JP2002006486A - 感光性樹脂組成物並びにその硬化物 - Google Patents
感光性樹脂組成物並びにその硬化物Info
- Publication number
- JP2002006486A JP2002006486A JP2000185536A JP2000185536A JP2002006486A JP 2002006486 A JP2002006486 A JP 2002006486A JP 2000185536 A JP2000185536 A JP 2000185536A JP 2000185536 A JP2000185536 A JP 2000185536A JP 2002006486 A JP2002006486 A JP 2002006486A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin composition
- anhydride
- photosensitive resin
- molecule
- compound
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Materials For Photolithography (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
- Epoxy Resins (AREA)
- Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】現像性、感光性、表面硬化性に優れ、その硬化
物は、耐溶剤性、耐酸性、耐熱性等に優れた、ポリカル
ボン酸樹脂及びそれを用いた感光性樹脂組成物及びその
硬化物を提供すること。 【解決手段】分子中に2個のカルボキシ基を有するイミ
ド化合物(a)と分子中に2個のエポキシ基を有するエ
ポキシ化合物(b)との反応生成物と二塩基酸無水物
(c)との付加生成物であるイミド骨格ポリカルボン酸
樹脂(A)、不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂(B)、
架橋剤(C)、光重合開始剤(D)及び硬化成分(E)
を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
物は、耐溶剤性、耐酸性、耐熱性等に優れた、ポリカル
ボン酸樹脂及びそれを用いた感光性樹脂組成物及びその
硬化物を提供すること。 【解決手段】分子中に2個のカルボキシ基を有するイミ
ド化合物(a)と分子中に2個のエポキシ基を有するエ
ポキシ化合物(b)との反応生成物と二塩基酸無水物
(c)との付加生成物であるイミド骨格ポリカルボン酸
樹脂(A)、不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂(B)、
架橋剤(C)、光重合開始剤(D)及び硬化成分(E)
を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ポリカルボン酸樹
脂及びそれを用いた感光性樹脂組成物並びにその硬化物
に関し、特にリジッド及びフレキシブルプリント基板、
あるいはボールグリッドアレイ(以下BGAという)、
チップサイズパッケージング(以下CSPという)、テ
ープキャリアパッケージ(以下TCPという)等の半導
体パッケージの製造に使用されるソルダーレジスト、あ
るいは層間絶縁膜として有用なアルカリ水溶液で現像可
能な感光性樹脂組成物に関する。
脂及びそれを用いた感光性樹脂組成物並びにその硬化物
に関し、特にリジッド及びフレキシブルプリント基板、
あるいはボールグリッドアレイ(以下BGAという)、
チップサイズパッケージング(以下CSPという)、テ
ープキャリアパッケージ(以下TCPという)等の半導
体パッケージの製造に使用されるソルダーレジスト、あ
るいは層間絶縁膜として有用なアルカリ水溶液で現像可
能な感光性樹脂組成物に関する。
【0002】
【従来の技術】ソルダーレジストは、プリント基板製造
において使用されているが、近年BGAやCSPとよば
れる新しいパッケージにおいても使用されるようになっ
ている。このレジストは、メッキまたはソルダリング工
程において、ニッケル、金、はんだ等が不必要な部分に
付着するのを防ぐ保護膜として必要不可欠な材料であ
る。従来、熱硬化性インキ又は光硬化性インキを用い、
スクリーン印刷することによりソルダーレジストを形成
する方法が広く用いられてきた。しかしこの方法を用い
た場合、印刷時のブリード、滲み、ダレ等の現象によ
り、得られるレジストパターンの精度が減少し、最近の
プリント基板の微細化、高密度化、高機能化には対応で
きなくなってきている。このような回路配線の高密度化
に伴い、写真法にてパターンを形成するフォトソルダー
レジストが盛んに用いられるようになってきている。こ
の中でも、アルカリ水溶液で現像可能な材料が作業環境
面、地球環境面から特に主流になってきており例えば、
特開昭64−62375号公報、特開平3−25309
3号公報、特公平1−54390号公報には、フェノー
ル性又はo−クレゾール性ノボラック型エポキシ樹脂と
不飽和一塩基酸を反応させ、更に飽和又は不飽和多塩基
酸無水物を反応させて得られた樹脂を用いたレジスト組
成物が開示されている。特開平3−289656号公報
にはグリシジル(メタ)アクリレート等を構成成分とし
て共重合し、前述の樹脂と同様にエポキシ基を変性した
樹脂を用いた組成物が、また特開平2−97513号公
報にはフェノール類とフェノール性水酸基を有する芳香
族アルデヒドとの縮合物のエポキシ化合物と(メタ)ア
クリル酸との反応物を、多塩基性カルボン酸又はその無
水物と反応させてなるエチレン性不飽和基含有ポリカル
ボン酸樹脂を用いた組成物が開示されている。
において使用されているが、近年BGAやCSPとよば
れる新しいパッケージにおいても使用されるようになっ
ている。このレジストは、メッキまたはソルダリング工
程において、ニッケル、金、はんだ等が不必要な部分に
付着するのを防ぐ保護膜として必要不可欠な材料であ
る。従来、熱硬化性インキ又は光硬化性インキを用い、
スクリーン印刷することによりソルダーレジストを形成
する方法が広く用いられてきた。しかしこの方法を用い
た場合、印刷時のブリード、滲み、ダレ等の現象によ
り、得られるレジストパターンの精度が減少し、最近の
プリント基板の微細化、高密度化、高機能化には対応で
きなくなってきている。このような回路配線の高密度化
に伴い、写真法にてパターンを形成するフォトソルダー
レジストが盛んに用いられるようになってきている。こ
の中でも、アルカリ水溶液で現像可能な材料が作業環境
面、地球環境面から特に主流になってきており例えば、
特開昭64−62375号公報、特開平3−25309
3号公報、特公平1−54390号公報には、フェノー
ル性又はo−クレゾール性ノボラック型エポキシ樹脂と
不飽和一塩基酸を反応させ、更に飽和又は不飽和多塩基
酸無水物を反応させて得られた樹脂を用いたレジスト組
成物が開示されている。特開平3−289656号公報
にはグリシジル(メタ)アクリレート等を構成成分とし
て共重合し、前述の樹脂と同様にエポキシ基を変性した
樹脂を用いた組成物が、また特開平2−97513号公
報にはフェノール類とフェノール性水酸基を有する芳香
族アルデヒドとの縮合物のエポキシ化合物と(メタ)ア
クリル酸との反応物を、多塩基性カルボン酸又はその無
水物と反応させてなるエチレン性不飽和基含有ポリカル
ボン酸樹脂を用いた組成物が開示されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の材料は、耐薬品性、耐水性、耐熱性がまだ不充分であ
り、特にBGAやCSP等の半導体パッケージ分野にお
いては、耐プレーッシャークッカーテスト(以下耐PC
Tという)に対して、数時間〜十数時間しか持たないの
が現状である。また、はんだリフロー工程や封止工程等
の熱衝撃によって塗膜にクラックが発生したり基板から
レジストが剥離したりする問題があり改良が求められて
いる。
の材料は、耐薬品性、耐水性、耐熱性がまだ不充分であ
り、特にBGAやCSP等の半導体パッケージ分野にお
いては、耐プレーッシャークッカーテスト(以下耐PC
Tという)に対して、数時間〜十数時間しか持たないの
が現状である。また、はんだリフロー工程や封止工程等
の熱衝撃によって塗膜にクラックが発生したり基板から
レジストが剥離したりする問題があり改良が求められて
いる。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前述の課
題を解決するため鋭意研究の結果、特定のポリカルボン
酸を使用することによって、希アルカリ水溶液での現像
が可能であり、硬化収縮が小さく、その硬化皮膜も密着
性、耐薬品性、耐熱性等に優れたプリント配線基板用レ
ジスト組成物を見出し本発明を完成させた。すなわち本
発明は、(1)分子中に2個のカルボキシ基を有するイ
ミド化合物(a)と分子中に2個のエポキシ基を有する
エポキシ化合物(b)との反応生成物と二塩基酸無水物
(c)との付加生成物であるイミド骨格ポリカルボン酸
樹脂(A)、不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂(B)、
架橋剤(C)、光重合開始剤(D)及び硬化成分(E)
を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物、(2)分子
中に2個のカルボキシ基を有するイミド化合物(a)
が、トリメリット酸無水物と分子中に2個の1級アミノ
基を有する化合物(d)から得られたものである(1)
に記載の感光性樹脂組成物、(3)分子中に2個の1級
アミノ基を有する化合物(d)下記式(1)で表される
化合物である(1)または(2)に記載の感光性樹脂組
成物、
題を解決するため鋭意研究の結果、特定のポリカルボン
酸を使用することによって、希アルカリ水溶液での現像
が可能であり、硬化収縮が小さく、その硬化皮膜も密着
性、耐薬品性、耐熱性等に優れたプリント配線基板用レ
ジスト組成物を見出し本発明を完成させた。すなわち本
発明は、(1)分子中に2個のカルボキシ基を有するイ
ミド化合物(a)と分子中に2個のエポキシ基を有する
エポキシ化合物(b)との反応生成物と二塩基酸無水物
(c)との付加生成物であるイミド骨格ポリカルボン酸
樹脂(A)、不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂(B)、
架橋剤(C)、光重合開始剤(D)及び硬化成分(E)
を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物、(2)分子
中に2個のカルボキシ基を有するイミド化合物(a)
が、トリメリット酸無水物と分子中に2個の1級アミノ
基を有する化合物(d)から得られたものである(1)
に記載の感光性樹脂組成物、(3)分子中に2個の1級
アミノ基を有する化合物(d)下記式(1)で表される
化合物である(1)または(2)に記載の感光性樹脂組
成物、
【0005】
【化3】
【0006】(式中、R1,R2,R3,R4はそれぞれ、
水素原子、ハロゲン原子、C1〜C4のアルキル基、C1
〜C4のアルコキシ基を表し、Xは、CH2、C(C
F3)2、C(CH3)2、ケトン、酸素原子、硫黄原子、
SO2を表す。) (4)二塩基酸無水物(c)が、無水コハク酸、無水フ
タル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水
フタル酸、無水マレイン酸または、下記式(2)
水素原子、ハロゲン原子、C1〜C4のアルキル基、C1
〜C4のアルコキシ基を表し、Xは、CH2、C(C
F3)2、C(CH3)2、ケトン、酸素原子、硫黄原子、
SO2を表す。) (4)二塩基酸無水物(c)が、無水コハク酸、無水フ
タル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水
フタル酸、無水マレイン酸または、下記式(2)
【0007】
【化4】
【0008】の中から選択してなる1種または2種以上
の二塩基酸無水物である(1)乃至(3)のいずれか一
項記載の感光性樹脂組成物、(5)(4)に記載の感光
性樹脂組成物の硬化物、(6)(5)に記載の硬化物の
層を有するプリント基板を提供することにある。
の二塩基酸無水物である(1)乃至(3)のいずれか一
項記載の感光性樹脂組成物、(5)(4)に記載の感光
性樹脂組成物の硬化物、(6)(5)に記載の硬化物の
層を有するプリント基板を提供することにある。
【0009】
【発明の実施の形態】本発明の感光性樹脂組成物は、分
子中に2個のカルボキシ基を有するイミド化合物(a)
と分子中に2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物
(b)との反応生成物と二塩基酸無水物(c)との付加
生成物であるイミド骨格ポリカルボン酸樹脂(A)、不
飽和基含有ポリカルボン酸樹脂(B)、架橋剤(C)、
光重合開始剤(D)及び硬化成分(E)を含むことを特
徴とする感光性樹脂組成物である。
子中に2個のカルボキシ基を有するイミド化合物(a)
と分子中に2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物
(b)との反応生成物と二塩基酸無水物(c)との付加
生成物であるイミド骨格ポリカルボン酸樹脂(A)、不
飽和基含有ポリカルボン酸樹脂(B)、架橋剤(C)、
光重合開始剤(D)及び硬化成分(E)を含むことを特
徴とする感光性樹脂組成物である。
【0010】本発明の感光性樹脂組成物に使用されるイ
ミド骨格ポリカルボン酸樹脂(A)を得るための分子中
に2個のカルボキシ基を有するイミド化合物(a)は、
トリメリット酸無水物と分子中に2個の1級アミノ基を
有する化合物(d)を反応させて得られるアミド酸化合
物を脱水イミド化して得ることができる。分子中に2個
の1級アミノ基を有する化合物(d)としては例えば、
式
ミド骨格ポリカルボン酸樹脂(A)を得るための分子中
に2個のカルボキシ基を有するイミド化合物(a)は、
トリメリット酸無水物と分子中に2個の1級アミノ基を
有する化合物(d)を反応させて得られるアミド酸化合
物を脱水イミド化して得ることができる。分子中に2個
の1級アミノ基を有する化合物(d)としては例えば、
式
【0011】
【化5】
【0012】で表される化合物が挙げられる。このうち
好ましい化合物としては4,4’−ジアミノジフェニル
メタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジメチルジフ
ェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジエチ
ルジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−
ジブチルジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,
3’,5,5’−テトラメチルジフェニルメタン、4,
4’−ジアミノ−3,3’,5,5’−テトラエチルジ
フェニルメタン、4,4’−ジアミノー3,3’−ジメ
トキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノー3,
3’ージエトキシジフェニルメタン、3,3’−ジアミ
ノー4,4’ージメチルジフェニルメタン、4,4’−
ジアミノ−3,3’,5,5’−テトラフルオロジフェ
ニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’,5,5’
−テトラクロロジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ
ベンゾフェノン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホ
ン、4,4’−ジアミノー3,3’−ジプロポキシジフ
ェニルメタン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)プ
ロパン等が挙げられる。
好ましい化合物としては4,4’−ジアミノジフェニル
メタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジメチルジフ
ェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジエチ
ルジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−
ジブチルジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,
3’,5,5’−テトラメチルジフェニルメタン、4,
4’−ジアミノ−3,3’,5,5’−テトラエチルジ
フェニルメタン、4,4’−ジアミノー3,3’−ジメ
トキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノー3,
3’ージエトキシジフェニルメタン、3,3’−ジアミ
ノー4,4’ージメチルジフェニルメタン、4,4’−
ジアミノ−3,3’,5,5’−テトラフルオロジフェ
ニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’,5,5’
−テトラクロロジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ
ベンゾフェノン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホ
ン、4,4’−ジアミノー3,3’−ジプロポキシジフ
ェニルメタン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)プ
ロパン等が挙げられる。
【0013】本発明の感光性樹脂組成物に使用されるイ
ミド骨格ポリカルボン酸樹脂(A)を得るためのエポキ
シ化合物としては、分子中に2個のエポキシ基を有する
ものであればすべて用いることができる。分子中に2個
のエポキシ基を有するエポキシ樹脂としては、例えば、
ハイドロキノンジグリシジルエーテル、レゾルシンジグ
リシジルエーテル等のエポキシ化合物、エピコート82
8、エピコート1001(油化シェルエポキシ製)、U
VR−6410(ユニオンカーバイド社製)、D.E.
R−331(ダウ・ケミカル社製)、YD−8125
(東都化成社製)等のビスフェノールA型エポキシ樹
脂、UVR−6490(ユニオンカーバイド社製)、Y
DF−8170(東都化成社製)等のビスフェノールF
型エポキシ樹脂、YX−4000(油化シェルエポキシ
(株)製)のビキシレノール型エポキシ樹脂やYL−6
121(油化シェルエポキシ(株)製)等のビフェノー
ル型エポキシ樹脂、9,9−ビス(4−ヒドロキシフェ
ニル)フルオレンのジグリシジルエーテル化物、9,9
−ビス(4−ヒドロキシ−3−メチルフェニル)フルオ
レンのジグリシジルエーテル化物、9,9−ビス(4−
ヒドロキシ−3−メトキシフェニル)フルオレンのジグ
リシジルエーテル化物、9,9−ビス(4−ヒドロキシ
−3−クロロフェニル)フルオレンのジグリシジルエー
テル化物等のフルオレン骨格エポキシ化合物等があげら
れる。
ミド骨格ポリカルボン酸樹脂(A)を得るためのエポキ
シ化合物としては、分子中に2個のエポキシ基を有する
ものであればすべて用いることができる。分子中に2個
のエポキシ基を有するエポキシ樹脂としては、例えば、
ハイドロキノンジグリシジルエーテル、レゾルシンジグ
リシジルエーテル等のエポキシ化合物、エピコート82
8、エピコート1001(油化シェルエポキシ製)、U
VR−6410(ユニオンカーバイド社製)、D.E.
R−331(ダウ・ケミカル社製)、YD−8125
(東都化成社製)等のビスフェノールA型エポキシ樹
脂、UVR−6490(ユニオンカーバイド社製)、Y
DF−8170(東都化成社製)等のビスフェノールF
型エポキシ樹脂、YX−4000(油化シェルエポキシ
(株)製)のビキシレノール型エポキシ樹脂やYL−6
121(油化シェルエポキシ(株)製)等のビフェノー
ル型エポキシ樹脂、9,9−ビス(4−ヒドロキシフェ
ニル)フルオレンのジグリシジルエーテル化物、9,9
−ビス(4−ヒドロキシ−3−メチルフェニル)フルオ
レンのジグリシジルエーテル化物、9,9−ビス(4−
ヒドロキシ−3−メトキシフェニル)フルオレンのジグ
リシジルエーテル化物、9,9−ビス(4−ヒドロキシ
−3−クロロフェニル)フルオレンのジグリシジルエー
テル化物等のフルオレン骨格エポキシ化合物等があげら
れる。
【0014】イミド化合物(a)とエポキシ化合物
(b)との反応は、水酸基を有さない溶媒、具体的には
例えば、アセトン、エチルメチルケトン、シクロヘキサ
ノンなどのケトン類、ベンゼン、トルエン、キシレン、
テトラメチルベンゼンなどの芳香族炭化水素類、エチレ
ングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジ
エチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエー
テル、ジプロピレングリコールジエチルエーテルなどの
グリコールエーテル類、酢酸エチル、酢酸ブチル、メチ
ルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテー
ト、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテ
ート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテ
ート、グルタル酸ジアルキル、コハク酸ジアルキル、ア
ジピン酸ジアルキルなどのエステル類、石油エーテル、
石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサなどの
石油系溶剤等の単独または混合有機溶媒中で反応させ
る。反応時には、反応を促進させるために触媒を使用す
ることが好ましく、該触媒の使用量は、反応原料混合物
に対して0.1〜10重量%である。その際の反応温度
は通常60〜150℃であり、また反応時間は、好まし
くは5〜60時間である。この反応で使用する触媒とし
ては、例えばトリエチルアミン、ベンジルジメチルアミ
ン、トリエチルアンモニウムクロライド、ベンジルトリ
メチルアンモニウムブロマイド、ベンジルトリメチルア
ンモニウムアイオダイド、トリフェニルフォスフィン、
トリフェニルスチビン、メチルトリフェニルスチビン、
オクタン酸クロム、オクタン酸ジルコニウム等が挙げら
れる。
(b)との反応は、水酸基を有さない溶媒、具体的には
例えば、アセトン、エチルメチルケトン、シクロヘキサ
ノンなどのケトン類、ベンゼン、トルエン、キシレン、
テトラメチルベンゼンなどの芳香族炭化水素類、エチレ
ングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジ
エチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエー
テル、ジプロピレングリコールジエチルエーテルなどの
グリコールエーテル類、酢酸エチル、酢酸ブチル、メチ
ルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテー
ト、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテ
ート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテ
ート、グルタル酸ジアルキル、コハク酸ジアルキル、ア
ジピン酸ジアルキルなどのエステル類、石油エーテル、
石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサなどの
石油系溶剤等の単独または混合有機溶媒中で反応させ
る。反応時には、反応を促進させるために触媒を使用す
ることが好ましく、該触媒の使用量は、反応原料混合物
に対して0.1〜10重量%である。その際の反応温度
は通常60〜150℃であり、また反応時間は、好まし
くは5〜60時間である。この反応で使用する触媒とし
ては、例えばトリエチルアミン、ベンジルジメチルアミ
ン、トリエチルアンモニウムクロライド、ベンジルトリ
メチルアンモニウムブロマイド、ベンジルトリメチルア
ンモニウムアイオダイド、トリフェニルフォスフィン、
トリフェニルスチビン、メチルトリフェニルスチビン、
オクタン酸クロム、オクタン酸ジルコニウム等が挙げら
れる。
【0015】イミド骨格ポリカルボン酸樹脂(A)を合
成する際に使用される二塩基酸無水物(c)としては例
えば、無水コハク酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水
フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水マレイン酸
または前記式(2)で示される化合物の中から選択して
なる1種または2種以上の二塩基酸無水物が挙げられ
る。これらの二塩基酸無水物(c)は一種または二種以
上混合して使用することができる。二塩基酸無水物
(c)は、イミド化合物(a)とエポキシ化合物(b)
と反応により生成された水酸基に付加することにより半
エステル化され、カルボン酸を生成する。この生成した
カルボン酸は、アルカリ水溶液現像性を持たせるため必
要不可欠なものであり、ポリカルボン酸樹脂(A)の固
形分酸価が、30〜150mg・KOH/gとなるよう
にすることが好ましい。固形分酸価が30mg・KOH
/g未満の場合は、後述する樹脂組成物のアルカリ水溶
液現像性が著しく低下し、最悪の場合現像できなくなる
ので好ましくない。一方固形分酸価が150mg・KO
H/gを超える場合、アルカリ水溶液現像性が高すぎ、
現像密着性が低下したり、最悪の場合パターンが得られ
なくなる恐れがある。
成する際に使用される二塩基酸無水物(c)としては例
えば、無水コハク酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水
フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水マレイン酸
または前記式(2)で示される化合物の中から選択して
なる1種または2種以上の二塩基酸無水物が挙げられ
る。これらの二塩基酸無水物(c)は一種または二種以
上混合して使用することができる。二塩基酸無水物
(c)は、イミド化合物(a)とエポキシ化合物(b)
と反応により生成された水酸基に付加することにより半
エステル化され、カルボン酸を生成する。この生成した
カルボン酸は、アルカリ水溶液現像性を持たせるため必
要不可欠なものであり、ポリカルボン酸樹脂(A)の固
形分酸価が、30〜150mg・KOH/gとなるよう
にすることが好ましい。固形分酸価が30mg・KOH
/g未満の場合は、後述する樹脂組成物のアルカリ水溶
液現像性が著しく低下し、最悪の場合現像できなくなる
ので好ましくない。一方固形分酸価が150mg・KO
H/gを超える場合、アルカリ水溶液現像性が高すぎ、
現像密着性が低下したり、最悪の場合パターンが得られ
なくなる恐れがある。
【0016】イミド化合物(a)とエポキシ化合物
(b)との反応生成物と二塩基酸無水物(c)との反応
は、反応後の固形分酸価が前述の範囲で示される量とな
るような計算量を反応させることによって得られる。そ
の際の反応温度は60〜150℃が好ましく、反応時間
は1〜10時間である。
(b)との反応生成物と二塩基酸無水物(c)との反応
は、反応後の固形分酸価が前述の範囲で示される量とな
るような計算量を反応させることによって得られる。そ
の際の反応温度は60〜150℃が好ましく、反応時間
は1〜10時間である。
【0017】本発明の感光性樹脂組成物に使用される不
飽和基含有ポリカルボン酸樹脂(B)は、分子中に不飽
和二重結合とカルボキシル基を有する樹脂であればすべ
て用いることができるが、分子中に2個以上のエポキシ
基を有する化合物と分子中に不飽和基を有するモノカル
ボン酸との反応物に二塩基酸無水物を付加させて得られ
たものが好ましい。
飽和基含有ポリカルボン酸樹脂(B)は、分子中に不飽
和二重結合とカルボキシル基を有する樹脂であればすべ
て用いることができるが、分子中に2個以上のエポキシ
基を有する化合物と分子中に不飽和基を有するモノカル
ボン酸との反応物に二塩基酸無水物を付加させて得られ
たものが好ましい。
【0018】分子中に2個以上のエポキシ基を有する化
合物としては、例えば、フェノールノボラック型エポキ
シ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、トリス
ヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、ジシクロペ
ンタジエンフェノール型エポキシ樹脂、ビスフェノール
A型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、
ビフェノール型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラ
ック型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格含有エポキシ樹
脂、複素環式エポキシ樹脂等が挙げられる。フェノール
ノボラック型エポキシ樹脂としては、例えばエピクロン
N−770(大日本インキ化学工業(株)製)、D.
E.N438(ダウ・ケミカル社製)、エピコート15
4(油化シェルエポキシ(株)製)、RE−306(日
本化薬(株)製)等があげられる。クレゾールノボラッ
ク型エポキシ樹脂としては、例えばエピクロンN−69
5(大日本インキ化学工業(株)製)、EOCN−10
2S、EOCN−103S、EOCN−104S(日本
化薬(株)製)、UVR−6650(ユニオンカーバイ
ド社製)、ESCN−195(住友化学工業(株)製)
等があげられる。トリスヒドロキシフェニルメタン型エ
ポキシ樹脂としては、例えばTACTICX−742
(ダウ・ケミカル社製)、エピコートE1032H60
(油化シェルエポキシ(株)製)等があげられる。ジシ
クロペンタジエンフェノール型エポキシ樹脂としては、
例えばエピクロンEXA−7200(大日本インキ化学
工業(株)製)、TACTIX−556(ダウ・ケミカ
ル社製)等があげられる。ビスフェノール型エポキシ樹
脂としては、例えばエピコート828、エピコート10
01(油化シェルエポキシ製)、UVR−6410(ユ
ニオンカーバイド社製)、D.E.R−331(ダウ・
ケミカル社製)、YD−8125(東都化成社製)等の
ビスフェノールA型エポキシ樹脂、UVR−6490
(ユニオンカーバイド社製)、YDF−8170(東都
化成社製)等のビスフェノールF型エポキシ樹脂等があ
げられる。ビフェノール型エポキシ樹脂としては、例え
ばYX−4000(油化シェルエポキシ(株)製)のビ
キシレノール型エポキシ樹脂やYL−6121(油化シ
ェルエポキシ(株)製)等があげられる。ビスフェノー
ルAノボラック型エポキシ樹脂としては、例えばエピク
ロンN−880(大日本インキ化学工業(株)製)、エ
ピコートE157S75(油化シェルエポキシ(株)
製)等があげられる。
合物としては、例えば、フェノールノボラック型エポキ
シ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、トリス
ヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、ジシクロペ
ンタジエンフェノール型エポキシ樹脂、ビスフェノール
A型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、
ビフェノール型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラ
ック型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格含有エポキシ樹
脂、複素環式エポキシ樹脂等が挙げられる。フェノール
ノボラック型エポキシ樹脂としては、例えばエピクロン
N−770(大日本インキ化学工業(株)製)、D.
E.N438(ダウ・ケミカル社製)、エピコート15
4(油化シェルエポキシ(株)製)、RE−306(日
本化薬(株)製)等があげられる。クレゾールノボラッ
ク型エポキシ樹脂としては、例えばエピクロンN−69
5(大日本インキ化学工業(株)製)、EOCN−10
2S、EOCN−103S、EOCN−104S(日本
化薬(株)製)、UVR−6650(ユニオンカーバイ
ド社製)、ESCN−195(住友化学工業(株)製)
等があげられる。トリスヒドロキシフェニルメタン型エ
ポキシ樹脂としては、例えばTACTICX−742
(ダウ・ケミカル社製)、エピコートE1032H60
(油化シェルエポキシ(株)製)等があげられる。ジシ
クロペンタジエンフェノール型エポキシ樹脂としては、
例えばエピクロンEXA−7200(大日本インキ化学
工業(株)製)、TACTIX−556(ダウ・ケミカ
ル社製)等があげられる。ビスフェノール型エポキシ樹
脂としては、例えばエピコート828、エピコート10
01(油化シェルエポキシ製)、UVR−6410(ユ
ニオンカーバイド社製)、D.E.R−331(ダウ・
ケミカル社製)、YD−8125(東都化成社製)等の
ビスフェノールA型エポキシ樹脂、UVR−6490
(ユニオンカーバイド社製)、YDF−8170(東都
化成社製)等のビスフェノールF型エポキシ樹脂等があ
げられる。ビフェノール型エポキシ樹脂としては、例え
ばYX−4000(油化シェルエポキシ(株)製)のビ
キシレノール型エポキシ樹脂やYL−6121(油化シ
ェルエポキシ(株)製)等があげられる。ビスフェノー
ルAノボラック型エポキシ樹脂としては、例えばエピク
ロンN−880(大日本インキ化学工業(株)製)、エ
ピコートE157S75(油化シェルエポキシ(株)
製)等があげられる。
【0019】ナフタレン骨格含有エポキシ樹脂として
は、例えばNC−7000(日本化薬社製)、EXA−
4750(大日本インキ化学工業(株)製)等があげら
れる。脂環式エポキシ樹脂としては、例えばEHPE−
3150(ダイセル化学工業(株)製)等があげられ
る。複素環式エポキシ樹脂としては、例えばTEPI
C,TEPIC−L,TEPIC−H、TEPIC−S
(いずれも日産化学工業(株)製)等が挙げられる。
は、例えばNC−7000(日本化薬社製)、EXA−
4750(大日本インキ化学工業(株)製)等があげら
れる。脂環式エポキシ樹脂としては、例えばEHPE−
3150(ダイセル化学工業(株)製)等があげられ
る。複素環式エポキシ樹脂としては、例えばTEPI
C,TEPIC−L,TEPIC−H、TEPIC−S
(いずれも日産化学工業(株)製)等が挙げられる。
【0020】不飽和基を有するモノカルボン酸として
は、例えば、(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸
のγ−ブチロラクトン変性物、ケイ皮酸等が挙げられ
る。
は、例えば、(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸
のγ−ブチロラクトン変性物、ケイ皮酸等が挙げられ
る。
【0021】二塩基酸無水物としては、前述の化合物を
使用することができる。
使用することができる。
【0022】分子中に2個以上のエポキシ基を有する化
合物と分子中に不飽和基を有するモノカルボン酸との反
応は、水酸基を有さない溶媒、具体的には例えば、アセ
トン、エチルメチルケトン、シクロヘキサノンなどのケ
トン類、ベンゼン、トルエン、キシレン、テトラメチル
ベンゼンなどの芳香族炭化水素類、エチレングリコール
ジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテ
ル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロ
ピレングリコールジエチルエーテルなどのグリコールエ
ーテル類、酢酸エチル、酢酸ブチル、メチルセロソルブ
アセテート、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロ
ソルブアセテート、カルビトールアセテート、プロピレ
ングリコールモノメチルエーテルアセテート、グルタル
酸ジアルキル、コハク酸ジアルキル、アジピン酸ジアル
キルなどのエステル類、石油エーテル、石油ナフサ、水
添石油ナフサ、ソルベントナフサなどの石油系溶剤等の
単独または混合有機溶媒中で反応させる。
合物と分子中に不飽和基を有するモノカルボン酸との反
応は、水酸基を有さない溶媒、具体的には例えば、アセ
トン、エチルメチルケトン、シクロヘキサノンなどのケ
トン類、ベンゼン、トルエン、キシレン、テトラメチル
ベンゼンなどの芳香族炭化水素類、エチレングリコール
ジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテ
ル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロ
ピレングリコールジエチルエーテルなどのグリコールエ
ーテル類、酢酸エチル、酢酸ブチル、メチルセロソルブ
アセテート、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロ
ソルブアセテート、カルビトールアセテート、プロピレ
ングリコールモノメチルエーテルアセテート、グルタル
酸ジアルキル、コハク酸ジアルキル、アジピン酸ジアル
キルなどのエステル類、石油エーテル、石油ナフサ、水
添石油ナフサ、ソルベントナフサなどの石油系溶剤等の
単独または混合有機溶媒中で反応させる。
【0023】反応時には、反応を促進させるために触媒
を使用することが好ましく、該触媒の使用量は、反応原
料混合物に対して0.1〜10重量%である。その際の
反応温度は通常60〜150℃であり、また反応時間
は、好ましくは5〜60時間である。この反応で使用す
る触媒としては、例えばトリエチルアミン、ベンジルジ
メチルアミン、トリエチルアンモニウムクロライド、ベ
ンジルトリメチルアンモニウムブロマイド、ベンジルト
リメチルアンモニウムアイオダイド、トリフェニルフォ
スフィン、トリフェニルスチビン、メチルトリフェニル
スチビン、オクタン酸クロム、オクタン酸ジルコニウム
等が挙げられる。
を使用することが好ましく、該触媒の使用量は、反応原
料混合物に対して0.1〜10重量%である。その際の
反応温度は通常60〜150℃であり、また反応時間
は、好ましくは5〜60時間である。この反応で使用す
る触媒としては、例えばトリエチルアミン、ベンジルジ
メチルアミン、トリエチルアンモニウムクロライド、ベ
ンジルトリメチルアンモニウムブロマイド、ベンジルト
リメチルアンモニウムアイオダイド、トリフェニルフォ
スフィン、トリフェニルスチビン、メチルトリフェニル
スチビン、オクタン酸クロム、オクタン酸ジルコニウム
等が挙げられる。
【0024】不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂(B)を
合成する際に使用される二塩基酸無水物としては例え
ば、無水コハク酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フ
タル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水マレイン酸ま
たは前記式(2)で示される化合物の中から選択してな
る1種または2種以上の二塩基酸無水物が挙げられる。
合成する際に使用される二塩基酸無水物としては例え
ば、無水コハク酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フ
タル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水マレイン酸ま
たは前記式(2)で示される化合物の中から選択してな
る1種または2種以上の二塩基酸無水物が挙げられる。
【0025】これらの二塩基酸無水物は一種または二種
以上混合して使用することができる。二塩基酸無水物
は、分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物と分
子中に不飽和基を有するモノカルボン酸との反応により
生成された水酸基に付加することにより半エステル化さ
れ、カルボン酸を生成する。この生成したカルボン酸
は、アルカリ水溶液現像性を持たせるため必要不可欠な
ものであり、不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂(B)の
固形分酸価が、30〜150mg・KOH/gとなるよ
うにすることが好ましい。固形分酸価が30mg・KO
H/g未満の場合は、後述する樹脂組成物のアルカリ水
溶液現像性が著しく低下し、最悪の場合現像できなくな
るので好ましくない。一方固形分酸価が150mg・K
OH/gを超える場合、アルカリ水溶液現像性が高す
ぎ、現像密着性が低下したり、最悪の場合パターンが得
られなくなる恐れがある。
以上混合して使用することができる。二塩基酸無水物
は、分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物と分
子中に不飽和基を有するモノカルボン酸との反応により
生成された水酸基に付加することにより半エステル化さ
れ、カルボン酸を生成する。この生成したカルボン酸
は、アルカリ水溶液現像性を持たせるため必要不可欠な
ものであり、不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂(B)の
固形分酸価が、30〜150mg・KOH/gとなるよ
うにすることが好ましい。固形分酸価が30mg・KO
H/g未満の場合は、後述する樹脂組成物のアルカリ水
溶液現像性が著しく低下し、最悪の場合現像できなくな
るので好ましくない。一方固形分酸価が150mg・K
OH/gを超える場合、アルカリ水溶液現像性が高す
ぎ、現像密着性が低下したり、最悪の場合パターンが得
られなくなる恐れがある。
【0026】分子中に2個以上のエポキシ基を有する化
合物と分子中に不飽和基を有するモノカルボン酸との反
応生成物と二塩基酸無水物との反応は、反応後の固形分
酸価が前述の範囲で示される量となるような計算量を反
応させることによって得られる。その際の反応温度は6
0〜150℃が好ましく、反応時間は1〜10時間であ
る。
合物と分子中に不飽和基を有するモノカルボン酸との反
応生成物と二塩基酸無水物との反応は、反応後の固形分
酸価が前述の範囲で示される量となるような計算量を反
応させることによって得られる。その際の反応温度は6
0〜150℃が好ましく、反応時間は1〜10時間であ
る。
【0027】不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂(B)の
市販品としては、例えば、カヤラッド PCRシリー
ズ、カヤラッド CCRシリーズ、カヤラッド TCR
シリーズ、カヤラッドZFRシリーズ、カヤラッド Z
NRシリーズ(いずれも日本化薬製)等が挙げられる。
市販品としては、例えば、カヤラッド PCRシリー
ズ、カヤラッド CCRシリーズ、カヤラッド TCR
シリーズ、カヤラッドZFRシリーズ、カヤラッド Z
NRシリーズ(いずれも日本化薬製)等が挙げられる。
【0028】本発明の感光性樹脂組成物に使用されるイ
ミド骨格ポリカルボン酸樹脂(A)及び不飽和基含有ポ
リカルボン酸樹脂(B)の量としては、それぞれ感光性
樹脂組成物の全固形分量を100重量%とした場合、1
0〜80重量%が好ましく、特に好ましくは、15〜7
0重量%である。
ミド骨格ポリカルボン酸樹脂(A)及び不飽和基含有ポ
リカルボン酸樹脂(B)の量としては、それぞれ感光性
樹脂組成物の全固形分量を100重量%とした場合、1
0〜80重量%が好ましく、特に好ましくは、15〜7
0重量%である。
【0029】本発明の感光性樹脂組成物に使用される架
橋剤(C)としては、例えば、2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アク
リレート、アクリロイルモノホリン、イソボルニル(メ
タ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メ
タ)アクリレート、ノナンジオールジ(メタ)アクリレ
ート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレー
ト、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレー
ト、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、
ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジトリメチ
ロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタ
エリスリトールポリ(メタ)アクリレート等の(メタ)
アクリレート類等を挙げることができる。これら、架橋
剤(C)の量は、組成物の固形分を100重量部とした
とき、5〜50重量部が好ましく、特に好ましくは、1
0〜40重量部である。
橋剤(C)としては、例えば、2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アク
リレート、アクリロイルモノホリン、イソボルニル(メ
タ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メ
タ)アクリレート、ノナンジオールジ(メタ)アクリレ
ート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレー
ト、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレー
ト、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、
ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジトリメチ
ロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタ
エリスリトールポリ(メタ)アクリレート等の(メタ)
アクリレート類等を挙げることができる。これら、架橋
剤(C)の量は、組成物の固形分を100重量部とした
とき、5〜50重量部が好ましく、特に好ましくは、1
0〜40重量部である。
【0030】本発明の感光性樹脂組成物に使用される光
重合開始剤(D)としては、例えば、アセトフェノン、
2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、p
−ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフ
ェノン、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニ
ル〕−2−モルホリノ−プロパン−1−オン、2−ベン
ジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェ
ニル)−ブタノン−1等のアセトフェノン類、ベンゾフ
ェノン、p−クロロベンゾフェノン、p,p−ビスジメ
チルアミノベンゾフェノン、p,p−ビスジエチルアミ
ノベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4′−メチル−ジ
フェニルサルファイド等のベンゾフェノン類、ベンジ
ル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイ
ンイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル類、ベン
ジルジメチルケタール等のケタール類、チオキサント
ン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジエチルチオ
キサントン、2−イソプロピルチオキサントン等のチオ
キサントン類、アントラキノン、2,4,5−トリアリ
ールイミダゾール二量体、2,4,6−トリス(トリク
ロロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリメチ
ルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等の光重
合開始剤を用いることが好ましい。これらの光重合開始
剤(D)は、単独でまた2種以上を組み合わせて使用す
ることができ、その使用量は、架橋剤(C)に対して1
0〜200重量%用いることが好ましい。また更に、
N,N−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、N,
N−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル、N,
N−ジメチルアミノ安息香酸ペンチルエステル等の三級
アミノ化合物のような増感剤を組み合わせて用いること
ができる。
重合開始剤(D)としては、例えば、アセトフェノン、
2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、p
−ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフ
ェノン、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニ
ル〕−2−モルホリノ−プロパン−1−オン、2−ベン
ジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェ
ニル)−ブタノン−1等のアセトフェノン類、ベンゾフ
ェノン、p−クロロベンゾフェノン、p,p−ビスジメ
チルアミノベンゾフェノン、p,p−ビスジエチルアミ
ノベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4′−メチル−ジ
フェニルサルファイド等のベンゾフェノン類、ベンジ
ル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイ
ンイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル類、ベン
ジルジメチルケタール等のケタール類、チオキサント
ン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジエチルチオ
キサントン、2−イソプロピルチオキサントン等のチオ
キサントン類、アントラキノン、2,4,5−トリアリ
ールイミダゾール二量体、2,4,6−トリス(トリク
ロロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリメチ
ルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等の光重
合開始剤を用いることが好ましい。これらの光重合開始
剤(D)は、単独でまた2種以上を組み合わせて使用す
ることができ、その使用量は、架橋剤(C)に対して1
0〜200重量%用いることが好ましい。また更に、
N,N−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、N,
N−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル、N,
N−ジメチルアミノ安息香酸ペンチルエステル等の三級
アミノ化合物のような増感剤を組み合わせて用いること
ができる。
【0031】本発明の感光性樹脂組成物に使用される硬
化成分(E)としては、例えば、フェノールノボラック
型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹
脂、トリスヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、
ジシクロペンタジエンフェノール型エポキシ樹脂、ビス
フェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポ
キシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ビスフェノー
ルAノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格含有エ
ポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂等が挙げられる。
化成分(E)としては、例えば、フェノールノボラック
型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹
脂、トリスヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、
ジシクロペンタジエンフェノール型エポキシ樹脂、ビス
フェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポ
キシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ビスフェノー
ルAノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格含有エ
ポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂等が挙げられる。
【0032】フェノールノボラック型エポキシ樹脂とし
ては、例えばエピクロンN−770(大日本インキ化学
工業(株)製)、D.E.N438(ダウ・ケミカル社
製)、エピコート154(油化シェルエポキシ(株)
製)、RE−306(日本化薬(株)製)等があげられ
る。クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては、例
えばエピクロンN−695(大日本インキ化学工業
(株)製)、EOCN−102S、EOCN−103
S、EOCN−104S(日本化薬(株)製)、UVR
−6650(ユニオンカーバイド社製)、ESCN−1
95(住友化学工業(株)製)等があげられる。
ては、例えばエピクロンN−770(大日本インキ化学
工業(株)製)、D.E.N438(ダウ・ケミカル社
製)、エピコート154(油化シェルエポキシ(株)
製)、RE−306(日本化薬(株)製)等があげられ
る。クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては、例
えばエピクロンN−695(大日本インキ化学工業
(株)製)、EOCN−102S、EOCN−103
S、EOCN−104S(日本化薬(株)製)、UVR
−6650(ユニオンカーバイド社製)、ESCN−1
95(住友化学工業(株)製)等があげられる。
【0033】トリスヒドロキシフェニルメタン型エポキ
シ樹脂としては、例えばTACTICX−742(ダウ
・ケミカル社製)、エピコートE1032H60(油化
シェルエポキシ(株)製)等があげられる。ジシクロペ
ンタジエンフェノール型エポキシ樹脂としては、例えば
エピクロンEXA−7200(大日本インキ化学工業
(株)製)、TACTIX−556(ダウ・ケミカル社
製)等があげられる。
シ樹脂としては、例えばTACTICX−742(ダウ
・ケミカル社製)、エピコートE1032H60(油化
シェルエポキシ(株)製)等があげられる。ジシクロペ
ンタジエンフェノール型エポキシ樹脂としては、例えば
エピクロンEXA−7200(大日本インキ化学工業
(株)製)、TACTIX−556(ダウ・ケミカル社
製)等があげられる。
【0034】ビスフェノール型エポキシ樹脂としては、
例えばエピコート828、エピコート1001(油化シ
ェルエポキシ製)、UVR−6410(ユニオンカーバ
イド社製)、D.E.R−331(ダウ・ケミカル社
製)、YD−8125(東都化成社製)等のビスフェノ
ールA型エポキシ樹脂、UVR−6490(ユニオンカ
ーバイド社製)、YDF−8170(東都化成社製)等
のビスフェノールF型エポキシ樹脂等があげられる。
例えばエピコート828、エピコート1001(油化シ
ェルエポキシ製)、UVR−6410(ユニオンカーバ
イド社製)、D.E.R−331(ダウ・ケミカル社
製)、YD−8125(東都化成社製)等のビスフェノ
ールA型エポキシ樹脂、UVR−6490(ユニオンカ
ーバイド社製)、YDF−8170(東都化成社製)等
のビスフェノールF型エポキシ樹脂等があげられる。
【0035】ビフェノール型エポキシ樹脂としては、例
えばYX−4000(油化シェルエポキシ(株)製)の
ビキシレノール型エポキシ樹脂やYL−6121(油化
シェルエポキシ(株)製)等があげられる。ビスフェノ
ールAノボラック型エポキシ樹脂としては、例えばエピ
クロンN−880(大日本インキ化学工業(株)製)、
エピコートE157S75(油化シェルエポキシ(株)
製)等があげられる。
えばYX−4000(油化シェルエポキシ(株)製)の
ビキシレノール型エポキシ樹脂やYL−6121(油化
シェルエポキシ(株)製)等があげられる。ビスフェノ
ールAノボラック型エポキシ樹脂としては、例えばエピ
クロンN−880(大日本インキ化学工業(株)製)、
エピコートE157S75(油化シェルエポキシ(株)
製)等があげられる。
【0036】ナフタレン骨格含有エポキシ樹脂として
は、例えばNC−7000(日本化薬社製)、EXA−
4750(大日本インキ化学工業(株)製)等があげら
れる。脂環式エポキシ樹脂としては、例えばEHPE−
3150(ダイセル化学工業(株)製)等があげられ
る。複素環式エポキシ樹脂としては、例えばTEPI
C,TEPIC−L,TEPIC−H、TEPIC−S
(いずれも日産化学工業(株)製)等が挙げられる。
は、例えばNC−7000(日本化薬社製)、EXA−
4750(大日本インキ化学工業(株)製)等があげら
れる。脂環式エポキシ樹脂としては、例えばEHPE−
3150(ダイセル化学工業(株)製)等があげられ
る。複素環式エポキシ樹脂としては、例えばTEPI
C,TEPIC−L,TEPIC−H、TEPIC−S
(いずれも日産化学工業(株)製)等が挙げられる。
【0037】本発明の感光性樹脂組成物には、更に、塗
布適性、耐熱性、密着性、硬度等の特性を向上する目的
で、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、酸化ケイ素粉、
微粉状酸化ケイ素、無定形シリカ、タルク、クレー、炭
酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、
水酸化アルミニウム、雲母粉、テフロン(登録商標)
粉、ポリアルキレンビーズ等の充填剤が使用できる。そ
の使用量は、本発明の組成物の固形分を100重量部と
したとき、60重量部以下が好ましく、特に好ましくは
5〜40重量部である。
布適性、耐熱性、密着性、硬度等の特性を向上する目的
で、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、酸化ケイ素粉、
微粉状酸化ケイ素、無定形シリカ、タルク、クレー、炭
酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、
水酸化アルミニウム、雲母粉、テフロン(登録商標)
粉、ポリアルキレンビーズ等の充填剤が使用できる。そ
の使用量は、本発明の組成物の固形分を100重量部と
したとき、60重量部以下が好ましく、特に好ましくは
5〜40重量部である。
【0038】更に、必要に応じて、フタロシアニン・ブ
ルー、フタロシアニン・グリーン、アイオジン・グリー
ン、ジスアゾイエロー、クリスタルバイオレット、酸化
チタン、カーボンブラック、ナフタレンブラックなどの
着色剤、アスベスト、オルベン、ベントン、モンモリロ
ナイト等の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系
等の消泡剤および/または、レベリング剤のような添加
剤類を適量加えることができる。
ルー、フタロシアニン・グリーン、アイオジン・グリー
ン、ジスアゾイエロー、クリスタルバイオレット、酸化
チタン、カーボンブラック、ナフタレンブラックなどの
着色剤、アスベスト、オルベン、ベントン、モンモリロ
ナイト等の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系
等の消泡剤および/または、レベリング剤のような添加
剤類を適量加えることができる。
【0039】本発明の感光性樹脂組成物は、(A)、
(B)、(C)、(D)及び(E)成分、また必要に応
じて前述した充填剤もしくは添加剤等を、好ましくは前
記の割合で配合し、ロールミル等で均一に混合、溶解、
分散等することにより得ることができる。また、主に粘
度調整のため、所望により溶剤を併用しても良い。この
溶剤は配合成分製造時の溶剤でも良い。溶剤としては、
例えばアセトン、エチルメチルケトン、シクロヘキサノ
ンなどのケトン類、ベンゼン、トルエン、キシレン、テ
トラメチルベンゼンなどの芳香族炭化水素類、エチレン
グリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエ
チルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテ
ル、ジプロピレングリコールジエチルエーテルなどのグ
リコールエーテル類、酢酸エチル、酢酸ブチル、メチル
セロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、
ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテー
ト、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテー
ト、グルタル酸ジアルキル、コハク酸ジアルキル、アジ
ピン酸ジアルキルなどのエステル類、石油エーテル、石
油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサなどの石
油系溶剤、γ−ブチロラクトン等の有機溶剤類が挙げら
れる。
(B)、(C)、(D)及び(E)成分、また必要に応
じて前述した充填剤もしくは添加剤等を、好ましくは前
記の割合で配合し、ロールミル等で均一に混合、溶解、
分散等することにより得ることができる。また、主に粘
度調整のため、所望により溶剤を併用しても良い。この
溶剤は配合成分製造時の溶剤でも良い。溶剤としては、
例えばアセトン、エチルメチルケトン、シクロヘキサノ
ンなどのケトン類、ベンゼン、トルエン、キシレン、テ
トラメチルベンゼンなどの芳香族炭化水素類、エチレン
グリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエ
チルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテ
ル、ジプロピレングリコールジエチルエーテルなどのグ
リコールエーテル類、酢酸エチル、酢酸ブチル、メチル
セロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、
ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテー
ト、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテー
ト、グルタル酸ジアルキル、コハク酸ジアルキル、アジ
ピン酸ジアルキルなどのエステル類、石油エーテル、石
油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサなどの石
油系溶剤、γ−ブチロラクトン等の有機溶剤類が挙げら
れる。
【0040】本発明の感光性樹脂組成物は、プリント基
板用の液状レジストインキとして有用である他、ポリエ
チレンテレフタレートのような支持フィルム上に上記の
塗布方法を用いて本発明の組成物を塗布、乾燥させ塗膜
を得、ポリエチレンフィルムのような保護フィルムを施
したドライフィルムレジスト、塗料、コーティング剤、
接着剤等としても使用できる。
板用の液状レジストインキとして有用である他、ポリエ
チレンテレフタレートのような支持フィルム上に上記の
塗布方法を用いて本発明の組成物を塗布、乾燥させ塗膜
を得、ポリエチレンフィルムのような保護フィルムを施
したドライフィルムレジスト、塗料、コーティング剤、
接着剤等としても使用できる。
【0041】本発明の硬化物は、可視光線、紫外線、X
線、電子線等のエネルギー線照射により上記の本発明の
樹脂組成物を硬化させたものである。可視光線、紫外
線、X線、電子線等のエネルギー線照射による硬化は常
法により行うことができる。例えば紫外線を照射する場
合、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノン
灯、紫外線発光レーザー(例えばエキシマーレーザー)
等の紫外線発生機を用いればよい。本発明の樹脂組成物
の硬化物は、柔軟性を有しており、例えば永久レジスト
としてスルホールを有するプリント基板のような電気・
電子部品に利用される。
線、電子線等のエネルギー線照射により上記の本発明の
樹脂組成物を硬化させたものである。可視光線、紫外
線、X線、電子線等のエネルギー線照射による硬化は常
法により行うことができる。例えば紫外線を照射する場
合、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノン
灯、紫外線発光レーザー(例えばエキシマーレーザー)
等の紫外線発生機を用いればよい。本発明の樹脂組成物
の硬化物は、柔軟性を有しており、例えば永久レジスト
としてスルホールを有するプリント基板のような電気・
電子部品に利用される。
【0042】本発明のプリント基板は、上記の樹脂組成
物の硬化物層を有する。この硬化物層の膜厚は5〜16
0μm程度で、10〜100μm程度が好ましい。プリ
ント基板は、例えば次のようにして得ることができる。
液状の樹脂組成物を使用する場合、プリント配線用基板
に、直接スクリーン印刷法、スプレー法、ロールコート
法、静電塗装法、カーテンコート法等の方法により通常
5〜160μmの膜厚で本発明の組成物を塗布し、通常
60〜110℃で乾燥させ、塗膜を得る。その後、ネガ
フィルムを通して可視光線、紫外線、X線、電子線等の
エネルギー線を照射し、必要に応じて露光後ベークを行
った後、未露光部分を後述する希アルカリ水溶液を用い
て、例えばスプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラ
ッビング等により除去後、必要に応じてエネルギー線を
照射し、次いで通常100〜200℃で加熱処理をする
ことにより諸特性を満足する永久保護膜を有するプリン
ト基板が得られる。
物の硬化物層を有する。この硬化物層の膜厚は5〜16
0μm程度で、10〜100μm程度が好ましい。プリ
ント基板は、例えば次のようにして得ることができる。
液状の樹脂組成物を使用する場合、プリント配線用基板
に、直接スクリーン印刷法、スプレー法、ロールコート
法、静電塗装法、カーテンコート法等の方法により通常
5〜160μmの膜厚で本発明の組成物を塗布し、通常
60〜110℃で乾燥させ、塗膜を得る。その後、ネガ
フィルムを通して可視光線、紫外線、X線、電子線等の
エネルギー線を照射し、必要に応じて露光後ベークを行
った後、未露光部分を後述する希アルカリ水溶液を用い
て、例えばスプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラ
ッビング等により除去後、必要に応じてエネルギー線を
照射し、次いで通常100〜200℃で加熱処理をする
ことにより諸特性を満足する永久保護膜を有するプリン
ト基板が得られる。
【0043】現像液としては、例えば、水酸化ナトリウ
ム、水酸化カリウム,炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、
炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム,メタケイ酸ナ
トリウム,メタケイ酸カリウムのような無機塩の水溶液
や、トリメチルアミン、トリエチルアミン、モノメタノ
ールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミ
ンのような有機アミン水溶液,テトラメチルアンモニウ
ムハイドロオキサイド、テトラエチルアンモニウムハイ
ドロオキサイドのようなアンモニウムハイドロオキサイ
ド等が挙げられる。これらは、単独で又は2種以上組み
合わせて用いることができる。また、その温度は、通常
15〜45℃の間で任意に調節することができる。この
現像液中に界面活性剤、消泡剤などを少量混入させても
よい。
ム、水酸化カリウム,炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、
炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム,メタケイ酸ナ
トリウム,メタケイ酸カリウムのような無機塩の水溶液
や、トリメチルアミン、トリエチルアミン、モノメタノ
ールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミ
ンのような有機アミン水溶液,テトラメチルアンモニウ
ムハイドロオキサイド、テトラエチルアンモニウムハイ
ドロオキサイドのようなアンモニウムハイドロオキサイ
ド等が挙げられる。これらは、単独で又は2種以上組み
合わせて用いることができる。また、その温度は、通常
15〜45℃の間で任意に調節することができる。この
現像液中に界面活性剤、消泡剤などを少量混入させても
よい。
【0044】
【実施例】以下、本発明の実施例により更に具体的に説
明するが、これらに限定されるものではない。 合成例1(イミド骨格ポリカルボン酸樹脂(A)の合
成) 1LフラスコにN−メチルピロリドン208.5g、ト
リメリット酸無水物76.9g(0.40モル)を仕込
み攪拌を開始した。次いで、分子中に2個の1級アミノ
基を有する化合物(d)としてカヤボンド C−300
S(日本化薬製アミノ化合物:4,4’−ジアミノ−
3,3’,5,5’−テトラエチルジフェニルメタン)
62.1g(0.20モル)を徐々に添加した。添加終
了後室温にて12時間そのまま攪拌を続けた。次にこの
反応液に、無水酢酸42.9g(0.42モル)、ピリ
ジン33.2g(0.42モル)を冷却しながら加えた
後、室温にて24時間反応を続けた。反応終了後この反
応液を、10%塩酸182.5g(HClとして 0.
5モル)を溶かした水3000mlにあけ、析出物を濾
取した。乾燥後重クロロホルムによる1H−NMR分析
したところ、1.15ppm(12H)、2.45pp
m(8H)、4.05ppm(2H)、7.10ppm
(4H)、8.10ppm(2H)、8.60ppm
(2H)、8.70ppm(2H)であった。また、酸
価から計算したカルボキシ当量は、347.1g/当量
であった。
明するが、これらに限定されるものではない。 合成例1(イミド骨格ポリカルボン酸樹脂(A)の合
成) 1LフラスコにN−メチルピロリドン208.5g、ト
リメリット酸無水物76.9g(0.40モル)を仕込
み攪拌を開始した。次いで、分子中に2個の1級アミノ
基を有する化合物(d)としてカヤボンド C−300
S(日本化薬製アミノ化合物:4,4’−ジアミノ−
3,3’,5,5’−テトラエチルジフェニルメタン)
62.1g(0.20モル)を徐々に添加した。添加終
了後室温にて12時間そのまま攪拌を続けた。次にこの
反応液に、無水酢酸42.9g(0.42モル)、ピリ
ジン33.2g(0.42モル)を冷却しながら加えた
後、室温にて24時間反応を続けた。反応終了後この反
応液を、10%塩酸182.5g(HClとして 0.
5モル)を溶かした水3000mlにあけ、析出物を濾
取した。乾燥後重クロロホルムによる1H−NMR分析
したところ、1.15ppm(12H)、2.45pp
m(8H)、4.05ppm(2H)、7.10ppm
(4H)、8.10ppm(2H)、8.60ppm
(2H)、8.70ppm(2H)であった。また、酸
価から計算したカルボキシ当量は、347.1g/当量
であった。
【0045】200mlフラスコに上記の反応によって
得られたカルボキシ基を有するイミド化合物31.2
g、分子中に2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物
(b)としてZX−1059(東都化成製エポキシ化合
物:ビスフェノール型エポキシ、エポキシ当量165.
3g/当量)18.2g、溶媒としてγ−ブチロラクト
ン26.6g、及び反応触媒としてトリフェニルフォス
フィン0.23を加え、98℃の温度で24時間反応さ
せた。次いで、この反応溶液に二塩基酸無水物(c)と
してリカシッドTH(新日本理化製二塩基酸無水物:テ
トラヒドロ無水フタル酸)を13.6g及びγ−ブチロ
ラクトン7.3g加え98℃の温度で6時間反応させ本
発明のポリカルボン酸樹脂溶液(濃度65%)を得た。
この樹脂溶液をA−1とする。樹脂溶液の酸価を測定し
たところ37mg・KOH/g(固形分酸価:57mg
・KOH/g)であった。
得られたカルボキシ基を有するイミド化合物31.2
g、分子中に2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物
(b)としてZX−1059(東都化成製エポキシ化合
物:ビスフェノール型エポキシ、エポキシ当量165.
3g/当量)18.2g、溶媒としてγ−ブチロラクト
ン26.6g、及び反応触媒としてトリフェニルフォス
フィン0.23を加え、98℃の温度で24時間反応さ
せた。次いで、この反応溶液に二塩基酸無水物(c)と
してリカシッドTH(新日本理化製二塩基酸無水物:テ
トラヒドロ無水フタル酸)を13.6g及びγ−ブチロ
ラクトン7.3g加え98℃の温度で6時間反応させ本
発明のポリカルボン酸樹脂溶液(濃度65%)を得た。
この樹脂溶液をA−1とする。樹脂溶液の酸価を測定し
たところ37mg・KOH/g(固形分酸価:57mg
・KOH/g)であった。
【0046】合成例2 分子中に2個の1級アミノ基を有する化合物(d)とし
て、4,4’−ジアミノジフェニルエーテルを用いた以
外は実施例1と同様の操作をしてポリカルボン酸樹脂溶
液(濃度65%)を得た。この樹脂溶液をA−2とす
る。樹脂溶液の酸価を測定したところ43mg・KOH
/g(固形分酸価:66mg・KOH/g)であった。
て、4,4’−ジアミノジフェニルエーテルを用いた以
外は実施例1と同様の操作をしてポリカルボン酸樹脂溶
液(濃度65%)を得た。この樹脂溶液をA−2とす
る。樹脂溶液の酸価を測定したところ43mg・KOH
/g(固形分酸価:66mg・KOH/g)であった。
【0047】合成例3 分子中に2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物
(b)としてレゾルシンジグリシジルエーテルを用いた
以外は実施例1と同様の操作をしてポリカルボン酸樹脂
溶液(濃度65%)を得た。この樹脂溶液をA−3とす
る。樹脂溶液の酸価を測定したところ57mg・KOH
/g(固形分酸価:88mg・KOH/g)であった。
(b)としてレゾルシンジグリシジルエーテルを用いた
以外は実施例1と同様の操作をしてポリカルボン酸樹脂
溶液(濃度65%)を得た。この樹脂溶液をA−3とす
る。樹脂溶液の酸価を測定したところ57mg・KOH
/g(固形分酸価:88mg・KOH/g)であった。
【0048】実施例1〜3(感光性樹脂組成物) 表1示す配合組成(数値は重量部である)に従って各成
分を配合し、3本ロールミルで混練し、本発明の感光性
樹脂組成物を調製した。これをスクリーン印刷法によ
り、100メッシュのスクリーンを用いて20μmの厚
さになるようにパターン形成されている銅張ガラスエポ
キシ基板(厚さ約0.8mm)に全面塗布し、塗膜を8
0℃の熱風乾燥器で30分乾燥させた。次いで、レジス
トパターンを有するネガフイルムを塗膜に密着させ紫外
線露光装置((株)オーク製作所、型式HMW−680
GW)を用いて、紫外線を照射した(露光量500mJ
/cm2)。次に1%の炭酸ナトリウム水溶液で90秒
間、2.0kg/cm2 のスプレー圧で現像し、未露光
部分を溶解除去した。得られたものについて、後述のと
おり現像性、解像性、光感度、表面光沢の評価を行っ
た。その後、150℃の熱風乾燥器で60分加熱硬化を
行ない、得られた硬化膜を有する試験片について、後述
のとおり基板そり、密着性、鉛筆硬度、耐溶剤性、耐酸
性、耐熱性、耐金メッキ性、耐PCT性、耐熱衝撃性の
試験を行なった。それらの結果を表2に示す。なお、試
験方法及び評価方法は次のとおりである。
分を配合し、3本ロールミルで混練し、本発明の感光性
樹脂組成物を調製した。これをスクリーン印刷法によ
り、100メッシュのスクリーンを用いて20μmの厚
さになるようにパターン形成されている銅張ガラスエポ
キシ基板(厚さ約0.8mm)に全面塗布し、塗膜を8
0℃の熱風乾燥器で30分乾燥させた。次いで、レジス
トパターンを有するネガフイルムを塗膜に密着させ紫外
線露光装置((株)オーク製作所、型式HMW−680
GW)を用いて、紫外線を照射した(露光量500mJ
/cm2)。次に1%の炭酸ナトリウム水溶液で90秒
間、2.0kg/cm2 のスプレー圧で現像し、未露光
部分を溶解除去した。得られたものについて、後述のと
おり現像性、解像性、光感度、表面光沢の評価を行っ
た。その後、150℃の熱風乾燥器で60分加熱硬化を
行ない、得られた硬化膜を有する試験片について、後述
のとおり基板そり、密着性、鉛筆硬度、耐溶剤性、耐酸
性、耐熱性、耐金メッキ性、耐PCT性、耐熱衝撃性の
試験を行なった。それらの結果を表2に示す。なお、試
験方法及び評価方法は次のとおりである。
【0049】(現像性)下記の評価基準を使用した。 ○・・・・現像時、完全にインキが除去され、現像でき
た。 ×・・・・現像時、現像されない部分がある。
た。 ×・・・・現像時、現像されない部分がある。
【0050】(解像性)乾燥後の塗膜に、50μmのネ
ガパターンを密着させ積算光量200mJ/cm2の紫
外線を照射露光する。次に1%の炭酸ナトリウム水溶液
で60秒間、2.0kg/cm2のスプレー圧で現像
し、転写パターンを顕微鏡にて観察する。下記の基準を
使用した。 ○・・・・パターンエッジが直線で、解像されている。 ×・・・・剥離もしくはパターンエッジがぎざぎざであ
る。
ガパターンを密着させ積算光量200mJ/cm2の紫
外線を照射露光する。次に1%の炭酸ナトリウム水溶液
で60秒間、2.0kg/cm2のスプレー圧で現像
し、転写パターンを顕微鏡にて観察する。下記の基準を
使用した。 ○・・・・パターンエッジが直線で、解像されている。 ×・・・・剥離もしくはパターンエッジがぎざぎざであ
る。
【0051】(光感度)乾燥後の塗膜に、ステップタブ
レット21段(コダック社製)を密着させ積算光量50
0mJ/cm2 の紫外線を照射露光する。次に1%の炭
酸ナトリウム水溶液で60秒間、2.0kg/cm2 の
スプレー圧で現像し、現像されずに残った塗膜の段数を
確認する。
レット21段(コダック社製)を密着させ積算光量50
0mJ/cm2 の紫外線を照射露光する。次に1%の炭
酸ナトリウム水溶液で60秒間、2.0kg/cm2 の
スプレー圧で現像し、現像されずに残った塗膜の段数を
確認する。
【0052】(表面光沢)乾燥後の塗膜に、500mJ
/cm2 の紫外線を照射露光する。次に1%の炭酸ナト
リウム水溶液で60秒間、2.0kg/cm2のスプレ
ー圧で現像し、乾燥後の硬化膜を観察する。下記の基準
を使用した。 ○・・・・曇りが全く見られない ×・・・・若干の曇りが見られる
/cm2 の紫外線を照射露光する。次に1%の炭酸ナト
リウム水溶液で60秒間、2.0kg/cm2のスプレ
ー圧で現像し、乾燥後の硬化膜を観察する。下記の基準
を使用した。 ○・・・・曇りが全く見られない ×・・・・若干の曇りが見られる
【0053】(基板そり)下記の基準を使用した。 ○・・・・基板にそりは見られない ×・・・・基板のそりが見られる
【0054】(密着性)JIS K5400に準じて、
試験片に1mmのごばん目を100個作りセロテープ
(登録商標)によりピーリング試験を行った。ごばん目
の剥離状態を観察し、次の基準で評価した。 〇・・・・剥れのないもの ×・・・・剥離するもの
試験片に1mmのごばん目を100個作りセロテープ
(登録商標)によりピーリング試験を行った。ごばん目
の剥離状態を観察し、次の基準で評価した。 〇・・・・剥れのないもの ×・・・・剥離するもの
【0055】(鉛筆硬度)JIS K5400に準じて
評価を行った。
評価を行った。
【0056】(耐溶剤性)試験片をイソプロピルアルコ
ールに室温で30分間浸漬する。外観に異常がないか確
認した後、セロテープによるピーリング試験を行い、次
の基準で評価した。 ○・・・・塗膜外観に異常がなく、フクレや剥離のない
もの ×・・・・塗膜にフクレや剥離のあるもの
ールに室温で30分間浸漬する。外観に異常がないか確
認した後、セロテープによるピーリング試験を行い、次
の基準で評価した。 ○・・・・塗膜外観に異常がなく、フクレや剥離のない
もの ×・・・・塗膜にフクレや剥離のあるもの
【0057】(耐酸性)試験片を10%塩酸水溶液に室
温で30分浸漬する。外観に異常がないか確認した後、
セロテープによるピーリング試験を行い、次の基準で評
価した。 ○・・・・塗膜外観に異常がなく、フクレや剥離のない
もの ×・・・・塗膜にフクレや剥離があるもの
温で30分浸漬する。外観に異常がないか確認した後、
セロテープによるピーリング試験を行い、次の基準で評
価した。 ○・・・・塗膜外観に異常がなく、フクレや剥離のない
もの ×・・・・塗膜にフクレや剥離があるもの
【0058】(耐熱性)試験片にロジン系プラックスを
塗布し260℃の半田槽に5秒間浸漬した。これを1サ
イクルとし、3サイクル繰り返した。室温まで放冷した
後、セロテープによるピーリング試験を行い、次の基準
で評価した。 〇・・・・塗膜外観に異常がなく、フクレや剥離のない
もの ×・・・・塗膜にフクレや剥離のあるもの
塗布し260℃の半田槽に5秒間浸漬した。これを1サ
イクルとし、3サイクル繰り返した。室温まで放冷した
後、セロテープによるピーリング試験を行い、次の基準
で評価した。 〇・・・・塗膜外観に異常がなく、フクレや剥離のない
もの ×・・・・塗膜にフクレや剥離のあるもの
【0059】(耐金メッキ性)試験基板を、30℃の酸
性脱脂液(日本マクダーミット製、Metex L−5
Bの20vol%水溶液)に3分間浸漬した後、水洗
し、次いで、14.4wt%過硫酸アンモン水溶液に室
温で3分間浸漬した後、水洗し、更に10vol%硫酸
水溶液に室温で試験基板を1分間浸漬した後水洗した。
次に、この基板を30℃の触媒液(メルテックス製、メ
タルプレートアクチベーター350の10vol%水溶
液)に7分間浸漬し、水洗し、85℃のニッケルメッキ
液(メルテックス製、メルプレートNi−865Mの2
0vol%水溶液、pH4.6)に20分間浸漬し、ニ
ッケルメッキを行った後、10vol%硫酸水溶液に室
温で1分間浸漬し、水洗した。次いで、試験基板を95
℃の金メッキ液(メルテックス製、オウロレクトロレス
UP15vol%とシアン化金カリウム3vol%の水
溶液、pH6)に10分間浸漬し、無電解金メッキを行
った後、水洗し、更に60℃の温水で3分間浸漬し、水
洗し、乾燥した。得られた無電解金メッキ評価基板にセ
ロハン粘着テープを付着し、剥離したときの状態を観察
した。 ○:全く異常が無いもの。 ×:若干剥がれが観られたもの。
性脱脂液(日本マクダーミット製、Metex L−5
Bの20vol%水溶液)に3分間浸漬した後、水洗
し、次いで、14.4wt%過硫酸アンモン水溶液に室
温で3分間浸漬した後、水洗し、更に10vol%硫酸
水溶液に室温で試験基板を1分間浸漬した後水洗した。
次に、この基板を30℃の触媒液(メルテックス製、メ
タルプレートアクチベーター350の10vol%水溶
液)に7分間浸漬し、水洗し、85℃のニッケルメッキ
液(メルテックス製、メルプレートNi−865Mの2
0vol%水溶液、pH4.6)に20分間浸漬し、ニ
ッケルメッキを行った後、10vol%硫酸水溶液に室
温で1分間浸漬し、水洗した。次いで、試験基板を95
℃の金メッキ液(メルテックス製、オウロレクトロレス
UP15vol%とシアン化金カリウム3vol%の水
溶液、pH6)に10分間浸漬し、無電解金メッキを行
った後、水洗し、更に60℃の温水で3分間浸漬し、水
洗し、乾燥した。得られた無電解金メッキ評価基板にセ
ロハン粘着テープを付着し、剥離したときの状態を観察
した。 ○:全く異常が無いもの。 ×:若干剥がれが観られたもの。
【0060】(耐PCT性)試験基板を121℃、2気
圧の水中で96時間放置後、外観に異常がないか確認し
た後、セロテープによるピーリング試験を行い、次の基
準で評価した。 ○・・・・塗膜外観に異常がなく、フクレや剥離のない
もの ×・・・・塗膜にフクレや剥離があるもの
圧の水中で96時間放置後、外観に異常がないか確認し
た後、セロテープによるピーリング試験を行い、次の基
準で評価した。 ○・・・・塗膜外観に異常がなく、フクレや剥離のない
もの ×・・・・塗膜にフクレや剥離があるもの
【0061】(耐熱衝撃性)試験片を、−55℃/30
分、125℃/30分を1サイクルとして熱履歴を加
え、1000サイクル経過後、試験片を顕微鏡観察し、
次の基準で評価した。 ○・・・・塗膜にクラックの発生のないもの ×・・・・塗膜にクラックが発生したもの
分、125℃/30分を1サイクルとして熱履歴を加
え、1000サイクル経過後、試験片を顕微鏡観察し、
次の基準で評価した。 ○・・・・塗膜にクラックの発生のないもの ×・・・・塗膜にクラックが発生したもの
【0062】 表1 実施例 注 1 2 3 イミド骨格ポリカルボン酸樹脂(A) 樹脂溶液(A−1) 25.3 樹脂溶液(A−2) 15.1 樹脂溶液(A−3) 3 5.2 不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂(B) カヤラッド ZFR−1122 *1 25.0 35.2 1 5.1 架橋剤(C) カヤラッドDPCA60 *2 8.2 8.2 8.2 光重合開始剤(D) イルガキュア−907 *3 6.7 7.0 5.0 カヤキュアーDETX−S *4 0.7 0.7 0.5 硬化成分(E) YX−4000 *5 9.8 1 2.3 NC−3000P *6 9.8 熱硬化促進剤 メラミン 1.1 1.1 1.1 フィラー成分 球状シリカ 13.7 13.7 1 3.7 着色剤 ピグメントグリーン 0.5 0.5 0.5 レベリング剤 BYK−354 *7 0.8 0.8 0.8 消泡剤 BYK−057 *8 0.8 0.8 0.8 溶剤 カルビトールアセテート 2.7 2.7 2.7 ソルベントナフサ 4.7 4.7 4.7
【0063】 注 *1 日本化薬製 ビスフェノール−F型ポリエポキシ樹脂とアクリル酸の反応物にテトラヒ ドロ無水 フタル酸を付加して得た樹脂。濃度65%。固形分酸価:100 mg・KOH/g。 *2 日本化薬製 γ−ブチロラクトン変性ジペンタエリスリトールポリアクリレート樹脂 *3 チバスペシャリティーケミカルズ製 2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルホリノ−プ ロパン− 1−オン *4 日本化薬製 2,4−ジエチルチオキサントン *5 油化シェルエポキシ性 ビフェノール型エポキシ樹脂 *6 日本化薬製 ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂 *7 ビックケミー製:レベリング剤 *8 ビックケミー製:消泡剤
【0064】 表2 実施例 1 2 3 評価項目 現像性 ○ ○ ○ 解像性 ○ ○ ○ 光感度 8 8 9 表面光沢 ○ ○ ○ 基板そり ○ ○ ○ 密着性 ○ ○ ○ 鉛筆硬度 5H 4H 6H 耐溶剤性 ○ ○ ○ 耐酸性 ○ ○ ○ 耐熱性 ○ ○ ○ 耐金メッキ性 ○ ○ ○ 耐PCT性 ○ ○ ○ 耐熱衝撃性 ○ ○ ○
【0065】これらの評価から明らかなように、本発明
の感光性樹脂組成物及びその硬化物は、現像性、感光
性、表面硬化性に優れ、その硬化物は、耐溶剤性、耐酸
性、耐熱性等に優れている。
の感光性樹脂組成物及びその硬化物は、現像性、感光
性、表面硬化性に優れ、その硬化物は、耐溶剤性、耐酸
性、耐熱性等に優れている。
【0066】
【発明の効果】本発明のポリカルボン酸樹脂及びそれを
用いた感光性樹脂組成物は、パターンを形成したフィル
ムを通して可視光線、紫外線、X線、電子線等のエネル
ギー線を照射後未露光部分を現像する際のアルカリ水溶
液現像性、感光性、表面硬化性が良好で、得られた硬化
物は、耐屈曲性、耐折性、密着性、耐溶剤性、耐酸性、
耐熱性等も十分に満足するものであり、特に、プリント
配線板用液状ソルダーレジストインキ組成物に適してい
る。
用いた感光性樹脂組成物は、パターンを形成したフィル
ムを通して可視光線、紫外線、X線、電子線等のエネル
ギー線を照射後未露光部分を現像する際のアルカリ水溶
液現像性、感光性、表面硬化性が良好で、得られた硬化
物は、耐屈曲性、耐折性、密着性、耐溶剤性、耐酸性、
耐熱性等も十分に満足するものであり、特に、プリント
配線板用液状ソルダーレジストインキ組成物に適してい
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C08G 59/42 C08G 59/42 G03F 7/004 501 G03F 7/004 501 7/028 7/028 7/037 7/037 Fターム(参考) 2H025 AA00 AA01 AA04 AA06 AA07 AA10 AB15 AB16 AC01 AC05 AC06 AD01 BC32 BC42 BC43 BC74 BC85 CA01 CA14 CA20 CA28 CB25 CB43 CC20 FA03 FA17 FA29 4J011 PA86 PA97 PC02 PC08 QA03 QA12 QA13 QA22 QA23 QA24 QB19 QB20 QB22 RA10 SA12 SA15 SA16 SA22 SA25 SA27 SA32 SA34 SA54 SA61 SA63 SA64 SA78 SA84 UA01 UA02 UA03 UA04 UA06 VA01 WA01 4J027 AE01 AE02 AE03 AE04 BA07 BA08 BA19 BA23 BA24 BA25 BA26 BA27 BA28 CA10 CC04 CC05 CC06 CC07 CC08 CD06 CD08 CD10 4J036 AA01 AD07 AD08 AF06 AF07 AF19 AJ08 AJ14 DB17 DB20 HA01 HA02 HA03 JA07 JA09
Claims (6)
- 【請求項1】分子中に2個のカルボキシ基を有するイミ
ド化合物(a)と分子中に2個のエポキシ基を有するエ
ポキシ化合物(b)との反応生成物と二塩基酸無水物
(c)との付加生成物であるイミド骨格ポリカルボン酸
樹脂(A)、不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂(B)、
架橋剤(C)、光重合開始剤(D)及び硬化成分(E)
を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。 - 【請求項2】分子中に2個のカルボキシ基を有するイミ
ド化合物(a)が、トリメリット酸無水物と分子中に2
個の1級アミノ基を有する化合物(d)から得られたも
のである請求項1に記載の感光性樹脂組成物。 - 【請求項3】分子中に2個の1級アミノ基を有する化合
物(d)が下記式(1)で表される化合物である請求項
1または請求項2に記載の感光性樹脂組成物。 【化1】 (式中、R1,R2,R3,R4はそれぞれ、水素原子、ハ
ロゲン原子、C1〜C4のアルキル基、C1〜C4のアルコ
キシ基を表し、Xは、CH2、C(CF3)2、C(C
H3)2、ケトン、酸素原子、硫黄原子、SO2を表
す。) - 【請求項4】二塩基酸無水物(c)が、無水コハク酸、
無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒド
ロ無水フタル酸、無水マレイン酸または、下記式(2) 【化2】 の中から選択してなる1種または2種以上の二塩基酸無
水物である請求項1乃至請求項3のいずれか一項記載の
感光性樹脂組成物。 - 【請求項5】請求項4に記載の感光性樹脂組成物の硬化
物。 - 【請求項6】請求項5に記載の硬化物の層を有するプリ
ント基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000185536A JP2002006486A (ja) | 2000-06-21 | 2000-06-21 | 感光性樹脂組成物並びにその硬化物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000185536A JP2002006486A (ja) | 2000-06-21 | 2000-06-21 | 感光性樹脂組成物並びにその硬化物 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002006486A true JP2002006486A (ja) | 2002-01-09 |
Family
ID=18685847
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000185536A Pending JP2002006486A (ja) | 2000-06-21 | 2000-06-21 | 感光性樹脂組成物並びにその硬化物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002006486A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018061525A1 (ja) * | 2016-09-30 | 2018-04-05 | 東レ株式会社 | ネガ型感光性樹脂組成物、硬化膜、硬化膜を具備する素子及び表示装置、並びにその製造方法 |
CN110673441A (zh) * | 2019-11-11 | 2020-01-10 | 新东方油墨有限公司 | 一种感光阻焊树脂及其制备方法 |
-
2000
- 2000-06-21 JP JP2000185536A patent/JP2002006486A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018061525A1 (ja) * | 2016-09-30 | 2018-04-05 | 東レ株式会社 | ネガ型感光性樹脂組成物、硬化膜、硬化膜を具備する素子及び表示装置、並びにその製造方法 |
KR20190058445A (ko) * | 2016-09-30 | 2019-05-29 | 도레이 카부시키가이샤 | 네가티브형 감광성 수지 조성물, 경화막, 경화막을 구비하는 소자 및 표시 장치, 및 그 제조 방법 |
JPWO2018061525A1 (ja) * | 2016-09-30 | 2019-07-11 | 東レ株式会社 | ネガ型感光性樹脂組成物、硬化膜、硬化膜を具備する素子及び表示装置、並びにその製造方法 |
JP7010208B2 (ja) | 2016-09-30 | 2022-01-26 | 東レ株式会社 | ネガ型感光性樹脂組成物、硬化膜、硬化膜を具備する素子及び表示装置、並びにその製造方法 |
KR102492113B1 (ko) * | 2016-09-30 | 2023-01-25 | 도레이 카부시키가이샤 | 네가티브형 감광성 수지 조성물, 경화막, 경화막을 구비하는 소자 및 표시 장치, 및 그 제조 방법 |
US11822243B2 (en) | 2016-09-30 | 2023-11-21 | Toray Industries, Inc. | Negative-type photosensitive resin composition, cured film, element and display device provided with cured film, and production method therefor |
CN110673441A (zh) * | 2019-11-11 | 2020-01-10 | 新东方油墨有限公司 | 一种感光阻焊树脂及其制备方法 |
CN110673441B (zh) * | 2019-11-11 | 2023-05-26 | 新东方油墨有限公司 | 一种感光阻焊树脂及其制备方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2877659B2 (ja) | レジストインキ組成物及びその硬化物 | |
KR100634341B1 (ko) | 윤기를 없앤 피막 형성용 광경화성·열경화성 조성물 | |
JP4584839B2 (ja) | 感光性樹脂組成物及びその硬化物 | |
JPH05339356A (ja) | 光重合性不飽和化合物及びアルカリ現像型感光性樹脂組成物 | |
JPWO2002024774A1 (ja) | カルボキシル基含有感光性樹脂、それを含有するアルカリ現像可能な光硬化性・熱硬化性組成物及びその硬化物 | |
JP2000355621A (ja) | 感光性樹脂組成物及びその硬化物 | |
JP4933093B2 (ja) | アルカリ現像可能な硬化性組成物及びその硬化物 | |
JPH09185166A (ja) | 感光性プレポリマー及びそれを用いた光硬化性・熱硬化性ソルダーレジストインキ組成物 | |
JP4400926B2 (ja) | 感光性樹脂組成物並びにその硬化物 | |
JP2001048955A (ja) | 難燃型エネルギー線感光性樹脂及びそれを用いた感光性樹脂組成物並びにその硬化物 | |
JP4242010B2 (ja) | 感光性樹脂組成物及びその硬化物 | |
JP2006040935A (ja) | 光硬化性・熱硬化性の艶消しソルダーレジストインキ組成物及びそれを用いたプリント配線板 | |
JP2003021898A (ja) | 感光性樹脂組成物並びにその硬化物 | |
JP4738259B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、並びにその硬化物 | |
JP2004085803A (ja) | アルカリ現像型感光性樹脂組成物 | |
JP2001354885A (ja) | プリント配線板用青色インキ組成物 | |
JP3922415B2 (ja) | エネルギー線感応性樹脂及びその組成物並びに硬化物 | |
JP2002234932A (ja) | アルカリ水溶液可溶性エポキシカルボキシレート化合物及びそれを用いた感光性樹脂組成物並びにその硬化物 | |
JP4333858B2 (ja) | ポリカルボン酸樹脂及びそれを用いた光硬化型樹脂組成物並びにその硬化物 | |
JP2002006486A (ja) | 感光性樹脂組成物並びにその硬化物 | |
JP2002138125A (ja) | 硬化性樹脂及び感光性樹脂組成物 | |
JP2002249644A (ja) | 樹脂組成物、ソルダーレジスト樹脂組成物及びこれらの硬化物 | |
JP2002138140A (ja) | ポリエステル樹脂及びそれを用いた感光性樹脂組成物 | |
JP2003149807A (ja) | フレキシブル性を有する難燃型感光性樹脂組成物およびその硬化物 | |
JP4325819B2 (ja) | 難燃型エネルギー線感光性エポキシカルボキシレート樹脂及びそれを用いた感光性樹脂組成物並びにその硬化物 |