JP5556370B2 - 分光器およびこれを用いた光スペクトラムアナライザ - Google Patents
分光器およびこれを用いた光スペクトラムアナライザ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5556370B2 JP5556370B2 JP2010118927A JP2010118927A JP5556370B2 JP 5556370 B2 JP5556370 B2 JP 5556370B2 JP 2010118927 A JP2010118927 A JP 2010118927A JP 2010118927 A JP2010118927 A JP 2010118927A JP 5556370 B2 JP5556370 B2 JP 5556370B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffraction grating
- light
- plane mirror
- movable surface
- support portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
図4において、入射スリット1は、分光器に入射される被測定光の幅を制限する。コリメータレンズ2は、一方から入射された光を平行光とし、他方から入射された光を集光するレンズである。回折格子3は、一定間隔で平行に延在する複数の刻線を備える反射板であり、入射される光を分散分光し、その回折光を出射する。
図5は、従来の分光器の構成を上から見た平面図である。入射スリット1から入射された光は、コリメータレンズ2で平行光とされ、回折格子3へ入射される。回折格子3で分散分光された光は、ほぼ垂直に配置された平面鏡4で反射され、再度、回折格子3へ入射される。
m:回折次数
λ1:波長
d:回折格子の格子間隔
α:回折格子の反射面に対する被測定光の入射角(図5参照)
β:回折格子の反射面に対する回折光の出射角(図5参照)
θ1:回折格子の溝方向に対する光の入射角
平行光化された入射光を回折格子に入射し、回折格子から出射される第1回目の回折光を平面鏡で反射させると共にこの反射光を前記回折格子で回折させて任意の波長成分の光を取り出す分光器において、
前記回折格子から前記平面鏡に向かう前記第1回目の回折光の周囲温度変化で生じる出射角度の変化を相殺する方向に前記平面鏡の角度を変化させるホルダ部を備え、
前記ホルダ部は、
前記平面鏡が固定される可動面と、
前記周囲温度に応じて伸縮し、前記平面鏡が前記回折光の角度変化を相殺する方向に前記可動面の傾きを変える支持部と、
この支持部が固定され、前記可動面の傾きの基準となる固定面とを有し、
前記固定面と前記可動面とはコの字型で連結する形状で一体に形成され、前記可動面の連結箇所に溝が形成されていることを特徴とするものである。
請求項2記載の発明は、
請求項1記載の発明において、前記可動面および前記固定面を形成する材質と前記支持部を形成する材質は、異なる線膨張係数を有する材質であることを特徴とするものである。
請求項3記載の発明は、
請求項1記載の発明において、前記可動面および前記固定面はアルミニウムで形成され、前記支持部は鉄で形成されていることを特徴とするものである。
請求項4記載の発明は、
請求項1〜3のいずれかに記載の分光器を用いた光スペクトラムアナライザであることを特徴とするものである。
請求項1によれば、平行光化された入射光を回折格子に入射し、回折格子から出射される第1回目の回折光を平面鏡で反射させると共にこの反射光を前記回折格子で回折させて任意の波長成分の光を取り出す分光器において、前記回折格子から前記平面鏡に向かう前記第1回目の回折光の周囲温度変化で生じる出射角度の変化を相殺する方向に前記平面鏡の角度を変化させるホルダ部を備えたことにより、回折格子は安価な材質のものを選定できるので、周囲温度の変化に対し、安価に波長ドリフトを抑えることができる。また、前記ホルダ部が、前記平面鏡が固定される可動面と、前記周囲温度に応じて伸縮し、前記平面鏡が前記回折光の角度変化を相殺する方向に前記可動面の傾きを変える支持部と、この支持部が固定され、前記可動面の傾きの基準となる固定面とを有し、前記固定面と前記可動面とはコの字型で連結する形状で一体に形成され、前記可動面の連結箇所に溝が形成されていることにより、ホルダ部6は安価な材質で簡易に構成でき、温度変化を検出する手段も特に必要としないので、周囲温度の変化に対し、安価に波長ドリフトを抑えることができる。
図1は、本発明の分光器の一実施例を示した構成図である。ここで、図4と同一のものは同一符号を付し、説明を省略する。図1において、図4に示す構成と異なる点は、ホルダ部6が新たに設けられている点である。
図2は、ホルダ部6を上から見た上面図である。図3は、本発明の分光器の構成を上から見た平面図である。図2に示すように、ホルダ部6は、平面鏡4が固定される可動面6aと、周囲温度に応じて伸縮し、平面鏡4が回折格子3からの回折光の角度変化を相殺する方向に可動面6aの傾きを変える支持部6bと、支持部6bが固定され、可動面6aの傾きの基準となる固定面6cとを有している。固定面6cは、回折格子3からの回折光と平面鏡で反射される反射光を遮らないように開口部6dを有しており、分光器を固定しているケース類に固定されている。
γ=tan-1(13×10E-6×L2/L1) (2)
(1)図1〜図3に示す実施例において、一例として、回折格子3の材質がパイレックス(登録商標)硝子の場合を示したが、ホルダ部6の可動面6aが支持されている間隔L1と支持部6bの長さL2を変更することで平面鏡4の傾きの角度変化量を変えることができるので、いろいろな材質の回折格子に対応することができる。
2 コリメータレンズ
3 回折格子
4 平面鏡
5 出射スリット
6 ホルダ部
6a 可動面
6b 支持部
6c 固定面
6d 開口部
Claims (4)
- 平行光化された入射光を回折格子に入射し、回折格子から出射される第1回目の回折光を平面鏡で反射させると共にこの反射光を前記回折格子で回折させて任意の波長成分の光を取り出す分光器において、
前記回折格子から前記平面鏡に向かう前記第1回目の回折光の周囲温度変化で生じる出射角度の変化を相殺する方向に前記平面鏡の角度を変化させるホルダ部を備え、
前記ホルダ部は、
前記平面鏡が固定される可動面と、
前記周囲温度に応じて伸縮し、前記平面鏡が前記回折光の角度変化を相殺する方向に前記可動面の傾きを変える支持部と、
この支持部が固定され、前記可動面の傾きの基準となる固定面とを有し、
前記固定面と前記可動面とはコの字型で連結する形状で一体に形成され、前記可動面の連結箇所に溝が形成されていることを特徴とする分光器。 - 前記可動面および前記固定面を形成する材質と前記支持部を形成する材質は、異なる線膨張係数を有する材質であることを特徴とする請求項1記載の分光器。
- 前記可動面および前記固定面はアルミニウムで形成され、前記支持部は鉄で形成されていることを特徴とする請求項1記載の分光器。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の分光器を用いたことを特徴とする光スペクトラムアナライザ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010118927A JP5556370B2 (ja) | 2010-05-25 | 2010-05-25 | 分光器およびこれを用いた光スペクトラムアナライザ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010118927A JP5556370B2 (ja) | 2010-05-25 | 2010-05-25 | 分光器およびこれを用いた光スペクトラムアナライザ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011247655A JP2011247655A (ja) | 2011-12-08 |
JP5556370B2 true JP5556370B2 (ja) | 2014-07-23 |
Family
ID=45413106
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010118927A Expired - Fee Related JP5556370B2 (ja) | 2010-05-25 | 2010-05-25 | 分光器およびこれを用いた光スペクトラムアナライザ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5556370B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102735338B (zh) * | 2012-06-20 | 2014-07-16 | 清华大学 | 基于掩膜与双阿米西棱镜的高分辨率多光谱采集系统 |
CN103091075A (zh) * | 2013-01-12 | 2013-05-08 | 江南大学 | 多功能光栅仪 |
CN103234629B (zh) * | 2013-04-12 | 2015-05-13 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 两个光束在同一入射面的位置与角度同时测量装置 |
JP6673674B2 (ja) * | 2015-11-12 | 2020-03-25 | 横河電機株式会社 | 分光測定装置 |
EP3411689B1 (en) * | 2016-02-04 | 2022-07-06 | Nova Biomedical Corporation | System and method for optical absorbance measurement of whole blood |
JP7147143B2 (ja) * | 2017-01-20 | 2022-10-05 | 株式会社リコー | 分光器および分析装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01109783A (ja) * | 1987-10-22 | 1989-04-26 | Hamamatsu Photonics Kk | 分光装置 |
JPH11326049A (ja) * | 1998-03-30 | 1999-11-26 | Hewlett Packard Co <Hp> | 光スペクトラム・アナライザ |
JP2006145270A (ja) * | 2004-11-17 | 2006-06-08 | Anritsu Corp | Mems光スペクトラムアナライザ及びその波長校正方法 |
-
2010
- 2010-05-25 JP JP2010118927A patent/JP5556370B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011247655A (ja) | 2011-12-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5556370B2 (ja) | 分光器およびこれを用いた光スペクトラムアナライザ | |
JP5655859B2 (ja) | 干渉計およびフーリエ変換分光分析装置 | |
US20110279818A1 (en) | Spectrometry apparatus, detection apparatus, and method for manufacturing spectrometry apparatus | |
JP2013007830A (ja) | 透過型回折格子及び検出装置 | |
JP2009121986A (ja) | 分光装置 | |
US6646739B2 (en) | Four-stage type monochromator | |
JP4645173B2 (ja) | 分光器、及びこれを備えている顕微分光装置 | |
JPH11183249A (ja) | 分光器 | |
JP5315817B2 (ja) | 回折格子及び分光器 | |
JP2001183233A (ja) | 分光器および分光方法 | |
JP4642621B2 (ja) | 分光装置 | |
JP5558927B2 (ja) | 分光器 | |
US9587983B1 (en) | Thermally compensated optical probe | |
JP2006234920A (ja) | 光学モジュール | |
JP2009175038A (ja) | 分光器 | |
JP6182988B2 (ja) | 分光デバイス及び波長選択スイッチ | |
JP5900248B2 (ja) | 分光光度計 | |
JP2007187550A (ja) | 分光装置 | |
JP6168968B2 (ja) | 分光装置、及び、それを備えた共焦点走査型顕微鏡 | |
JP7449903B2 (ja) | 第1光学系、分光器、及び光学装置 | |
JP2009264895A (ja) | モノクロメータ | |
JP2009128193A (ja) | 波長センサ | |
JP3274035B2 (ja) | モノクロメータ | |
WO2011148726A1 (ja) | 干渉計およびフーリエ変換分光分析装置 | |
JP5988691B2 (ja) | 分光装置、及び、それを備えた共焦点走査型顕微鏡 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130416 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131113 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131119 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131227 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140507 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140520 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5556370 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |