JP2001518030A - 高性能なインパルスインク噴射方法およびインパルスインク噴射装置 - Google Patents

高性能なインパルスインク噴射方法およびインパルスインク噴射装置

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Abstract

(57)【要約】 インパルス噴射のためにパルス発生回路を有するインパルス流体噴射装置である。この回路は噴射の共振振動数を起こさせるための長いパルスと噴射の高調波振動数を起こさせるための短いパルスとを発生する。この長いパルスは流体の小滴を噴射するために噴射内の変換器のエネルギ状態を変え、短いパルスは小滴の尾部を切り離すためにエネルギ状態を変える

Description

【発明の詳細な説明】 高性能なインパルスインク噴射方法およびインパルスインク噴射装置 技術分野 本発明は様々な形態の変換器のエネルギに応答してインクのような流体の小滴 を噴射するドロップオンディマンド(drop-on-demand)またはインパルス流体噴射 に関する。 背景技術 インパルス流体噴射またはインパルスインク噴射はインクのような流体の小滴 をチャンバからインク噴射装置のオリフィスを介して噴射するように設計され駆 動される。多くの用途では、インク噴射装置を高性能で、すなわち高速且つ射程 距離を長くして作動させる必要はない。しかしながら、工業用の用途を含む多く の用途では高性能なインク噴射装置が必要とされている。 例えば、様々な工業用インクジェットの用途では、高解像度になるような点( ドット)を目標物に作り出すために小滴の大きさが比較的小さく維持されている 間に小滴がインクジェットのオリフィスから多少の距離にある目標物に到達する ように、小滴を高速で且つ射程距離を長くして噴射することが非常に重要である 。このようにするためには、小滴の頭部と尾部とが互いに結び付けられたまま比 較的高速な等しい速度で進むことが重要である。 従来の技術では、高速で且つ射程距離を長くすることは困難であった。例えば 、米国特許第4,646,106号に開示されているタイプのインクジェット印刷ヘッド の膨張型の圧電変換器では、25kHzか ら50kHzの流体のヘルムホルツ振動数とこれに匹敵する圧電縦振動モード共振 振動数とを用いて周波数反応に関して高い性能がられる。しかしながら、形成さ れた小滴はこの小滴の速度を遅くする可能性のある長い尾部を有し、また射程距 離は最高の性能を得られない。 米国特許第4,523,201号および米国特許第4,523,200号には小滴の尾部を早く切 り離すように設計された幅の長い第一のパルスと幅の短い第二のパルスとを有す る電圧波形で駆動せしめられる同様な印刷ヘッドを開示されている。しかしなが ら、ここに開示された装置は50kHz以下のヘルムホルツ振動数で作動するよう に設計されており、そして射程距離が向上した高速の小滴を生成するために尾部 を切り離す高調波振動数を起こすことの効果が開示されていない。それどころか 第二のパルスの照準をほとんど改善していない。 図1A〜図1Fを参照すると、図1Aは駆動波形を線図的に示しており、図1 B〜図1Fには時間上の様々な点でのインクジェット装置を示している。図1A には、駆動波形を縦座標に電圧、横座標に時間をとって示した。時間Aでは、図 1Bに示したようにインクジェット装置は静止した状態で、また変換器10は電 圧が加えられていない状態で維持され、予め定められた量のインク12がオリフ ィス16の後部のチャンバ14に入れられている。図1Aに示した時間Bでは、 図示したように変換器10が電圧パルス17により駆動され、これにより変換器 10の長さが短くなり、したがってチャンバ14内のインク12の量が増加し、 図示した位置にオリフィス16内のメニスカスが引き込まれる。 図1Aの時間Cに対応した図1Cに示したように、変換器10に適用されてい た電圧が下がると変換器10が膨張し始める。その結果、チャンバ14内の或る 量のインク12は収縮され始め、図1D に示したようにオリフィス16を通ってメニスカス18を前進させる。時間Cか ら僅かに後で時間Dの前において、図1Eに示したように、変換器10は図1E に示したようにほぼ静止した状態に戻り、帯部21を有する小滴20がオリフィ ス16で形成され始める。図1Aの時間Dに対応する図1Fにおいて、小滴20 は小滴20に結び付けられた遅く進む尾部22を有しながらオリフィス16から 多少の距離だけ進む。図IFに示したように、尾部22はチャンバ14内の或る 量のインク12が図1Bに示した状態に戻る前にオリフィス16のメニスカス1 8から切り離される。図1Fからすぐにわかるように、尾部22と頭部20とが 目標物への移動中に結びついたままであると想定すると、尾部22は引き延ばさ れて、目標物上に”上塗り”状態を作り出してしまう。尾部22は頭部の速度に 比べて相対的に遅く移動し、これが尾部22を長くさせ、そして尾部22を分割 させ、よって目標物までの射程距離の全長が減少する。 米国特許第4,459,601号、第4,509,059号、第4,646,106号および第4,697,193号 に開示されたタイプの従来の装置では、インクジェット装置は約40kHzのヘル ムホルツ共振振動数と約45kHzの圧力縦振動モード共振振動数に特徴付けられ る。メニスカスに形成された尾部は約45kHzの圧力乱れを受ける。ゆえに、尾 部はサイクル中の速度が負である間にこの乱れに応答して図1Fのように切り離 され、これにより非常に小さい加速度成分を提供し、したがって頭部の速度は速 く且つ尾部の速度は遅くなり、よって尾部は長い印刷ギャップを超えるほど長く なり、結果として印刷の質を低下させることになる。 発明の開示 本発明によれば高速の小滴が流体噴射装置から噴射される高性能な流体噴射の 方法および流体噴射装置が提供される。 さらに本発明によれば小滴が長い射程距離を有するような高性能な流体噴射方 法および流体噴射装置が提供される。 本発明ではさらに、インパルス流体噴射装置の作動方法が提供され、この流体 ジェット装置はチャンバと該チャンバから小滴を噴射するオリフィスと共振振動 数および高調波振動数を有する変換器とを具備する。作動方法は変換器の共振振 動数を起こすために変換器に連結された一つの幅のエネルギパルスを発生する工 程を具備する。小滴の噴射は一つのエネルギパルスに応答して小滴が頭部とこの 頭部に結び付けられた尾部とを有するように行われる。変換器に連結された別の 幅の別のエネルギパルスであって、高調波振動数を起こさせるために上記一つの エネルギパルスより実質的に短いエネルギパルスが発生せしめられる。頭部に結 び付けられた尾部は別のエネルギパルスに応答して小滴の頭部から切り離される 。その結果、頭部と尾部の残りの部分とは目標物に向かって共に進む。 本発明の好適な実施例において、別のパルスは時間的に一つのパルスの後に発 生せしめられる。本発明の別の好適な実施例において別のパルスは時間的に一つ のパルスの前に発生せしめられる。 本発明の別の重要な特徴によれば、頭部とこの頭部に結び付けられた尾部とを 有する流体またはインクの小滴は少なくとも20ピコリットルを具備し、好適に は60ピコリットル以上であり、また好適には秒速6メートル以上の速度で進み 、さらに好適には移動距離または射程距離が少なくとも6.4mm(0.25イン チ)であり、好適には12.7mm(0.5インチ)以上である。 本発明の更なる重要な特徴によれば、変換器は50kHz以上、好適には75kHz 以上の共振振動数と150kHz以上、好適には20 0kHz以上の高調波振動数を有する。 本発明の別の重要な特徴によれば、流体噴射チャンバまたはインク噴射チャン バは好適には50kHz以上のヘルムホルツ振動数を有する容量である。 好適な実施例において、一つのパルスの幅は5マイクロ秒以上100マイクロ 秒以下であり、別のパルスの幅は0.5マイクロ秒以上6マイクロ秒以下である 。一つのパルスと別のパルスとの間の遅延時間は1マイクロ秒以上5マイクロ秒 以下である。 図面の簡単な説明 図1A〜図1Fは上述した従来技術の線図および部分略図である。 図2Aは本発明の好適な実施例の流体噴射装置またはインク噴射装置を駆動す るための波形である。 図2A’は本発明の別の好適な実施例の流体噴射装置またはインク噴射装置を 駆動するための別の波形である。 図2Bは図2Aまたは図2A’の波形により駆動される本発明の流体噴射装置 またはインク噴射装置の部分略図であり、小滴がインク噴射装置から現れる時を 示している。 図2Cは流体噴射装置またはインク噴射装置の部分略図であり、僅かに時間が 経過した後の図2Bの装置を示している。 図3は本発明を実行するのに使用される噴射印刷機の部分概略図/ブロック線 図である。 図4は本発明の別の実施例で使用される別の電圧波形である。 図4aは使用されるさらに別の波形である。 図5は図3の信号発生器により駆動される縦振動モードの圧電変換器と直列の 抵抗を示す回路図であり、この信号発生器は本発明に より企画された様々な波形を使用する。 図6は射程距離が長くて高速な小滴を得る駆動波形に重ねられた変換器の共振 振動数と高調波とを示す。 発明を実施するための最良の形態 図2Aを参照すると、本発明の一実施例における圧電変換器の電圧駆動波形を 示す。時間Aの後に時間Bと時間Cとの間に一つのパルス23が発生せしめられ 、そして圧電変換器に適用され、さらにこのパルス23は図1Bおよび図1Cに 示したように圧電変換器を収縮させる。しかしながら、図1Aの従来技術の電圧 波形とは違って、時間Eで始まり時間Fで終わる幅の短い別のパルスがパルス2 3の後すぐに続く。本発明によれば、時間Bと時間Cとの間のパルスは圧電共振 振動を起こし、一方、時間Eと時間Fとの間の別の短いパルスは圧電変換器の高 調波振動を起こす。高調波振動は高い加速成分と、図2Bおよび図2Cを参照し て後述するように図1Fに示した従来技術のように尾部が形成されるのを防止す るのに十分な振幅とを有する。 図2Bに示したように、時間Bと時間Cとの間のパルス23によりチャンバ1 4内のインク12に繋がっている小滴が図1Eに示した従来技術のオリフィスと 同様なオリフィス16から外に押される。しかしながら、図2Aに示した時間E と時間Fとの間の短いパルス25は圧電共振振動の高調波を起こし、図2Bに示 したように細長い尾部が帯部22から形成されるのを防止し、図2Cに示したよ うに図IFに示した細長い尾部22に比べて短い尾部22を有するほぼ球状の小 滴20を作り出す。 本発明では、高い共振振動数を有するので圧電変換器10が選択される。圧電 変換器10の共振振動数は50kHzを超え、好適には 75kHz以上であり、さらに90〜300kHzが好ましく、好適な実施例を代表し ている。時間Eと時間Fとの間の追従するパルスにより起こされる高調波振動数 は150kHzを超え、また好適には200kHzを超え、好適な実施例では235kH zが使用される。好適な実施例では、共振振動数は90〜300kHzであり、高調 波は235〜800kHzであるので、時間Bと時間Cとの間のパルス23は好適 には14.5マイクロ秒であり、このパルスがメニスカス18内のインクブラッ クを従来技術の図1Cに示した位置まで引張る。時間Bと時間Cとの間のパルス 23の後に時間Cと時間Eとの間の好適には1.5マイクロ秒の不感時間が続き 、さらにこの後に235kHzの高調波を起こすために時間Eと時間Fとの間の3 .0マイクロ秒の幅の短いパルスが続く。振動数が235kHzである高調波共振 は高い加速成分を有する圧力波を作り出し、この圧力波は上述したようにインク が流れ出した時にオリフィス内のインク流れを乱す。その結果、尾部の形成は非 常に影響を受け、尾部は従来の一つのパルスを利用する方法よりずっと早い段階 でメニスカス18から切り離される。ここでの液体の表面張力は小滴を一まとま りに維持し、そして短い尾部を小滴の頭部の速度と等しい速度まで加速できるほ ど大きいので短い尾部22は小滴20の頭部と共に進むことができる。 本発明の別の重要な特徴によれば、液体共振振動数を増加させることにより小 滴の射程距離が改善される。例えば、液体共振振動数またはヘルムポルツ振動数 を45kHzから90kHzに増加させ、これに対応して圧電変換器の励振固有振動数 を45kHzから90kHzに増加させると、頭部が6.5ミリ秒で進んでいる状態で 小滴の尾部の速度が4.5ミリ秒から5.5ミリ秒に上がり、小滴の射程距離が 少なくとも75パーセントほど増加する。例えば235kHzの 高調波共振振動を起こすために幅の短い別のパルスを加えることで、小滴の尾部 は尾部速度を秒速6.5〜7メートルに増加するのに十分なほど早く切り離され る。このことによりインク小滴の射程距離がほぼ200パーセントほど増加せし められることになる。 長いパルスの前または後に短いパルスを使用して早く小滴を切り離し且つ尾部 を短くする同じ高調波振動を起こせることは明らかである。図2A’に示したよ うに時間Bと時間Cとの間の長いパルスの前に時間Gと時間Hとの間に短いパル ス27を発生する。その結果、長いパルス23の後に続く短いパルス27は高調 波振動数を、すなわち150kHzを超え、好適な実施例では235kHz程の振動数 を起こすことができるので、同じ効果がある。 図3には、図2Bおよび図2Cに示したタイプの複数の流体装置または噴射装 置を有するシステムを示し、このシステムでは図3に拡大して示されたオリフィ ス16がヘッド24に組み込まれている。ヘッド24は電源28および電圧調整 器30に接続せしめられた一つの信号発生器26により駆動される。タイミング 回路32がヘッド24に組み込まれた流体噴射装置またはインク噴射装置の圧電 変換器に駆動用の電圧パルスを発生するために信号発生器に接続され、ヘッド2 4は上述したタイプの長いパルスとその前または後の短いパルスとを有する。 図3に示したように、小滴20はコンベア38で搬送された目標物または対象 36に向かって矢印34で示した方向に噴射される。多くの用途では、ヘッド2 4を目標物36から僅かに離すことが望まれまたは必要である。したがって本発 明に従って高分解能を有する小滴および精度を得るために長い射程距離を有し且 つ尾部がほとんどないまたは尾部がない高速な小滴を得ることは重要である。 本発明は特定のタイプの波形に制限されないことは明らかである 。波形は方形または矩形である必要はなく、図4に示したように鋸歯状でも良く 、また長いパルス37と短いパルス39との間の電圧はゼロにする必要はなく実 質的に長いパルスと短いパルスの最高点より小さい振幅にすればよい。この観点 で、図4に示した時間Iと時間Jとの間の長いパルスは時間Kと時間Lとの間の 短いパルス39のようにほぼ三角形である。さらに、長いパルスと短いパルスと を分け隔てる時間Jと時間Kとの間の時間は時間Kと時間Lとの間の短いパルス の後に続く電圧のように変化するゼロではない電圧という点に特徴がある。この 効果は時間Iと時間Jとの間の長いパルスで圧電変換器の励振固有振動または共 振振動を起こし、時間Kと時間Lとの間の短いパルスで高調波振動数を起こすこ とにある。もちろん、前述のように短いパルスは図4の波形の長いパルスの前お よび後のどちらでも良い。図4aには別のパルス37aおよび37bが示されて おり、ここでは短いパルスが長いパルスの後に続く。 前述のように、図2A、図2A’、図4、図4Aの波形を使用した好適な実施 例は長いパルスが14.5マイクロ秒で短いパルスが3.0マイクロ秒である。 他の実施例では圧電変換器の共振振動数に依存して異なった幅を有してもよい。 例えば、幅の長いパルスを5マイクロ秒〜100マイクロ秒とし、幅の短いパル スを0.5マイクロ秒〜6マイクロ秒としてもよい。同様に、パルス間の時間も 0.1マイクロ秒〜5マイクロ秒の間で変えることができる。 図4を参照すると、ここで述べる波形は特に安定した性能が得られることが望 ましい。図4の波形を得るためには圧電変換器と直列な抵抗を有することが望ま しい。この観点で図5を参照すると、少なくとも100オームの抵抗40が電極 42と電極44との間に配置された圧電変換器10と直列に接続される。図に示 したように、圧電変換器10は図2Bと図2Cに示したように膨張と縮小をする 縦振動モードの変換器であり、この圧電変換器10の長さは15mm(0.6イン チ)以下である。圧電変換器10はダイアフラム46を介してチャンバ14に接 続される。チャンバ14内に通ずる流入孔48を示した。好適な実施例において 、チャンバ14は50kHz以上の、好ましくは90kHzのヘルムホルツ共振振動数 を確実にするのに十分なほどの小さい容量しか有しておらず、このチャンバ14 は1997年3月25日提出の米国特許出願第08/828,758号に示された印刷ヘッド内で 実施化されており、これは参照して本願の一部を構成する。さらに、図5に示し た特別なインパルスインク噴射に関する詳細は米国特許第4,697,193号に記載さ れており、参照して本願の一部を構成するが、50kHzを超えるヘルムホルツ振 動数はこの特許には開示されていない。 図6では、図2Bおよび図2Cに示した流体噴射装置のチャンバ圧力に図4a に示した電圧波形に類似した電圧波形を重ねて示した。ここで装置の共振振動数 に対応したチャンバ圧力の変化は基本的に長いパルス37bの結果である減衰正 弦であり、この減衰正弦は装置の高調波を起こす短いパルス39bの結果である 小さい波を伴う。装置の高調波に対応した小さい波は段部50のような形状をし ており、この段部50は短いパルス39bの後縁52と一致し、図2Cに示した ような小さい小滴を作り出すために小滴の尾部を切り離す。その結果、小滴は高 速でさらに遠くまで進むことができるようになり、すなわち射程距離が増加する ことになる。 小滴の尾部を加速して且つこの尾部が減速されないことを確実にするために変 換器の高調波が起こされなければならないことは明らかである。圧電変換器の共 振振動数と高調波との間に適切な関係を示すために、図6を参照すると、共振振 動数は概して正弦曲線形状48により示され、高調波振動数は正弦波形50によ り示され、こ の正弦波形50には特定の高調波振動が起こるようなパルスのタイミングで適切 に間隔を空けられる。この高調波振動数と共振振動数との関係は尾部が切り離さ れることと、小滴にとどまった尾部の残りの部分が小滴頭部に加速されることを 確実にし、従って射程距離と速度が改善される。特定の変換器および特定の波形 を示したが、流体またはインクが変換器として働くバブルジェットを含む様々な 装置で本発明を実施してもよいことは明らかである。加えて、本発明を別の形状 および形態の変換器で実行しても良く、すなわち必ずしも縦振動モードの膨張型 変換器でなくてもよい。例えば複数のベンダ(bender)と壁を共有した複数の変換 器とを用いていもよい。さらに、特定の駆動波形を電圧パルスではなくエネルギ パルスとし、高調波と同様に共振振動数を起こすことを確実にする適切な時間で 変換器を作動および停止してもよい。最後に、流体はインクでなくてもよく、例 えば計量のような様々な目的のために小滴状で噴射されなければならない流体で もよい。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 EP(AT,BE,CH,DE, DK,ES,FI,FR,GB,GR,IE,IT,L U,MC,NL,PT,SE),OA(BF,BJ,CF ,CG,CI,CM,GA,GN,ML,MR,NE, SN,TD,TG),AP(GH,GM,KE,LS,M W,SD,SZ,UG,ZW),EA(AM,AZ,BY ,KG,KZ,MD,RU,TJ,TM),AL,AM ,AT,AU,AZ,BA,BB,BG,BR,BY, CA,CH,CN,CU,CZ,DE,DK,EE,E S,FI,GB,GE,GH,GM,GW,HU,ID ,IL,IS,JP,KE,KG,KP,KR,KZ, LC,LK,LR,LS,LT,LU,LV,MD,M G,MK,MN,MW,MX,NO,NZ,PL,PT ,RO,RU,SD,SE,SG,SI,SK,SL, TJ,TM,TR,TT,UA,UG,UZ,VN,Y U,ZW (72)発明者 ロジャース,ロバート エル. アメリカ合衆国,コネチカット 06482, サンディ フーク,ルッセット ロード 29 (72)発明者 タマリン,チャールズ エス. アメリカ合衆国,ニューヨーク 10804, ニュー ロチェル,エイビス ドライブ 6

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1.チャンバと該チャンバから小滴を噴射するためのオリフィスと共振振動数 および高調波振動数を有する変換器とを具備するインパルス流体噴射装置を作動 させる方法であって、 前記変換器手段に連結された第一の幅の一つのエネルギパルスを発生する工程 と、 前記一つのエネルギパルスに応答して頭部と該頭部に結び付けられた尾部とを 有する小滴の噴射を起こす工程と、 前記変換器手段に連結された第二の幅の別のエネルギパルスであって高調波振 動数を起こすために前記一つのエネルギパルスより幅が実質的に短い第二の幅の 別のエネルギパルスを発生する工程と、 前記頭部と前記尾部の残りの部分とが目標物に向かって共に進むように前記別 のエネルギパルスに応答して前記頭部から前記尾部を切り離す工程とを具備する インパルス流体噴射装置を作動させる方法。 2.前記別のパルスが時間的に前記一つのパルスの後に起こる請求項1に記載 のインパルス流体噴射装置を作動させる方法。 3.前記別のパルスが時間的に前記一つのパルスの前に起こる請求項1に記載 のインパルス流体噴射装置を作動させる方法。 4.前記頭部と前記尾部とを有する前記小滴が少なくとも20ピコリットルの インクを具備する請求項1に記載のインパルス流体噴射装置を作動させる方法。 5.前記頭部と前記尾部とを有する前記小滴が少なくとも秒速6メートルの速 度で進む請求項1に記載のインパルス流体噴射装置を作動させる方法。 6.前記小滴は少なくとも6.4mm(0.25インチ)の射程距 離を進む請求項1に記載のインパルス流体噴射装置を作動させる方法。 7.変換器のエネルギ状態に応答して小滴を噴射するためのオリフィスを有す るチャンバを具備するインパルス流体噴射装置を作動させる方法であって、前記 変換器は50kHzを超える共振振動数と150kHz以上の高調波振動数とを有し、 前記共振振動を起こさせるために前記変換器に連結された一つの幅の一つのエ ネルギパルスを発生する工程と、 前記一つのエネルギパルスに応答して頭部と該頭部に結び付けられた尾部とを 有する小滴の噴射を起こす工程と、、 前記変換器に連結された別のエネルギパルスであって前記高調波を起こすため に前記一つの幅より実質的に短い別の幅の別のエネルギパルスを発生する工程と 、 前記別のエネルギパルスに応答して前記尾部の残りの部分と前記尾部の前記頭 部が共に進むように少なくとも前記尾部を前記頭部から切り離す工程とを具備す るインパルス流体噴射装置を作動させる方法。 8.前記インパルス流体噴射装置は50kHzを超えるヘルムホルツ流体振動数 を有する請求項7に記載のインパルス流体噴射装置を作動させる方法。 9.前記共振振動数は75kHzより大きく、前記高調波振動数は200kHzより 大きい請求項7に記載のインパルス流体噴射装置を作動させる方法。 10.前記一つの幅は5μ秒以上であり、前記別の幅は0.5μ秒以上である 請求項7に記載のインパルス流体噴射装置を作動させる方法。 11.前記一つの幅は5μ秒〜100μ秒であり、前記別の幅は 0.5μ秒〜6μ秒である請求項7に記載のインパルス流体噴射装置を作動させ る方法。 12.前記一つのエネルギパルスと前記他のエネルギパルスとの間の時間延滞 は少なくとも0.1μ秒に等しい請求項7に記載のインパルス流体噴射装置を作 動させる方法。。 13.前記一つのエネルギパルスと前記他のエネルギパルスとの間の時間延滞 は0.1μ秒〜5μ秒である請求項7に記載のインパルス流体噴射装置を作動さ せる方法。 14.オリフィスを有する流体噴射チャンバと、 前記噴射チャンバに接続された圧電変換器とを具備し、該圧電変換器は共振振 動数と高調波振動数とを有し、 必要に応じて流体の小滴を噴射するのに前記圧電変換器のエネルギ状態を変化 させるために前記圧電変換器に接続されたパルス発生回路とを具備し、前記パル ス発生回路は一つのパルスと別のパルスとを発生させ、前記一つのパルスは前記 共振振動数を起こし、前記一つのパルスに応答して前記オリフィスからインクの 小滴および尾部を噴射させ、前記別のパルスは前記高調波振動数を起こし、少な くとも前記尾部を前記頭部から切り離すインパルス流体噴射装置。 15.前記別のパルスが時間的に前記一つのパルスの後に起こる請求項14に 記載のインパルス流体噴射装置。 16.前記別のパルスが時間的に前記一つのパルスの前に起こる請求項14に 記載のインパルス流体噴射装置。 17.前記変換器は縦振動モード膨張タイプである請求項3に記載のインパル ス流体噴射装置。 18.前記変換器は長さが12.7mm(0.5インチ)以下である請求項14 に記載のインパルス流体噴射装置。 19.前記共振振動数は50kHz以上であり、前記高調波振動数 は200kHz以上である請求項17に記載のインパルス流体噴射装置。 20.前記一つのパルスは5μ秒以上であり、前記別のパルスは0.5μ秒以 上である請求項14に記載のインパルス流体噴射装置。 21.前記一つのパルスは5μ秒〜100μ秒であり、前記別のパルスは0. 5μ秒〜6μ秒である請求項19に記載のインパルス流体噴射装置。 22.前記パルス発生回路は前記一つのパルスと前記別のパルスとの間に0. 1μ秒以上の遅延幅を作り出す請求項19に記載のインパルス流体噴射装置。 23.前記パルス発生回路は前記一つのパルスと前記別のパルスとの間に0. 1μ秒〜0.5μ秒の遅延幅を作り出す請求項20に記載のインパルス流体噴射 装置。 24.前記パルス発生回路は少なくとも100オームの前記変換器に直列の抵 抗を有する請求項14に記載のインパルス流体噴射装置。 25.前記パルス発生回路は100オーム〜500オームの前記変換器に直列 の抵抗を有する請求項14に記載のインパルス流体噴射装置。
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