JP6989354B2 - 光走査装置及び測距装置 - Google Patents
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Description
外側可動部16は、本実施例においては、矩形の枠形状に形成されている。尚、外側可動部16の形状は矩形の枠形状に限られず、例えば、環状の枠形状に形成されていてもよい。第2の軸AX2は、第1の軸AX1と直交して交差する。第2の軸AX2は、光反射面MRに対して非垂直方向であり、本実施例においては、光反射面MRに平行である。
水平方向走査: DX(θx)=Ax sin(θx+Bx)
垂直方向走査: DY(θy)=Ay sin(θy+By)
10 光走査部
10A MEMSミラー装置
12 固定部
13 保持部
15 内側可動部
16 外側可動部
101 温度検知部
104 角度検知部
105 鉛直方向検出部
20 光源部
30 受光部
MR 光反射面
AX1 第1の軸
AX2 第2の軸
AX3 第3の軸
Claims (11)
- 反射面を有する反射部材と、
第1の軸の周りに揺動可能に前記反射部材を保持する第1保持部材と、
前記第1保持部材を前記第1の軸と交差する第2の軸の周りに揺動可能に保持する第2保持部材と、
前記第2保持部材を前記反射面に交差する第3の軸の周りに回動可能に保持する第3保持部材と、
鉛直方向を検出する鉛直方向検出部と、を有し、
前記鉛直方向検出部による鉛直方向の検出結果に基づいて前記第2保持部材を前記第3の軸周りに回動させることを特徴とする光走査装置。 - 前記第3保持部材は、前記第2保持部材を前記第1の軸及び前記第2の軸の双方に直交する第3の軸回りに回動可能に保持していることを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。
- 前記反射部材の温度を検知する温度検知部を有し、
前記温度検知部が検知した前記温度に応じて前記第2保持部材を前記第3の軸周りに回動させることを特徴とする請求項1又は2に記載の光走査装置。 - 前記反射部材の揺動角度を検知する角度検知部を有し、
前記角度検知部が検知した前記揺動角度に基づいて前記第2保持部材を前記第3の軸周りに回動させることを特徴とする請求項1又は2に記載の光走査装置。 - 前記反射部材の前記揺動角度に基づく前記反射部材の揺動態様を取得する揺動態様取得部を有し、
前記揺動態様の変化に応じて前記第2保持部材を前記第3の軸周りに回動させることを特徴とする請求項4に記載の光走査装置。 - 反射面を有する反射部材と、第1の軸の周りに揺動可能に前記反射部材を保持する第1保持部材と、前記第1保持部材を前記第1の軸と交差する第2の軸の周りに揺動可能に保持する第2保持部材と、前記第2保持部材を前記反射面に交差する第3の軸の周りに回動可能に保持する第3保持部材と、鉛直方向を検出する鉛直方向検出部と、を有し、前記鉛直方向検出部による鉛直方向の検出結果に基づいて前記第2保持部材を前記第3の軸周りに回動させる光走査装置と、
前記光走査装置に向けて光を出射する光源部と、
物体によって反射された前記光を受光する受光部と、
を含むことを特徴とする測距装置。 - 前記第3保持部材は、前記第2保持部材を前記第1の軸及び前記第2の軸の双方に直交する第3の軸回りに回動可能に保持していることを特徴とする請求項6に記載の測距装置。
- 前記反射部材の温度を検知する温度検知部を有し、
前記温度検知部が検知した前記温度に応じて前記第2保持部材を前記第3の軸周りに回動させることを特徴とする請求項6又は7に記載の測距装置。 - 前記反射部材の揺動角度を検知する角度検知部を有し、
前記角度検知部が検知した前記揺動角度に基づいて前記第2保持部材を前記第3の軸周りに回動させることを特徴とする請求項6又は7のいずれかに記載の測距装置。 - 前記反射部材の前記揺動角度に基づく前記反射部材の揺動態様を取得する揺動態様取得部を有し、
前記揺動態様の変化に応じて前記第2保持部材を前記第3の軸周りに回動させることを特徴とする請求項9に記載の測距装置。 - 光を出射する出射部と、
前記光を反射させる反射面を有し、前記光を前記反射面で反射させることによって所定領域を走査する走査部と、
鉛直方向を検出する検出部と、
前記走査部を保持する保持部と、
前記走査部による前記光の走査軌跡及び前記検出部による鉛直方向の検出結果に基づいて前記保持部を前記反射面に交差する軸周りに回動させる回動部と、
を有することを特徴とする光走査装置。
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