JP2002028603A - 光輝焼鈍前のステンレス鋼管の洗浄方法。 - Google Patents
光輝焼鈍前のステンレス鋼管の洗浄方法。Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 作業効率が高い方法によって、光輝焼鈍した
後のパーティクルの発生を激減させた、特に内面が高度
に清浄なステンレス鋼管を製造するための鋼管内外面の
洗浄方法の提供。 【構成】 冷間引抜きまたは冷間圧延し管内外面に潤滑
油の付着したステンレス鋼管を光輝焼鈍前に洗浄する方
法において、底部を水平面に対して長手方向に好ましく
は５度〜１０度傾斜させた直方体状の脱脂槽を用いて、
傾斜の高い側から吹き出させた脱脂液が傾斜の低い側へ
流れ、傾斜の低い側から流出するように脱脂液を常時流
した状態で、脱脂液の流れの方向とステンレス鋼管の中
心軸線の方向が一致するようにステンレス鋼管を傾斜さ
せて脱脂槽内に浸漬することによってステンレス鋼管内
外面に付着した潤滑油をその長手方向に沿って流れる脱
脂液によって除去することを特徴とする光輝焼鈍前のス
テンレス鋼管の洗浄方法。
後のパーティクルの発生を激減させた、特に内面が高度
に清浄なステンレス鋼管を製造するための鋼管内外面の
洗浄方法の提供。 【構成】 冷間引抜きまたは冷間圧延し管内外面に潤滑
油の付着したステンレス鋼管を光輝焼鈍前に洗浄する方
法において、底部を水平面に対して長手方向に好ましく
は５度〜１０度傾斜させた直方体状の脱脂槽を用いて、
傾斜の高い側から吹き出させた脱脂液が傾斜の低い側へ
流れ、傾斜の低い側から流出するように脱脂液を常時流
した状態で、脱脂液の流れの方向とステンレス鋼管の中
心軸線の方向が一致するようにステンレス鋼管を傾斜さ
せて脱脂槽内に浸漬することによってステンレス鋼管内
外面に付着した潤滑油をその長手方向に沿って流れる脱
脂液によって除去することを特徴とする光輝焼鈍前のス
テンレス鋼管の洗浄方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体や液晶製造
プラント、高真空装置等の配管材として適する内面が高
清浄のステンレス鋼管を光輝焼鈍仕上げによって製造す
る前のステンレス鋼管の内外面の洗浄方法と該方法に用
いる脱脂槽の構造に関する。
プラント、高真空装置等の配管材として適する内面が高
清浄のステンレス鋼管を光輝焼鈍仕上げによって製造す
る前のステンレス鋼管の内外面の洗浄方法と該方法に用
いる脱脂槽の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造プラントでは、比較的安定な
一般ガス（Ｏ2 ，Ｎ2 ，Ｈ2 ，Ｈｅ）から反応性、腐食
性および毒性の強いフッ素系、塩素系などのプロセスガ
スやクリーニングガスが使用される。これらのガスを使
用する配管やチャンバーの材料には、ガスとの反応性、
耐腐食性の他、強度、加工性、溶接性、管内外表面の仕
上げ研磨性等を考慮して、オーステナイト系またはフェ
ライト系のステンレス鋼管が使用されている。これらの
ステンレス鋼管は冷間引抜きまたは冷間圧延した後、鋼
管の内外面に付着した潤滑油を脱脂液を用いて洗い流し
て清浄にする方法が採用されている。
一般ガス（Ｏ2 ，Ｎ2 ，Ｈ2 ，Ｈｅ）から反応性、腐食
性および毒性の強いフッ素系、塩素系などのプロセスガ
スやクリーニングガスが使用される。これらのガスを使
用する配管やチャンバーの材料には、ガスとの反応性、
耐腐食性の他、強度、加工性、溶接性、管内外表面の仕
上げ研磨性等を考慮して、オーステナイト系またはフェ
ライト系のステンレス鋼管が使用されている。これらの
ステンレス鋼管は冷間引抜きまたは冷間圧延した後、鋼
管の内外面に付着した潤滑油を脱脂液を用いて洗い流し
て清浄にする方法が採用されている。
【０００３】金属管の脱脂洗浄方法としては、有機溶剤
やアルカリ脱脂溶液等の洗浄液に金属管を浸漬する方法
が一般的である。この方法において、脱脂液を強制流動
する方法が知られており、その手段として、金属管を収
容する脱脂槽内の脱脂液を強制流動させる方法（特開平
４−１８７７８９号公報）や脱脂槽内の金属管の内部へ
脱脂液を強制注入する方法がある。後者の方法は、金属
管内面の洗浄効果に優れているが、金属管端に液噴出ノ
ズルを装着するとか、脱脂槽内に金属管を一本ずつチャ
ッキングする作業を必要とし、能率が悪いため、多数本
の金属管を同時脱脂するのは不向きであった。
やアルカリ脱脂溶液等の洗浄液に金属管を浸漬する方法
が一般的である。この方法において、脱脂液を強制流動
する方法が知られており、その手段として、金属管を収
容する脱脂槽内の脱脂液を強制流動させる方法（特開平
４−１８７７８９号公報）や脱脂槽内の金属管の内部へ
脱脂液を強制注入する方法がある。後者の方法は、金属
管内面の洗浄効果に優れているが、金属管端に液噴出ノ
ズルを装着するとか、脱脂槽内に金属管を一本ずつチャ
ッキングする作業を必要とし、能率が悪いため、多数本
の金属管を同時脱脂するのは不向きであった。
【０００４】これを改良する手段として、脱脂すべき複
数本の金属管を束ねて脱脂槽に収容するとともに、その
管束の一端部を脱脂槽の一端側に連設された加圧室内に
挿入し、該加圧室内の管束挿入口において管束の外周を
不完全シールした状態で、加圧室内に加圧された脱脂液
を供給する方法および装置が開発されている（特許第２
９２９８８４号公報）。
数本の金属管を束ねて脱脂槽に収容するとともに、その
管束の一端部を脱脂槽の一端側に連設された加圧室内に
挿入し、該加圧室内の管束挿入口において管束の外周を
不完全シールした状態で、加圧室内に加圧された脱脂液
を供給する方法および装置が開発されている（特許第２
９２９８８４号公報）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】半導体デバイスの製造
プラントに使用されるステンレス鋼管内部は、腐食性ガ
スによる腐食生成物の発生を防止するために鋼管内部を
耐蝕性に優れたものとする必要がある。また、ステンレ
ス鋼管内でミクロン、サブミクロンサイズのパーティク
ルが出ないこと、水分の乾き性が良好なことも求めら
れ、半導体チップの高集積化、シリコンウエハの大型
化、エピタキシャルウエハの需要の高まりとともに、特
に内面が高度に清浄なステンレス鋼管の要求が強まって
いる。
プラントに使用されるステンレス鋼管内部は、腐食性ガ
スによる腐食生成物の発生を防止するために鋼管内部を
耐蝕性に優れたものとする必要がある。また、ステンレ
ス鋼管内でミクロン、サブミクロンサイズのパーティク
ルが出ないこと、水分の乾き性が良好なことも求めら
れ、半導体チップの高集積化、シリコンウエハの大型
化、エピタキシャルウエハの需要の高まりとともに、特
に内面が高度に清浄なステンレス鋼管の要求が強まって
いる。
【０００６】上記の通り、ステンレス鋼管は冷間引抜き
または冷間圧延した後、鋼管の内外面を脱脂する必要が
あり、通常、鋼管を脱脂槽に浸漬して脱脂する方法が行
われている。しかし、従来の方法では、鋼管内面の脱脂
が不十分だったり、鋼管内面に脱脂液が付着したままと
なって、内面が高度に清浄なステンレス鋼管を提供する
ことが困難であり、光輝焼鈍した後のパーティクルの発
生を少なくすることが困難であった。
または冷間圧延した後、鋼管の内外面を脱脂する必要が
あり、通常、鋼管を脱脂槽に浸漬して脱脂する方法が行
われている。しかし、従来の方法では、鋼管内面の脱脂
が不十分だったり、鋼管内面に脱脂液が付着したままと
なって、内面が高度に清浄なステンレス鋼管を提供する
ことが困難であり、光輝焼鈍した後のパーティクルの発
生を少なくすることが困難であった。
【０００７】金属管内面に脱脂液を強制循環させれば、
金属管内面の洗浄効果は高くなるが、特許第２９２９８
８４号公報記載の方法でも、管束の一端部を脱脂槽の一
端側に連設された加圧室内に挿入し、該加圧室内の管束
挿入口において管束の外周を不完全シールするなど、手
間のかかる作業を必要とし作業効率がよくない。
金属管内面の洗浄効果は高くなるが、特許第２９２９８
８４号公報記載の方法でも、管束の一端部を脱脂槽の一
端側に連設された加圧室内に挿入し、該加圧室内の管束
挿入口において管束の外周を不完全シールするなど、手
間のかかる作業を必要とし作業効率がよくない。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、ステンレス鋼
管内面に脱脂液を強制注入するためのチャッキング装置
等の脱脂槽の付属設備を特に使用することなく、脱脂液
の直線的な流動による鋼管内外面の同時脱脂によって、
通常のＢＡ管に比べて光輝焼鈍後に鋼管内面に発生する
パーティクルを著しく少なくしたステンレス鋼管の内外
面の洗浄方法である。
管内面に脱脂液を強制注入するためのチャッキング装置
等の脱脂槽の付属設備を特に使用することなく、脱脂液
の直線的な流動による鋼管内外面の同時脱脂によって、
通常のＢＡ管に比べて光輝焼鈍後に鋼管内面に発生する
パーティクルを著しく少なくしたステンレス鋼管の内外
面の洗浄方法である。
【０００９】すなわち、本発明は、冷間引抜きまたは冷
間圧延し管内外面に潤滑油の付着したステンレス鋼管を
光輝焼鈍前に洗浄する方法において、底部を水平面に対
して長手方向に傾斜させた直方体状の脱脂槽を用いて、
傾斜の高い側から吹き出させた脱脂液が傾斜の低い側へ
流れ、傾斜の低い側から流出するように脱脂液を常時流
した状態で、脱脂液の流れの方向とステンレス鋼管の中
心軸線の方向が一致するようにステンレス鋼管を傾斜さ
せて脱脂槽内に浸漬することによってステンレス鋼管内
外面に付着した潤滑油をその長手方向に沿って流れる脱
脂液によって除去することを特徴とする光輝焼鈍前のス
テンレス鋼管の洗浄方法である。傾斜角度は好ましくは
５〜１０度とする。
間圧延し管内外面に潤滑油の付着したステンレス鋼管を
光輝焼鈍前に洗浄する方法において、底部を水平面に対
して長手方向に傾斜させた直方体状の脱脂槽を用いて、
傾斜の高い側から吹き出させた脱脂液が傾斜の低い側へ
流れ、傾斜の低い側から流出するように脱脂液を常時流
した状態で、脱脂液の流れの方向とステンレス鋼管の中
心軸線の方向が一致するようにステンレス鋼管を傾斜さ
せて脱脂槽内に浸漬することによってステンレス鋼管内
外面に付着した潤滑油をその長手方向に沿って流れる脱
脂液によって除去することを特徴とする光輝焼鈍前のス
テンレス鋼管の洗浄方法である。傾斜角度は好ましくは
５〜１０度とする。
【００１０】また、本発明は、上記の方法により脱脂し
た後、弱酸液槽に浸漬してスマットを除去し、純水で洗
浄した後乾燥することを特徴とする光輝焼鈍前のステン
レス鋼管の洗浄方法である。
た後、弱酸液槽に浸漬してスマットを除去し、純水で洗
浄した後乾燥することを特徴とする光輝焼鈍前のステン
レス鋼管の洗浄方法である。
【００１１】さらに、本発明は、底部を水平面に対して
長手方向に５度〜１０度傾斜させた直方体状の脱脂槽で
あって、その傾斜の高い側の側壁に脱脂液を傾斜方向に
向けて吹き出させる吹き出し口を、傾斜の低い側の側壁
に脱脂液を傾斜方向に向けて流出させる流量調整蓋を有
する流出口を設けたことを特徴とする光輝焼鈍前のステ
ンレス鋼管の内外面の脱脂槽である。
長手方向に５度〜１０度傾斜させた直方体状の脱脂槽で
あって、その傾斜の高い側の側壁に脱脂液を傾斜方向に
向けて吹き出させる吹き出し口を、傾斜の低い側の側壁
に脱脂液を傾斜方向に向けて流出させる流量調整蓋を有
する流出口を設けたことを特徴とする光輝焼鈍前のステ
ンレス鋼管の内外面の脱脂槽である。
【００１２】本発明の脱脂方法によれば、脱脂液吹き出
し口から吹き出した脱脂液は、脱脂槽の底部の傾斜の高
い側の端部から急流のように流れており、つり下げたス
テンレス鋼管をその流れの中に浸漬するだけで鋼管の内
外面に付着した潤滑油を完全に洗い流すことができるの
で作業効率が著しく向上し、かつ高品質の光輝焼鈍仕上
げステンレス鋼管を提供することができる。
し口から吹き出した脱脂液は、脱脂槽の底部の傾斜の高
い側の端部から急流のように流れており、つり下げたス
テンレス鋼管をその流れの中に浸漬するだけで鋼管の内
外面に付着した潤滑油を完全に洗い流すことができるの
で作業効率が著しく向上し、かつ高品質の光輝焼鈍仕上
げステンレス鋼管を提供することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して本発明の
ステンレス鋼管の内外面の洗浄方法の実施の形態を詳述
する。図１は、本発明の脱脂方法を実施するために使用
する脱脂槽の概略を示す側面図である。
ステンレス鋼管の内外面の洗浄方法の実施の形態を詳述
する。図１は、本発明の脱脂方法を実施するために使用
する脱脂槽の概略を示す側面図である。
【００１４】本発明の脱脂方法に使用する脱脂槽１は、
長尺、例えば長さ４ｍ以上程度で、内径４〜９５ｍｍ程
度、外径５〜１００ｍｍ程度のステンレス鋼管２を、好
ましくは複数本を束にして、つり下げて浸漬するのに十
分な長さと幅を有する略直方体の形状を有している。
長尺、例えば長さ４ｍ以上程度で、内径４〜９５ｍｍ程
度、外径５〜１００ｍｍ程度のステンレス鋼管２を、好
ましくは複数本を束にして、つり下げて浸漬するのに十
分な長さと幅を有する略直方体の形状を有している。
【００１５】脱脂槽１は、長手方向に水平面に対して約
５〜１０度傾斜した底部３を有している。図１のように
底部に傾斜をつけた槽を用いる代わりに、通常の直方体
状の槽をその底部が約５〜１０度傾斜するように傾けて
架台上に設置してもよい。傾斜の高い側の側壁に脱脂液
を傾斜方向に向けて吹き出させる吹き出し口４を、傾斜
の低い側の側壁に脱脂液を傾斜方向に向けて流出させる
流出口５を設ける。流出口５としては、上下方向に開閉
できる流量調整蓋６を設けるとよい。流量調整蓋６は、
脱脂液の吹き出し量に合わせて開放することによって、
流量を調整できるとともに、脱脂液を直線状の流れのま
ま流出させることができる。
５〜１０度傾斜した底部３を有している。図１のように
底部に傾斜をつけた槽を用いる代わりに、通常の直方体
状の槽をその底部が約５〜１０度傾斜するように傾けて
架台上に設置してもよい。傾斜の高い側の側壁に脱脂液
を傾斜方向に向けて吹き出させる吹き出し口４を、傾斜
の低い側の側壁に脱脂液を傾斜方向に向けて流出させる
流出口５を設ける。流出口５としては、上下方向に開閉
できる流量調整蓋６を設けるとよい。流量調整蓋６は、
脱脂液の吹き出し量に合わせて開放することによって、
流量を調整できるとともに、脱脂液を直線状の流れのま
ま流出させることができる。
【００１６】脱脂槽１の下部には脱脂液貯槽７を設け
て、ポンプ９を駆動して脱脂槽１と脱脂液貯槽７との間
を脱脂液をフイルター８を介して循環させることによっ
て、傾斜の高い側から吹き出させた脱脂液が傾斜の低い
側へ急流のように流れ、傾斜の低い側から流出するよう
にして、作業中は脱脂液を常時流した状態とする。
て、ポンプ９を駆動して脱脂槽１と脱脂液貯槽７との間
を脱脂液をフイルター８を介して循環させることによっ
て、傾斜の高い側から吹き出させた脱脂液が傾斜の低い
側へ急流のように流れ、傾斜の低い側から流出するよう
にして、作業中は脱脂液を常時流した状態とする。
【００１７】脱脂液の流れの方向とステンレス鋼管２の
中心軸線の方向が一致するように、冷間引抜きまたは冷
間圧延し管内外面に潤滑油の付着したステンレス鋼管２
を傾斜させて脱脂槽１内に浸漬する。好ましくは、複数
のステンレス鋼管２を束にして脱脂槽１の上方からクレ
ーンなどにより吊るして脱脂槽１内に降下させる。傾斜
の高い側から吹き出した脱脂液は傾斜した鋼管２の傾斜
の高い側の端部から鋼管２の内面に流れ込み、傾斜の低
い側の端部から排出され、傾斜の低い側の流出口５から
流出する。また、脱脂液は、ステンレス鋼管２の外面を
長手方向に沿って流れる。
中心軸線の方向が一致するように、冷間引抜きまたは冷
間圧延し管内外面に潤滑油の付着したステンレス鋼管２
を傾斜させて脱脂槽１内に浸漬する。好ましくは、複数
のステンレス鋼管２を束にして脱脂槽１の上方からクレ
ーンなどにより吊るして脱脂槽１内に降下させる。傾斜
の高い側から吹き出した脱脂液は傾斜した鋼管２の傾斜
の高い側の端部から鋼管２の内面に流れ込み、傾斜の低
い側の端部から排出され、傾斜の低い側の流出口５から
流出する。また、脱脂液は、ステンレス鋼管２の外面を
長手方向に沿って流れる。
【００１８】脱脂槽１の底部３の傾斜が大きいほど脱脂
液の流れを早くすることができるが、好ましい傾斜角度
は５〜１０度である。傾斜角度が５度より小さいと、脱
脂槽１全体の脱脂液が均一に急流のように流れなくな
る。また、１０度より大きいと脱脂液が早く流れすぎ、
脱脂槽１全体に脱脂液が行き渡らなくなる。脱脂槽１の
底部３を水平面として、支持具により鋼管２を傾斜して
載置した場合は、脱脂槽１内の脱脂液の流れの方向とス
テンレス鋼管２の軸線方向の角度が不一致となり鋼管２
の内面に脱脂液が流れにくくなる。
液の流れを早くすることができるが、好ましい傾斜角度
は５〜１０度である。傾斜角度が５度より小さいと、脱
脂槽１全体の脱脂液が均一に急流のように流れなくな
る。また、１０度より大きいと脱脂液が早く流れすぎ、
脱脂槽１全体に脱脂液が行き渡らなくなる。脱脂槽１の
底部３を水平面として、支持具により鋼管２を傾斜して
載置した場合は、脱脂槽１内の脱脂液の流れの方向とス
テンレス鋼管２の軸線方向の角度が不一致となり鋼管２
の内面に脱脂液が流れにくくなる。
【００１９】脱脂槽１の下部に設けた脱脂液貯槽７は、
例えば、略直方体の形状の槽とする。脱脂槽１の脱脂液
は、脱脂槽１の底部３の低い側から流下して脱脂液貯槽
７に滞留する。脱脂液貯槽７に滞留した脱脂液は、ポン
プ９によって脱脂槽１に循環させる。脱脂液の循環経路
にはフイルター８を設けて、脱脂液中に混入する固形分
を除去する。
例えば、略直方体の形状の槽とする。脱脂槽１の脱脂液
は、脱脂槽１の底部３の低い側から流下して脱脂液貯槽
７に滞留する。脱脂液貯槽７に滞留した脱脂液は、ポン
プ９によって脱脂槽１に循環させる。脱脂液の循環経路
にはフイルター８を設けて、脱脂液中に混入する固形分
を除去する。
【００２０】脱脂液槽での洗浄は、脱脂液の吹き出し量
および脱脂槽の底部の傾斜を調整して鋼管の傾斜の高い
側から低い側へ流れる鋼管内部の流速が１５ｍ／分以上
となるようにすることが望ましい。この方法によれば、
約３０分で十分な脱脂効果を得ることができる。
および脱脂槽の底部の傾斜を調整して鋼管の傾斜の高い
側から低い側へ流れる鋼管内部の流速が１５ｍ／分以上
となるようにすることが望ましい。この方法によれば、
約３０分で十分な脱脂効果を得ることができる。
【００２１】脱脂工程は、複数回繰り返し行うことが好
ましい。例えば、古いアルカリ脱脂液を用いる荒脱脂
（一回目）→水洗→中間アルカリ脱脂（二回目）→水洗
→最も新しいアルカリ脱脂液を使った仕上げ脱脂（三回
目）の順に行う。次に、例えば、硝酸を入れた弱酸液槽
に浸漬して洗浄を行う。弱酸液槽による洗浄によって鋼
管内面に残っているスマットを除去する。
ましい。例えば、古いアルカリ脱脂液を用いる荒脱脂
（一回目）→水洗→中間アルカリ脱脂（二回目）→水洗
→最も新しいアルカリ脱脂液を使った仕上げ脱脂（三回
目）の順に行う。次に、例えば、硝酸を入れた弱酸液槽
に浸漬して洗浄を行う。弱酸液槽による洗浄によって鋼
管内面に残っているスマットを除去する。
【００２２】次に、通常の水槽に浸漬して水槽を揺動す
る。この後、内面高圧水ピグ洗浄、すなわち、鋼管内面
にガーゼを通す機械的な洗浄を行うことが好ましい。つ
いで、温純水に浸漬した後、大気中に取り出してエアブ
ローし、乾燥し、ついで焼鈍炉において光輝焼鈍する。
る。この後、内面高圧水ピグ洗浄、すなわち、鋼管内面
にガーゼを通す機械的な洗浄を行うことが好ましい。つ
いで、温純水に浸漬した後、大気中に取り出してエアブ
ローし、乾燥し、ついで焼鈍炉において光輝焼鈍する。
【００２３】ステンレス鋼管を加熱炉内に送り込み、炉
内に入れた鋼管の後端に次の鋼管の先端をつなぐ方式で
鋼管を連続的に光輝焼鈍することができる。鋼管の内面
には還元用の水素ガスを強制的に送り込む。炉内に水素
ガス流して還元雰囲気とした焼鈍炉内の加熱帯で加熱
し、焼鈍炉内の冷却帯で冷却する。
内に入れた鋼管の後端に次の鋼管の先端をつなぐ方式で
鋼管を連続的に光輝焼鈍することができる。鋼管の内面
には還元用の水素ガスを強制的に送り込む。炉内に水素
ガス流して還元雰囲気とした焼鈍炉内の加熱帯で加熱
し、焼鈍炉内の冷却帯で冷却する。
【００２４】
【実施例】長さ８ｍ、幅０．６ｍ、深さ０．５ｍの略直
方体状で底部の傾斜が水平面に対して７度の脱脂槽を３
個設置し、それぞれ古いアルカリ液を入れた荒脱脂槽、
荒脱脂槽に用いる一段前のアルカリ液を入れた中間脱脂
槽、新しいアルカリ液を入れた仕上脱脂槽とした。他
に、弱硝酸液槽、水洗槽を設置した。脱脂液の吹き出し
口とステンレス鋼管の配置関係を図２に示す。脱脂槽の
壁に２本の脱脂液循環パイプを通し、吹き出し口を漏斗
状に広げて設ける。脱脂液循環パイプの径ｘは１００ｍ
ｍとした。脱脂液の吹き出し口の先端とステンレス鋼管
の端部の距離は５００〜１０００ｍｍとした。脱脂液の
流出口に設けた流量調整蓋は５ｃｍ程度開けた。
方体状で底部の傾斜が水平面に対して７度の脱脂槽を３
個設置し、それぞれ古いアルカリ液を入れた荒脱脂槽、
荒脱脂槽に用いる一段前のアルカリ液を入れた中間脱脂
槽、新しいアルカリ液を入れた仕上脱脂槽とした。他
に、弱硝酸液槽、水洗槽を設置した。脱脂液の吹き出し
口とステンレス鋼管の配置関係を図２に示す。脱脂槽の
壁に２本の脱脂液循環パイプを通し、吹き出し口を漏斗
状に広げて設ける。脱脂液循環パイプの径ｘは１００ｍ
ｍとした。脱脂液の吹き出し口の先端とステンレス鋼管
の端部の距離は５００〜１０００ｍｍとした。脱脂液の
流出口に設けた流量調整蓋は５ｃｍ程度開けた。
【００２５】ポンプを駆動させて脱脂液を脱脂槽と脱脂
液貯槽との間に循環させ、脱脂液の流速は１６ｍ／分と
した。脱脂液を常時流した状態で、冷間引抜きした外径
６．３５ｍｍ、内径４．７５ｍｍ、長さ４．５ｍのＳＵ
Ｓ３１６Ｌ鋼管１００本を束にして脱脂槽の底部の傾斜
角度に合わせて長さ方向に約７度傾斜させて吊るし、ま
ず荒脱脂槽に３０分、水洗槽に１０分、中間脱脂槽に３
０分、水洗槽に１０分、仕上げ脱脂槽に３０分浸漬し
た。次いで、弱硝酸液槽に１０分浸漬してスマットを除
去した。最後に温純水槽に３０分浸漬した後、大気中で
エアブローし乾燥した。
液貯槽との間に循環させ、脱脂液の流速は１６ｍ／分と
した。脱脂液を常時流した状態で、冷間引抜きした外径
６．３５ｍｍ、内径４．７５ｍｍ、長さ４．５ｍのＳＵ
Ｓ３１６Ｌ鋼管１００本を束にして脱脂槽の底部の傾斜
角度に合わせて長さ方向に約７度傾斜させて吊るし、ま
ず荒脱脂槽に３０分、水洗槽に１０分、中間脱脂槽に３
０分、水洗槽に１０分、仕上げ脱脂槽に３０分浸漬し
た。次いで、弱硝酸液槽に１０分浸漬してスマットを除
去した。最後に温純水槽に３０分浸漬した後、大気中で
エアブローし乾燥した。
【００２６】脱脂したステンレス鋼管を光輝焼鈍炉にお
いて、鋼管の内外面に水素ガスを流しながら１０５０℃
に２分間均熱保持し、空冷することにより、仕上げた。
いて、鋼管の内外面に水素ガスを流しながら１０５０℃
に２分間均熱保持し、空冷することにより、仕上げた。
【００２７】この方法によって得られたステンレス鋼管
について管の曲げによるパーティクル発生を測定した。
Ａ社およびＢ社製のφ６．３５×ｔ１．０×Ｌ２０００
の半導体製造プラント用内外面光沢仕上げステンレス鋼
管（ＢＡ管）を対照材とした。測定方法はクラス１００
０のクリーンルーム内において、管の片端から０．０１
μｍのフイルターを通して窒素ガスを圧力１ｋｇ／ｃｍ
2、流量０．１ＣＦ／分で流し、反対側の管端でレーザ
ーパーティクルカウンター（株式会社ニッタ製）により
パーティクルを測定した。
について管の曲げによるパーティクル発生を測定した。
Ａ社およびＢ社製のφ６．３５×ｔ１．０×Ｌ２０００
の半導体製造プラント用内外面光沢仕上げステンレス鋼
管（ＢＡ管）を対照材とした。測定方法はクラス１００
０のクリーンルーム内において、管の片端から０．０１
μｍのフイルターを通して窒素ガスを圧力１ｋｇ／ｃｍ
2、流量０．１ＣＦ／分で流し、反対側の管端でレーザ
ーパーティクルカウンター（株式会社ニッタ製）により
パーティクルを測定した。
【００２８】窒素ガスを流しながらパーティクルが直管
状態で０であることを確認し、その後窒素ガスを流しな
がら管端部から１ｍの部分をベンダーで９０度に曲げて
発生したパーティクルを測定した。測定結果を表１に示
す。表１に示すとおり、本発明の洗浄方法を使用してい
ない比較例では、０．４μｍ以下のパーティクルが１０
０〜１０００個のオーダーで発生しているのに対して、
本発明の実施例では、数十個のレベルに少なくなり、鋼
管内面の清浄度が極めて高いことが分かった。
状態で０であることを確認し、その後窒素ガスを流しな
がら管端部から１ｍの部分をベンダーで９０度に曲げて
発生したパーティクルを測定した。測定結果を表１に示
す。表１に示すとおり、本発明の洗浄方法を使用してい
ない比較例では、０．４μｍ以下のパーティクルが１０
０〜１０００個のオーダーで発生しているのに対して、
本発明の実施例では、数十個のレベルに少なくなり、鋼
管内面の清浄度が極めて高いことが分かった。
【００２９】
【表１】
【００３０】
【発明の効果】本発明の洗浄方法によれば、長尺のステ
ンレス鋼管の内外面を早い速度で流れる脱脂液で脱脂す
ることができ、洗浄効果を高めることができ、脱脂後の
光輝焼鈍と組み合わせて半導体製造装置などに使用され
る特に内面が高度に清浄なステンレス鋼管を製造するこ
とができる。
ンレス鋼管の内外面を早い速度で流れる脱脂液で脱脂す
ることができ、洗浄効果を高めることができ、脱脂後の
光輝焼鈍と組み合わせて半導体製造装置などに使用され
る特に内面が高度に清浄なステンレス鋼管を製造するこ
とができる。
【図１】本発明の脱脂方法を実施するために使用する脱
脂槽と脱脂液貯槽の全体概念図である。
脂槽と脱脂液貯槽の全体概念図である。
【図２】本発明の実施例における脱脂液吹き出し口とス
テンレス鋼管の配置の一例を示す概念図である。
テンレス鋼管の配置の一例を示す概念図である。
フロントページの続き (72)発明者 照沼 正明 兵庫県尼崎市東向島西之町１番地 住友金 属工業株式会社関西製造所内 Ｆターム(参考） 3B116 AA12 AB01 BB03 BB82 BB90 CA01 CC01 CC03 4K053 PA03 PA18 QA03 QA04 RA16 RA21 TA12 TA16 TA18 TA19 XA07
Claims (4)
- 【請求項１】 冷間引抜きまたは冷間圧延し管内外面に
潤滑油の付着したステンレス鋼管を光輝焼鈍前に洗浄す
る方法において、底部を水平面に対して長手方向に傾斜
させた直方体状の脱脂槽を用いて、傾斜の高い側から吹
き出させた脱脂液が傾斜の低い側へ流れ、傾斜の低い側
から流出するように脱脂液を常時流した状態で、脱脂液
の流れの方向とステンレス鋼管の中心軸線の方向が一致
するようにステンレス鋼管を傾斜させて脱脂槽内に浸漬
することによってステンレス鋼管内外面に付着した潤滑
油をその長手方向に沿って流れる脱脂液によって除去す
ることを特徴とする光輝焼鈍前のステンレス鋼管の洗浄
方法。 - 【請求項２】 傾斜角度を５〜１０度としたことを特徴
とする請求項１記載のステンレス鋼管の洗浄方法。 - 【請求項３】 請求項１または２記載の方法により脱脂
した後、弱酸液槽に浸漬してスマットを除去し、純水で
洗浄した後乾燥することを特徴とする光輝焼鈍前のステ
ンレス鋼管の洗浄方法。 - 【請求項４】 底部を水平面に対して長手方向に５度〜
１０度傾斜させた直方体状の脱脂槽であって、その傾斜
の高い側の側壁に脱脂液を傾斜方向に向けて吹き出させ
る吹き出し口を、傾斜の低い側の側壁に脱脂液を傾斜方
向に向けて流出させる流量調整蓋を有する流出口を設け
たことを特徴とする光輝焼鈍前のステンレス鋼管の内外
面の脱脂槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000219905A JP2002028603A (ja) | 2000-07-19 | 2000-07-19 | 光輝焼鈍前のステンレス鋼管の洗浄方法。 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000219905A JP2002028603A (ja) | 2000-07-19 | 2000-07-19 | 光輝焼鈍前のステンレス鋼管の洗浄方法。 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002028603A true JP2002028603A (ja) | 2002-01-29 |
Family
ID=18714601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000219905A Pending JP2002028603A (ja) | 2000-07-19 | 2000-07-19 | 光輝焼鈍前のステンレス鋼管の洗浄方法。 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002028603A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR101893397B1 (ko) | 2018-01-02 | 2018-10-04 | (주)에스엘테크 | 강관 내부 세척 장치 |
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-
2000
- 2000-07-19 JP JP2000219905A patent/JP2002028603A/ja active Pending
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