JP6945533B2 - 走査顕微鏡における使用のための、対象物を走査する走査装置 - Google Patents
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Description
12 走査ユニット
14 回転装置
16 回転軸
18 偏向エレメント
20a,20b フレーム
22a,22b 旋回軸
24,26 歯車
28 ケーブル
30 駆動ユニット
32,34 半軸
100 走査顕微鏡
102 レーザ光源
104 走査ビーム
106a,106b,118a,
118b,128a,128b レンズ
108 ビームスプリッタ
110,112,114a,
114b ビーム部分
116 ミラー
120 対物レンズ
121 焦点平面
122 対象物
124 対象物テーブル
126 検出ビーム
130 ピンホール
132 検出器
αo,αs 角度
M 中心
P 平面
R1〜R3 方向
10’〜114’,αo’,αs’ 公知の成分もしくは角度
Claims (14)
- 走査顕微鏡(100)における使用のための、対象物(122)を走査する走査装置(10)であって、前記走査装置(10)は、
光線(104)を用いて前記対象物(122)を二次元的に走査する少なくとも1つの走査ユニット(12)と、
画像域を回転させるために、回転軸(16)を中心にして前記走査ユニット(12)を回転させる少なくとも1つの回転装置(14)と、
を備えており、
前記走査ユニット(12)は、少なくとも1つの偏向エレメント(18)を、前記偏向エレメント(18)に当たる光線(110)を偏向するために有しており、
前記偏向エレメント(18)は、回転対称形状を有しており、
前記偏向エレメント(18)は、第1の旋回軸(22a)を中心にして、かつ/または、第2の旋回軸(22b)を中心にして、最大走査角(α s )に相応して旋回可能であり、前記第1の旋回軸(22a)と前記第2の旋回軸(22b)とは、前記走査ユニット(12)が延在している平面(P)に対して平行に延びている、
走査装置(10)。 - それを中心にして前記走査ユニット(12)が回転可能である前記回転軸(16)は、前記走査ユニット(12)が延在している平面(P)に対して垂直に延びている、
請求項1記載の走査装置(10)。 - 前記第1の旋回軸(22a)と前記第2の旋回軸(22b)とは、それぞれ前記偏向エレメント(18)の中心(M)を貫いて延びている、
請求項1または2記載の走査装置(10)。 - 前記回転対称形状は、前記偏向エレメント(18)の前記中心(M)に関係しており、それを中心にして前記走査ユニット(12)が回転可能である前記回転軸(16)は、前記偏向エレメント(18)の前記中心(M)を貫いて延びている、
請求項1から3までのいずれか1項記載の走査装置(10)。 - 前記走査ユニット(12)は、少なくとも0°〜180°の角度範囲において前記回転軸(16)を中心にして回転可能である、
請求項1から4までのいずれか1項記載の走査装置(10)。 - 前記偏向エレメント(18)は、反射エレメントであって、前記反射エレメントに当たる光線(110)を反射するための反射エレメントであり、前記偏向エレメント(18)は、前記当たる光線(110)を偏光させるように反射するために形成されている、
請求項1から5までのいずれか1項記載の走査装置(10)。 - 前記走査ユニット(12)は、MEMSスキャナまたはDMDスキャナを有している、
請求項1から6までのいずれか1項記載の走査装置(10)。 - 前記MEMSスキャナは、モノリシックな2Dスキャナである、
請求項7記載の走査装置(10)。 - 前記回転装置(14)は、駆動ユニット(30)を用いて駆動可能な歯車装置(24,26)を有しており、前記歯車装置(24,26)は、前記走査ユニット(12)を、前記回転軸(16)を中心にして回転させるように形成されている、
請求項1から8までのいずれか1項記載の走査装置(10)。 - 走査顕微鏡(100)であって、前記走査顕微鏡(100)の光路に配置された、請求項1から9までのいずれか1項記載の走査装置(10)を備えた、走査顕微鏡(100)。
- 前記走査ユニット(12)は、前記偏向エレメント(18)に当たる前記光線(110)が前記走査ユニット(12)の休止位置において偏向され、偏向された光線(112)と当たる光線(110)とが、予め確定された偏角(αo)を成すように配置されており、前記予め確定された偏角(αo)は、前記対象物(122)を二次元的に走査するための最大走査角(αs)よりも大きく、かつ45°未満である、
請求項10記載の走査顕微鏡(100)。 - 前記予め確定された偏角(αo)は、35°以下、30°以下、25°以下、20°以下、15°以下、または10°以下である、
請求項11記載の走査顕微鏡(100)。 - 前記最大走査角(αs)は、±25°、±20°、±15°、±10°、または±5°である、
請求項11記載の走査顕微鏡(100)。 - 前記走査顕微鏡(100)は、レーザ走査顕微鏡または共焦点レーザ走査顕微鏡である、
請求項10から13までのいずれか1項記載の走査顕微鏡(100)。
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