JP5580877B2 - 帯域通過フィルタを用いたセンサ - Google Patents

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Description

本発明は、フィルタ構成と、フィルタ構成の下流側に配置された検出器構成と、検出器構成に接続された評価デバイスとを有するセンサに関し、フィルタ構成は、第1の所定の帯域すなわち被疑帯域の通過を許す帯域通過フィルタとして構成された、少なくとも1つの第1のフィルタすなわち被疑フィルタと、第2の所定の帯域(1つまたは複数)すなわち基準帯域(1つまたは複数)の通過を許す帯域通過フィルタとして構成された、少なくとも1つの第2のフィルタすなわち基準フィルタ(1つまたは複数)とを有し、検出器構成は、フィルタの少なくとも1つに関連付けられた少なくとも1つの検出器を有する。帯域通過基準フィルタは、被疑フィルタの帯域通過の上および下に分布する。センサはIR帯域内で利用することが好ましく、またセンサはCO2を検出するために用いることができる。
ガス・センサとして構成されたこのようなセンサは、たとえば米国特許第5,081,998号により知られている。それには、フィルタ構成として合計4つの検出器に対して働く、IR放射源が示される。フィルタ構成は、異なる通過特性を有する2つのフィルタを有する。第1のフィルタは、CO2によって吸収されるIR放射に対する通過帯域を有する。したがってこのフィルタはまた、「CO2フィルタ」と呼ばれる。下流側に配置された検出器は、CO2検出器と呼ばれる。他のフィルタは、それと異なる通過帯域を有し、基準量を求める働きをする。その基準フィルタの下流側に配置された検出器は、基準検出器と呼ばれる。IR源と2つのフィルタの間には、ナチュラル・デンシティ・フィルタと呼ばれ、第1のフィルタの半分と第2のフィルタの半分に重なる第3のフィルタが配置される。したがって2つのCO2検出器の1つ、および基準検出器の1つは、ナチュラル・デンシティ・フィルタと、CO2フィルタまたは基準フィルタのいずれかとの両方を通過したIR放射のみを受け取る。評価デバイスでは、2つのCO2検出器の出力信号の差、および2つの基準検出器の差が形成される。これらの2つの差は、次いで互いに除算される。このようなCO2センサは、たとえば、麻酔時に患者をより良く監視できるようにするために、患者の呼気内のCO2を求めるために必要となる。
このようなセンサの欠点は、それらが比較的大きな電力要件を有することであり、もう1つの欠点は必要な検出器の数である。米国特許第5,081,998号により知られる構成は、放射の発生源を必要とし、長期の使用の場合には、電池式の使用には不向きとなる。さらにこのようなIR源は一般に、一定の昇温期間を必要とし、ある程度の事前準備なしでは、必要なときに測定を行うことが常に可能ではない。
本発明の基礎をなす問題は、米国特許出願公開第2008/0283753号に記載のセンサで紹介されるIRセンサの使用を簡単にすることであり、同明細書では、第1のフィルタの通過帯域は、第2のフィルタの通過帯域内に配置され、評価デバイスは、検出器の信号の差を形成し、それを検出器の信号に対して正規化する。
この構成は、大幅により多くのIR放射を評価することを可能にする。したがってIR放射は、各検出器が1つの領域しか検出しない2つの別々の領域に分割されない。代わりに、一方の検出器は、たとえばここではCO2である求められるガスの吸収スペクトルも含む、予め設定されたスペクトル領域を有するIR放射を検出する。他方の検出器はその部分領域からIRスペクトルを検出し、これは求められるガスの吸収スペクトルを含まない。差を検出器の出力信号に対して正規化することにより、IR放射の強度の変動を補償することが可能となる。また、2つより多いセンサを用い、それに対応してフィルタの数を増やし、次いでそれにしたがって個々の通過幅を重ねることが可能である。このようなセンサを用いて、たとえば温度、室内の動き、室内の人数などに関係する他の情報を得ることも可能になる。大幅により多くの放射を検出することが可能であるので、電力消費を低減でき、それにより必要な電力を電池によって供給することもできる。それにより、構内の設置および使用の点から、より大きな自由度をもたらす。センサは、その信号を無線で送信することができる。
第1のフィルタの通過帯域は、第2のフィルタの通過帯域より大きいことが好ましい。したがって第1のフィルタは、第2のフィルタによって通過が許されるスペクトル領域を含むのに加えて、IR放射が吸収されるスペクトル領域も含む。
好ましくは、2つのフィルタは、共通の遮断波長を有する。それにより評価が簡単になる。その場合は、検出器の出力信号の間の差は、追加の計算ステップを必要とせずに容易に形成することができる。遮断波長は、通過帯域を規定する、すなわち制限する波長である。これらは、「下限波長」および「上限波長」と呼ばれる。
いかに知られた状況であっても、放射体の放射の大きさおよびスペクトル分布は、放射体の温度に対する依存性を有する。これは、良く知られた放射のプランクの分布によって与えられる。放射体の温度が与えられると、プランク曲線は波長に対する放射の依存性を与え、プランク曲線はある波長にて最大放射を有し、最大放射値、および最大放射の波長は温度に依存する。
たとえば、米国特許出願公開第2008/0283753号で述べられるもののように、センサ・システムにおいて自然源を用いると、フィルタの通過帯域が、波長の帯域にわたってエネルギー(換言すれば、放射強度密度)において変化することになる。
この構成は、光源の放射の強度の変化を補償することができるが、たとえば光源の温度変化に対応することができない。
本発明の1つの目的は、現在のセンサのこれらの問題点を解決する方法、およびその解決策を利用したセンサをもたらすことである。
本発明は、下限波長および上限波長の両方が異なるという点で、被疑フィルタおよび基準フィルタ(1つまたは複数)が異なる遮断波長を有するということを導入することにより、これらの問題を解決する。「下限波長」は、そこからはフィルタが放射の通過を許す最も低い波長であり、「上限波長」は、下限波長より高く、そこからはフィルタが放射の通過を遮断する最も高い波長である。
被疑フィルタの許される波長の領域は、以下では「被疑帯域」と呼ばれ、基準フィルタ(1つまたは複数)の許される波長は、以下では「基準帯域(1つまたは複数)」と呼ばれる。
上記のように、本発明における被疑下限波長は、基準下限波長(1つまたは複数)とは異なり、被疑上限波長は、基準上限波長(1つまたは複数)とは異なる。これは、たとえば発生源の温度変動によって引き起こされる、到来放射の強度のスペクトル分布などの変化は、基準帯域(1つまたは複数)を被疑帯域の上および下に分布させることによって補償することができるという利点を有する。本発明の好ましい一実施形態では、この分布によって、温度の変化により、基準帯域にわたる放射強度(または強度密度、またはエネルギー)の増加が、被疑帯域にわたる放射強度(または強度密度、またはエネルギー)の増加におよそ等しくなる。
1つの代替または追加の実施形態では、被疑帯域にわたる放射強度密度(または、エネルギー)の中間値、または平均は、基準帯域のそれぞれにわたる放射強度密度(または、エネルギー)の中間値、または平均におよそ等しい。
1つの代替または追加の実施形態では、被疑帯域にわたる放射強度密度(または、エネルギー)は、すべてを含めた基準帯域の全体にわたる放射強度密度(または、エネルギー)の中間値、または平均におよそ等しい(「基準フィルタ・システム帯域」は、すべての基準フィルタのすべてを含めた基準帯域である)。
他の代替または追加の実施形態では、被疑帯域にわたる放射強度密度(または、エネルギー)は、基準帯域の1つまたは基準帯域のそれぞれの放射強度密度(または、エネルギー)の中間値、または平均におよそ等しい。
本発明のフィルタは、直列のフィルタ素子によって、または被疑フィルタおよび基準フィルタ(1つまたは複数)として共に動作する単一のフィルタ素子によって形成することができる。2つ以上のフィルタが直列のフィルタ素子として構成されるときは、それらは放射方向に次々と、すなわち放射源(1つまたは複数)と検出器の間に配置される。
有利にはセンサは、任意の放射波長内で動作することができ、発生源は任意の放射源とすることができる。
以下の実施例では、IR源が好ましい光源となり得る環境でCO2含有量を求めるためのセンサについて述べるが、本発明にはCO2以外の任意の他の物質も当てはまり得ると共に、IR帯域内以外の任意の他の光源が当てはまり得る。
本発明の他の実施形態では、少なくとも1つの基準フィルタ(第1の基準フィルタと呼ばれる)は、被疑帯域より広い波長の広がりを有する第1の基準帯域と呼ばれる基準帯域を有し、この第1の基準フィルタの第1の基準下限波長は、被疑下限波長より低い波長にあり、この第1の基準フィルタの第1の基準上限波長は、被疑上限波長より高い波長を有する。このようにして被疑帯域は、第1の基準帯域に重なる。
この実施形態では、第1の基準帯域の中心波長(第1の中心基準波長)と、被疑帯域の中心波長は、同じでもよく、異なっていてもよい。
温度の変化に対しては、温度依存性を打ち消すためには、被疑帯域と基準帯域での強度の相対的な変化が等しくなければならない。
能動的に電力供給される放射源または自然の放射源を用いるときは、強度の相対的な変化は、帯域の範囲の波長に対して非線形的に依存する。したがって、温度ドリフトに対する安定性を改善するために、不一致の中心波長を導入することができる。
この実施例では有利には、基準フィルタ(1つまたは複数)は、被疑フィルタの通過帯域より0.2から1μm大きい通過帯域を有する。基本的に被疑フィルタは、放射スペクトルの比較的狭い波長領域またはスペクトル領域、たとえばIR放射がCO2によって吸収される領域のみをカバーすることが望ましい。示される領域は、このためには十分である。他のガスによる吸収が測定結果に悪影響を及ぼし、結果がゆがめられるリスクは小さく保たれる。
ここでは第1の基準フィルタは、4から4.5μmの領域の通過帯域を有し、被疑フィルタは、4.1から4.4μmの領域の通過帯域を有することが好ましい。もちろん検出されるガスまたは他の量に応じて、これらのスペクトル領域もシフトさせることができる。
本発明の別の好ましい実施形態では、システムは、それぞれ第1および第2の基準帯域(合わせて、すべてを含めた基準帯域を構成する)を有する第1および第2の基準フィルタを備え、第1および第2の基準帯域は重ならず、すなわち共通の波長には広がらない。これは環境内に、被疑帯域の近傍に吸収帯域を有する、関心のあるガス(1つまたは複数)以外の他のガスがある場合は、基準帯域がこのような「汚染」帯域と重なるのを避けるのは難しいという点で、測定に影響を及ぼし得るので、有利となり得る。このような「汚染」吸収帯域によって影響を受ける基準帯域が多くても1つとなることを確実にすることにより、少なくともその他は影響を受けないことが分かることになる。
この実施形態の1つの好ましいバージョンでは、第1または第2の基準帯域の少なくとも1つが被疑帯域と重なり、すなわち第1の基準上限波長は、被疑下限波長より高い波長にあり、かつ/または第2の基準下限波長は、被疑上限波長より低いが第1の基準上限波長より高い波長にあり、それにより第1および第2の基準帯域は、重なることなく被疑帯域の両側に延びるようになる。
この実施形態の別の好ましいバージョンでは、第1の基準上限波長は、被疑下限波長より低い波長にあり、第2の基準下限波長は、被疑上限波長より高い波長にあり、それにより第1および第2の基準帯域は、被疑帯域の両側に延びるようになる。
代替実施形態では、第1および第2の基準帯域は、少なくとも1つ共通の波長を有して重なる。
特に好ましい構成では、センサは、環境からのIR放射などの自然放射を用いる。したがって別個の電源、およびそれにしたがって一定の電力要件を有する放射の発生源は必要ない。一般にIR放射は、入射太陽光がないときでも、どこにも存在する。原理的にあらゆる物体は、一定量の熱放射を放出する。その場合、IR放射源が無くとも測定が可能であるので、「測定範囲」も広くなり、すなわち問題のガスの含有量に対して部屋の比較的大きなエリアを監視することが可能になる。これにより「個人用室内環境」または室内空気の質を監視し、正しい環境の実現が容易になる。始めに室内の空気をセンサに導き、そこでIR放射源と、上流側フィルタを有する検出器との間に通す必要はない。センサを、監視すべき空気の容積を言わば「測量」することができる室内の点に配置すれば十分である。この場合、ガス・センサは、言わば平均のガス濃度を簡単に検出することができる。したがってこのセンサは、特に個人用室内環境に対して大幅に良好な測定結果となる平均値を求める。もちろん、このセンサを使用して、ランプまたは他の照明手段を用いて動作するセンサの技術を改善することも可能である。自然または周囲IR放射が用いられるときは、発光手段のエネルギーを低減することができる。その結果、より長い保守間隔、およびより長い耐用寿命が得られる。
好ましくはフィルタは、CaF2、ゲルマニウム、またはシリコンを含む。フィルタおよびセンサ・デバイスの他の任意の部分は、意味がある場合は、透過を改善するために反射防止膜を有することが好ましい。
本明細書において以下では、図面と共に好ましい例示的実施形態を参照して本発明について説明する。
本発明の動作原理を説明するための線図である。 2つまたは3つのフィルタの通過帯域を線図の形で示す図である。 プランク曲線、および一定でない放射強度を有する帯域を線図の形で示す図である。 検出器によって検出することができるエネルギーの大きさを線図の形で示す図である。 ガス・センサの構造の異なる実施形態を説明するブロック回路図である。 本発明によるセンサの設計パラメータに関わる温度関係を示す図である。
図1は、測定領域(3)内のたとえばCO2含有量(二酸化炭素含有量)を求めるガス・センサ(1)の線図を示し、センサ(1)は検出部(2)を備える。測定領域は、たとえば、個人用室内環境が調節されるべき部屋または部屋の部分とすることができる。太陽の記号(4)は、たとえば自然IR源、受動的発生源、または任意の考えられ得る能動的発生源(太陽光、レーザ、光ダイオード、制御型熱源、その他)などの放射源を表す。太陽の記号(4)は、ここでは単に説明のためのものである。原理的にほとんどどの物体も熱を放射し、それによりIR放射線を発生するので、ガス・センサ(1)は太陽光がなくても動作する。
この例では、測定領域(3)には多数のCO2分子が存在し、CO2分子はここでは小さな円で表される。ガス分子は、丸印(5)によって表されるように、特定のスペクトル領域においてIR放射線を吸収する。CO2の濃度が大きいほど、ガス・センサ(1)において検出できる特定のスペクトル領域内のエネルギーは低くなる。
図5Aは線図の形で、ガス・センサ(1)の簡単な検出部(2)の構造を説明するためのブロック回路図を示す。検出部(2)は、フィルタ構成(6)、検出器構成(7)、および評価デバイス(8)を有する。本明細書ではハウジング、固定手段などの他の詳細は示されない。
図示のフィルタ構成は、第1の基準フィルタ(10)および被疑フィルタ(9)を有し、2つのフィルタ(9)および(10)は異なる通過特性を有し、一実施形態は図2Aに示される。第1の基準フィルタ(10)は、第1の基準帯域RB1内の波長の通過を許し、被疑フィルタ(10)は、被疑帯域SB内の波長の通過を許す。図2Aの実施形態は、被疑帯域SBよりも広く広がる第1の基準帯域RB1を示すが、被疑帯域SBは第1の基準帯域RB1に重なり、それにより第1の基準帯域RB1は被疑帯域SBと同じ波長を含む。したがって、第1の基準下限波長RLW1は、被疑下限波長SLWより低い波長にあり、第1の基準上限波長RUW1は、被疑上限波長SUWより高い波長を有する。第1の基準帯域RB1は第1の中心波長RCW1を有し、被疑帯域は被疑中心波長SCWを有する。図は、共通の中心波長RCW1およびSCWを有する2つの帯域を示す。
図2Bは、図2Aのものに関連する実施形態を示し、この場合でのみ異なった中心波長RCWおよびRCW1を有する。温度の変化に対して、温度依存性を打ち消すためには、被疑帯域と基準帯域内の強度の相対的な変化が等しくなければならない。能動的に電力供給される放射源または自然の放射源を用いるときは、強度の相対的な変化は、帯域の範囲の波長に対して非線形的に依存する。したがって、温度ドリフトに対する安定性を改善するために、不一致の中心波長を導入することができる。
図3は、波長λmaxにて最大放射を有し、波長がλmaxより上に増加すると共に連続して減少する放射を有する一般のプランク曲線によって表されるスペクトル分布で発生源が放出し、2つのこのような波長λ1とλ2の間の帯域Δλを用いる状況を示す。下限波長λ1での放射R1は、上限波長λ2での放射R2より大きい。
したがって、放射の同じ中間値(または、平均)を確実にするために、不一致の中心波長が導入されて被疑帯域のそれぞれ下と上に基準帯域(1つまたは複数)の波長の異なる広がりをもたらし、これらの異なる広がりは、変化する放射強度を補償する。
図2Cは別の実施形態を示し、システムには、第2の基準下限波長RLW2から第2の基準上限波長RUW2まで延びる第2の基準帯域RB2にわたって広がる、第2の基準フィルタが導入されている。図示の実施形態はさらに、第1および第2の基準帯域RB1およびRB2の両方に部分的にのみ重なる被疑帯域SBを有し、それにより被疑下限波長SLWは、第1の基準下限波長RLW1と第1の基準上限波長RUW1の間にある。被疑上限波長SUWは、第2の基準下限波長RLW2と第2の基準上限波長RUW2の間にある。図示の実施形態は、第2の基準下限波長RLW2より高い第1の基準上限波長RUW1を有するが、他の実施形態では、第1および第2の基準帯域RB1およびRB2が重ならないようにすることができる、すなわち第1の基準上限波長RUW1が、第2の基準下限波長RLW2より低くなるかまたは等しくなるようにすることができる。
図2Dは、2つの基準フィルタ(10)および(20)を有する代替実施形態を示し、ここでは基準帯域RB1およびRB2のいずれも少なくとも実質的に被疑帯域SBに重なることはなく、少なくともその両側に延び、すなわち第1の基準上限波長RUW1は被疑下限波長SLWより高くないが任意選択で同じでもよく、第2の基準下限波長RLW2は被疑上限波長SUWより低くないが任意選択で同じでもよい。図は、波長の通過幅がほぼ同じである2つの基準帯域RB1およびRB2を示すが、図2Eに示すようにそうでなくてもよく、2つの基準帯域RB1およびRB2は波長の通過幅が非常に異なってもよい。
帯域の相対位置および大きさは、フィルタの端部の許容度、被疑帯域通過の幅、被疑帯域の吸収線の分布、および交差感度を引き起こし得るあらゆる他のガスの分布など、いくつかの要因に依存する。
CO2センサとして動作するセンサ(1)の実施例では、IR放射がCO2によって吸収されるスペクトル領域λ(CO2)がある。このスペクトル領域は、約4.2から4.3μmに位置する。したがって有利には、被疑帯域SBは、被疑下限波長SLWを約4.0μmに有し、被疑上限波長SUWを約4.5μmに有することができ、またはさらにより狭い4.1μmから4.4μmの被疑帯域の領域を有することができ、またはCO2のスペクトル領域をカバーする任意の他の帯域を有することができる。次いで基準開始および上限波長は、有利には、それぞれ被疑下限波長SLWおよび被疑上限波長SUWの上および下に約0.5μm延びることができる。
図4は、図1に見られる本発明の第1の実施形態の、第1の基準帯域RB1および被疑帯域SBを示し、被疑帯域は参照文字Aで示される減少していないエネルギーを有する。このエネルギーは、たとえばCO2によって吸収される大きさCだけ減少する。被疑帯域の両側に延びる、第1の基準帯域RB1の2つの部分は、それぞれ参照文字Bで示されるエネルギーを有する。このエネルギーは、たとえばCO2によって影響されないので、実質的に一定である。
サーモパイル・センサは、たとえばドイツ、ヴィースバーデンD−65199、PerkinElmer Optoelectronics GmbHから入手可能である。
図5Aは、フィルタ構成(6)の構造の1つの簡単な実施形態を示し、被疑フィルタ(9)は2つのフィルタ素子(11)および(12)を備え、第1の被疑フィルタ素子(11)は被疑上限波長SUWを規定し、被疑下限波長SLWより低い下限波長を有する。第2の被疑フィルタ素子(12)は、被疑下限波長SLWを規定し、被疑上限波長SUWより実質的に高い上限波長を有する。同様に、第1の基準フィルタ(10)は、それぞれ第1の基準上限波長RUW1および第1の基準下限波長RLW1を規定する2つのフィルタ素子(13)および(14)を備える。システムに導入される(9)および(10)のようなフィルタの数に応じて、任意の数のこのようなフィルタ素子(11)、(12)、(13)、および(14)の構造をフィルタ構成(6)に導入することができる。この実施形態および他のいずれの実施形態において、いくつかのフィルタ素子は、フィルタが同じ端部および/または下限波長を有するときは2つ以上のフィルタに共通とすることができ、これは図5Bに示され、そこでは2つの「上限」フィルタ素子(11)および(13)は、1つの共通のフィルタ素子である。
図5Cは、追加の基準フィルタである第2の基準フィルタ(20)を有する同様なセンサを示し、各フィルタは、上限および下限波長の両方に対する所望の帯域通過特性を備える単一のフィルタ素子(21、22、23)のみを有し、したがって被疑フィルタ(21)は、被疑下限波長SLWおよび上限被疑波長SUWの両方を規定する。第1の基準フィルタ(22)は、第1の基準上限および下限波長RUW1およびRLW1の両方を規定し、第2の基準フィルタ(23)は、第2の基準上限および下限波長RUW2およびRLW2の両方を規定する。この図示の実施形態では、2つのフィルタ素子(22、23)は、同じ検出器(16)に接続されているが、実際に行われることは、それらの信号をたとえば2つの別々のサーモパイルによって取得された後に数学的に加算することである。
図5Dは、図5Cの実施形態に関連する一実施形態を示し、この場合のみ第3の検出器(24)が、第2の基準フィルタ(20)に接続される。
たとえば図5A〜5Dで開示されたようなフィルタ素子(11、12、13、14)の任意の組み合わせ、変形、個数、および配置が本発明に当てはまることが留意されるべきである。
一般にセンサは、1つ以上のガスを測定するためにも用いることができ、その場合は当業者には分かるように、単に必要数のセンサ、検出器などが含められる。
次いで、検出器構成(7)によって、異なるエネルギーが検出される。検出器構成(7)は、被疑フィルタ(9)を通過するたとえばIR放射を検出する第1の検出器(15)と、第1の基準フィルタ(10)を通過するたとえばIR放射を検出する第2の検出器(16)とを有する。2つの検出器(15)および(16)は、「サーモパイル」としても知られる熱電素子、焦電気IR検出器、または任意の他の種類の知られている検出器とすることができる。現れるたとえばIR放射に応じて各検出器は、電圧または電流、すなわち電気量を発生し、これはより多くのIR放射が入射するほど大きくなる。それにしたがって、第1の検出器(15)は信号S1を発生し、第2の検出器(16)は信号S2を発生する。
サーモパイル・センサでは、通常は、(出力信号が温度と共に変化するため)温度測定が行われるので、センサの周囲の温度の測定はすでに組み込まれている。部屋の放射温度もセンサを用いて入手可能であると考えられるので、同時にこれら2つの測定に基づいて動作温度を直接得ることが可能であり、次いでこれは室温または全く異なる何かを制御するために用いることができる。
IRに関連して、室内の動きの測定がセンサを用いて直接可能であることも考えられ、次いでたとえばこれは、たとえば室内に誰かがいることを示す動きの事象においてのみ作動する換気システムを制御するのに用いることができる。様々な動きの測定に基づいて、室内の人数を推定できることも考えられ、このような推定はまた、室温または換気が室内の人数に応じて制御/変更されるように、制御目的に用いることができる。
図5Aに見られるものなどの本発明の基本的なセンサは、2つの信号S1、S2が評価デバイス(8)に印加されることによって動作する。したがってそれにより、
Figure 0005580877
ただし、
Figure 0005580877
は、IR吸収に関係する情報を含む電気量、たとえば電流または電圧であり、Irefは、IR吸収によって影響されない基準量である。S1とS2の差が形成されるとき(「実効基準」は基準帯域の、被疑帯域を含まない部分である)、そのために線図的に差分形成器(17)を示しており、以下の量が得られる。
Figure 0005580877
この差S1−S2は、第1の検出器(15)の出力信号S1に対して正規化され、それにより信号S3が得られる。
Figure 0005580877

本発明のセンサは、たとえば窒素、酸化窒素、酸素、またはCOなど、任意の種類のガスを測定するのに用いることができ、さらにはガスの測定に限定されず、液体および固体など他の形での被疑体を測定するためにも用いることもできる。被疑体をCO2から変更するときは、それにしたがって通過帯域をシフトする必要があり、たとえばH2Oの吸収帯域は約2.7μmである。
本発明のセンサはさらに、任意の考えられる他の光学構成要素、たとえば追加の帯域通過フィルタとして動作するサファイア窓、反射器、たとえばIR放射を集めるまたは焦点合わせをするデバイスである集光デバイス、たとえば、センサの上流側に配置されたコリメータなどを備えることができる。
またこのようなセンサは、廃ガス監視のために直接用いることが可能である。そのためにはセンサは、煙突または排気管内に設置される。特に加熱システムの場合は、次いでセンサ(または複数のセンサ)の出力信号を用いて燃焼を制御することができる。
本発明は上記の説明および図面に限定されず、被疑フィルタ(9)および基準フィルタ(10、20)などのフィルタ、フィルタ素子(21、22、23)、検出器(15、16、24)などの任意の数および変更を含む、上記の説明および図面の任意の変更も本発明に当てはまる。
さらに本発明は、ガスの測定に限定されず、センサは、一般に媒体の一部である物質の測定においても実施することができ、媒体はガス自体に限定されず、たとえば液体とすることもできる。
本発明の1つの重要な態様は特に、時間的に、または単に同一の製品においていくつかの異なる顧客要求を満たすために変化する、変化し得る動作温度条件(特に光源(3)の温度であるが、またガスを含む周囲の温度)に関する。光源は、発生源標準温度T0を有すると仮定されるが、これは周囲の温度が変化するにつれて、および/または光源(3)への供給電力が変化するにつれて変化し得る。
人工光源は、通常は所与の動作電力要求を有することになり、発生源標準温度T0を有することになるので、これは動作温度に対する主な影響となる。次いでこの所与の動作電力要求は、発生源標準温度T0を規定するために用いることができる。しかし実際の動作温度は、供給電力の変化により、光源の経時変化などにより変化し得る。
概念は、(任意選択でシステム)基準中心波長RCWを、被疑中心波長SCWに対してシフトさせることであり、それによりS3(T)の温度微分が、少なくとも発生源標準温度T0の周りで最小になるように近似され、すなわちdS3(T)/dTがT0の周りで少なくとも近似的に最小化される。温度変化およびそれによって生じる放出される放射分布の変化に対するシステムの安定性を最大にするための状況を、図6Aおよび6Bは示し、R(T)は温度Tにて放出される放射である。
図6Aは、2つの異なる温度T1およびT2での放出される放射曲線を示し、図6Bは、基準システム下限波長RLWおよび基準システム上限波長RUWによって規定される周波数帯域でのこれら2つの曲線R(T1)およびR(T2)の関係を示す。
被疑中心波長SCWに対する基準中心波長RCWのシフトを選択することにより、このような安定性を得ることができる。このシフトは、T0の周りでdS3(T)/dTを最小にすることによって見出すことができる。
安定性における改善は、室温または煙突温度(摂氏200〜300°)での受動的発生源など、低い発生源温度の場合に特に重要である。これは発生源温度が低いほど、発生源温度の変化に対する感受性が大きくなるからである。同様に、低い波長領域(3マイクロメートル未満)でのガス測定は、長い波長領域での測定より発生源温度の変化によって、より大きく影響される。したがって、低い発生源温度に関して低い波長領域に対して改善の潜在性は大きいが、それに関わらず、すべての発生源温度および波長領域に対して改善を得ることができる。

Claims (12)

  1. フィルタ構成と、前記フィルタ構成の下流側に配置された検出器構成と、前記検出器構成に接続された評価デバイスとを有するセンサであって、
    前記フィルタ構成は、
    上限波長と下限波長とを有する被疑帯域内の波長を有する放射を通過させる被疑フィルタと、
    少なくとも1つの基準フィルタを有するとともに、前記被疑帯域の上限波長より上の上側帯域と該被疑帯域の下限波長より下の下側帯域とを少なくとも含む基準帯域内の波長を有する放射を通過させる基準フィルタ・システムであって、この基準フィルタ・システムの各基準フィルタは前記基準帯域内の波長を有する放射を通過させるものであり、前記基準フィルタ・システムの前記基準帯域は前記各基準フィルタのそれぞれの帯域のすべてを含めた基準帯域である、基準フィルタ・システムと
    を有し、
    前記検出器構成は、それぞれが前記被疑フィルタと前記基準フィルタ・システムに関連付けられた少なくとも2つの検出器を有して前記放射の吸収に関係する情報を含む第1の検出信号S1と前記放射の吸収には影響されない第2の検出信号S2とを出力し
    前記センサは前記基準帯域が前記被疑帯域の両側に分布するとともに、該基準帯域の上側帯域と下側帯域とが異なる帯域幅となるよう該基準帯域の中心と被疑帯域の中心が不一致であり、さらに、
    前記センサは、選択されたT0の周りでdS3(T)/dTが最小となるよう構成され、
    前記T0は任意選択で発生源標準温度であり、
    前記S3は、S3=S1/(S2−S1)である、ことを特徴とするセンサ。
  2. 前記被疑帯域が、前記基準帯域に少なくとも部分的に重なる、請求項1に記載のセンサ。
  3. 前記基準フィルタ・システムが、第1の基準帯域を有する第1の基準フィルタである単一のフィルタを備える、請求項2に記載のセンサ。
  4. 前記被疑帯域および前記第1の基準帯域が、異なる中心波長を有する、請求項3に記載のセンサ。
  5. 前記被疑帯域のすべての波長も前記第1の基準帯域内にある、請求項3に記載のセンサ。
  6. 前記基準フィルタ・システムが第1の基準フィルタと第2の基準フィルタとを備え、前記2つの基準フィルタはそれぞれ前記上側帯域を含む第1の基準帯域および前記下側帯域を含む第2の基準帯域を有する、請求項1に記載のセンサ。
  7. 前記被疑帯域が、前記第1の基準帯域および前記第2の基準帯域の両方に少なくとも部分的に重なる、請求項6に記載のセンサ。
  8. 前記被疑帯域、前記第1の基準帯域、および前記第2の基準帯域のいずれも、共通の波長を含まない、請求項6に記載のセンサ。
  9. 前記第1および前記第2の基準帯域の平均または中間強度密度が同じである、前記請求項6〜8のいずれかに記載のセンサ。
  10. 前記被疑帯域の平均または中間強度密度が、前記第1および第2の基準帯域の平均または中間強度密度と同じである、請求項9に記載のセンサ。
  11. 任意の数の異なるガスを測定するために、任意の数の被疑フィルタを備えることができる、請求項1〜10のいずれかに記載のセンサ。
  12. 発生源標準温度T0を有する光源と、
    フィルタ構成と、前記フィルタ構成の下流側に配置された検出器構成と、前記検出器構成に接続された評価デバイスとを有するセンサ・システムであって、
    前記フィルタ構成は、
    上限波長と下限波長とを有する被疑帯域内の波長を有する放射を通過させる被疑フィルタと、
    少なくとも1つの基準フィルタを有するとともに、前記被疑帯域の上限波長より上の上側帯域と該被疑帯域の下限波長より下の下側帯域とを少なくとも含む基準帯域内の波長を有する放射を通過させる基準フィルタ・システムであって、この基準フィルタ・システムの各基準フィルタは前記基準帯域内の波長を有する放射を通過させるものであり、前記基準フィルタ・システムの前記基準帯域は前記各基準フィルタのそれぞれの帯域のすべてを含めた基準帯域である、基準フィルタ・システムと
    を有し、
    前記検出器構成は、それぞれが前記被疑フィルタと前記基準フィルタ・システムに関連付けられた少なくとも2つの検出器を有して前記放射の吸収に関係する情報を含む第1の検出信号S1と前記放射の吸収には影響されない第2の検出信号S2とを出力し
    前記センサ・システムは前記基準帯域が前記被疑帯域の両側に分布するとともに、該基準帯域の上側帯域と下側帯域とが異なる帯域幅となるよう該基準帯域の中心と被疑帯域の中心が不一致であり、さらに、dS3(T)/dTがT0の周りで少なくともほぼ最小となる(ここで、S3は、S3=S1/(S2−S1)である)ことを特徴とするセンサ・システム。
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012126469A1 (en) 2011-03-23 2012-09-27 Danfoss Ixa A/S Gas sensor with vortex
WO2012126471A2 (en) 2011-03-23 2012-09-27 Danfoss Ixa A/S Modular gas sensor
EP2694806A1 (en) 2011-03-23 2014-02-12 Danfoss IXA A/S High temperature gas sensor
DE202011102765U1 (de) 2011-07-02 2012-08-02 Dräger Safety AG & Co. KGaA Vorrichtung mit einer Messanordnung zur infrarot-optischen Messung von Gasen und Gasgemischen mit Kompensation von Umgebungseinflüssen
USD792677S1 (en) 2013-09-15 2017-07-25 Ingrid & Isabel, Llc Crossover maternity panel
US10226083B2 (en) 2013-09-15 2019-03-12 Ingrid & Isabel, Llc Crossover maternity panel with insert
JP6202440B2 (ja) * 2014-01-20 2017-09-27 パナソニックIpマネジメント株式会社 赤外線式ガスセンサ
DE102016219689A1 (de) * 2016-10-11 2018-04-12 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Steuereinrichtung zur Regelung einer Sauerstoff-Beladung eines Dreiwege-Katalysators
CN108204857B (zh) * 2016-12-17 2020-11-03 中国石油天然气股份有限公司 振动信号检测系统及其装配方法

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5081998A (en) * 1989-09-01 1992-01-21 Critikon, Inc. Optically stabilized infrared energy detector
RU2029288C1 (ru) * 1992-06-30 1995-02-20 Сибирский физико-технический институт им.В.Д.Кузнецова при Томском государственном университете Газоанализатор
JP3078983B2 (ja) 1994-03-30 2000-08-21 株式会社堀場製作所 油分濃度計
US5650624A (en) 1995-04-13 1997-07-22 Engelhard Sensor Technologies, Inc. Passive infrared analysis gas sensor
US5721430A (en) 1995-04-13 1998-02-24 Engelhard Sensor Technologies Inc. Passive and active infrared analysis gas sensors and applicable multichannel detector assembles
RU5030U1 (ru) * 1996-04-25 1997-09-16 Российский научно-исследовательский институт "Электронстандарт" Оптический абсорбционный газоанализатор
US5995008A (en) * 1997-05-07 1999-11-30 Detector Electronics Corporation Fire detection method and apparatus using overlapping spectral bands
DE19835335C1 (de) 1998-08-05 1999-11-25 Draeger Sicherheitstech Gmbh Infrarotoptischer Gassensor
JP2003014639A (ja) 2001-07-04 2003-01-15 Yokogawa Electric Corp ガス濃度測定装置
JP3471342B2 (ja) 2001-11-30 2003-12-02 国際技術開発株式会社 炎感知器
US20030147080A1 (en) 2002-02-05 2003-08-07 Detector Electronics Corporation Method & apparatus for open path gas detection
RU2238541C1 (ru) * 2003-04-08 2004-10-20 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН Способ оптического определения содержания компонентов газовой среды
JP2007524828A (ja) * 2003-06-20 2007-08-30 アイギス セミコンダクター インコーポレイテッド 熱光学フィルタ及びそれを用いた赤外線センサ
JP4058005B2 (ja) 2004-02-06 2008-03-05 株式会社堀場製作所 赤外線ガス分析計の校正方法
JP2005257358A (ja) 2004-03-10 2005-09-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd ガス測定装置およびガス測定方法
DE102004028433B4 (de) 2004-06-14 2006-08-31 Danfoss A/S IR-Sensor, insbesondere CO2-Sensor
JP2006038721A (ja) 2004-07-29 2006-02-09 Denso Corp ガス濃度検出装置
CN100590418C (zh) 2007-12-29 2010-02-17 北京航空航天大学 一种二氧化碳气体分析仪及其分析方法

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