JP2001525927A - 加速度センサ - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1. サブストレートに可動に懸吊ないし懸架された、加速作用に基づき変位可能 な振動構造及び加速度に基づく振動構造の変位を検出するための評価手段を有し ている加速度センサにおいて、 振動構造(12)及び/又は評価手段(30)は機械的減結合装置機構を介 してサブストレートに連結されていることを特徴とする加速度センサ。 2. 振動構造(12)は、浮動的に懸吊ないし懸架されたフレーム(16)内に 配置されており、該フレーム(16)は、減結合ウエブ(22)を介してサブス トレートに連結された保持ウエブ(24)に連結されていることを特徴とする請 求項2記載の加速度センサ。 3. 保持ウエブ(24)は、それぞれ1つの対称的に配置された留め付け固定個 所(26)を介してサブストレートに連結されていることを特徴とする請求項1 又は2記載の加速度センサ。 4. 減結合ウエブ(22)は、アーチ状にフレーム(16)と保持ウェブ(24 )との間に設けられていることを特徴とする請求項1から3までのうちいずれか 1項記載の加速度センサ。 5. 減結合ウエブ(22)は、アングル状にフレーム(16)と保持ウェブ(2 4)との間に設けられて いることを特徴とする請求項1から3までのうちいずれか1項記載の加速度セン サ。 6. 評価手段(30)は、減結合ウエブ(18)を介して、サブストレートに連 結された保持ウエブ(38)に連結されていることを特徴とする請求項1から5 までのうちいずれか1項記載の加速度センサ。 7. 減結合ウエブ(48)は、アングル状に評価手段(30)と保持ウエブ(3 8)との間に設けられていることを特徴とする請求項1から6までのうちいずれ か1項記載の加速度センサ。 8. 保持ウエブ(38)は、それぞれ対称的に配置された留め付け固定箇所(4 0)を介してサブストレートに連結されていることを特徴とする請求項1から7 までのうちいずれか1項記載の加速度センサ。 9. 評価手段(30)は、フレーム(46)と連結されており、該フレーム(4 6)は、減結合ウエブ(48)を介して保持ウエブ(38)と連結されている請 求項1から8までのうちいずれか1項記載の加速度センサ。 10.フレーム(16,46)は、それぞれ4つの対称的に配置された減結合ウエ ブ(22,48)を介して保持ウエブ(24,38)に連結されていることを特 徴とする請求項1から9までのうちいずれか1項記載の加速度センサ。 11.減結合ウエブ(22,38)は、サブストレート 表面に並行に延びる運動方向でソフトであり、そして、サブストレート表面に対 して垂直方向に剛性的であることを特徴とする請求項1から10までのうちいず れか1項記載の加速度センサ。 12.留め付け固定箇所(26,40)は、1つの仮想線(44)上に位置してい ることを特徴とする請求項1から11までのうちいずれか1項記載の加速度セン サ。 13.櫛形構造(28,32)が設けられており、前記櫛形構造(28,32)は 、細長い板状の、相互に並行に配置されたウエブから構成されており、仮想線( 44)は、ウエブに並行に配されていることを特徴とする請求項12記載の加速 度センサ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19719779.5 | 1997-05-10 | ||
DE19719779A DE19719779A1 (de) | 1997-05-10 | 1997-05-10 | Beschleunigungssensor |
PCT/DE1998/001068 WO1998052051A1 (de) | 1997-05-10 | 1998-04-16 | Beschleunigungssensor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001525927A true JP2001525927A (ja) | 2001-12-11 |
Family
ID=7829191
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP54867198A Ceased JP2001525927A (ja) | 1997-05-10 | 1998-04-16 | 加速度センサ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6360604B1 (ja) |
EP (1) | EP0981755B1 (ja) |
JP (1) | JP2001525927A (ja) |
DE (2) | DE19719779A1 (ja) |
WO (1) | WO1998052051A1 (ja) |
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---|---|
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EP0981755B1 (de) | 2007-06-13 |
DE19719779A1 (de) | 1998-11-12 |
US6360604B1 (en) | 2002-03-26 |
DE59814029D1 (de) | 2007-07-26 |
EP0981755A1 (de) | 2000-03-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050415 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060606 |
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A601 | Written request for extension of time |
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A602 | Written permission of extension of time |
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|
A521 | Written amendment |
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|
A313 | Final decision of rejection without a dissenting response from the applicant |
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A02 | Decision of refusal |
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