JP2631902B2 - 光集積回路 - Google Patents
光集積回路Info
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- integrated circuit
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- G01C19/58—Turn-sensitive devices without moving masses
- G01C19/64—Gyrometers using the Sagnac effect, i.e. rotation-induced shifts between counter-rotating electromagnetic beams
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- G01C19/721—Details, e.g. optical or electronical details
- G01C19/722—Details, e.g. optical or electronical details of the mechanical construction
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
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- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
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- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/2804—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers
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- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
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Description
【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は分岐導波路が形成された光集積回路に関
し、特に受光素子や発光素子などの光能動素子を直接取
付けることを可能とし、かつ小形に構成できるようにし
ようとするものである。
し、特に受光素子や発光素子などの光能動素子を直接取
付けることを可能とし、かつ小形に構成できるようにし
ようとするものである。
「従来の技術」 第７図に従来の光集積回路を示す。ニオブ酸リチュー
ム（LiNBO3）などの板状光学結晶11に導波路12が形成さ
れ、導波路12の一端は導波路13、14に分岐されて光学結
晶11の一辺の光導波路端子15、16に達し、導波路12の他
端は導波路17、18に分岐されて光学結晶11の他の辺の導
波路端子21、22に達している。端子21、22側の導波路17
及び18の平行とされた部分に各導波路を挟んで電極23が
形成されて光位相変調機能が付加されている。
ム（LiNBO3）などの板状光学結晶11に導波路12が形成さ
れ、導波路12の一端は導波路13、14に分岐されて光学結
晶11の一辺の光導波路端子15、16に達し、導波路12の他
端は導波路17、18に分岐されて光学結晶11の他の辺の導
波路端子21、22に達している。端子21、22側の導波路17
及び18の平行とされた部分に各導波路を挟んで電極23が
形成されて光位相変調機能が付加されている。
このような光集積回路に対する光の入出力は、光集積
回路の光導波路端子に光ファイバを一本づつその端面で
接着回路したり光学結晶11の一辺における光導波路端子
の数に相当する光ファイバを光ファイバホルダに固定
し、その光ファイバホルダを光集積回路と接続する方法
がとられていた。
回路の光導波路端子に光ファイバを一本づつその端面で
接着回路したり光学結晶11の一辺における光導波路端子
の数に相当する光ファイバを光ファイバホルダに固定
し、その光ファイバホルダを光集積回路と接続する方法
がとられていた。
第８図に２本の光ファイバを保持する光ファイバを示
す。すなわち断面Ｌ字状のホルダ半体24と25とが組合さ
れて内部に２本の光ファイバ26、27を平行に配置し接着
固定保持し、端面が研磨される。光ファイバ26、27のコ
ア間隔l2は、光ファイバの外径と同じである。光ファイ
バの外径は、日本国内で通常販売されている単一モード
光ファイバの例では125μｍであるので、l2は例えば125
μｍとなる。従って光集積回路の１周辺における光導波
路端子間の距離l1も、l2に合せて125μｍに設計され
る。
す。すなわち断面Ｌ字状のホルダ半体24と25とが組合さ
れて内部に２本の光ファイバ26、27を平行に配置し接着
固定保持し、端面が研磨される。光ファイバ26、27のコ
ア間隔l2は、光ファイバの外径と同じである。光ファイ
バの外径は、日本国内で通常販売されている単一モード
光ファイバの例では125μｍであるので、l2は例えば125
μｍとなる。従って光集積回路の１周辺における光導波
路端子間の距離l1も、l2に合せて125μｍに設計され
る。
導波路の分岐曲げ角度は、通常数度以下をとることが
多いのでここでは、導波路12に対する導波路17の曲げ角
度θを１゜とすると、l1の長さが125μｍとなるために
は、分岐導波路17、18の導波路に対し斜めとする部分の
長さL2は、約3.6mmとなる。又直線導波路12の長さを7m
m、光位相変調機能を持たせた導波路17、18の各平行部
分の長さを12mm、導波路13、14の平行部分の長さを3mm
とそれぞれすると、光集積回路の全長は、29.2mmとな
る。
多いのでここでは、導波路12に対する導波路17の曲げ角
度θを１゜とすると、l1の長さが125μｍとなるために
は、分岐導波路17、18の導波路に対し斜めとする部分の
長さL2は、約3.6mmとなる。又直線導波路12の長さを7m
m、光位相変調機能を持たせた導波路17、18の各平行部
分の長さを12mm、導波路13、14の平行部分の長さを3mm
とそれぞれすると、光集積回路の全長は、29.2mmとな
る。
第７図に示した光集積回路28は例えば光ファイバジャ
イロに使用される。すなわち、第９図、第10図に示すよ
うに、基台29上にカバー31が被され、カバー31内で基台
29上にボビン32が取付けられ、ボビン32に光ファイバコ
イル33が巻かれ、ボビン32の円筒の内側に光源モジュー
ル34、受光器モジュール35が配され、ボビン32の上側の
制限板に基板36が配され、取付け板37を介して光集積回
路28が基板36に取付けられる。
イロに使用される。すなわち、第９図、第10図に示すよ
うに、基台29上にカバー31が被され、カバー31内で基台
29上にボビン32が取付けられ、ボビン32に光ファイバコ
イル33が巻かれ、ボビン32の円筒の内側に光源モジュー
ル34、受光器モジュール35が配され、ボビン32の上側の
制限板に基板36が配され、取付け板37を介して光集積回
路28が基板36に取付けられる。
光集積回路28の両端のそれぞれ２つの光導波路端子
に、２本の光ファイバを固定した光ファイバホルダ39、
41がそれぞれ接着固定されている。ホルダ39の一方の光
ファイバ42は光源モジュール34からの光ファイバ43と融
着接続され、他方の光ファイバ44は、受光器モジュール
35からの光ファイバ45と融着接続される。ホルダ41の光
ファイバ46、47は、光ファイバコイル33の両端にそれぞ
れ融着接続される。このように従来は、光集積回路と他
のモジュールとの接続は、光ファイバを介して行なわれ
ていた。
に、２本の光ファイバを固定した光ファイバホルダ39、
41がそれぞれ接着固定されている。ホルダ39の一方の光
ファイバ42は光源モジュール34からの光ファイバ43と融
着接続され、他方の光ファイバ44は、受光器モジュール
35からの光ファイバ45と融着接続される。ホルダ41の光
ファイバ46、47は、光ファイバコイル33の両端にそれぞ
れ融着接続される。このように従来は、光集積回路と他
のモジュールとの接続は、光ファイバを介して行なわれ
ていた。
「発明が解決しようとする課題」 第７図に示した光集積回路ではその一端における二つ
の光導波路端子間距離l1は125μｍ程度しかないため、1
mm又は、それ以上あるチップサイズの受光素子と発光素
子、光ファイバホルダと受光素子又は発光素子とを並べ
て光集積回路28に取り付けることができなかった。光集
積回路に受光素子と発光素子とを並べて取り付けるため
には光導波路端子間の距離l1を長くしてやる必要があ
り、このためには分岐導波路13、14の斜めとなっている
部分の長さL2を大としなければならず、光集積回路が大
きくなる欠点があった。
の光導波路端子間距離l1は125μｍ程度しかないため、1
mm又は、それ以上あるチップサイズの受光素子と発光素
子、光ファイバホルダと受光素子又は発光素子とを並べ
て光集積回路28に取り付けることができなかった。光集
積回路に受光素子と発光素子とを並べて取り付けるため
には光導波路端子間の距離l1を長くしてやる必要があ
り、このためには分岐導波路13、14の斜めとなっている
部分の長さL2を大としなければならず、光集積回路が大
きくなる欠点があった。
「課題を解決するための手段」 この発明によれば第１、第２導波路の各一端が光学結
晶の一辺と接して光学結晶に形成され、その第１、第２
導波路の各他端は互いに接続され、その接続点が第１、
第２導波路と同一の面上に形成された第３導波路と接続
され、第１、第２導波路からの各光を第３導波路へ結合
して供給し、第３導波路からの光を第１、第２導波路に
分岐供給する光集積回路において、第１、第２導波路の
一端のその光学結晶の辺とのなす角度が90度からずらさ
れて、その第１、第２導波路の各端面はフレネル反射を
伴わない面とされ、その一方のフレネル反射を供わない
面で反射された光を光学結晶の他の辺に導く第４導波路
が第１、第２、第３導波路と同一の面上に形成されてい
る。なお導波路の端面がその導波路と直角な場合はその
端面で戻る反射が生じ、この反射はフレネル反射と呼ば
れている。
晶の一辺と接して光学結晶に形成され、その第１、第２
導波路の各他端は互いに接続され、その接続点が第１、
第２導波路と同一の面上に形成された第３導波路と接続
され、第１、第２導波路からの各光を第３導波路へ結合
して供給し、第３導波路からの光を第１、第２導波路に
分岐供給する光集積回路において、第１、第２導波路の
一端のその光学結晶の辺とのなす角度が90度からずらさ
れて、その第１、第２導波路の各端面はフレネル反射を
伴わない面とされ、その一方のフレネル反射を供わない
面で反射された光を光学結晶の他の辺に導く第４導波路
が第１、第２、第３導波路と同一の面上に形成されてい
る。なお導波路の端面がその導波路と直角な場合はその
端面で戻る反射が生じ、この反射はフレネル反射と呼ば
れている。
このように構成されているから、分岐導波路の長さを
短かくし、つまり光集積回路を小形に構成しても、光導
波路端子が離して設けられ、受光素子や発光素子などの
能動素子を光集積回路に直接取付けることができる。
短かくし、つまり光集積回路を小形に構成しても、光導
波路端子が離して設けられ、受光素子や発光素子などの
能動素子を光集積回路に直接取付けることができる。
「実施例」 第１図にこの発明の実施例を第７図と対応する部分に
同一符号を付けて示す。この例では導波路14が達する光
学結晶11の一辺11aと、その導波路14とのなす角度が90
度からずらされる。つまり導波路14の光導波路端子16に
おける一辺11aと直角な線48に対し導波路14は角度θ１
だけ斜めとされている。この導波路14の端面、つまり光
導波路端子16は反射面49とされ、この例ではその反射面
49で反射された光を光学結晶11の他の辺11bに導びく導
波路51が形成されている。導波路51の辺11b側の端、つ
まり光導波路端子52には、この例では光電変換素子とし
ての受光素子53が接着固定されている。反射面49での反
射を確実にするため反射膜54が形成されている。この反
射膜54は、アルミニュウームを蒸着して安易に達成する
ことができる。
同一符号を付けて示す。この例では導波路14が達する光
学結晶11の一辺11aと、その導波路14とのなす角度が90
度からずらされる。つまり導波路14の光導波路端子16に
おける一辺11aと直角な線48に対し導波路14は角度θ１
だけ斜めとされている。この導波路14の端面、つまり光
導波路端子16は反射面49とされ、この例ではその反射面
49で反射された光を光学結晶11の他の辺11bに導びく導
波路51が形成されている。導波路51の辺11b側の端、つ
まり光導波路端子52には、この例では光電変換素子とし
ての受光素子53が接着固定されている。反射面49での反
射を確実にするため反射膜54が形成されている。この反
射膜54は、アルミニュウームを蒸着して安易に達成する
ことができる。
なお、この例では光学結晶11の辺11aと導波路13、14
とのなす角度がθ２だけ直角からずらされ、また光学結
晶11の辺11cと導波路17、18とのなす角がθ３だけ直角
からずらされて、それぞれの導波路端面でフルネル反射
を起こし戻り光が生じないように対策されている。この
角度θ２、θ３は光導波路端子に接続される相手方の屈
折率によって異なる。この例ではこの角度θ２を利用し
て導波路14と辺11aとのなす角度を直角からずらした場
合であり、従ってθ１＝θ２の場合である。
とのなす角度がθ２だけ直角からずらされ、また光学結
晶11の辺11cと導波路17、18とのなす角がθ３だけ直角
からずらされて、それぞれの導波路端面でフルネル反射
を起こし戻り光が生じないように対策されている。この
角度θ２、θ３は光導波路端子に接続される相手方の屈
折率によって異なる。この例ではこの角度θ２を利用し
て導波路14と辺11aとのなす角度を直角からずらした場
合であり、従ってθ１＝θ２の場合である。
この実施例の光集積回路の寸法は、直径が125μｍの
光ファイバを使う場合、すなわちl1の寸法を125μｍと
すると、第７図で示した寸法とほぼ同程度となる。
光ファイバを使う場合、すなわちl1の寸法を125μｍと
すると、第７図で示した寸法とほぼ同程度となる。
第２図乃至第４図に、第１図に示した実施例の光集積
回路55を光ファイバジャイロに組込んだ場合の例を示
し、第９図、第10図と対応する部分に同一符号を付けて
ある。先ず第２図に示すように発光素子56は光集積回路
55の端子15に直接固定され、発光素子56は光源駆動回路
57によって発光し、光導波路13を経て光導波路12に達す
る。光導波路12に到達した光は、光導波路17と18との方
向に分岐され光ファイバコイル33をそれぞれ反対方向に
伝搬する。光ファイバコイル33を伝搬した光は、導波路
12で結合干渉され、その干渉光は光導波路13と14とに分
岐されるが、その内導波路14に分岐された光が導波路51
を通って受光素子53に到達する。受光素子53で光電変換
された信号は増幅回路58で増幅された後、同期検波回路
から成る信号処理回路59に入力され、そこで処理されジ
ャイロ出力として端子61に出力される。光集積回路55の
光導波路18上に作製された位相変調器62は、光ファイバ
コイル33に印加された入力角速度情報を感度よく検知す
るために挿入されたもので位相変調器駆動回路63からの
位相変調電圧が位相変調器62の電極間に印加される。
回路55を光ファイバジャイロに組込んだ場合の例を示
し、第９図、第10図と対応する部分に同一符号を付けて
ある。先ず第２図に示すように発光素子56は光集積回路
55の端子15に直接固定され、発光素子56は光源駆動回路
57によって発光し、光導波路13を経て光導波路12に達す
る。光導波路12に到達した光は、光導波路17と18との方
向に分岐され光ファイバコイル33をそれぞれ反対方向に
伝搬する。光ファイバコイル33を伝搬した光は、導波路
12で結合干渉され、その干渉光は光導波路13と14とに分
岐されるが、その内導波路14に分岐された光が導波路51
を通って受光素子53に到達する。受光素子53で光電変換
された信号は増幅回路58で増幅された後、同期検波回路
から成る信号処理回路59に入力され、そこで処理されジ
ャイロ出力として端子61に出力される。光集積回路55の
光導波路18上に作製された位相変調器62は、光ファイバ
コイル33に印加された入力角速度情報を感度よく検知す
るために挿入されたもので位相変調器駆動回路63からの
位相変調電圧が位相変調器62の電極間に印加される。
この光ファイバジャイロの構造について第３図、第４
図で説明する。光集積回路55にホルダ41で接続された光
ファイバ46、47は、光ファイバコイル33の光ファイバと
それぞれ融着され、導波路13の光導波路端子15には、発
光素子56が接続される。ここで発光素子56と導波路13と
の結合を良くするため、導波路13の光導波路端子15に近
いところに光導波路形のレンズ（モードインデックスレ
ンズ、ジオデシックレンズ、グレーティングレンズな
ど）を作り込むこともできる。光導波路51の光導波路端
子52には受光素子53が接着固定される。点線で囲んだス
ペース64は、光源駆動回路57、増幅回路58や位相変調器
駆動路63などをハイグリッドICの実装技術を使って小型
化を行ない光集積回路とともに例えばセラミック材でで
きた基板36に配置される。又ボビン32内のスペース65に
は、第９図、第10図の従来例では受光器モジュールや光
源モジュールが収納されていたがこの実施例では、受光
素子53や発光素子56が光集積回路55に取付けられ、その
空きとなった部分に、信号処理回路59などの回路が収納
可能となる。
図で説明する。光集積回路55にホルダ41で接続された光
ファイバ46、47は、光ファイバコイル33の光ファイバと
それぞれ融着され、導波路13の光導波路端子15には、発
光素子56が接続される。ここで発光素子56と導波路13と
の結合を良くするため、導波路13の光導波路端子15に近
いところに光導波路形のレンズ（モードインデックスレ
ンズ、ジオデシックレンズ、グレーティングレンズな
ど）を作り込むこともできる。光導波路51の光導波路端
子52には受光素子53が接着固定される。点線で囲んだス
ペース64は、光源駆動回路57、増幅回路58や位相変調器
駆動路63などをハイグリッドICの実装技術を使って小型
化を行ない光集積回路とともに例えばセラミック材でで
きた基板36に配置される。又ボビン32内のスペース65に
は、第９図、第10図の従来例では受光器モジュールや光
源モジュールが収納されていたがこの実施例では、受光
素子53や発光素子56が光集積回路55に取付けられ、その
空きとなった部分に、信号処理回路59などの回路が収納
可能となる。
第５図及び第６図にこの発明の実施例を送受信モジュ
ールに用いた例を示す。光集積回路66は、第１図に示し
た光集積回路の導波路12、13、14、15によって構成され
ている。発光素子56からの光は、導波路13を経て導波路
12に入り光ファイバ67に送出される。一方光ファイバ67
を戻ってきた光は、導波路12に入り導波路13と14とに分
岐され、その内導波路14に分岐された光が反射膜54で反
射され導波路51を経て受光素子53へ到達する。破線で示
したスペース68は発光素子56を駆動する電子回路や受光
素子53からの光電変換信号を増幅する回路をハイブリッ
ドICの実装技術を使って小型化し、光集積回路66ととも
にセラミックなどの材料で作られた基板69上に配置され
る。基板69に配置された回路は、カバーケース71で密封
されており端子72もハーメチック端子が使用される。
ールに用いた例を示す。光集積回路66は、第１図に示し
た光集積回路の導波路12、13、14、15によって構成され
ている。発光素子56からの光は、導波路13を経て導波路
12に入り光ファイバ67に送出される。一方光ファイバ67
を戻ってきた光は、導波路12に入り導波路13と14とに分
岐され、その内導波路14に分岐された光が反射膜54で反
射され導波路51を経て受光素子53へ到達する。破線で示
したスペース68は発光素子56を駆動する電子回路や受光
素子53からの光電変換信号を増幅する回路をハイブリッ
ドICの実装技術を使って小型化し、光集積回路66ととも
にセラミックなどの材料で作られた基板69上に配置され
る。基板69に配置された回路は、カバーケース71で密封
されており端子72もハーメチック端子が使用される。
第１図において、導波路51はその端子52が光学結晶11
の辺11cに位置するように構成してもよい、この場合、
この端子52と端子21、22とを大きく離すことができる。
また端子52が更に他の辺11dに位置するようにしてもよ
い、この場合導波路51が他の導波路と交差するが、その
交差した導波路との結合が十分小さいようにすればよ
い。導波路14の代りに導波路13側を反射面としてその端
子を他の辺に導いてもよい。同様に導波路17、18の一方
の端子を他の辺に位置させるように構成することもでき
る。
の辺11cに位置するように構成してもよい、この場合、
この端子52と端子21、22とを大きく離すことができる。
また端子52が更に他の辺11dに位置するようにしてもよ
い、この場合導波路51が他の導波路と交差するが、その
交差した導波路との結合が十分小さいようにすればよ
い。導波路14の代りに導波路13側を反射面としてその端
子を他の辺に導いてもよい。同様に導波路17、18の一方
の端子を他の辺に位置させるように構成することもでき
る。
「発明の効果」 以上説明したように分岐導波路を持つ光集積回路にお
いて、その分岐導波路の一方の導波路を光集積回路の端
面で反射させそれを他の端面に導波することにより、光
集積回路に受光素子、発光素子又は光ファイバを直接接
続することが出来、しかも、光集積回路を小形に構成す
ることができ、かつ各導波路は光学結晶の一面に形成さ
れているため、その作製が簡単である。それを使った光
ファイバジャイロや送受信モジュールなどの装置を小形
化することができる効果が得られる。
いて、その分岐導波路の一方の導波路を光集積回路の端
面で反射させそれを他の端面に導波することにより、光
集積回路に受光素子、発光素子又は光ファイバを直接接
続することが出来、しかも、光集積回路を小形に構成す
ることができ、かつ各導波路は光学結晶の一面に形成さ
れているため、その作製が簡単である。それを使った光
ファイバジャイロや送受信モジュールなどの装置を小形
化することができる効果が得られる。
第１図はこの発明による光集積回路の実施例を示す図、
第２図は第１図に示した光集積回路を利用した光ファイ
バジャイロの機能構成を示すブロック図、第３図は第２
図の光ファイバジャイロの構造例を示す平面図、第４図
は第３図の側面図、第５図はこの発明による光集積回路
を利用した送受信モジュールを示す平面図、第６図はそ
の正面図、第７図は従来の光集積回路を示す平面図、第
８図は光ファイバホルダを示し、Ａは正面図、Ｂは上面
図、第９図は従来の光ファイバジャイロの構造を示す平
面図、第10図は第９図の断面図である。
第２図は第１図に示した光集積回路を利用した光ファイ
バジャイロの機能構成を示すブロック図、第３図は第２
図の光ファイバジャイロの構造例を示す平面図、第４図
は第３図の側面図、第５図はこの発明による光集積回路
を利用した送受信モジュールを示す平面図、第６図はそ
の正面図、第７図は従来の光集積回路を示す平面図、第
８図は光ファイバホルダを示し、Ａは正面図、Ｂは上面
図、第９図は従来の光ファイバジャイロの構造を示す平
面図、第10図は第９図の断面図である。
Claims (3)
- 【請求項１】光学結晶の一面にその一辺に一端が互いに
ほぼ平行に達し、他端が互いに接続された第１、第２導
波路が形成され、その第１、第２導波路の接続点に一端
が接続された第３導波路が第１、第２導波路と同一の面
上に形成され、上記第１、第２導波路からの各光を上記
第３導波路に結合して供給し、上記第３導波路からの光
を上記第１、第２導波路に分岐供給する光集積回路にお
いて、 上記第１、第２の導波路の上記一辺とのなす角度が90度
からずらされて、その第１、第２導波路の上記一辺にお
ける各端面はフレネル反射を伴わない面とされ、 その第１導波路の上記フレネル反射を伴わない面で反射
された光を上記光学結晶の上記一辺とは異なる辺に導く
第４導波路が上記光学結晶の第１、第２、第３導波路と
同一の面上に形成されていることを特徴とする光集積回
路。 - 【請求項２】上記第１導波路の上記フレネル反射を伴わ
ない面に反射膜が形成されていることを特徴とする請求
項１記載の光集積回路。 - 【請求項３】上記第４導波路の上記第１導波路の上記フ
レネル反射を伴わない面と反対の端面に光能動素子が固
定されていることを特徴とする請求項１又は２記載の光
集積回路。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2104606A JP2631902B2 (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | 光集積回路 |
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| CA002040762A CA2040762C (en) | 1990-04-20 | 1991-04-18 | Optical integrated circuit |
| EP91106246A EP0452938B1 (en) | 1990-04-20 | 1991-04-18 | Optical integrated circuit |
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Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP2104606A JP2631902B2 (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | 光集積回路 |
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|---|---|
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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| JP (1) | JP2631902B2 (ja) |
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| DE (1) | DE69110950T2 (ja) |
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| FR2492116A1 (fr) * | 1980-10-10 | 1982-04-16 | Thomson Csf | Jonction optique hybride et application a un dispositif interferometrique en anneau |
| GB8423024D0 (en) * | 1983-09-19 | 2013-09-18 | Martin Marietta Corp | Measuring angular rotation rates |
| DE3418288A1 (de) * | 1984-05-17 | 1985-11-28 | Standard Elektrik Lorenz Ag, 7000 Stuttgart | Einrichtung zur messung der drehgeschwindigkeit |
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| JP2531634B2 (ja) * | 1986-08-20 | 1996-09-04 | 株式会社日立製作所 | 光合分波器 |
| FR2613826B1 (fr) * | 1987-04-07 | 1990-10-26 | Commissariat Energie Atomique | Capteur de deplacement en optique integree |
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-
1990
- 1990-04-20 JP JP2104606A patent/JP2631902B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-04-17 US US07/686,597 patent/US5111518A/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-04-18 DE DE69110950T patent/DE69110950T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-04-18 CA CA002040762A patent/CA2040762C/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-04-18 EP EP91106246A patent/EP0452938B1/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0452938B1 (en) | 1995-07-05 |
| DE69110950D1 (de) | 1995-08-10 |
| DE69110950T2 (de) | 1995-12-21 |
| CA2040762C (en) | 1995-08-29 |
| US5111518A (en) | 1992-05-05 |
| JPH043002A (ja) | 1992-01-08 |
| CA2040762A1 (en) | 1991-10-21 |
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