JP2002031572A - 分光器及びこれを備えた光スペクトラムアナライザ - Google Patents
分光器及びこれを備えた光スペクトラムアナライザInfo
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 15
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims abstract description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 16
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 7
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 claims description 7
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 9
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005331 crown glasses (windows) Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
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- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0286—Constructional arrangements for compensating for fluctuations caused by temperature, humidity or pressure, or using cooling or temperature stabilization of parts of the device; Controlling the atmosphere inside a spectrometer, e.g. vacuum
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 分光器若しくはこれを用いた光スペクトラム
アナライザにおいて、周囲の温度が変化しても精度よく
所定の波長の光を分光できるようにする。 【解決手段】適切な線膨張率を有する材料で平面回折格
子１３を形成して、平面回折格子１３以外の部材の熱伸
縮に起因する凹面鏡１４の反射光の波長の変動を、平面
回折格子１３の熱伸縮に起因する凹面鏡１４の反射光の
波長の変動で相殺或いは小さくする。各部材を固定する
基板１０ａの熱伸縮に起因した各部材の配置変化が回折
光の波長に与える影響についても、同様の原理で対処す
る。
アナライザにおいて、周囲の温度が変化しても精度よく
所定の波長の光を分光できるようにする。 【解決手段】適切な線膨張率を有する材料で平面回折格
子１３を形成して、平面回折格子１３以外の部材の熱伸
縮に起因する凹面鏡１４の反射光の波長の変動を、平面
回折格子１３の熱伸縮に起因する凹面鏡１４の反射光の
波長の変動で相殺或いは小さくする。各部材を固定する
基板１０ａの熱伸縮に起因した各部材の配置変化が回折
光の波長に与える影響についても、同様の原理で対処す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、周囲の温度変化に
よらず精度よく所望の波長を光を取り出す分光器と、こ
の分光器を備えた光スペクトラムアナライザに関する。
よらず精度よく所望の波長を光を取り出す分光器と、こ
の分光器を備えた光スペクトラムアナライザに関する。
【０００２】
【従来の技術】図３に従来の光スペクトラムアナライザ
の一例を示す。光スペクトラムアナライザ１００は、ツ
ェルニ・ターナ型の分散式の分光器１１０と、分光器１
１０を制御するとともに分光器１１０による分光結果を
解析するする解析制御部１２０と、測定結果を表示する
表示部１３０とから構成される。
の一例を示す。光スペクトラムアナライザ１００は、ツ
ェルニ・ターナ型の分散式の分光器１１０と、分光器１
１０を制御するとともに分光器１１０による分光結果を
解析するする解析制御部１２０と、測定結果を表示する
表示部１３０とから構成される。
【０００３】これらのうち、分光器１１０は、光源２０
０からの入射光を通す入射スリット１１１と、入射スリ
ット１１１の透過光を平行光に変換して反射する凹面鏡
１１２と、凹面鏡１１２からの平行光を回折してする平
面回折格子１１３と、平面回折格子１１３からの回折光
の一部を反射しつつ集光する凹面鏡１１４と、凹面鏡１
１４からの反射光を出光する出射スリット１１５と、出
射スリット１１５からの出射光の強度を測定して解析制
御部１２０に出力する受光器１１６と、により概略構成
される。すなわち、分光器１１０は、平面回折格子１１
３により回折された光のうち、凹面鏡１１４方向に回折
される波長の光を集光してその強度を測定する分光器で
ある。ここで、平面回折格子１１３はモータ１１３ａに
よって回転し、凹面鏡１１４方向に回折される光の波長
を変更する。モータ１１３ａは解析制御部１２０で制御
される。すなわち、解析制御部１２０はモータ１１３ａ
を介して平面回折格子１１３の角度を制御することで、
受光器１１６が受光する光の波長を制御する。言い換え
れば、解析制御部１２０は平面回折格子１１３を所定の
角度に設定することで所定の波長の光の強度を測定す
る。
０からの入射光を通す入射スリット１１１と、入射スリ
ット１１１の透過光を平行光に変換して反射する凹面鏡
１１２と、凹面鏡１１２からの平行光を回折してする平
面回折格子１１３と、平面回折格子１１３からの回折光
の一部を反射しつつ集光する凹面鏡１１４と、凹面鏡１
１４からの反射光を出光する出射スリット１１５と、出
射スリット１１５からの出射光の強度を測定して解析制
御部１２０に出力する受光器１１６と、により概略構成
される。すなわち、分光器１１０は、平面回折格子１１
３により回折された光のうち、凹面鏡１１４方向に回折
される波長の光を集光してその強度を測定する分光器で
ある。ここで、平面回折格子１１３はモータ１１３ａに
よって回転し、凹面鏡１１４方向に回折される光の波長
を変更する。モータ１１３ａは解析制御部１２０で制御
される。すなわち、解析制御部１２０はモータ１１３ａ
を介して平面回折格子１１３の角度を制御することで、
受光器１１６が受光する光の波長を制御する。言い換え
れば、解析制御部１２０は平面回折格子１１３を所定の
角度に設定することで所定の波長の光の強度を測定す
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】分光器１１０を構成す
る各部材は、その基板も含めて熱膨張・熱収縮する。従
って、凹面鏡１１４の平面回折格子１１３に対する相対
位置は周囲の温度によって微妙に変化する。従って、平
面回折格子１１３を所定の角度に設定しても所定の波長
の光を分光できない可能性があった。本発明の課題は、
周囲の温度が変化しても精度よく所定の波長の光を分光
できるようにすることである。
る各部材は、その基板も含めて熱膨張・熱収縮する。従
って、凹面鏡１１４の平面回折格子１１３に対する相対
位置は周囲の温度によって微妙に変化する。従って、平
面回折格子１１３を所定の角度に設定しても所定の波長
の光を分光できない可能性があった。本発明の課題は、
周囲の温度が変化しても精度よく所定の波長の光を分光
できるようにすることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
め、請求項１記載の発明は、入射光を回折する回折格子
（例えば平面回折格子１３）と、前記回折格子による回
折光から所望の波長の光のみを選択光として選択する選
択手段（例えば凹面鏡１４）とを備える分光器（１０）
において、前記回折格子以外の部材の熱伸縮に起因す
る、同一選択条件における前記選択光の波長変動を、前
記回折格子の熱伸縮に起因する、同一選択条件における
前記選択光の波長変動で相殺あるいは小さくするよう
に、前記回折格子を形成する材料を選択したことを特徴
とする。
め、請求項１記載の発明は、入射光を回折する回折格子
（例えば平面回折格子１３）と、前記回折格子による回
折光から所望の波長の光のみを選択光として選択する選
択手段（例えば凹面鏡１４）とを備える分光器（１０）
において、前記回折格子以外の部材の熱伸縮に起因す
る、同一選択条件における前記選択光の波長変動を、前
記回折格子の熱伸縮に起因する、同一選択条件における
前記選択光の波長変動で相殺あるいは小さくするよう
に、前記回折格子を形成する材料を選択したことを特徴
とする。
【０００６】回折格子も温度変化に伴って熱伸縮する。
回折格子が伸縮するとその格子定数も変化し、同一波長
の光の回折角度も変化する。このため、回折格子の熱伸
縮は選択手段による選択光に変動を与える。この変動量
或いは向きは、回折格子の材料を変更することで調節可
能である。従って、請求項１記載の発明のように、回折
格子を構成する材料を適当に選択することで、回折格子
以外の部材の熱伸縮に起因する、同一選択条件における
選択光の波長変動を、回折格子の熱伸縮に起因する、同
一選択条件における選択光の波長変動で相殺あるいは小
さくできる。すなわち、周囲の温度が変化しても精度よ
く所定の光を分光する分光器となる。
回折格子が伸縮するとその格子定数も変化し、同一波長
の光の回折角度も変化する。このため、回折格子の熱伸
縮は選択手段による選択光に変動を与える。この変動量
或いは向きは、回折格子の材料を変更することで調節可
能である。従って、請求項１記載の発明のように、回折
格子を構成する材料を適当に選択することで、回折格子
以外の部材の熱伸縮に起因する、同一選択条件における
選択光の波長変動を、回折格子の熱伸縮に起因する、同
一選択条件における選択光の波長変動で相殺あるいは小
さくできる。すなわち、周囲の温度が変化しても精度よ
く所定の光を分光する分光器となる。
【０００７】請求項２記載の発明は、入射光を回折する
回折格子（例えば平面回折格子１３）と、前記回折格子
による回折光から所望の波長の光のみを選択光として選
択する選択手段（例えば凹面鏡１４）とを備える分光器
（１０）において、各部材を固定する基板の熱伸縮によ
る各部材の配置変化に起因する、同一選択条件における
前記選択光の波長変動を、前記回折格子の熱伸縮に起因
する、同一選択条件における前記選択光の波長変動で相
殺あるいは小さくするように、前記回折格子を形成する
材料を選択したことを特徴とする。
回折格子（例えば平面回折格子１３）と、前記回折格子
による回折光から所望の波長の光のみを選択光として選
択する選択手段（例えば凹面鏡１４）とを備える分光器
（１０）において、各部材を固定する基板の熱伸縮によ
る各部材の配置変化に起因する、同一選択条件における
前記選択光の波長変動を、前記回折格子の熱伸縮に起因
する、同一選択条件における前記選択光の波長変動で相
殺あるいは小さくするように、前記回折格子を形成する
材料を選択したことを特徴とする。
【０００８】請求項２記載の発明によれば、請求項１と
同様の原理により、周囲の温度が変化しても精度よく所
定の光を分光する分光器となる。
同様の原理により、周囲の温度が変化しても精度よく所
定の光を分光する分光器となる。
【０００９】ここで、分光器の種類としては、例えば請
求項３に記載するようにツェルニ・ターナー型分散式と
する。また、前記した材料の具体例としては、例えば請
求項４に記載するように、パイレックスガラスとする。
求項３に記載するようにツェルニ・ターナー型分散式と
する。また、前記した材料の具体例としては、例えば請
求項４に記載するように、パイレックスガラスとする。
【００１０】請求項５記載の発明は、請求項１〜４のい
ずれかに記載の分光器を備えた光スペクトラムアナライ
ザ（１）であることを特徴とする。請求項５記載の発明
によれば、周囲の温度変化によらず精度よく所定の光を
分光してその強度を測定できる。
ずれかに記載の分光器を備えた光スペクトラムアナライ
ザ（１）であることを特徴とする。請求項５記載の発明
によれば、周囲の温度変化によらず精度よく所定の光を
分光してその強度を測定できる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図を参照して本発明の実施
の形態を詳細に説明する。まず、構成を説明する。図１
に示すように、光スペクトラムアナライザ１は、ツェル
ニ・ターナ型の分散式の分光器１０と、分光器１０を制
御するとともに分光器１０による分光結果を解析するす
る解析制御部２０と、測定結果を表示する表示部３０と
から構成される。これらのうち、解析制御部２０は解析
制御部１２０と概略同じ構成であり、表示部３０は表示
部１３０と概略同じ構成である。
の形態を詳細に説明する。まず、構成を説明する。図１
に示すように、光スペクトラムアナライザ１は、ツェル
ニ・ターナ型の分散式の分光器１０と、分光器１０を制
御するとともに分光器１０による分光結果を解析するす
る解析制御部２０と、測定結果を表示する表示部３０と
から構成される。これらのうち、解析制御部２０は解析
制御部１２０と概略同じ構成であり、表示部３０は表示
部１３０と概略同じ構成である。
【００１２】分光器１０は、光源２００からの入射光を
通す入射スリット１１と、入射スリット１１の透過光を
平行光に変換して反射する凹面鏡１２と、凹面鏡１１２
からの平行光を回折してする平面回折格子１３及びこれ
を回転させるモータ１３ａと、平面回折格子１３からの
回折光の一部を反射しつつ集光する凹面鏡１４と、凹面
鏡１４からの反射光を出光する出射スリット１５と、出
射スリット１５からの出射光の強度を測定して解析制御
部２０に出力する受光器１６と、により概略構成され
る。これらのうち、平面回折格子１３以外は従来の分光
器１１０の各部材と同じ構成である。また、上述した各
部材は基板１０ａの上に固定されている。
通す入射スリット１１と、入射スリット１１の透過光を
平行光に変換して反射する凹面鏡１２と、凹面鏡１１２
からの平行光を回折してする平面回折格子１３及びこれ
を回転させるモータ１３ａと、平面回折格子１３からの
回折光の一部を反射しつつ集光する凹面鏡１４と、凹面
鏡１４からの反射光を出光する出射スリット１５と、出
射スリット１５からの出射光の強度を測定して解析制御
部２０に出力する受光器１６と、により概略構成され
る。これらのうち、平面回折格子１３以外は従来の分光
器１１０の各部材と同じ構成である。また、上述した各
部材は基板１０ａの上に固定されている。
【００１３】平面回折格子１３は、形状は平面回折格子
１１３と概略同じであるが、その材料は、以下の基準で
適宜選択される。具体的な例としては、パイレックスガ
ラスや、ボロシリケート・クラウン・ガラスの一種であ
るＢＫ７がある。
１１３と概略同じであるが、その材料は、以下の基準で
適宜選択される。具体的な例としては、パイレックスガ
ラスや、ボロシリケート・クラウン・ガラスの一種であ
るＢＫ７がある。
【００１４】分光器１０において、出射スリット１５か
ら出射する光の波長λは、以下の式で表される。 λ＝（ｄ／ｍ）×cosθ×（sinα＋sinβ）・・・（１） ここで、ｍ：回折次数、ｄ：格子定数、θ：入射光と溝
の深さ方向とがなす角度、α：回折格子への入射光の入
射角、β：回折格子からの出射光の出射角である。各角
度については図２に図示する。ここで、平面回折格子１
３を構成する材料の線膨張係数をｋとすると、１℃あた
りのｄの変化量Δｄ＝ｋである。従って、他の条件に変
化がない場合、１℃あたりのλの変化量Δλは、以下の
式で表される。 Δλ＝（ｋ／ｍ）×（sinα＋sinβ）・・・（２）
ら出射する光の波長λは、以下の式で表される。 λ＝（ｄ／ｍ）×cosθ×（sinα＋sinβ）・・・（１） ここで、ｍ：回折次数、ｄ：格子定数、θ：入射光と溝
の深さ方向とがなす角度、α：回折格子への入射光の入
射角、β：回折格子からの出射光の出射角である。各角
度については図２に図示する。ここで、平面回折格子１
３を構成する材料の線膨張係数をｋとすると、１℃あた
りのｄの変化量Δｄ＝ｋである。従って、他の条件に変
化がない場合、１℃あたりのλの変化量Δλは、以下の
式で表される。 Δλ＝（ｋ／ｍ）×（sinα＋sinβ）・・・（２）
【００１５】また、基板１０ａはアルミニウム製である
場合が多く、周囲の温度変化により熱伸縮する。この場
合、平面回折格子１３と凹面鏡１４との位置関係は周囲
の温度変化によって変動し、λに変動を与える。また、
各部材を基板１０ａに固定する固定部材も金属を用いる
場合が多く、これらの熱伸縮にも起因して周囲の温度変
化に従ってλは変動する。
場合が多く、周囲の温度変化により熱伸縮する。この場
合、平面回折格子１３と凹面鏡１４との位置関係は周囲
の温度変化によって変動し、λに変動を与える。また、
各部材を基板１０ａに固定する固定部材も金属を用いる
場合が多く、これらの熱伸縮にも起因して周囲の温度変
化に従ってλは変動する。
【００１６】すなわち、（２）式で表されるΔλが、他
の部品や基板１０ａの熱伸縮に起因したλの変動の実測
値あるいは推定値と打ち消し合うように、平面回折格子
１３の材料を決定する。
の部品や基板１０ａの熱伸縮に起因したλの変動の実測
値あるいは推定値と打ち消し合うように、平面回折格子
１３の材料を決定する。
【００１７】各具体例について更に詳細に説明する。パ
イレックスガラスではｋ＝３．２５×１０-6であり、Ｂ
Ｋ７ではｋ＝７．１×１０-6である。ここで、θ＝０
゜、凹面鏡１２からの反射光の光軸と平面格子１３の回
折光の光軸とがなす角度を２０゜とした場合、λ＝１５
５０ｎｍの光においては、α＝６９．９５７゜、β＝４
９．９５７゜となる。この場合、平面回折格子１３の溝
本数を１１００本／ｍｍとすると、ｍ＝１においてΔλ
は、パイレックスガラスでは５．０３×１０-12ｍ／
℃、ＢＫ７では１１×１０-12ｍ／℃、となる。
イレックスガラスではｋ＝３．２５×１０-6であり、Ｂ
Ｋ７ではｋ＝７．１×１０-6である。ここで、θ＝０
゜、凹面鏡１２からの反射光の光軸と平面格子１３の回
折光の光軸とがなす角度を２０゜とした場合、λ＝１５
５０ｎｍの光においては、α＝６９．９５７゜、β＝４
９．９５７゜となる。この場合、平面回折格子１３の溝
本数を１１００本／ｍｍとすると、ｍ＝１においてΔλ
は、パイレックスガラスでは５．０３×１０-12ｍ／
℃、ＢＫ７では１１×１０-12ｍ／℃、となる。
【００１８】従って、基板１０ａ等によるΔλ＝−１０
×１０-12ｍ／℃の場合はＢＫ７で平面回折格子１３を
構成すると、トータルのΔλ＝１×１０-12ｍ／℃とな
り、より小さくなる。また、基板１０ａ等によるΔλ＝
−５×１０-12ｍ／℃の場合はパイレックスガラスで平
面回折格子１３を構成すると、トータルのΔλはほぼ０
となり、ＢＫ７で構成する場合よりも小さくなる。
×１０-12ｍ／℃の場合はＢＫ７で平面回折格子１３を
構成すると、トータルのΔλ＝１×１０-12ｍ／℃とな
り、より小さくなる。また、基板１０ａ等によるΔλ＝
−５×１０-12ｍ／℃の場合はパイレックスガラスで平
面回折格子１３を構成すると、トータルのΔλはほぼ０
となり、ＢＫ７で構成する場合よりも小さくなる。
【００１９】以上より、本実施例のように、平面回折格
子１３の材料を適宜選択することで、分光器１０の測定
波長は周囲の温度が変化しても誤差は生じにくくなる。
従って、光スペクトラムアナライザ１の測定波長も、周
囲の温度が変化しても誤差は生じにくくなる。
子１３の材料を適宜選択することで、分光器１０の測定
波長は周囲の温度が変化しても誤差は生じにくくなる。
従って、光スペクトラムアナライザ１の測定波長も、周
囲の温度が変化しても誤差は生じにくくなる。
【００２０】なお、以上の実施の形態においては、平面
回折格子１３を構成する材料としてパイレックスガラス
およびＢＫ７を例示したが、本発明はこれに限定される
ものではない。すなわち、さらに多くの種類の材料を選
択候補とすることで、基板１０ａ等によるΔλの大きさ
が様々であっても、各々の場合においてトータルのΔλ
を小さくできる。その他、入射スリット１１を光ファイ
バの出力端としたり、凹面鏡１２・１４をコリメートレ
ンズとする等、具体的な各部材の材料等についても適宜
に変更可能であることは勿論である。
回折格子１３を構成する材料としてパイレックスガラス
およびＢＫ７を例示したが、本発明はこれに限定される
ものではない。すなわち、さらに多くの種類の材料を選
択候補とすることで、基板１０ａ等によるΔλの大きさ
が様々であっても、各々の場合においてトータルのΔλ
を小さくできる。その他、入射スリット１１を光ファイ
バの出力端としたり、凹面鏡１２・１４をコリメートレ
ンズとする等、具体的な各部材の材料等についても適宜
に変更可能であることは勿論である。
【００２１】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、周囲の温
度が変化しても、回折格子以外の部材の熱伸縮に起因す
る、同一選択条件における選択光の波長変動を、回折格
子の熱伸縮に起因する、同一選択条件における選択光の
波長変動で相殺あるいは小さくするため、精度よく所定
の光を分光できる。
度が変化しても、回折格子以外の部材の熱伸縮に起因す
る、同一選択条件における選択光の波長変動を、回折格
子の熱伸縮に起因する、同一選択条件における選択光の
波長変動で相殺あるいは小さくするため、精度よく所定
の光を分光できる。
【００２２】請求項２記載の発明によれば、請求項１と
同様の原理により、周囲の温度が変化して温度変化によ
る各部材の配置変化が生じても、精度よく所定の光を分
光できる。
同様の原理により、周囲の温度が変化して温度変化によ
る各部材の配置変化が生じても、精度よく所定の光を分
光できる。
【００２３】請求項５記載の発明によれば、周囲の温度
変化によらず精度よく所定の光を分光してその強度を測
定できる光スペクトラムアナライザを提供できる。
変化によらず精度よく所定の光を分光してその強度を測
定できる光スペクトラムアナライザを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した一実施の形態の光スペクトラ
ムアナライザの構成を示す斜視概略図である。
ムアナライザの構成を示す斜視概略図である。
【図２】図１の分光器に用いる平面回折格子の構成を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図３】従来の光スペクトラムアナライザの構成を示す
斜視概略図である。
斜視概略図である。
１ 光スペクトラムアナライザ １０ 分光器 １３ 平面回折格子（回折格子） １４ 凹面鏡（選択手段）
Claims (5)
- 【請求項１】入射光を回折する回折格子と、前記回折格
子による回折光から所望の波長の光のみを選択光として
選択する選択手段とを備える分光器において、 前記回折格子以外の部材の熱伸縮に起因する、同一選択
条件における前記選択光の波長変動を、前記回折格子の
熱伸縮に起因する、同一選択条件における前記選択光の
波長変動で相殺あるいは小さくするように、前記回折格
子を形成する材料を選択したことを特徴とする分光器。 - 【請求項２】入射光を回折する回折格子と、前記回折格
子による回折光から所望の波長の光のみを選択する選択
手段とを備える分光器において、 各部材を固定する基板の熱伸縮による各部材の配置変化
に起因する、同一選択条件における前記選択光の波長変
動を、前記回折格子の熱伸縮に起因する、同一選択条件
における前記選択光の波長変動で相殺あるいは小さくす
るように、前記回折格子を形成する材料を選択したこと
を特徴とする分光器。 - 【請求項３】前記分光器はツェルニ・ターナー型分散式
であることを特徴とする請求項１又は２記載の分光器。 - 【請求項４】前記回折格子を形成する材料として、パイ
レックス（登録商標）ガラスを用いることを特徴とする
請求項１〜３のいずれかに記載の分光器。 - 【請求項５】請求項１〜４のいずれかに記載の分光器を
備えることを特徴とする光スペクトラムアナライザ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000216241A JP2002031572A (ja) | 2000-07-17 | 2000-07-17 | 分光器及びこれを備えた光スペクトラムアナライザ |
| US09/907,032 US6678044B2 (en) | 2000-07-17 | 2001-07-17 | Monochromator and optical spectrum analyzer equipped with the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000216241A JP2002031572A (ja) | 2000-07-17 | 2000-07-17 | 分光器及びこれを備えた光スペクトラムアナライザ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002031572A true JP2002031572A (ja) | 2002-01-31 |
Family
ID=18711535
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000216241A Pending JP2002031572A (ja) | 2000-07-17 | 2000-07-17 | 分光器及びこれを備えた光スペクトラムアナライザ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6678044B2 (ja) |
| JP (1) | JP2002031572A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003062776A1 (fr) * | 2002-01-24 | 2003-07-31 | Nikon Corporation | Spectroscope |
| JP2017090314A (ja) * | 2015-11-12 | 2017-05-25 | 横河電機株式会社 | 分光測定装置 |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6687001B2 (en) * | 2001-03-16 | 2004-02-03 | Fujitsu Limited | Optical spectrum analyzer and optical spectrum detecting method |
| US7209230B2 (en) | 2004-06-18 | 2007-04-24 | Luckoff Display Corporation | Hand-held spectra-reflectometer |
| US7483134B2 (en) * | 2005-02-10 | 2009-01-27 | Unity Scientific, Llc | Scanning monochromator with direct drive grating |
| US7233394B2 (en) | 2005-06-20 | 2007-06-19 | Luckoff Display Corporation | Compact spectrometer |
| US7817274B2 (en) * | 2007-10-05 | 2010-10-19 | Jingyun Zhang | Compact spectrometer |
| WO2009070459A1 (en) | 2007-11-30 | 2009-06-04 | Jingyun Zhang | Miniature spectrometers working with cellular phones and other portable electronic devices |
| CN103293682A (zh) * | 2013-05-31 | 2013-09-11 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种宽光谱太阳光谱辐照度监测仪分光光路结构 |
| CH709896A2 (de) * | 2014-07-18 | 2016-01-29 | Tecan Trading Ag | Monochromator mit schwingungsarm bewegbaren optischen Elementen. |
| CN109323762B (zh) * | 2018-09-21 | 2020-02-11 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种凹面光栅双单色仪的装配系统及方法 |
| CN108983434B (zh) * | 2018-09-21 | 2020-09-25 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种多凹面光栅共轴装配系统及方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5192981A (en) * | 1990-04-30 | 1993-03-09 | Spex Industries, Inc. | Czerny-Turner monochromator |
| US5521995A (en) * | 1993-01-15 | 1996-05-28 | Eastman Kodak Company | Segmented waveguide gratings used as optical tilt and displacement sensors |
| US6134039A (en) * | 1998-01-27 | 2000-10-17 | Psc Scanning, Inc. | Wavelength dependent thermally compensated optical system |
-
2000
- 2000-07-17 JP JP2000216241A patent/JP2002031572A/ja active Pending
-
2001
- 2001-07-17 US US09/907,032 patent/US6678044B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003062776A1 (fr) * | 2002-01-24 | 2003-07-31 | Nikon Corporation | Spectroscope |
| US7173695B2 (en) | 2002-01-24 | 2007-02-06 | Nikon Corporation | Spectroscope with thermal compensation mechanism |
| JP2017090314A (ja) * | 2015-11-12 | 2017-05-25 | 横河電機株式会社 | 分光測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6678044B2 (en) | 2004-01-13 |
| US20020008873A1 (en) | 2002-01-24 |
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