JP2001506378A - 実質的に相互に垂直な２つの軸においてビームを走査するために光学装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 実質的に相互に垂直な２つの軸においてビームを走査する光学装置であって、とりわけ共焦点レーザ走査顕微鏡で使用されるものにおいて、重大な結像誤差を回避するために、３つのミラー（１，２，３）が設けられており、当該ミラーのうち２つのミラー（１，２）は、第１の駆動部によって第１の軸（ｙ軸）を中心に、１つのミラー（３）は第２の駆動部によって第２の軸（ｘ軸）を中心に回転可能であり、前記第２の軸（ｘ軸）は第１の軸（ｙ軸）に対して直交しており、前記２つのミラー（１，２）は相互に所定の角度位置関係の下で回動不能に配属されており、これらミラーは共通にｙ軸を中心に回転し、その際にビーム（４）を、単独で回転する第３のミラー（３）の回転軸（ｘ軸）上にある回転点を中心に回転させる。

Description

【発明の詳細な説明】 実質的に相互に垂直な２つの軸においてビームを走査するために光学装置 本発明は、実質的に相互に垂直な２つの軸においてビームを走査するための光 学装置に関し、とりわけ共焦点レーザスキャン顕微鏡に使用するための光学装置 であって、それぞれ１つの駆動部により、相互に垂直な軸（ｘ軸とｙ軸）を中心 に回転可能な２つのミラーを有する光学装置に関する。 ここでは基本的に、実質的に垂直な２つの軸でビームを走査するための装置を 取り扱い、ここでは光ビームが２つの軸で対物レンズの瞳孔を中心に、またはこ れに対して共役の平面で回転されることが重要である。 実際にはすでに種々のｘ−ｙスキャナの実施形態が公知である。刊行物、J.Mo ntagu著：“Two-axis beam steering system,TABS”,Proceedings Reprint,SPIE -The International Society for Optical Engineering,Vol.1920,1993,pp162-1 73.(Smart Strucures and Materials 1993からの再版：“Active and Adaptive Optical Components and Systems II”,1-4 February 1993,Albuquerque,New Me xico)から種々のスキャナが公知である。 シングルミラー型スキャナでは、軸を中心に回転するミラーが１つだけ設けら れており、ここではミラーの回転軸は光軸に相応しない。シングルミラー型スキ ャナは通常、カルダン懸架されたミラーをｘ方向およびｙ方向の走査のために有 する。 成る程、ここではミラーを１つしか使用しないため、複数のミラーによる光損 失は最小化される。しかしそのためにｘ−ガルバノメータを常に共に移動しなけ ればならない。すなわち、その質量を加速および減速しなければならない。この ためにフレーム速度(Bildrate)が毎秒約１０フレームに制限される。すなわち過 度に大きな振動慣性が顕微鏡システムに惹起されるためである。さらに共振型ス キャナは、そのために必要な固定据え付けのために使用することはできない。 ２ミラー型スキャナでは、所定の角度の下で相互に配置された２つのミラーが 設けられている。これらのミラーは相互に直交配置された回転軸を中心に回転す る。しかしこのような構成は必ずしも必要ではない。 入射するビームはいずれにしろ、ビーム路（光路）中の最後のミラーの回転軸に 対して平行に延在する。 さらにいわゆる“パドル”スキャナと“ゴルフクラブ”スキャナが、２ミラー 型スキャナの特別な実施形態として公知である。これらのスキャナでは、ビーム の回転が仮想（ヴァーチャル）回転点を中心に単に近似的に達成される。このこ とは基本的に結像誤差に結 び付く。 A.F.Slomba:"Alaser flying spot scanner for use in automated fluoresce nce antibody instrumentation",Vol.6,No.3,May-June 1972,pp230-234.によれ ば同様に、蛍光顕微鏡並びに共焦点顕微鏡での適用の観点からミラー型スキャナ が公知である。これについては単に補充的に述べておく。 実質的に相互に直交する２つの軸においてビームを走査するための、前に述べ た公知の光学装置には実際には種々の理由から問題がある。特に重要な問題は、 結像誤差が非常に大きいことと、さらには駆動部の少なくとも１つを常に共に運 動しなければならないことによる問題である。このことはフレーム速度の大きな 制限に結び付く。いずれにしろ公知の２ミラー型装置は、ビームの回転を仮想回 転点を中心にして近似的にしか達成していない。そのためこの走査の際には、大 きな結像誤差が生じる。 本発明の課題は、実質的に相互に直交する２つの軸においてビームを走査する ための光学装置を提供するものであり、この光学装置においては重大な結像誤差 が回避され、リアルタイム適用、すなわち通常のビデオ速度に対する高いフレー ム速度が可能であり、画像がとりわけ共焦点顕微鏡において容易に位置調整ない し調心できるように構成することである。 本発明による、実質的に相互に直交する２つの軸に おいてビームを走査するための光学装置は、前記課題を請求項１に記載の構成に よって解決する。これによれば、冒頭に述べた光学装置−２ミラー型スキャナー は次のように補完される。すなわち、２つのミラーの一方に別のミラーが所定の 角度位置で回動不能に配属され、これにより相互に配属されたミラー−第１と第 ２のミラー−が共にｙ軸を中心に回転し、ここでビーム（光線）は単独で回転す る第３のミラーの回転軸（ｘ軸）にある回転点を中心に回転する。 本発明によれば、第３のミラーにより−不可避のミラー欠陥による−さらなる 光損失が生じるが、ここで３つのミラー構成体は、カルダン懸架された走査ミラ ーのように作用し、ビーム回転点が２つの走査方向ｘとｙで１つの点に重なるよ うになる。そうでなければ、走査過程で補正不能な誤差およびビームのぼけが生 じていることとなる。なぜなら、テレセントリックビーム路がもやは存在しない こととなるからである。ここで請求される構成は、僅かなｙ依存性の相対的ライ ンシフトを次式により形成する。 ただし、βは走査角、αはｙスキャナの回転軸と、ｘ走査ミラーに入射するビー ムとの間のビーム角である。 ライン（行 Zeilen）シフトは、典型的には７°の走査角においてフレーム幅 の２％よりも小さい。した がって多くの適用に対して無視できる。しかし必要な場合には、適切なｙ依存性 オフセットをｘ駆動部に設けることよりラインシフトを容易に補償することがで きる。特別な場合には、画像の上方および下方縁部にある偏光が僅かな角度だけ 回転されていることに注意して欲しい。例えばカルダン懸架の場合のように１つ のミラーではなく、ここでは３つのミラーが使用されるという不利益は、走査速 度の要求が高い場合には容易に平衡（バランス）される。すなわちここでは加速 しなければならない質量が格段に小さいことにより平衡化（補償）される。いず れにしろここでも、周波数の高い駆動部を使用することができる。なぜなら、こ の駆動部は本発明の構成では静的に取り付けられているからである。 本発明ではいずれにしろ、結像誤差の最小化が光損失と引き替えに達成される 。しかし光損失は多数の適用例において少なくともある程度まではそれほど重要 でない。 請求された光学装置の具体的構成に関しては、２つの共通に回転するミラー− 第１と第２のミラー−が、単独で回転する第３のミラーにビーム路中で前置され る。入射するビームは、２つの相互に配属されたミラーのうち第１のミラーに入 射する。すなわち特に有利には、それらの共通の回転軸（ｙ軸）に合致する。 光学装置の具体的構造に関して、２つの相互に配属 されたミラーが回転可能な取付受部ないし収容部（Aufnahme）に配置されると有 利である。ここで２つのミラーの相互の角度位置およびその間隔は不変である。 取付受部全体は、入射ビームの光軸（ｙ軸）を中心に回転可能である。 同じように、２つの相互に配属されたミラーを−単純な取付受部ではなく−ケ ーシングに配置し、ミラーの保護が得られるようにすると有利である。前に述べ た取付受部の構成に相応して、ケーシングも入射ビームの回転軸（ｙ軸）を中心 に回転する。 ケーシングはさらに、入射ビームに対する入射開口部を有し、ビームはケーシ ングの回転軸で、２つの相互に配属されたミラーのうちの第１のミラーに入射し 、第２のミラーに向かって反射される。第３のミラーはケーシングの外に回転可 能に配置することができる。しかし特に有利な構成の枠内では、ケーシングは切 欠部を有し、ケーシングはこの切欠部に対して少なくとも部分的に開放している 。単独で回転可能な第３のミラー（ｘ回転軸）はケーシングとは独立に回転可能 であり、ケーシングの切欠部内に配置される。 ケーシング内部に固定配置された２つのミラーのうちの第１のミラーの配置構 成に相応して、ビームは第２のミラーによりケーシングの切欠部へ反射され、ビ ームはそこに配置された、単独で回転可能な第３のミラーに入射する。ここから ビームはケーシングの外に 向かうか、または再びケーシング内部へ戻り、特別な出射開口部を通ってケーシ ングから外に導かれる。前に述べた実施形態によれば、ケーシング内部に小型の 構造が実現され、第３のミラーはケーシングの切欠部の領域においてケーシング 内部でほぼ自由に回転可能に配置される。さらに第３のミラーはケーシングによ って少なくとも部分的に覆われるか、またはカバーされ、これにより少なくとも 十分に保護される。 さらに別の実施形態の枠内において、相互に所定の角度位置で回動不能に配属 され、共に光軸を中心に回転する２つのミラー−第１のミラーと第２のミラー− と、単独で回転するミラー−第３のミラー−に、別のミラー対を後置することが できる。ここでこの別のミラー対には、相互に所定の角度位置で回動不能に配属 された２つのミラー−第４と第５のミラー−が配属される。最終的に、第４と第 ５のミラーは、第１と第２のミラーと同じように相互に固定配置されており、そ れぞれのミラー面の所定の所定の角度位置にある。 ２つの別のミラーは、光軸を中心に回転する取付受部に取り付けることができ る。これは、最初の２つのミラーの場合と同じようにすることができる。ここで 単独でｘ軸を中心に回転する第３のミラーは、第２の取付受部と可動に結合する ことができる。この第３のミラーは第２の取付受部とは独立してｘ軸を中心に回 転することができるが、第２の取付受部と共に共通に ｙ軸を中心に旋回可能である。 特に有利な実施形態の枠内において、第１の取付受部は第２の取付受部に配置 され、光軸を中心に回転可能にこれと結合される。ここで第１の取付受部が第２ の取付受部に依存しないで回転することは、同様にｙ軸ないし光軸に関連する。 すでに説明した３ミラー構成と同じように特に小型に構成する場合、２つの相 互に配属された別のミラーー第４と第５のミラー−を光軸（ｙ軸）を中心に回転 する第２のケーシングに配置することができる。ここでｘ軸を中心に単独で回転 する第３のミラーは第２のケーシングに可動に配置される。第１のケーシングも また第２のケーシングに配置することができ、光軸（ｙ軸）を中心に回転可能に これと結合することができる。第１のケーシングの独立した回転可能性はいずれ にしろ同じように、光軸ないしｙ軸に関連する。 すでに前に何回も述べたように、取付受部ないしケーシングは、入射ビームの 光軸（ｙ軸）で回転する。同じように出射ビームが入射ビームの光軸にあっても 良い。しかし出射ビームを入射ビームの光軸に対して所定の角度の下で配向し、 例えば出射ビームを入射ビームに対してほぼ直交するように導くことも考えられ る。 前に説明した構成のミラーは特に簡単な構成の枠内では、平坦に構成されたミ ラー面を有する。しかし同 じように、ミラーを少なくとも僅かに湾曲したミラー面を有するように構成する ことも考えられる。ここでミラー面の湾曲部は結像のため、ないし結像誤差の補 正のために使用することができる。 本発明の装置の特別な利点は、ミラーないし取付受部またはケーシングの回転 運動に対する駆動部をこれらの部材から少なくとも構造的ないし身体的観点から 分離されることである。すなわち有利には駆動部は位置固定して配置され、した がって共に運動する必要がない。その点で駆動部として問題なしにガルバノメー タ、とりわけ高周波数の共振型ガルバノメータを使用することができ、過度に大 きな振動慣性が顕微鏡システムに惹起されることがない。さらにリアルタイム処 理を可能とするような高いフレーム速度が達成される。 ガルバノメータを駆動部として使用する枠内で、ｙ軸を中心に回転するミラー がガルバノメータにより、ｘ軸を中心に回転するミラーが高周波数の共振型ガル バノメータにより回転駆動されると有利である。しかし同じように、駆動部とし てステップモータないしステッピングモータを設けることも考えられる。 ミラーの回転性は任意に構成することができ、ミラーは約６０°までの領域で 回転可能であれば十分である。それ以上の回転性は具体的に選択された実施例に 相応して通常は必要ない。 すでに冒頭で述べたように、ここに提案された構成でも双曲線状歪曲が結像の 際に発生する。有利にはこの双曲線状歪曲はｙ位置に依存して補正可能である。 具体的には双曲線状歪曲は、ｘ駆動部における適切なｙ依存性オフセットにより 補償することができ、ここでは偏光が画像の上方縁部と下方縁部で僅かに回転し ていることに注意すべきである。 双曲線状歪曲を、ｘ位置信号の評価の際に初めて考慮し、補償することもでき る。双曲線状歪曲のそのような考慮および補償は例えば画像デジタル化の後に行 うことができる。 本発明の思想を有利に構成し、改善するには多数の手段がある。このために一 方では、請求項１に従属する請求項を、他方では以下の、図面に基づく本発明の 実施例の説明を参照されたい。本発明の有利な実施例の説明に関連して、一般的 に有利な構成および改善形態も説明する。 ［図面の簡単な説明］ 図１は、実質的に相互に垂直な軸においてビームを走査するための、本発明の 光学装置の第１実施例を概略的に示し、ここでは全体で３つのミラーが設けられ ている。 図２は、図１からの構成を示し、ここではミラーが１つのケーシングに配置さ れている。 図３は、図２からの構成を、ビーム路とミラーの回 転運動がわかるように概略的に示している。 図４は、図３の装置により実現された、結像誤差を伴う結像を示す。 図５は、図１の図示に類似する、全体で５つのミラーを有する本発明の構成の 別の実施例を示す。 図６は、図１に類似する別の実施例を示す。 ［実施例］ 図１は、実質的に相互に直交する軸においてビームを走査するための光学装置 を示し、この装置は例えば共焦点レーザ走査顕微鏡に使用される。 装置は３つのミラー１〜３を有し、これらのうち２つのミラー１，２が第１の 駆動部により第１の軸、すなわちｙ軸を中心に回転され、１つのミラー３が第２ の駆動部により第２の軸、すなわち第１の軸（ｙ軸）に対して直交するｘ軸を中 心に回転される。 本発明ではミラー１に別のミラー２が所定の角度位置で回動不能に配属されて おり、これにより相互に配属されたミラー１，２−第１と第２のミラー−は共通 にｙ軸５を中心に回転し、その際にビームは単独で回転する第３のミラー３の回 転軸（ｘ軸）にある回転点を中心に回転する。 共通に回転する２つのミラー１，２−第１と第２のミラー−は、単独で回転す る第３のミラー３にビーム路中で前置されている。ここで入射ビーム４は、共通 の回転軸５にある２つの相互に配属されたミラー１， ２のうち第１のミラー１に入射する。図１からわかるように、２つの部分ビーム 路はミラー１と２の間、およびミラー２と３の間−すなわちビーム９−で、ミラ −２への−仮想−入射スリットを基準にしてほぼ対称に延在する。図６からわか るように、このことはケーシング６に位置固定して取り付けられたミラー２を、 ビーム９がｙ軸４ないし５に対して垂直に延在するように位置決めしても可能で ある。 図１，２および３に示された実施例では、２つの相互に配属されたミラー１， ２が１つのケーシング６に配置されていることを示している。ケーシング６は、 入射ビーム４の光軸５（ｙ軸）を中心に回転する。 図１と図２はさらに、ケーシング６が入射ビーム４に対する入射開口部７を有 し、ビーム４はケーシング６の回転軸５で、２つの相互に配属されたミラー１， ２のうち第１のミラー１に入射し、第１のミラーから第２のミラー２へ反射され ることを示している。 図２によればケーシングは切欠部８を有し、ケーシング６はこの切欠部に対し て開放している。単独で回転する第３のミラー３は、ケーシング６から独立して ｘ軸を中心に、切欠部８の中を回転可能に配置されている。 単独で回転するミラー３に入射するビーム９は第３のミラー３からケーシング ６に戻り、出射開口部１０を通ってケーシング６の外へ結像のために反射される 。 図１を参照すると、ミラー１と２はケーシング６と固定的に結合されており、 相互に所定の角度位置関係にあることがわかる。ケーシング６自体は光軸５ない しｙ軸を中心に回転する。第３のミラー３は、光軸５に対して直交するよう形成 されたｘ軸を中心に回転する。 ｘ軸を中心にしたミラー３の回転によって画像はｘ軸の回りに走査される。光 軸５を中心にしたケーシング６の回転により、画像はｙ方向に（ｙ軸の回りに） 走査される。ケーシング６を光軸５を中心に、ミラー３をｘ軸を中心に同時に回 転することにより、画像が回転する。ここで発生するｙ軸依存性のｘ軸シフトは ｙ軸依存性オフセットにより補正される。偏光回転は、スキャナのｙ依存性回転 によって補正される。 結像誤差ないし双曲線状歪曲（像の歪曲）１７が図４に示されている。これは 図１〜図３の装置を適用した際に発生する。その他の補正手段については、繰り 返しを避けるため概説の部分を参照されたい。 図５は、実質的に相互に直交する２つの軸においてビームを走査するための本 発明の光学装置の別の実施例を示し、ここでは相互に所定の角度位置関係で回動 不能に配属された２つのミラー１，２−第１と第２のミラー−と、単独で回転す るミラー３−第３のミラー−に、別のミラー対が後置されている。この別のミラ ー対は、相互に所定の角度位置関係で回動不能に配属されたミラー１１，１２、 すなわち第４と第５のミラーを有する。 ２つの別のミラー１１，１２は、光軸５（ｙ軸）を中心に回転可能な第２のケ ーシング１３に配置されている。ここでｘ軸を中心に単独で回転可能な第３のミ ラー３は第２のケーシング１３に可動に配置されている。図５はさらに、第１の ケーシング６が第２のケーシング１３内に配置されており、これと共に光軸５を 中心に回転可能に結合されていることを示している。出射ビーム１４は入射ビー ム４の光軸５上にあるが、出射ビームは光軸に対し、必要に応じて任意の角度が 実現できる。 図５を参照すると、ミラー１と２は（第１の）ケーシング６に対し固定結合さ れており、相互に所定の角度位置関係の下にあることがわかる。ミラー１１，１ ２は第２のケーシング１３に対し固定結合されている。ｘ軸を中心に回転する第 ３のミラー３は、ｘ軸を中心に回転可能であるように第２のケーシング１３と結 合されている。第１のケーシング６は、第２のケーシング１３内に光軸５を中心 に回転するよう配置されており、ここでケーシング６はケーシング１３と結合さ れている。第２のケーシング１３は光軸５を中心に回転可能であり、ｘ軸を中心 にしたミラー３の回転は光軸５に対して直交し、これによりｘ方向の（ｘ軸の回 りの）走査が行われる。 第１のケーシング６が光軸５を中心に回転することにより、ｙ方向の（ｙ軸の 回りの）走査が行われる。第２のケーシング１３が光軸５を中心に回転すること により、画像は画像中心の回りに回転する。走査角をｘ方向およびｙ方向で小さ くすることにより画像がズームされる。 ここで使用されるミラー１，２，１１と１２のミラー面は平坦に構成されてい る。湾曲に構成する手段、およびこれに関連する利点については明細書の概説部 分を参照されたい。 駆動部としてここではガルバノメータが設けられており、ｙ軸を中心にした駆 動にはガルバノメータ１５が、ｘ軸を中心にした駆動には共振型ガルバノメータ １６が使用される。他の駆動部も同じように使用可能である。 最後に、ここに説明した実施例は請求された技術思想を理解するためのもので あり、実施例への制限ではないことを強調しておく。 参照符号リスト １ 第１のミラー ２ 第２のミラー ３ 第３のミラー（ｘ軸を中心に回転可能） ４ 入射ビーム ５ 回転軸、光軸（ｙ軸） ６ 第１のケーシング ７ ケーシング（６）への入射開口部 ８ ケーシング（６）の切欠部 ９ 第３のミラー（３）へ当たるビーム １０ ケーシング（６）の出射開口部 １１ 第４のミラー １２ 第５のミラー １３ 第２のケーシング １４ 出射ビーム（ケーシング（１３）からの） １５ ガルバノメータ（ｙ軸） １６ 共振型ガルバノメータ（ｘ軸） １７ 双曲線状（像）歪曲 ｘ ｘ軸 α ｘ軸を中心にした走査角 β ｙ軸を中心にした走査角

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １． 実質的に相互に垂直な２つの軸においてビームを走査する光学装置であ って、とりわけ共焦点レーザ走査顕微鏡で使用されるものにおいて、 ３つのミラー（１，２，３）が設けられており、 当該ミラーのうち２つのミラー（１，２）は、第１の駆動部によって第１の軸 （ｙ軸）を中心に、１つのミラー（３）は第２の駆動部によって第１の軸（ｙ軸 ）に対して直交する第２の軸（ｘ軸）を中心に回転可能であり、 前記２つのミラー（１，２）は相互に所定の角度位置の下で回動不能に配属さ れており、これらミラーは共通にｙ軸を中心に回転し、その際にビーム（４）を 、単独で回転する第３のミラー（３）の回転軸（ｘ軸）上にある回転点を中心に 回転させる、 ことを特徴とする光学装置。 ２． ２つの共通に回転するミラー（１，２）−第１と第２のミラー−に対し 、単独で回転する第３のミラー（３）がビーム路（４，９）中で前置されている 、請求項１記載の装置。 ３． 入射ビーム（４）は、２つの相互に配属されたミラーのうち第１のミラ ー（１）に、それらの共通の回転軸（５）−ｙ軸−に合致し、請求項２記載の装 置。 ４． ２つの相互に配属されたミラー（１，２）は回転可能な取付受部に配置 されている、請求項１から３までのいずれか１項記載の装置。 ５． 前記取付受部は、入射ビーム（４）の光軸（５）−ｙ軸−を中心に回転 する、請求項４記載の装置。 ６． ２つの相互に配属されたミラー（１，２）は１つのケーシング（６）に 配置されている、請求項１から５までのいずれか１項記載の装置。 ７． ミラー（２）はケーシング（６）に、当該ミラー（２）から発したビー ム（９）がｙ軸（４ないし５）およびｘ軸に対して直角に向けられるよう位置固 定して位置決めされている、請求項１から６までのいずれか１項記載の装置。 ８． ケーシング（６）は、入射ビーム（４）の光軸（５）−ｙ軸−を中心に 回転する、請求項６または７記載の装置。 ９． ケーシング（６）は、入射ビーム（４）に対する入射開口部（７）を有 し、 該入射ビーム（４）は、ケーシング（６）の回転軸で、２つの相互に配属され たミラーのうち第１のミラー（１）に当たり、第２のミラー（２）に向かって反 射される、請求項６から８までのいずれか１項記載の装置。 １０． ケーシング（６）は切欠部（８）を有しか つ該切欠部に対して少なくとも部分的に開放しており、 単独で回転する第３のミラー（３）はケーシング（６）とは独立して回転可能 に切欠部（８）に配置されている、請求項９記載の装置。 １１． 単独で回転する第３のミラー（３）に入射するビーム（９）は該第３ のミラーからケーシング（６）へ戻され、出射開口部（１０）を通ってケーシン グ（６）から外へ反射される、請求項１０記載の装置。 １２． 相互に所定の角度位置で回動不能に配属され、光軸（５）を中心に共 通に回転する２つのミラー（１，２）−第１と第２のミラー−と、単独で回転す るミラー（３）−第３のミラー−には、別のミラー対が後置されており、 当該別のミラー対は、相互に所定の角度位置で回動不能に配属された２つのミ ラー（１１，１２）−第４と第５のミラー−を有する、請求項１から１１までの いずれか１項記載の装置。 １３． 前記２つの別のミラー（１１，１２）は、前記光軸（５）を中心に回 転する取付受部に取り付けられており、ｘ軸を中心に単独で回転する前記ミラー （３）は第２の取付受部と可動に結合されている、請求項１２記載の装置。 １４． 第１の取付受部は第２の取付受部に配置さ れており、これと光軸（５）を中心に回転可能に結合されている、請求項１３記 載の装置。 １５． ２つの相互に配属された前記別のミラー（１１，１２）−第４と第５ のミラー−は、光軸（５）−ｙ軸−を中心に回転可能な第２のケーシング（１３ ）に配置されており、ｘ軸を中心に単独で回転可能な第３のミラー（３）は第２ のケーシング（１３）に可動に配置されている、請求項１２記載の装置。 １６． 第１のケーシング（６）は第２のケーシング（１３）に配置されてお り、これと光軸（５）を中心に回転可能に結合されている、請求項１５記載の装 置。 １７． 出射ビーム（１４）は、入射ビーム（４）の光軸にある、請求項１か ら１６までのいずれか１項記載の装置。 １８． 出射ビーム（１４）は、任意の角度の下で入射ビーム（４）の光軸（ ５）に対して配向されている、請求項１から１６までのいずれか１項記載の装置 。 １９． 前記ミラー（１，２，３，１１，１２）は平坦に構成されたミラー面 を有する、請求項１から１８までのいずれか１項記載の装置。 ２０． 前記ミラー（１，２，３，１１，１２）は少なくとも僅かに湾曲した ミラー面を有する、請求項１から１８までのいずれか１項記載の装置。 ２１． ミラー面の湾曲部は結像に使用される、請求項２０記載の装置。 ２２． 駆動部は位置固定して配置されている、請求項１から２１までのいず れか１項記載の装置。 ２３． 駆動部としてガルバノメータ（１５）が設けられている、請求項１か ら２２までのいずれか１項記載の装置。 ２４． 該ガルバノメータは共振型ガルバノメータ（１６）である、請求項２ ３記載の装置。 ２５． ｙ軸を中心に回転するミラー（１，２，１１，１２）はガルバノメー タ（１５）により、ｘ軸を中心に回転するミラー（３）は共振型ガルバノメータ （１６）により回転駆動される、請求項２３または２４記載の装置。 ２６． 駆動部としてステップモータが設けられている、請求項１から２２ま でのいずれか１項記載の装置。 ２７． 前記ミラー（１，２，３，１１，１２）は異なる角度の下、有利には 約６０°までの領域で回転可能である、請求項１から２６までのいずれか１項記 載の装置。 ２８． 双曲線状歪曲（１７）を、ｙ位置に依存して補正するための手段が設 けられている、請求項１から２７までのいずれか１項記載の装置。 ２９． 双曲線状歪曲（１７）は、ｘ駆動部上での 適切なｙ依存性オフセットにより補償可能である、請求項２８記載の装置。 ３０． 双曲線状歪曲（１７）は、ｘ位置信号の評価の際に考慮して補償され る、請求項１から２９までのいずれか１項記載の装置。 ３１． 双曲線状歪曲（１７）は、画像デジタル化の後に考慮され補償される 、請求項１から３０までのいずれか１項記載の装置。