JP2001522185A - Agc及びオンチップチューニング付水晶発振器 - Google Patents
Agc及びオンチップチューニング付水晶発振器Info
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Landscapes
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
- Stabilization Of Oscillater, Synchronisation, Frequency Synthesizers (AREA)
Abstract
Description
シングルチップ電圧制御水晶発振器に関する。
イヤレス通信技術に関するアプリケーションは何倍にも増加し、そのようなワイ
ヤレス通信を利用する加入者の数は飛躍的に増加している。時分割多元接続(T
DMA)や符号分割多元接続(CDMA)のようなデジタル変調技術の利用の増
加は、これらの変調技術を実現するシステムに対するトラヒック密度の現実的な
増大に伴い、隣接キャリア周波数スペーシング及び変調帯域幅の要求をもたらす
。基準発振器の周波数安定度は、この状況下で一層重要となった。
きた一方、そのような発振器は、様々な負荷、温度、電力供給下において、出力
波形、周波数安定度及び振幅安定度等の特徴が様々に変化する。そのような発振
器の多くは、能動素子としてバイポーラトランジスタを使って実装されている。
しかしながら、今日のほとんどの集積回路における有力な実装技術はCMOSプロセ
スであり、安定性の高い水晶発振器のための設計技術はこのプロセスではあまり
よく知られていない。
非常に正確な基準周波数源を必要とする。発振器の正確性と周波数安定性は、一
般に、発振器の周波数変化量の補償が必要とされるような、例えば製品ばらつき
、温度変化、経年変化などの様々な要因の作用をうける。ほとんどの先行技術に
おける補償回路を含む発振器回路の構成は、それらを発振器自体を含む集積回路
の外部に包含している。この構成は、その要素が現代の無線装置設計に非常に重
要であるにも拘わらず、製造の観点からすればよりコストがかかるものであると
同時に、サイズ縮小の観点からはコンパクトでない。
費制御と、製品のばらつき及び操作時における温度変化のための発振器の周波数
補償である。ワタナビ等による米国特許第5548252号に示されているよう
な先行技術は、これらの問題に対処しようとしたものである。この特許は、周波
数安定水晶発振器に関連するある特徴を含むデジタル温度補償水晶発振器を開示
する。しかしながら、セルラー加入者局のような無線通信装置で利用するための
水晶発振器の設計に特に重要な要素である、電力消費制御に利用される技術及び
周波数補償技術は著しく異なり、かつ、本発明の発振器に包含されるものに比べ
利益に乏しい。
発振器回路を包含する。振動を所定の周波数レンジ内で確保するために、水晶共
振子に入力が接続されている。振幅検出器は、発振器の出力信号を整流し、かつ
、出力振幅レベルに比例した直流信号を生成するために整流された信号にローパ
スフィルタをかけるために、発振増幅器の出力と容量結合されている。フィード
バックループは、発振器の出力の振幅レベルを所望の値に調節し、発振器回路の
電力消費を制限するために、直流信号を振幅検出器から発振増幅器の電流源へ戻
すように接続されている。
発振器回路を包含している。その入力は、所望の周波数レンジ内で振動を確立す
るために水晶共振子に接続されている。共振子タンクキャパシタ回路はまた、発
振増幅器の入力に接続されており、増幅器の発振周波数を所定の値に同調するた
めの静電容量を選択する。タンクキャパシタ回路は、少なくともひとつの電圧可
変キャパシタを含み、さらに初期電圧値は、電圧可変キャパシタを介して共振子
タンクキャパシタ回路及び、発信増幅器を所定の発信周波数範囲に同調する。初
期電圧値は、ディジタルナンバーを生成し、当該ディジタルナンバーをそれに比
例するアナログ値に変換し、かつ、アナログ電流値をそれに比例する電圧値に変
換することで確立される。
実装された制御回路を伴った水晶発信増幅器を含む。本発明の水晶制御発信機の
CMOS回路設計は、自動利得制御(AGC)を伴った電圧制御水晶発信機(VCXO )と、オンチップチューニング及びオンチップ温度補償(PTAT)の両方を含む。
本発明の発信回路の二つの有利な特徴は、発信機の電力消費を著しく減少させる
自動利得制御回路及び、製品のばらつき及び温度の変化に応じたオンチップ周波
数補償回路を実装していることである。
つ高い安定性を有する基準周波数源の必要性が非常に大きい。さらに、単一基板
に出来る限り多くのコンポーネントを集積でき、回路規模を出来るだけ小さく低
コストに押さえることが非常に望ましい。セルラー無線加入者局のような現代の
多くの無線電話通信装置はバッテリーで動作しており、装置内の水晶発信器を含
めたすべての回路の電力消費もまた非常に重要視される。
ている。この設計では、好ましくは単一チップ11上に、振動の中心周波数を確
立するために負荷容量13のアレイと外部の水晶14に接続されている発振増幅
器12を組み込んでいる。標準的なピアス発振器を備えることができる発振増幅
器12の出力は、振幅検出器15に接続されている。この振幅検出器15の出力
は、発信増幅器12へ戻る自動利得制御(AGC)ループ16に接続されている。
定キャパシタC2は、電圧可変キャパシタCvaricapと直列接続されている。電圧可
変キャパシタCvaricapは、一の入力が電流電圧変換器18へ接続されている加算
回路17の出力に接続されている。加算回路17へのその他の入力は、絶対温度
比例補償回路(PTAT)19に接続されている。電流電圧変換器18の入力は、ナ ンバー生成器22からのディジタル出力信号を受け取るD/Aコンバーター21に
よって駆動される。電流電圧変換器18及びPTAT回路19の出力電圧は、回路1
7において加算され、電圧可変キャパシタCvaricapを動作させるために接続され
、その容量値を決定する。Cvaricapの容量値の変化により、発信増幅器12を介
して全負荷容量13が変化し、それにより発振周波数が変化する。
に関し極めて安定で正確性の高い基準周波数を備える。水晶発振器の周波数は、
発振増幅器に接続された負荷容量13によって部分的に決定される。発振増幅器
に接続された全負荷容量13を変えること、例えば、可変キャパシタCvaricapの
容量値を変えることにより、発振増幅器12の発振周波数は特定周波数に同調さ
れる。Cvaricapの容量値は、そこにかかる電圧値によって決定され、Cvaricapに
かかる電圧は、加算器17における二つの異なる電圧の和によって生成される。
これらの電圧は、まずD/Aコンバータ21からの電流を電圧に変換するトランス
抵抗増幅器(I-Vコンバータ18)からの電圧と、絶対温度に比例する回路(PTA
T)19からの電圧を含む。水晶制御発振器の製造工程では、ディジタル値は、D
AC21にディジタル入力22の手段によって書き込まれる。22は発振器を初期
製造において周波数が特定されるように校正する。この方法では、製品ばらつき
の補償がその製造工程においてとても容易に遂行される。操作の間、PTAT回路1
9は発振器が搭載されたチップ11の環境温度に比例した電圧を伝え、それによ
り操作状況における温度変化を補償する。
重要な機能を果たす。第一の機能は、すべての操作条件下で発振器能を確保する
ために、初期動作において発振増幅器における高いループ利得を提供することで
ある。第二の機能は、連続操作の間、回路内で電圧を一定に保つために発振増幅
器12の振動を所定の振幅値に維持することである。発振増幅器12の出力振幅
値は振幅検出器15によって検出され、この振幅に比例する信号が、振幅利得を
制御するためにAGCループ16でフィードバックされる。発振増幅器12におい て、フィードバック信号電圧は、増幅器における電流及び、増幅器のフォワード
利得とループ利得を調整する。
なる。これらのキャパシタンスは、特に典型的に設計された水晶共振子14に一
致して全体で約20pFの範囲の負荷容量を与えるように設計されている。水晶が
発振するであろう周波数は、その負荷容量によって部分的に決定される。Cvaric ap が基板11上に直接形成された電圧制御容量である一方で、C1とC2は、基板1
1上に直接形成された固定容量でもよい。基板11上およびそれ以外の寄生容量
による容量貢献は、全負荷容量に含まれるに違いない。
れは、(1)基板11上に形成された固定容量C1、C2の値のばらつきの許容範囲
、(2)基板の上及びそれ以外の寄生容量、(3)発振器回路の温度変化、(4
)水晶共振子の許容範囲、である。Cvaricap補償範囲の典型的な値は、±35pp
mである。これは、水晶発振器の典型的なトリミング感度が10.8ppm/pFのオーダ ーであるから、(全容量を20pFとして)3.2pFオーダーで全負荷容量の変化を 与える。
は一つのターミナルとして接続され、他のターミナルは、ゲートとして利用され
る。NMOSトランジスタは、反転層の成長に従いゲート電圧と共に容量が減少する
反転領域において利用される。図2は、キャパシタの有効範囲を示す、NMOSトラ
ンジスタの容量ー電圧特性を示すグラフである。NMOSデバイスの酸化層に近接し
ているので、ゲートメタルと半導体の異なる作用機能によって薄い空乏領域が現
れてくる。この空乏領域は電圧が付加されれば増大し、グラフの左部分における
容量値の減少を招く。空乏領域の中間(すなわちグラフのカーブの底)では、半
導体は本質的に酸化層に近づくように振舞い、この地点で容量は最低値に至る。
電圧が更に増加すると、半導体は反転モードに達して導通層が現れ、空乏領域の
影響をより一層排除するので結果として容量は増加する。
圧に依存しないキャパシタとなるようにゲート酸化膜下の基板は特にドープされ
る。
3pF、C2=70pF及びCvaricap=14.5-39pFを包含する。これらは代表値であり、かつ
、寄生容量の影響に基づき最適化される。
すグラフである。Cparが1.5-4pFの典型的な範囲にあるとき当該機能が得られる 。チップの寄生容量は、約1pFと見積もられる。チップ外の寄生容量は、前記範
囲若しくは、0.5-3.0pFの範囲にあるかもしれない。このことは、その設計はチ ップが実装されているプリント回路基板の寄生容量に関してはあまり敏感ではな
いということを意味する。
る。これは、ディジタルワードをDAコンバータ(DAC)21に書き込むことで実 行される。そして、DAC21からの電流は、Cvaricapに与えられる出力電圧に変換 される。Cvaricapの容量と、発振増幅器12の全負荷容量13が変更され、発振
周波数は所望の正確な値に調節される。
度制限、一様性、チップの占有領域及び電力消費を含む、多くの考察を包含する
。一様性は、このアプリケーションにおいて重要である。なぜなら、DACがキャ リブレーションのループの一部であり、出力機能における極大若しくは極小はキ
ャリブレーションできないからである。電力消費もまた、発振器がバッテリー動
作するために重要である。電流ベースDAC21は、ブロックで構成される4ビット
電流重みスイッチと4ビットセグメントデコーダ32から構築される。入力33 におけるディジタルワードのエントリから、出力34に相当する電流が生成され
る。図5に示すように、ブロック31のそれぞれは、4つの最下位ビット(LSB)
に接続されている。4つの最上位ビット(MSB)は、復号されるセグメントであり
、高位のディジタル入力値によりブロックをアクティブにする。新たな電流は、
高位のディジタル入力値と共に従前の電流に付加される。この方法では、図5に
示される回路に関し単調性が保証される。
電圧を生成する。この電圧は加算器17において、DAC21の出力電流から得ら れる電圧に付加され、その和が端子に与えられる。このように、Cvaricapの値の
変化は、発振周波数を変える為にローカルキャパシタ13の全容量を変化させる
。このように全負荷容量は、温度変化に応じて、発振増幅器12の周波数を補償
する為にPTAT回路19によって変化させられる。PTATの出力電圧は、MOSトラ
ンジスタの温度依存性に基づいており、安定基準電圧を有し、かつ、負の温度係
数を持つ特にドープされた抵抗を含む分圧器にそれを接続して構成されている。
入力に与えられる。出力は、加算器17として表されるこれらの2入力電圧の合
計になり、Cvaricapに与えられる。
て構成される。増幅器は、増幅器内の電流源を制御する電圧入力を有するように
設計される。この電流の大きさにより発振器のループ利得が決まる。自動利得制
御(AGC)16によって電圧が入力に与えられ、ループ利得はAGC16によって制御 された適切な値に調整される。
振幅が増幅器自体の雑音から大きくなることを保証する。振動振幅が大きくなる
に従い、AGC16は発振増幅器の電流を減少させ、これによりループ利得も小さく なる。安定した発振状態において、AGC16は所定の低振幅値における振動を確立 する。電流はちょうど通常操作における臨界値より上に制限され、それにより電
力消費は最低値に維持される。振幅調整はまた、さもなくば発振器の周波数安定
性を低下させることになる、増幅器の非線形効果を除去する。
結合され、かつ、振幅検出器における振動振幅に比例した信号を得られるように
整流され、ローパスフィルタリングされる。振幅検出器15からの信号は、増幅
器の電流源へフィードバックされ、かつ、正確に増幅器の電力消費を所定の最小
値に制御するために、回路の振動振幅を所定の値に調整する。
ンパクトさを必要とする電子回路での利用のための高安定水晶制御発振器に二つ
の非常に望ましい特徴を提供する。より詳細には、本発明の発振器は、始動時に
おける発振の確実な開始な及び、操作時における発振器による電力消費の慎重な
制御を保証するAGC回路を提供する。さらに、本発明の発振器は、発振器の操作 時の温度変化と同様、製品ばらつきの両方に対する、発振器の周波数補償のため
の確実性及び正確性の高い手段を提供する。
述の記載に記されているが、発明は開示された実施形態に限定されるものではな
く、また、請求の範囲において示され、定義される発明の精神から離れることな
く、多くの再整理、変形及び置換が可能であることが理解される。
を参照することで達成される。
けDAコンバータを示すブロック図である。
Claims (23)
- 【請求項1】 入力及び出力を有する発振増幅器であって、所定の周波数範囲
内で発振するために前記入力が水晶共振子に接続されている発振増幅器と、 前記発振増幅器からの出力信号を整流する手段と、 前記発振増幅器の出力を前記整流手段と容量結合する手段と、 前記整流手段からの出力信号をローパスフィルタリングし、前記発振増幅器の
出力振幅に比例する直流信号を生成する手段と、 発振器の出力振幅レベルを所定値に調整し、かつ前記発振器回路の電力消費を
制限するために、前記直流信号を前記振幅検出器から前記発振器の電流源へ接続
するフィードバックループと を備えることを特徴とする水晶制御発振器回路。 - 【請求項2】 前記発振増幅器が、増幅器内の電流源を制御し前記増幅器のル
ープ利得を確立するための電圧入力を有する差動増幅器を備えることを特徴とす
る請求項1に記載の水晶制御発振器回路。 - 【請求項3】 前記フィードバックループが、前記増幅器内の電流を最大にし
て、ループ利得を非常に高くし、増幅器内で発振を導くことを可能とする信号を
、始動時に前記発振増幅器の電流源に与えることを特徴とする請求項1に記載の
水晶制御発信器回路。 - 【請求項4】 すべての要素が単一基板上に構成されていることを特徴とする
請求項1に記載の水晶制御発振器。 - 【請求項5】 入力及び出力を有する発振増幅器であって、振動を所定の周波
数範囲に確立するために前記入力が水晶共振子に接続されている発振増幅器と、 前記発振増幅器の入力に接続され、発振周波数を所定の値に同調させるための
容量値を選択できる共振子タンクキャパシタ回路であって、前記タンクキャパシ
タ回路が少なくとも一つの電圧可変キャパシタを含む共振子タンクキャパシタ回
路と、 前記共振子タンクキャパシタ回路と前記発振増幅器を所定の発振周波数に同調
させるために、前記電圧可変キャパシタにかかる初期電圧値を確立する手段とを
有し、 前記初期電圧値を確立する手段は、 ディジタルナンバーを生成する手段と、 前記ディジタルナンバーを前記ディジタルナンバーの値に比例するアナロ
グ電流値に変換する手段と、 前記アナログ電流値を前記電流値に比例する電圧値に変換する手段と、 前記電圧値を容量値を確立するために前記電圧可変キャパシタと結合する
手段とを備えることを特徴とする水晶制御発振器回路。 - 【請求項6】 回路の温度変化に応じて前記電圧可変キャパシタの容量値を調
整するため、かつ、前記発振周波数を前記所定の値に維持するために前記初期電
圧値に温度補償電圧値を付加する手段をさらに含むことを特徴とする請求項5に
記載の水晶制御発振器回路。 - 【請求項7】 加算回路を通じて容量値を確立するために前記初期電圧値を前
記電圧可変キャパシタに結合する手段と、 前記発振器回路の絶対温度に比例する温度補償電圧値を生成する手段と、 前記温度補償電圧を前記初期電圧値に付加するために前記温度補償電圧値を前
記加算回路と接続する手段と をもまた含むことを特徴とする請求項5に記載の水晶制御発信回路。 - 【請求項8】 すべての構成要素が単一基板上に構成されていることを特徴と
する請求項5に記載の水晶制御発振器。 - 【請求項9】 入力及び出力を有する発振増幅器であって、所定の周波数範囲
で発振するために前記入力が水晶共振子に接続されている発振増幅器と、 発振器出力の振幅レベルを検出し、前記発振器の出力振幅レベルに比例した直
流信号を生成するための前記発振増幅器の出力に接続された振幅検出器と、 発振器の出力振幅レベルを所定の値に調整し、前記発振器回路の電力消費を制
限するために前記直流信号を前記振幅検出器から電流源へ戻すように接続するフ
ィードバックループと、 前記発振増幅器の入力に接続され、発振周波数を所定の値に同調させるための
容量値を選択できる共振子タンクキャパシタ回路であって、前記タンクキャパシ
タ回路が少なくとも一つの電圧可変キャパシタを含んでいる共振子タンクキャパ
シタ回路と、 前記共振子タンクキャパシタ回路と前記発振増幅器を所定の発振周波数に同調
させるために、前記電圧可変キャパシタにかかる初期電圧値を確立する手段と を備えることを特徴とする水晶制御発振器回路。 - 【請求項10】 回路の温度変化に応じて前記電圧可変キャパシタの容量値を
調整するため、かつ、前記発振周波数を前記所定の値に維持するために前記初期
電圧値に温度補償電圧値を付加する手段をまた含むことを特徴とする請求項9に
記載の水晶制御発振器回路。 - 【請求項11】 前記温度補償電圧付加手段が、回路の絶対温度に比例する電
圧値を生成する回路を備えることを特徴とする請求項10に記載の水晶制御発振
器回路。 - 【請求項12】 回路の絶対温度に比例する電圧値を生成する前記回路が、負
の温度係数を持つ特にドープされた抵抗を一つの素子として含む分圧器に接続さ
れた安定基準電圧を備えることを特徴とする請求項11に記載の水晶制御発振器
回路。 - 【請求項13】 前記振幅検出器は、 前記発振増幅器からの出力信号を整流する手段と、 前記発振増幅器の出力と前記整流手段とを容量結合する手段と、 前記発振増幅器の振動振幅に比例した信号を生成するために、前記整流手段
からの出力信号をローパスフィルタリングする手段とを備え、 前記初期電圧値を確立する手段は、 ディジタルナンバーを生成する手段と、 前記ディジタルナンバーを前記ディジタルナンバー値に比例したアナログ電
流値に変換する手段と、 前記アナログ電流値を前記電流値に比例する電圧値に変換する手段と、 前記電圧値と前記電圧可変キャパシタを容量値を確立するために結合する手
段とを備えることを特徴とする請求項9に記載の水晶制御発振器回路。 - 【請求項14】 発振器の電力消費を制御しながら発振器出力信号を生成する
方法であって、前記方法は、 入力及び出力を有する発振増幅器であって、所定の周波数範囲内で発振するた
めに、前記入力が水晶共振子に接続されている発振増幅器を提供する工程と、 前記発振増幅器からの出力信号を整流する工程と、 前記発振増幅器の出力を前記整流工程と容量結合する工程と、 前記発振増幅器の出力振幅に比例する直流信号を生成する為に前記整流工程か
らの出力信号をローパスフィルタリングする工程と、 発振器の出力振幅レベルを所定値に調整し、かつ前記発振器回路の電力消費を
制限するために、前記振幅検出器から前記発振増幅器の電流源へフィードバック
ループにおいて前記直流信号を接続する工程と を備えることを特徴とする発振器出力信号を生成する方法。 - 【請求項15】 前記フィードバックループにおいて直流信号を接続する工程
が、 前記増幅器内の電流を最大にして、ループ利得を非常に高くし、増幅器内で振
動を導くことを可能とする信号を、始動時に前記発振増幅器の電流源に与える工
程を備えることを特徴とする請求項14に記載の方法。 - 【請求項16】 発振器信号を生成する方法であって、 入力及び出力を有する発振増幅器であって、所定の周波数範囲で発振するため
に前記入力が水晶共振子に接続されている発振増幅器を提供する工程と、 発振周波数を所定の値に同調させるための容量値を選択できる共振子タンクキ
ャパシタ回路を、前記発振増幅器の入力に接続する工程であって、前記タンクキ
ャパシタ回路が少なくとも一つの電圧可変キャパシタを含んでいる工程と、 前記共振子タンクキャパシタ回路と前記発振増幅器を所定の発振周波数で同調
させるために、前記電圧可変キャパシタにかかる初期電圧値を確立する工程とを
備え、 前記初期電圧値を確立する工程は、 ディジタルナンバーを生成する工程と、 前記ディジタルナンバーを前記ディジタルナンバーの値に比例するアナログ
電流値に変換する工程と、 前記アナログ電流値を前記電流値に比例する電圧値に変換する工程と 前記電圧値を容量値を確立するために前記電圧可変キャパシタと結合する工
程とを備えることを特徴とする方法。 - 【請求項17】 回路の温度変化に応じて前記電圧可変キャパシタの容量値を
調整するため、かつ、前記発振周波数を前記所定の値に維持するために前記初期
電圧値に温度補償電圧値を付加する工程をさらに含むことを特徴とする請求項1
6に記載の方法。 - 【請求項18】 容量値を確立するために前記初期電圧値を前記電圧可変キャ
パシタと結合する工程と、 前記発振器回路の絶対温度に比例する温度補償電圧値を生成する工程と、 前記温度補償電圧を前記初期電圧値に付加するために前記温度補償電圧値を前
記加算回路と接続する工程と をさらに備えることを特徴とする請求項16に記載の方法。 - 【請求項19】 発振器の電力消費を制限しながら発振器出力信号を生成する
方法であって、 入力及び出力を有する発振増幅器を提供する工程であって、振動を所定の周波
数範囲に確立するために前記入力が水晶共振子に接続されている工程と、 発振器出力の振幅レベルを検出し、前記発振器の出力振幅レベルに比例した直
流信号を生成するために前記発振増幅器の出力に振幅検出器を接続する工程と、 発振器の出力の振幅レベルを所定の値に調整し、前記発振器回路の電力消費を
制限するために、前記直流信号をフィードバックループにおいて前記振幅検出器
から前記発振増幅器の電流源へ戻すように接続する工程と、 発振周波数を所定の値に同調させるための容量値を選択できる共振子タンクキ
ャパシタ回路を、前記発振増幅器の入力に接続する工程であって、前記タンクキ
ャパシタ回路が少なくとも一つの電圧可変キャパシタを含んでいる工程と、 前記共振子タンクキャパシタ回路と前記発振増幅器を所定の発振周波数と同調
させるために、前記電圧可変キャパシタにかかる初期電圧値を確立する工程と を備えることを特徴とする発振器出力信号を生成する方法。 - 【請求項20】 回路の温度変化に応じて前記電圧可変キャパシタの容量値を
調整するため、かつ、前記発振周波数を前記所定の値に維持するために前記初期
電圧値に温度補償電圧値を付加する工程をさらに含むことを特徴とする請求項1
9に記載の発振器出力信号を生成する方法。 - 【請求項21】 前記初期電圧値を付加する前記工程が、回路の絶対温度に比
例する電圧値を生成する工程をさらに含むことを特徴とする請求項20に記載の
発振器出力信号を生成する方法。 - 【請求項22】 電圧値を生成する前記工程が、 負の温度係数を持つ特にドープされた抵抗を一つの素子として含む分圧器に接
続された安定基準電圧を提供する工程をさらに含むことを特徴とする請求項21
に記載の発振器出力信号を生成する方法。 - 【請求項23】 前記振幅検出器を接続する工程は、 前記発振増幅器からの出力信号を整流する工程と、 前記発振増幅器の出力と前記整流手段とを容量結合する工程と、 前記発振増幅器の振動振幅に比例した信号を生成するために、前記整流工程
からの出力信号をローパスフィルタリングする工程とを備え、 前記初期電圧値を確立する工程は、 ディジタルナンバーを生成する工程と、 前記ディジタルナンバーを前記ディジタルナンバーの値に比例したアナログ
電流値に変換する工程と、 前記アナログ電流値を前記電流値に比例する電圧値に変換する工程と、 前記電圧値と前記電圧可変キャパシタを容量値を確立するために結合する工
程とを備えることを特徴とする請求項19に記載の発振器出力信号を生成する方
法。
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