JP2001521065A5 - - Google Patents

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【請求項１】 正イオンを非グラファイトのターゲットから生成する陰極アーク源であって、（ａ）前記ターゲットを受け止める陰極ステーションと、（ｂ）第１の方向を有する第１の磁界を発生する手段と、（ｃ）前記第１の方向とは反対の方向を有する第２の磁界を発生する手段とを有し、前記ターゲットの上方で前記ターゲットに対して垂直な合成磁界が、磁界の強さがゼロの点を有し、かつ前記ターゲットの表面に強い横方向磁界が存在する陰極アーク源。

【請求項３】 （１）前記ターゲットの前面の所で、磁界の横方向の強さが相対的に強く、かつ前記前面に対して垂直な磁界の方向が前記前面に向かっており、
（２）前記前面に対して垂直な磁界の強さが、前記ターゲットからの距離が前記前面に垂直な磁界の強さがゼロである点に向かって増大するにつれて減少し、
（３）前記垂直な磁界の強さがゼロである点から、前記ターゲットからの距離が増大するにつれて、磁界方向が前記ターゲットの前面から離れる方向になる、請求項１または２に記載の陰極アーク源。

【請求項５】 （ａ）前記ターゲットの下方に第１の磁界を発生する、永久磁石のような第１の磁石または第１の電磁石と、
（ｂ）前記ターゲットと遠方の基板との間に第２の磁界を発生する、永久磁石のような第２の磁石または第２の電磁石とを含み、
前記第２の磁界が、プラズマを前記基板に向かって案内するものであり、前記第１の磁界と前記第２の磁界との組み合わせが、前記ターゲットと前記基板との間のゼロ点と、前記ターゲットの表面とその直ぐ上方の強い横方向磁界とを有する合成磁界を生成する、請求項４に記載の陰極アーク源。

【請求項７】 前記垂直な磁界の強さがゼロである点に、１２Ｇから３５Ｇの強さを有する横方向の磁界が存在する、請求項１から６のいずれかに記載の陰極アーク源。

【請求項９】 前記陰極アーク源の内側に、かつ前記陽極の外面に接してぴったり嵌るライナを形成するように互いに組合い、かつ前記陰極アーク源から取り外すために分離可能な２つまたは３つ以上の部品から構成されているライナを有する、請求項１から８のいずれかに記載の陰極アーク源。

【請求項１２】 前記ライナがグラファイトから作られている、またはグラファイトを含んでいる、請求項９から１１のいずれかに記載の陰極アーク源。

【請求項１３】 前記ライナがステンレス鋼、モリブデン、またはニッケルから作られている、または含んでいる、請求項９から１１のいずれかに記載の陰極アーク源。

【請求項１７】 陰極アーク源と、前記陰極アーク源によって生成されたプラズマを基板上へ案内する、第１の方向の磁界をターゲットと前記基板との間に発生する第１の磁界発生手段と、反対方向の磁界を前記ターゲットに、またはその周りに発生する第２の磁界発生手段とを有し、それによって前記第１の磁界の強さを変えることが可能であり、または前記第２の磁界の強さまたは位置を変えることが可能である、請求項１４から１６のいずれかに記載の方法を実施する装置。