JP2002022045A - バルブ装置 - Google Patents

バルブ装置

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JP2002022045A
JP2002022045A JP2001157152A JP2001157152A JP2002022045A JP 2002022045 A JP2002022045 A JP 2002022045A JP 2001157152 A JP2001157152 A JP 2001157152A JP 2001157152 A JP2001157152 A JP 2001157152A JP 2002022045 A JP2002022045 A JP 2002022045A
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control rocker
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Rolf Berger
ベルガー ロルフ
Martin Maichl
マイクル マルチン
Markus Hoffmann
ホフマン マルクス
Jurgen Stingel
シュティンゲル ユルゲン
Wolfgang Soblik
ゾルビック ウォルフガンク
Michael Weinmann
ワインマン ミカエル
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Festo SE and Co KG
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    • F15C3/00Circuit elements having moving parts
    • F15C3/10Circuit elements having moving parts using nozzles or jet pipes
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 機械的ストレスが緩和されたコンパクトなバ
ルブ装置を提供する。 【解決手段】 コントロールチャンバ8内には、少なく
とも一つの流体ダクト開口25a,25bを制御するた
めに作用すると共に、二つの終点位置31a,31b間
を移動可能な少なくとも一つの揺動コントロールロッカ
部材12が備えられる。コントロールロッカ部材12の
一つの揺動位置は、電気的に駆動される可撓性要素37
によって動かされる。この可撓性要素37は、コントロ
ールチャンバ8内で、コントロールロッカ部材12の作
動部42に作用することができる。コントロールロッカ
部材12は、バネ手段36によって、第1の終点位置3
1aに付勢される。一方、可撓性要素37は、電気的に
能動化されていない状態において、機械的ストレスを受
けることなく、且つバネによって付勢されることなく、
コントロールロッカ部材12の作動部42と係合する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、コントロールチャ
ンバを画定するバルブハウジングを備えたバルブ装置に
関するものであり、特に、上記コントロールチャンバに
通じて複数の流体ダクトが開口すると共に、上記コント
ロールチャンバにおいて、コントロールロッカ部材が、
流体ダクト開口の少なくとも一つを制御するために配置
されると共に、少なくとも二つの終点位置間で揺動し、
その揺動位置は、電気的に駆動される可撓性要素によっ
て動かされ、上記可撓性要素は、上記コントロールロッ
カ部材の作動部に作用することを特徴とするバルブ装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】このタイプのバルブ装置は、ヨーロッパ
特許公報第0,741,248 A2号において開示さ
れている。ここでは、コントロールチャンバが、バルブ
ハウジングの内部に画定され、このバルブハウジング内
には、揺動性可動コントロールロッカ部材が配設される
と共に、揺動軸の延長上にコントロールロッカ部材の作
動部が、バルブハウジングのコントロールチャンバから
突出して設けられている。コントロールロッカ部材の揺
動位置を動かすために、例えば、圧電可撓性要素を作動
部に作用させることが可能である。このコントロールロ
ッカ部材は、コントロールチャンバ内部において、揺動
位置に応じて開閉可能な二つの流体ダクト開口即ちポー
トと対向して設けられている。又、同様のバルブ装置
が、ドイツ特許(実用新案)公報第29,901,85
5号においても開示されているが、ここでは、上記ヨー
ロッパ特許公報第0,741,248 A2号の設計か
ら離れて、制御されるべき流体ダクトは、コントロール
ロッカ部材の長手側に配置されている。
【0003】これら二つの周知のバルブ装置の場合、漏
洩を生じさせることなく、且つ揺動性を確保しながら、
作動部がコントロールチャンバの外に延在可能となるよ
うに、広範囲にわたるシール手段が必要である。更に、
定位置にあるコントロールロッカ部材を二つの終点位置
の一方に付勢するために、作動用に用いられる圧電可撓
性要素に対する機械的付勢作用が必要とされる。可撓性
要素の機械的ストレス緩和は、時に機能上の欠陥が生じ
ることを意味する。
【0004】同じような問題は、米国特許第5,77
9,218号によるバルブ装置の場合にも生じる。ここ
では、所定の終点位置を設定するために、圧電可撓性要
素が、付勢力を受けて所望の位置に配置される。従っ
て、ヨーロッパ特許公報第0,547,022 B1号
では、補償のために圧電可撓性要素に作用する機械的バ
ネを用いて、ストレス緩和の問題に対処することへの提
案が既になされている。しかしながら、この方法を用い
ると、バルブ装置の高さが全体的に高くなってしまう。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の一つ
の目的は、簡単でコンパクトなバルブ構成を用いて、ス
トレス緩和に関する問題を少なくとも実質的範囲まで解
決する、冒頭で述べたようなタイプのバルブ装置を提供
することである。
【0006】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】この目的
及び/又は本明細書、特許請求の範囲、及び図面から明
らかとなる他の目的を達成するために、本発明では、作
動部を含むコントロールロッカ部材は、コントロールチ
ャンバに収容され、二つの終点位置の第1の位置に対し
て可撓性要素とは関係なくバネ手段によって付勢され、
可撓性要素は、電気的に能動化されていない状態では、
コントロールチャンバ内で実質的に機械的ストレスから
解放され、バネによる付勢なしで、コントロールロッカ
部材の第1の終点位置でコントロールロッカ部材の作動
部と係合する。
【0007】上記構造によれば、可撓性要素が活性化さ
れていない状態で、コントロールロッカ部材が、一つの
終点位置に付勢される。このために用いられるバネ力
は、この時、可撓性要素とは関係なく、コントロールロ
ッカ部材に伝達される。その結果、可撓性要素自体は、
機械的ストレス、即ちストレス緩和から本質的に解放さ
れた状態で、コントロールロッカ部材と係合することが
可能となり、ストレス緩和性向を補償するために、可撓
性要素に作用するバネによる付勢が必要とされない。結
果として、可撓性要素は、完全に付勢を受けない状態
で、あるいは少なくともわずかな付勢力を受けるに過ぎ
ない状態で取り付けられるため、より明確には、可撓性
要素を適切な場所に配置するだけで良いため、バルブ装
置を比較的簡単に組み立てることが可能となる。更に、
この場合、可撓性要素は、コントロールチャンバ内でコ
ントロールロッカ部材と協働するため、コントロールロ
ッカ部材とバルブハウジングとの間のシール面に関する
問題も生じない。バルブ装置は、全体として、極めて小
さい寸法で設計することが可能となる。
【0008】電気的に活性化される可撓性要素として
は、特に、圧電可撓性要素が用いられる。又、原則とし
ては、そのような可撓性要素として、形状記憶合金又は
バイメタルを用いることも可能である。上述のバルブ装
置に基づいて、例えば、“常閉”及び“常開”の特性を
有するバルブといった、別のタイプのバルブを安価で製
造することも可能である。
【0009】好ましい実施例では、コントロールチャン
バが、コントロールロッカ部材によって制御される二つ
の流体ダクト開口を備え、この流体ダクト開口は、それ
ぞれ、別の流体ダクトと連通すると共に、コントロール
ロッカ部材の二つの終点位置によって、交互に閉じたり
開いたりする。つまり、一方の流体ダクト開口の閉塞
が、同時に、他方の流体ダクト開口の開放をもたらす。
この点に関して、二つの被制御流体ダクト開口が、コン
トロールロッカ部材の異なるロッカアームによって制御
されることが好ましく、従って、バルブハウジングが複
数の部分からなる場合には、それら二つの被制御流体ダ
クト開口を、同一のハウジング部分上、且つコントロー
ルロッカ部材の同一側に配置することが可能である。
【0010】コントロールロッカ部材が、制御されるべ
きそれぞれの流体ダクト開口と協働する部分にシール部
材の層を有するように構成すると効果的である。それと
同時に、コントロールロッカ部材は、ハウジング上の支
点を軸に揺動可能となるように設けられることが好まし
く、その揺動の支持部に、素材及び厚みに関してシール
部材の層と同一の素材の層を有するようにすると効果的
である。そのような素材の層は、特に、シール部材の層
と一貫して形成されるのが好ましい。これは、シール部
材の膨張が、コントロールロッカ部材と制御されるべき
バルブダクト開口との間に生じるバルブ間隙に、何ら影
響を及ぼさないことを意味する。つまり、シール部材の
膨張は、同時に、支持部に存在する素材層の同一の膨張
をもたらすため、これによって、コントロールロッカ部
材は、単に平行に変位されるのみで、実質的に、バルブ
間隙に対する影響はない。
【0011】可撓性要素が、コントロールロッカ部材に
関して、その揺動軸から横に一定間隔離れた場所に位置
する取付点から出発して、制御されるべき少なくとも一
つの流体ダクト開口とは反対の側で、コントロールロッ
カ部材と部分的に重なり合いながら、コントロールロッ
カ部材に向かって延在するように配置すると効果的であ
る。この場合、可撓性要素と協働するコントロールロッ
カ部材の作動部は、取付点とは反対の揺動軸側に、揺動
軸から離れて配置されても良い。この点に関して、バネ
手段が、作動部とは反対の揺動軸側でコントロールロッ
カ部材と係合するようにすることが好ましい。
【0012】更に、この点に関して、異なるレバー長さ
を持たせることによって、可撓性要素のストローク力特
性への最適な適合が成し遂げられるようにすることが好
ましい。可撓性要素の取付点は、必要であれば、コント
ロールチャンバ内に直接配置されるようにしても良い。
同じく効果的な設計としては、その取付点が、バルブハ
ウジング内の、コントロールチャンバに隣接する取付チ
ャンバ内に位置し、そこから可撓性要素の前端部がコン
トロールチャンバ内に延在するように構成される。可撓
性要素を適位置に固定すると同時に、電気接続部をシー
ルするために、取付チャンバは、例えば、埋込み又はキ
ャスティング構造で満たされても良い。
【0013】更に、電気的に能動化されていない状態で
可撓性要素がとる定位置が、バルブ装置の組立時に、可
撓性要素がコントロールロッカ部材の作動部上及びハウ
ジング上の少なくとも一つの支点上に置かれた後で、可
撓性要素がその自重によってとる位置と一致するように
すると効果的である。この場合、製造誤差による影響を
受けることなく、遊びを伴わずに、且つ後の調節の必要
無しに、ただその自重に基づいて可撓性要素の取付を行
うことが可能となる。
【0014】コントロールロッカ部材の選択された終点
位置を予め定めるバネ手段は、コントロールチャンバ内
に直接配置されることが好ましい。この点に関して、バ
ネ手段は、同時にコントロールロッカ部材を保持する機
能を果たすように設計されても良い。特に、バネ手段
が、可撓性要素の作動力と平行に働くバネ力によって、
コントロールロッカ部材に対して作用するようにすると
効果的である。
【0015】製造が特に簡単な本発明の実施例によれ
ば、バネ手段は、一端がハウジング上に、他端がコント
ロールロッカ部材に固定される少なくとも一つのバネラ
グを備える。このバネラグは、アンカー部を介して、ハ
ウジングに対して固定可能なバネユニットの一部であ
る。アンカー部及びバネラグは、一体的に形成されるこ
とが好ましく、この場合には、バネユニット全体を、例
えば、バネ鋼といった弾性材料で形成すると効果的であ
る。
【0016】バネ手段の更なる実施例では、コントロー
ルロッカ部材を付勢するために用いられるバネ力は、揺
動軸と同方向に配列されると共に、コントロールロッカ
部材とバルブハウジングとの間に延在し、更に、好まし
くは揺動軸を直接規定することが可能であるトーション
ロッド要素を用いて得られる。このトーションロッド要
素のハウジングへの取付は、バルブハウジングの二つの
部分に設けられた保持面間で保持される取付部を用いて
行うことができる。この場合、コントロールロッカ部
材、トーションロッド要素、及び取付部を、一体的な一
つの構成要素として設計することが可能である。更に、
一方ではコントロールロッカ部材が第1の終点位置に付
勢されるように、そして他方では所望の付勢力を生成す
るために、トーションロッド要素が更にねじられる形
で、バルブハウジングの保持面が取付部に対して作用す
るように配置されることが好ましい。
【0017】それぞれの取付部と協働する保持面は、そ
の一方がバルブハウジングの底部に、そして他方がその
頂部に設けられるようにすると最適であり、この場合、
二つのハウジング部分を組み立てることによって直接付
勢が得られる。可撓性要素は、コントロールロッカ部材
の駆動手段の一構成要素として構成することができる。
この時、コントロールロッカ部材は、更に、その段階的
揺動を可能にするための手段を備え、この手段が、例え
ば、ラチェット機構又は自己ロッキング機構を規定す
る。これは、可撓性要素の相対的に小さい設定力及び可
撓性要素の小さい揺動ストロークを用いて、結果的に生
じる大きい設定力及び開放ストロークを、大径のバルブ
シートに対して与えることが可能であることを意味す
る。この点に関して、双安定バルブ機能を実現するため
に、可撓性要素による一度の作動で、コントロールロッ
カ部材が一つの揺動段階分だけ開き、新たな作動で、再
び閉じるような設計にしても良い。
【0018】コントロールロッカ部材と、それに関わる
バネ手段とを合わせて、第1コントロールユニットと呼
ぶことができる。この第1コントロールユニットに加え
て、適切に設計された第2のコントロールユニットが設
けられても良い。この第2コントロールユニットは、少
なくとも一つの更なる流体ダクト開口又はポートを制御
するために働き、この場合、二つのコントロールユニッ
トのコントロールロッカ部材は、どちらも、可撓性要素
によって共に作動することが可能なように設計される。
そして、例えば、バルブ装置が、3/3バルブ機能を果
たすように設計されても良い。第2のコントロールロッ
カ部材は、第1のコントロールロッカ部材に対して左右
相称となるように、可撓性要素の反対側に配置されるこ
とが好ましい。
【0019】制御されるべき流体ダクト開口に対して位
置付けられる、コントロールロッカ部材の揺動軸の位置
を多様に設定することを可能にする調節手段が設けられ
ると有利である。このようにして、バルブ間隙を調節す
ることが可能となる。これは、又、バルブ装置の組立の
間に、可撓性要素が無くても成し遂げることが可能であ
ることが好ましく、特に、バルブ装置が二つのコントロ
ールロッカ部材を有する場合に適している。
【0020】可撓性要素に対する作動電圧の無段階の印
加を可能にするための手段が存在する場合、コントロー
ルロッカ部材の連続的な制御を行うことが極めて簡単に
なる。又、この場合、揺動の所望の位置を、必要に応じ
て予め設定することも可能である。
【0021】本発明の更に有利な展開及び便利な形状
は、付随の図面を参照に、幾つかの実施例を開示した以
下の詳細な説明から理解されるであろう。
【0022】
【発明の実施の形態】先ず第1に、図1〜図7に示され
た本発明の実施例について説明する。ここに図示された
バルブ装置1は、好ましくは平行六面体に形成され、例
えば、比較的平らな形状を有するバルブハウジング2を
備える。このようなハウジング2は、プラスチック材料
から作られることが好ましく、複数の部分からなる構造
を有する。本実施例では、ハウジング2は、底部3aと
頂部3bとからなり、底部は長方形に形成された床4を
有すると共に、この床4の縁部から延在し周囲を取り囲
む外周側壁5を有する。
【0023】床4に対向する側壁5の上部側には、好ま
しくはそれを取り巻いて延在する棚状突起が設けられる
ことにより段が形成され、その結果、受入手段6が規定
されている。この受入手段6には、蓋を構成し、好まし
くはプレート状に設計された頂部3bが挿入される。底
部3aと頂部3bとは、例えば、接着剤による接合又は
溶接といったジョイント接続によって、気密状態で共に
固定されることが好ましい。こうすることによって、密
封剤の中間的な位置決め作業を別途行う必要がなくなる
ためである。
【0024】バルブハウジング2は、浅くて平らな長形
のハウジング内部空間7をその内部に画定する。この内
部空間7は、長手方向に順に配列された二つの部分に分
けられ、この二つの部分を、以下コントロールチャンバ
8及び取付チャンバ9と呼ぶ。この内部空間の長さ方向
の大部分は、ここではコントロールチャンバ8によって
占められている。
【0025】取付チャンバ9と反対側のコントロールチ
ャンバ8の前方部分には、揺動部材が配設され、この揺
動部材は、流体の流動を制御するために働き、以下コン
トロールロッカ部材12と呼ばれる。このコントロール
ロッカ部材12は、コントロールチャンバ8の内部に完
全に配置され、揺動軸13を中心にバルブハウジング2
に対して揺動可能となっている。その揺動軸13は、バ
ルブハウジング2の長手軸(列方向)14に対して垂直
に、そして床4の広がりの平面に対して平行に延在す
る。
【0026】本実施例では、ハウジングの内側4の支点
に支点突起15を設けることにより、揺動軸13が規定
されている。この支点突起15は、長手軸14を横切っ
て延在すると共に、ドーム状に形成され、所望であれ
ば、その上方に向けられた面はわずかに放射状に形成さ
れても良い。二重矢印で示された、一方から他方にシー
ソーのように揺れる揺動運動を行うために、コントロー
ルロッカ部材12は、揺動の中心となる支持部16を有
する。
【0027】コントロールロッカ部材12を適切な位置
に固定し、その滑りを防ぐために、コントロールロッカ
部材12は、ハウジング上に設けられた固定手段18と
互いに噛み合う形で係合するように構成され、その結
果、確かな揺動の実現が可能となる。図示された実施例
では、これらの固定手段18は、バルブハウジング2の
二つの横の側壁5aの内面のすぐ近傍に位置する二つの
先端部に形成された、プレート状の平らなコントロール
ロッカ部材12の周縁凹部22に嵌め込まれる突起を備
える。
【0028】コントロールロッカ部材12は、揺動軸1
3の両側に配設された第1及び第2のロッキングアーム
23a,23bを有する。コントロールロッカ部材12
が揺動する時、二つのロッキングアームの対応する一方
が、バルブハウジング2の床4に向かって移動する一方
で、他方のロッキングアームは、二つのアーム部を有す
るてこと同様に、床4から遠ざかる方向へ持ち上げられ
る。この場合、コントロールロッカ部材12は、それ自
体が剛性の構成要素からなる。
【0029】複数の流体ダクト24は、コントロールチ
ャンバ8に通じて開口している。本実施例では、三つの
流体ダクトが設けられ、それらの一端はハウジング2の
外面(図示なし)まで延在し、そこで更なる流体ダクト
と接続され、例えば、流体ラインを形成するようにして
も良い。
【0030】コントロールチャンバ8の内部に位置する
流体ダクト開口の少なくとも一つは、流体の通過に関し
て、コントロールロッカ部材12によって制御される。
本実施例では、二つの流体ダクト24がそれによって制
御され、それぞれの流体ダクト24は、以下第1及び第
2被制御流体ダクト開口25a,25bと呼ばれる、制
御されるべき流体ダクト開口を有する。第3の流体ダク
ト開口26は、常時開いた状態となっている。
【0031】第1被制御流体ダクト開口25aは、第1
ロッキングアーム23aと対向し、第2被制御流体ダク
ト開口25bは、第2ロッキングアーム23bと対向す
るように配置される。これは、二つの被制御流体ダクト
開口25a,25bが、それぞれの開口断面に関して、
コントロールロッカ部材12の異なるロッキングアーム
によって制御可能であることを意味する。好ましくは、
二つの被制御流体ダクト開口25a,25bは、コント
ロールロッカ部材12の同じ側に配設され、ロッキング
アーム23a,23bの両側に渡って延在すると同時
に、コントロールロッカ部材12を横切って延在する制
御側のロッカ面27が、それらと対向して配置される。
その結果、被制御流体ダクト開口25a,25bは、コ
ントロールロッカ部材12によって、その同一側で閉じ
られると共に、同一のバルブハウジング部分上、本実施
例の場合には底部3aの床4上に配置される。
【0032】従って、被制御流体ダクト開口25a,2
5b、及び本実施例で支点突起15によって規定される
支点は、同一のハウジング部分上に配置される。二重矢
印17で示された、揺動軸13を中心としたコントロー
ルロッカ部材12の揺動によって、コントロールロッカ
部材12は、二つの終点位置に交互に動かされる。図6
に示された第1終点位置31aでは、コントロールロッ
カ部材12は、第1ロッキングアーム23a側に設けら
れた、第1被制御流体ダクト開口25a上に位置する第
1閉塞部32aを有し、第1被制御流体ダクト開口25
aを気密状態で閉塞する。これに対して、図7に示され
た第2終点位置31bでは、コントロールロッカ部材1
2は、第2ロッキングアーム23b側に設けられ、第2
被制御流体ダクト開口25b上に位置してそれを密閉す
る第2閉塞部32bを有する。この場合、それぞれ他方
のロッキングアームは、同時に、そして常に、それぞれ
対応する被制御流体ダクト開口を開くように、そこから
離れて持ち上げられた状態となる。このため、適切な揺
動による位置付けによって、二つの被制御流体ダクト開
口25a,25bを交互に開閉することが可能となり、
一方の流体ダクト開口が閉じられると、他方の流体ダク
ト開口が開けられる状態となる。
【0033】バルブ装置1は、例えば、3/2ウェイバ
ルブとして設計されても良い。この場合、例えば、圧縮
空気のような圧力媒体が、第1被制御流体ダクト開口2
5aと連結された流体ダクトを介して、継続的に供給さ
れる。第2被制御流体ダクト開口25bと連結された流
体ダクト24は、通気ダクトとして構成され、大気と連
通する。常に開かれた第3流体ダクト開口26から延び
た流体ダクトは、動力ダクトを構成し、例えば、流体の
力によって作動する駆動装置のような負荷装置と接続さ
れても良い。
【0034】従って、第1終点位置31aでは、動力ダ
クトが、第2被制御流体ダクト開口25bを通じて逃げ
口を与えられ、それと同時に、第1被制御流体ダクト開
口25aに通じる供給ダクトは閉塞される。反対に、第
2終点位置31bでは、通気ダクトが閉じられる一方
で、供給ダクトが、開かれた第1被制御流体ダクト開口
25aを介して、動力ダクトの開かれた第3流体ダクト
開口26と接続される。従って、圧力媒体が、それぞれ
開かれた流体ダクト開口間で、つまりコントロールチャ
ンバ8を通じて流動することが可能となる。
【0035】二つの閉塞部32a,32bは、それぞ
れ、適切なシール部材の層によって構成されており、以
下この層を第1及び第2シール部材層33a,33bと
呼ぶ。この第1及び第2シール部材層33a,33b
は、コントロールロッカ部材12の主要本体34上のそ
れぞれ対応する側に施され、この層は、金属で製造され
るのが最適である。従って、制御側のロッカ面27は、
少なくとも部分的にシール部材層33a,33bの表面
によって構成される。
【0036】コントロールロッカ部材12の特に有益な
点は、主要本体34が、更に、揺動の支点の位置に素材
の層35を備えていることである。この素材層35は、
材料特性及び層の厚さに関して、それぞれのシール部材
層33a,33bと同一であり、コントロールロッカ部
材12は、支点突起15の上部側にこの素材層35を有
する。
【0037】シール部材による層が一様に施されるよう
に、シール部材層33a,33bは、素材層35と一体
化されて形成されるように設計することが好ましい。こ
の場合、その一様なシール部材層は、制御側のロッカ面
27の少なくとも大部分を形成することができる。
【0038】バルブ装置が作動している間、例えば、膨
張により、シール部材の層の厚さにわずかな変化が生じ
る可能性がある。これは、通常、対応する被制御流体ダ
クト開口25a,25bからの距離に変化をもたらすも
のである。しかしながら、支持点にも適切な素材による
層が形成されているため、シール部材の厚さにおける変
化は自動的に埋め合わされる。これは、コントロールロ
ッカ部材全体が持ち上げられるため、シール部材とシー
ル座を形成している流体ダクト開口25a,25bとの
間の間隙は変化しないためである。シール部材のそれぞ
れの長さ、つまり、バルブシート上のコントロールロッ
カ部材の端部の高さは、極めて小さいままの状態に保つ
ことが可能であるため、開位置における間隙に対する熱
膨張の影響は、最小のまま留められる。更なるポイント
は、コントロールチャンバ8に流通している内圧による
ハウジング部分3a,3bの屈曲でさえ、自動的に埋め
合わされるということである。これは、コントロールロ
ッカ部材の揺動点も、同様に移動するためである。二つ
のハウジング部分3a,3b間の間隙の大きさに関する
製造誤差は、バルブ装置の機能に全く影響を与えない。
なぜなら、全ての関連した構成要素は、底部3aに取り
付けられ、頂部3bは、バルブの機能部分、つまり、以
下で説明される機能部分に影響を及ぼさないためであ
る。
【0039】更に、バルブ装置1は、コントロールロッ
カ部材12と同様、コントロールチャンバ8の内部に完
全に収められた、バルブハウジング2とコントロールロ
ッカ部材12との間で直接効力を有するバネ手段36を
備える。このバネ手段36は、一方でバルブハウジング
2によって支持され、他方では、以下で説明される可撓
性要素と協働することなく、コントロールロッカ部材1
2がいずれかの終点位置に付勢されるように、コントロ
ールロッカ部材12に対して作用する。いずれかの終点
位置とは、本実施例の場合、第1終点位置31aを意味
し、この位置が、同時に、活性化されていない状態にお
けるバルブ装置1の定位置に相当する。
【0040】バネ手段36は、バネ力FFをもって、第
1レバーアーム“f”と呼ばれる揺動軸13からの距離
の地点で、コントロールロッカ部材12に対して作用す
る。これによって生じるトルクが、コントロールロッカ
部材12を第1終点位置31aへと傾ける。
【0041】コントロールロッカ部材12の位置をもう
一方の第2終点位置31bに切り換えるために、バルブ
ハウジング2内に統合された駆動手段38の電気的に駆
動される可撓性要素37を用いて、作動力FBが生成さ
れ、この作動力FBによってコントロールロッカ部材1
2に作用するためにもたらされる反対のトルクが生成さ
れる。力の転移は、支持部16から第2レバーアーム
“b”と呼ばれる一定距離の間隔を空けて設けられた、
コントロールロッカ部材12の作動部42において行わ
れる。
【0042】バネ力FF及び作動力FBが、コントロール
ロッカ部材12に対して揺動の逆方向に作用するよう
に、それぞれの力が付与される地点が、揺動軸13の直
径的に対向する側に位置付けられるように設計がなされ
る。上述の可撓性要素37は、例えば、室温で定位置を
とる、いわゆる形状記憶合金から製造することができ
る。この形状記憶合金は、電流によって加熱されると、
その定位置から外れるように歪められ、電流の遮断によ
って冷却されると、再び元の定位置へ戻る。しかしなが
ら、本実施例のように、可撓性要素37は、圧電要素、
つまり、ビーム状可撓性トランスデューサとして形成さ
れることが好ましい。この圧電要素は、後端部が固定さ
れた形で取り付けられると共に、その前端部は、電流が
印加されると、その長手方向を横切って横に逸れるよう
に構成されている。
【0043】図4及び図5において明らかに示されたよ
うに、可撓性要素37は、一般に、バルブハウジング2
の長手方向に延在すると共に、ハウジングの内部空間7
に収められる。その後端部43は、取付チャンバ9に設
けられた取付点44でしっかりと固定され、その前端部
45は、コントロールチャンバ8の内部をコントロール
ロッカ部材12に向かって延在する。
【0044】本実施例では、取付チャンバ9における可
撓性要素37の固定は、取付チャンバ9を満たすと共
に、それによって可撓性要素37の後端部43を取り巻
く埋込み構造46を用いて実現されている。この埋込み
構造46は、同時に、電気接続線47及びそれに関連し
た、そこを介して電気接続コンタクト手段48との接続
がなされる接続ポイントを大切に保護する役割を果た
す。このコンタクト手段48は、作動電圧の付与を可能
にするために、バルブハウジング2の後方側壁5bを抜
けて外部に延在する。
【0045】本実施例において、バネ手段36のバネ力
を付与する地点52は、揺動軸13、即ち支持部16
の、後端部43に面した長手側に位置付けられている。
本実施例では隆起部として形成されたコントロールロッ
カ部材12の作動部42は、支持部16の、取付点44
と反対側の長手側に配置されている。従って、コントロ
ールロッカ部材12は、制御側のロッカ面27と反対の
上部側で、少なくとも部分的に可撓性要素37と重なり
合う。この場合、コントロールロッカ部材12が、可撓
性要素37の前端部45と完全に重なり合うようにする
ことも可能である。
【0046】バルブ装置の設計は、図4に示されたよう
に、可撓性要素37が、電気的に能動化されていない状
態にある時、つまり、作動電流が印加されていない時、
定位置に位置付けられるようになされる。この定位置に
ある時、可撓性要素37は、コントロールチャンバ8の
内部で、少なくとも本質的に機械的ストレスを受けない
状態にある。言い換えると、可撓性要素37は、バネ手
段36によって設定された通り第1終点位置31aにあ
る時、作動部42上で、ストレスから完全に自由な状
態、又は極めて小さい付勢を受けるに過ぎない。この点
に関して、可撓性要素を介在させることなく、又可撓性
要素37自体はバネによる付勢を受けることなく、バネ
手段が、コントロールロッカ部材12に対して直接作用
することに着目すべきである。結果的に、定位置にある
可撓性要素37によってコントロールロッカ部材12に
付与される作動力FBは、ゼロに等しい。
【0047】可撓性要素37が屈曲する性向により、作
動力FBが生成されるのは、所望の作動電圧が、電気接
続コンタクト手段48を介して圧電可撓性要素に加えら
れた場合のみである。そして、この作動力FBによっ
て、ストレスを受けた第1終点位置31aから第2終点
位置31bへのコントロールロッカ部材12の切換、即
ち揺動が引き起こされる。
【0048】作動電圧が再び遮断され、可撓性要素37
が無負荷の状態になると、可撓性要素37は再び定位置
に戻り、それと同時にコントロールロッカ部材12が、
バネ手段36によって切り換えられ、再び第1終点位置
31aへと戻る。本実施例においては、バルブ装置1
は、いわゆる“常閉”の特性を有するものとして設計さ
れている。即ち、バルブ装置1が非活性化状態にある
時、供給圧力を供給する第1被制御流体ダクト開口25
aが、バネ手段36によって閉じられた状態となってい
る。単に二つの被制御流体ダクト開口25a,25bの
ダクト機能を切り換えることによって、“常開”の特性
を有するバルブ装置を製造することも、容易に可能であ
る。
【0049】電気的に能動化されていない定位置にある
時の可撓性要素37の機械的に付勢されていない状態
は、バルブ装置を組み立てる際に、非常に容易に設定可
能である。上記定位置は、実際、バルブ装置1を組み立
てる間、頂部3bが取り除かれた状態で、コントロール
ロッカ部材12及びバネ手段36が既に据え付けられた
底部3aにおいて、可撓性要素が最初に置かれる位置に
相当する。その後、可撓性要素37の前端部45が作動
部42上に配置される一方で、その後端部43は、底部
3a上の、ハウジングの内部空間7に設けられた支持部
53上に配置される。この場合、支持部53は、作動部
42と共に、可撓性要素37を置くための三点の支持部
を構成するように設計されることが好ましい。この支持
部53は、長手軸14を横切って延在し、同時に取付チ
ャンバ9とコントロールチャンバ8とを隔てる隔壁とし
ても機能する、床に設けられた隆起部として形成されて
も良い。
【0050】適切に配置された可撓性要素37は、その
自重によってのみ作動部42に対して作用する。この状
態で、上述のようなストレスを受けない可撓性要素37
の機械的コンディションが確立されるように、後端部4
3が上述の方法で固定される。
【0051】バルブシートとして設計されることが最適
である二つの被制御流体ダクト開口25a,25bは、
同一のハウジング部分3a上に、又コントロールロッカ
部材12の同一側に配置されるため、製造及び組立に際
しての、関連する一連の製造誤差は、一つの誤差項目を
含むに過ぎない。制御ダイアフラム上に施されたシール
部材の膨張、ハウジングの機械的歪み、及び二つのハウ
ジング部分3a,3bの組立に関しての製造誤差は、バ
ルブの機能性に実質的に影響を及ぼさない。更に、圧電
可撓性要素37のストレス緩和及びコントロールロッカ
部材12のスイッチングストロークにおける付随の有害
な減少が避けられる。これに関しては、バネ手段36
が、圧電可撓性要素37に対して作用するのではなく、
コントロールロッカ部材12に対して直接作用する構造
が利点となっている。例えば、上述の米国特許第5,7
79,218号において記載されているように、圧電可
撓性要素を予め入念に付勢する必要はない。圧電可撓性
要素を機械的に付勢しなくても、コントロールロッカ部
材12のバネ付勢を利用して、ある一定のスイッチング
位置、つまり閉位置か開位置のいずれかを可撓性要素3
7の定位置として設定することが可能であるため、スト
レス緩和を補うために機能する圧電可撓性要素37のバ
ネ付勢を不要にすることも可能である。その結果、図面
において明らかに示されているように、バルブハウジン
グ2の平坦な形状が実現される。
【0052】上述のバルブ装置1の更なる利点は、被制
御流体ダクト開口25a,25bによって構成されるバ
ルブシートが、可撓性要素37に対して別途調節される
必要がないことである。更に、可撓性要素37の厚さに
おける避けることのできない製造誤差、つまり揺動平面
の寸法の変動は、トータル的な一連の誤差には影響を及
ぼさない。
【0053】更に、バルブ装置1においては、可撓性要
素37のストローク力特性に最適な釣り合いを得るため
に、第1及び第2レバーアーム“f”,“b”の長さを
調節することが可能である。異なるアーム長さを有する
コントロールロッカ部材12を用いることによって、可
撓性要素37からより大きな機械的エネルギーを得るこ
とが可能となる。その結果、同じバネ力FFに対して、
より大きなスイッチングストロークをもつこと及び/又
は同じスイッチングストロークに対して、より大きな作
動力を得ることが可能となる。可撓性要素37のストロ
ーク力特性に合わせた、トラブルのない適合が可能とな
る。この点に関して、スイッチングストロークという言
葉は、対応する被制御流体ダクト開口が開位置、ここで
は終点位置にある時の、対応する被制御流体ダクト開口
25から閉塞部32a,32bまでの距離を意味する。
この結果、スイッチング経路は、コントロールロッカ部
材12の揺動角及び揺動軸16から閉塞部32a,32
bまでの距離に左右される。このことから、被制御流体
ダクト開口25a,25bの直径が異なって選択された
場合には、適切に選択された異なるスイッチングストロ
ークを有するために、揺動軸13から被制御流体ダクト
開口25a,25bまでの距離を、それぞれ異なるよう
に選択することが可能であることは明らかである。
【0054】又、バルブ装置1のスイッチング動作は、
より大きい又はより小さいバネ力を有する力手段36を
用いることによって左右されても良い。バルブ装置1の
更なる利点は、可撓性要素37とコントロールロッカ部
材12との協働が、包み込まれるようにハウジングの内
部空間7におけるコントロールチャンバ8内の環境から
切り離されていることである。このため、コントロール
ロッカ部材12とハウジングの内部空間7における他の
構成要素との間の可動接続部を密封する必要がない。更
に、可撓性要素37が、バルブシート、即ち被制御流体
ダクト開口25a,25bに対して、シーリング機能を
果たさないことも利点である。このため、作動部42と
接触する領域について、可撓性要素37は、そこで生じ
る摩擦力に対して最適な材料から作られても良い。作動
部42の揺動半径が、作動部42と接触する可撓性要素
37の作用部54のそれよりも小さいため、摩擦は、上
記接触領域において、スイッチング動作の間、作用部5
4と作動部42とが互いに摺動するように生じる。
【0055】本実施例におけるバルブ装置1の特徴は、
それを組み立てる間、可撓性要素37を取り付ける前
に、コントロールロッカ部材12による被制御流体ダク
ト開口25a,25bの適切な閉塞に関して、そのシー
リング効果の検査が可能であることである。更に、可撓
性要素37の挿入、取付後であっても、バルブ装置1を
最終的に閉鎖するための頂部3bを取り付ける前であれ
ば、機能をチェックし、既に取り付けられた構成要素に
関して、適切な時期に必要な修正を行うことが可能であ
る。ここでは、頂部3bが、純粋に蓋としての機能を果
たし、支持機能をもたないということが、非常に効果的
となっている。
【0056】本実施例では、コントロールロッカ部材1
2への作動力FBの付与は、可撓性要素37の可能な揺
動運動の経路を最適に利用することができるように、実
質的に可撓性要素37の最も外側の前端部にて行われ
る。図1〜3において示されたように、二つの閉塞部3
2は、翼状に揺動軸13から離れてそれぞれ反対方向に
延在し、被制御流体ダクト開口25a,25bと同様、
二つの側壁5aの一方の近傍に、バルブハウジング2の
長手軸14に隣接して、横に一定の間隔を置いて配置さ
れた、第1及び第2制御部55a,55b上に位置する
ことが好ましい。これに対して、作動部42及びバネ力
が転移する地点52は、長手軸14及び可撓性要素37
の長手軸56が延在する平面に配置されることが好まし
い。その結果、設定力がコントロールロッカ部材12に
付与されるそれらの領域によって損なわれることがない
ように、閉塞部32a,32bを設計することが可能と
なる。
【0057】図1〜図7に示された実施例において、バ
ネ手段36は、少なくとも一つのバネラグ57によって
構成されている。本実施例では、そのようなラグが一つ
だけ設けられている。このバネラグ57は、バネユニッ
ト58の構成要素の一つであり、バネユニット58のア
ンカー部62で固定されることによって、ハウジングに
対して取り付けられる。このバネユニット58は、バネ
鋼等の弾性材料からなる一体的要素として製造されるこ
とが好ましい。このバネユニット58におけるアンカー
部62は、両側に弾性つめを備えた平らな形状の支持部
63を有する。固定されていない状態でのアンカー部6
2の幅は、つめ64を考慮に入れて、二つの横の側壁5
a間で測定したコントロールチャンバ8の内のり幅より
もわずかに大きく形成されている。平板状の支持部63
は、支持部63の前方側からラグ状に延在するバネラグ
57の一端部と一体的に接続されている。
【0058】バネユニット58は、コントロールチャン
バ8内の、コントロールロッカ部材12と取付チャンバ
9、即ちそれを画定している支点53との間に取り付け
られる。組立は、アンカー部62を底部3aの開いた上
端側の上にした状態で、支持部63が床4の内面に接触
するまで、バネユニット58をコントロールチャンバ8
内に挿入することによって行われる。それと同時に、つ
め64が、横の側壁5aの内面と接触し、バネの復元力
に抗してわずかに歪められる。その結果生じる付勢効果
によって、つめ64は、プラスチック材料からなる横の
側壁5aをしっかりとらえる。このようにして、バネユ
ニット58は、付加的な取付要素を用いることなく、底
部3aに取り付けられる。
【0059】バネラグ57は、コントロールロッカ部材
12に向かって前方に延在し、その前端部65が、コン
トロールロッカ部材12上の、バネ力を付与する地点5
2と係合する。バネユニット58を適位置に取り付ける
前の状態で、バネラグ57は、支持部63と同じ一平面
上に延在するようにしても良い。あるいは、その前端部
65に向かってわずかに上向きに傾斜する形で構成され
ても良い。いずれの場合にも、バネユニット58が取り
付けられた時、バネラグ57が、所望のバネ力FFをも
って、コントロールロッカ部材12に抗して支えられる
ような配置に設計する。
【0060】従って、コントロールロッカ部材12及び
バネラグ57は、揺動軸13を横切る方向に、互いに並
べて配置される。この方向を、列配置方向と呼ぶ。この
場合、可撓性要素37は、列配置方向と平行に配置され
て、バネラグ57及びコントロールロッカ部材12をま
たぐ。
【0061】バネユニット58は、バルブハウジング2
内に固定され、その前端部65が、コントロールロッカ
部材12に対して、上方から床4に向かって作用するた
めに、コントロールロッカ部材12が、バネユニット5
8によって、つまり、バネ手段36によってバルブハウ
ジング上に保持されるという利点が生じる。従って、更
なる保持手段は必要とされない。
【0062】バネ手段を間に介在させることなく、可撓
性要素37が、コントロールロッカ部材12に対して直
接作用するように構成するのが最適である。コントロー
ルロッカ部材12を付勢して第1終点位置31aに位置
付ける役割を果たすバネ手段36は、バネ力FFと作動
力FBとが平行な周方向に働くように作用する。
【0063】バルブハウジング2の蓋又はカバーとして
の機能を果たす頂部3bが、一つ以上の凹部66を有す
るように構成されても良い。この凹部66によって、圧
力媒体が、可撓性要素37の周囲を流れたり、又は、頂
部3bに対する可撓性要素37の所望でない付着を防ぐ
ために、可撓性要素37の裏側を冷却する効果をもたら
すことができる。
【0064】コントロールチャンバ8内の開口25a,
25bと、バルブハウジング2の外面上に設けられたダ
クト開口(図示なし)との間に延在する流体ダクト24
は、相対的に短く構成することが可能であるため、それ
に対応して、短くて最適な流体通路を実現することがで
きる。
【0065】必要な場合には、頂部3bが、バネユニッ
ト58に対して、付加的な保持機能を果たすように構成
されても良い。このために、受入手段6に挿入された状
態で、頂部3bが、その端部近傍の内面によって、上方
に延在するつめ64の端部に作用し、一種の押え手段と
してこのつめ64を適切な位置に保持することにより、
支持部63と床4との間の当接が確保されるように配置
がなされる。
【0066】図8は、バルブ装置1を幾分変形した構造
を示している。ここでは、対応する構成要素について
は、同一の参照番号が付されている。図1〜図7に示さ
れた実施例では、コントロールロッカ部材12とバネ手
段36とからなる単一のコントロールユニット(以下、
第1コントロールユニット67と呼ぶ)が、バルブハウ
ジング2の内部に設けられている。一方、図8に示され
た発明の実施例によれば、更に付加的な第2のコントロ
ールユニット68が設けられる。この第2コントロール
ユニット68は、第1コントロールユニット67と極め
て同様に設計され、第1コントロールユニット67と反
対側の可撓性要素37の長手側に取り付けられる。この
場合、二つのコントロールユニット67,68は、電気
的に能動化されていない可撓性要素37が延在する平面
69に対して、左右相称に設計及び配置されることが好
ましい。最適な収納を確保するために、ここでは、頂部
3bにも、底部3aと同様の、周囲を取り囲む側壁5を
設けることが可能である。
【0067】この変形例は、特別なバルブ機能を実現す
るために用いられる。図8に示された実施例のバルブ装
置は、3/3機能を有する。この場合、二つの被制御流
体ダクト開口25a,25bは、それぞれ、二つのコン
トロールロッカ部材の一方と連結され、バネ手段36に
よって第1終点位置に付勢されたロッキングアーム23
aに隣接して配置されるのが最適である。この結果、非
能動化状態での可撓性要素37の定位置において、被制
御流体ダクト開口25a,25bが、どちらも閉じられ
た状態となる。常に開いた第3流体ダクト開口26は、
前実施例と同様に配設可能であるが、コントロールチャ
ンバ8内の別の位置に配設されても良い。この第3流体
ダクト開口26の位置の変更は、図1〜図7に示された
実施例においても適用可能である。
【0068】このようにして、電気的に能動化されてい
ない状態での可撓性要素37の定位置、つまり、常閉型
の3/3バルブを製造することができる。可撓性要素3
7は、作動電圧の適切な極性によって、確実に反らされ
るように、つまり、二つの相対する方向に動くように設
計されている。その反りの方向によって、これまで閉じ
られていた被制御流体ダクト開口25a,25bの一方
が開かれて、常に開いた第3流体ダクト開口26と接続
される。この時、他方の被制御流体ダクト開口は、閉じ
られた状態となる。
【0069】特に、可撓性トランスデューサとして形成
された可撓性要素37を、作動電圧を用いて連続的に制
御することが可能であるため、いかなる所望の中間位置
も実現することが可能である。このため、バルブ装置
は、位置決め及び比例適用に極めて適切である。更に、
図1〜図7に示されたバルブ装置の場合、作動電圧の無
段階の適用による連続的な制御も可能である。
【0070】二つのコントロールロッカ部材12の正反
対の配置のために、組立に際して製造誤差による問題が
生じる可能性がある。それにも関わらず、正確な組立及
び対応するハウジング部分の調節を可能にするために、
既に前もって組み立てられた可撓性要素をセンサとして
用いることが可能である。コントロールロッカ部材が可
撓性要素37に接触した場合、電圧パルスが生成され
る。従って、ハウジング部分、即ち第2コントロールロ
ッカ部材は、付勢や遊び無しで、可撓性要素37に接触
することが可能となる。
【0071】又、図8において鎖線で示されたように、
付加的な設定手段72を設けても良い。この設定手段7
2は、支点突起15に隣接して、バルブハウジング2の
一部分に抗して支えられ、制御されるべき流体ダクト開
口に対する揺動軸13の位置を変更するように、コント
ロールロッカ部材12に対して作用する。この場合、コ
ントロールロッカ部材12を支持するバルブハウジング
上の支持面は、平面69の広がりに対して直角となるよ
うに実質的に調節される。これは、可撓性要素37の揺
動経路を更に有効に利用することが可能であることを意
味し、これによって、圧電曲げ手段を用いることなく調
節を行うことも可能となる。
【0072】図12及び図13は、バルブ装置の更なる
実施例を示し、相互に対応する構成要素については、同
じく同一の参照番号で示されている。この構造は、特
に、異なる設計のバネ手段36によって特徴付けられ
る。この場合、バネ手段36は、揺動軸13と同じ方向
に延在すると共に、好ましくはその揺動軸13を直接規
定するトーションロッド要素73によって構成される。
このようなトーションロッド要素73は、コントロール
ロッカ部材12の各長手側から、揺動軸13と一直線に
並んで、つまり同軸で延在し、このトーションロッド要
素73は、コントロールロッカ部材12と反対側の外側
端部で、揺動軸13に対して垂直に延在すると共に、好
ましくは棒状に形成された取付部74を備える。このよ
うな配列において、コントロールロッカ部材12、トー
ションロッド要素73及び取付部74は、金属又はプラ
スチック材料からなる一体的アセンブリ75として設計
されることが最適である。この場合、そのアセンブリ7
5が取り付けられていない状態で、コントロールロッカ
部材12と取付部74とが、共通の平面に配置されるよ
うにすることが好ましい。このため、アセンブリ75
は、打ち抜き加工によって、極めて簡単に製造されるこ
とが可能である。
【0073】アセンブリ75が取り付けられた状態で
は、二つの取付部74が、それぞれ、揺動軸13に対し
て垂直に配列された第1及び第2保持面76,77の間
で保持される。この保持面76,77は、それぞれ対向
する対の形で、二つのハウジング部分3a,3bに設け
られている。これらの保持面76,77は、可撓性要素
37が広がる平面に対して、終点位置にある時のコント
ロールロッカ部材12の傾きよりも大きな角度で傾斜す
る形で延在する。従って、バルブ装置1を組み立てる際
に、第1終点位置31aが形成されるように、アセンブ
リ75が底部3aに配置された時、取付部74と、それ
ぞれ対応する底部3aの第1傾斜保持面76との間に、
V字形テーパ状の中空間78が形成される。
【0074】続いて、可撓性要素37を前もって適切な
位置に配置した後で、頂部3bを上から被せると、頂部
3bは、その第2保持面77によって、取付部74に対
して下向きに作用する。こうして、取付部74は、(中
空間78が次第に減少し)最終的に相互に平行な保持面
76,77の傾斜に対応した傾斜の設定に達するまで、
回転軸である揺動軸13を中心に、第1終点位置31a
に位置付けられたコントロールロッカ部材12に対して
ねじれるように回転する。保持面76,77の傾斜は、
コントロールロッカ部材12の傾斜よりも急であるた
め、付勢された不活性時の位置に対して、一定の回転角
だけトーションロッド要素73のねじれが生じる。この
結果、コントロールロッカ部材12にトルクを及ぼし、
所望の力で、コントロールロッカ部材12を第1終点位
置31aへと付勢するバネ効果が生じる。
【0075】図9〜図11は、様々な作動段階におけ
る、バルブ装置1の更なる実施例の一部を示している。
このバルブ装置の場合、可撓性要素37が、コントロー
ルロッカ部材12を駆動するための駆動手段82の一構
成要素となっていることが、特に大きな特徴である。こ
の駆動装置82は、コントロールロッカ部材12の段階
的な揺動運動を可能にする位置決め手段83を備える。
本実施例では、この位置決め手段83は、ラチェット機
構として設計されている。図9〜図11は、非常に概略
的なものであり、ここではシステムの原理を示すためだ
けに取り上げられる。
【0076】ラチェット機構として構成された位置決め
手段83は、コントロールロッカ部材12の段階的な回
転運動、つまり、段階的なバルブの操作を可能にする。
この場合、可撓性要素37は、可動設定アーム84を繰
り返し押し付ける。この可動設定アーム84は、詳細に
図示されていない第1歯を有する。この第1歯は、コン
トロールロッカ部材12に設けられた第2歯に対向して
設けられている。可撓性要素37による各作動は、設定
アーム84の変位を意味し、この変位によって、第1歯
が、第2歯85と係合すると共に、コントロールロッカ
部材を一定量回転させる。この作動動作が、図10及び
図11に示されている。
【0077】揺動即ち回転の間、第2歯85は、弾性的
に揺動するロッキングレバー86に設けられた第3歯8
7に沿って移動し、この第3歯87は、その瞬間に達成
された揺動位置を保持するために、可撓性要素37の戻
り運動の後も、第2歯85と係合したままの状態で保た
れる。このような可撓性要素37の更なる屈曲ストロー
クは、コントロールロッカ部材12が更なる角変位を通
じて切り換えられ、この結果、被制御流体ダクト開口2
5aが段階的に開かれることを意味する。
【0078】結果として、相対的に小さい作動力FB
び可撓性要素37の小さい揺動ストロークにも関わら
ず、大径のバルブシートに対して、結果として生じる大
きな設定力及びスイッチングストロークを供給すること
が可能となる。バネ手段36によって成し遂げられるコ
ントロールロッカ部材12の初期の第1終点位置31a
への戻り運動は、例えば、コントロールロッカ部材12
が第2終点位置に到達した際に、揺動レバー83とコン
トロールロッカ部材12との間の係合を解除することに
よって、コントロールロッカ部材12が跳ね返ることに
より行われるようにしても良い。
【0079】ラチェット機構の適切な位置に、摩擦性自
己ロッキング機構を用いた場合には、スイッチング動作
は、(段階的に行われる代わりに)段階的な運動を伴わ
ずに行われるようにすることが可能である。図9〜図1
1において示されたように、コントロールロッカ部材1
2の戻り運動は、付加的な戻り機構88によって行われ
るようにしても良いし、それの補助により行われるよう
にしても良い。この場合、電流供給の反転及び/又は可
撓性要素37の双方向の動作を用いて、可撓性要素37
がコントロールロッカ部材12から離れる反りの運動が
もたらされる。この運動によって、可撓性要素37が、
第2及び第3歯85,87の間の係合を解除するために
揺動レバー86を少しの間反らせる働きをする可動解除
部材89に作用する。
【0080】可撓性要素37が電気的に能動化されてい
ない定位置にある時にも、解除部材89が、第2及び第
3歯85,87を互いに係合から外された状態で保持す
るように、可撓性要素37が解除部材89に作用するよ
うにしても良い。この場合、バルブを開くためには、ス
イッチング動作の間の係合解除を防ぐために、低電圧と
高電圧との間で切換が行われる。電気供給が停止に切り
換えられると直ちに、又は電力が不足している間、可撓
性要素37は、自動的に定位置に切り換えられ、被制御
流体ダクト開口が閉じられるように解除をもたらす。こ
れは、いわゆるフェイルセーフ特性が実行されることを
意味する。
【0081】位置決め手段83は、一般に、可撓性要素
37の一回の、又は複数回の作動によって、バルブを段
階的に少しずつ開くことを可能にするために設けられ
る。更に、続く第2の駆動の後で初期位置に戻すため
に、コントロールロッカ部材12が、可撓性要素37に
よって、ある角度段階分だけ一方向に回転させられるよ
うに設計されても良い。このようにして、双安定バルブ
機能が成し遂げられる。
【0082】位置決め手段83との関連で、バルブ装置
1は、異なる流れ断面を規定する流体チョークとして利
用されても良い。この場合、電力の供給がなくても、設
定されたバルブが維持されることが有利な点である。最
後に、本発明によるバルブ装置と共に、始動制御電子回
路を用いることも可能である。これによって、コントロ
ールロッカ部材12を被制御流体ダクト開口25a,2
5b上、即ちそれらによって構成されるバルブシート上
に静かに載せるために、好ましくは圧電性の可撓性要素
37を穏やかに始動させることが可能となる。従って、
シール部材及びバルブシートの消耗が最小に抑えられ
る。開閉動作を適切に最適化することによって、より明
確に言えば、被制御流体ダクト開口25a,25b近傍
での可撓性要素37の反り運動、及びそれらの開口近傍
における急速な運動を抑制することによって、素早いス
イッチング動作を確実に行うことが可能となる。
【0083】バルブ装置1は、あらゆる流体の制御に適
するが、特に、空気圧セクタにおいて用いるのに適して
いる。製造誤差の影響を最小限に抑えることに関して有
利である可能な構造によって、可撓性要素のストローク
の完全利用が可能となる。可撓性要素37は、機械的ス
トレス緩和から自由であるように、バルブの定位置即ち
非活性時の位置において機械的に負荷されない。
【0084】バルブ装置のあらゆる細部は、単独で、又
はいかなる所望の組み合わせにおいても採用可能であ
る。このため、支持手段、バネ荷重効果又は付勢の生
成、あるいはシール部材層の形成に関して、例えば、バ
ルブ装置におけるコントロールロッカ部材の設計を採用
することが可能である。この場合、作動力FBは、別の
方法によって、例えば、付勢された可撓性要素を用いて
生成される。そして、これは、位置決め手段にも適用す
ることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の好適な実施例によるバルブ装置の分
解斜視図である。
【図2】 頂部及び可撓性要素が取り除かれた図1のバ
ルブ装置を、図1における矢印IIで示された斜め上の
方向から見下ろした平面図である。
【図3】 図2の装置をわずかに回転させた方向から見
た一部切欠斜視図である。
【図4】 図1〜図3のバルブ装置を、図3の切断線I
V−IVに沿って長手方向に切断した時の定位置の断面
図である。
【図5】 図1〜図3のバルブ装置を、図3の切断線V
−Vに沿って切断した時の長手方向断面図である。
【図6】 図4のバルブ装置の前端部における、コント
ロールロッカ部材近傍の拡大図である。
【図7】 図6と同様にバルブ装置の一部を示したもの
であり、可撓性要素が電気的に能動化され、それに応じ
てコントロールロッカ部材が第2終点位置に揺動した状
態を示す図である。
【図8】 3/3ウェイバルブを実現するために、二つ
の制御ユニットを備えたバルブ装置の更なる実施例の長
手方向断面図である。
【図9】 コントロールロッカ部材の段階的揺動運動を
実現するために、ラチェット機構を備えたバルブ装置の
更なる実施例を示す図である。
【図10】 コントロールロッカ部材の段階的揺動運動
を実現するために、ラチェット機構を備えたバルブ装置
の更なる実施例を示す図である。
【図11】 コントロールロッカ部材の段階的揺動運動
を実現するために、ラチェット機構を備えたバルブ装置
の更なる実施例を示す図である。
【図12】 本発明の更なる実施例によるバルブ装置の
分解斜視図である。
【図13】 図12に示すバルブ装置の組立途中を示す
図であり、その上に取り付けられるべき可撓性要素及び
蓋状頂部が取り付けられる前の、コントロールロッカ部
材が適位置に置かれた状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
1・・・バルブ装置、 2・・・バルブハ
ウジング、3a・・・底部、 3b・
・・頂部、4・・・床、 5・・
・側壁、6・・・受入手段、 7・・・
内部空間、8・・・コントロールチャンバ、 9・・
・取付チャンバ、12・・・コントロールロッカ部材、
13・・・揺動軸、14・・・長手軸、
15・・・支点突起、16・・・支持部、
18・・・固定手段、22・・・周縁凹部、
23a・・・第1ロッキングアーム、23b
・・・第2ロッキングアーム、24・・・流体ダクト、
25・・・被制御流体ダクト開口、 25a・・・第1
被制御流体ダクト開口、25b・・・第2被制御流体ダ
クト開口、26・・・第3流体ダクト開口、27・・・
ロッカ面、 31a・・・第1終点位置、
31b・・・第2終点位置、 32・・・閉塞
部、32a・・・第1閉塞部、 32b・・・
第2閉塞部、33a・・・シール部材層、 34
・・・主要本体、35・・・素材層、
36・・・バネ手段、37・・・可撓性要素、
38・・・駆動手段、42・・・作動部、
43・・・後端部、44・・・取付点、
45・・・前端部、46・・・埋込み構造、
48・・・電気接続コンタクト手段、53
・・・支持部、 54・・・作用部、5
6・・・長手軸、 57・・・バネラ
グ、58・・・バネユニット、 62・・・ア
ンカー部、63・・・支持部、 65・
・・前端部、66・・・凹部、 67
・・・第1コントロールユニット、68・・・第2コン
トロールユニット、69・・・平面、72・・・設定手
段、 73・・・トーションロッド要素、
74・・・取付部、 76・・・第1保
持面、77・・・第2保持面、 82・・・
駆動手段、82・・・駆動装置、 83・
・・位置決め手段、83・・・揺動レバー、
84・・・可動設定アーム、84・・・設定アーム、
85・・・第2歯、86・・・ロッキング
レバー、 86・・・揺動レバー、87・・・第3
歯、 88・・・戻り機構、89・・・
解除部材、
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 591034361 Ruiter Strasse 82, 73734Esslingen,German y (72)発明者 マルチン マイクル ドイツ連邦共和国 73084 ザラヒ ラン ゲ シュトラーセ 4 (72)発明者 マルクス ホフマン ドイツ連邦共和国 72649 ウォルフシュ ルゲン ヘルダーリン シュトラーセ 11 (72)発明者 ユルゲン シュティンゲル ドイツ連邦共和国 70180 シュトゥット ガルトコッタ シュトラーセ 35 (72)発明者 ウォルフガンク ゾルビック ドイツ連邦共和国 73786 レムゼック ミュンジンゲル ベク 4 (72)発明者 ミカエル ワインマン ドイツ連邦共和国 73655 プルデルハウ ゼン レヒベルク シュトラーセ 1 Fターム(参考) 3H051 AA01 BB01 BB02 CC05 3H052 AA01 BA25 CD02 3H062 AA02 AA12 BB30 CC05 CC08 EE06

Claims (35)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 コントロールチャンバを画定するバルブ
    ハウジングを備えるバルブ装置であって、前記コントロ
    ールチャンバ内には、複数の流体ダクト開口が設けられ
    ると共に少なくとも一つの流体ダクト開口を制御するた
    めに配置され少なくとも2つの終点位置間を揺動するよ
    うにされたコントロールロッカ部材が備えられ、その揺
    動位置が前記コントロールロッカ部材の作動部に作用す
    る電気的に作動される可撓性要素によって影響され、前
    記作動部を含む前記コントロールロッカ部材はコントロ
    ールチャンバに収容され、2つの終点位置の第1の位置
    に対して前記可撓性要素とは関係なくバネ手段によって
    付勢され、前記可撓性要素は電気的に能動化されていな
    い状態では前記コントロールチャンバ内で実質的に機械
    的ストレスから解放され、前記バネ手段による付勢なし
    で、前記コントロールロッカ部材の前記第1の終点位置
    で前記コントロールロッカ部材の前記作動部と係合す
    る、バルブ装置。
  2. 【請求項2】 前記可撓性要素が圧電材料から形成され
    た圧電可撓性要素である、請求項1記載のバルブ装置。
  3. 【請求項3】 前記第1の終点位置において、前記コン
    トロールロッカ部材は流体ダクトの開口を閉じるか開
    き、それによりバルブ装置が常開あるいは常閉の特性を
    もつ、請求項1または2記載のバルブ装置。
  4. 【請求項4】 前記コントロールチャンバ内において、
    2つの流体ダクト開口がコントロールロッカ部材によっ
    て制御されるように設けられ、前記2つの終点位置にお
    いて、前記2つの流体ダクト開口が交互に開閉され、一
    方の流体ダクト開口を閉じると、他方の流体ダクト開口
    が開けられる、請求項1ないし3のいずれかに記載のバ
    ルブ装置。
  5. 【請求項5】 前記2つの制御される流体ダクト開口が
    前記コントロールロッカ部材の異なるロッキングアーム
    の制御により行われる、請求項4記載のバルブ装置。
  6. 【請求項6】 前記2つの制御される流体ダクト開口
    が、ロッカ面とは反対のコントロールロッカ部材の同じ
    側に結合して配置され、該ロッカ面が両方のロッキング
    アームの上に延び、同時にコントロールロッカ部材の揺
    動軸を横切って配置された、請求項5記載のバルブ装
    置。
  7. 【請求項7】 前記バルブハウジングが複数の部分から
    構成され、前記2つの制御される流体ダクト開口が同じ
    ハウジング部分に設けられ、前記コントロールロッカ部
    材が前記2つの制御された流体ダクト開口を有するハウ
    ジング部分の上に設けられる、請求項4ないし6のいず
    れかに記載のバルブ装置。
  8. 【請求項8】 前記コントロールロッカ部材がシール部
    材の層を有し、その位置で各流体ダクト開口と協働す
    る、請求項1ないし7のいずれかに記載のバルブ装置。
  9. 【請求項9】 前記コントロールロッカ部材がその側面
    にシール材を有し、前記ハウジング上の支点突起によっ
    て揺動自在に支持され、その支持側にシール材の層の素
    材及び厚みに関して適した素材の層を有し、該層は前記
    コントロールロッカ部材上のシール材の層と一体化し
    た、請求項8記載のバルブ装置。
  10. 【請求項10】 前記可撓性要素は前記コントロールロ
    ッカ部材から離れた取付位置から前記コントロールロッ
    カ部材に向かって延び、該可撓性要素は制御されるべき
    少なくとも1つの流体ダクト開口とは反対の側で前記コ
    ントロールロッカ部材と少なくとも部分的に重なり合
    う、請求項1ないし9のいずれかに記載のバルブ装置。
  11. 【請求項11】 前記可撓性要素と協働する、前記コン
    トロールロッカ部材の前記作動部が、前記取付点とは反
    対の揺動軸側であって該揺動軸から離れて配置された、
    請求項10記載のバルブ装置。
  12. 【請求項12】 前記バネ手段が前記作動部とは反対の
    揺動軸側上で前記コントロールロッカ部材と係合する、
    請求項11記載のバルブ装置。
  13. 【請求項13】 前記取付点が該取付点近傍の取付チャ
    ンバ内に位置し、該チャンバ内で前記可撓性要素がその
    固定された後端部を有し、そこから可撓性要素の前端部
    が前記コントロールチャンバ内に延びる、請求項10な
    いし12のいずれかに記載のバルブ装置。
  14. 【請求項14】 前記電気的に能動化されていない状態
    にある前記可撓性要素の定位置が、該バルブ装置が組み
    立てられるときに前記コントロールロッカ部材の前記作
    動部上に可撓性要素が配置された後に自重により前記可
    撓性要素がとる位置であり、且つ前記ハウジング上の少
    なくとも1つの支持部に置かれる、請求項1ないし13
    のいずれかに記載のバルブ装置。
  15. 【請求項15】 前記コントロールロッカ部材が揺動軸
    を規定するために支点突起に関して揺動自在に支点突起
    上に配置され、該コントロールロッカ部材が前記ハウジ
    ング上の固定手段と係合し、該コントロールロッカ部材
    を所定位置に固定し、且つ揺動運動を確実にするように
    された、請求項1ないし14のいずれかに記載のバルブ
    装置。
  16. 【請求項16】 バネ手段が前記コントロールチャンバ
    内に全体的に配置されている、請求項1ないし15のい
    ずれかに記載のバルブ装置。
  17. 【請求項17】 前記コントロールロッカ部材が前記バ
    ルブハウジング上の前記バネ手段によって保持されてい
    る、請求項1ないし16のいずれかに記載のバルブ装
    置。
  18. 【請求項18】 前記バネ手段が、前記可撓性要素の作
    動力と平行して向けられたバネ力でもって前記コントロ
    ールロッカ部材に作用する、請求項1ないし17のいず
    れかに記載のバルブ装置。
  19. 【請求項19】 前記バネ手段が、一方が前記ハウジン
    グに固定され、他方が前記コントロールロッカ部材に係
    合する少なくとも1つのバネラグを有する、請求項1な
    いし18のいずれかに記載のバルブ装置。
  20. 【請求項20】 前記バネラグ及び前記コントロールロ
    ッカ部材が、前記コントロールロッカ部材の揺動軸を横
    切る列方向に交互に配置された、請求項19記載のバル
    ブ装置。
  21. 【請求項21】 前記可撓性要素が前記列方向と平行に
    前記バネラグ及び前記コントロールロッカ部材を跨ぐ、
    請求項20記載のバルブ装置。
  22. 【請求項22】 前記バネラグがバネユニットを構成
    し、該バネユニットは前記バネラグを保持するアンカー
    部を有し、該バネユニットはそのようなアンカー部によ
    って前記ハウジングに関して固定される、請求項19な
    いし22のいずれかに記載のバルブ装置。
  23. 【請求項23】 前記アンカー部は横方向に延びる弾性
    つめを有する平坦な支持部を備え、該アンカー部は前記
    バルブハウジングの壁上に位置する制御空間内で前記つ
    めによって固定される、請求項22記載のバルブ装置。
  24. 【請求項24】 前記バネ手段が、前記揺動軸と同一の
    方向に配列されたトーションロッド要素を含み、該トー
    ションロッド要素が前記コントロールロッカ部材と前記
    バルブハウジングとの間に延在し、同時に前記揺動軸を
    規定する、請求項1ないし23のいずれかに記載のバル
    ブ装置。
  25. 【請求項25】 更に、前記コントロールロッカ部材と
    は反対に位置するトーションロッド要素の端部をバルブ
    ハウジング上に固定するための取付部を備えた、請求項
    24記載のバルブ装置。
  26. 【請求項26】 前記コントロールロッカ部材が、前記
    トーションロッド要素及び前記取付部と一体的に形成さ
    れた、請求項25記載のバルブ装置。
  27. 【請求項27】 前記取付部が2つのハウジング部の保
    持面間に保持され、バルブハウジングの組立の間、コン
    トロールロッカ部材が前記第1の終点に付勢され、更に
    前記トーションロッド要素が所定の付勢力を生じるよう
    にストレスを受けない不活性位置から所定の角度をもつ
    ように回動するようにされる、請求項25又は26記載
    のバルブ装置。
  28. 【請求項28】 前記保持面が前記バルブハウジングの
    長手軸に関して傾斜して延びる、請求項27記載のバル
    ブ装置。
  29. 【請求項29】 前記バルブハウジングが、床及び周回
    する側壁を有する底部と蓋を構成する頂部とを含み、こ
    れらの間に前記制御空間が規定される、請求項1ないし
    28のいずれかに記載のバルブ装置。
  30. 【請求項30】 前記取付部が2つのハウジング部の保
    持面間に保持され、バルブハウジングの組立の間、コン
    トロールロッカ部材が前記第1の終点に付勢され、更に
    前記トーションロッド要素が所定の付勢力を生じるよう
    にストレスを受けない不活性位置から所定の角度をもつ
    ように回動するようにされ、各取付部と協働する前記保
    持面の一方が前記底部に設けられ、他方が前記頂部に設
    けられる、請求項29記載のバルブ装置。
  31. 【請求項31】 前記可撓性要素が、前記コントロール
    ロッカ部材を駆動するための駆動手段の一構成部品であ
    り、更に、前記コントロールロッカ部材を段階的に回転
    可能にし、ラチェット機構又は自己ロッキング機構を有
    する位置決め手段を備える、請求項1ないし30のいず
    れかに記載のバルブ装置。
  32. 【請求項32】 前記第一の制御ユニット、前記コント
    ロールロッカ部材及び前記バネ手段に加えて、第二の制
    御ユニットが少なくとも1つの別の流体ダクト開口を制
    御するために適用され、両者の制御ユニットのコントロ
    ールロッカ部材が、前記可撓性要素によって操作され
    る、請求項1ないし31のいずれかに記載のバルブ装
    置。
  33. 【請求項33】 前記2つのコントロールユニットが前
    記可撓性要素の延びた面に関して左右相称に配置され
    た、請求項32記載のバルブ装置。
  34. 【請求項34】 更に、制御されるべき流体ダクト開口
    に関して、コントロールロッカ部材の揺動軸の位置を調
    節するための調節手段を備える、請求項1ないし33の
    いずれかに記載のバルブ装置。
  35. 【請求項35】 前記可撓性要素の操作電圧が、前記コ
    ントロールロッカ部材の連続的制御動作を得る目的で無
    段階に適用される、請求項1ないし34のいずれかに記
    載のバルブ装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7320457B2 (en) * 1997-02-07 2008-01-22 Sri International Electroactive polymer devices for controlling fluid flow
US7537197B2 (en) * 1999-07-20 2009-05-26 Sri International Electroactive polymer devices for controlling fluid flow
SE9904264D0 (sv) * 1999-11-25 1999-11-25 Markpoint Ab Ventilanordning
DE10161888A1 (de) * 2001-08-14 2003-02-27 Continental Teves Ag & Co Ohg Piezoelektrisch betätigtes Fluidventil
US7025324B1 (en) * 2002-01-04 2006-04-11 Massachusetts Institute Of Technology Gating apparatus and method of manufacture
US6981518B2 (en) * 2002-03-15 2006-01-03 Cytonome, Inc. Latching micro-regulator
EP1367307B1 (de) 2002-05-31 2004-07-21 FESTO AG & Co Piezoventil
AT412365B (de) * 2002-06-18 2005-01-25 Hygrama Ag Ventil
DE20210042U1 (de) * 2002-06-28 2002-09-26 Festo Ag & Co Piezoelektrische Aktoreinrichtung
DE20212649U1 (de) 2002-08-17 2002-10-10 Festo Ag & Co Mehrwegeventil
DE10243880C1 (de) * 2002-09-21 2003-12-04 Festo Ag & Co Pneumatikventil
AT412366B (de) * 2002-10-15 2005-01-25 Hygrama Ag Ventil
DE10311238A1 (de) 2003-03-14 2004-10-07 Festo Ag & Co. Verfahren zur Herstellung eines Ventils
DE10311239B3 (de) * 2003-03-14 2004-11-18 Festo Ag & Co. Verfahren zur Herstellung eines Ventils
DE10313484A1 (de) * 2003-03-26 2004-10-07 Zf Friedrichshafen Ag Schaltventil mit kurzer Schaltzeit
DE502004000445D1 (de) * 2004-02-11 2006-05-24 Festo Ag & Co Piezoventil
US7448412B2 (en) 2004-07-23 2008-11-11 Afa Controls Llc Microvalve assemblies and related structures and related methods
DE102005018730B4 (de) * 2005-04-22 2008-04-03 Karl Dungs Gmbh & Co. Kg Ventilanordung mit Piezosteuerung
US9341281B2 (en) 2007-02-12 2016-05-17 Colt Irrigation Llc Fluid activated flow control apparatus
US8397745B2 (en) 2007-02-12 2013-03-19 Colt Irrigation, LLC Fluid activated flow control apparatus
DE102007028673B3 (de) * 2007-06-21 2008-10-16 Festo Ag & Co. Kg Ventil
US7952261B2 (en) 2007-06-29 2011-05-31 Bayer Materialscience Ag Electroactive polymer transducers for sensory feedback applications
GB0822163D0 (en) * 2008-12-05 2009-01-14 Rolls Royce Plc A valve
US20100148100A1 (en) * 2008-12-17 2010-06-17 Parker Hannifin Corporation Media isolated piezo valve
EP2239793A1 (de) 2009-04-11 2010-10-13 Bayer MaterialScience AG Elektrisch schaltbarer Polymerfilmaufbau und dessen Verwendung
CA2803924C (en) 2010-08-19 2015-04-14 Horton, Inc. Viscous clutch valve assembly
ITBS20100165A1 (it) * 2010-10-13 2012-04-14 Camozzi S P A Societa Unipersonal E Valvola di controllo di un fluido
ITBS20100166A1 (it) * 2010-10-13 2012-04-14 Camozzi S P A Societa Unipersonal E Valvola di controllo di un fluido
SG193003A1 (en) 2011-03-01 2013-10-30 Bayer Ip Gmbh Automated manufacturing processes for producing deformable polymer devices and films
US9195058B2 (en) 2011-03-22 2015-11-24 Parker-Hannifin Corporation Electroactive polymer actuator lenticular system
EP2549125B1 (de) * 2011-07-22 2016-12-28 Festo AG & Co. KG Ventileinrichtung
US9876160B2 (en) 2012-03-21 2018-01-23 Parker-Hannifin Corporation Roll-to-roll manufacturing processes for producing self-healing electroactive polymer devices
DE202012004020U1 (de) 2012-04-20 2012-05-15 Bürkert Werke GmbH Fluidisches Steuerelement
WO2013192143A1 (en) 2012-06-18 2013-12-27 Bayer Intellectual Property Gmbh Stretch frame for stretching process
WO2014066576A1 (en) 2012-10-24 2014-05-01 Bayer Intellectual Property Gmbh Polymer diode
US10193169B2 (en) * 2013-03-15 2019-01-29 Intelligent Energy Limited Fluidic interface module for a fuel cell system
US9599286B2 (en) 2014-01-23 2017-03-21 Colt Irrigation, LLC Fluid activated flow control apparatus
US10088849B2 (en) 2014-01-23 2018-10-02 Colt Irrigation, LLC Fluid activated flow control apparatus
US10571937B1 (en) 2014-01-23 2020-02-25 Colt Irrigation, LLC Valve control apparatus
DE102014101512A1 (de) * 2014-02-06 2015-08-06 Marco Systemanalyse Und Entwicklung Gmbh Piezoelektrische Stellvorrichtung
DE102014114212A1 (de) * 2014-09-30 2016-03-31 Bürkert Werke GmbH Membranventil
DE102016108811A1 (de) * 2016-05-12 2017-11-16 Marco Systemanalyse Und Entwicklung Gmbh Piezoelektrische Stellvorrichtung
DE102016219342A1 (de) * 2016-10-06 2018-04-12 Conti Temic Microelectronic Gmbh Pneumatisches Ventil
EP3529665B1 (en) 2016-10-20 2022-04-13 ASML Netherlands B.V. A pressure control valve, a fluid handling structure for lithographic apparatus and a lithographic apparatus
DE102016121587B4 (de) 2016-11-10 2023-06-01 Pi Ceramic Gmbh Piezoelektrischer Antrieb, insbesondere für den Einsatz in feuchter Umgebung
DE102017204662C5 (de) * 2017-03-21 2021-02-25 Conti Temic Microelectronic Gmbh Pneumatisches Ventil
DE102018201444A1 (de) * 2018-01-31 2019-08-01 Conti Temic Microelectronic Gmbh Aktuatoreinheit zum Betätigen eines Ventils
US11608840B2 (en) * 2018-08-21 2023-03-21 Michael Yuan Piezoelectric ring bender servo valve assembly for aircraft flight control actuation and fuel control systems
DE102018216876B4 (de) 2018-10-01 2022-10-27 Conti Temic Microelectronic Gmbh Pneumatisches Ventil
CN112081971B (zh) * 2020-08-17 2022-05-20 费尔顿技术(上海)有限公司 压电式气体流量控制阀
US11808374B2 (en) 2020-12-30 2023-11-07 Leggett & Platt Canada Co. Fluid management system
CN115507214A (zh) * 2021-06-22 2022-12-23 科际精密股份有限公司 气压调节装置及其气压调节方法
DE102022212011A1 (de) 2022-11-11 2024-05-16 Memetis Gmbh Ventil

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3613732A (en) * 1969-07-17 1971-10-19 Robertshaw Controls Co Temperature-responsive valve operators
US3654963A (en) * 1970-05-04 1972-04-11 Honeywell Inc Electric control valve
JPS608223Y2 (ja) * 1979-08-31 1985-03-22 黒田精工株式会社 電磁弁の手動切換装置
JPS63101588A (ja) * 1986-10-15 1988-05-06 Koganei Seisakusho:Kk 電歪素子を用いたアクチュエータの組立方法
DE3739048C2 (de) * 1987-11-17 2001-08-09 Buerkert Gmbh Mehrwegeventil
AT397700B (de) * 1991-12-11 1994-06-27 Hoerbiger Fluidtechnik Gmbh Piezo-ventil
US5267589A (en) * 1993-04-05 1993-12-07 Ford Motor Company Piezoelectric pressure control valve
DE29507380U1 (de) 1995-05-03 1995-08-24 Bürkert Werke GmbH & Co., 74653 Ingelfingen Fluidisches Steuerelement
DE29514495U1 (de) 1995-09-08 1995-11-02 Bürkert Werke GmbH & Co., 74653 Ingelfingen Ventil mit piezoelektrischer Lamelle
DE19718408A1 (de) * 1997-04-30 1998-11-05 Nass Magnet Gmbh Mehrwegeventil
DE29718306U1 (de) * 1997-10-15 1998-01-22 Bürkert Werke GmbH & Co., 74653 Ingelfingen Piezoventil
AT407432B (de) * 1998-03-18 2001-03-26 Hygrama Ag Piezoelektrisches ventil
DE29901855U1 (de) 1999-02-03 1999-04-08 Bürkert Werke GmbH & Co., 74653 Ingelfingen Fluidisches Steuerelement
US6302495B1 (en) * 1999-06-04 2001-10-16 Ge Harris Railway Electronics, Llc Railway car braking system including piezoelectric pilot valve and associated methods

Also Published As

Publication number Publication date
US6499509B2 (en) 2002-12-31
ATE284490T1 (de) 2004-12-15
EP1158182B1 (de) 2004-12-08
US20010047828A1 (en) 2001-12-06
EP1158182A1 (de) 2001-11-28
DE50008907D1 (de) 2005-01-13

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