JP2002006931A - 作業内容の指示方法とその指示装置、その指示方法を記録した記録媒体、カード状記録媒体、ならびに作業内容の指示管理装置 - Google Patents

作業内容の指示方法とその指示装置、その指示方法を記録した記録媒体、カード状記録媒体、ならびに作業内容の指示管理装置

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JP2002006931A JP2000190127A JP2000190127A JP2002006931A JP 2002006931 A JP2002006931 A JP 2002006931A JP 2000190127 A JP2000190127 A JP 2000190127A JP 2000190127 A JP2000190127 A JP 2000190127A JP 2002006931 A JP2002006931 A JP 2002006931A
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    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Abstract

(57)【要約】 【課題】 作業内容の変更を更新情報に基づいて行なう
ことができ、作業変更に対して即応性の高い作業内容の
指示方法を提供する。 【解決手段】 作業内容の更新情報が記憶された中央管
理装置１０と接続され、書換え可能な印字表示部を有す
るカード状記録媒体の読取り・書込み装置１２１を含む
作業伝票発行端末装置１２を用いて中央管理装置１０の
作業内容をカード状記録媒体に印字表示し作業伝票２０
として発行する第１の工程と、中央管理装置１０と接続
され作業伝票２０の読取り・書込み装置を有する第２の
端末装置１４を用いて、作業伝票２０により作業内容の
更新情報を中央管理装置に照会し、作業伝票２０に印字
表示する第２の工程と、を含むものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、さまざまな作業
設備を移動して所定の作業内容にしたがった作業を受け
る被作業物に添付して移動される書換え可能な印字表示
ができる印字表示部を有するカード状記録媒体に、中央
処理装置に記憶された更新情報に基づいて、所定の作業
設備における作業内容を、カード状記録媒体に印字表示
することにより各作業設備の作業者に指示する作業内容
の指示方法とその指示装置、その指示方法を記録した記
録媒体、カード状記録媒体、ならびに作業内容の指示管
理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製品の製造工程は、酸化、写真製
版、拡散、エピタキシャル成長、イオン注入等の処理が
次々とあるいは反復して行なわれる。これらの処理を行
なうために、素材または半製品が処理のために装置また
は作業設備間を移動せしめられる。このため生産工程は
数百工程と多く、また工程期間は、数十日と長い。
【０００３】このように複雑な工程を、長い時間をかけ
て移動するので、誤った条件での処理をすることが無い
ように、半製品に添付して、その半製品を特定する情報
及び作業内容等の作業の指示を紙に記載した書類、すな
わち作業指示書を併せて移動させるようにしている。そ
して各作業設備における作業者は送られてきた作業指示
書に記載された作業を行なうのが一般的であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、半導体
製品の製造工程は、数百工程と多く、また工程期間は数
十日と長い。しかし半導体技術の改良進歩は速くこれに
基づく作業変更や、また顧客の要求による設計変更など
に対応してゆくために、工程の流れ（工程フロー）の変
更および作業内容の変更が常に発生する。しかし、紙に
記載された作業指示書では、工程フローの変更や作業内
容の変更によって生じる作業指示書の改定差し替えは、
紙にプリントアウトすることが必要になり、プリントア
ウトに要する時間がかかり、変更に即応し難い状態であ
った。
【０００５】また、特開平１−２５７５４９号公報に
は、移動する製品に生産情報を書き込んだＩＣカードを
取りつけて一緒に移動させ、このＩＣカードに記憶され
た記憶情報に従って作業を行なう方法が記載されている
が、端末器のＣＲＴで読み取るものであり、作業者は確
認のために何度も端末機のところに移動しなければなら
ないという不具合がある。
【０００６】さらに、特開昭６３−７２５６号公報に
は、移動する製品に生産情報を書き込んだ液晶表示装置
を有するＩＣカードを取りつけて一緒に移動させ、この
ＩＣカードに記憶された記憶情報を液晶表示装置に表示
させ、これに従って作業を行なう方法が記載されている
が、ここに示されている方法では、液晶表示装置に記載
される作業指示データは単に生産工程順序を示すもの
で、生産工程管理装置や生産工程管理装置に指示された
製造装置の識別番号が表示されるだけであり、作業指示
書に相当する作業内容（レシピ）を表示したものではな
い。もし液晶表示装置を使用して作業内容（レシピ）を
表示すれば、大型の液晶表示装置が必要となり、ＩＣカ
ードは高価になる。また液晶表示装置はやはり精密機器
であり生産現場においてはその取り扱いに関して注意を
要するという不具合もあった。
【０００７】更に、特許第２５０８８７０号には作業指
示書の読み違いによる誤判断を無くするために、作業指
示書に作業を特定するバーコードを記しておき、このバ
ーコードを各作業設備に設けられたバーコードリーダで
読み取らせ、作業設備に設けられた表示器にその作業設
備における作業内容を表示させて照合を確実にし、物品
と作業の誤対応による不具合を生じなくする方法が記載
されている。この発明は、このような現状に鑑み創案さ
れたもので、安価で取り扱いやすく、被作業者が常に豊
富な作業内容を確認できるとともに、工程フローの変更
や作業内容の変更によって生じる作業指示書の改定や差
し替えを更新情報に基づいて行なうことができる、作業
内容の変更に対して即応性の高い作業内容の指示方法と
その指示装置、その指示方法を記録した記録媒体、カー
ド状記録媒体、ならびに作業内容の指示管理装置の提供
を目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明に係る作業内容
の指示方法は、所定の被作業物が経由する作業設備及び
この作業設備それぞれで被作業物が受ける作業内容の更
新情報が記憶された作業内容記憶部を有する中央管理装
置と接続され、この中央管理装置との情報を送受するイ
ンタフェース部と書換え可能な印字表示ができる印字表
示部を有するカード状記録媒体の印字表示部の読取り・
書込み装置とこの読取り・書込み装置に情報を入力する
入力装置とこの入力装置により入力される情報を表示す
る表示装置とを有する第１の端末装置を用いて、所定の
被作業物を特定する情報とこの被作業物が次に経由する
作業設備で受ける作業内容を特定した情報とを作業内容
記憶部の更新情報に基づきカード状記録媒体に印字表示
し、被作業物とともに送付するカード状記録媒体を発行
する第１の工程と、所定の被作業物とともに所定の作業
設備に送付されたカード状記録媒体を用いて、中央管理
装置と接続されこの中央管理装置との情報を送受するイ
ンタフェース部とカード状記録媒体の印字表示部の読取
り・書込み装置とを有する第２の端末装置により、この
作業設備で受ける作業内容の更新情報を中央管理装置に
照会するとともに作業内容記憶部の更新情報に基づき、
カード状記録媒体に印字表示する第２の工程と、を含む
もので、工程の流れ（工程フロー）の変更および作業内
容の変更に基づく作業指示が容易になる。
【０００９】さらに、被作業物を半導体加工物としたも
ので、これにより半導体加工工程の流れ（工程フロー）
の変更および作業内容の変更に基づく作業指示が容易に
なる。
【００１０】さらに、カード状記録媒体を発色タイプの
感熱記録リライト材料を使用したリライタブルカードと
したもので、鮮明な印字表示ができ、作業内容の誤伝達
が少なくなる。
【００１１】また、この発明に係る作業内容の指示装置
は、所定の被作業物が経由する作業設備及びこの作業設
備それぞれで受ける作業内容の更新情報が記憶された作
業内容記憶部を有する中央管理装置と、この中央管理装
置と接続され、この中央管理装置との情報を送受するイ
ンタフェース部と書換え可能な印字表示ができる印字表
示部を有するカード状記録媒体の印字表示部の読取り・
書込み装置とこの読取り・書込み装置に情報を入力する
入力装置とこの入力装置により入力される情報を表示す
る表示装置とを有する第１の端末装置と、中央管理装置
と接続され、この中央管理装置との情報を送受するイン
タフェース部、および所定の被作業物とともに所定の作
業設備に送付されたカード状記録媒体の印字表示部の読
取り・書込み装置を有し、所定の作業設備に付置された
第２の端末装置とを備えたもので、この構成により書換
え可能な印字表示ができる印字表示部を有するカード状
記録媒体から所定の情報を読み取り、これに基づきこの
カード状記録媒体が添付された被作業物の最新の作業情
報を照会するとともに印字表示することができる。さら
に被作業物を半導体加工物としたもので、この構成によ
り書換え可能な印字表示ができる印字表示部を有するカ
ード状記録媒体から所定の情報を読み取り、これに基づ
きこのカード状記録媒体が付属された半導体加工物の最
新の作業情報を照会するとともに印字表示することがで
きる。
【００１２】また、この発明に係るカード状記録媒体
は、所定の被作業物と一緒に所定の作業設備に移動され
るとともにこの被作業物を特定する情報とこの被作業物
が次に経由する作業設備で受ける作業内容を特定した情
報とを印字表示する書換え可能な印字表示部を備えたも
ので、被作業物の作業設備における作業内容の変更を印
字表示することができる。
【００１３】さらに、被作業物を半導体加工物としたも
ので、半導体加工物の作業設備における作業内容の変更
を印字表示することができる。
【００１４】さらに、カード状記録媒体を発色タイプの
感熱記録リライト材料を使用したリライタブルカードと
したもので、鮮明な印字表示ができ、作業内容の誤伝達
が少なくなる。
【００１５】また、この発明に係る作業内容の指示管理
装置は、所定の被作業物と一緒に所定の作業設備に移動
されるとともにこの被作業物を特定する情報とこの被作
業物が次に経由する作業設備で受ける作業内容を特定し
た情報とを印字表示する書換え可能な印字表示部を備え
たカード状記録媒体と、所定の被作業物が経由する作業
設備及びこの作業設備それぞれで受ける作業内容の更新
情報が記憶された作業内容記憶部を有する中央管理装置
と、この中央管理装置と接続され、この中央管理装置と
の情報を送受するインタフェース部とカード状記録媒体
の印字表示部の読取り・書込み装置とこの読取り・書込
み装置に情報を入力する入力装置とこの入力装置により
入力される情報を表示する表示装置とを有する第１の端
末装置と、中央管理装置と接続されこの中央管理装置と
の情報を送受するインタフェース部、および所定の被作
業物とともに所定の作業設備に送付されたカード状記録
媒体の印字表示部の読取り・書込み装置を有し、所定の
作業設備に付置された第２の端末装置とを備えたもの
で、この構成により被作業物に付属して所定の作業設備
に移動されるカード状記録媒体から所定の情報を読み取
り、これに基づきこのカード状記録媒体が付属された被
作業物の最新の作業情報を照会するとともにカード状記
録媒体に印字表示することができ、この設備の作業者が
カード状記録媒体に印字表示された最新の作業情報にし
たがって作業することができる。
【００１６】さらに、被作業物を半導体加工物としたも
ので、この構成により半導体加工物に付属して所定の作
業設備に移動されるカード状記録媒体から所定の情報を
読み取り、これに基づきこのカード状記録媒体が付属さ
れた半導体加工物の最新の作業情報を照会するとともに
カード状記録媒体に印字表示することができ、この設備
の作業者がカード状記録媒体に印字表示された最新の作
業情報にしたがって作業することができる。
【００１７】さらに、カード状記録媒体を発色タイプの
感熱記録リライト材料を使用したリライタブルカードと
したもので、鮮明な印字表示ができ、作業内容の誤伝達
が少なくなる。
【００１８】また、この発明に係る記録媒体は、所定の
被作業物が経由する作業設備及びこの作業設備それぞれ
で被作業物が受ける作業内容の更新情報が記憶された作
業内容記憶部を有する中央管理装置と接続され、この中
央管理装置との情報を送受するインタフェース部と書換
え可能な印字表示ができる印字表示部を有するカード状
記録媒体の印字表示部の読取り・書込み装置とこの読取
り・書込み装置に情報を入力する入力装置とこの入力装
置により入力される情報を表示する表示装置とを有する
第１の端末装置を用いて、所定の被作業物を特定する情
報とこの被作業物が次に経由する作業設備で受ける作業
内容を特定した情報とを作業内容記憶部の更新情報に基
づきカード状記録媒体に印字表示し、被作業物とともに
送付するカード状記録媒体を発行する第１の工程と、所
定の被作業物とともに所定の作業設備に送付されたカー
ド状記録媒体を用いて、中央管理装置と接続されこの中
央管理装置との情報を送受するインタフェース部とカー
ド状記録媒体の印字表示部の読取り・書込み装置とを有
する第２の端末装置により、この作業設備で受ける作業
内容の更新情報を中央管理装置に照会するとともに作業
内容記憶部の更新情報に基づき、カード状記録媒体に印
字表示する第２の工程と、を含む作業内容の指示方法を
記録したもので、被作業物の作業内容や工程の変更に即
応することができる作業内容の指示方法を容易に頒布す
ることができる。
【００１９】さらに、被作業物を半導体加工物としたも
ので、これにより半導体加工物の作業内容や工程の変更
に即応することができる作業内容の指示方法を容易に頒
布することができる。
【００２０】さらに、カード状記録媒体を発色タイプの
感熱記録リライト材料を使用したリライタブルカードと
したもので、鮮明な印字表示ができ、作業内容の誤伝達
が少ない作業内容の指示方法を容易に頒布することがで
きる。
【００２１】
【発明の実施の形態】実施の形態１．この実施の形態
は、さまざまな作業設備を移動して所定の作業内容にし
たがった作業を受ける被作業物に、書換え可能な印字表
示ができる印字表示部を有するカード状記録媒体を添付
して移動させ、このカード状記録媒体を用いて所定の作
業設備で、中央処理装置に記憶されたこの作業設備にお
ける作業内容の更新情報を照会するとともにこの更新情
報をこのカード状記録媒体に印字表示し、各作業設備の
作業者がこの印字表示されたカード状記録媒体の作業内
容に基づいて作業するように指示するものである。
【００２２】図１は、この発明に係る作業方法の全体構
成を示す模式図である。図１において、１０は中央管理
装置で、ホストコンピュータ１０１と作業内容記憶部と
しての記憶装置１０２を有している。１２は第１の端末
装置としての作業伝票発行端末装置でパーソナルコンピ
ュータを用いており、後に述べるの作業伝票２０の読取
り・書き込み装置としてのリーダ・ライター１２１、中
央管理装置のホストコンピュータ１０１と情報の送受を
行なうインターフェース部１２２、入力装置としてのキ
ーボード１２３、表示装置としてのＣＲＴディスプレイ
１２４を有している。
【００２３】１４は作業端末装置で、作業設備１６の各
々作業設備１６ａ，・・・，１６ｎに対応して、作業端
末装置１４ａ，・・・，１４ｎが設けられている。作業
端末装置１４はこれもパーソナルコンピュータを用いて
おり、それぞれ作業伝票２０の読取り・書き込み装置と
してのリーダ・ライター１４１、中央管理装置のホスト
コンピュータ１０１と情報の送受を行なうインターフェ
ース部１４２、表示装置としてのＣＲＴディスプレイ１
４４を有している。入力装置としてのキーボードは必要
に応じて備えてもよい。
【００２４】作業伝票発行端末装置１２、および作業端
末装置１４はそれぞれのインターフェース部１２２、イ
ンターフェース部１４２を介して中央管理装置１０のホ
ストコンピュータ１０１に接続されている。１８は被作
業物としての半導体加工物、２０はこの半導体加工物１
８に一緒に送られる作業指示書である、カード状記録媒
体としての作業伝票である。この作業伝票２０はリライ
タブルカードで構成されていて、書換え可能な印字表示
部２０１を有している。２５は中央管理装置１０、作業
伝票発行端末装置１２、及び作業端末装置１４を備えた
作業内容の指示装置で、３０はこの作業内容の指示装置
２５と作業伝票２０を備えた指示管理装置である。
【００２５】中央管理装置１０の記憶装置１０２には、
作業設備１６へ送られる半導体加工物１８についての種
々の情報が記憶されており、たとえば作業設備１６の最
新の作業内容が、特定の半導体加工物１８を特定する情
報と作業を特定する情報に対応づけて記憶されている。
作業伝票発行端末装置１２のキーボード１２３は、半導
体加工物１８を特定すべき情報、たとえば型名やロット
ナンバーなどと作業を特定する情報とを記録したリライ
タブルカードの作業伝票２０を発行するためのものであ
り、キーボード１２３で入力した情報、あるいはこの情
報を中央管理装置１０に送出して、そこから送られてき
た記憶装置１０２の蓄積情報が、リーダ・ライター１２
１に装着したリライタブルカードの作業伝票２０に印字
表示される。
【００２６】図２はこの発明に係る作業伝票の模式図で
ある。図２において、２０は作業伝票である。この作業
伝票２０はリライタブルカードで構成されていて、２０
１は書換え可能な印字表示ができる印字表示部である。
この印字表示部２０１は、たとえば発色タイプの感熱記
録リライト材料で構成されている。この感熱記録リライ
ト材料は白色ポリエステルフィルムを基材とし、ここに
可逆感熱材料が含まれているもので、青、赤、黒等の色
に発色するので視認性が極めてよいので、記載内容の誤
認を少なくすることができる。あるいは、発色タイプの
感熱記録リライト材料の代わりにＧｅ−Ｔｅ−Ｓｂ合金
でできた相変化記録膜を使用してもよい。
【００２７】印字表示部２０１は、二つに部分から構成
されており、２０１ａは記載固定部で、作業伝票発行端
末装置１２で発行されるときに記載され、作業端末装置
１４では記載の変更ができない部分である。この記載固
定部２０１ａには半導体加工物１８の型名やロットナン
バーが印字表示される。２０１ｂは記載可変部で、この
記載可変部２０１ｂは作業伝票発行端末装置１２ではも
ちろんのこと、作業端末装置１４においても書換えが可
能な部分である。この記載可変部２０１ｂには作業指示
内容が記載され、具体的な作業内容（レシピ）と特記事
項などが記載される。また印字表示できる記録媒体を使
用しているので、液晶表示装置に比べて豊富な作業内容
を安価に印字表示することができる。
【００２８】図３はこの発明に係る作業方法を示す流れ
図である。図３において、まず作業伝票発行端末装置１
２の作業伝票２０をリーダ・ライター１２１に装着し、
キーボード１２３で入力した半導体加工物１８を特定す
べき情報、たとえば型名やロットナンバーなどと作業を
特定する情報を作業伝票２０の印字表示部２０１の記載
固定部２０１ａに印字表示する。さらに記載固定部２０
１ａに印字表示した情報を、同時に中央管理装置１０に
送出して、そこから送られてきた記憶装置１０２の蓄積
情報である最新の作業指示内容を印字表示部２０１の記
載可変部２０１ｂに印字表示する。これで作業伝票２０
が発行されたことになる（ステップＳ１）。
【００２９】ついで、発行された作業伝票２０を半導体
加工物１８に付属させて、この半導体加工物１８が経由
する最初の、たとえば作業設備１６ａに送る（ステップ
Ｓ２）。最初の作業設備１６ａに半導体加工物１８が到
着すると、作業者は半導体加工物１８と一緒に送られて
きた作業伝票２０を作業端末装置１４ａのリーダ・ライ
ター１４１に装着し、これに記された印字表示部２０１
の情報を読み取らせる。読み取られた情報は、インター
フェース部１４２を介して中央管理装置１０のホストコ
ンピュータ１０１に送出される（ステップＳ３）。
【００３０】ホストコンピュータ１０１は読み取ったこ
の半導体加工物１８を特定する情報と作業を特定する情
報に対応する作業内容を記憶装置１０２にアクセスして
作業内容の更新情報を検索し、検索した更新情報を作業
設備１６ａに付置された作業端末装置１４ａのインター
フェース部１４２に返す（ステップＳ４）。作業端末装
置１４ａのインターフェース部１４２は送り返された作
業内容の更新情報をＣＲＴディスプレイ１４４に表示す
るとともに、リーダ・ライター１４１に装着された作業
伝票２０の印字表示部２０１の記載可変部２０１ｂに印
字表示する（ステップＳ５）。
【００３１】作業者はＣＲＴディスプレイ１４４に表示
された内容を確認するとともに作業伝票２０を携帯し、
この作業伝票２０に印字表示された最新の作業情報に従
って所定の作業をする（ステップＳ６）。作業指示内容
にしたがった作業が終了すると、作業者は作業が終わっ
た半導体加工物１８に作業伝票２０を添付し、たとえば
次の作業設備１４ｂに送る（ステップＳ７）。
【００３２】図３に示したこの発明に係る作業内容の指
示方法は、フロピーディスクやコンパクトディスク、磁
気テープなど、さまざまな記録媒体４０に記録すること
により、容易に頒布することができ、これらの技術内容
を広く提供することができる。以上に述べたように、こ
の実施の形態においては、作業指示書としての作業伝票
２０を書換え可能な印字表示部２０１を有するものにし
たので、更新情報の印字表示は、従来のプリンターでの
書換えに比べて、短時間に行われる。このため、最新の
作業内容を印字表示させて作業内容の指示ができ、工程
の流れ（工程フロー）の変更および作業内容の変更に基
づく作業指示が容易になる。
【００３３】更に、工程の流れの変更および作業内容の
変更に伴う変更管理が容易になり、これらの変更に対し
て迅速に対応でき、変更に対する作業の即応性が向上す
る。また、紙に記載された作業指示書を廃して、印字表
示の書換え可能な印字表示部を有するカード状記録媒体
としたので、ペーパーレス化がはかれる。更に作業内容
の更新情報を検索する際の検索情報、つまり型名とかロ
ットナンバーの入力ミスが防止でき、誤情報に基づく作
業を防止することができる。
【００３４】また、作業者が携帯する作業伝票２０に記
載された作業情報は、ＣＲＴディスプレイ１４４に表示
された内容と同じであるが、作業者はいつも作業端末装
置１４の側にいて作業をするわけではない。このため作
業端末装置１４を離れて作業しても、常に作業伝票２０
を携帯することができるので、作業内容の確認のために
作業端末装置１４に戻る必要が無く、作業端末装置１４
に戻るという煩雑さを嫌って発生する作業内容の確認不
足に基づく誤作業を防ぐ事ができ、延いては歩留まり向
上に繋がる。また作業効率が向上するので、工程期間の
短縮に繋がる。さらに、この作業伝票２０は、単に書換
え可能な印字表示部２０１を備えたカードであるので、
印字表示部２０１を掻き取るような扱いをしない限り、
取り扱いに際してそれほどの注意を払う必要が無く、取
り落としたとしても、作動不良を起こすような精密機器
ではなく、作業現場での取り扱いや半導体加工物２０の
移動に際しても、簡便に安心して使用できる。
【００３５】この実施の形態では、被作業物として半導
体加工物について説明したが、必ずしもこれに限定され
ず、多くの作業設備を多くの工程を経て作業されるもの
であれば同様の効果を奏する。
【００３６】
【発明の効果】この発明に係る作業内容の指示方法とそ
の指示装置、その指示方法を記録した記録媒体、カード
状記録媒体、ならびに作業内容の指示管理装置は、以上
に説明したような構成を備えているので、以下のような
効果を有する。この発明に係る作業内容の指示方法は、
被作業物が受ける作業内容の更新情報が記憶された作業
内容記憶部を有する中央管理装置と接続され、インタフ
ェース部と書換え可能な印字表示部を有するカード状記
録媒体の読取り・書込み装置と入力装置と表示装置とを
有する第１の端末装置を用いて、被作業物を特定する情
報と作業内容を特定した情報とを作業内容記憶部の更新
情報に基づきカード状記録媒体に印字表示し、被作業物
とともに送付するカード状記録媒体を発行する第１の工
程と、カード状記録媒体を用いて、中央管理装置と接続
されインタフェース部とカード状記録媒体の印字表示部
の読取り・書込み装置とを有する第２の端末装置によ
り、作業内容の更新情報を中央管理装置に照会し、この
更新情報に基づき、カード状記録媒体に印字表示する第
２の工程と、を含むもので、工程の流れ（工程フロー）
の変更および作業内容の変更に基づく作業指示が容易に
なり、延いては被作業物の作業内容や工程の変更に即応
することができる。
【００３７】さらに、被作業物を半導体加工物としたも
ので、これにより半導体加工工程の流れ（工程フロー）
の変更および作業内容の変更に基づく作業指示が容易に
なり、延いては半導体加工物の作業内容や工程の変更に
即応することができる。
【００３８】さらに、カード状記録媒体を発色タイプの
感熱記録リライト材料を使用したリライタブルカードと
したもので、鮮明な印字表示ができ、作業内容の誤伝達
が少なくなり、延いては被作業物の歩留まりを向上させ
ることができる。
【００３９】また、この発明に係る作業内容の指示装置
は、被作業物が作業設備で受ける作業内容の更新情報が
記憶された作業内容記憶部を有する中央管理装置と、こ
の中央管理装置との情報を送受するインタフェース部と
書換え可能な印字表示部を有するカード状記録媒体の読
取り・書込み装置と入力装置と表示装置とを有する第１
の端末装置と、中央管理装置との情報を送受するインタ
フェース部、およびカード状記録媒体の印字表示部の読
取り・書込み装置を有し、所定の作業設備に付置された
第２の端末装置とを備えたもので、この構成により書換
え可能な印字表示部を有するカード状記録媒体から所定
の情報を読み取り、これに基づきこのカード状記録媒体
が添付された被作業物の最新の作業情報を照会し、印字
表示することができる。延いては被作業物の作業内容や
工程の変更に即応することが可能な作業内容の指示装置
を構成できる。
【００４０】さらに、被作業物を半導体加工物としたも
ので、この構成により書換え可能な印字表示ができる印
字表示部を有するカード状記録媒体から所定の情報を読
み取り、これに基づきこのカード状記録媒体が付属され
た半導体加工物の最新の作業情報を照会するとともに印
字表示することができる。延いては半導体加工物の作業
内容や工程の変更に即応することが可能な作業内容の指
示装置を構成できる。
【００４１】また、この発明に係るカード状記録媒体
は、所定の被作業物と一緒に所定の作業設備に移動され
るとともにこの被作業物を特定する情報とこの被作業物
が次に経由する作業設備で受ける作業内容を特定した情
報とを印字表示する書換え可能な印字表示部を備えたも
ので、被作業物の作業設備における豊富な作業内容を安
価に印字表示できるとともにこの作業内容の変更も簡単
に印字表示することができる。
【００４２】さらに、被作業物を半導体加工物としたも
ので、半導体加工物の作業設備における豊富な作業内容
を安価に印字表示できるとともにこの作業内容の変更も
簡単に印字表示することができる。
【００４３】さらに、カード状記録媒体を発色タイプの
感熱記録リライト材料を使用したリライタブルカードと
したもので、鮮明な印字表示ができ、作業内容の誤伝達
が少なくなる。
【００４４】また、この発明に係る作業内容の指示管理
装置は、被作業物と一緒に作業設備に移動され、この被
作業物を特定する情報とこの被作業物が次の作業設備で
受ける作業内容を特定した情報とを印字表示する書換え
可能な印字表示部を備えたカード状記録媒体と、被作業
物が経由する作業設備で受ける作業内容の更新情報が記
憶された作業内容記憶部を有する中央管理装置と、この
中央管理装置との情報を送受するインタフェース部とカ
ード状記録媒体の印字表示部の読取り・書込み装置と入
力装置と表示装置とを有する第１の端末装置と、この中
央管理装置との情報を送受するインタフェース部、およ
び作業設備に送付されたカード状記録媒体の読取り・書
込み装置を有し、所定の作業設備に付置された第２の端
末装置とを備えたもので、この構成により被作業物と一
緒に作業設備に移動されるカード状記録媒体から情報を
読み取り、これに基づきこのカード状記録媒体が添付さ
れた被作業物の最新の作業情報を照会するとともにカー
ド状記録媒体に印字表示することができ、この設備の作
業者がカード状記録媒体に印字表示された最新の作業情
報にしたがって作業することができる。延いては被作業
物の作業内容や工程の変更管理が容易で、変更に対して
即応性の高い作業内容の指示管理装置を構成できる。
【００４５】さらに、被作業物を半導体加工物としたも
ので、この構成により半導体加工物に付属して所定の作
業設備に移動されるカード状記録媒体から所定の情報を
読み取り、これに基づきこのカード状記録媒体が付属さ
れた半導体加工物の最新の作業情報を照会するとともに
カード状記録媒体に印字表示することができ、この設備
の作業者がカード状記録媒体に印字表示された最新の作
業情報にしたがって作業することができる。延いては半
導体加工物の作業内容や工程の変更管理が容易で、変更
に対して即応性の高い作業内容の指示管理装置を構成で
きる。
【００４６】さらに、カード状記録媒体を発色タイプの
感熱記録リライト材料を使用したリライタブルカードと
したもので、鮮明な印字表示ができ、作業内容の誤伝達
が少なくなる。延いては指示内容の誤伝達が生じにくい
作業内容の指示管理装置を構成できる。
【００４７】また、この発明に係る記録媒体は、被作業
物が受ける作業内容の更新情報が記憶された作業内容記
憶部を有する中央管理装置と接続され、インタフェース
部と書換え可能な印字表示部を有するカード状記録媒体
の読取り・書込み装置と入力装置と表示装置とを有する
第１の端末装置を用いて、被作業物を特定する情報と作
業内容を特定した情報とを作業内容記憶部の更新情報に
基づきカード状記録媒体に印字表示し、被作業物ととも
に送付するカード状記録媒体を発行する第１の工程と、
カード状記録媒体を用いて、中央管理装置と接続されイ
ンタフェース部とカード状記録媒体の印字表示部の読取
り・書込み装置とを有する第２の端末装置により、作業
内容の更新情報を中央管理装置に照会し、この更新情報
に基づき、カード状記録媒体に印字表示する第２の工程
と、を含む作業内容の指示方法を記録したもので、工程
の流れ（工程フロー）の変更および作業内容の変更に基
づく作業指示が容易で、延いては被作業物の作業内容や
工程の変更に即応することができる作業内容の指示方法
を容易に頒布することができ、これらの技術内容を広く
提供することができる。
【００４８】さらに、被作業物を半導体加工物としたも
ので、これにより半導体加工物の作業内容や工程の変更
に即応することができる作業内容の指示方法を容易に頒
布することができ、これらの技術内容を広く提供するこ
とができる。
【００４９】さらに、カード状記録媒体を発色タイプの
感熱記録リライト材料を使用したリライタブルカードと
したもので、鮮明な印字表示ができ、作業内容の誤伝達
が少ない作業内容の指示方法を容易に頒布することがで
き、これらの技術内容を広く提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明に係る作業方法の全体構成を示す模
式図である。
【図２】 この発明に係る作業伝票の模式図である。
【図３】 この発明に係る作業方法を示す流れ図であ
る。
【符号の説明】
１０ 中央管理装置、１２ 第１の端末装置、１４ 第
２の端末装置、２０カード状記録媒体、２５ 指示装
置、３０ 指示管理装置、４０ 記録媒体。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｇ０６Ｋ 19/00 Ｑ

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 所定の被作業物が経由する作業設備及び
    この作業設備それぞれで上記被作業物が受ける作業内容
    の更新情報が記憶された作業内容記憶部を有する中央管
    理装置と接続され、この中央管理装置との情報を送受す
    るインタフェース部と書換え可能な印字表示ができる印
    字表示部を有するカード状記録媒体の印字表示部の読取
    り・書込み装置とこの読取り・書込み装置に情報を入力
    する入力装置とこの入力装置により入力される情報を表
    示する表示装置とを有する第１の端末装置を用いて、所
    定の被作業物を特定する情報とこの被作業物が次に経由
    する作業設備で受ける作業内容を特定した情報とを上記
    作業内容記憶部の更新情報に基づき上記カード状記録媒
    体に印字表示し、被作業物とともに送付するカード状記
    録媒体を発行する第１の工程と、 所定の被作業物とともに所定の作業設備に送付された上
    記カード状記録媒体を用いて、上記中央管理装置と接続
    されこの中央管理装置との情報を送受するインタフェー
    ス部と上記カード状記録媒体の印字表示部の読取り・書
    込み装置とを有する第２の端末装置により、この作業設
    備で受ける作業内容の更新情報を上記中央管理装置に照
    会するとともに上記作業内容記憶部の更新情報に基づ
    き、カード状記録媒体に印字表示する第２の工程と、を
    含む作業内容の指示方法。
  2. 【請求項２】 被作業物が半導体加工物であることを特
    徴とする請求項１記載の作業内容の指示方法。
  3. 【請求項３】 カード状記録媒体が発色タイプの感熱記
    録リライト材料を使用したリライタブルカードであるこ
    とを特徴とする請求項１または２に記載の作業内容の指
    示方法。
  4. 【請求項４】 所定の被作業物が経由する作業設備及び
    この作業設備それぞれで受ける作業内容の更新情報が記
    憶された作業内容記憶部を有する中央管理装置と、 この中央管理装置と接続され、この中央管理装置との情
    報を送受するインタフェース部と書換え可能な印字表示
    ができる印字表示部を有するカード状記録媒体の印字表
    示部の読取り・書込み装置とこの読取り・書込み装置に
    情報を入力する入力装置とこの入力装置により入力され
    る情報を表示する表示装置とを有する第１の端末装置
    と、 上記中央管理装置と接続され、この中央管理装置との情
    報を送受するインタフェース部、および所定の被作業物
    とともに所定の作業設備に送付された上記カード状記録
    媒体の印字表示部の読取り・書込み装置を有し、所定の
    作業設備に付置された第２の端末装置とを備えた作業内
    容の指示装置。
  5. 【請求項５】 被作業物が半導体加工物であることを特
    徴とする請求項４記載の作業内容の指示装置。
  6. 【請求項６】 所定の被作業物と一緒に所定の作業設備
    に移動されるとともにこの被作業物を特定する情報とこ
    の被作業物が次に経由する作業設備で受ける作業内容を
    特定した情報とを印字表示する書換え可能な印字表示部
    を備えたカード状記録媒体。
  7. 【請求項７】 被作業物が半導体加工物であることを特
    徴とする請求項６記載のカード状記録媒体。
  8. 【請求項８】 カード状記録媒体が発色タイプの感熱記
    録リライト材料を使用したリライタブルカードであるこ
    とを特徴とする請求項６または７に記載のカード状記録
    媒体。
  9. 【請求項９】 所定の被作業物と一緒に所定の作業設備
    に移動されるとともにこの被作業物を特定する情報とこ
    の被作業物が次に経由する作業設備で受ける作業内容を
    特定した情報とを印字表示する書換え可能な印字表示部
    を備えたカード状記録媒体と、 所定の被作業物が経由する作業設備及びこの作業設備そ
    れぞれで受ける作業内容の更新情報が記憶された作業内
    容記憶部を有する中央管理装置と、 この中央管理装置と接続され、この中央管理装置との情
    報を送受するインタフェース部と上記カード状記録媒体
    の印字表示部の読取り・書込み装置とこの読取り・書込
    み装置に情報を入力する入力装置とこの入力装置により
    入力される情報を表示する表示装置とを有する第１の端
    末装置と、 上記中央管理装置と接続されこの中央管理装置との情報
    を送受するインタフェース部、および所定の被作業物と
    ともに所定の作業設備に送付された上記カード状記録媒
    体の印字表示部の読取り・書込み装置を有し、所定の作
    業設備に付置された第２の端末装置とを備えた作業内容
    の指示管理装置。
  10. 【請求項１０】 被作業物が半導体加工物であることを
    特徴とする請求項９記載の作業内容の指示管理装置。
  11. 【請求項１１】 カード状記録媒体が発色タイプの感熱
    記録リライト材料を使用したリライタブルカードである
    ことを特徴とする請求項９または１０に記載の作業内容
    の指示管理装置。
  12. 【請求項１２】 所定の被作業物が経由する作業設備及
    びこの作業設備それぞれで上記被作業物が受ける作業内
    容の更新情報が記憶された作業内容記憶部を有する中央
    管理装置と接続され、この中央管理装置との情報を送受
    するインタフェース部と書換え可能な印字表示ができる
    印字表示部を有するカード状記録媒体の印字表示部の読
    取り・書込み装置とこの読取り・書込み装置に情報を入
    力する入力装置とこの入力装置により入力される情報を
    表示する表示装置とを有する第１の端末装置を用いて、
    所定の被作業物を特定する情報とこの被作業物が次に経
    由する作業設備で受ける作業内容を特定した情報とを上
    記作業内容記憶部の更新情報に基づき上記カード状記録
    媒体に印字表示し、被作業物とともに送付するカード状
    記録媒体を発行する第１の工程と、 所定の被作業物とともに所定の作業設備に送付されたカ
    ード状記録媒体を用いて、上記中央管理装置と接続され
    この中央管理装置との情報を送受するインタフェース部
    と上記カード状記録媒体の印字表示部の読取り・書込み
    装置とを有する第２の端末装置により、この作業設備で
    受ける作業内容の更新情報を上記中央管理装置に照会す
    るとともに上記作業内容記憶部の更新情報に基づき、カ
    ード状記録媒体に印字表示する第２の工程と、を含む作
    業内容の指示方法を記録した記録媒体。
  13. 【請求項１３】 被作業物が半導体加工物であることを
    特徴とする請求項１２記載の記録媒体。
  14. 【請求項１４】 カード状記録媒体が発色タイプの感熱
    記録リライト材料を使用したリライタブルカードである
    ことを特徴とする請求項１２または１３に記載の記録媒
    体。
JP2000190127A 2000-06-23 2000-06-23 作業内容の指示方法とその指示装置、その指示方法を記録した記録媒体、カード状記録媒体、ならびに作業内容の指示管理装置 Withdrawn JP2002006931A (ja)

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