JP2001356248A - 光モジュール - Google Patents
光モジュールInfo
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- JP2001356248A JP2001356248A JP2000179596A JP2000179596A JP2001356248A JP 2001356248 A JP2001356248 A JP 2001356248A JP 2000179596 A JP2000179596 A JP 2000179596A JP 2000179596 A JP2000179596 A JP 2000179596A JP 2001356248 A JP2001356248 A JP 2001356248A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光信号を受光素子に導くための光導波を距離
や湾曲を最小減に抑え簡潔にすることを目的とする。 【解決手段】 導波路構造を有する受光素子３と光導波
路２１，２２を有する光導波路回路２とを集積化した光
モジュールにおいて、該導波路構造への入射光を該導波
路構造にマルチモード伝搬させるように、該導波路構造
に対して該光導波路路の進入角度を該導波路構造の遠視
野角±１０°以内に傾けることを特徴とする。
や湾曲を最小減に抑え簡潔にすることを目的とする。 【解決手段】 導波路構造を有する受光素子３と光導波
路２１，２２を有する光導波路回路２とを集積化した光
モジュールにおいて、該導波路構造への入射光を該導波
路構造にマルチモード伝搬させるように、該導波路構造
に対して該光導波路路の進入角度を該導波路構造の遠視
野角±１０°以内に傾けることを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光モジュールに関す
る。詳しくは、平面光導波回路を用いた光回路部品で光
素子搭載する基板の光回路のレイアウトを容易にすると
ともに基板サイズを低減する光モジュールに関するもの
である。
る。詳しくは、平面光導波回路を用いた光回路部品で光
素子搭載する基板の光回路のレイアウトを容易にすると
ともに基板サイズを低減する光モジュールに関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】半導体光素子と光導波路とを集積化した
ハイブリッド光モジュールでは光導波路回路中に光素子
搭載部を設け、そこに光素子を光学的に突き当て結合す
ることにより、光半導体と光素子とを集積している。
ハイブリッド光モジュールでは光導波路回路中に光素子
搭載部を設け、そこに光素子を光学的に突き当て結合す
ることにより、光半導体と光素子とを集積している。
【０００３】例えば、図４に示す従来例では、光素子３
の受光部３１に対して、光素子の端面３２からほぼ垂直
に近い状態で光が入射し、かつ、光導波路２１、湾曲導
波路２２からも、光素子３の受光部３１の端面３２にほ
ぼ垂直に近い状態で入射させ光結合をとる構造が用いら
れていた。
の受光部３１に対して、光素子の端面３２からほぼ垂直
に近い状態で光が入射し、かつ、光導波路２１、湾曲導
波路２２からも、光素子３の受光部３１の端面３２にほ
ぼ垂直に近い状態で入射させ光結合をとる構造が用いら
れていた。
【０００４】とくに、表面実装構造に適した導波路型受
光素子に於いては光導波路と受光素子との導波路構造が
光回路として上手く結合するように光導波路端面に対し
て、おのおの垂直になるような構造であった。これによ
り、光回路として優れた特性が得られた。
光素子に於いては光導波路と受光素子との導波路構造が
光回路として上手く結合するように光導波路端面に対し
て、おのおの垂直になるような構造であった。これによ
り、光回路として優れた特性が得られた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来例
では、図４（ｃ）に示すように、光回路である湾曲導波
路２２を２個の円弧の外周に接するように湾曲させて光
素子３に導くため、光素子３に対する入射角を調整する
ために、湾曲導波路２２を余分に設ける必要があり、基
板サイズがそのぶん大きくなってしまうという問題があ
った。本発明は、光信号を受光素子に導くための光導波
を距離や湾曲を最小減に抑え簡潔にすることを目的とす
る。
では、図４（ｃ）に示すように、光回路である湾曲導波
路２２を２個の円弧の外周に接するように湾曲させて光
素子３に導くため、光素子３に対する入射角を調整する
ために、湾曲導波路２２を余分に設ける必要があり、基
板サイズがそのぶん大きくなってしまうという問題があ
った。本発明は、光信号を受光素子に導くための光導波
を距離や湾曲を最小減に抑え簡潔にすることを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】受光素子へ導く光導波路
の距離や湾曲を最小減に抑えるために、 （１）導波路構造を有する受光素子と光導波路回路とを
集積化した光モジュールにおいて受光素子に対して単一
モードで伝搬させずに受光素子の導波路構造の開口数程
度に傾ける。 （２）また、光導波路構造を有しない受光素子を用いる
とともに，受光素子に対する光導波路の入射角度極めて
大きくとる。 （３）また、上記の方法に加えて、光素子表面に入射角
度に適した無反射膜を形成する。
の距離や湾曲を最小減に抑えるために、 （１）導波路構造を有する受光素子と光導波路回路とを
集積化した光モジュールにおいて受光素子に対して単一
モードで伝搬させずに受光素子の導波路構造の開口数程
度に傾ける。 （２）また、光導波路構造を有しない受光素子を用いる
とともに，受光素子に対する光導波路の入射角度極めて
大きくとる。 （３）また、上記の方法に加えて、光素子表面に入射角
度に適した無反射膜を形成する。
【０００７】
【作用】本発明の光モジュールを用いることにより、光
導波路を光素子に対して垂直に突き当てる必要がなくな
り、光回路を簡潔化できるとともに、光回路の小型化が
可能となる。
導波路を光素子に対して垂直に突き当てる必要がなくな
り、光回路を簡潔化できるとともに、光回路の小型化が
可能となる。
【０００８】
【発明の実施の形態】［実施例１］本発明の請求項１に
係る実施例を図１に示す。本実施例は、光複合集積化し
た２チャンネルの受信モジュールに関する。同図に示す
ように、光部品実装基板であるＳi基板１は、Ｖ溝部１
１と光素子搭載部１２とから構成され、Ｖ溝部１１は、
光ファイバ１０をガイドするＶ字状の溝を有する。
係る実施例を図１に示す。本実施例は、光複合集積化し
た２チャンネルの受信モジュールに関する。同図に示す
ように、光部品実装基板であるＳi基板１は、Ｖ溝部１
１と光素子搭載部１２とから構成され、Ｖ溝部１１は、
光ファイバ１０をガイドするＶ字状の溝を有する。
【０００９】光素子搭載部１２上には、光導波路基板２
及び２つの受光素子３が搭載されている。光導波路基板
２は、Ｓi基板１上に作製した石英系光導波路を用いて
作製され、光導波路２１と湾曲導波路２２とを有する。
受光素子３は、導波路型光素子でであり、光吸収部分で
ある受光部３１に導波路構造を有する。
及び２つの受光素子３が搭載されている。光導波路基板
２は、Ｓi基板１上に作製した石英系光導波路を用いて
作製され、光導波路２１と湾曲導波路２２とを有する。
受光素子３は、導波路型光素子でであり、光吸収部分で
ある受光部３１に導波路構造を有する。
【００１０】光導波路２を受光素子３と突合せて光結合
をとるとともに、光素子３をＳi基板１に半田により接
合し、光素子３の固定と電気配線により受光電流を取り
出すことができる。また、光素子３の受光部（導波路構
造）３１のコア部分においては多モードで伝播する光が
吸収される。このため、光素子３に対して遠視野角程度
傾けて入射しても、受光素子の受光率の低下は比較的小
さい。
をとるとともに、光素子３をＳi基板１に半田により接
合し、光素子３の固定と電気配線により受光電流を取り
出すことができる。また、光素子３の受光部（導波路構
造）３１のコア部分においては多モードで伝播する光が
吸収される。このため、光素子３に対して遠視野角程度
傾けて入射しても、受光素子の受光率の低下は比較的小
さい。
【００１１】ここで、受光素子の遠視野角φは、概ねク
ラッド部分の屈折率ｎ0とコア部分の屈折率ｎを用いてs
inφ＝（ｎ−ｎ0）1/2で与えられる量であり、この素子
の場合は１．３μｍの受光素子で、ＩnＰ基板上にＩnＧ
aＡsＰでコアを形成しているので、約３４度程度とな
る。実際、図２に示すように、３０度傾けて入射しても
損失は２ｄＢとなることを確認した。
ラッド部分の屈折率ｎ0とコア部分の屈折率ｎを用いてs
inφ＝（ｎ−ｎ0）1/2で与えられる量であり、この素子
の場合は１．３μｍの受光素子で、ＩnＰ基板上にＩnＧ
aＡsＰでコアを形成しているので、約３４度程度とな
る。実際、図２に示すように、３０度傾けて入射しても
損失は２ｄＢとなることを確認した。
【００１２】なお、図２（ｂ）は光素子表面に角度に対
応した無反射コートを施した場合の図である。そこで、
本実施例の構成を用いて、図１（ｃ）に示すように、湾
曲導波路２２を光素子３に対して傾けて突き合わせるこ
とにより、光回路である湾曲導波路２２の簡略化と光導
波路基板２の小型化を図った。このときの、光導波路基
板２の大きさと図４に示す光導波路基板の構成との比較
をすると、概略、以下のようになる。
応した無反射コートを施した場合の図である。そこで、
本実施例の構成を用いて、図１（ｃ）に示すように、湾
曲導波路２２を光素子３に対して傾けて突き合わせるこ
とにより、光回路である湾曲導波路２２の簡略化と光導
波路基板２の小型化を図った。このときの、光導波路基
板２の大きさと図４に示す光導波路基板の構成との比較
をすると、概略、以下のようになる。
【００１３】本実施例の構成では、図１（ｃ）にあるよ
うに、湾曲導波路２２の最小曲半径をＲ、光素子の間隔
をｄ、円弧の角度θとし、曲半径Ｒにより光回路を構成
するとすると、Ｒが距離ｄよりも十分大きいとして、ｄ
≒Ｒθ2なる近似関係がある。このときの距離ＬはＬ≒
Ｒθである。一方、従来の構成では、図４（ｃ）に示す
ように、同一の曲げ半径をＲ、光素子の間隔をｄに対し
て円弧の角度φとすると、ｄ≒２Ｒφ2となる。このと
きの距離Ｍは、Ｍ≒２Ｒφ、となって、ＬとＭの間にお
およそＬ＝Ｍ／２1/2という関係が成り立つ。
うに、湾曲導波路２２の最小曲半径をＲ、光素子の間隔
をｄ、円弧の角度θとし、曲半径Ｒにより光回路を構成
するとすると、Ｒが距離ｄよりも十分大きいとして、ｄ
≒Ｒθ2なる近似関係がある。このときの距離ＬはＬ≒
Ｒθである。一方、従来の構成では、図４（ｃ）に示す
ように、同一の曲げ半径をＲ、光素子の間隔をｄに対し
て円弧の角度φとすると、ｄ≒２Ｒφ2となる。このと
きの距離Ｍは、Ｍ≒２Ｒφ、となって、ＬとＭの間にお
およそＬ＝Ｍ／２1/2という関係が成り立つ。
【００１４】本実施例においては、光素子３の間隔を約
１ｍｍとするために、光素子３に対する湾曲導波路２２
の入射角を約２０度傾けて配置することとした。これに
より、湾曲導波路２２の引き回し部分を約２割簡略化す
ることができた。さらに、本実施例のように、ダイシン
グにより切り出された導波路をＳi基板上に搭載する光
モジュールでは光導波路に対して光導波路端面が直角に
切り出されるとその端面において反射戻り光が問題とな
る。
１ｍｍとするために、光素子３に対する湾曲導波路２２
の入射角を約２０度傾けて配置することとした。これに
より、湾曲導波路２２の引き回し部分を約２割簡略化す
ることができた。さらに、本実施例のように、ダイシン
グにより切り出された導波路をＳi基板上に搭載する光
モジュールでは光導波路に対して光導波路端面が直角に
切り出されるとその端面において反射戻り光が問題とな
る。
【００１５】本実施例の構造であれば、光導波路端面に
斜めに入射し、さらに放出された光も受光素子に斜めに
入射するので光導波路端面及び受光素子端面からの反射
戻り光を抑制できる。また、光素子の表面には光素子へ
入射光量を多くするために光素子表面に入射角に適した
多層膜誘電体による無反射コートを施してある、
斜めに入射し、さらに放出された光も受光素子に斜めに
入射するので光導波路端面及び受光素子端面からの反射
戻り光を抑制できる。また、光素子の表面には光素子へ
入射光量を多くするために光素子表面に入射角に適した
多層膜誘電体による無反射コートを施してある、
【００１６】［実施例２］本発明の請求項３に関する実
施例を図３に示す。本実施例は、屈折型の光受光素子４
０を用いたものであり、その他は実施例１と同様に光複
合集積化した２チャンネルの受信モジュールを作製した
ものである。屈折型の光受光素子４０としては、図３
（ａ）に示すように、端面４２において光を基板に対し
下（又は上）に屈折或いは反射させ、面状の受光部４１
で吸収する構造となっているものである。
施例を図３に示す。本実施例は、屈折型の光受光素子４
０を用いたものであり、その他は実施例１と同様に光複
合集積化した２チャンネルの受信モジュールを作製した
ものである。屈折型の光受光素子４０としては、図３
（ａ）に示すように、端面４２において光を基板に対し
下（又は上）に屈折或いは反射させ、面状の受光部４１
で吸収する構造となっているものである。
【００１７】屈折型の光受光素子４０の受光感度の変化
を図３（ｂ）に示す。同図は光素子表面に角度に対応し
た無反射コートを施した場合である。図３（ｂ）に示す
ように、屈折型の光受光素子４０は、入射方向に対して
受光効率が変化しないという特徴を持つ。
を図３（ｂ）に示す。同図は光素子表面に角度に対応し
た無反射コートを施した場合である。図３（ｂ）に示す
ように、屈折型の光受光素子４０は、入射方向に対して
受光効率が変化しないという特徴を持つ。
【００１８】そこで、本実施例では入射角度を３０度と
して、最適化を図ることとした。これにより、光導波路
の引き回し部分を理論値に近い約３割簡略化することが
できた。また、反射による入射光の減少を防ぐために、
実施例１と同様に光素子表面に光の入射角に適した誘電
体による多層膜を設け反射を防止している、
して、最適化を図ることとした。これにより、光導波路
の引き回し部分を理論値に近い約３割簡略化することが
できた。また、反射による入射光の減少を防ぐために、
実施例１と同様に光素子表面に光の入射角に適した誘電
体による多層膜を設け反射を防止している、
【００１９】
【発明の効果】以上、実施例に基づいて具体的に説明し
たように、本発明では、受光素子に対して光導波路を斜
めに入射させることにより光回路の構成が極めて容易に
なりかつ光導波路基板を小型化することが可能となる。
また、本発明は光モジュールの作製コスト下げる上で極
めて有効である。
たように、本発明では、受光素子に対して光導波路を斜
めに入射させることにより光回路の構成が極めて容易に
なりかつ光導波路基板を小型化することが可能となる。
また、本発明は光モジュールの作製コスト下げる上で極
めて有効である。
【図１】本発明の実施例１に係る光モジュールに関し、
図１（ａ）は光モジュールの斜視図、図１（ｂ）は同図
（ａ）のモジュールの光導波路と光素子の部分の上面か
ら見た鳥瞰図、図１（ｃ）は湾曲した導波路部分の幾何
構造を示す説明図である。
図１（ａ）は光モジュールの斜視図、図１（ｂ）は同図
（ａ）のモジュールの光導波路と光素子の部分の上面か
ら見た鳥瞰図、図１（ｃ）は湾曲した導波路部分の幾何
構造を示す説明図である。
【図２】導波路型受光素子の光の光の入射角に対する受
光感度の変化に関し、図２（ａ）は光導波路素子を上面
からみた構造を示す平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）で
示した入射角θに対する受光感度の変化をあらわすグラ
フである。
光感度の変化に関し、図２（ａ）は光導波路素子を上面
からみた構造を示す平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）で
示した入射角θに対する受光感度の変化をあらわすグラ
フである。
【図３】図３（ａ）は光導波路素子を上面からみた構造
を示す斜視図、図３（ｂ）は図３（ａ）で示した入射角
θに対する受光感度の変化をあらわすグラフである。
を示す斜視図、図３（ｂ）は図３（ａ）で示した入射角
θに対する受光感度の変化をあらわすグラフである。
【図４】図４（ａ）は光モジュールの従来例を示す斜視
図、図４（ｂ）は同図（ａ）のモジュールの光導波路と
光素子の部分の上面から見た鳥瞰図、図４（ｃ）は湾曲
した導波路部分の幾何構造を示す説明図である。
図、図４（ｂ）は同図（ａ）のモジュールの光導波路と
光素子の部分の上面から見た鳥瞰図、図４（ｃ）は湾曲
した導波路部分の幾何構造を示す説明図である。
１ 光部品実装基板 １０ 光ファイバ １１ Ｖ溝部 １２ 光素子搭載部 ２ 光導波路基板 ２１ 光導波路 ２２ 湾曲導波路 ３ 光半導体素子 ３１ 受光部 ３２ 端面
フロントページの続き (72)発明者 石井 元速 東京都千代田区大手町二丁目３番１号 日 本電信電話株式会社内 Ｆターム(参考） 2H037 BA11 CA00 CA36 2H047 KA12 MA07 QA04 TA33 5F088 EA01 HA01 JA03 JA14
Claims (4)
- 【請求項１】 導波路構造を有する受光素子と光導波路
を有する光導波路回路とを集積化した光モジュールにお
いて、該導波路構造への入射光を該導波路構造にマルチ
モード伝搬させるように、該導波路構造に対して該光導
波路路の進入角度を該導波路構造の遠視野角±１０°以
内に傾けることを特徴とする光モジュール。 - 【請求項２】 導波路構造を有する受光素子と光導波路
を有する光導波路回路とを集積化した光モジュールにお
いて、該導波路構造への入射光を該導波路構造にマルチ
モード伝搬させるように、該導波路構造に対して該光導
波路路の進入角度を該導波路構造の遠視野角±５°以内
に傾けることを特徴とする光モジュール。 - 【請求項３】 前記受光素子は導波モードに依存しない
吸収部分を持つことを特徴とする請求項１又は２記載の
光モジュール。 - 【請求項４】 前記受光素子は表面に光の入射角に対応
した反射防止膜を有することを特徴とする請求項１，２
又は３記載の光モジュール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000179596A JP2001356248A (ja) | 2000-06-15 | 2000-06-15 | 光モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000179596A JP2001356248A (ja) | 2000-06-15 | 2000-06-15 | 光モジュール |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001356248A true JP2001356248A (ja) | 2001-12-26 |
Family
ID=18680840
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000179596A Pending JP2001356248A (ja) | 2000-06-15 | 2000-06-15 | 光モジュール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001356248A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003241023A (ja) * | 2002-02-14 | 2003-08-27 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光コネクタ用フェルールおよび光コネクタ |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63257290A (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-25 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 双方向性光通信または信号伝送のための集積光デバイス |
| JPH0287103A (ja) * | 1988-09-26 | 1990-03-28 | Canon Inc | 光カプラ |
| JPH0336506A (ja) * | 1989-07-03 | 1991-02-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 集積型光検出回路 |
| JPH07174904A (ja) * | 1991-02-15 | 1995-07-14 | Hewlett Packard Co <Hp> | 分布屈折率棒状レンズ及び光受信機 |
| JPH11163390A (ja) * | 1997-11-28 | 1999-06-18 | Fujitsu Ltd | 光モジュール |
| JPH11168224A (ja) * | 1997-12-03 | 1999-06-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体受光素子 |
| JPH11195809A (ja) * | 1998-01-05 | 1999-07-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体受光装置 |
| JPH11326711A (ja) * | 1998-05-14 | 1999-11-26 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光モジュール及び受光素子 |
-
2000
- 2000-06-15 JP JP2000179596A patent/JP2001356248A/ja active Pending
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63257290A (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-25 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 双方向性光通信または信号伝送のための集積光デバイス |
| JPH0287103A (ja) * | 1988-09-26 | 1990-03-28 | Canon Inc | 光カプラ |
| JPH0336506A (ja) * | 1989-07-03 | 1991-02-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 集積型光検出回路 |
| JPH07174904A (ja) * | 1991-02-15 | 1995-07-14 | Hewlett Packard Co <Hp> | 分布屈折率棒状レンズ及び光受信機 |
| JPH11163390A (ja) * | 1997-11-28 | 1999-06-18 | Fujitsu Ltd | 光モジュール |
| JPH11168224A (ja) * | 1997-12-03 | 1999-06-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体受光素子 |
| JPH11195809A (ja) * | 1998-01-05 | 1999-07-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体受光装置 |
| JPH11326711A (ja) * | 1998-05-14 | 1999-11-26 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光モジュール及び受光素子 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003241023A (ja) * | 2002-02-14 | 2003-08-27 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光コネクタ用フェルールおよび光コネクタ |
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040608 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050823 |