JP2001500626A - 放射線電気変換器 - Google Patents
放射線電気変換器Info
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Abstract
(57)【要約】
シンチレータ(1)と結晶シリコン・フォトダイオードチップ(2)とからなる簡単な構造の変換器を得るために、シンチレータ(1)は、直接、活性側が接触部(5)を介してシンチレータ(1)に接触しているフォトダイオードチップ(2)のための支持体として機能する。
Description
【発明の詳細な説明】
放射線電気変換器
この発明は、少なくとも1つの光電変換器のための支持体として機能する発光
物質を備え、光電変換器がこの発光物質に機械的に接合されている放射線電気変
換器に関する。
X線技術においては吸収されたX線を光に変換する発光物質を備えた放射線電
気変換器が利用されている。この場合、この光が例えばフォトダイオードを備え
た感光性の変換器において電気信号に変換される。変換器全体はそれ故入射した
放射線の強さに対する検出器である。
発光物質としてはシンチレータが、フォトダイオードとしては結晶シリコン・
フォトダイオードが使用される。
冒頭に挙げた種類の変換器はドイツ特許出願公開第3009723号明細書に
記載されている。しかし、光電変換器の種類及び光電変換器の電気的接触に関し
ては何も述べられていない。
さらに、米国特許第4734588号明細書には、支持体を備え、この支持体
の上にフォトダイオード・アレーがその電気的接触のために必要な電極と共に設
けられている変換器が記載されている。このフォトダイオード・アレーに個々の
フォトダイオードに付属するシンチレータが接着されている。その場合、フォト
ダイオードの活性側はその構成例に応じてシンチレータに向けられるか或いはこ
のシンチレータの反対側に向けられることができる。
テツヒコ・タカハシ他の論文「X線コンピュータ断層撮影で使用するための、
セラミック・シンチレータにアモルファス・シリコン・フォトダイオードを備え
た集積放射線検出器の設計(Design of Integrated Radiation Detectors with a
-Si Photodiodes on Ceramic Scintilators for Use in X-Ray Computed Tomo-g
raphy)」、IEEEトランザクション、オン、ニュークリヤ、サイエンス、Vo
l.37、No.3、1990年3月、1748〜1482頁により、放射線電
気変換器において結晶シリコン・フォトダイオードも、またアモルファスシリコ
ン・フォトダイオ
ードも使用することができることが公知である。
この発明の課題は、発光物質とフォトダイオードとからなる放射線電気変換器
をできるだけ簡単に構成することにある。
この課題は、この発明によれば、請求項1の特徴事項によって解決される。こ
の発明による変換器においては発光物質が少なくとも1つのフォトダイオード及
びその電気的接触のために必要な接触部のための支持体として機能する。これに
より特別な支持体材、例えば基板或いは印刷配線板を省略することができる。
この発明の実施態様は請求項2以降に示されている。
以下に、この発明を図面を参照して詳しく説明する。図面において、
図1はこの発明による放射線電気変換器の側面図を、
図2は図1による変換器の変形例を下面図で示す。
図1及び2において発光物質1、特にセラミックシンチレータはその下面側で
結晶シリコン・フォトダイオードチップ2を支持している。フォトダイオードチ
ップ2は透明な接着剤3により発光物質1に接合されている。フォトダイオード
チップ2の電気的接触は、フォトダイオードチップ2から接触部5、例えば発光
物質1に蒸着されている金からなる接触部5に至る導電接続を形成する接触層4
により行われている。例えば導電路であるこの接触部5からのさらなる電気的な
接続は、図示されていないが、例えば金線により行われている。
結晶シリコン・フォトダイオードチップ2の活性側、即ち、製造の際の対応の
工程、例えば拡散工程により感光性である側は発光物質1側に向けられている。
接触層4は、接触部5に電気的に接触しているいわゆる接触バンプとして形成さ
れている。
図1及び2によるモジュールは、例えば、コンピュータ断層撮影において、成
いは手荷物スキャナーにおいてコリメータに組み込まれる。しかし、一般的には
かかるモジュールは、放射線を電気信号に変換するあらゆる種類の機器に対して
適している。図1において線6は放射線、例えばX線を指す。
フォトダイオードチップ2はフォトダイオードのマトリックスによって形成さ
れている。この場合、接触部5はそれに対応した数だけ設けられている。この発
明の枠内として、上述の方法でただ1つのフォトダイオードを1つの発光物質に
接合
することもまた可能である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1.少なくとも1つの結晶シリコン・フォトダイオード(2)のための支持体と して機能する発光物質(1)を備え、フォトダイオードがこの発光物質(1)に 機械的に接合されている放射線電気変換器において、結晶シリコン・フォトダイ オード(2)の活性側が発光物質(1)側に向き、かつこの発光物質(1)に設 けられた接触部(5)に電気的に接続されている放射線電気変換器。 2.結晶シリコン・フォトダイオード(2)が発光物質(1)と透明な接着剤( 3)を介して接合されている請求項1に記載の変換器。 3.多数の結晶シリコン・フォトダイオードを備えた結晶シリコン・フォトダイ オードチップ(2)が設けられ、これらのフォトダイオードに必要な数の接触部 (5)が発光物質(1)に設けられている請求項1又は2に記載の変換器。
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