC35 CA08 DA06 2G066 AA04 AA15 AC14 BA13 BA23 BB01
Claims (14)
- 【請求項１】 燃焼火炎温度測定用の分光計（１００）
であって、 燃焼火炎からの光を受ける位置に配置される少なくとも
２個の光検出器であって、それぞれの出力信号を発生す
るためのオーバーラップする異なる光応答帯域幅を持っ
ている少なくとも２個の光検出器（１、２、３、４）
と、 前記少なくとも２個の光検出器のうちの第１の光検出器
の第１の出力信号と前記少なくとも２個の光検出器のう
ちの第２の光検出器の第２の出力信号との差を求め、こ
の差を前記第１及び第２の出力信号のうちの一方によっ
て除算して正規化出力信号を求め、この正規化出力信号
用いて燃焼火炎温度を決定するコンピュータ（３４）
と、を含んでいる燃焼火炎温度測定用分光計。 - 【請求項２】 前記光検出器の各々がＯＨ発光帯から出
力信号を発生する、請求項１記載の分光計。 - 【請求項３】 前記の第１及び第２の出力信号の差を求
めることが、前記第１及び第２の出力信号のうちの大き
い方の信号から前記第１及び第２の出力信号のうちの小
さい方の信号を減算することよりなり、前記差を前記第
１及び第２の出力信号のうちの一方によって除算するこ
とが、前記差を前記第１及び第２の出力信号のうちの大
きい方の信号で除算することよりなる、請求項２記載の
分光計。 - 【請求項４】 前記少なくとも２個の光検出器の各々が
ほぼ同じ最小又は最大光応答波長を有している、請求項
１記載の分光計。 - 【請求項５】 さらに、前記少なくとも２個の光検出器
の各々が異なる最小又は最大光応答波長を有するように
前記光検出器の少なくとも１個の光検出器の波長応答性
を変更する光学フィルタ（１２）を含んでいる、請求項
１記載の分光計。 - 【請求項６】 前記コンピュータは、前記正規化出力信
号用いて燃焼火炎温度を決定するためのルックアップ・
テーブルを含んでいる、請求項１記載の分光計。 - 【請求項７】 前記少なくとも２個の光検出器の各々
は、 アルミニウム・ガリウム窒化物を含む第１の半導体層
（１１４、２１４）と、 前記第１の半導体層によって支持された第１のコンタク
ト・パッド（１２０、２２０）と、 前記第１の半導体層によって支持された、アルミニウム
・ガリウム窒化物を含む第２の半導体層（１１６、２１
６）と、 前記第１及び第２の半導体層によって支持された第２の
コンタクト・パッド（１２４、２２４）と、を含み、 前記少なくとも２個の光検出器のそれぞれの第１及び第
２の半導体層は異なるレベルのアルミニウムを含んでい
る、請求項１記載の分光計。 - 【請求項８】 燃焼火炎温度測定用の分光計（１００）
であって、 燃焼火炎からの光を受ける位置に配置される少なくとも
２個の光検出器であって、ＯＨ発光帯からそれぞれの出
力信号を発生するためのオーバーラップする異なる光応
答帯域幅を持っている少なくとも２個の光検出器（１、
２、３、４）と、 前記少なくとも２個の光検出器のうちの第１の光検出器
の第１の出力信号と前記少なくとも２個の光検出器のう
ちの第２の光検出器の第２の出力信号との差を求め、こ
の差を前記第１の出力信号によって除算して正規化出力
信号を求め、ルックアップ・テーブルを用いることによ
り前記正規化出力信号を用いて燃焼火炎温度を決定する
ためのるコンピュータ（３４）と、を含んでいる燃焼火
炎温度測定用分光計。 - 【請求項９】 燃焼火炎温度を測定する方法であって、 燃焼火炎からの光を検出して、オーバーラップする異な
る光帯域幅を持つ燃焼火炎から少なくとも２つの出力信
号を得る工程と、 第１の出力信号と第２の出力信号との差を求める工程
と、 前記差を前記第１及び第２の出力信号のうちの一方によ
って除算して正規化出力信号を求める工程と、 前記正規化出力信号を用いて燃焼火炎温度を決定する工
程と、 を含んでいる燃焼火炎温度測定方法。 - 【請求項１０】 前記少なくとも２つの出力信号がＯＨ
発光帯から得られる、請求項９記載の方法。 - 【請求項１１】 前記第１及び第２の出力信号の差を求
めることが、前記第１及び第２の出力信号のうちの大き
い方の信号から前記第１及び第２の出力信号のうちの小
さい方の信号を減算することよりなり、前記差を前記第
１及び第２の出力信号のうちの一方によって除算するこ
とが、前記差を前記第１及び第２の出力信号のうちの大
きい方の信号で除算することよりなる、請求項１０記載
の方法。 - 【請求項１２】 前記少なくとも２つの出力信号を得る
ことが、検出した光の少なくとも幾分かをフィルタリン
グすることを含んでいる、請求項１０記載の方法。 - 【請求項１３】 前記燃焼火炎温度を決定することが、
ルックアップ・テーブルを用いることを含んでいる、請
求項１０記載の方法。 - 【請求項１４】 燃焼火炎温度測定用の分光計（１０
０）であって、 オーバーラップする異なる光帯域幅を持つＯＨ発光帯か
ら燃焼火炎を表す少なくとも２つの出力信号を得る手段
と、 第１及び第２の出力信号の一方を他方から減算してセグ
メント信号を求める手段と、 前記セグメント信号を前記第１の出力信号によって除算
して正規化出力信号を求める手段と、 前記正規化出力信号を用いて燃焼火炎温度を決定する手
段と、を含んでいる燃焼火炎温度測定用分光計。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US09/561,885 US6350988B1 (en) | 1999-02-08 | 2000-05-01 | Optical spectrometer and method for combustion flame temperature determination |
| US09/561885 | 2000-05-01 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002039864A true JP2002039864A (ja) | 2002-02-06 |
| JP2002039864A5 JP2002039864A5 (ja) | 2008-06-19 |
Family
ID=24243889
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001130536A Pending JP2002039864A (ja) | 2000-05-01 | 2001-04-27 | 燃焼火炎温度測定方法及び分光計 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6350988B1 (ja) |
| EP (1) | EP1154248B1 (ja) |
| JP (1) | JP2002039864A (ja) |
| DE (1) | DE60121095T2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005045379A1 (ja) * | 2003-11-05 | 2005-05-19 | Yamatake Corporation | 火炎検知方法および火炎検知装置 |
| KR101804191B1 (ko) | 2015-12-04 | 2017-12-04 | 인천대학교 산학협력단 | 초음파를 이용한 가스터빈 연소상태진단장치 |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6784430B2 (en) * | 1999-02-08 | 2004-08-31 | General Electric Company | Interdigitated flame sensor, system and method |
| US7112796B2 (en) * | 1999-02-08 | 2006-09-26 | General Electric Company | System and method for optical monitoring of a combustion flame |
| US6947802B2 (en) * | 2000-04-10 | 2005-09-20 | Hypertherm, Inc. | Centralized control architecture for a laser materials processing system |
| US6838741B2 (en) * | 2002-12-10 | 2005-01-04 | General Electtric Company | Avalanche photodiode for use in harsh environments |
| US6914246B2 (en) | 2003-03-27 | 2005-07-05 | Gas Technology Institute | Method and apparatus for spatially resolving flame temperatures using ultraviolet light emission |
| US7186947B2 (en) * | 2003-03-31 | 2007-03-06 | Hypertherm, Inc. | Process monitor for laser and plasma materials processing of materials |
| US20070012965A1 (en) * | 2005-07-15 | 2007-01-18 | General Electric Company | Photodetection system and module |
| EP2010876A1 (de) * | 2006-04-13 | 2009-01-07 | Lüdeker, Wilhelm | Spektrales analyseverfahren zur bestimmung der chlorophyllkonzentration |
| DK176996B1 (da) * | 2007-12-21 | 2010-11-01 | Intes As | Branddetektionssystem og fremgangsmåde til tidlig detektion af brand |
| US8752362B2 (en) * | 2009-01-15 | 2014-06-17 | General Electric Company | Optical flame holding and flashback detection |
| US8456634B2 (en) * | 2009-06-15 | 2013-06-04 | General Electric Company | Optical interrogation sensors for combustion control |
| US20110008737A1 (en) * | 2009-06-15 | 2011-01-13 | General Electric Company | Optical sensors for combustion control |
| US20110232296A1 (en) * | 2010-03-24 | 2011-09-29 | General Electric Company | Optical fuel nozzle flashback detector |
| US9366433B2 (en) * | 2010-09-16 | 2016-06-14 | Emerson Electric Co. | Control for monitoring flame integrity in a heating appliance |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6036825A (ja) * | 1983-08-10 | 1985-02-26 | Hitachi Ltd | 燃焼火炎の制御方法および装置 |
| JPH03202732A (ja) * | 1989-06-13 | 1991-09-04 | Sharp Corp | カラーセンサ |
| JPH0682312A (ja) * | 1992-08-31 | 1994-03-22 | Nippon Avionics Co Ltd | 赤外線熱画像装置 |
| JPH10160579A (ja) * | 1996-11-29 | 1998-06-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 温度測定装置およびそれを用いた基板熱処理装置 |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5927581A (ja) * | 1982-08-03 | 1984-02-14 | Seisan Gijutsu Shinko Kyokai | 光センサ |
| DE3839537A1 (de) * | 1988-11-23 | 1990-05-31 | Deutsch Franz Forsch Inst | Verfahren zur leistungsmessung einer strahlung und anordnung zur durchfuehrung dieses verfahrens |
| CH684971A5 (de) * | 1989-03-16 | 1995-02-15 | Landis & Gyr Tech Innovat | Ultraviolettlicht-Sensor. |
| DE3930610A1 (de) | 1989-09-13 | 1991-03-21 | Esab Hancock Gmbh | Einrichtung zur optisch-elektronischen steuerung einer brennschneidmaschine |
| US5125739A (en) | 1991-01-14 | 1992-06-30 | United Technologies Corporation | Triple spectral area pyrometer |
| US5394005A (en) | 1992-05-05 | 1995-02-28 | General Electric Company | Silicon carbide photodiode with improved short wavelength response and very low leakage current |
| US5257496A (en) | 1992-05-05 | 1993-11-02 | General Electric Company | Combustion control for producing low NOx emissions through use of flame spectroscopy |
| US5480298A (en) | 1992-05-05 | 1996-01-02 | General Electric Company | Combustion control for producing low NOx emissions through use of flame spectroscopy |
| US5249954A (en) | 1992-07-07 | 1993-10-05 | Electric Power Research Institute, Inc. | Integrated imaging sensor/neural network controller for combustion systems |
| JPH0732538A (ja) | 1993-07-19 | 1995-02-03 | Nkk Corp | 溶接可能な着色アルミニウム板または着色アルミニウム合金板 |
| US5467185A (en) | 1994-07-15 | 1995-11-14 | General Electric Company | Emissions control for internal combustion engine |
| US5544478A (en) | 1994-11-15 | 1996-08-13 | General Electric Company | Optical sensing of combustion dynamics |
| US5589682A (en) | 1995-06-07 | 1996-12-31 | General Electric Company | Photocurrent detector circuit with high sensitivity, fast response time, and large dynamic range |
| US5834331A (en) | 1996-10-17 | 1998-11-10 | Northwestern University | Method for making III-Nitride laser and detection device |
| US6104074A (en) | 1997-12-11 | 2000-08-15 | Apa Optics, Inc. | Schottky barrier detectors for visible-blind ultraviolet detection |
| US6239434B1 (en) * | 1999-02-08 | 2001-05-29 | General Electric Company | Solid state optical spectrometer for combustion flame temperature measurement |
-
2000
- 2000-05-01 US US09/561,885 patent/US6350988B1/en not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-04-20 EP EP01303641A patent/EP1154248B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-04-20 DE DE60121095T patent/DE60121095T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-04-27 JP JP2001130536A patent/JP2002039864A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6036825A (ja) * | 1983-08-10 | 1985-02-26 | Hitachi Ltd | 燃焼火炎の制御方法および装置 |
| JPH03202732A (ja) * | 1989-06-13 | 1991-09-04 | Sharp Corp | カラーセンサ |
| JPH0682312A (ja) * | 1992-08-31 | 1994-03-22 | Nippon Avionics Co Ltd | 赤外線熱画像装置 |
| JPH10160579A (ja) * | 1996-11-29 | 1998-06-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 温度測定装置およびそれを用いた基板熱処理装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005045379A1 (ja) * | 2003-11-05 | 2005-05-19 | Yamatake Corporation | 火炎検知方法および火炎検知装置 |
| KR101804191B1 (ko) | 2015-12-04 | 2017-12-04 | 인천대학교 산학협력단 | 초음파를 이용한 가스터빈 연소상태진단장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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